KR101297379B1 - 편광판 부착장치 - Google Patents

Abstract

편광판 부착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 본체와, 본체에 마련되어 기판을 지지하며, 왕복 이동하는 스테이지유닛과, 스테이지유닛의 상부에 마련되며, 원통형 형상의 드럼을 갖는 드럼유닛과, 드럼에 인접하게 배치되어 드럼에 흡착된 편광판을 촬상하여 편광판의 위치정보를 획득하는 비젼유닛과, 비젼유닛으로부터 전송된 편광판의 위치정보에 기초하여 편광판과 기판을 얼라인(align)하여 편광판을 기판에 부착하도록 스테이지유닛과 드럼을 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

편광판 부착장치{Device for attaching polarizing plate}

본 발명은, 편광판 부착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 편광판을 기판에 보다 정확하게 부착할 수 있는 편광판 부착장치에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.

평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.

이러한 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.

또한, 유기전계발광표시장치(OLED)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 평면디스플레이로서 주목받고 있다.

이러한 유기전계발광표시장치(OLED) 기판을 제조하기 위해서는 기판 상에 TFT(Thin Film Transistor)를 형성하기 위한 무기물 증착 공정과 패터닝 공정이 반복적으로 이루어지고, 이후 발광 Cell을 구성하기 위한 유기물 증착이 이루어 진다.

TFT 공정은 반도체 제조 공정과 매우 유사한데, 증착(Deposition), 사진식각(Photo lithography), 식각(Etching)을 반복하여 유리기판 위에 박막 트랜지스터를 배열하는 공정이다.

Cell을 구성하기 위한 공정은 TFT 공정에 의해 제조된 TFT 하판과 칼라 필터(Color Filter)인 상판에 액정이 잘 정렬될 수 있도록 배향막을 형성하고, 스페이서(Spacer)를 산포(Splaying)하고 실(Seal) 인쇄를 하여 상하판을 합착하는 공정이다.

이후, 모듈(Module)공정이 계속되는데, 이러한 모듈(Module)공정은 완성된 OLED패널에 편광판을 부착하고 집적 회로(Drive-IC)를 실장한 후, PCB(Printed Circuit Board)와 조립한 다음, 그 배면으로 백라이트 유닛(Back-light Unit)과 기구물을 조립하는 일련의 단계를 가리킨다.

이러한 모듈 공정에서 사용되는 편광판은, OLED패널에 부착되어 액정을 투과한 빛 중 특정 방향으로 강하게 진동하는 빛만을 선택적으로 투과시키는 역할을 한다.

한편, 편광판이 OLED패널 조립공장으로 이송되는 과정에서 편광판의 표면에 스크래치가 발생하거나 이물질이 묻으면 곤란하다. 따라서 편광판이 제조되고 나면 편광판에 별도의 보호필름(Protecting Film)이 부착된다. 물론, 실질적으로 편광판 부착공정이 진행될 때는 보호필름이 박리된 상태에서 진행된다.

초기에는 작업자가 수작업에 의해 보호필름을 제거하고, 보호필름이 제거된 편광판을 기판에 부착 하여 왔으나, 수작업의 한계로 인해 생산 효율이 낮아질 수밖에 없게 되는 바, 근자에 들어서는 소위, 편광판 부착장치를 이용하기에 이르렀다.

이러한 편광판 부착장치는 보호필름의 박리 공정을 진행한 후에 OLED패널에 편광판을 부착하는 일련의 공정이 진행될 수 있도록 하는 장치이다.

종래기술에 따른 편광판 부착장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 본체(미도시)와, 상기 본체에 마련되어 기판(S)을 지지하며, 왕복 이동하는 스테이지유닛(미도시)과, 상기 스테이지유닛의 상부에 마련되며, 원통형의 형상을 갖는 드럼(10)과, 편광판(M)에서 보호필름(N)을 제거하는 박리유닛(20)을 포함한다.

종래기술에 따른 편광판 부착장치는, 드럼(10)의 외주면에 편광판(M)을 흡착시킨 후 드럼(10)의 회전을 따라 편광판(M)이 기판(S)에 부착하는 방식으로 작동된다.

이러한 종래기술에 따른 편광판 부착장치는, 편광판(M)이 드럼(10)에 흡착 시 편광판(M)의 흡착 위치가 매 작업과정에서 미세하게 틀려질 수 있다. 이와 같이 편광판(M)의 드럼(10) 흡착 시 기준위치에서 어긋난 위치에 흡착되면, 편광판(M)이 기판(S)에 흡착되는 과정에서도 원래의 기준위치와 다른 부정합한 위치에 부착되기 때문에 모듈공정에서 불량품이 발생되는 문제점이 있다.

특허공개번호 KR 10-2000-0038517 (삼성전자 주식회사), 2000.07.05

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 드럼에 흡착된 편광판을 촬상하여 편광판의 위치정보를 획득함으로써, 편광판의 위치정보에 따라 기판이 얼라인(align)되어 편광판이 기판에 정확하게 부착될 수 있는 편광판 부착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 본체와, 상기 본체에 마련되어 기판을 지지하며, 왕복 이동하는 스테이지유닛과, 상기 스테이지유닛의 상부에 마련되며, 원통형 형상의 드럼을 갖는 드럼유닛과, 상기 드럼에 인접하게 배치되어 상기 드럼에 흡착된 편광판을 촬상하여 상기 편광판의 위치정보를 획득하는 비젼유닛과, 상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 편광판의 위치정보에 기초하여 상기 편광판과 상기 기판을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛과 상기 드럼을 제어하는 제어부를 포함하는 편광판 부착장치를 제공할 수 있다.

상기 비젼유닛은, 상기 편광판의 일측을 촬상하는 편광판용 고정카메라와, 상기 편광판의 크기에 따라 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 편광판의 타측을 촬상하는 편광판용 이동카메라를 포함할 수 있다.

상기 비젼유닛은, 상기 본체에 결합되어 상기 편광판용 이동카메라를 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격시키기 위하여 상기 편광판용 이동카메라를 상기 드럼의 축 방향으로 이동시키는 리니어 주행부를 더 포함할 수 있다.

상기 리니어 주행부는, 상기 편광판용 이동카메라가 결합되는 LM 블록과, 상기 본체에 마련되는 LM 가이드와, 상기 LM 블록을 이동시키는 구동모터를 포함할 수 있다.

상기 비젼유닛은, 상기 드럼의 상측 영역에 배치되며, 상기 편광판용 고정카메라와 상기 편광판용 이동카메라는, 상기 드럼의 법선방향으로 배치될 수 있다.

상기 편광판용 고정카메라는 상기 편광판의 일측 모서리 영역을 촬상하고, 상기 편광판용 이동카메라는 상기 편광판의 타측 모서리 영역을 촬상하며, 상기 편광판의 위치정보는, 상기 제어부에 기입력된 편광판 기준선에서의 상기 편광판의 모서리의 위치와 상기 편광판용 고정카메라 및 상기 편광판용 이동카메라에 의해 촬상된 모서리의 위치를 비교하여 얻어질 수 있다.

상기 비젼유닛은, 상기 기판의 일측을 촬상하는 기판용 고정카메라와, 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 기판의 타측을 촬상하는 기판용 이동카메라를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 기판용 고정카메라와 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 정보에 의하여 상기 기판의 위치정보를 획득할 수 있다.

상기 제어부는 상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 기판의 위치정보와 상기 편광판의 위치정보에 기초하여 상기 편광판과 상기 기판을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛과 상기 드럼을 제어할 수 있다.

상기 기판에는 위치측정용 마커(marker)가 마련되며, 상기 기판의 위치정보는,

상기 제어부에 기입력된 기판 기준선에서의 상기 기판의 마커의 위치와 상기 기판용 고정카메라 및 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 마커의 위치를 비교하여 얻어질 수 있다.

상기 기판용 이동카메라는 상기 LM 블록의 상기 편광판용 이동카메라의 반대측에 결합될 수 있다.

상기 본체에는, 상기 편광판용 고정카메라와 상기 기판용 고정카메라가 상호 반대편에서 착탈가능하게 결합될 수 있다.

상기 스테이지유닛은 좌우방향인 X축 방향 및 전후방향인 Y축 방향으로 이동가능한 X-Y축 이동테이블일 수 있다.

상기 드럼유닛은, 상기 드럼을 구동시키는 드럼구동부를 더 포함하며, 상기 드럼구동부는, 상기 드럼을 회전시키는 드럼 회전용 모터와, 상기 드럼을 업/다운(up/down)시키는 드럼 업/다운(up/down) 구동부를 포함할 수 있다.

상기 드럼 업/다운(up/down) 구동부는, 상기 드럼이 결합되는 드럼 결합체와, 상기 드럼 결합체와 치합되어 회전에 의해 상기 드럼 결합체를 업/다운(up/down)시키는 볼 스크류(ball screw)와, 상기 볼 스크류를 회전시키는 서보모터(servo motor)와, 상기 본체에 마련되어 상기 드럼 결합체의 업/다운(up/down)을 가이드하는 드럼 업/다운(up/down) 가이드를 포함할 수 있다.

상기 본체에 결합되어 상기 편광판 및 상기 기판을 향해 이온(ion)을 분사하는 이오나이저를 더 포함할 수 있다.

상기 드럼유닛에 흡착된 편광판에 부착된 보호필름을 상기 편광판으로부터 박리하는 박리유닛을 더 포함할 수 있다.

기판은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 기판이고, 상기 드럼에는 상기 편광판의 흡착을 위한 드럼 흡착공이 형성될 수 있다.

본 발명의 실시예들은, 비젼유닛이 드럼에 흡착된 편광판을 촬상하여 편광판의 위치정보를 획득하고 제어부가 편광판의 위치정보에 기초하여 상기 편광판과 상기 기판을 상기 얼라인(align)시킴으로써, 기판에 편광판을 정밀하게 정합시켜 부착시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 종래기술에 따른 편광판 부착장치의 개략적인 구조도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치의 전체적인 구조가 도시된 사시도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치의 전체적인 구조가 도시된 후면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치의 일부분의 구조가 도시된 부분사시도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 스테이지유닛의 개략적인 구조도이다.
도 6은 도 4의 A영역의 확대도이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 드럼을 바라보는 비젼유닛의 배치가 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 비젼유닛의 편광판 촬상 영역이 도시된 도면이다.
도 9는 도 8의 비젼유닛이 촬상한 이미지이다.
도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 비젼유닛의 편광판 및 기판 촬상 영역이 도시된 도면이다.
도 11은 도 10의 비젼유닛의 촬상 영역 중 기판을 촬상한 이미지이다.
도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 편광판 부착장치의 일부분의 구조가 도시된 부분사시도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 기판은 평면디스플레이에 사용된다. 평면디스플레이란 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중 어떠한 것이 적용되어도 좋다. 다만, 본 실시예에서는 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 유리기판을 단순히 기판이라 하여 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치의 전체적인 구조가 도시된 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치의 전체적인 구조가 도시된 후면도이며, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치의 일부분의 구조가 도시된 부분사시도이고, 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 스테이지유닛의 개략적인 구조도이며, 도 6은 도 4의 A영역의 확대도이고, 도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 드럼을 바라보는 비젼유닛의 배치가 도시된 도면이며, 도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 비젼유닛의 편광판 촬상 영역이 도시된 도면이고, 도 9는 도 8의 비젼유닛이 촬상한 이미지이며, 도 10은 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치에서 비젼유닛의 편광판 및 기판 촬상 영역이 도시된 도면이고, 도 11은 도 10의 비젼유닛의 촬상 영역 중 기판을 촬상한 이미지이다.

도 2 내지 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 본체(110)와, 본체(110)에 마련되어 기판(S)을 지지하며, 왕복 이동하는 스테이지유닛(120)과, 스테이지유닛(120)의 상부에 마련되며, 원통형 형상의 드럼(131)을 갖는 드럼유닛(130)과, 드럼(131)에 인접하게 배치되어 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)을 촬상하여 편광판(M)의 위치정보를 획득하는 비젼유닛(140)과, 비젼유닛(140)으로부터 전송된 편광판(M)의 위치정보에 기초하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)하여 편광판(M)을 기판(S)에 부착하도록 스테이지유닛(120)과 드럼(131)을 제어하는 제어부(미도시)를 포함한다.

본 실시예에 따른 스테이지유닛(120)은, 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정과 편광판(M)을 드럼(131)에 흡착시키는 과정에 모두 사용된다.

스테이지유닛(120)은 편광판(M)을 드럼(131)에 흡착시키는 과정에서 편광판(M)을 지지하며 드럼(131)쪽으로 이동된다. 또한, 스테이지유닛(120)은 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정에서 기판(S)을 지지하며 드럼(131)쪽으로 이동된다.

이러한 스테이지유닛(120)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 좌우방향인 X축 방향 및 전후방향인 Y축 방향으로 이동가능한 X-Y축 이동테이블(123)과, X-Y축 이동테이블(123)을 지지하며, X축 방향 및 Y축 방향과 교차하는 Z축 방향을 중심으로 회전 가능한 회전 테이블(124)과, 회전 테이블(124)을 지지하며, Y축 방향으로 이동가능한 주행 테이블(125)을 포함한다.

X-Y축 이동테이블(123)은 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인(align) 시 필요한 짧은 거리의 이동에 사용되며, 주행 테이블(125)은 기판(S)에 편광판(M)을 부착하는 과정과 같은 긴 거리의 이동에 사용된다.

X-Y축 이동테이블(123)은, 상면부에 기판(S)이 적재되며, 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인(align) 시 X축 방향으로 이동되는 X축 테이블(121)과, X축 테이블(121)을 지지하며 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인(align) 시 Y축 방향으로 이동되는 Y축 테이블(122)을 포함한다.

회전 테이블(124)은, X-Y축 이동테이블(123)을 지지하며, Z축 방향을 중심으로 회전 가능하다. 따라서 회전 테이블(124)의 회전 시 X-Y축 이동테이블(123)도 함께 회전된다. 이러한 회전 테이블(124)에 의해 편광판(M)이 Z축을 중심으로 소정각도 회전되어 드럼(131)에 흡착되더라도, X-Y축 이동테이블(123)이 Z축을 중심으로 회전되어 편광판(M)과 기판(S)이 얼라인될 수 있다.

주행 테이블(125)은 기판(S)에 편광판(M)을 부착하는 과정에서 Y축 방향으로 이동된다. 주행 테이블(125)은 회전 테이블(124)을 지지하며, Y축 방향으로 이동가능하다. 또한 주행 테이블(125)은 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)이 기판(S)에 부착되는 과정에서도 Y축 방향으로 이동된다.

X축 테이블(121)의 이동을 위해 Y축 테이블(122)의 상면부에는, X축 테이블(121)의 이동을 가이드하는 X축 테이블 가이드(126)가 마련된다. 또한, Y축 테이블(122)의 이동을 위해 회전 테이블(124)에는, Y축 테이블(122)의 이동을 가이드하는 Y축 테이블 가이드(127)가 마련된다. 주행 테이블(125)에는 회전 테이블(124)의 회전을 위한 회전축(128)이 마련된다.

한편, 편광판(M)을 드럼(131)에 흡착시키는 과정을 위해 편광판(M)은 X축 테이블(121)에 안정적으로 놓여야 한다. 이를 위해 X축 테이블(121)에는 다수의 테이블 흡착공(H1)이 형성된다.

다수의 테이블 흡착공(H1)은 테이블 진공압 공급부(미도시)과 연결되어 X축 테이블(121)의 상면부에 놓인 편광판(M)에 흡착력을 제공한다.

테이블 진공압 공급부는 테이블 흡착공(H1)들과 관통 연결되는 다수개의 테이블 진공관들(미도시)과, 테이블 진공관들에 진공압을 공급하는 테이블 진공 펌프(미도시)를 포함한다.

한편, 편광판(M)의 드럼(131)에 흡착하는 과정과 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정은 교대로 진행되는 데, 기판(S)과 편광판(M)은 높이가 다르므로 작업이 원활히 진행되기 위해서는 드럼(131)을 각 과정에 따라 업/다운(up/down)시켜야 한다. 이와 같은 드럼(131)의 업/다운(up/down)을 위한 구조는 후술한다.

본 실시예에 따른 드럼유닛(130)은, 스테이지유닛(120)의 상부에 마련되며, 원통형 형상의 드럼(131)을 포함한다.

드럼(131)의 외주면에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 편광판(M)의 흡착을 위한 드럼 흡착공(H2)이 형성된다. 이러한 드럼 흡착공(H2)은 드럼 진공압 공급부(미도시)과 연결되어 편광판(M)에 흡착력을 제공한다.

드럼 진공압 공급부는 드럼 흡착공(H2)들과 관통 연결되는 다수개의 드럼 진공관들(미도시)과, 드럼 진공관들에 진공압을 공급하는 드럼 진공 펌프(미도시)를 포함한다.

또한, 드럼유닛(130)은 드럼(131)을 구동시키는 드럼 구동부(132)를 더 포함한다. 드럼 구동부(132)는, 도 2에 자세히 도시된 바와 같이, 드럼(131)을 회전시키는 드럼 회전용 모터(133)와, 드럼(131)을 업/다운(up/down)시키는 드럼 업/다운(up/down) 구동부(134)를 포함한다.

드럼 회전용 모터(133)는 드럼(131)의 중심축과 연결되어 드럼(131)을 회전시킨다.

드럼 업/다운(up/down) 구동부(134)는, 드럼(131)이 결합되는 드럼 결합체(135)와, 드럼 결합체(135)와 치합되어 회전에 의해 드럼 결합체(135)를 업/다운(up/down)시키는 볼 스크류(ball screw, 미도시)와, 볼 스크류(미도시)를 회전시키는 서보모터(servo motor, 138)와, 본체(110)에 마련되어 드럼 결합체(135)의 업/다운(up/down)을 가이드하는 드럼 업/다운(up/down) 가이드(137)를 포함한다.

드럼 결합체(135)에는 드럼(131)이 회전가능하게 결합되며, 드럼 회전용 모터(133)도 드럼 결합체(135)에 결합되어 드럼(131)과 함께 업/다운(up/down)될 수 있다.

앞서 설명한 바와 같이 편광판(M)이 드럼(131)에 흡착하는 과정과 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)을 기판(S)에 부착하는 과정은 교대로 진행되고, 기판(S)과 편광판(M)은 높이가 서로 다르므로 드럼(131)은 각 과정에 따라 업/다운(up/down)되어야 한다.

이러한 드럼(131)의 업/다운(up/down)은, 드럼 결합체(135)와 치합되고 서보모터(servo motor, 136)의 의해 회전되는 볼 스크류에 의해 이루어진다. 드럼 결합체(135)와 치합되는 볼 스크류의 회전에 의해 드럼 결합체(135)가 업/다운(up/down)되고, 결국 드럼 결합체(135)에 결합된 드럼(131)이 업/다운(up/down)된다.

한편, 드럼 업/다운(up/down) 구동부(134)는, 실린더 로드가 드럼 결합체(135)와 연결되고 실린더 몸체가 본체(110)와 결합되어 드럼 결합체(135)의 업/다운 방향으로 드럼 결합체(135)를 가압하는 가압 실린더(138,139)를 더 포함한다.

가압 실린더(138,139)는 드럼 결합체(135)의 상측 영역에 배치되는 상부 가압 실린더(138)와 드럼 결합체(135)의 하측 영역에 배치되는 하부 가압 실린더(139)로 마련된다.

상부 가압 실린더(138)는 드럼 결합체(135)를 하측 방향으로 각각 가압하고 하부 가압 실린더(139)는 드럼 결합체(135)를 하측 방향으로 가압한다.

이러한 상부 및 하부 가압 실린더(138,139)는, 서보모터(136)와 볼 스크류에 의한 드럼(131)의 업/다운(up/down) 구동을 보조하는 동시에, 드럼(131)이 원하는 높이에 정지된 후에 드럼(131)을 상측 및 하측에서 가압함으로써 작업 중 충격 등에 의하여 드럼(131)이 업/다운(up/down)되는 것을 방지한다.

한편, 본 실시예에 따른 비젼유닛(140)은 드럼(131)에 인접하게 배치되어 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)을 촬상하여 편광판(M)의 위치정보를 획득한다.

이러한 비젼유닛(140)은, 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 편광판(M)의 일측을 촬상하는 편광판용 고정카메라(141)와, 편광판(M)의 크기에 따라 편광판용 고정카메라(141)에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 편광판(M)의 타측을 촬상하는 편광판용 이동카메라(142)와, 기판(S)의 일측을 촬상하는 기판용 고정카메라(146)와, 기판(S)의 크기에 따라 기판용 고정카메라(146)에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 기판(S)의 타측을 촬상하는 기판용 이동카메라(147)를 포함한다.

설명의 편의를 위해 편광판용 고정카메라(141) 및 편광판용 이동카메라(142)를 먼저 설명하고 다음 기판용 고정카메라(146) 및 기판용 이동카메라(147)를 설명한다.

본 실시예에서 편광판용 이동카메라(142)를 사용하는 이유는 편광판 부착장치에 사용되는 다양한 크기의 기판(S)에 대응할 수 있도록 하기 위해서이다. 기판(S)의 크기에 따라 편광판(M)의 크기도 달라진다.

결국 본 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 편광판(M)의 크기에 따라 드럼(131)의 축 방향 길이 전체에 해당되는 길이의 편광판(M)도 사용되고 드럼(131)의 축 방향 길이보다 짧은 길이의 편광판(M)도 사용된다. 이러한 다양한 크기의 편광판(M) 의 위치정보를 획득하기 위하여 편광판용 이동카메라(142)가 편광판(M)의 크기에 따라 드럼(131)의 축 방향으로 이동된다.

이러한 편광판용 고정카메라(141)와 편광판용 이동카메라(142)는, 드럼(131)의 상측 영역에 배치된다.

또한 편광판용 고정카메라(141)와 편광판용 이동카메라(142)는, 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 위치를 정확하게 촬상하기 위해, 드럼(131)의 법선방향에서 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)을 바라본다.

이때, 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보를 얻기 위해, 편광판용 고정카메라(141)와 편광판용 이동카메라(142)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 영역(C1,C2)을 촬상한다. 편광판용 고정카메라(141)가 편광판(M)의 일측 모서리 영역(C1)을 촬상하고, 편광판용 이동카메라(142)는 편광판(M)의 타측 모서리 영역(C2)을 촬상하는 방법이다.

결국, 편광판용 고정카메라(141)와 편광판용 이동카메라(142)의 촬상에 의해 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 모서리의 위치를 알 수 있다.

이러한 편광판용 고정카메라(141)와 편광판용 이동카메라(142)에 의해 촬상된 편광판(M)의 모서리의 위치는 제어부에 기입력된 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M)의 모서리의 위치와 비교함으로써 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보를 얻을 수 있다.

여기서 기입력된 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M)의 모서리의 위치는 도 9에 도시된 바와 같이 십자선의 중심점이다.

한편, 비젼유닛(140)은, 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 본체(110)에 결합되어 편광판용 이동카메라(142)를 편광판용 고정카메라(141)에 대하여 접근 및 이격시키기 위하여 편광판용 이동카메라(142)를 드럼(131)의 축 방향으로 이동시키는 리니어 주행부(143)를 더 포함한다.

리니어 주행부(143)는, 편광판용 이동카메라(142)가 결합되는 LM 블록(144)과, 본체(110)에 마련되는 LM 가이드(145)와, LM 블록(144)을 이동시키는 구동모터(미도시)를 포함한다.

LM 블록(144)에 편광판용 이동카메라(142)가 결합되며, 구동모터의 작동에 의해 LM 블록(144)이 LM 가이드(145)를 따라 이동된다. 따라서 편광판용 이동카메라(142)는 LM 블록(144)에 의해 이동된다.

한편, 본 실시예에서 기판(S)의 모서리 영역(C3,C4)에는 위치측정용 마커(marker, K)가 마련되며, 기판용 고정카메라(146)와 기판용 이동카메라(147)는, 도 10에 도시된 바와 같이, 기판(S)의 모서리 영역(C3,C4)을 촬상한다.

기판용 고정카메라(146)는 기판(S)의 일측 모서리 영역(C3)을 촬상하며 기판용 이동카메라(147)는 기판(S)의 타측 모서리 영역(C4)을 촬상한다. 본 실시예에서 위치측정용 마커(K)가 기판(S)의 모서리 영역에 마련되지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니며 기판(S)의 모서리 영역이 아닌 다른 위치에 마커(K)가 마련될 수도 있다.

본체(110)에는, 편광판용 고정카메라(141)와 기판용 고정카메라(146)가 상호 반대편에서 착탈가능하게 결합되는 고정카메라용 브라켓(BR)이 마련된다.

이와 같이 편광판용 고정카메라(141)와 기판용 고정카메라(146)가 대칭을 이루며 편광판(M)과 기판(S)을 각각 촬상하기 때문에 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인이 더욱 용이하다.

기판용 이동카메라(147)는 LM 블록(144)의 편광판용 이동카메라(142)의 반대측에 결합된다. LM 블록(144)이 편광판용 이동카메라(142)의 반대측에 결합됨으로써 별도의 기판용 이동카메라(147)의 이동을 위한 이동수단이 필요치 않아 공간활용도가 높아진다.

또한 편광판용 이동카메라(142)와 기판용 이동카메라(147)가 대칭을 이루며 편광판(M)과 기판(S)을 각각 촬상하기 때문에 편광판(M)과 기판(S)의 얼라인이 더욱 용이하다.

한편, 제어부는 기판 기준선(ST)에서의 기판(S)의 위치가 미리 입력되어 있다. 따라서 제어부에 기입력된 기판 기준선(ST)에서의 마커(K)의 위치와 기판용 고정카메라(146) 및 기판용 이동카메라(147)에 의해 촬상된 마커(K)의 위치를 비교하면 기판(S)의 위치정보가 얻어진다. 여기서, 기입력된 기판 기준선(ST)에서의 마커(K)의 위치는 도 11에 도시된 바와 같이 십자선의 중심점이다.

이러한 기판용 고정카메라(146)와 기판용 이동카메라(147)에 의해 제어부는 기판(S)의 위치정보를 획득한다.

따라서 본 실시예에 따른 제어부는, 편광판용 고정카메라(141)와 편광판용 이동카메라(142)로부터 편광판(M)의 위치정보로 획득하며, 기판용 고정카메라(146)와 기판용 이동카메라(147)로부터 기판(S)의 위치정보까지 획득한다.

결국 제어부는 비젼유닛(140)으로부터 전송된 기판(S)의 위치정보 및 편광판(M)의 위치정보에 기초하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)하여 편광판(M)을 기판(S)에 부착하도록 스테이지유닛(120)과 드럼(131)을 제어할 수 있다.

이와 같이 본 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 비젼유닛(140)이 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)과 스테이지유닛(120)에 지지되는 기판(S) 각각을 촬상하여 편광판(M)과 기판(S) 각각의 위치정보를 획득하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)함으로써, 편광판(M)을 기판(S)에 정밀하게 정합시켜 부착시킬 수 있다.

한편 본 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 본체(110)에 결합되어 편광판(M) 및 기판(S)을 향해 이온(ion)을 분사하는 이오나이저(ionizer, 150)를 더 포함한다.

이러한 이오나이저(150)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)에 이온(ion)을 분사하는 편광판용 이오나이저(151)와, 기판(S)에 이온(ion)을 분사하는 기판용 이오나이저(152)를 포함한다. 이러한 편광판용 이오나이저(151)와 기판용 이오나이저(152)를 통해 파티클(paticle)이 편광판(M) 및 기판(S)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 도 3에 도시된 바와 같이, 드럼유닛(130)에 흡착된 편광판(M)에 부착된 보호필름(미도시)을 편광판(M)으로부터 박리하는 박리유닛(160)을 더 포함한다.

박리유닛(160)은, 보호필름이 점착되어 점착롤러(161)와, 점착롤러(161)에 점착된 보호필름의 일측을 클램핑하는 그립퍼(Gripper, 162)와, 점착롤러(161)와 그립퍼(162)를 업/다운(up/down)시키는 박리유닛 업/다운(up/down) 구동부(163)를 포함한다.

본 실시예에서 박리유닛 업/다운(up/down) 구동부(163)는 리니어 모터를 사용하지만, 이에 의해 본 발명의 권리범위가 한정되지 않으며 공압 또는 유압 실린더를 사용할 수도 있을 것이다.

보호필름의 박리 시에 박리유닛(160)은 다운(down)되어 드럼(131)에 인접한다.

점착롤러(161)는, 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 영역에서 보호필름에 점착되며 회전에 의해 보호필름의 일부분을 편광판(M)으로부터 분리시킨다.

그립퍼(162)는 점착롤러(161)에 의해 편광판(M)으로부터 분리된 보호필름의 일부분을 클램핑한다.

그립퍼(162)에 보호필름이 클램핑된 후에 드럼(131)이 회전되고, 드럼(131)의 회전과 함께 박리유닛(160)이 박리유닛 업/다운(up/down) 구동부(163)에 의해 상승한다. 이러한 박리유닛(160)의 상승에 의해 편광판(M)에서 보호필름이 완전히 박리된다.

한편, 본 실시예에서 편광판(M)과 기판(S)은 수동 또는 픽업 로봇(미도시)에 의해 X축 테이블(121)의 상면부에 적재될 수 있다. 또한, 박리유닛(160)에 클램된 보호필름은 수동 또는 보호필름 수거로봇(미도시)에 의해 박리유닛(160)에서 수거될 수 있다.

이하에서 본 실시예에 따른 편광판 부착장치의 작동에 대해 설명한다.

먼저 편광판(M)을 드럼(131)에 흡착시키기 위해 편광판(M)을 X축 테이블(121)의 상면부에 적재한다. 편광판(M)의 적재는 수동 또는 픽업 로봇에 의해 이루어진다.

편광판(M)의 적재 후 제어부의 제어신호에 의해 드럼(131)이 편광판(M)의 흡착위치로 다운(down)되고, 주행 테이블(125)의 이동과 함께 드럼(131)이 회전되어 편광판(M)이 드럼(131)에 흡착된다.

편광판(M)이 드럼(131)에 흡착된 후에는 주행 테이블(125)이 원위치로 복귀하여 기판(S)이 X축 테이블(121)에 적재되도록 대기한다.

다음, 박리유닛(160)이 드럼(131)쪽으로 다운(down)되어 보호필름을 클램핑한다. 보호필름의 클램핑 후 드럼(131)의 회전과 함께 박리유닛(160)이 상승하여 편광판(M)에 부착된 보호필름을 완전히 편광판(M)에서 박리한다.

이후, 기판(S)이 수동 또는 픽업 로봇에 의해 X축 테이블(121)의 상면부에 적재된다. 이러한 기판(S)이 X축 테이블(121)에 적재되는 과정은 박리유닛(160)이 보호필름을 박리하는 과정과 동시에 수행될 수도 있어 공정시간을 줄일 수 있다.

한편, 편광판(M)이 드럼(131)에 흡착된 후에는 비젼유닛(140)이 편광판(M)의 위치정보를 획득한다.

편광판용 고정카메라(141)와 편광판용 이동카메라(142)가 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 영역을 촬상함으로써, 드럼(131)에 흡착된 편광판(M) 위치가 제어부에 기입력된 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M)의 위치에서 어느 정도 벗어나 있는지를 알 수 있다.

이렇게 획득된 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보에 따라 제어부는, 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 모서리 위치와 편광판 기준선(MT)에서의 편광판(M) 모서리 위치의 차이가 보정되도록 X-Y축 이동테이블(123)을 제어한다.

또한, 기판용 고정카메라(146)와 기판용 이동카메라(147)가 X-Y축 이동테이블(123)에 적재된 기판(S)의 모서리 영역(C3,C4)을 촬상함으로써, 기판(S)의 마커(K)의 위치가 제어부에 기입력된 기판 기준선(ST)의 위치에서 어느 정도 벗어나 있는지를 알 수 있다.

이렇게 획득된 기판(S)의 위치정보에 따라 제어부는, X-Y축 이동테이블(123)에 적재된 기판(S)의 마커(K)의 위치와 기판 기준선(ST)에서의 마커(K)의 위치의 차이가 보정되도록 X-Y축 이동테이블(123)을 제어한다.

결국 제어부의 X-Y축 이동테이블(123) 제어에 의해 편광판(M)과 기판(S)이 얼라인(align)된다.

다음, X-Y축 이동테이블(123)을 제어하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)한 후 편광판(M)이 기판(S)에 부착되도록 주행 테이블(125)을 이동시킨다. 주행 테이블(125)의 이동과 함께 드럼(131)이 회전되어 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)이 기판(S)에 부착되어 편광판(M) 부착작업이 완료된다. 이후 수동 또는 보호필름 수거로봇을 통해 박리유닛(160)에 클램핑된 보호필름을 수거하고 다시 편광판(M)을 스테이지유닛(120)에 적재하는 작업을 수행한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 비젼유닛(140)이 드럼(131)에 부착된 편광판(M)을 촬상하여 편광판(M) 위치정보를 획득하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)함으로써, 편광판(M)을 기판(S)에 정밀하게 정합시켜 부착시킬 수 있다.

도 12는 본 발명의 제2 실시예에 따른 편광판 부착장치의 일부분의 구조가 도시된 부분사시도이다.

본 실시예는 제1 실시예와 비교할 때에 비젼유닛(140a)의 구성에 있어서 차이가 있을 뿐, 다른 구성에 있어서는 도 2 내지 도 11의 제1 실시예의 구성과 동일하므로, 이하에서는 본 실시예의 비젼유닛(140a)의 구성을 위주로 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 편광판 부착장치의 비젼유닛(140a)은, 도 12에 자세히 도시된 바와 같이, 편광판(M)의 일측을 촬상하는 편광판용 고정카메라(141)와, 편광판(M)의 크기에 따라 편광판용 고정카메라(141)에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 편광판(M)의 타측을 촬상하는 편광판용 이동카메라(142)를 포함한다.

본 실시예에 따른 제어부는, 획득된 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 위치정보에 따라 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)의 위치와 편광판 기준선(MT)의 위치의 차이가 보정되도록 X-Y축 이동테이블(123)을 제어하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)한 후, 편광판(M)이 기판(S)에 부착되도록 스테이지유닛(120)과 드럼(131)을 제어한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 편광판 부착장치는, 비젼유닛(140a)이 드럼(131)에 흡착된 편광판(M)과 스테이지유닛(120)에 지지되는 기판(S) 각각을 촬상하여 편광판(M)의 위치정보를 획득하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)함으로써, 편광판(M)을 기판(S)에 정밀하게 정합시켜 부착시킬 수 있다.

본 실시예에 따른 편광판 부착장치는 제1실시예와 달리 기판용 고정카메라(146)와 기판용 이동카메라(147)를 사용하지 않는 데, 이는 편광판(M)이 드럼(131)에 흡착되는 과정에서 편광판(M)이 편광판 기준선(MT)에서 벗어나서 드럼(131)에 흡착되는 경우는 자주 발생되지만 기판(S)이 기판 기준선(ST)을 벗어난 상태로 X-Y축 이동테이블(123)에 적재되는 경우는 빈번하게 발생되지 않기 때문이다.

따라서 본 실시예에 따른 편광판 부착장치는 편광판용 고정카메라(141)와, 편광판용 이동카메라(142)를 통해 편광판(M)의 위치정보를 획득하여 편광판(M)과 기판(S)을 얼라인(align)함으로써, 간단하고 정밀하게 편광판(M)을 기판(S)에 정합시켜 부착시킬 수 있다.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

110: 본체 120: 스테이지유닛
121: X축 테이블 122: Y축 테이블
123: X-Y축 이동테이블 124: 회전 테이블
125: 주행 테이블 130: 드럼유닛
131: 드럼 132: 드럼 구동부
133: 드럼 회전용 모터 134: 드럼 업/다운(up/down: 구동부
135: 드럼 결합체 136: 서보모터
137: 드럼 업/다운(up/down) 가이드
138, 139: 가압실린더 140: 비젼유닛
141: 편광판용 고정카메라 142: 편광판용 이동카메라
143: 리니어 주행부 144: LM 블록
145: LM 가이드 146: 기판용 고정카메라
147: 기판용 이동카메라 M: 편광판
S: 기판 MT: 편광판 기준선
ST: 기판 기준선 K: 마커
BR: 고정카메라용 브라켓

Claims (17)

1. 본체;
   상기 본체에 마련되어 기판을 지지하며, 왕복 이동하는 스테이지유닛;
   상기 스테이지유닛의 상부에 마련되며, 원통형 형상의 드럼을 갖는 드럼유닛;
   상기 드럼에 인접하게 배치되어 상기 드럼에 흡착된 편광판을 촬상하여 상기 편광판의 위치정보를 획득하는 비젼유닛; 및
   상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 편광판의 위치정보에 기초하여 상기 편광판과 상기 기판을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛과 상기 드럼을 제어하는 제어부를 포함하며,
   상기 비젼유닛은,
   상기 편광판의 일측을 촬상하는 편광판용 고정카메라; 및
   상기 편광판의 크기에 따라 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 편광판의 타측을 촬상하는 편광판용 이동카메라를 포함하며,
   상기 편광판용 고정카메라는 상기 편광판의 일측 모서리 영역을 촬상하고, 상기 편광판용 이동카메라는 상기 편광판의 타측 모서리 영역을 촬상하며,
   상기 편광판의 위치정보는,
   상기 제어부에 기입력된 편광판 기준선에서의 상기 편광판의 모서리의 위치와 상기 편광판용 고정카메라 및 상기 편광판용 이동카메라에 의해 촬상된 모서리의 위치를 비교하여 얻어지며,
   상기 비젼유닛은,
   상기 기판의 일측을 촬상하는 기판용 고정카메라; 및
   상기 기판의 크기에 따라 상기 기판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격 가능하도록 마련되며, 상기 기판의 타측을 촬상하는 기판용 이동카메라를 더 포함하며,
   상기 제어부는 상기 기판용 고정카메라와 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 정보에 의하여 상기 기판의 위치정보를 획득하며,
   상기 제어부는 상기 비젼유닛으로부터 전송된 상기 기판의 위치정보와 상기 편광판의 위치정보에 기초하여 상기 편광판과 상기 기판을 얼라인(align)하여 상기 편광판을 상기 기판에 부착하도록 상기 스테이지유닛과 상기 드럼을 제어하며,
   상기 기판에는 위치측정용 마커(marker)가 마련되며,
   상기 기판의 위치정보는,
   상기 제어부에 기입력된 기판 기준선에서의 상기 기판의 마커의 위치와 상기 기판용 고정카메라 및 상기 기판용 이동카메라에 의해 촬상된 마커의 위치를 비교하여 얻어지며,
   상기 비젼유닛은,
   상기 본체에 결합되어 상기 편광판용 이동카메라를 상기 편광판용 고정카메라에 대하여 접근 및 이격시키기 위하여 상기 편광판용 이동카메라를 상기 드럼의 축 방향으로 이동시키는 리니어 주행부를 더 포함하는 편광판 부착장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 리니어 주행부는,
   상기 편광판용 이동카메라가 결합되는 LM 블록;
   상기 본체에 마련되는 LM 가이드; 및
   상기 LM 블록을 이동시키는 구동모터를 포함하는 편광판 부착장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 비젼유닛은,
   상기 드럼의 상측 영역에 배치되며,
   상기 편광판용 고정카메라와 상기 편광판용 이동카메라는,
   상기 드럼의 법선방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 삭제
10. 제4항에 있어서,
    상기 기판용 이동카메라는 상기 LM 블록의 상기 편광판용 이동카메라의 반대측에 결합되는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.
11. 제1항에 있어서,
    상기 본체에는,
    상기 편광판용 고정카메라와 상기 기판용 고정카메라가 상호 반대편에서 착탈가능하게 결합되는 고정카메라용 브라켓이 마련되는 편광판 부착장치.
12. 제1항에 있어서,
    상기 스테이지유닛은,
    좌우방향인 X축 방향 및 전후방향인 Y축 방향으로 이동가능한 X-Y축 이동테이블;
    상기 X-Y축 이동테이블을 지지하며, 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향과 교차하는 Z축 방향을 중심으로 회전 가능한 회전 테이블; 및
    상기 회전 테이블을 지지하며, 상기 Y축 방향으로 이동가능한 주행 테이블을 포함하는 편광판 부착장치.
13. 제1항에 있어서,
    상기 드럼유닛은,
    상기 드럼을 구동시키는 드럼구동부를 더 포함하며,
    상기 드럼구동부는,
    상기 드럼을 회전시키는 드럼 회전용 모터; 및
    상기 드럼을 업/다운(up/down)시키는 드럼 업/다운(up/down) 구동부를 포함하는 편광판 부착장치.
14. 제13항에 있어서,
    상기 드럼 업/다운(up/down) 구동부는,
    상기 드럼이 결합되는 드럼 결합체;
    상기 드럼 결합체와 치합되어 회전에 의해 상기 드럼 결합체를 업/다운(up/down)시키는 볼 스크류(ball screw);
    상기 볼 스크류를 회전시키는 서보모터(servo motor); 및
    상기 본체에 마련되어 상기 드럼 결합체의 업/다운(up/down)을 가이드하는 드럼 업/다운(up/down) 가이드를 포함하는 편광판 부착장치.
15. 제1항에 있어서
    상기 본체에 결합되어 상기 편광판 및 상기 기판을 향해 이온(ion)을 분사하는 이오나이저를 더 포함하는 편광판 부착장치.
16. 제1항에 있어서,
    상기 드럼유닛에 흡착된 편광판에 부착된 보호필름을 상기 편광판으로부터 박리하는 박리유닛을 더 포함하는 편광판 부착장치.
17. 제1항에 있어서,
    기판은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 기판이고,
    상기 드럼에는 상기 편광판의 흡착을 위한 다수의 드럼 흡착공이 형성되는 것을 특징으로 하는 편광판 부착장치.

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