KR100921865B1 - 도포 장치 - Google Patents

Abstract

도포 장치(1)에서는, 복수의 노즐(17)로부터 유기 EL액을 연속적으로 토출하면서 도포 헤드(14)가 주주사 방향으로 이동함으로써, 시험 도포 유닛(2)의 2개의 시험 도포 스테이지부(21)의 각각에 있어서, 테이프 유지부로 유지된 수지 테이프의 시험 도포면에 유기 EL액이 도포된다. 그리고 CCD 카메라(13)에 의해 취득된 시험 도포면 상의 유기 EL액의 패턴의 화상에 의거하여 노즐 피치가 검출되고, 검출 결과에 의거하여 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 피치가 피치 조정 기구(3)에 의해 조정된다. 이에 의해, 도포 장치(1)의 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 피치를, 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포를 행하지 않고 고정밀도로 조정할 수 있다

Description

도포 장치{LIQUID MATERIAL APPLYING APPARATUS}

본 발명은, 기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.

종래부터, 유기 EL(Electro Luminescence) 재료를 이용한 유기 EL 표시 장치의 개발이 행해지고 있고, 예를 들면, 고분자 유기 EL 재료를 이용한 액티브 매트릭스 구동 방식의 유기 EL 표시 장치의 제조에서는, 유리 기판(이하, 단순히 「기판」이라고 한다.)에 대하여, TFT(Thin Film Transistor) 회로의 형성, 양극이 되는 ITO(Indium Tin Oxide) 전극의 형성, 격벽의 형성, 정공 수송 재료를 포함한 유동성 재료(이하,「정공 수송액」이라고 한다.)의 도포, 가열 처리에 의한 정공 수송층의 형성, 유기 EL 재료를 포함한 유동성 재료(이하, 「유기 EL액」이라고 한다.)의 도포, 가열 처리에 의한 유기 EL층의 형성, 음극의 형성, 및, 절연막의 형성에 의한 밀봉이 차례로 행해진다.

유기 EL 표시 장치의 제조에 있어서, 정공 수송액 또는 유기 EL액을 기판에 도포하는 장치의 하나로서 일본국특허공개 2002－75640호 공보(문헌 1) 및 일본국특허공개 2003－10755호 공보(문헌 2)에 나타낸 바와 같이, 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 복수의 노즐을 기판에 대하여 상대 이동함으로써, 기판에 유동성 재 료를 도포하는 장치가 알려져 있다.

문헌 1 및 문헌 2의 장치에서는, 복수의 노즐을 주주사 방향으로 이동함과 더불어, 주주사 방향으로의 노즐의 이동이 행해질 때마다 기판을 부주사 방향으로 이동함으로써, 기판 상의 도포 영역에 형성된 복수의 격벽간의 홈에 유동성 재료가 스트라이프 형상으로 도포된다. 문헌 1 및 문헌 2의 도포 장치에서는, 3개의 노즐이 유지 부재에 의해 일체적으로 유지되어 있고, 기판에 수직인 지지축을 중심으로 하여 당해 유지 부재를 회전하여 3개의 노즐의 부주사 방향에 있어서의 피치를 작게함으로써, 유동성 재료의 도포 피치를 좁게 할 수 있다.

한편, 일본국 특허공개 2004－74050호 공보(문헌 3)에서는, 1개의 노즐을 주주사 방향으로 이동함과 더불어, 주주사 방향으로의 노즐의 이동이 행해질 때마다 기판을 부주사 방향으로 이동함으로써, 기판상의 도포 영역에 형성된 복수의 격벽간의 홈에 유동성 재료를 스트라이프 형상으로 도포하는 도포 장치가 개시되어 있다. 문헌 3의 도포 장치에서는, 노즐과 기판 사이에 설치된 마스크에 유기 EL액을 도포하고, 마스크 상에 있어서의 유기 EL액의 도포 궤적 및 기판 상의 홈의 화상 데이터에 의거하여 기판의 기울기를 보정하고, 노즐의 주주사 방향과 홈이 연장하는 방향을 일치시키는 것이 행해지고 있다.

그런데, 이러한 장치에서는 통상, 노즐의 피치 조정은 작업원의 수작업으로 행해지고, 조정 결과의 확인도 작업원이 도포 결과를 직접 봄으로써 행해지지만, 고정밀도의 피치 조정은 곤란한 것이므로, 조정에 필요한 작업 시간 및 노력도 다대한 것이 된다. 또, 조정 전의 피치 검출시나 조정 결과의 확인시 등의 시험 도포 는, 제품용의 기판의 비도포 영역에 대하여 행해지는 것이지만, 노즐의 갯수가 많은 경우에는, 시험 도포에 필요로 하는 폭이 비도포 영역의 폭보다 커져, 노즐의 피치 조정을 행할 수 없게 된다.

본 발명은, 기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치에 관한 것으로서, 도포 장치의 복수의 노즐의 피치를, 기판에 대한 유동성 재료의 도포를 행하지 않고 고정밀도로 조정하는 것을 목적으로 한다.

도포 장치는, 기판을 유지하는 기판 유지부와, 상기 기판의 주면을 향해 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 복수의 노즐과, 상기 복수의 노즐을 상기 기판의 상기 주면에 평행한 주주사 방향으로 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동함과 더불어, 상기 주주사 방향으로의 이동이 행해질 때마다 상기 기판을 상기 복수의 노즐에 대하여 상기 주면에 평행 또한 상기 주주사 방향에 수직인 부주사 방향으로 상대적으로 이동하는 노즐 주사 기구와, 상기 기판으로의 비도포시에 상기 복수의 노즐로부터의 유동성 재료가 시험 도포되는 시험 도포면을 갖는 시험 도포부와, 상기 시험 도포부를 상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향에 있어서의 상대 이동의 경로에 대하여 진퇴시켜, 시험 도포시에 상기 복수의 노즐과 상기 시험 도포면 사이의 거리를 도포시의 상기 복수의 노즐과 상기 기판의 상기 주면 사이의 거리와 동일하게 하는 시험 도포부 진퇴 기구와, 상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향으로의 상대 이동에 의해 상기 시험 도포면에 도포된 유동성 재료의 패턴의 화상을 취득하는 촬상부와, 상기 촬상부에 의해 취득된 화상에 의거하여 상기 복수의 노즐의 상기 부주사 방향에 있어서의 피치를 검출하는 피치 검출부와, 상기 복수의 노 즐의 상기 부주사 방향에 있어서의 피치를 조정하는 피치 조정 기구와, 상기 시험 도포부의 상기 시험 도포면을 새로운 시험 도포면과 교환하는 시험 도포면 교환기구를 구비한다. 본 발명에 의하면, 기판에 대한 유동성 재료의 도포를 행하지 않고, 복수의 노즐의 피치를 고정밀도로 조정할 수 있다.

본 발명의 일 바람직한 실시 형태에서는, 도포 장치는, 상기 기판 유지부를 상기 기판의 상기 주면에 수직인 회전축을 중심으로 회전하는 기판 회전 기구와, 상기 주주사 방향에 있어서 상기 시험 도포면으로부터 이격하여 설치되는 또 하나의 시험 도포면에 도포된 유동성 재료의 패턴의 화상을 취득하는 또 하나의 촬상부와, 상기 촬상부 및 상기 또 하나의 촬상부에 의해 취득된 유동성 재료의 패턴의 화상, 및, 상기 촬상부 및 상기 또 하나의 촬상부에 의해 취득된 상기 기판의 상기 주면 상의 위치 결정용 표지의 화상에 의거하여 상기 노즐 주사 기구 및 상기 기판 회전 기구를 제어함으로써 상기 기판의 상기 복수의 노즐에 대한 상대 위치를 조정하는 기판 위치 조정부를 더 구비한다. 이에 의해, 기판의 위치 조정을 고정밀도로 행할 수 있다.

본 발명의 다른 바람직한 실시 형태에서는, 상기 시험 도포부가, 수지 테이프의 일부를 유지하는 테이프 유지부이고, 상기 시험 도포면이, 상기 수지 테이프의 상기 일부의 주면이며, 상기 시험 도포면 교환기구가, 상기 수지 테이프를 상기 시험 도포부로 풀어내는 테이프 공급부를 구비한다.

본 발명의 또한 다른 실시 형태에서는, 상기 시험 도포면이, 유동성 재료에 대한 젖음성이 상기 기판의 상기 주면과 동등하게 된 시험편의 주면이며, 상기 시험 도포부가, 상기 시험편을 유지하는 시험편 유지부이다.

상술한 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 행하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 밝혀진다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태와 관련된 도포 장치(1)를 도시한 평면도이며, 도 2는 도포 장치(1)의 정면도이다. 도포 장치(1)는, 평면 표시 장치용의 유리 기판(9) (이하, 단순히 「기판(9)」이라고 한다.)에, 평면 표시 장치용의 화소 형성 재료를 포함한 유동성 재료를 도포하는 장치이다. 본 실시 형태에서는, 도포 장치(1)에 있어서, 액티브 매트릭스 구동 방식의 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치용 기판(9)에, 유기 EL재료를 포함한 유동성 재료(이하, 「유기 EL액」이라고 한다.)가 도포된다.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 도포 장치(1)는, 기판(9)을 유지하는 기판 유지부(11), 기판 유지부(11)를 기판(9)의 주면에 평행한 소정의 방향(즉, 도 1 중의 Y 방향이며, 이하,「부주사 방향」이라고 한다.)으로 수평 이동하는 기판 이동 기구(12), 및, 기판 유지부(11)를 기판(9)의 주면에 수직인 회전축을 중심으로 회전하는 기판 회전 기구(12a)를 구비한다. 기판 유지부(11)는, 내부에 히터에 의한 가열 기구(도시 생략)를 구비한다.

도포 장치(1)는, 또, 기판(9) 상에 배치된 2개의 촬상부인 CCD 카메라(13), 2개의 CCD 카메라(13)를 부주사 방향으로 각각 개별적으로 이동하는 2개의 촬상부 이동 기구(13a), 기판 유지부(11) 상의 기판(9)의 (＋Z)측의 주면(이하,「상면」이라고 한다.)(91)을 향해 복수의 노즐(17)로부터 유기 EL액을 연속적으로 토출하는 토출 기구인 도포 헤드(14), 도포 헤드(14)를 기판(9)의 주면에 평행 또한 부주사 방향에 수직인 방향(즉, 도 1 중의 X방향이며, 이하,「주주사 방향」이라고 한다.)으로 수평 이동하는 헤드 이동 기구(15), 도포 헤드(14)의 이동 방향(즉, X 방향)에 관해 기판 유지부(11)의 양측으로 설치됨과 더불어 도포 헤드(14)로부터의 유기 EL액을 받는 2개의 액받이부(16), 및, 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 피치를 조정하는 피치 조정 기구(3)를 구비하고, 도 1에 도시한 바와 같이, 도포 헤드(14)로부터의 유기 EL액이 시험 도포되는 시험 도포 유닛(2)을 구비한다. 또, 도포 장치(1)는, 이러한 구성을 제어하는 제어부(10)를 구비한다.

제어부(10)는, 통상의 컴퓨터와 마찬가지로, 각종 연산 처리를 행하는 CPU, 실행되는 프로그램을 기억하거나 연산 처리의 작업 영역이 되는 RAM, 기본 프로그램을 기억하는 ROM, 각종 정보를 기억하는 고정 디스크, 작업자에게 각종 정보를 표시하는 디스플레이, 및, 키보드나 마우스 등의 입력부 등을 접속한 구성이 된다. 도 3은, 제어부(10)의 CPU 등이 프로그램에 따라서 연산 처리를 행함으로써 실현되는 기능을 다른 구성과 함께 도시한 블럭도이며, 도 3 중의 피치 검출부(101), 조정 기구 제어부(102) 및 기판 위치 조정부(103)가, CPU 등에 의해 실현되는 기능에 상당한다. 또한, 이러한 기능은 복수대의 컴퓨터에 의해 실현되어도 된다.

도 1에 도시한 도포 헤드(14)에서는, 16개의 노즐(17)이, 도 1 중의 X 방향(즉, 주주사 방향)에 관해 대략 직선 형상으로 떨어져서 배열됨과 더불어 도 1중의 Y 방향(즉, 부주사 방향)으로 약간 어긋나서 배치된다. 본 실시 형태에서는, 인접하는 2개의 노즐(17) 사이의 부주사 방향에 관한 거리는, 기판(9)의 도포 영역 상에 미리 형성되어 있는 주주사 방향으로 연장하는 격벽간의 피치(이하, 「격벽 피치」라고 한다.)의 3배와 동일하게 된다. 도포 장치(1)에서는, 기판(9)에의 유기 EL액의 비도포시에 시험 도포 유닛(2)에 대하여 유기 EL액의 시험 도포가 행해지고, 시험 도포의 결과에 의거하여 피치 조정 기구(3)가 제어됨으로써, 복수의 노즐(17)간의 부주사 방향에 관한 거리가 조정된다. 노즐(17)의 피치의 조정 방법에 대하여는 후술한다.

도 4 및 도 5는 각각, 도포 헤드(14)의 일부를 도시한 정면도 및 평면도이다. 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 도포 헤드(14)는, 기판(9)의 상면(91)(도 1 참조)을 향해 유기 EL액을 연속적으로 토출하는 16개의 노즐(17), 및, 당해 16개의 노즐이 장착되는 노즐 부착부(141)를 구비한다. 노즐 부착부(141)는, Y 방향에 대략 수직인 등받이부(1411), 및, 등받이부(1411)의 하단부(즉, (-Z)측의 단부)에 고정되는 Z 방향에 대략 수직인 수평부(1412)를 구비한다.

16개의 노즐(17)은 각각, 수평부(1412)의 (-Y)측의 엣지로부터 (＋Y)방향(즉, 부주사 방향)으로 연장하는 안내홈(142)에 이동 가능하게 장착되어 있고, 각 노즐(17)의 (-X)측에는, 노즐(17)의 노즐 부착부(141)에 대한 위치를 고정하는 노즐 잠금부(173)가 설치되어 있다.

도 1에 도시한 도포 장치(1)에서는, 16개의 노즐(17)이 노즐 부착부(141)(도 4 및 도 5 참조)에 고정된 상태로, 헤드 이동 기구(15)에 의해, 도포 헤드(14)가 복수의 노즐(17)로부터 유기 EL액을 연속적으로 토출하면서 주주사 방향으로 이동하고, 도포 헤드(14)의 주주사 방향으로의 이동이 1회 행해질 때마다, 기판 이동 기구(12)에 의해 기판(9)이 부주사 방향((＋Y) 방향)으로 스텝 이동한다. 그리고 복수의 노즐(17)의 기판(9)에 대한 주주사 방향 및 부주사 방향으로의 상대적인 이동이 반복됨으로써, 기판(9)의 상면(91)에 유기 EL액이 스트라이프 형상으로 도포된다. 도포 장치(1)에서는, 헤드 이동 기구(15) 및 기판 이동 기구(12)가 각각, 16개의 노즐(17)을 노즐 부착부(141)와 함께 기판(9)에 대하여 주주사 방향 및 부주사 방향으로 상대적으로 이동하는 노즐 주사 기구가 된다.

또, 도포 장치(1)에서는, 피치 조정 기구(3)가, 기판 유지부(11)의 (＋X)측에 있어서 도포 헤드(14)와는 개별적으로 설치되어 있고, 16개의 노즐(17) 및 노즐 부착부(141)(도 4 및 도 5 참조)는, 노즐 주사 기구의 헤드 이동 기구(15)에 의해, 피치 조정 기구(3)로부터 독립해서 이동한다. 바꾸어 말하면, 피치 조정 기구(3)는, 노즐 주사 기구에 의한 기판(9)에 대한 도포 헤드(14)의 상대 이동으로부터 독립해서 배치된다.

피치 조정 기구(3)는, 복수의 노즐(17)에 각각 대응하는 복수(본 실시 형태에서는, 16개)의 조정 헤드를 구비한다. 도 6 및 도 7은, 피치 조정 기구(3)의 복수의 조정 헤드 중 가장 (-X)측에 위치하는 하나의 조정 헤드(30), 및, 도포 헤드(14)의 일부를 각각 도시한 평면도 및 좌측면도이다. 도 6에서는, 도면의 이해를 용이하게 하기 위하여, 도 4 및 도 5에 도시한 노즐 잠금부(173)의 도시를 생략하고 있다. 또, 도 7에서는, 도면의 이해를 용이하게 하기 위하여, 노즐 부착부(141) 및 노즐(17)의 일부를, 노즐(17)의 중심축을 포함한 단면으로 도시한다. 피치 조정 기구(3)에서는, 복수의 조정 헤드(30)의 구조는 모두 동일하게 된다.

도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 조정 헤드(30)는, 노즐 부착부(141)의 수평부(1412)에 (＋Y)측 및 (-Y)측으로부터 제1 고정부(311) 및 제2 고정부(314)를 접촉시켜 노즐 부착부(141)를 고정하는 부착부 고정 기구(31), 노즐(17)에 (-Y)측(즉, 부주사 방향의 한쪽측)으로부터 접촉하는 노즐 접촉부(32), 노즐 접촉부(32)와는 반대측(즉, 노즐(17)의 (＋Y)측이며, 부주사 방향의 한쪽측이기도 하다.)으로부터 노즐(17)을 노즐 접촉부(32)로 가압하는 노즐 가압 기구(33), 및, 노즐 가압 기구(33)에 의해 가압되고 있는 노즐(17)이 접촉하는 노즐 접촉부(32)의 부주사 방향의 위치를 조정하는 접촉부 이동 기구(34)를 구비한다.

피치 조정 기구(3)에서는, 노즐 부착부(141)가 부착부 고정 기구(31)의 제1 고정부(311) 및 제2 고정부(314)에 끼워져 고정된 상태로, 잠금부 조작 기구(도시 생략)에 의해 노즐 잠금부(173)(도 4 및 도 5 참조)에 의한 잠금이 해제되고, 접촉부 이동 기구(34)의 스텝 모터(343), 및, 노즐 가압 기구(33)의 레귤레이터(333)에 접속된 에어 실린더(332)가, 제어부(10)의 조정 기구 제어부(102)(도 3 참조)에 의해 구동된다. 이에 의해, 노즐 접촉부(32) 및 노즐 가압 기구(33)의 로드(331)가 노즐(17)에 (-Y)측 및 (＋Y)측으로부터 각각 접촉하고, 접촉부 이동 기구(34)에 의해 노즐 접촉부(32)가 (＋Y)방향으로 이동함으로써, 노즐(17)이 노즐 가압 기구(33)에 의해 노즐 접촉부(32)에 가압된 상태로 (＋Y)방향으로 이동한다. 그리고 노즐(17)이 원하는 거리만큼 이동하면, 다시 잠금부 조작 기구에 의해 노즐 잠금 부(173)가 조작되어 노즐(17)의 위치가 고정된다.

도 1에 도시한 도포 장치(1)에 있어서 노즐의 피치가 조정될 때에는, (-X)측으로부터 8번째의 노즐(17)이 기준 노즐이 되고, 피치 조정 기구(3)의 잠금부 조작 기구에 의해, 기준 노즐을 제외한 다른 15개의 노즐의 잠금이 필요에 따라서 해제된다. 그리고 당해 15개의 노즐(17)이 부주사 방향으로 이동되고, 각 노즐(17)의 부주사 방향에 관한 기준 노즐로부터의 거리가 소정의 거리가 되도록 각 노즐(17)의 위치가 조정된다. 피치 조정 기구(3)에 의한 노즐(17)의 위치 조정(즉, 각 노즐간 거리의 조정)은, 시험 도포 유닛(2)에 시험 도포된 유기 EL액의 화상으로부터, 도 3에 도시한 제어부(10)의 피치 검출부(101)에 의해 검출된 각 노즐간 거리에 의거하여(즉, 피치 검출부(101)의 검출 결과에 의거하여), 피치 조정 기구(3)의 접촉부 이동 기구(34)(도 6 및 도 7 참조)가 조정 기구 제어부(102)로 제어됨으로써 행해진다.

도 1에 도시한 바와 같이, 시험 도포 유닛(2)은, 기판 유지부(11)의 (＋Y)측에 설치되고, X 방향으로 이격함과 더불어 Y 방향에 관해 거의 같은 위치에 배치된 2개의 시험 도포 스테이지부(21), 및, 2개의 시험 도포 스테이지부(21) 사이에 있어서 X 방향으로 연장함과 더불어 양단부가 시험 도포 스테이지부(21)에 고정되는 중앙 액받이부(22)를 구비한다. 각 시험 도포 스테이지부(21)는, 슬라이더(211)(도 8 및 도 9 참조)를 통해 기판 이동 기구(12)의 레일(121) 상에 Y 방향으로 이동 가능하게 장착되어 있고, 또, 접속부(111)를 통해 기판 유지부(11)에 고정되어 있다. 도포 장치(1)에서는, 기판 이동 기구(12)에 의해 기판 유지부(11)가 Y 방향으로 이 동함으로써, 시험 도포 유닛(2)도 기판 유지부(11)와 함께 Y 방향으로 이동한다.

도 8 및 도 9는, (＋X)측의 시험 도포 스테이지부(21)를 각각 도시한 좌측면도 및 배면도이다. 도 8 및 도 9에서는, 기판 이동 기구(12)의 일부도 아울러 그리고 있으며, 도 9에서는, 중앙 액받이부(22)의 일부도 아울러 도시하고 있다. 또, 도 8 및 도 9에서는, 도시의 형편상, 시험 도포 스테이지부(21)의 하우징(212)을 단면으로 도시하고 있다(도 13 및 도 15에 있어서도 동일). 도 9에서는, 수지 테이프(213)도 단면으로 도시하고 있다. 도포 장치(1)에서는, 도 1에 도시한 (-X)측의 시험 도포 스테이지부(21)도, 도 8 및 도 9에 도시한 (＋X)측의 시험 도포 스테이지부(21)와 거의 동일한 구조를 갖는다.

도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 시험 도포 스테이지부(21)는, 기판 이동 기구(12)의 레일(121)에 이동 가능하게 장착되는 슬라이더(211), 슬라이더(211) 상에 고정되는 하우징(212), 유기 EL액의 시험 도포가 행해지는 시험 도포 부재인 수지 테이프(213), 하우징(212)의 상부에 있어서 수지 테이프(213)의 시험 도포가 행해지는 부위를 유지하는 테이프 유지부(214), 미사용의(즉, 유기 EL액의 시험 도포가 행해지지 않는다) 롤 형상의 수지 테이프(213)를 유지함과 더불어 당해 수지 테이프(213)를 풀어내어 테이프 유지부(214)로 공급하는 테이프 공급부(215), 및, 유기 EL액의 시험 도포가 행해진 수지 테이프(213)의 사용이 끝난 부분을 옮겨 감아 회수하는 테이프 회수부(216)를 구비한다. 본 실시 형태에서는, 수지 테이프(213)로서 PPS(폴리페닐렌 아황산염)계의 수지 테이프가 이용된다.

시험 도포 스테이지부(21)는, 또, 도 9에 도시한 바와 같이, 테이프 공급 부(215) 및 테이프 회수부(216)를 회전하는 모터(2171) 및 웜 기어(2172), 및, 테이프 유지부(214)의 (+X)측((-X)측의 시험 도포 스테이지부(21)에서는, 테이프 유지부(214)의 (-X)측)에 배치되는 외측 액받이부(218)를 구비하고, 외측 액받이부(218)는, 테이프 유지부(214)의 (-X)측((-X)측의 시험 도포 스테이지부(21)에서는, 테이프 유지부(214)의 (＋X)측)에 배치되는 중앙 액받이부(22)와 함께, 테이프 유지부(214)로 유지된 수지 테이프(213)보다 약간 아래쪽(즉, (-Z)측)에 배치된다.

시험 도포 스테이지부(21)에서는, 모터(2171)가 구동됨으로써, 테이프 공급부(215) 및 테이프 회수부(216)가 각각, 도 8 중에 있어서의 반시계 둘레로 소정의 각도만큼 회전한다. 이에 의해, 테이프 유지부(214)에 있어서, 수지 테이프(213)가 (＋Y)방향으로 소정의 길이만큼 보내어지고, 수지 테이프(213)의 미사용 부분이 테이프 유지부(214)에 위치한다. 시험 도포 스테이지부(21)는, 도 8에 도시한 바와 같이, 테이프 공급부(215)와 테이프 유지부(214) 사이에, 테이프 공급부(215)로부터 풀어내는 수지 테이프(213)의 종단을 검출하는 센서(2151)를 구비하고, 또, 테이프 회수부(216)의 근방에, 테이프 회수부(216)에 소정량의 수지 테이프(213)가 옮겨 감아진 것을 검출하는 센서(2161)를 구비한다.

도 8 및 도 9에 도시한 시험 도포 스테이지부(21)에서는, 수지 테이프(213)의 테이프 유지부(214)로 유지되고 있는 일부의 (+Z)측의 주면이, 복수의 노즐(17) (도 1 참조)로부터의 유기 EL액이 시험 도포되는 시험 도포면(2131)이 되고, 수지 테이프(213)의 당해 일부를 유지하는 테이프 유지부(214)가, 시험 도포면(2131)을 갖는 시험 도포부가 된다. 또, 수지 테이프(213)를 공급 및 회수하는 테이프 공급 부(215) 및 테이프 회수부(216)가, 시험 도포부의 시험 도포면(2131)을 새로운 시험 도포면과 교환하는 시험 도포면 교환기구가 된다. 바꾸어 말하면, 시험 도포 유닛(2)은, 주주사 방향에 있어서 이격하여 설치되는 2개의 시험 도포면(2131), 및, 2개의 시험 도포면(2131)을 개별적으로 새로운 시험 도포면과 교환하는 2개의 시험 도포면 교환기구를 구비한다.

도 10은, 도 8 및 도 9에 도시한 테이프 유지부(214) 근방을 도시한 평면도이다. 도 8 내지 도 10에 도시한 바와 같이, 테이프 유지부(214)는, 수지 테이프(213)의 (-Z)측(즉, 시험 도포면(2131)과는 반대측)에 배치되어 수지 테이프(213)를 흡착하는 테이프 흡착부(2141), 수지 테이프(213)의 (＋Z)측에 배치되어(즉, 시험 도포면(2131)과 대향하도록 배치되어) 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131) 근방의 부위를 테이프 흡착부(2141)를 향해 압압하는 테이프 압압부(2142), 테이프 압압부(2142)를 Z 방향으로 승강하는 압압부 승강기구(2143), 및, 테이프 압압부(2142) 및 압압부 승강기구(2143)를 Y 방향으로 이동하는 압압부 이동 기구(2144)를 구비한다.

테이프 흡착부(2141)는, 수지 테이프(213)를 유지함과 더불어 기판 유지부(11) 상의 기판(9)의 상면(91)(도 1 참조)에 평행한 유지 평면(2145)을 구비하고, 테이프 압압부(2142)는, 도 10에 도시한 바와 같이, 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131)의 (-Y)측 및 (-Y)측에 있어서 X 방향으로 연장하는 2개의 손톱부(2146)를 구비한다. 도 8 내지 도 10에 도시한 테이프 유지부(214)에서는, 압압부 승강기구(2143)에 의해 테이프 압압부(2142)가 하강함으로써, 테이프 흡착 부(2141) 상에 있어서 (＋Z)측에 볼록 형상이 되도록 약간 휘어 있는 수지 테이프(213)가, 2개의 손톱부(2146)에 의해 테이프 흡착부(2141)의 유지 평면(2145)을 향해 압압된다.

그리고 테이프 흡착부(2141)에 의해 수지 테이프(213)가 진공 흡착됨으로써, 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131)이, 테이프 흡착부(2141)의 유지 평면(2145) 상에 평활한 상태로 고정되어 기판(9)의 상면(91)(도 1 참조)와 같은 높이가 된다. 시험 도포 스테이지부(21)에서는, 테이프 흡착부(2141) 및 테이프 압압부(2142)가, 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131)을 고정하는 테이프 고정부가 된다. 테이프 압압부(2142)는, 테이프 흡착부(2141)에 의한 수지 테이프(213)의 흡착 후, 압압부 승강기구(2143)에 의해 상승하여 수지 테이프(213)로부터 이격함과 더불어, 압압부 이동 기구(2144)에 의해 (＋Y)방향으로 이동하여, 시험 도포면(2131) 상으로부터 퇴피(退避)한다.

다음으로, 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포가 행해지기 전의 도포 장치(1)에 있어서의 준비작업에 대해 설명한다. 도포 장치(1)에서는, 준비작업으로서 도 1에 도시한 도포 헤드(14)의 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 피치(이하, 「노즐 피치」라고 한다.)가 조정되고, 기판(9)의 노즐(17)에 대한 상대 위치의 조정이 행해진 후, 기판(9)에 대하여 유기 EL액이 도포된다. 도 11a 및 도 11b는, 도포 장치(1)에 있어서의 준비작업(즉, 노즐 피치의 조정 및 기판(9)의 위치 조정)의 흐름을 도시한 도면이다.

도포 장치(1)에서는, 우선, 기판 유지부(11)가 도 1에 도시한 위치로부터 (- Y)방향으로 이동함으로써, 도 12에 도시한 바와 같이, 시험 도포 유닛(2)의 2개의 시험 도포 스테이지부(21)가, 도포 헤드(14)의 복수의 노즐(17)의 주주사 방향에 있어서의 이동 경로(즉, 기판(9)에 대한 상대 이동의 경로)의 아래쪽인 시험 도포 위치에 위치한다. 이 때, 2개의 시험 도포 스테이지부(21)가 각각, 2개의 CCD 카메라(13)의 아래쪽에 위치한다(스텝(S11)).

도포 장치(1)에서는, 기판 이동 기구(12)가, 시험 도포 유닛(2)의 2개의 시험 도포부인 테이프 유지부(214)(도 8 내지 도 10 참조)를, 복수의 노즐(17)의 주주사 방향에 있어서의 이동 경로에 대하여 진퇴시키는 시험 도포부 진퇴 기구가 된다. 또한, 시험 도포 유닛(2)은 반드시 기판 유지부(11)와 함께 이동될 필요는 없고, 기판 이동 기구(12)와는 독립해서 구동되는 다른 시험 도포부 진퇴 기구(예를 들면, 로드리스 실린더나 기판 이동 기구(12)의 레일(121) 상에 설치된 다른 이동자)에 의해, 시험 도포 유닛(2)이, 복수의 노즐(17)의 주주사 방향에 있어서의 이동 경로에 대하여 진퇴해도 된다.

시험 도포 유닛(2)이 시험 도포 위치에 위치하면, 도포 헤드(14)의 복수의 노즐(17)로부터 (＋X)측의 액받이부(16)를 향해 유기 EL액의 토출이 개시되고, 헤드 이동 기구(15)가 구동되어 도포 헤드(14)의 이동이 개시된다. 그리고 복수의 노즐(17)로부터 동일 종류의 유기 EL액을 연속적으로 토출하면서, 도포 헤드(14)가 (＋X)측의 액받이부(16) 상으로부터, 도 12 중에 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, (-X)측의 액받이부(16) 상으로 주주사 방향으로 이동함으로써, 시험 도포 유닛(2)의 각 시험 도포 스테이지부(21)에 있어서, 테이프 유지부(214)로 유지된 수지 테 이프(213)의 시험 도포면(2131)(도 8 내지 도 10 참조)에 유기 EL액이 스트라이프 형상으로 도포된다(스텝(S12)).

이 때, 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131)은, 상술한 바와 같이, 기판 유지부(11) 상의 기판(9)의 상면(91)과 같은 높이가 되기 때문에, Z 방향에 있어서의 복수의 노즐(17)과 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131) 사이의 거리는, 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포시의 복수의 노즐(17)과 기판(9)의 상면(91) 사이의 거리와 동일해지고 있다. 또, 2개의 시험 도포 스테이지부(21)의 사이에서는, 노즐(17)로부터 토출되는 유기 EL액이 중앙 액받이부(22)에 의해 받아지고, 각 시험 도포 스테이지부(21)의 시험 도포면(2131)과 액받이부(16) 사이에서는, 유기 EL액은 외측 액받이부(218)(도 9 참조)에 의해 받아진다.

이어서, 각 시험 도포 스테이지부(21)의 시험 도포면(2131)이 CCD 카메라(13)에 의해 촬상되고, 시험 도포면(2131)에 도포된 유기 EL액의 스트라이프 형상의 패턴의 화상이 취득되어 제어부(10)의 피치 검출부(101)(도 3 참조)로 보내어진다(스텝(S13)).

피치 검출부(101)에서는, (＋X)측의 CCD 카메라(13)에 의해 취득된 화상에 의거하여, 유기 EL액의 각 라인의 중심선이 구해지고, 인접하는 중심선간의 부주사 방향에 관한 각 거리(즉, 부주사 방향에 관해 서로 인접하는 2개의 노즐(17)간의 각 거리)가 노즐 피치로서 검출된다(스텝(S14)). 또한, 피치 검출부(101)에 의한 노즐 피치의 검출은, (-X)측의 CCD 카메라(13)에 의해 취득된 화상에 의거하여 행해져도 되며, 또, 2개의 CCD 카메라(13)에 의해 각각 취득된 화상의 쌍방에 의거하 여 행해져도 된다(예를 들면, 양 화상으로부터 구해진 노즐(17)의 피치의 평균치를 노즐 피치로 한다.).

그리고 기준 노즐인 (-X)측으로부터 8번째의 노즐(17)과 다른 15개의 노즐(17) 각각의 사이의 거리가 구해지고, 미리 정해져 있는 노즐 피치(상술한 바와 같이, 본 실시 형태에서는 격벽 피치의 3배와 동일한 거리이며, 이하,「목표 노즐 피치」라고 한다.)에 의거하여 각 노즐(17)의 위치의 조정이 필요한가의 여부가 확인된다(스텝(S15)). 각 노즐(17)의 기준 노즐에 대한 상대 위치가 소정의 위치가 되고 있는 경우, 제어부(10)에 의해 노즐 위치의 조정이 필요하지 않다고 판단되어 노즐 피치의 조정 작업이 종료한다.

반대로, 노즐 위치의 조정이 필요하다고 판단되었을 경우는, 상술한 바와 같이 구해진 각 노즐간 거리에 의거하여, 기준 노즐 이외의 15개의 노즐(17)(이하,「이동 노즐」이라고 한다.)의 부주사 방향에 있어서의 이동해야 할 양(이하, 단순히 「이동량」이라고 한다.)이 피치 검출부(101)에 의해 구해진다. 이하에서는, 15개의 이동 노즐의 모두에 대하여, 노즐 위치의 조정이 필요하다라고 판단된 것으로서 설명한다.

각 노즐(17)의 이동량이 구해지면, 도포 헤드(14)로부터의 유기 EL액의 토출이 정지된 후, 헤드 이동 기구(15)에 의해 도포 헤드(14)가 (＋X)측으로 이동되고, 도 12 중에 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 피치 조정 기구(3)와 대향하는 조정 위치에 위치한다. 이어서, 피치 조정 기구(3)의 각 조정 헤드(30)에 있어서, 도 6 및 도 7에 도시한 부착부 고정 기구(31)의 제1 고정부(311) 및 제2 고정부(314)에 의해, 노즐 부착부(141)의 수평부(1412)가 (-Y)측 및 (＋Y)측으로부터 끼워짐으로써, 노즐 부착부(141)가 고정된다.

다음으로, 각 조정 헤드(30)의 잠금부 조작 기구에 의해, 각 이동 노즐의 노즐 잠금부(173)에 의한 잠금이 해제되어 각 이동 노즐이 부주사 방향으로 이동 가능하게 된다. 그리고 제어부(10)의 조정 기구 제어부(102)(도 3 참조)에 의해, 각 이동 노즐에 대응하는 조정 헤드(30)에 있어서, 피치 조정 기구(3)의 구동부인 접촉부 이동 기구(34)의 스텝 모터(343)가 제어되고, 노즐(17)이 노즐 가압 기구(33)에 의해 노즐 접촉부(32)에 가압된 상태로, 피치 검출부(101)에 의해 구해진 이동량에 따라서 부주사 방향으로 이동된다(스텝(S151)). 각 이동 노즐의 부주사 방향으로의 이동이 종료하면, 잠금부 조작 기구에 의해 각 이동 노즐의 위치가 다시 고정된다. 또한, 15개의 이동 노즐에 대해 위치 조정이 불필요하다고 판단된 것이 있을 경우에는, 당해 이동 노즐의 잠금은 해제되지 않고, 또, 부주사 방향으로의 이동도 행해지지 않는다.

그 후, 부착부 고정 기구(31)의 제1 고정부(311) 및 제2 고정부(314)가 노즐 부착부(141)의 수평부(1412)로부터 떨어짐으로써, 도포 헤드(14)의 노즐 부착부(141)의 고정이 해제된다. 도 12에 도시한 도포 헤드(14)는, (＋X)측의 액받이부(16) 상으로 이동하고, 복수의 노즐(17)으로부터 유기 EL액의 토출이 개시된다.

이와 같이, 도포 장치(1)에서는, 피치 검출부(101)에 의해 구해진 이동량에 따라서, 1개의 기준 노즐을 제외한 모든 노즐(17)(즉, 전이동 노즐)이 부주사 방향으로 개별적으로 이동됨으로써 노즐 피치의 조정이 행해져도 된다. 본 실시 형태에 서는, 노즐 피치가 120μm ~ 700μm의 범위에서 조정된다. 또한, 도포 장치(1)에서는, 16개의 노즐(17)의 모두가 부주사 방향으로 개별적으로 이동되어 노즐 피치의 조정을 해도 된다.

이동 노즐의 부주사 방향에 있어서의 이동이 종료하면, 시험 도포 유닛(2)의 각 시험 도포 스테이지부(21)에 있어서, 도 8 내지 도 10에 도시한 테이프 흡착부(2141)에 의한 수지 테이프(213)의 흡착이 해제됨과 더불어, 압압부 이동 기구(2144)에 의해 테이프 압압부(2142)가 (-Y)방향으로 이동되고, 도 10에 도시한 바와 같이, 테이프 흡착부(2141)의 위쪽에 위치한다. 이어서, 도 9에 도시한 모터(2171)가 구동됨으로써, 도 8 내지 도 10에 도시한 테이프 유지부(214)에 있어서 수지 테이프(213)이 (＋Y)방향으로 소정의 길이만 보내어지고, 새로운 시험 도포면(2131)이 테이프 흡착부(2141) 상에 위치한다.

다음으로, 압압부 승강기구(2143)에 의해 테이프 압압부(2142)가 하강하여 수지 테이프(213)를 테이프 흡착부(2141)를 향해 압압함과 더불어, 테이프 흡착부(2141)에 의해 수지 테이프(213)가 흡착됨으로써, 시험 도포면이 새로운 시험 도포면(2131)과 교환되어 유지 평면(2145) 상에 고정된다(스텝(S152)). 수지 테이프(213)가 흡착되면, 테이프 압압부(2142)는 시험 도포면(2131) 상으로부터 퇴피한다.

시험 도포면(2131)이 교환되면, 스텝(S12)으로 돌아와서, 도포 헤드(14)가, 복수의 노즐(17)으로부터 유기 EL액을 토출하면서 (-X)방향으로 이동되고, 시험 도포 유닛(2)의 2개의 시험 도포면(2131)에 유기 EL액이 도포된다(스텝(S12)). 이어 서, CCD 카메라(13)에 의해 시험 도포면(2131) 상의 유기 EL액의 패턴의 화상이 취득되고, 피치 검출부(101)에 의해 노즐 피치가 검출되어 노즐 위치의 재조정이 필요한가의 여부가 확인된다(스텝(S13 ~ S15)). 그리고 노즐 위치의 조정이 불필요하다고 판단될 때까지, 피치 조정 기구(3)에 의한 노즐(17)의 부주사 방향으로의 이동, 및, 시험 도포면(2131)의 교환(스텝(S151, S152)), 및, 시험 도포면(2131)에의 유기 EL액의 도포, 노즐 피치의 검출, 및, 노즐 위치의 조정의 필요와 불필요 확인(스텝(S12~S15))이 반복된다.

노즐 피치의 조정이 종료하면, 2개의 CCD 카메라(13)에 의해 마지막에 취득된 시험 도포면(2131) 상의 유기 EL액의 패턴의 2개의 화상(즉, 노즐 피치의 조정이 불필요하다고 판단되었을 때의 화상이며, 이하, 「최종 화상」이라고 한다.)의 각각에 있어서, 제어부(10)의 기판 위치 조정부(103)(도 3 참조)에 의해, 화상 중에 있어서의 유기 EL액의 패턴의 부주사 방향의 위치가 구해진다. 이어서, (＋X)측의 CCD 카메라(13)에 의해 촬상된 최종 화상을 기준으로 하여, (-X)측의 CCD 카메라(13)에 의해 촬상된 최종 화상 중의 패턴의 위치의 부주사 방향에 있어서의 편차량(이하, 「위치 편차량」이라고 한다.)이 구해진다(스텝(S16)).

다음으로, (-X)측의 촬상부 이동 기구(13a)가 기판 위치 조정부(103)에 의해 제어됨으로써, (-X)측의 CCD 카메라(13)가, 위치 편차량과 동일한 거리만큼 부주사 방향으로 이동되어 2개의 CCD 카메라(13)의 상대 위치가 조정된다(스텝(S17)). 이에 의해, 2개의 CCD 카메라(13)의 촬상 영역의 중심을 연결하는 직선이, 도포 헤드(14)에 의해 도포되는 유기 EL액의 라인에 평행하게 된다. 구체적으로는, (-X)측 의 CCD 카메라(13)에 의한 최종 화상 중의 유기 EL액의 패턴이, (＋X)측의 최종 화상에 비해 (-Y)측으로 어긋나 있는 경우에는, (-X)측의 CCD 카메라(13)가 (-Y)방향으로 이동되고, (＋Y)측으로 어긋나 있는 경우에는 (＋Y)방향으로 이동된다. 또한, 도포 장치(1)에 있어서의 CCD 카메라(13)의 위치 조정은, (-X)측의 CCD 카메라(13)가 고정된 상태로 (＋X)측의 CCD 카메라(13)가 이동됨으로써 행해져도 되고, 양쪽의 CCD 카메라(13)가 이동됨으로써 행해져도 된다.

CCD 카메라(13)의 위치 조정이 종료하면, 기판 이동 기구(12)에 의해 기판(9)이 기판 유지부(11) 및 시험 도포 유닛(2)과 함께 (＋Y)방향으로 이동되고, 도 1에 실선으로 나타낸 바와 같이, 기판(9)이 2개의 CCD 카메라(13)의 아래쪽에 위치한다(스텝(S18)). 이 때, 기판(9)의 상면(91) 상에 있어서, (＋Y)측의 2개의 각부 근방, 한편, 도포 영역의 외측의 비도포 영역에 설치된 2개의 위치 결정용 표지(93)(도 12 참조)는 각각, 2개의 CCD 카메라(13)의 촬상 영역 내에 위치한다. 기판(9) 상에서는, 2개의 위치 결정용 표지(93)의 중심을 연결하는 직선이, 도포 영역의 복수의 홈에 평행으로 되어 있다.

이어서, 기판 위치 조정부(103)에 의해 2개의 CCD 카메라(13)가 제어되고, 기판(9) 상의 2개의 위치 결정용 표지(93)가 촬상된다(스텝(S19)). 다음으로, 2개의 위치 결정용 표지(93)의 화상에 의거하여 위치 결정용 표지(93)의 중심 간의 부주사 방향에 관한 거리가 구해지고, 미리 기억되어 있는 위치 결정용 표지(93)의 중심간의 주주사 방향에 관한 거리에 의거하여 기판(9)의 회전 방향의 편차량(즉, 기울기)이 구해진다. 그리고 기판 위치 조정부(103)에 의해 기판 회전 기구(12a)가 기판(9)의 회전 방향의 편차량에 의거하여 제어되어 기판(9)이 회전함으로써, 2개의 위치 결정용 표지(93)의 CCD 카메라(13)에 대한 부주사 방향에 있어서의 상대 위치가 동일하게 된다(스텝(S20)).

기술한 바와 같이, 도포 장치(1)에서는, 2개의 CCD 카메라(13)의 복수의 노즐(17)(로부터 토출되어 기판(9) 상에 도포되는 유기 EL액의 라인)에 대한 부주사 방향에 관한 상대 위치가 서로 동일하게 되어 있다. 따라서, 2개의 위치 결정용 표지(93)의 CCD 카메라(13)에 대한 부주사 방향의 상대 위치를 서로 동일하게 함으로써, 2개의 위치 결정용 표지(93)의 복수의 노즐(17)(로부터 토출되어 기판(9) 상에 도포되는 유기 EL액의 라인)에 대한 부주사 방향에 관한 상대 위치가 서로 동일하게 된다. 즉, 기판(9) 상의 도포 영역의 격벽간의 홈이, 주주사 방향에 있어서의 복수의 노즐(17)의 이동의 궤적에 대하여 평행이 된다.

이와 같이, 도포 장치(1)에서는, 2개의 CCD 카메라(13)에 의해 취득된 유기 EL액의 패턴의 화상, 및, 2개의 CCD 카메라(13)에 의해 취득된 기판(9)의 상면(91) 상의 위치 결정용 표지(93)의 화상에 의거하여, 기판 이동 기구(12) 및 기판 회전 기구(12a)가, 제어부(10)의 기판 위치 조정부(103)(도 3 참조)에 의해 제어됨으로써, 기판(9)의 복수의 노즐(17)에 대한 상대 위치가 조정된다.

그리고 기판(9)의 위치 조정이 종료하면, 헤드 이동 기구(15)에 의해, 도포 헤드(14)가 복수의 노즐(17)로부터 유기 EL액을 연속적으로 토출하면서 주주사 방향으로 이동하고, 도포 헤드(14)의 주주사 방향으로의 이동이 1회 행해질 때마다, 기판 이동 기구(12)에 의해 기판(9)이 부주사 방향((＋Y)방향)으로 스텝 이동한다. 그리고 기판(9)이 도 1 중에 2점 쇄선으로 나타내는 도포 종료 위치에 위치할 때까지, 복수의 노즐(17)의 기판(9)에 대한 주주사 방향 및 부주사 방향으로의 상대적인 이동이 반복됨으로써, 기판(9)에 유기 EL액이 스트라이프 형상으로 도포된다.

이상에서 설명한 바와 같이, 도포 장치(1)에서는, 시험 도포 유닛(2)의 시험 도포면(2131)에 유기 EL액이 도포되고, CCD 카메라(13)에 의해 취득된 시험 도포면(2131) 상의 유기 EL액의 패턴의 화상에 의거하여 노즐 피치가 검출되며, 또한, 검출 결과에 의거하여 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 피치가 피치 조정 기구(3)에 의해 조정된다. 이에 의해, 도포 장치(1)의 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 피치(즉, 노즐 피치)를, 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포를 행하지 않고 고정밀도로 조정할 수 있다.

그 결과, 기판상의 비도포 영역에 시험 도포를 행하여 노즐 피치를 조정하는 경우와는 달리, 노즐의 갯수와 비도포 영역의 크기와의 관계(즉, 시험 도포에 필요로 하는 영역의 크기와 기판 상의 시험 도포 가능 영역의 크기와의 관계)를 고려하지 않고, 노즐 피치의 조정을 고정밀도로 행할 수 있다. 따라서, 도포 장치(1)의 구조는, 다수(예를 들면, 8개 이상)의 노즐을 구비하는 도포 장치에 특히 적합하다. 또, 도포 장치(1)에서는, 기판에 대한 시험 도포를 행하지 않음으로써, 시험 도포된 유기 EL액의 건조 후에 유기 EL재료로부터 발생할 가능성이 있는 파티클을 방지할 수 있어 기판(9)에 대한 도포의 질을 향상할 수 있다.

도포 장치(1)에서는, 시험 도포시에 있어서의 노즐(17)과 시험 도포면(2131) 사이의 Z 방향의 거리가, 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포시의 노즐(17)과 기 판(9)의 상면(91) 사이의 Z 방향의 거리와 동일하게 되기 때문에, 기판(9)에의 유기 EL액의 도포시에 있어서의 유기 EL액의 토출 거리가 시험 도포시의 토출 거리와 동일해진다. 만일, 기판에의 도포시 및 시험 도포시에 있어서의 토출 거리에 큰 차이가 있다고 하면, 도포된 복수의 유기 EL액의 라인의 피치가 변화할 가능성이 있지만, 본 실시 형태와 관련된 도포 장치(1)에서는, 기판(9)에의 도포시 및 시험 도포시에 있어서의 토출거리의 차이에 의한 영향을 방지할 수 있기 때문에, 노즐 피치를 보다 고정밀도로 조정할 수 있다. 또한, 도포 장치(1)에서는, 유기 EL액의 라인 피치에 대한 토출 거리의 차이의 영향이 방지되는 범위 내이면, 시험 도포시에 있어서의 노즐(17)과 시험 도포면(2131) 사이의 Z 방향의 거리와 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포시의 노즐(17)과 기판(9)의 상면(91) 사이의 Z 방향의 거리가 약간 차이가 나도, 이러한 거리는 실질적으로 동일하다고 볼 수 있다.

시험 도포 스테이지부(21)에서는, 시험 도포면(2131)를 수지 테이프(213)의 주면으로 하고, 테이프 공급부(215)에 의해 수지 테이프(213)을 테이프 유지부(214)로 풀어냄으로써, 사용이 끝난(즉, 유기 EL액의 시험 도포를 행한 후의) 시험 도포면(2131)을 새로운 미사용의 시험 도포면과 용이하게 교환할 수 있다. 테이프 유지부(214)에서는, 테이프 흡착부(2141) 및 테이프 압압부(2142)에 의해 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131)을 고정하여 평탄하게 하고, 시험 도포면(2131)과 복수의 노즐(17) 사이의 거리를 일정하게 유지함으로써, 노즐 피치를 보다 고정밀도로 검출할 수 있다.

시험 도포 유닛(2)에서는, 시험 도포 스테이지부(21)의 시험 도포면(2131)이, 도포 헤드(14)에 의한 시험 도포시에, 복수의 노즐(17)의 주주사 방향에 있어서의 상대 이동의 경로의 일부와 겹쳐져 있다. 바꾸어 말하면, 헤드 이동 기구(15)에 의한 복수의 노즐(17)의 이동 경로 상에 있어서, 주주사 방향의 일부에만 시험 도포면(2131)이 배치된다. 이 때문에, 유기 EL액이 도포되는 시험 도포면의 면적을 작게 할 수 있어 시험 도포면(2131)의 사용량을 저감할 수 있다. 그 결과, 노즐 피치의 조정에 필요로 하는 비용을 저감할 수 있다.

도포 장치(1)에서는, 제어부(10)의 피치 검출부(101)에 의해 검출된 노즐 피치에 의거하여, 피치 조정 기구(3)의 접촉부 이동 기구(34)가 조정 기구 제어부(102)에 의해 제어됨으로써, 노즐 피치를 자동적으로 조정할 수 있다. 그 결과, 노즐 피치를 보다 고정밀도로 조정할 수 있음과 더불어, 노즐 피치의 조정에 필요로 하는 작업 시간 및 노력을 저감할 수 있다. 또, 피치 조정 기구(3)에 의해, 복수의 노즐(17)의 1개를 제외한 다른 모두(또는, 복수의 노즐(17)의 모두)가 부주사 방향으로 개별적으로 이동됨으로써, 인접하는 노즐(17)간의 부주사 방향에 있어서의 각 거리를 개별적으로, 또한, 고정밀도로 조정할 수 있다.

도포 장치(1)에서는, 주주사 방향으로 이격하는 2개의 시험 도포면(2131)에 도포된 유기 EL액의 패턴의 화상과 기판(9) 상에 있어서 주주사 방향으로 이격하여 배치되는 2개의 위치 결정용 표지(93)의 화상에 의거하여 기판(9)의 노즐(17)에 대한 상대 위치가 조정됨으로써, 복수의 노즐(17)에 의해 도포되는 유기 EL액의 라인과 기판(9)의 도포 영역에 있어서의 복수의 홈을 정밀도 높게 평행으로 하여 기판(9)의 위치 조정을 고정밀도로 행할 수 있다. 또, 노즐 피치의 조정용의 구성을 이용하여 기판(9)의 위치 조정을 행할 수 있기 때문에 도포 장치(1)의 구조를 간소화할 수도 있다.

또한, 같은 구조의 2개의 시험 도포 스테이지부(21)에 의해, 2개의 시험 도포면(2131)을 각각 고정하는 2개의 테이프 유지부(214), 및, 2개의 시험 도포면(2131)을 각각 교환하는 각 2개의 테이프 공급부(215) 및 테이프 회수부(216)가 구성됨으로써, 도포 장치(1)의 구조를 보다 간소화할 수 있다.

다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태와 관련된 도포 장치에 대해 설명한다. 제2 실시 형태와 관련된 도포 장치는, 도 8 및 도 9에 도시한 시험 도포 스테이지부(21)와는 구조가 다른 2개의 시험 도포 스테이지부(21a)를 구비한다. 그 외의 구성은, 도 1 내지 도 7에 도시한 도포 장치(1)와 같고, 이하의 설명에 있어서 동일 부호를 붙인다.

도 13은, (＋X)측의 시험 도포 스테이지부(21a)를 도시한 좌측면도이다. 도 13에서는, 기판 이동 기구(12)의 일부도 아울러 도시하고 있다. 제2 실시 형태와 관련된 도포 장치에서는, (-X)측의 시험 도포 스테이지부(21a)도, 도 13에 도시한 (＋X)측의 시험 도포 스테이지부(21a)와 동일한 구조를 갖는다.

도 13에 도시한 바와 같이, 시험 도포 스테이지부(21a)는, 기판 이동 기구(12)의 레일(121)에 이동 가능하게 장착되는 슬라이더(211), 슬라이더(211) 상에 고정되는 하우징(212), 유기 EL액의 시험 도포가 행해지는 시험 도포 부재인 시험편(213a), 하우징(212)의 상부에 있어서 시험편(213a)을 유지하는 시험편 유지부(214a), 시험편(213a)의 (-Z)측에 있어서 미사용의(즉, 유기 EL액의 시험 도포가 행해지지 않는다) 복수의 시험편(213b)(이하, 「대기 시험편(213b)」이라고 한다.)을 적층하여 유지하는 매거진인 시험편 수용부(215a), 시험편 유지부(214a)로 유지된 시험편(213a)을 (-Y)방향을 향해 밀어내는 실린더인 압출 기구(216a), 및, 압출 기구(216a)에 의해 시험편 유지부(214a)로부터 밀려나온 시험편(213a)을 받는 시험편 회수부(217a)를 구비한다.

시험편(213a)은, 유기 EL액에 대한 젖음성이 기판(9)과 동등한 재료에 의해 형성되고, 본 실시 형태에서는, 기판(9)과 동일 재질인 유리에 의해 형성된다. 또, 시험편(213a)의 (＋Z)측의 주면에는, 유기 EL액의 도포 전에 기판(9)상에 형성되어 있는 박막(예를 들면, 후술하는 정공 수송 재료의 층)과 동등한 박막이 형성됨으로써, 시험편(213a)의 (＋Z)측의 주면과 기판(9)의 상면(91)과의 유기 EL액에 대한 각각의 젖음성이 동등(즉, 거의 같아지게)하게 된다. 또한, 시험편(213a)의 재료를 적당 선택함으로써, 시험편(213a)의 (＋Z)측의 주면에 박막을 형성하지 않고, 시험편(213a)의 (＋Z)측의 주면과 기판(9)의 상면(91)과의 유기 EL액에 대한 각각의 젖음성이 동등하게 되어도 된다.

시험 도포 스테이지부(21a)에서는, 시험편(213a)의 (＋Z)측의 주면이, 복수의 노즐(17)(도 1 참조)로부터의 유기 EL액이 시험 도포되는 시험 도포면(2131)이 되고 있으며, 시험편(213a)을 유지하는 시험편 유지부(214a)가, 시험 도포면(2131)을 갖는 시험 도포부가 된다.

도 14는, 시험편 유지부(214a) 근방을 도시한 평면도이다. 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이, 시험편 유지부(214a)는, 시험편(213a)의 시험 도포면(2131)에 접촉하여 Z 방향(즉, 시험 도포면(2131)에 수직인 방향)에 있어서의 시험 도포면(2131)의 위치를 결정하는 대략 구형(矩形) 틀 형상의 시험 도포면 접촉부(2147)를 구비한다. 시험편 유지부(214a)의 시험편(213a)은, 시험편(213a)의 시험 도포면(2131)과는 반대측(즉, (-Z)측)의 시험편 수용부(215a)에 의해, 복수의 대기 시험편(213b)을 통해 시험 도포면 접촉부(2147)를 향해 압압되어 시험 도포면 접촉부(2147)에 가압된다.

시험 도포 스테이지부(21a)에서는, 압출 기구(216a)가 구동됨으로써, 시험 도포면 접촉부(2147)에 접촉하고 있는 시험편(213a)이, (＋Y)방향으로 밀려나와 시험편 유지부(214a)로부터 취출된다. 그리고 시험편 수용부(215a)에 수용되어 있는 복수의 대기 시험편(213b) 가운데, 최상부인 대기 시험편(213b)이, 시험편 유지부(214a)의 시험 도포면 접촉부(2147)에 가압됨으로써, 시험편 유지부(214a)로 유지되는 새로운 시험편(213a)이 되고, 당해 시험편(213a)의 (＋Z측)의 주면이 새로운 시험 도포면(2131)이 된다. 즉, 시험 도포 스테이지부(21a)에서는, 압출 기구(216a)가, 시험편 유지부(214a)로부터 시험편 (213a)을 취출하는 시험편 취출부가 되고, 시험편 수용부(215a) 및 압출 기구(216a)가, 시험편 유지부(214a)의 시험 도포면(2131)을 새로운 시험 도포면과 교환하는 시험 도포면 교환기구가 된다다.

제2 실시 형태와 관련된 도포 장치에 있어서의 준비작업(즉, 노즐 피치의 조정 및 기판(9)의 위치 조정)의 흐름은, 도 11a에 도시한 스텝(S152)에 있어서의 시험 도포면(2131)의 교환이, 수지 테이프(213)의 투입에 의한 것으로부터 시험편(213a)의 교환에 의한 것으로 변경되는 점을 제외하고, 제1 실시 형태와 동일하 다.

제2 실시 형태와 관련된 도포 장치에서는, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 시험 도포 유닛(2)(도 1 참조)의 시험 도포면(2131)에 유기 EL액이 도포되고, 시험 도포면(2131) 상의 유기 EL액의 패턴의 화상에 의거하여 노즐 피치가 검출되며, 또한, 검출 결과에 의거하여 복수의 노즐(17)(도 1 참조)의 부주사 방향에 있어서의 피치가 조정된다. 이에 의해, 도포 장치의 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 피치(즉, 노즐 피치)를, 기판(9)(도 1 참조)에 대한 유기 EL액의 도포를 행하지 않고 고정밀도로 조정할 수 있다.

제2 실시 형태와 관련된 도포 장치에서는, 특히, 시험 도포면(2131)이, 유기 EL액에 대한 젖음성이 기판(9)의 상면(91)과 동등한 시험편(213a)의 주면이 됨으로써, 시험 도포면(2131)과 기판(9)의 상면(91)의 젖음성의 차이에 의한 계측 오차 등을 방지하여 노즐 피치를 고정밀도로 검출할 수 있다.

시험 도포 스테이지부(21a)에서는, 시험편(213a)의 (-Z)측에 복수의 대기 시험편(213b)을 수용하는 시험편 수용부(215a)를 설치하여, 압출 기구(216a)에 의해 시험편 유지부(214a)로부터 시험편(213a)를 밀어냄으로써, 새로운 시험편(213a)이 시험편 유지부(214a)의 시험 도포면 접촉부(2147)에 가압되어 새로운 시험 도포면(2131)이 배치된다. 이에 의해, 시험 도포면(2131)의 교환을 용이하게 할 수 있음과 더불어, 시험 도포면(2131)과 복수의 노즐(17) 사이의 거리를 일정하게 유지할 수 있어 노즐 피치를 보다 고정밀도로 검출할 수 있다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것이 아니며, 여러가지 변경이 가능하다.

예를 들면, 제1 실시 형태와 관련된 도포 장치(1)의 시험 도포 스테이지부(21)에서는, 테이프 유지부(214)에 있어서 테이프 흡착부(2141)의 흡인력에만 의해 수지 테이프(213)를 흡착하여 시험 도포면(2131)을 평활한 상태로 고정할 수 있는 경우, 테이프 압압부(2142), 압압부 승강기구(2143) 및 압압부 이동 기구(2144)가 생략되고, 테이프 흡착부(2141)만이 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131)을 고정하는 테이프 고정부가 되도 된다. 또, 테이프 흡착부(2141)에 의한 흡착을 행하지 않고, 테이프 압압부(2142)에 의한 압압에 의해 수지 테이프(213)의 시험 도포면(2131)의 고정을 행해도 된다. 이 경우, 테이프 압압부(2142)만이 테이프 고정부가 된다.

도포 장치(1)에 있어서의 준비작업에서는, 스텝(S151)에 있어서의 피치 조정 기구(3)에 의한 노즐(17)의 이동과 스텝(S152)에 있어서의 시험 도포면(2131)의 교환이 병행하여 행해져도 되며, 스텝(S152)이 스텝(S151)보다 전에 행해져도 된다(제2 실시 형태에 있어서도 동일). 또, 스텝(S18)에 있어서 촬상되는 위치 결정용 표지는, 반드시, 비도포 영역에 설치된 위치 결정 전용의 표지일 필요는 없고, 예를 들면, 도포 영역 내의 격벽이나 비도포 영역에 형성된 배선의 일부가 위치 결정용 표지가 되어도 된다.

피치 조정 기구(3)에서는, 반드시 복수의 조정 헤드(30)가 설치될 필요는 없고, 1개의 조정 헤드(30)에 의해, 복수의 노즐(17)의 부주사 방향에 있어서의 위치 조정이 차례로 행해져도 된다. 이 경우, 복수의 노즐(17)은, 헤드 이동 기구(15)에 의한 도포 헤드(14)의 이동에 의해, 당해 조정 헤드(30)에 대응하는 위치로 차례차례 이동되게 된다. 또한, 복수의 노즐(17) 중 1개의 노즐(17)이 기준 노즐이 되는 경우, 당해 기준 노즐에 대한 조정 헤드(30)에 의한 위치 조정은 행해지지 않는다. 또, 기준 노즐은 부주사 방향으로 이동 불가능하게 노즐 부착부(141)에 고정되어도 된다.

상기 실시 형태와 관련된 도포 장치에서는, 반드시, 모든 노즐(17)(또는, 1개의 노즐(17)을 제외한 다른 모든 노즐(17))이 부주사 방향으로 개별적으로 이동될 필요는 없고, 복수의 노즐(17)이 이동 불가능하게 고정된 노즐 부착부가, 피치 조정 기구(3)와는 다른 피치 조정 기구에 의해, 기판(9)의 상면(91)에 수직인 회전축을 중심으로 하여 근소한 각도만큼 회전됨으로써, 부주사 방향에 있어서의 노즐 피치가 변경되어도 된다. 또, 도포 장치에 있어서의 노즐 피치의 조정은, 노즐 피치의 검출 결과에 의거하여 작업자가 피치 조정 기구를 수동으로 조작함으로써 행해져도 된다.

도포 장치에서는, 기판(9)의 위치 조정이, 노즐 피치의 조정에 이용되는 구성과는 상이한 다른 기구에 의해 행해지는 경우에는, 시험 도포 유닛(2)에 1개의 시험 도포 스테이지부만이 설치되어도 된다. 이 경우에 있어서도, 상기 실시 형태와 마찬가지로, 기판(9)에 대한 유기 EL액의 도포를 행하지 않고, 노즐 피치를 고정밀도로 조정할 수 있다.

도 15는, 수지 테이프(213)를 이용하는 시험 도포 유닛(2a)의 다른 예를 도시한 배면도이다. 도 15에 도시한 시험 도포 유닛(2a)에서는, 도 8 및 도 9에 도시 한 시험 도포 스테이지부(21)와는 90°방향이 상이함과 더불어 기판의 X 방향(즉, 주주사 방향)의 폭보다 큰 시험 도포 스테이지부(21b)가 1개만 설치된다. 시험 도포 스테이지부(21b)의 상부의 테이프 유지부(214)에서는, 수지 테이프(213)가, 기판의 X 방향의 폭과 대충 같은 길이만큼 X 방향으로 연장하고 있다.

시험 도포 유닛(2a)에서는, 테이프 유지부(214)에 있어서, 수지 테이프(213)의 X 방향의 대략 전체 길이에 걸쳐 유기 EL액이 도포되고, 수지 테이프(213)의 X 방향의 양단부 근방에 있어서의 2개의 시험 도포면(2131)이 테이프 흡착부(2141)에 의해 고정된 상태로 CCD 카메라에 의해 촬상됨으로써, 상기 실시 형태와 마찬가지로, 노즐 피치가 검출됨과 더불어 기판의 위치 조정에 필요한 정보가 입수된다.

시험 도포 스테이지부(21b)에서는, 수지 테이프(213)가 환 형상으로 되어 있고, 1회의 시험 도포가 종료하면 도 15 중의 반시계 둘레로 보내어진다. 이에 의해, 사용이 끝난 시험 도포면(2131)이 새로운 시험 도포면으로 교환된다. 또, 사용이 끝난 시험 도포면(2131)은, 스프레이(2191)에 의해 세정액이 분사되고, 에어 나이프(2192)에 의해 부착하고 있는 유기 EL재료가 제거됨으로써, 새로운 시험 도포면으로서 이용 가능하게 된다. 또한, 시험 도포 스테이지부(21b)에서는, (＋X)측 및 (-X)측에 각각 테이프 공급부 및 테이프 회수부가 설치되어 사용이 끝난 시험 도포면이 옮겨 감아지는 구조가 되어도 된다.

상기 실시 형태와 관련된 도포 장치에서는, 기판 이동 기구(12)에 의한 기판(9) 및 기판 유지부(11)의 이동을 대신하여, 도포 헤드(14)가 부주사 방향으로 이동함으로써, 부주사 방향에 있어서의 기판(9)의 도포 헤드(14)에 대한 상대 이동 이 행해져도 된다. 또, 헤드 이동 기구(15)에 의한 도포 헤드(14)의 이동을 대신하여, 기판(9) 및 기판 유지부(11)가 주주사 방향으로 이동함으로써, 주주사 방향에 있어서의 도포 헤드(14)의 기판(9)에 대한 상대 이동을 행해도 된다.

상기 실시 형태와 관련된 도포 장치에서는, 도포 헤드(14)에 설치되는 노즐(17)의 갯수는 16개로는 한정되지 않고, 3개 이상이면 된다. 도포 장치에서는, 예를 들면, 도포 헤드(14)에 설치된 3개의 노즐(17)로부터, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)과 서로 색이 다른 3종류의 유기 EL재료를 각각 포함한 3종류의 유기 EL액이 동시에 토출되어 기판(9)에 도포되어도 된다. 이 경우, 인접하는 2개의 노즐의 사이의 부주사 방향에 관한 거리는, 격벽 피치와 동일해지도록 조정된다.

또, 상기 도포 장치에서는, 화소 형성 재료인 정공 수송 재료를 포함한 유동성 재료(이하, 「정공 수송액」이라고 한다.)가 기판(9)에 도포되어도 된다. 여기서,「정공 수송 재료」란, 유기 EL 표시 장치의 정공 수송층을 형성하는 재료이며, 「정공 수송층」이란, 유기 EL재료에 의해 형성된 유기 EL층으로 정공을 수송하는 협의의 정공 수송층만을 의미하는 것이 아니라, 정공의 주입을 행하는 정공 주입층도 포함한다.

상기 도포 장치는, 반드시 유기 EL 표시 장치용의 유기 EL액 또는 정공 수송액의 도포에만 이용되는 것은 아니고, 예를 들면, 액정 표시 장치나 플라즈마 표시 장치 등의 평면 표시 장치용 기판에 대해, 착색 재료나 형광 재료 등의 다른 종류의 화소 형성 재료를 포함한 유동성 재료를 도포하는 경우에 이용되어도 된다.

이러한, 유기 EL 표시 장치용 기판에 대한 유기 EL액이나 정공 수송액의 도 포, 그 외의 평면 표시장치용 기판에 대한 화소 형성 재료를 포함한 유동성 재료의 도포에서는, 유동성 재료의 도포 위치에 높은 위치 정밀도가 요구된다. 상술한 바와 같이, 도포 장치는, 복수의 노즐(17)의 피치를 고정밀도로 조정할 수 있기 때문에, 유기 EL 표시 장치용 기판에 대한 유기 EL액이나 정공 수송액의 도포, 그 외의 평면 표시 장치용 기판에 대한 화소 형성 재료를 포함한 유동성 재료의 도포에 특히 적합하다.

또, 상기 도포 장치는, 평면 표시 장치용 기판 이외에도, 자기 디스크나 광 디스크용 유리 기판이나 세라믹 기판, 혹은, 반도체 기판 등, 여러가지 기판에 대한 여러가지 종류의 유동성 재료의 도포에 이용되어도 된다.

본 발명을 상세하게 도시하여 설명했지만, 기술의 설명은 예시적인 것으로서 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능한 것이 이해된다.

도 1은, 제1 실시 형태와 관련된 도포 장치의 평면도,

도 2는, 도포 장치의 정면도,

도 3은, 제어부의 기능을 도시한 블록도,

도 4는, 도포 헤드의 일부를 도시한 정면도,

도 5는, 도포 헤드의 일부를 도시한 평면도,

도 6은, 조정 헤드 및 도포 헤드의 일부를 도시한 평면도,

도 7은, 조정 헤드 및 도포 헤드의 일부를 도시한 좌측면도,

도 8은, 시험 도포 스테이지부의 좌측면도,

도 9는, 시험 도포 스테이지부의 배면도,

도 10은, 테이프 유지부 근방을 도시한 평면도,

도 11a 및 도 11b는, 도포 장치에 있어서의 준비작업의 흐름을 도시한 도면,

도 12는, 도포 장치의 평면도,

도 13은, 제2 실시 형태와 관련된 시험 도포 스테이지부의 좌측면도,

도 14는, 시험편 유지부 근방을 도시한 평면도,

도 15는, 다른 시험 도포 스테이지부의 배면도이다.

Claims (12)

1. 기판에 유동성 재료를 도포하는 도포 장치로서,

   기판을 유지하는 기판 유지부와,

   상기 기판의 주면을 향해 유동성 재료를 연속적으로 토출하는 복수의 노즐과,

   상기 복수의 노즐을 상기 기판의 상기 주면에 평행한 주주사 방향으로 상기 기판에 대하여 상대적으로 이동함과 더불어, 상기 주주사 방향으로의 이동이 행해질 때마다 상기 기판을 상기 복수의 노즐에 대하여 상기 주면에 평행 또한 상기 주주사 방향에 수직인 부주사 방향으로 상대적으로 이동하는 노즐 주사 기구와,

   상기 기판에의 비도포시에 상기 복수의 노즐로부터의 유동성 재료가 시험 도포되는 시험 도포면을 갖는 시험 도포부와,

   상기 시험 도포부를 상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향에 있어서의 상대 이동의 경로에 대하여 진퇴시킴으로써, 시험 도포시에 상기 복수의 노즐과 상기 시험 도포면 사이의 거리를, 도포시의 상기 복수의 노즐과 상기 기판의 상기 주면 사이의 거리와 동일하게 하는 시험 도포부 진퇴 기구와,

   상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향으로의 상대 이동에 의해 상기 시험 도포면에 도포된 유동성 재료의 패턴의 화상을 취득하는 촬상부와,

   상기 촬상부에 의해 취득된 화상에 의거하여 상기 복수의 노즐의 상기 부주사 방향에 있어서의 피치를 검출하는 피치 검출부와,

   상기 복수의 노즐의 상기 부주사 방향에 있어서의 피치를 조정하는 피치 조정 기구와,

   상기 시험 도포부의 상기 시험 도포면을 새로운 시험 도포면과 교환하는 시험 도포면 교환기구를 구비한 것을 특징으로 하는 도포 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   시험 도포시에, 상기 시험 도포면이 상기 복수의 노즐의 상기 주주사 방향에 있어서의 상대 이동의 경로의 일부와 겹치도록 배치되는, 도포 장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 기판 유지부를 상기 기판의 상기 주면에 수직인 회전축을 중심으로 회전하는 기판 회전 기구와,

   상기 주주사 방향에 있어서 상기 시험 도포면으로부터 이격하여 설치되는 또 하나의 시험 도포면에 도포된 유동성 재료의 패턴의 화상을 취득하는 또 하나의 촬상부와,

   상기 촬상부 및 상기 또 하나의 촬상부에 의해 취득된 유동성 재료의 패턴의 화상, 및, 상기 촬상부 및 상기 또 하나의 촬상부에 의해 취득된 상기 기판의 상기 주면 상의 위치 결정용 표지의 화상에 의거하여 상기 노즐 주사 기구 및 상기 기판 회전 기구를 제어함으로써 상기 기판의 상기 복수의 노즐에 대한 상대 위치를 조정하는 기판 위치 조정부를 더 구비하는, 도포 장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 또 하나의 시험 도포면을, 상기 시험 도포면과는 개별적으로 새로운 시험 도포면과 교환하는 또 하나의 시험 도포면 교환기구를 더 구비하는, 도포 장치.
5. 청구항 1에 있어서,

   상기 피치 검출부에 의해, 상기 부주사 방향에 관해 서로 인접하는 2개의 노즐간의 각 거리가 검출되고,

   상기 피치 조정 기구에 의해, 상기 복수의 노즐의 모두 또는 1개를 제외한 다른 모두가 상기 부주사 방향으로 개별적으로 이동됨으로써 상기 각 거리가 조정되는, 도포 장치.
6. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 피치 조정 기구를 구동하는 구동부와,

   상기 피치 검출부의 검출 결과에 근거하여 상기 구동부를 제어하는 조정 기구 제어부를 더 구비하는, 도포 장치.
7. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 시험 도포부가, 수지 테이프의 일부를 유지하는 테이프 유지부이고, 상기 시험 도포면이, 상기 수지 테이프의 상기 일부의 주면이며,

   상기 시험 도포면 교환기구가, 상기 수지 테이프를 상기 시험 도포부로 풀어내는 테이프 공급부를 구비하는, 도포 장치.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 시험 도포부가, 상기 수지 테이프의 상기 시험 도포면을 상기 기판의 상기 주면에 평행한 유지 평면 상에 고정하는 테이프 고정부를 구비하는, 도포 장치.
9. 청구항 7에 있어서,

   상기 피치 조정 기구를 구동하는 구동부와,

   상기 피치 검출부의 검출 결과에 근거하여 상기 구동부를 제어하는 조정 기구 제어부를 더 구비하는, 도포 장치.
10. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 시험 도포면이, 유동성 재료에 대한 젖음성이 상기 기판의 상기 주면과 동등한 시험편의 주면이고,

    상기 시험 도포부가, 상기 시험편을 유지하는 시험편 유지부인, 도포 장치.
11. 청구항 10에 있어서,

    상기 시험 도포부가, 상기 시험편의 상기 시험 도포면에 접촉하여 상기 시험 도포면에 수직인 방향에 있어서의 상기 시험 도포면의 위치를 결정하는 시험 도포면 접촉부를 구비하고,

    상기 시험 도포면 교환기구가,

    상기 시험편의 상기 시험 도포면과는 반대측에 있어서 복수의 대기 시험편을 유지함과 더불어 상기 시험편을 상기 복수의 대기 시험편을 통해 상기 시험 도포면 접촉부를 향해 가압하는 시험편 수용부와,

    상기 시험 도포부로부터 상기 시험편을 취출하는 시험편 취출부를 구비하는, 도포 장치.
12. 청구항 10에 있어서,

    상기 피치 조정 기구를 구동하는 구동부와,

    상기 피치 검출부의 검출 결과에 의거하여 상기 구동부를 제어하는 조정 기구 제어부를 더 구비하는, 도포 장치.

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