KR100962040B1 - 잉크젯 헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

잉크젯 헤드 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100962040B1
KR100962040B1 KR1020080032071A KR20080032071A KR100962040B1 KR 100962040 B1 KR100962040 B1 KR 100962040B1 KR 1020080032071 A KR1020080032071 A KR 1020080032071A KR 20080032071 A KR20080032071 A KR 20080032071A KR 100962040 B1 KR100962040 B1 KR 100962040B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
chamber
reservoir
coil
nozzle
Prior art date
Application number
KR1020080032071A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20090106749A (ko
Inventor
김상진
정재우
유영석
Original Assignee
삼성전기주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전기주식회사 filed Critical 삼성전기주식회사
Priority to KR1020080032071A priority Critical patent/KR100962040B1/ko
Priority to US12/285,134 priority patent/US7980681B2/en
Priority to JP2008260956A priority patent/JP2009248568A/ja
Publication of KR20090106749A publication Critical patent/KR20090106749A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100962040B1 publication Critical patent/KR100962040B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/17—Ink jet characterised by ink handling
    • B41J2/175—Ink supply systems ; Circuit parts therefor
    • B41J2/17503—Ink cartridges
    • B41J2/17513—Inner structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
    • B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
    • B41J2002/041—Electromagnetic transducer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

잉크젯 헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 잉크를 저장하는 리저버, 리저버로부터 잉크를 공급 받는 챔버, 리저버와 챔버를 연결하는 리스트릭터, 및 잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드로서, 챔버가 형성되는 챔버 플레이트; 챔버를 커버하도록 챔버플레이트의 상면에 적층되며, 제1 코일이 매립되는 진동 플레이트; 리스트릭터가 형성되며, 챔버플레이트의 하면에 적층되며, 제2 코일이 매립되는 제1 중간 플레이트; 및 리저버 및 노즐이 형성되며, 제1 중간 플레이트의 하면에 적층되는 하부 플레이트부를 포함하는 잉크젯 헤드는, 적층 및 소결 공정을 이용함으로써, 제조공정이 단순하고, 재료 선택의 폭이 넓으며, 가공비용 또한 절감할 수 있다.
잉크젯, 헤드, 코일, 매립

Description

잉크젯 헤드 및 그 제조방법{Ink-jet head and manufacturing method thereof}
본 발명은 잉크젯 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
잉크젯 헤드는 전기신호를 물리적인 힘으로 변환하여 작은 노즐을 통하여 잉크가 액적의 형태로 토출되도록 하는 원리를 이용한 것이다. 이러한 잉크젯 헤드는 스테인레스스틸(SUS), 세라믹 또는 실리콘 재질로 이루어진다.
한편, 잉크젯 헤드에는 다양한 기능을 수행하는 요소들이 형성된다. 각 요소들은 여러 층에 개별 가공되며, 각각의 층을 접합함으로써 잉크젯 헤드는 제작된다. 일반적으로 잉크젯 헤드를 구동하는 액츄에이터로는 압전체(PZT)가 사용되며, 진동판에 압전체를 접합한 후 기계적 연마공정을 이용하여 두께를 조절한다.
이러한 잉크젯 헤드는 압전체가 재료에 따라 100~350℃의 온도에서 디폴링(depoling) 되므로, 헤드 제작공정 중 가열이 필요한 공정이 포함된 경우 헤드의 제작이 완료된 후 별도의 폴링(poling) 공정을 수행할 필요가 있으며, 이는 전체적 인 공정을 복잡하게 하는 원인이 되어 공정비용을 상승시키는 원인이 된다.
본 발명은 제조공정이 단순하고, 재료 선택의 폭이 넓으며, 가공비용 또한 절감할 수 있는 잉크젯 헤드 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 잉크를 저장하는 리저버, 리저버로부터 잉크를 공급 받는 챔버, 리저버와 챔버를 연결하는 리스트릭터, 및 잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드로서, 챔버가 형성되는 챔버 플레이트; 챔버를 커버하도록 챔버플레이트의 상면에 적층되며, 제1 코일이 매립되는 진동 플레이트; 리스트릭터가 형성되며, 챔버플레이트의 하면에 적층되며, 제2 코일이 매립되는 제1 중간 플레이트; 및 리저버 및 노즐이 형성되며, 제1 중간 플레이트의 하면에 적층되는 하부 플레이트부를 포함하는 잉크젯 헤드를 제공할 수 있다.
하부 플레이트부는, 리저버가 형성되며, 제1 중간 플레이트의 하면에 적층되는 리저버 플레이트; 리저버 플레이트의 하면에 적층되는 제2 중간 플레이트; 및 노즐이 형성되며, 제2 중간 플레이트의 하면에 적층되는 노즐 플레이트를 포함할 수 있다.
한편, 진동 플레이트, 챔버 플레이트, 제1 중간 플레이트 및 하부 플레이트부는 LTCC를 포함하는 재질로 이루어질 수 있다.
또한, 제2 코일과 전기적으로 연결되도록 진동 플레이트 및 제1 중간 플레이트를 관통하는 비아가 형성될 수도 있으며, 제1 코일 및 제2 코일은 챔버 측으로 노출되지 않을 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 잉크를 저장하는 리저버, 리저버로부터 잉크를 공급 받는 챔버, 리저버와 챔버를 연결하는 리스트릭터, 및 잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드를 제조하는 방법으로서, 내부에 제1 코일이 매립되는 진동 플레이트를 형성하는 단계; 챔버가 가공된 챔버 플레이트를 형성하는 단계; 리스트릭터가 가공되며, 내부에 제2 코일이 매립되는 제1 중간 플레이트를 형성하는 단계; 리저버 및 노즐이 가공되는 하부 플레이트부를 형성하는 단계; 및 진동 플레이트, 챔버 플레이트, 제1 중간 플레이트 및 하부 플레이트부를 적층하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법을 제공할 수 있다.
진동 플레이트를 형성하는 단계는, 제1 그린시트의 상면에 제1 코일을 패터닝 하는 단계; 제1 그린시트의 상면에 제2 그린시트를 적층하는 단계; 및 제1 그린시트 및 제2 그린시트를 저온 동시 소결하는 단계를 포함할 수 있다.
한편, 챔버 플레이트를 형성하는 단계는, 제3 그린시트에 챔버를 가공하는 단계; 챔버에 지지체를 채우는 단계; 제3 그린시트를 소결 시키는 단계; 및 지지체를 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 하부 플레이트부는, 리저버가 형성되며, 제1 중간 플레이트의 하면에 적층되는 리저버 플레이트; 리저버 플레이트의 하면에 적층되는 제2 중간 플레이 트; 및 노즐이 형성되며, 제2 중간 플레이트의 하면에 적층되는 노즐 플레이트를 포함할 수 있다.
제2 코일과 전기적으로 연결되도록 진동 플레이트 및 제1 중간 플레이트를 관통하는 비아를 더 형성할 수도 있으며, 제1 코일 및 제2 코일은 챔버 측으로 노출되지 않을 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 적층 및 소결 공정을 이용함으로써, 제조공정이 단순하고, 재료 선택의 폭이 넓으며, 가공비용 또한 절감할 수 있다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나 의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 잉크젯 헤드 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
먼저, 도 1을 참조하여, 본 발명의 일 측면에 따른 잉크젯 헤드에 대해 설명하도록 한다. 도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 잉크젯 헤드를 나타내는 단면도이다. 도 1을 참조하면, 진동 플레이트(10), 제1 코일(12), 비아(16), 챔버 플레이트(20), 챔버(22), 제1 중간 플레이트(30), 제2 코일(32), 리스트릭터(34), 유로(36, 46, 52), 리저버 플레이트(40), 리저버(42), 제2 중간 플레이트(50), 노즐 플레이트(60), 노즐(62)이 도시되어 있다.
리저버 플레이트(40)에 형성되는 리저버(42)는 잉크를 수용하여, 이하에서 설명할 리스트릭터(34)를 통하여 챔버(22)에 잉크를 제공한다. 이러한 리저버(42)는 유입구(미도시)를 통하여 외부로부터 잉크를 공급받을 수 있다.
제1 중간 플레이트(30)에 형성되는 리스트릭터(34)는 리저버(42)와 추후 설명할 챔버(22)를 서로 연통하게 하여 리저버(42)로부터 챔버(22)에 잉크를 공급하는 채널로서의 기능을 수행할 수 있다. 리스트릭터(34)는 리저버(42)보다 작은 단면적을 갖도록 형성되어, 챔버(22)에 압력이 제공되는 경우 리저버(42)로부터 챔버(22)에 공급되는 잉크의 양을 조절할 수도 있다.
한편, 제1 중간 플레이트(30) 중 챔버(22)의 위치에 상응하는 부분에는 제2 코일(32)이 매립된다. 제1 중간 플레이트(30)에 매립되는 제2 코일(32)은 추후 설명할 제1 코일(12)과 함께 챔버(22) 내부에 압력을 제공하는 기능을 수행할 수 있다. 이러한 작동에 대해서는 추후에 보다 구체적으로 설명하도록 한다.
진동 플레이트(10)는 챔버 플레이트(20)의 상면에 적층되어 챔버(22)를 커버한다. 이러한 진동 플레이트(10)에는 상술한 제2 코일(32)에 상응하는 제1 코일(12)이 매립될 수 있다. 제1 코일(12)은 상술한 제2 코일(32)과 함께 챔버(22) 내부에 압력을 제공하는 기능을 수행할 수 있다.
즉, 외부로부터 전류가 인가되면, 제1 코일(12)과 제2 코일(32)은 각각 전자석으로서의 기능을 수행할 수 있게 되는데, 이들 사이의 척력 및 인력을 이용하여 챔버(22) 내부에 압력을 가할 수 있게 되는 것이다.
예를 들어, 제1 코일(12)과 제2 코일(32) 사이에 인력이 작용하도록 전류가 인가된 경우, 이들 사이의 인력에 의해 제1 코일(12)이 매립된 진동 플레이트(10) 는 챔버(22) 방향으로 휘어지게 되며, 이로 인해 챔버(22) 내부에는 압력이 가해지게 된다.
이와 반대로, 제1 코일(12)과 제2 코일(32) 사이에 척력이 작용하도록 전류가 인가된 경우, 이들 사이의 척력에 의해 제1 코일(12)이 매립된 진동 플레이트(10)는 챔버(22) 반대 방향으로 휘어지게 되며, 이로 인해 챔버(22) 내부에는 음압이 가해지게 되는 것이다.
한편, 상대적으로 잉크젯 헤드의 내측에 위치한 제2 코일(32)에 전류가 인가될 수 있도록 비아(16)가 형성될 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 비아(16)는 진동 플레이트(10)와 챔버 플레이트(20)를 관통하여 제1 중간 플레이트(30)에 형성된 제2 코일(32)과 전기적으로 연결됨으로써, 제2 코일(32)에 전류가 인가되도록 할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 잉크젯 헤드는, 제1 코일(12)과 제2 코일(32)을 이용하여 챔버(22) 내부에 압력을 제공하는 구조를 통하여, 압전체와 같은 별도의 구조체를 접합할 필요가 없게 된다.
한편, 산업용 잉크젯 헤드의 경우, 사무용 잉크젯 헤드와 달리 사용되는 고온의 잉크를 이용할 수 있다. 이러한 고온의 잉크에 의해 제1 코일(12)과 제2 코일(32)이 손상되는 것을 방지하기 위해 제1 코일(12)과 제2 코일(32)은 도 1에 도시된 바와 같이 챔버(22)가 형성된 방향으로는 노출되지 않도록 형성될 수 있다. 즉, 도 1을 기준으로 설명하면, 제1 코일(12)은 하측 방향으로, 제2 코일(32)은 상측 방향으로 노출되지 않도록 형성될 수 있다.
노즐 플레이트(60)에 형성되는 노즐(62)은 챔버(22)와 연결되어 챔버(22)로부터 잉크를 공급받아 잉크를 토출하는 기능을 수행할 수 있다. 제1 코일(12) 및 제2 코일(32)에 의해 챔버(22)에 압력이 가해지면, 이 압력에 의해 잉크는 노즐(62)을 통해 토출될 수 있게 된다.
노즐 플레이트(60)와 리저버 플레이트(40) 사이에는 리저버(42)의 하면을 커버하는 제2 중간 플레이트(50)가 개재될 수 있다. 이 때, 챔버(22)와 노즐(62)이 연통될 수 있도록, 제1 중간 플레이트(30), 리저버 플레이트(40) 및 제2 중간 플레이트(50)에는 각각 유로(36, 46, 52)가 형성될 수 있다.
한편, 본 실시예에서는 리저버 플레이트(40), 제2 중간 플레이트(50) 및 노즐 플레이트(60)가 각각 분리되는 구조를 제시하였으나, 이들이 일체로 형성되어 하나의 하부 플레이트부(70)를 형성할 수도 있음은 물론이다.
즉, 리저버(42)와 노즐(62)이 형성되는 하부 플레이트부(70)는 도 1에 도시된 바와 같이 리저버 플레이트(40)와 제2 중간 플레이트(50) 및 노즐 플레이트(60)로 이루어질 수도 있으며, 도시 되지는 않았으나 이들이 일체로 형성된 구조로 이루어질 수도 있는 것이다.
이상에서는 본 발명의 일 측면에 따른 잉크젯 헤드의 구조에 대해 설명하였으며, 이하에서는 본 발명의 다른 측면에 따른 잉크젯 헤드 제조방법에 대해 설명하도록 한다. 상술한 구조의 잉크젯 헤드 역시 이하에서 설명할 제조방법을 통해 제조될 수 있다.
도 2는 본 발명의 다른 측면에 따른 잉크젯 헤드 제조방법을 나타내는 순서도이고, 도 3 내지 도 13은 본 발명의 다른 측면에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도이다. 도 3 내지 도 13을 참조하면, 진동 플레이트(10), 제1 그린시트(10a), 제2 그린시트(10b), 제1 코일(12), 비아(16), 챔버 플레이트(20), 제3 그린시트(20'), 챔버(22), 지지체(24), 제1 중간 플레이트(30), 제2 코일(32), 리스트릭터(34), 유로(36, 46, 52), 리저버 플레이트(40), 리저버(42), 제2 중간 플레이트(50), 노즐 플레이트(60), 노즐(62)이 도시되어 있다.
우선, 내부에 제1 코일(12)이 매립되는 진동 플레이트(10)를 형성한다(S110). 이를 위하여 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 가소결 상태인 제1 그린시트(10a)의 상면에 제1 코일(12)을 패터닝하고, 도 6에 도시된 바와 같이 제1 그린시트(10a)의 상면에 제2 그린시트(10b)를 적층한 다음, 이들을 저온 동시 소결하는 방법을 이용할 수 있다.
제1 코일(12)은 전류를 인가 받아 전자석으로서의 기능을 수행할 수 있다. 도 4는 제1 코일(12)이 패터닝 된 모습을 나타내는 단면도이고, 도 5는 평면도이다. 제1 코일(12)을 패터닝 하는 방법으로는 스크린 인쇄, 잉크젯 인쇄 등을 이용할 수 있으며, 이 밖에도 다양한 방법을 이용할 수도 있음은 물론이다.
그리고 나서, 챔버(22)가 가공된 챔버 플레이트(20)를 형성한다(S120). 이를 위하여 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 가소결 상태인 제3 그린시트(20')를 가공하여 챔버(22)를 형성한 다음 이를 소결하는 방법을 이용할 수 있다.
한편, 챔버(22)가 가공된 제3 그린시트(20')를 소결하게 되면, 소결 공정 중에서 제3 그린시트(20')가 수축될 염려가 있다. 이를 방지하기 위하여, 소결 전에 도 10에 도시된 바와 같이 챔버(22)에 지지체(24)를 채운 다음, 소결을 마친 다음에 지지체(24)를 분리하는 방법을 이용할 수도 있다. 지지체(24)로는 HTCC 재질 또는 금속 재질을 이용할 수 있다. 이러한 방법을 통해 형성된 챔버 플레이트(20)가 도 11에 도시되어 있다.
그 다음, 리스트릭터(34)가 가공되며, 내부에 제2 코일(32)이 매립되는 제1 중간 플레이트(30)를 형성하고(S130), 리저버(42) 및 노즐(62)이 가공되는 하부 플레이트부(70)를 형성한 다음(S140), 도 12에 도시된 바와 같이 진동 플레이트(10), 챔버 플레이트(20), 제1 중간 플레이트(30) 및 하부 플레이트부(70)를 적층할 수 있다(S150).
리스트릭터(34), 리저버(42) 및 노즐(62) 등은 상술한 챔버(22)를 가공하는 방법과 동일한 방법으로 형성될 수 있으며, 제2 코일(32)은 상술한 제1 코일(12)과 동일한 방법을 통해 제1 중간 플레이트(30)에 매립될 수 있다.
이 밖에 챔버(22)와 노즐(62)을 연결하는 유로(36, 46, 52) 또한 상기 리스트릭터(34), 리저버(42) 등과 함께 형성될 수 있다.
본 실시예에서는 리저버 플레이트(40), 제2 중간 플레이트(50) 및 노즐 플레이트(60)가 각각 별도로 제작한 다음 이를 적층하는 방법을 제시하였으나, 이들이 일체로 형성되도록 하나의 그린시트에 대해 가공을 수행할 수도 있음은 물론이다.
한편, 상대적으로 잉크젯 헤드의 내측에 위치한 제2 코일(32)에 전류가 인가 될 수 있도록, 도 13에 도시된 바와 같이 비아(16)를 가공할 수도 있다. 즉, 도 13에 도시된 바와 같이, 진동 플레이트(10)와 챔버 플레이트(20)를 관통하여 제1 중간 플레이트(30)에 형성된 제2 코일(32)과 전기적으로 연결되도록 비아(16)를 형성함으로써 제2 코일(32)에 전류가 인가되도록 할 수 있다. 비아(16)는 홀 가공 및 도금 등과 같은 방법을 통해 형성될 수 있으며, 이 밖의 다양한 방법을 통해서도 형성될 수 있다.
제1 코일(12)과 제2 코일(32)이 챔버(22)가 형성된 방향으로는 노출되지 않도록 형성될 수 있음은 전술한 바와 같다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
도 1은 본 발명의 일 측면에 따른 잉크젯 헤드를 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명의 다른 측면에 따른 잉크젯 헤드 제조방법을 나타내는 순서도.
도 3 내지 도 13은 본 발명의 다른 측면에 따른 잉크젯 헤드 제조방법의 각 공정을 나타내는 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10: 진동 플레이트 10a: 제1 그린시트
10b: 제2 그린시트 12: 제1 코일
16: 비아 20: 챔버 플레이트
20': 제3 그린시트 22: 챔버
24: 지지체 30: 제1 중간 플레이트
32: 제2 코일 34: 리스트릭터
36, 46, 52: 유로 40: 리저버 플레이트
42: 리저버 50: 제2 중간 플레이트
60: 노즐 플레이트 62: 노즐
70: 하부 플레이트부

Claims (11)

  1. 잉크를 저장하는 리저버, 상기 리저버로부터 잉크를 공급 받는 챔버, 상기 리저버와 상기 챔버를 연결하는 리스트릭터, 및 잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드로서,
    상기 챔버가 형성되는 챔버 플레이트;
    상기 챔버를 커버하도록 상기 챔버플레이트의 상면에 적층되며, 제1 코일이 매립되는 진동 플레이트;
    상기 리스트릭터가 형성되며, 상기 챔버플레이트의 하면에 적층되며, 제2 코일이 매립되는 제1 중간 플레이트; 및
    상기 리저버 및 상기 노즐이 형성되며, 상기 제1 중간 플레이트의 하면에 적층되는 하부 플레이트부를 포함하는 잉크젯 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 하부 플레이트부는,
    상기 리저버가 형성되며, 상기 제1 중간 플레이트의 하면에 적층되는 리저버 플레이트;
    상기 리저버 플레이트의 하면에 적층되는 제2 중간 플레이트; 및
    상기 노즐이 형성되며, 상기 제2 중간 플레이트의 하면에 적층되는 노즐 플 레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 진동 플레이트, 상기 챔버 플레이트, 상기 제1 중간 플레이트 및 상기 하부 플레이트부는 LTCC를 포함하는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 진동 플레이트 및 상기 챔버 플레이트를 관통하며, 상기 제2 코일과 전기적으로 연결되는 비아를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 코일 및 상기 제2 코일은 상기 챔버 측으로 노출되지 않는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드.
  6. 잉크를 저장하는 리저버, 상기 리저버로부터 잉크를 공급 받는 챔버, 상기 리저버와 상기 챔버를 연결하는 리스트릭터, 및 잉크를 토출하는 노즐을 포함하는 잉크젯 헤드를 제조하는 방법으로서,
    내부에 제1 코일이 매립되는 진동 플레이트를 형성하는 단계;
    상기 챔버가 가공된 챔버 플레이트를 형성하는 단계;
    상기 리스트릭터가 가공되며, 내부에 제2 코일이 매립되는 제1 중간 플레이트를 형성하는 단계;
    상기 리저버 및 상기 노즐이 가공되는 하부 플레이트부를 형성하는 단계; 및
    상기 진동 플레이트, 상기 챔버 플레이트, 상기 제1 중간 플레이트 및 상기 하부 플레이트부를 적층하는 단계를 포함하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 진동 플레이트를 형성하는 단계는,
    제1 그린시트의 상면에 상기 제1 코일을 패터닝 하는 단계;
    상기 제1 그린시트의 상면에 제2 그린시트를 적층하는 단계; 및
    상기 제1 그린시트 및 상기 제2 그린시트를 저온 동시 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 챔버 플레이트를 형성하는 단계는,
    제3 그린시트에 상기 챔버를 가공하는 단계;
    상기 챔버에 지지체를 채우는 단계;
    상기 제3 그린시트를 소결 시키는 단계; 및
    상기 지지체를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 하부 플레이트부는,
    상기 리저버가 형성되며, 상기 제1 중간 플레이트의 하면에 적층되는 리저버 플레이트;
    상기 리저버 플레이트의 하면에 적층되는 제2 중간 플레이트; 및
    상기 노즐이 형성되며, 상기 제2 중간 플레이트의 하면에 적층되는 노즐 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 진동 플레이트 및 상기 챔버 플레이트를 관통하며, 상기 제2 코일과 전기적으로 연결되는 비아를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 제1 코일 및 상기 제2 코일은 상기 챔버 측으로 노출되지 않는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 제조방법.
KR1020080032071A 2008-04-07 2008-04-07 잉크젯 헤드 및 그 제조방법 KR100962040B1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080032071A KR100962040B1 (ko) 2008-04-07 2008-04-07 잉크젯 헤드 및 그 제조방법
US12/285,134 US7980681B2 (en) 2008-04-07 2008-09-29 Ink-jet head and manufacturing method thereof
JP2008260956A JP2009248568A (ja) 2008-04-07 2008-10-07 インクジェットヘッド及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080032071A KR100962040B1 (ko) 2008-04-07 2008-04-07 잉크젯 헤드 및 그 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090106749A KR20090106749A (ko) 2009-10-12
KR100962040B1 true KR100962040B1 (ko) 2010-06-08

Family

ID=41132877

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080032071A KR100962040B1 (ko) 2008-04-07 2008-04-07 잉크젯 헤드 및 그 제조방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7980681B2 (ko)
JP (1) JP2009248568A (ko)
KR (1) KR100962040B1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102089406B1 (ko) 2017-04-26 2020-03-16 주식회사 엘지화학 노즐 조립체 및 이를 포함하는 3d 프린터
CN110542455B (zh) * 2019-09-16 2021-11-05 中北大学 一种压力/振动同步测量的htcc复合微传感器及其制备方法
KR102567535B1 (ko) * 2020-11-16 2023-08-22 세메스 주식회사 잉크젯 프린트 헤드 및 잉크젯 프린트 헤드의 코팅 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000094680A (ja) 1998-09-17 2000-04-04 Nec Corp インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP2002273875A (ja) 2001-03-16 2002-09-25 Hitachi Koki Co Ltd インクジェットプリントヘッド
JP2006240020A (ja) 2005-03-02 2006-09-14 Fuji Photo Film Co Ltd 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP2008030213A (ja) 2006-07-26 2008-02-14 Seiko Epson Corp 磁気アクチュエータ、インクジェットヘッド、及びインクジェットプリンタ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4730197A (en) * 1985-11-06 1988-03-08 Pitney Bowes Inc. Impulse ink jet system
JPH06333742A (ja) * 1993-05-19 1994-12-02 Sumitomo Electric Ind Ltd 積層コイル
JP3813725B2 (ja) * 1998-01-23 2006-08-23 富士写真フイルム株式会社 インクジェットヘッド及びその駆動方法
JP2000301719A (ja) * 1999-02-17 2000-10-31 Konica Corp インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法
US6350015B1 (en) 2000-11-24 2002-02-26 Xerox Corporation Magnetic drive systems and methods for a micromachined fluid ejector
JP4529739B2 (ja) * 2005-03-09 2010-08-25 富士フイルム株式会社 液体吐出ヘッド、画像形成装置及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP2006264079A (ja) 2005-03-23 2006-10-05 Fuji Xerox Co Ltd 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び、液滴吐出ヘッド製造方法
JP4933114B2 (ja) * 2006-02-28 2012-05-16 富士フイルム株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP2007284297A (ja) * 2006-04-18 2007-11-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd グリーンシート、これを用いた多層基板およびその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000094680A (ja) 1998-09-17 2000-04-04 Nec Corp インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP2002273875A (ja) 2001-03-16 2002-09-25 Hitachi Koki Co Ltd インクジェットプリントヘッド
JP2006240020A (ja) 2005-03-02 2006-09-14 Fuji Photo Film Co Ltd 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法
JP2008030213A (ja) 2006-07-26 2008-02-14 Seiko Epson Corp 磁気アクチュエータ、インクジェットヘッド、及びインクジェットプリンタ

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009248568A (ja) 2009-10-29
US7980681B2 (en) 2011-07-19
KR20090106749A (ko) 2009-10-12
US20090251519A1 (en) 2009-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7121650B2 (en) Piezoelectric ink-jet printhead
JP5084744B2 (ja) 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム
KR100962040B1 (ko) 잉크젯 헤드 및 그 제조방법
WO2009119707A1 (ja) 液滴吐出装置及び液滴吐出装置の製造方法
US6701593B2 (en) Process for producing inkjet printhead
JP5309375B2 (ja) インクジェットプリントヘッド及びその製造方法
JP2004304025A (ja) 圧電アクチュエータ、インクジェット記録ヘッドおよびこれらの製造方法
JP2007106016A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法
JP5893977B2 (ja) 液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置
JP2004136461A (ja) 液体圧力発生機構
JP2009149026A (ja) 液体移送装置の製造方法、及び、液体移送装置
US20090102895A1 (en) Piezoelectric inkjet printhead and method of manufacturing the same
JP5011342B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP2005169965A (ja) 液体吐出ヘッドの製造方法
KR20110107595A (ko) 잉크젯 프린트 헤드의 제조 방법
US20060225259A1 (en) Piezoelectric vibration plate
KR100771967B1 (ko) 압전방식 잉크젯 프린터 헤드 제조방법
JP4860728B2 (ja) インクジェットヘッドの製造方法
JP3842656B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP2000103056A (ja) インクジェットヘッド及びその製造方法
JP2005039985A (ja) 圧電アクチュエータおよびインクジェット記録ヘッド
JP2005044927A (ja) 圧電アクチュエータ及びその製造方法並びに液体吐出装置
JP2005154207A (ja) グリーンシート、積層成形体、積層基板及びその製造方法
JP2008110595A (ja) インクジェットヘッドの製造方法及びオリフィスプレートの製造方法
JP2005022164A (ja) 印刷ヘッドおよび電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130403

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140325

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee