KR101026274B1 - 도포 장치 - Google Patents

Abstract

기판상에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치이다. 도포 장치는, 재치대, 판동(版胴), 인쇄판, 도포액 공급부, 및 상대 이동 수단을 구비한다. 재치대는, 기판을 그 상면에 재치한다. 인쇄판은, 판동의 외주면에 감겨 설치되고, 그 표면에 인쇄 도포하는 패턴에 따른 볼록 형상의 패턴 및 당해 볼록 형상의 패턴 상면에 도포액을 유지하는 망점 형상의 요철면이 형성된다. 도포액 공급부는, 인쇄판의 표면에 도포액을 공급한다. 상대 이동 수단은, 기판 상면과 인쇄판을 근접 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태에서, 축심을 중심으로 판동을 회전시키면서 재치대와 판동을 상대 이동시킨다. 요철면은, 상대 이동 수단이 기판 상면과 순차적으로 대향시키는 인쇄판의 인쇄 방향에 대해서, 도포액을 유지하는 유지량이 점감(漸減)하도록 형성된다.

Description

도포 장치{APPLICATION APPARATUS}

본 발명은, 도포 장치에 관한 것으로, 보다 특정적으로는, 스테이지 상에 재치한 기판에 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.

유기 EL 디바이스가 조명이나 디스플레이에 이용되는 움직임이 활발해지고 있다. 이들 유기 EL 디바이스를 제조할 때는, 기판에 대해서 비교적 큰 사이즈의 박막 상태로 유기 EL 재료, 정공(正孔) 운송 재료, 전자 운송 재료 등을 도포하거나, 적색, 녹색, 청색, 및 백색 발광 등의 유기 EL 재료를 미세한 스트라이프형상으로 나누어 도포하는 것이 필요하다. 이들 도포 작업을 반복하여 층을 겹침으로써, 유기 EL 디바이스의 발광층, 정공 운송층, 및 전자 운송층 등이 형성된다.

발광층의 재료로서 이용되는 유기 EL 재료로서, 도포에 의해 박막 형성되는 고분자 재료 및 저분자 재료가 있다(이하, 간단히 유기 EL 재료로 기재한다). 그리고, 각종 인쇄법이나 특수한 도포 방법을 이용하여, 유기 EL 재료의 박막을 기판상에 형성하는 제조 방법이 시도되고 있다. 일반적으로, 이러한 제조 방법에서는, 유기 EL 재료를 잉크화하기 위해서 주(主) 용매로서 방향족계의 용매가 사용된다.

예를 들면, 잉킹(inking)에 아니록스 롤러(Anilox roller) 방식을 채용한 플 렉소판을 이용하여, 유기 EL 재료를 인쇄 도포하는 방식을 생각할 수 있다. 그러나, 아니록스 롤러 방식으로 플렉소판에 잉킹하는 경우, 인쇄 도포하는 유기 EL 재료의 시간 경과 변화가 크므로, 아니록스 롤러의 셀(오목부) 내에 건조한 유기 EL 재료가 잔류하는 경우가 있다. 이에 따라, 인쇄 도포하는 유기 EL 재료의 도포량이 불안정하게 되므로, 품질 저하로 연결된다. 이러한 유기 EL 재료의 잔류를 막기 위해서, 예를 들면 일본국 특허공개 2008-6705호 공보(이하, 특허 문헌 1로 기재한다)에 원주면이 평활한 평(平) 롤러를 이용하여 플렉소판에 잉킹하는 인쇄 장치가 개시되어 있다. 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치는, 판동(版胴)에 감겨 설치된 인쇄판을 이용하여 유기 EL 재료를 기판에 인쇄 도포하여, 유기 EL 재료의 박막을 형성하고 있다.

여기서, 유기 EL 재료의 박막에는, 발광 얼룩이나 전계 집중 등을 방지하기 위해서 막 두께의 균일성이 요구된다. 이러한 균일성을 향상시키기 위해서, 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치로 유기 EL 재료를 평활화·균일화하는 레벨링을 행하기 위해서는, 저점도(예를 들면, 수십 cP(센티포아즈) 이하)의 유기 EL 재료를 이용할 필요가 있다.

그러나, 상기 특허 문헌 1에서 개시된 인쇄 장치로 유기 EL 재료를 인쇄 도포하는 경우, 평 롤러로부터 플렉소판 및 플렉소판으로부터 기판으로 각각 유기 EL 재료가 전사되는 공정이 2회 있다. 그리고, 상기 인쇄 장치에서는, 평 롤러로부터 플렉소판에 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 플렉소판의 후방일수록 유기 EL 재료의 유지량이 많아지는 경향이 있다. 또한, 상기 인쇄 장치에서는, 플렉소판으로 부터 기판에 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 인쇄 도포하는 기판의 후방일수록 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 경향이 있다. 이는, 저점도의 유기 EL 재료를 접촉 전사할 때, 당해 유기 EL 재료가 후방으로 밀리는 현상에 기인하는 것으로 생각된다. 이 때문에, 상기 인쇄 장치에서는, 기판에 인쇄 도포된 유기 EL 재료의 전사량에 불균일이 생기므로, 막 두께 균일성이 높은 박막 형성이 곤란해진다.

그러므로, 본 발명의 목적은, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포할 때의 막 두께 균일성을 향상시키는 도포 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 이하에 기술하는 것과 같은 특징을 가지고 있다.

제1의 국면은, 기판 상에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치이다. 도포 장치는, 재치대, 판동, 인쇄판, 도포액 공급부, 및 상대 이동 수단을 구비한다. 재치대는, 기판을 그 상면에 재치한다. 인쇄판은, 판동의 외주면에 감겨 설치되고, 그 표면에 인쇄 도포하는 패턴에 따른 볼록 형상의 패턴 및 당해 볼록 형상의 패턴 상면에 도포액을 유지하는 망점형상의 요철면이 형성된다. 도포액 공급부는, 인쇄판의 표면에 도포액을 공급한다. 상대 이동 수단은, 기판 상면과 인쇄판을 근접 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태에서, 축심을 중심으로 판동을 회전시키면서 재치대와 판동을 상대 이동시킨다. 요철면은, 상대 이동 수단이 기판 상면과 순차적으로 대향시키는 인쇄판의 인쇄 방향에 대해서, 도포액을 유지하는 유지량이 점감(漸減)하도록 형성된다.

제2의 국면은, 상기 제 1의 국면에 있어서, 요철면은, 망점형상으로 배열된 복수의 볼록부 및 당해 볼록부 주변에 형성된 오목부를 가진다. 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킴으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 점감하 도록 형성된다.

제3의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 볼록부의 크기를 점증(漸增)시킴으로써, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킨다.

제4의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 볼록부의 배열 간격을 점차 짧게 함으로써, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킨다.

제5의 국면은, 상기 제 1 또는 제2의 국면에 있어서, 요철면은, 망점형상으로 배열된 복수의 볼록부 및 당해 볼록부 주변에 형성된 오목부를 가진다. 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 깊이를 점감시킴으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 점감하도록 형성된다.

제6의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 선형적으로 점감시킴으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 선형적으로 점감하도록 형성된다.

제7의 국면은, 상기 제 2의 국면에 있어서, 요철면은, 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 단계적으로 점감시킨으로써, 도포액을 유지하는 유지량이 단계적으로 점감하도록 형성된다.

상기 제 1의 국면에 의하면, 기판 상면과 순차적으로 대향하는 인쇄판의 인쇄 방향에 대해서, 도포액을 유지하는 유지량이 점감하도록 형성된 요철면을 가지 는 인쇄판을 이용함으로써, 기판에 인쇄 도포된 도포액의 전사량의 균일성이 향상되므로, 막 두께 균일성이 높은 박막 형성이 가능해진다. 예를 들면, 인쇄 방향에 대해서 선두에서 후방으로 밀리는 도포액에 의해 감소하는 전사량을 보완하도록, 당해 후방에서 선두를 향해 볼록 형상의 패턴 상면에 있어서의 도포액의 유지량을 증가시킨다. 이 유지량의 증가에 의해, 감소하는 전사량과 상쇄할 수 있으므로, 인쇄 도포하는 후방일수록 도포액의 전사량이 많아지는 현상을 방지하는 것이 가능해진다.

상기 제 2의 국면에 의하면, 인쇄판에 도포액을 공급할 때, 주로 요철면의 오목부에 도포액이 유지되므로, 인쇄 방향에 대해서 오목부의 크기를 점감시킴으로써, 당해 인쇄 방향에 대해서 도포액을 유지하는 유지량을 용이하게 점감시킬 수 있다.

상기 제 3의 국면에 의하면, 인쇄 방향에 대한 요철면의 볼록부의 크기를 점증시킴으로써, 용이하게 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킬 수 있다.

상기 제 4의 국면에 의하면, 인쇄 방향에 대한 요철면의 볼록부의 배열 피치를 점차적으로 조밀하게 함으로써, 용이하게 인쇄 방향에 대한 오목부의 크기를 점감시킬 수 있다.

상기 제 5의 국면에 의하면, 인쇄판에 도포액을 공급할 때, 주로 요철면의 오목부에 도포액이 유지되므로, 인쇄 방향에 대해서 오목부의 깊이를 점감시킴으로써, 당해 인쇄 방향에 대해서 도포액을 유지하는 유지량을 용이하게 점감시킬 수 있다.

상기 제 6의 국면에 의하면, 인쇄 방향에 대해서 선두에서 후방으로 밀리는 도포액에 의해 선형적으로 감소하는 전사량을 보완하도록, 도포액의 유지량을 증가시킬 수 있다.

상기 제 7의 국면에 의하면, 인쇄판의 볼록 형상의 패턴 상면에 요철면을 형성하는 것이 용이해진다.

본 발명의 이들 및 다른 목적, 특징, 국면, 효과는, 첨부 도면과 조합하여, 이하의 상세한 설명으로부터 한층 명백해질 것이다.

이하, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일실시 형태에 관한 도포 장치(1)에 대해서 설명한다. 설명을 구체적으로 하기 위해서, 도포 장치(1)가 유기 EL 재료, 정공 운송 재료, 및 전자 운송 재료 등을 도포액으로서 이용하는 유기 EL 디바이스를 제조하는 도포 장치에 적용된 예를 이용하여, 이하의 설명을 행한다. 도포 장치(1)는, 유기 EL 재료, 정공 운송 재료, 및 전자 운송 재료 등을, 스테이지 상에 재치된 피도포체(예를 들면, 유리 기판) 상에, 예를 들면 150mm각이나 300mm각의 박막상태로 인쇄 도포하여 유기 EL 디바이스를 제조하는 것이다. 또한, 도포 장치(1)는, 상술한 것처럼 유기 EL 재료, 정공 운송 재료, 및 전자 운송 재료 등의 복수의 도포액을 이용하는데, 이들 대표로서 발광층을 형성하는 유기 EL 재료로서 이용되는 고분자 재료(이하, 고분자 유기 EL 재료로 기재한다)를 도포액으로서 이용하는 예로서 설명한다. 또한, 도 1은, 도포 장치(1)의 주요부 개략 구성을 나타내는 사시도이다.

도 1에 있어서, 도포 장치(1)는, 대략적으로, 인쇄판(12)이 감겨 설치된 판동(11), 도포액 공급부(20), 기판 반송 기구(50), 및 승강 기구(60)를 구비하고 있다. 도 1에 있어서는, 도포액 공급부(20)의 구성으로서, 도포액 공급 롤러(21), 슬릿 노즐(22), 제1 모터(28), 및 제2 모터(29)가 도시되어 있다. 또한, 기판 반송 기구(50)는, 기대(51), 한쌍의 반송 가이드 부재(52), 반송 구동부(53), 및 반송 테이블(54)을 구비하고 있다. 또한, 승강 기구(60)는, 승강 테이블(61), 한쌍의 승강 가이드 부재(62), 승강 구동부(63), 및 지지 측판(64)을 구비하고 있다.

한쌍의 반송 가이드 부재(52)는, 판동(11)의 축심에 대해서 수직인 수평 방향으로 연장 설치되어 기대(51)의 상면에 고정된다. 반송 구동부(53)는, 한쌍의 반송 가이드 부재(52)의 연장 설치 방향을 구동 방향으로 하는, 예를 들면 리니어 모터로 구성된다. 반송 테이블(54)은, 그 상면에 피도포체의 일례인 기판(P)을 재치한다. 그리고, 반송 테이블(54)은, 한쌍의 반송 가이드 부재(52) 및 반송 구동부(53)와 연결되어 있고, 반송 구동부(53)의 구동력을 받아, 판동(11)의 축심과 수직인 수평 방향으로, 기판(P)을 재치하여 왕복 이동한다.

지지 측판(64)은, 승강 테이블(61)에 대해서 좌우 한쌍으로 구성되고, 각각 승강 테이블(61)에 고정 설치된다. 한편, 기대(51)에는, 각각 한쌍의 승강 가이드 부재(62)가 연직 방향으로 연장 설치된다. 승강 구동부(63)는, 승강 가이드 부재(62)의 연장 설치 방향을 구동 방향으로 하고, 예를 들면 당해 연장 설치 방향으로 설치된 볼 나사와 당해 볼 나사를 회전시키는 모터에 의해 구성된다. 승강 테이블(61)에는, 판동(11) 및 도포액 공급부(20)가 탑재된다. 그리고, 승강 테이 블(61)에 고정 설치된 지지 측판(64)은, 이들 승강 가이드 부재(62)와 승강 구동부(63)로 연결되고, 승강 구동부(63)로부터의 구동력을 받아 승강 가이드 부재(62)를 따라 승강 가능해진다. 따라서, 판동(11) 및 도포액 공급부(20)는, 승강 구동부(63)의 구동력을 받아 승강 테이블(61)과 함께 승강 가능해진다. 또한, 제1 모터(28) 및 제2 모터(29)는, 이들 구동에 따라, 슬릿 노즐(22)을 승강시킨다.

다음에, 도 2를 참조하여, 판동(11) 및 도포액 공급부(20)의 기본적인 구성에 대해서 설명한다. 또한, 도 2는, 도포 장치(1)의 주요부를 나타내는 개요도이다.

도 2에 있어서, 판동(11)의 원주 외면에는 인쇄판(12)이 감겨져 고정되고, 그 축심이 수평 방향으로 배치된다. 인쇄판(12)의 표면에는, 기판(P)에 전사하는 도포액의 패턴(예를 들면, 150mm각의 평면)이 볼록 형상으로 형성되어 있다. 구체적으로, 인쇄판(12)은, 베이스부(121) 및 패턴부(122)를 가지고 있다. 베이스부(121)는, 판동(11)의 원주 외면과 맞닿아 판동(11)에 지지된다. 패턴부(122)는, 판동(11)과 맞닿는 베이스부(121)의 외측에, 기판(P)에 전사하는 패턴 형상에 따른 볼록 형상으로 형성된다. 그리고, 패턴부(122)의 상면(즉, 볼록 형상 패턴의 상면)에는, 미세한 요철이 형성되어 있다. 예를 들면, 인쇄판(12)은, 플렉소판이고, 감광성 재료 등의 유연한 재료로 구성된다. 또한, 인쇄판(12)의 상세한 형상에 대해서는, 후술한다.

판동(11)은, 인쇄판(12)을 원주 외면에 지지한 상태에서 축심을 중심으로 도시하는 화살표 A방향으로 회전 가능하게 설치되고, 도시하지 않은 회전 구동 기구 로부터의 구동력을 받아 소정의 회전 속도로 회전한다. 판동(11)의 하부 공간에는 반송 테이블(54)이 설치된다. 상술한 것처럼, 반송 테이블(54)의 상면에는 기판(P)이 재치되어 수평 이동 가능하게 구성되어 있고, 반송 구동부(53)로부터의 구동력을 받아 소정의 이동 속도로 수평 이동한다. 그리고, 반송 테이블(54)은, 판동(11)의 축심에 대해서 수직인 수평 방향인 도시하는 화살표 B방향으로 수평 이동함으로써, 판동(11)의 하부 공간을 통과한다. 이 때, 미리 반송 테이블(54)에 재치된 기판(P)과 판동(11)에 고정된 인쇄판(12)의 사이에 생기는 간극 또는 기판(P)에 대한 밀어넣음량이 소정의 범위 내가 되도록, 승강 테이블(61)(도 1 참조)의 위치가 조정된다.

도포 장치(1)의 제어부(도시하지 않음)는, 반송 구동부(53)를 제어함으로써 기판(P)을 재치한 반송 테이블(54)을 도시하는 화살표 B방향으로 수평 이동시켜 판동(11)의 하부 공간을 통과시킬 때, 상기 회전 구동 기구를 제어함으로써 반송 테이블(54)의 수평 이동 속도에 따라 상호 속도차가 생기지 않도록 도시하는 화살표 A방향으로 판동(11)을 회전시킨다. 이에 따라, 반송 테이블(54)에 재치된 기판(P)과 인쇄판(12)이 소정의 간극을 유지하여 대향하면서, 인쇄판(12)에 공급된 도포액(고분자 유기 EL 재료)이 기판(P)에 전사된다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 판동(11)을 도시하는 화살표 A방향으로 회전시켜 기판(P) 상에 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포할 때, 인쇄판(12)의 패턴부(122)와 기판(P)이 최초로 대향하는 부위를, 패턴부(122)의 인쇄 선단 위치(122s)로 한다. 또한, 인쇄판(12)의 패턴부(122)와 기판(P)이 최후로 대향하는 부위를, 패턴부(122)의 인쇄 후단 위 치(122e)로 한다.

도포액 공급 롤러(21)는, 그 축심이 판동(11)의 축심과 평행하게 배치된다. 예를 들면, 도포액 공급 롤러(21)는, 그 원주면이 평활한 평 롤러로 구성된다. 그리고, 도포액 공급 롤러(21)는, 그 원주면을 판동(11)에 감겨 설치된 인쇄판(12)에 맞닿게 하면서 서로 반대 방향(도시하는 화살표 C방향)으로 회전시킴으로써, 인쇄판(12)의 표면에 도포액(고분자 유기 EL 재료)을 공급한다.

또한, 도포액 공급 롤러(21)는, 좌우 한쌍의 롤러 지지부에 의해 축 지지되어 있다. 또한, 판동(11)도, 좌우 한쌍의 판동 지지부에 의해 축 지지되어 있다. 그리고, 롤러 지지부는, 판동 지지부에 대해서 이접(離接) 가능한 구성으로 되어 있다.

도포액 공급부(20)는, 도 1에 도시한 구성 외에, 세정 기구(23) 및 공급원(24)을 구비한다. 공급원(24)은, 기판(P)에 인쇄 도포할 고분자 유기 EL 재료를 저류하고, 소정량의 고분자 유기 EL 재료를 슬릿 노즐(22)에 공급한다. 슬릿 노즐(22)은, 도포액 공급 롤러(21)의 축심 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지고 있다. 그리고, 슬릿 노즐(22)은, 공급원(24)으로부터 공급되는 고분자 유기 EL 재료를, 슬릿으로부터 도포액 공급 롤러(21)의 원주면 상에 소정의 유량으로 토출하고, 당해 원주면 상에 고분자 유기 EL 재료의 박막을 형성한다. 또한, 슬릿 노즐(22)의 슬릿으로부터 도포액 공급 롤러(21)의 원주면까지는 소정의 거리만큼 이간되어 있고, 그 거리가 제1 모터(28) 및 제2 모터(29)(도 1 참조)를 각각 구동함으로써 조정된다. 그리고, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후 의 도포액 공급 롤러(21)의 원주면은, 세정 기구(23)에 의해 세정된다. 또한, 세정 기구(23)의 구조예에 대해서는 후술한다. 또한, 고분자 유기 EL 재료를 기판(P)에 전사한 후의 인쇄판(12)의 표면도, 세정 기구(도시하지 않음)에 의해 세정해도 상관없다.

이와 같이, 도포 장치(1)에 있어서는, 슬릿 노즐(22)로부터 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 고분자 유기 EL 재료가 공급되고, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 고분자 유기 EL 재료의 박막이 형성된다. 그리고, 이 고분자 유기 EL 재료는, 인쇄판(12)에 형성된 볼록형상의 패턴으로 전사되어, 인쇄판(12) 상에 고분자 유기 EL 재료의 박막 패턴이 형성된다. 이 인쇄판(12) 상에 형성된 고분자 유기 EL 재료의 박막 패턴이, 기판(P) 상에 인쇄 도포된다. 예를 들면, 인쇄판(12)의 패턴부(122)로서 볼록 형상 평면 패턴을 형성함으로써, 기판(P) 상에 있어서 당해 평면 패턴에 따른 박막 상태에서 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포할 수 있다.

다음에, 도 3을 참조하여, 세정 기구(23)의 구성예에 대해서 설명한다. 또한, 도 3은, 세정 기구(23)의 일례를 나타내는 개요도이다.

도 3에 있어서, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 고분자 유기 EL 재료가 잔존한 경우, 다시 그 위부터 고분자 유기 EL 재료가 슬릿 노즐(22)로부터 공급된다. 이 경우, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 막 두께가 증가하여 불균일하게 되고, 결과적으로 균일성이 떨어지는 고분자 유기 EL 재료가 기판(P)에 인쇄 도포되어 버린다. 이러한 고분자 유기 EL 재료의 불균일을 방지하기 위해서, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면은, 세정 기구(23)에 의해 세정된다. 세정 기구(23)는, 세정액 용기(231), 제1 블레이드(232), 제2 블레이드(233), 및 회수관로(234)를 구비하고 있다.

제1 블레이드(232)는, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 주요 고분자 유기 EL 재료를 긁어떨어트린다. 그리고, 회수관로(234)는, 제1 블레이드(232)에 의해 긁어떨어진 고분자 유기 EL 재료를 회수한다. 또한, 제1 블레이드(232)에 의해 고분자 유기 EL 재료를 긁어떨어트리기 전에, 고분자 유기 EL 재료를 인쇄판(12)의 표면에 공급한 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 린스액(예를 들면, 고분자 유기 EL 재료의 용매)을 공급해도 상관없다. 이 경우, 제1 블레이드(232)는, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 주요 고분자 유기 EL 재료를 린스액과 함께 긁어떨어트리게 되어, 회수관로(234)가 제1 블레이드(232)에 의해 긁어떨어진 고분자 유기 EL 재료 및 린스액을 회수한다. 이와 같이 린스액을 공급함으로써, 잔존하는 고분자 유기 EL 재료의 고화(固化)를 방지할 수 있다.

세정액 용기(231)는, 상면이 개방된 용기이고, 그 내부에 세정액(C)(예를 들면, 고분자 유기 EL 재료의 용매)을 저류한다. 그리고, 세정액 용기(231)는, 제1 블레이드(232)에 의해 주요 고분자 유기 EL 재료가 긁어떨어진 뒤가 되는 도포액 공급 롤러(21)의 표면의 일부(구체적으로는, 최하부 표면)를, 세정액(C) 내에 침지시킨다. 그리고, 제 2블레이드(233)는, 세정액(C)에 침지된 후의 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 잔존하는 세정액(C)을 긁어떨어트린다.

다음에, 도 4∼도 9를 참조하여, 인쇄판(12)의 형상에 대해서 설명한다. 또한, 도 4는, 평면상태로 전개한 인쇄판(12)의 형상의 일례를 나타내는 측면도이다. 도 5는, 평면상태로 전개한 인쇄판(12)의 형상의 일례를 나타내는 상면도이다. 도 6은, 패턴부(122)의 표면에 형성된 망점 패턴(M)의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 7은, 도 6의 단면 AA를 B방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다. 도 8은, 도 6의 단면 CC를 D방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다. 도 9는, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 직경(Dm)을 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.

도 4 및 도 5에 있어서, 인쇄판(12)은, 베이스부(121) 및 패턴부(122)를 가지고 있다. 또한, 도 4 및 도 5에 있어서는, 패턴부(122)의 인쇄 선단 위치(122s)를 좌측에 배치하고, 인쇄 후단 위치(122e)를 우측에 배치하고 있다. 따라서, 인쇄판(12)을 판동(11)에 감아 설치한 경우, 도 4 및 도 5에 도시하는 패턴부(122)의 상면 좌측부터 우측의 순으로 기판(P)과 대향해 간다(도시하는 인쇄 방향). 베이스부(121)는 그 하면이 판동(11)의 원주 외면과 맞닿아 판동(11)에 지지된다. 또한, 패턴부(122)는, 베이스부(121)의 상면에 대해서 볼록 형상으로, 기판(P)에 전사하는 패턴 형상에 따른 형으로 형성된다. 그리고, 패턴부(122)의 상면(즉, 기판(P)과 대향하는 면)에는, 미세한 요철 형상으로 된 망점 패턴(M)이 상면 전면에 형성되어 있다. 또한, 베이스부(121) 및 패턴부(122)는, 일체 성형되어 형성되어도 되고, 접착이나 기계적 접합을 이용하여 상호 접합하여 형성되어도 상관없다.

도 5 및 도 6에 있어서, 망점 패턴(M)은, 미세한 볼록점(이하, 망점으로 기 재한다)이 소정의 간격으로 격자 형상으로 형성되어 있다. 즉, 패턴부(122)의 상면은, 평활한 면이 아니라 볼록 망점의 패턴에 의해 미세한 요철이 형성되어 있다. 예를 들면, 망점 패턴(M)은 감광성 재료를 망점 패턴에 따라 노광함으로써, 패턴부(122)의 상면에 미세 가공된다.

도 7 및 도 8에 나타내는 바와같이, 볼록 형상의 망점은, 그 최정상부(Mt)에 직경(Dm)(이하, 망점 직경(Dm)으로 기재한다)의 원형 평면이 형성되어 있다. 그리고, 망점은, 상기 원형 평면을 최정상부로 하여 서서히 확대되면서 오목부(R)의 최고 깊이부를 향해 경사지는 형상(선단에 평면부가 형성된 원추형)으로 형성되어 있다. 즉, 망점의 주위에는, 오목부(R)가 형성되게 된다. 또한, 이후의 설명에 있어서, 인접하는 망점의 간격을 망점 피치(Pm)로 한다. 구체적으로는, 도 6 및 도 7에 도시하는 바와같이, 격자형상으로 나란히 형성된 망점에 있어서는, 격자에 대해 세로 또는 가로 방향으로 인접하는 망점이 가장 접근한 상태로 되고, 당해 방향에 인접하는 최정상부(Mt)의 중심간 피치를 망점 피치(Pm)로 한다. 또한, 이후의 설명에 있어서, 오목부(R)의 가장 깊은 깊이를 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)로 한다. 구체적으로는, 도 6 및 도 8에 도시하는 바와같이, 격자 형상으로 나란히 형성된 망점에 있어서는, 격자에 대해서 경사 방향으로 인접하는 망점간의 중간 위치가 가장 깊은 오목부(R)로 된다. 따라서, 당해 중간 위치의 오목부(R)의 깊이가, 최고 깊이 릴리프 심도(深度)(Rd)로 된다.

본 실시 형태에 있어서는, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)이 점증적 으로 변화한다. 예를 들면, 도 5 및 도 9에 나타내는 바와같이, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)이 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지 선형으로 변화하도록, 망점 피치(Pm)를 일정하게 하여 형성된다.

이와 같이 망점 피치(Pm)를 일정하게 하여 망점 직경(Dm)을 변화시킨 경우, 당해 변화에 따라 오목부(R)의 폭도 변화하므로, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)의 깊이도 변화한다. 구체적으로는, 도 9에 도시하는 바와같이, 망점 직경(Dm)이 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지 점증적으로 변화함에 따라, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)는 상대적으로 깊은 릴리프 심도(Rdd)로부터 상대적으로 얕은 릴리프 심도(Rds)까지 점감적으로 변화한다. 따라서, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)가 릴리프 심도(Rdd)로부터 릴리프 심도(Rds)(Rdd＞Rds)까지 선형으로 변화한다.

이와 같이, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)에 걸쳐 변화시킴으로써, 패턴부(122) 상면에서 유지하는 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시킬 수 있다. 구체적으로는, 도포액 공급 롤러(21)가 인쇄판(12)의 표면에 고분자 유기 EL 재료를 공급한 경우, 망점 패턴(M)의 오목부(R)나 최정상부(Mt)에서 고분자 유기 EL 재료가 유지된다. 전형적으로는, 적어도 망점 패턴(M)의 오목부(R)에 의해 고분자 유기 EL 재료가 유지되게 되므로, 망점 주위에 형성된 오목부(R)의 용적이 크면, 당해 오목부(R)에서 유지하는 고분자 유기 EL 재료의 유지량도 많아진다. 그리고, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)가 점감적으로 변화한다. 따라서, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량이 적어진다.

한편, 도포 장치(1)는, 고분자 유기 EL 재료를 접촉 전사할 때에, 당해 고분자 유기 EL 재료가 후방으로 밀리는 현상이 생긴다. 일례로서, 도포 장치(1)에서는, 도포액 공급 롤러(21)로부터 인쇄판(12)에 고분자 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 인쇄판(12)의 후방(즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 후단 위치(122e)측)일수록 고분자 유기 EL 재료의 유지량이 많아지는 경향이 있다. 다른 예로서, 도포 장치(1)에서는, 인쇄판(12)으로부터 기판(P)에 고분자 유기 EL 재료를 전사하는 단계에서, 인쇄 도포하는 기판(P)의 후방(즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 후단 위치(122e)측)일수록 고분자 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 경향이 있다.

그러나, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)에 걸쳐 변화시킴으로써, 이러한 경향과 상쇄할 수 있다. 예를 들면, 상술한 현상에 의해 인쇄의 선두에서 후방으로 밀리는 고분자 유기 EL 재료에 의해 감소하는 전사량을 보완하도록, 당해 후방에서 선두를 향해 패턴부(122)의 상면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 증가시킨다. 즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 적게 함으로써, 인쇄 도포하는 후 방일수록 고분자 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 현상을 방지하는 것이 가능해진다. 따라서, 기판(P)에 인쇄 도포된 고분자 유기 EL 재료의 전사량의 균일성이 향상되므로, 막 두께 균일성이 높은 박막 형성이 가능해진다. 또한, 패턴부(122) 상면의 단부에 대해서는, 그 안쪽의 상면에 형성되어 있는 망점 직경(Dm)보다 상대적으로 큰 망점 직경(Dm)으로 망점을 형성해도 상관없다.

여기서, 기판(P) 상에 150mm각의 박막 상태로 고분자 유기 EL 재료를 도포 장치(1)로 인쇄 도포하는 경우를 생각한다. 그리고, 패턴부(122) 상면에, 망점 피치 Pm＝85㎛(마이크로미터)로 일정(스크린선(線) 수 300lpi), 망점 직경 Dm＝66㎛로 일정, 최고 깊이 릴리프 심도 Rd＝20㎛로 일정하게 망점 패턴(M)을 형성한다. 이 조건으로 작성된 인쇄판(12)을 이용하여 기판(P)에 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포한 경우, 인쇄 도포 선두 부위의 평균 막 두께가 약 60nm(나노미터), 인쇄 도포 중앙 부위의 평균 막 두께가 약 80nm, 인쇄 도포 후단 부위의 평균 막 두께가 약 100nm으로 되었다. 즉, 인쇄 도포하는 기판(P)의 후방(즉, 패턴부(122) 상면의 인쇄 후단 위치(122e)측)일수록, 고분자 유기 EL 재료의 막 두께가 두꺼워지는 경향이 되었다.

한편, 패턴부(122) 상면에, 망점 피치 Pm＝85㎛로 일정(스크린선 수 300lpi), 망점 직경(Dm)을 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)로 66㎛에서 80㎛까지 선형 변화, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)를 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)로 20㎛에서 12㎛까지 선형 변화시킨 망점 패턴(M)을 형성한다. 이 조건으로 작성된 인쇄판(12)을 이용하여 기판(P)에 고분자 유기 EL재 료를 인쇄 도포한 경우, 인쇄 도포 선두 부위의 평균 막 두께가 약 60nm, 인쇄 도포 중앙 부위의 평균 막 두께가 약 60nm, 인쇄 도포 후단 부위의 평균 막 두께가 약 60nm으로 되었다. 즉, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)에 걸쳐 변화시킴으로써, 인쇄 도포하는 기판(P)의 전면에 대해서, 균일한 막 두께로 고분자 유기 EL 재료를 인쇄 도포할 수 있다.

또한, 상술한 설명에서는, 망점 피치(Pm)를 일정하게 하여 망점 직경(Dm)을 변화시킴으로써, 패턴부(122) 상면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시켰는데, 다른 망점 사양을 변화시켜 유지량을 변화시켜도 상관없다. 예를 들면, 망점 직경(Dm)을 일정하게 하여 망점 피치(Pm)를 변화시킴으로써, 패턴부(122) 상면에 있어서의 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시켜도 상관없다.

도 10은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 피치(Pm)를 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다. 도 10에 있어서, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 피치(Pm)가 점감적으로 변화한다. 예를 들면, 도 10에 나타내는 바와같이, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 피치(Pm)가 최대 망점 피치(Pm1)로부터 최소 망점 피치(Pms)까지 선형으로 변화하도록, 망점 직경(Dm)이 일정하게 형성된다.

이와 같이 망점 직경(Dm)을 일정하게 하여 망점 피치(Pm)를 변화시킨 경우, 당해 변화에 따라 오목부(R)의 폭도 변화하므로, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)의 깊이도 변화한다. 구체적으로는, 도 10에 도시하는 바와같이, 망점 피치(Pm)가 최대 망점 피치(Pml)로부터 최소 망점 피치(Pms)까지 점감적으로 변화함에 따라, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)는 상대적으로 깊은 릴리프 심도(Rdd)로부터 상대적으로 얕은 릴리프 심도(Rds)까지 점감적으로 변화한다. 따라서, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 도 9와 마찬가지로, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)가 릴리프 심도(Rdd)로부터 릴리프 심도(Rds)(Rdd＞Rds)까지 선형으로 변화한다. 이와 같이 망점 피치(Pm)를 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시켜도, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 적게할 수 있다. 또한, 패턴부(122) 상면의 단부(端部)에 대해서는, 그 안쪽의 상면에 형성되어 있는 망점 피치(Pm)보다 상대적으로 짧은 망점 피치(Pm)로 망점을 형성해도 상관없다.

또한, 상술한 망점 직경(Dm)의 변화에 망점 피치(Pm)의 변화를 추가하여, 망점 패턴(M)의 사양을 변화시켜도 상관없다. 구체적으로는, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)을 점증적으로 변화시키면서, 망점 피치(Pm)도 점감적으로 변화시킨다. 이와 같이, 망점 직경(Dm) 및 망점 피치(Pm)를 모두, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서 변화시켜도, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)를 점감적으로 변화시킬 수 있으므로, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향 해, 점감적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 적게할 수 있다.

또한, 상술한 설명에서는, 패턴부(122) 상면의 망점 패턴(M)은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 선형으로 변화시킴으로써 형성되어 있는데, 다른 변화에 의해 망점 패턴(M)을 형성해도 상관없다.

제1의 예로서 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 단계적으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다. 예를 들면, 도 11에 도시하는 바와같이, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)을 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지 단계적(5 단계)으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다. 이에 따라, 최고 깊이 릴리프 심도(Rd)는, 상대적으로 깊은 릴리프 심도(Rdd)로부터 상대적으로 얕은 릴리프 심도(Rds)까지 단계적(5단계)으로 변화한다. 즉, 패턴부(122) 상면에 형성되는 망점 패턴(M)의 사양을 단계적으로 변화시킨 경우, 패턴부(122) 상면의 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)를 향해, 고분자 유기 EL 재료의 유지량이 단계적으로 적어진다. 이와 같이, 단계적으로 고분자 유기 EL 재료의 유지량을 변화시켰다고 해도, 인쇄 도포하는 후방일수록 고분자 유기 EL 재료의 전사량이 많아지는 현상을 방지하는 것이 가능해진다.

제2의 예로서, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 사이에서, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 비선형으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다. 예를 들면, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e) 까지의 사이에서, 망점 직경(Dm)을 최소 망점 직경(Dms)으로부터 최대 망점 직경(Dml)까지, 2차나 3차 등의 비선형으로 변화시켜, 망점 패턴(M)을 형성한다.

또한, 상술한 각 설정치나 관계식은, 단순한 일례에 지나지 않고, 다른 설정치나 관계식이어도, 본 발명을 실현할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 예를 들면, 망점 직경(Dm) 및/또는 망점 피치(Pm)를 변화시키는 관계식이나 최소치/최대치의 설정은, 도포액의 성질(재질, 용매, 점도 등), 인쇄 도포량(도포 유량, 목표 막두께, 인쇄 도포 면적 등), 인쇄 도포 속도, 전사 조건(도포액 공급 롤러(21), 인쇄판(12), 및 기판(P)의 전사 간격, 가압력, 각각의 재질, 형상 등), 도포 환경(온도, 습도 등) 등에 따라, 적절히 설정하면 좋다.

또한, 상술한 설명에서는, 망점을 정방 격자 형상으로 배열함으로써 망점 패턴(M)을 형성했는데, 망점을 다른 배열 패턴으로 배열해도 상관없다. 예를 들면, 1배열 라인마다, 망점의 배치 위치가 망점 피치(Pm)의 1/2만큼 당해 배열 방향으로 어긋난, 이른바 허니캠(honey cam) 배열로 망점을 배열하여 망점 패턴(M)을 형성해도 된다.

또한, 상술한 설명에서는, 최정상부(Mt)에 원형 평면이 형성된 망점을 이용하여 망점 패턴(M)을 형성했는데, 다른 형상의 망점을 이용해도 상관없다. 예를 들면, 최정상부(Mt)에 타원이나 다각형 평면이 형성된 망점을 이용하여, 망점 패턴(M)을 형성해도 상관없다. 또한, 돔형이나 원추형 등, 최정상부(Mt)에 평면이 형성되어 있지 않은 망점을 이용하여, 망점 패턴(M)을 형성해도 상관없다.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서는, 발광층을 형성하는 고분자 유기 EL 재 료를 도포액으로 하여 도포 장치(1)가 기판(P)에 인쇄 도포하는 예를 이용했는데, 적색 발광의 고분자 유기 EL 재료, 녹색 발광의 고분자 유기 EL 재료, 청색 발광의 고분자 유기 EL 재료, 및 백색 발광의 고분자 유기 EL 재료를 각각 도포액으로 하여 인쇄 도포할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 또한, 본 발명의 도포 장치는, 정공 운송 재료나 전자 운송 재료 등의 다른 도포액을 인쇄 도포하는 경우에도 이용할 수 있다. 또한, 본 발명의 도포 장치는, 발광층을 형성하는 유기 EL 재료로서 저분자 재료를 도포액으로서 이용해도 상관없다.

구체적으로는, 상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가, 정공 운송 재료를 인쇄 도포하는 경우, 이 도포 공정은, 유기 EL 디바이스를 제조하는 도중 공정이다. 유기 EL 디바이스를 제조하는 경우, 정공 운송 재료(예를 들면, PEDOT 등) 인쇄 도포, 적색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 녹색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 청색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 백색 발광의 고분자 유기 EL 재료 인쇄 도포, 전자 운송 재료 인쇄 도포 등의 도포 공정이 있는데, 본 발명의 도포 장치는, 어떠한 인쇄 도포 공정에나 이용할 수 있다.

상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가 이용하는 적색, 녹색, 청색, 및 백색 발광의 유기 발광 재료로는, 예를 들면, 퀴놀리놀계 금속 착체, 벤조퀴놀리놀계 금속 착체, 벤조옥사졸계 금속 착체, 프탈로시아닌류, 폴리페린류, 아조메틴계 금속 착체, 페난트로린유로퓸 착체, 스티릴 및 디스티릴 화합물, 피렌(pyrene), 루브렌(rubrene), 코로넨(coronene), 크리센(chrysene), 디페닐안트라센 등의 축합 방향족 화합물, 옥사디아졸류, 티아디아졸류, 트리아졸류 등의 헤테 로 방향족 화합물, 퀴나크리돈류, 쿠마린(coumarin)류 등의 헤테로 축합 환화합물, 폴리페닐렌, 폴리피리딘, 폴리티오펜, 폴리플루오닐렌, 폴리페닐렌비닐렌 등의 π공역계 화합물 등을 이용할 수 있다. 그러나, 도포 장치(1)로 이용하는 유기 발광 재료로는, 예시한 이들 재료에 한정되는 것은 아니고, 다른 재료를 이용해도 상관없다.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서의 도포 장치(1)가 이용하는 정공 운송 재료로는, 예를 들면, 폴리비닐카르바졸 및 그 유도체, 폴리티오펜 및 그 유도체, 폴리페닐렌 및 그 유도체, 폴리페닐렌비닐렌 및 그 유도체, 트리아릴아민 골격을 가지는 폴리올레핀, 폴리아크릴, 폴리아릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리우레탄, 폴리이미드 등을 이용할 수 있다. 그러나, 도포 장치(1)로 이용하는 정공 운송 재료로는, 예시한 이들 재료에 한정되는 것은 아니고, 다른 재료를 이용해도 상관없다.

또한, 상술한 실시 형태에서는, 피도포체의 일례로서 유리 기판을 이용했는데, 다른 부재를 피도포체로 할 수도 있다. 예를 들면, 폴리에틸렌텔레프탈레이트(PET)나 폴리카보네이트(PC) 등으로 구성되는 유연성을 가진 기판을, 도포 장치(1)의 피도포체로 해도 상관없다.

또한, 상술한 설명에서는, 기판(P)을 재치하는 반송 테이블(54)을 수평 이동시키면서 판동(11)을 회전시켜 인쇄 도포를 행하고 있는데, 반송 테이블(54)을 고정하여 판동(11) 자체를 상기 수평 이동 방향과는 반대의 수평 방향으로 이동시키면서 회전시켜도 상관없다. 판동(11)과 반송 테이블(54) 중 적어도 한쪽이 상대적 으로 수평 방향으로 이동하면, 동일한 인쇄 도포가 가능한 것은 말할 것도 없다.

또한, 상술한 실시 형태에 있어서는, 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 도포액을 공급하기 위한 노즐로서, 도포액 공급 롤러(21)의 축선 방향을 길이 방향으로 하는 슬릿을 가지는 슬릿 노즐(22)을 이용하고 있는데, 다른 노즐을 이용해도 상관없다. 도포액 공급 롤러(21)의 표면에 대해서 도포액 공급 롤러(21)의 축선 방향을 따라 소정 유량의 고분자 유기 EL 재료를 공급할 수 있는 것이면, 복수의 토출구를 가지는 노즐을 이용해도 상관없다. 예를 들면, 도포액 공급 롤러(21)의 축선방향으로 다수의 토출구가 잇달아 설치된 노즐을 이용해도 상관없다.

본 발명에 관한 도포 장치 및 도포 방법은, 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포할 때의 막 두께 균일성을 향상시킬 수 있어, 조명이나 디스플레이 등에 이용되는 유기 EL 디바이스를 제조하는 장치 및 방법 등으로서 유용하다.

이상, 본 발명을 상세하게 설명했는데, 전술의 설명은 모든 점에 있어서 본 발명의 예시에 불과하고, 그 범위를 한정하려는 것은 아니다. 본 발명의 범위를 일탈하지 않고 다양한 개량이나 변형을 실시할 수 있는 것은 말할 것도 없다.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 관한 도포 장치(1)의 주요부 개략 구성을 나타내는 사시도이다.

도 2는, 도 1의 도포 장치(1)의 도포 장치(1)의 주요부를 나타내는 개요도이다.

도 3은, 도 2의 세정 기구(23)의 일례를 나타내는 개요도이다.

도 4는, 도 1의 인쇄판(12)을 평면상태로 전개한 형상의 일례를 나타내는 측면도이다.

도 5는, 도 1의 인쇄판(12)을 평면상태로 전개한 형상의 일례를 나타내는 상면도이다.

도 6은, 도 4의 패턴부(122)의 표면에 형성된 망점 패턴(M)의 일례를 나타내는 평면도이다.

도 7은, 도 6의 단면 AA를 B방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다.

도 8은, 도 6의 단면 CC를 D방향으로부터 본 망점 패턴(M)의 단면도이다.

도 9는, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 직경(Dm)을 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.

도 10은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 피치(Pm)를 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.

도 11은, 인쇄 선단 위치(122s)로부터 인쇄 후단 위치(122e)까지의 망점 직경(Dm)을 단계적으로 변화시켜 망점 패턴(M)의 사양을 변화시키는 일례를 나타내는 도면이다.

Claims (7)

1. 기판 상에 유기 EL 재료를 포함하는 도포액을 인쇄 도포하는 도포 장치로서,

   상기 기판을 그 상면에 재치(載置)하는 재치대와,

   판동(版胴)과,

   상기 판동의 외주면에 감겨 설치되고, 그 표면에 인쇄 도포하는 패턴에 따른 볼록 형상의 패턴 및 당해 볼록 형상의 패턴 상면에 상기 도포액을 유지하는 망점 형상의 요철면이 형성된 인쇄판과,

   상기 인쇄판의 표면에 상기 도포액을 공급하는 도포액 공급부와,

   상기 기판 상면과 상기 인쇄판을 근접 또는 맞닿게 하여 대향시킨 상태에서, 축심을 중심으로 상기 판동을 회전시키면서 상기 재치대와 상기 판동을 상대 이동시키는 상대 이동 수단을 구비하고,

   상기 요철면은, 상기 상대 이동 수단이 상기 기판 상면과 순차적으로 대향시키는 상기 인쇄판의 인쇄 방향에 대해서, 상기 도포액을 유지하는 유지량이 점감(漸減)하도록 형성되는, 도포 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 요철면은, 망점 형상으로 배열된 복수의 볼록부 및 당해 볼록부 주변에 형성된 오목부를 가지고,

   상기 요철면은, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 오목부의 크기를 점감시킴으로 써, 상기 도포액을 유지하는 유지량이 점감하도록 형성되는, 도포 장치.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 요철면은, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 볼록부의 크기를 점증(漸增)시킴으로써, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 오목부의 크기를 점감시키는, 도포 장치.
4. 청구항 2에 있어서,

   상기 요철면은, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 볼록부의 배열 간격을 점차 짧게 함으로써, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 오목부의 크기를 점감시키는, 도포 장치.
5. 청구항 1 또는 2에 있어서,

   상기 요철면은, 망점 형상으로 배열된 복수의 볼록부 및 당해 볼록부 주변에 형성된 오목부를 가지고,

   상기 요철면은, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 오목부의 깊이를 점감시킴으로써, 상기 도포액을 유지하는 유지량이 점감하도록 형성되는, 도포 장치.
6. 청구항 2에 있어서,

   상기 요철면은, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 오목부의 크기를 선형적으로 점감시킴으로써, 상기 도포액을 유지하는 유지량이 선형적으로 점감하도록 형성되는, 도포 장치.
7. 청구항 2에 있어서,

   상기 요철면은, 상기 인쇄 방향에 대한 상기 오목부의 크기를 단계적으로 점감시킴으로써, 상기 도포액을 유지하는 유지량이 단계적으로 점감하도록 형성되는, 도포 장치.

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