JP4403802B2 - ペースト塗布機 - Google Patents
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Description
図1は本発明によるペースト塗布機の一実施形態を示す斜視図であって、1は架台、2a,2bは基板搬送コンベア、3は基板吸着盤、4はθ軸移動テ−ブル、5a,5bはy軸移動テ−ブル、6はx軸移動テーブル、7は塗布ヘッド、8は制御部、9は空圧ユニット、10はモニタ、11はキ−ボ−ド(操作パネル)である。
5a,5b y軸移動テーブル
6 x軸移動テーブル
7 塗布ヘッド
8 制御部
13 z軸モータ
14 z軸移動テーブル
15 シリンジ保持ベース
16R,16G,16B シリンジ
21 ノズルホルダ
23 高さセンサ
24 ノズルセンサ駆動機構
25 移動案内機構
26,26R,26G,26B ノズル
27 非接触三角測式センサ
K 基板
Ra,Rb リブ
P(R),P(G),P(B) 蛍光体ペースト
Claims (2)
- テーブル上に載置された凹,凸部を有する基板にノズルのペースト吐出口を対向させ、該基板の主面に垂直な方向での該ペースト吐出口と該基板との間の距離の計測を行なう高さセンサによってペーストパターン形成のためのペースト塗布工程の前に予め得られた該基板の表面のうねりデータに基づいて、該基板の主面に垂直な方向での該ノズルのペースト吐出口と該基板の表面との間の距離を所定の値に保持し、該ノズルのペースト吐出口から該基板上にペーストを吐出させながら、該基板の主面と平行な方向での該基板と該ノズルとの間の相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望形状のペーストパターンを形成するペースト塗布機において、
該ペースト塗布工程の前に、該基板の表面のうねりを予め検知する際に辿る該高さセンサの計測経路を該基板の凸部あるいは凹部に対して斜めに設定する第1の手段と、
該ペースト塗布工程の前で該基板の表面のうねりを予め検知する際、ペーストパターンが該基板上の予め決められた経路に沿って形成されるように、該基板に施された位置決めマークに基づいて、該基板をθ方向に位置合わせを行なう第2の手段と、
該第2の手段によって位置合わせされた該基板をθ方向に予め設定されたずらし設定角度だけずらす第3の手段と、
該第3の手段によってθ方向に該ずらし設定角度だけずらされた該基板に対し、該ペースト塗布工程で該基板にペーストパターンを形成するときのペースト塗布経路となる経路近傍を斜めに辿って、該高さセンサで該基板の主面に垂直な方向での該高さセンサと該基板の表面との間の距離の計測動作を行なう第4の手段と、
該第4の手段の計測動作によって得られた距離データを処理して、該基板の該凸部の頂点を結ぶ凸部面のうねりデータに変換する第5の手段と、
該第3の手段でθ方向に該ずらし設定角度だけずれた該基板を該第2の手段で位置合わせされた元の状態に戻す第6の手段と、
該第5の手段によって得られた該うねりデータに基づいて、該基板の主面に垂直な方向での該ノズルのペースト吐出口と該基板との間の距離を該所定の値に保持しながら、該第6の手段で該元の状態に戻された該基板にペースト塗布を行ない、ペーストパターンを形成する第7の手段と
を備えたことを特徴としたペースト塗布機。 - テーブル上に載置された凹,凸部を有する基板にノズルのペースト吐出口を対向させ、該基板の主面に垂直な方向での該ペースト吐出口と該基板との間の距離の計測を行なう高さセンサによってペーストパターン形成のためのペースト塗布工程の前に予め得られた該基板の表面のうねりデータに基づいて、該基板の主面に垂直な方向での該ノズルのペースト吐出口と該基板の表面との間の距離を所定の値に保持し、該ノズルのペースト吐出口から該基板上にペーストを吐出させながら、該基板の主面と平行な方向での該基板と該ノズルとの間の相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望形状のペーストパターンを形成するペースト塗布機において、
該ペースト塗布工程の前に、該基板の表面のうねりを予め検知する際に辿る該高さセンサの計測経路を該基板の凸部あるいは凹部に対して斜めに設定する第1の手段と、
該ペースト塗布工程の前で該基板の表面のうねりを予め検知する際、ペーストパターンが該基板上の予め決められた経路に沿って形成されるように、該基板に施された位置決めマークに基づいて、該基板をθ方向に位置合わせを行なう第2の手段と、
該第2の手段によって位置合わせされた該基板に対し、該ペースト塗布工程で該基板にペーストパターンを形成するときのペースト塗布経路となる経路近傍を斜めに沿う経路を辿って、該高さセンサで該基板の主面に垂直な方向での該高さセンサと該基板の表面との間の距離を計測する第3の手段と、
該第3の手段の計測動作によって得られた距離データを処理して、該基板の凸部の頂点を結ぶ凸部面のうねりデータに変換する第4の手段と、
該第4の手段によって得られた該うねりデータに基づいて、該基板の主面に垂直な方向での該ノズルのペースト吐出口と該基板との間の距離を該所定の値に保持しながら、該第2の手段で位置合わせされた該基板にペースト塗布を行ない、ペーストパターンを形成する第5の手段と
を備えたことを特徴としたペースト塗布機。
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