KR100899618B1 - 웨이퍼 정렬 유닛 이를 갖는 웨이퍼 세정 장치 - Google Patents

웨이퍼 정렬 유닛 이를 갖는 웨이퍼 세정 장치 Download PDF

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Abstract

웨이퍼 정렬 유닛은 구동 롤러, 정렬 롤러 및 지지 롤러를 포함한다. 구동 롤러는 가장 자리에 노치가 형성된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전력을 제공한다. 정렬 롤러는 구동 롤러의 회전력을 통하여 실질적으로 웨이퍼를 회전시키면서 노치를 감지하여 웨이퍼를 정렬시킨다. 지지 롤러는 그 중심이 정렬 롤러를 통해 회전하는 웨이퍼의 중심으로부터 정렬 롤러의 중심으로 연장한 연장선에 위치하도록 형성되어 정렬 롤러를 지지한다. 따라서, 정렬 롤러가 웨이퍼의 노치를 감지할 때, 정렬 롤러의 회전에 의하여 웨이퍼가 흔들리는 현상을 방지할 수 있다.

Description

웨이퍼 정렬 유닛 이를 갖는 웨이퍼 세정 장치{UNIT FOR ALIGNING WAFER AND APPARATUS FOR CLEANING WAFER HAVING THE SAME}
본 발명은 웨이퍼 정렬 유닛 및 이를 갖는 웨이퍼 세정 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼를 정렬하기 위한 유닛 및 상기 유닛에서 정렬된 웨이퍼를 세정하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 실리콘을 기초로 한 웨이퍼로부터 제조된다. 구체적으로, 상기 반도체 소자는 증착 공정, 연마 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 이온 주입 공정, 세정 공정, 검사 공정 등을 포함하여 제조된다. 이때, 상기 웨이퍼에는 기본적으로 그 위치가 수시로 정렬되며, 이를 위하여 그 가장 자리에는 정렬을 위한 노치(notch)가 형성될 수 있다.
상기와 같은 공정들 중 세정 공정에서는 상기 웨이퍼를 세정액이 채워진 처리조에 투입시켜 상기 웨이퍼 표면에 잔류하는 이물질을 제거한다. 이때, 상기 웨이퍼는 다수 개를 하나로 묶어 상기 세정액에 투입된다. 또한, 상기 처리조에는 상기 웨이퍼들을 위치를 안착시키기 위한 받침대가 형성된다.
상기 받침대는 적어도 두 개의 지지핀들로 형성되어 상기 웨이퍼들 각각을 지지하는 구조를 갖는다. 이에, 상기 세정 공정에서는 상기 웨이퍼에 형성된 노치 가 상기 받침대의 지지핀들에 접촉하여 그 위치가 어긋나는 것을 방지하기 위하여 상기 웨이퍼들을 상기 처리조에 투입시키기 전에, 상기 웨이퍼들을 별도의 웨이퍼 정렬 장치를 이용하여 정렬하게 된다.
상기 웨이퍼 정렬 장치는 상기 웨이퍼들 각각의 노치들을 감지하는 정렬 롤러 및 상기 정렬 롤러에 회전력을 인가하는 구동 롤러를 포함한다.
그러나, 상기 웨이퍼에 형성된 노치의 사이즈가 매우 작고 상기 웨이퍼들의 개수가 많아짐에 따라, 상기 정렬 롤러가 처지거나 상기 노치에서 상기 정렬 롤러가 회전 시 상기 웨이퍼들이 흔들리는 문제점을 갖는다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 정렬 롤러의 처짐을 방지하면서 웨이퍼의 노치에서 상기 정렬 롤러의 회전에 의해 상기 웨이퍼가 흔들리는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 정렬 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기한 웨이퍼 정렬 유닛을 갖는 웨이퍼 세정 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 웨이퍼 정렬 유닛은 구동 롤러, 정렬 롤러 및 지지 롤러를 포함한다. 상기 구동 롤러는 가장 자리에 노치가 형성된 웨이퍼를 회전시키기 위한 회전력을 제공한다. 상기 정렬 롤러는 상기 구동 롤러의 회전력을 통하여 실질적으로 상기 웨이퍼를 회전시키면서 상기 노치를 감지하여 상기 웨이퍼를 정렬시킨다. 상기 지지 롤러는 그 중심이 상기 정렬 롤러를 통해 회전하는 웨이퍼의 중심으로부터 상기 정렬 롤러의 중심으로 연장한 연장선에 위치하도록 형성되어 상기 정렬 롤러를 지지한다.
상기 연장선은 상기 웨이퍼에 형성된 노치가 상기 정렬 롤러에 감지될 때, 그 중심으로부터 연장되는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 연장선이 지면에 수직한 직선과 이루는 각도는 3도 내지 12도인 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 웨이퍼 정렬 유닛은 상기 웨이퍼의 정렬을 진행하는 도중 상기 웨이퍼의 회전을 가이드하기 위한 가이드 롤러 및 상기 정렬 롤러가 상기 웨이퍼의 노치를 감지할 때 상기 정렬 롤러를 감지된 상기 노치로부터 이격시키는 보조 롤러를 더 포함한다. 또한, 상기 웨이퍼 정렬 유닛은 상기 정렬 롤러를 통하여 상기 웨이퍼들이 모두 정렬되었을 때, 상기 정렬이 이루어진 웨이퍼들을 안착시키기 위한 받침대를 더 포함할 수 있다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 웨이퍼 세정 장치는 웨이퍼 정렬 유닛, 웨이퍼 이송 유닛 및 웨이퍼 세정 유닛을 포함한다. 상기 웨이퍼 정렬 유닛은 가장 자리에 노치가 형성된 다수의 웨이퍼들을 정렬한다. 상기 웨이퍼 이송 유닛은 상기 웨이퍼 정렬 유닛에서 정렬된 웨이퍼들을 이송한다. 상기 웨이퍼 세정 유닛은 상기 웨이퍼 이송 유닛에서 이송된 웨이퍼들의 표면을 세정하는 웨이퍼 세정 유닛을 포함한다. 이에, 상기 웨이퍼 정렬 유닛은 상기 웨이퍼들을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동 롤러, 상기 구동 롤러의 회전력을 통하여 실질적으로 상기 웨이퍼들을 회전시키면서 상기 노치를 감지하여 상기 웨이퍼들을 정렬시키는 정렬 롤러 및 그 중심이 상기 정렬 롤러를 통해 회전하는 웨이퍼의 중심으로부터 상기 정렬 롤러의 중심으로 연장한 연장선에 위치하도록 형성되어 상기 정렬 롤러를 지지하는 지지 롤러를 포함한다.
이러한 웨이퍼 정렬 유닛 및 이를 갖는 웨이퍼 세정 장치에 따르면, 정렬 롤러를 지지하는 별도의 지지 롤러를 구성함으로써, 상기 정렬 롤러가 처지는 것을 기본적으로 방지할 수 있다.
또한, 상기 지지 롤러의 중심이 웨이퍼 중심으로부터 상기 정렬 롤러의 중심으로 연장한 연장선에 위치하도록 형성시켜 상기 웨이퍼들의 하중이 정확하게 상기 지지 롤러로 인가되도록 함으로써, 상기 정렬 롤러가 상기 웨이퍼들의 노치들에서 회전할 때 상기 웨이퍼들이 흔들리는 것을 방지할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 유닛 및 이를 갖는 웨이퍼 세정 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것 으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 세정 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 세정 장치의 웨이퍼 정렬 유닛을 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 세정 장치(1000)는 웨이퍼 정렬 유닛(100), 웨이퍼 이송 유닛(200) 및 웨이퍼 세정 유닛(300)을 포함한다.
상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)은 반도체 소자의 제조에 사용되는 웨이퍼(10)를 정렬한다. 이때, 상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)은 작업 효율을 향상시키기 위하여 상기 웨이퍼(10)를 일정 개수만큼 하나로 묶어서 정렬한다. 예를 들어, 상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)은 약 25매 또는 약 50매의 상기 웨이퍼(10)들을 묶어서 정렬할 수 있다. 이때, 상기 웨이퍼(10)들은 서로 병렬로 배치된다.
여기서, 상기 웨이퍼(10)들은 가장 자리의 어느 한 위치에 이들의 정렬을 위한 노치(12)가 형성된다. 상기 노치(12)는 상기 웨이퍼(10)의 가장 자리로부터 안쪽으로 파인 홈 형상을 갖는다. 이와 달리, 상기 웨이퍼(10)들은 가장 자리의 어느 한 위치에 일부가 직선 방향으로 절개된 플랫존이 형성될 수 있다.
상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)은 구동 롤러(110), 정렬 롤러(120), 지지 롤러(130) 및 가이드 롤러(140)를 포함한다. 상기 구동 롤러(110)는 기본적으로 상기 웨이퍼(10)들의 가장 자리와의 접촉이 가능한 위치에 배치된다. 상기 구동 롤러(110)는 상기 웨이퍼(10)들이 병렬로 배치되어 있기 때문에, 상기 웨이퍼(10)들의 배치 방향을 따라 길게 형성된다.
상기 구동 롤러(110)는 상기 웨이퍼(10)들을 회전시키기 위한 회전력을 제공한다. 이에, 상기 구동 롤러(110)는 회전 능력을 가지는 구동 모터와 벨트 결합 또는 기어 결합하여 상기 회전력을 제공할 수도 있고, 자체에 구동 모터가 내장되어 상기 회전력을 제공할 수도 있다.
상기 정렬 롤러(120)는 상기 구동 롤러(110)의 회전력을 통하여 실질적으로 상기 웨이퍼(10)들을 회전시킨다. 구체적으로, 상기 정렬 롤러(120)는 상기 구동 롤러(110)와 벨트 결합 또는 기어 결합하여 직접적으로 상기 회전력을 전달받을 수 있고, 상기 지지 롤러(130)를 통해 전달받을 수 있다. 하지만, 전자 방식의 경우 전달되는 상기 회전력의 회전 방향이 서로 다르게 전달되기 때문에, 실질적으로 상기 정렬 롤러(120)는 인가되는 회전 방향이 동일한 후자 방식을 통해 전달되게 된다.
상기 정렬 롤러(120)는 상기 웨이퍼(10)들 각각의 노치(12)들을 감지하여 상기 웨이퍼(10)들을 정렬한다. 이에, 상기 정렬 롤러(120)는 실질적으로 상기 노치(12)의 파진 홈이 매우 작기 때문에, 그 직경도 작게 형성된다. 예를 들어, 상기 정렬 롤러(120)는 약 5㎜ 내지 약 10㎜의 직경을 가질 수 있다. 또한, 상기 정렬 롤러(120)도 상기 구동 롤러(110)와 마찬가지로, 상기 웨이퍼(10)들의 배치 방향을 따라 길게 형성된다. 결과적으로, 상기 정렬 롤러(120)는 중력에 의하여 처질 수 있다.
상기 지지 롤러(130)는 상기 정렬 롤러(120)의 처짐을 방지하기 위하여 상기 정렬 롤러(120)를 지지한다. 즉, 상기 지지 롤러(130)는 상기 정렬 롤러(120)의 하부를 지지한다. 이에, 상기 지지 롤러(130)는 상기 정렬 롤러(120)보다 직경이 긴 것을 사용하여 자체적으로 중력에 의한 처짐이 발생되지 않도록 한다. 또한, 상기 지지 롤러(130)는 상대적으로 처짐이 잘 발생되지 않는 경도가 우수한 재질로 이루어질 수 있다.
이로써, 상기 웨이퍼(10)들의 정렬을 위한 상기 정렬 롤러(120)를 상기 지지 롤러(130)를 통하여 지지함으로써, 그 처짐을 방지할 수 있다.
상기 지지 롤러(130)는 그 제1 중심(C1)이 상기 웨이퍼(10)들의 제2 중 심(C2)으로부터 상기 정렬 롤러(120)의 제3 중심(C3)으로 연장한 연장선(EL)에 위치하도록 형성된다. 즉, 상기 지지 롤러(130)는 상기 정렬 롤러(120)에 인가되는 상기 웨이퍼(10)들의 하중을 정확하게 위치에서 지지할 수 있다. 이때, 상기 제2 중심(C2)은 상기 정렬 롤러(120)가 상기 웨이퍼(10)의 노치(12)를 감지할 때 형성되는 것이다.
이로써, 상기 정렬 롤러(120)가 상기 웨이퍼(10)들의 노치(12)들에서 회전할 때 상기 웨이퍼(10)들이 흔들리는 현상, 즉 롤링(rolling) 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 연장선(EL)은 지면에 수직한 기준선(SL)과 소정의 각도(a)를 이룬다. 이는, 상기 웨이퍼(10)들의 회전에 의하여 그 하중이 적용되는 지점이 달라지기 때문이다. 일 예로, 상기 각도(a)는 약 3도 내지 약 12도일 수 있다. 물론, 상기 각도는 상기 웨이퍼(10)들의 회전 속도 및 범위에 의하여 좌우되지만, 본 실시예에서와 같이 단순히 상기 웨이퍼(10)들을 정렬할 때에는 그 속도와 그 범위가 거의 일정하면서 작으므로, 실질적으로 무시하여도 무방할 수 있다.
상기 지지 롤러(130)는 상기에서 언급하였듯이, 상기 구동 롤러(110)로부터의 회전력을 상기 정렬 롤러(120)로 전달하기 위하여 상기 구동 롤러(110)와 접촉하는 구조를 가질 수 있다.
상기 가이드 롤러(140)는 상기 웨이퍼(10)들을 정렬하는 도중 상기 웨이퍼(10)들의 회전을 가이드한다. 즉, 상기 가이드 롤러(140)는 자체적으로 회전력을 갖지 않는다. 상기 가이드 롤러(140)는 중력에 의하여 상기 웨이퍼(10)들이 쓰러지 는 위치에 형성된다. 상기 가이드 롤러(140)는 실질적으로 상기 구동 롤러(110)와 연결되어 하나의 어셈블리로 구성될 수 있다.
한편, 상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)은 보조 롤러(150) 및 받침대(160)를 더 포함한다. 상기 보조 롤러(150)는 상기 정렬 롤러(120)와 근접한 위치에 형성된다. 상기 보조 롤러(150)는 상기 정렬 롤러(120)가 상기 노치(12)를 감지하여 상기 노치(12)에 소정 삽입될 때 감지된 상기 웨이퍼(10)를 상기 정렬 롤러(120)로부터 이격시키면서 상기 웨이퍼(10)를 지지한다. 이와 같은 상기 보조 롤러(150)는 상기 정렬 롤러(120) 및 상기 지지 롤러(130)와 어셈블리로 구성될 수 있다.
상기 받침대(160)는 상기 정렬 롤러(120)를 통하여 상기 웨이퍼(10)들이 모두 정렬되었을 때, 정렬이 이루어진 상기 웨이퍼(10)들을 안착시킨다. 상기 받침대(160)는 바닥부(162) 및 상기 바닥부(162)로부터 돌출되고 수직으로 세워진 상기 웨이퍼(10)들의 양 측부를 지지하기 위한 제1 돌출부(164)들 및 상기 제1 돌출부(164)들 사이에서 상기 바닥부(162)로부터 돌출되어 상기 웨이퍼(10)들의 가운데를 지지하는 제2 돌출부(166)를 포함한다.
이하, 도 3 및 도 4를 추가적으로 참조하여 상기 웨이퍼(10)들이 정렬되는 과정을 상세하게 설명하고자 한다.
도 3은 도 2의 웨이퍼 정렬 유닛에 의하여 웨이퍼를 정렬하기 전 상태를 확대하여 나타낸 도면이며, 도 4는 도 2의 웨이퍼 정렬 유닛에 의하여 웨이퍼를 정렬한 상태를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 3 및 도 4를 추가적으로 참조한 상기 웨이퍼(10)들의 정렬 과정은 먼저, 다수의 상기 웨이퍼(10)들을 상기 받침대(160)에 안착시킨다.
이어, 상기 구동 롤러(110) 및 상기 가이드 롤러(140)의 어셈블리를 상승시켜 상기 웨이퍼(10)들을 상기 받침대(160)로부터 이격시킨다. 이어, 상기 정렬 롤러(120), 상기 지지 롤러(130) 및 상기 보조 롤러(150)의 어셈블리는 상승시켜 상기 웨이퍼(10)들을 상기 구동 롤러(110)로부터 이격시킨다. 이때, 상기 지지 롤러(130)는 상기 구동 롤러(110) 및 상기 정렬 롤러(120)와 접촉된 구조를 갖는다.
이어, 상기 구동 롤러(110)의 회전력으로부터 상기 정렬 롤러(120)를 통해 상기 웨이퍼(10)들을 회전시킨다. 이어, 상기 웨이퍼(10)의 노치(12)가 상기 정렬 롤러(120)에 감지되면, 감지된 상기 웨이퍼(10)는 상기 정렬 롤러(120)로부터 이격되면서 상기 보조 롤러(150)에 안착되어 그 회전이 중단된다.
이어, 상기 웨이퍼(10)들이 모두 상기 정렬 롤러(120)에 의하여 그 노치(12)들이 감지되면, 상기 정렬 롤러(120), 상기 지지 롤러(130) 및 상기 보조 롤러(150)의 어셈블리를 하강시켜 상기 구동 롤러(110)가 상기 웨이퍼(10)에 접촉하도록 한다. 마지막으로, 사용자는 상기 구동 롤러(110)의 회전력을 통해 상기 웨이퍼(10)들을 회전시켜 상기 노치(12)들을 원하는 위치로 이동시킨다.
이로써, 상기 웨이퍼(10)들의 노치(12)들이 이후의 상기 웨이퍼 세정 유닛(300)에 의한 세정 시, 배경 기술에서 언급하였던 것과 같이 간섭되는 것을 방지할 수 있다.
상기 웨이퍼 이송 유닛(200)은 상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)에서 정렬된 상기 웨이퍼(10)들을 실질적인 세정을 위하여 상기 웨이퍼 세정 유닛(300)으로 이송한 다. 상기 웨이퍼 이송 유닛(200)은 상기 웨이퍼(10)들을 홀딩하는 웨이퍼 척(210) 및 상기 웨이퍼 척(210)과 연결되어 상기 웨이퍼 척(210)을 이송시키는 이송암(220)을 포함한다.
상기 웨이퍼 세정 유닛(300)은 상기 웨이퍼 이송 유닛(200)에 의해 상기 웨이퍼(10)들을 이송 받아 상기 웨이퍼(10)들의 표면을 세정한다. 상기 웨이퍼 세정 유닛(300)은 적어도 하나의 처리조(310)로 이루어진다.
상기 처리조(310)는 황산(H2SO4), 불산(HF), 염산(HCl), 과산화 수용액(H2O2) 등과 같은 약액이 채워진 약액조, 상기 약액을 씻어내기 위한 물과 같은 세척액이 채워진 수세조 및 상기 기판(10)들에 묻어 있을 수 있는 상기 세정액을 건조시키기 위한 건조조 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 이러한 세정 공정이 이루어진 상기 웨이퍼(10)들은 상기 웨이퍼 이송 유닛(200)에 의해 이송되어 외부로 반출될 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
상술한 본 발명은 웨이퍼들을 세정하는 장치에 적용하여 상기 웨이퍼들을 정 렬하고자 할 때, 정렬을 위한 정렬 롤러의 처짐을 방지하면서 상기 정렬 롤러가 상기 웨이퍼들의 노치들에서 흔들리는 현상을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 세정 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 웨이퍼 세정 장치의 웨이퍼 정렬 유닛을 나타낸 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2의 웨이퍼 정렬 유닛에 의하여 웨이퍼를 정렬하기 전 상태를 확대하여 나타낸 도면이다.
도 4는 도 2의 웨이퍼 정렬 유닛에 의하여 웨이퍼를 정렬한 상태를 확대하여 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 웨이퍼 12 : 노치
100 : 웨이퍼 정렬 유닛 110 : 구동 롤러
120 : 정렬 롤러 130 : 지지 롤러
140 : 가이드 롤러 150 : 보조 롤러
200 : 웨이퍼 이송 유닛 300 : 웨이퍼 세정 유닛
1000 : 웨이퍼 세정 장치

Claims (6)

  1. 가장 자리에 노치(12)가 형성되면서 수직으로 배치된 웨이퍼(10)를 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동 롤러(110);
    상기 구동 롤러(110)의 회전력을 통하여 실질적으로 상기 웨이퍼(10)를 회전시키면서 상기 노치(12)를 감지하여 상기 웨이퍼(10)를 정렬시키며, 상기 노치(12)에 삽입이 가능한 직경을 갖는 정렬 롤러(120); 및
    상기 정렬 롤러(120)와 결합되고, 그 중심이 상기 정렬 롤러(120)를 통해 회전하는 웨이퍼(10)의 중심으로부터 상기 정렬 롤러(120)의 중심으로 연장한 연장선(EL)에 위치하도록 형성되어 상기 정렬 롤러(120)를 지지하며, 상기 정렬 롤러(120)와 같이 상승할 때 상기 구동 롤러(110)와 접촉하여 상기 구동 롤러(110)의 회전력을 상기 정렬 롤러(120)에 전달하는 지지 롤러(130);
    상기 구동 롤러(110)와 연결되며, 상기 정렬 롤러(120)가 상기 웨이퍼(10)를 회전시켜 상기 웨이퍼(10)의 정렬을 진행하는 도중 상기 웨이퍼(10)의 회전을 가이드하기 위한 가이드 롤러(140); 및
    상기 정렬 롤러(120) 및 상기 지지 롤러(130)와 결합되며, 상기 정렬 롤러(120)가 상기 웨이퍼(10)의 노치(12)를 감지하여 상기 정렬 롤러(120)가 상기 노치(12)에 삽입될 때 상기 정렬 롤러(120)가 상기 감지된 노치(12)의 안쪽에서 헛돌도록 상기 정렬 롤러(120)를 상기 노치(12)로부터 이격시키는 보조 롤러(150)를 포함하는 웨이퍼 정렬 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 연장선(EL)은 상기 웨이퍼(10)에 형성된 노치(12)가 상기 정렬 롤러(120)에 감지될 때, 그 중심으로부터 연장되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 연장선(EL)이 지면에 수직한 직선과 이루는 각도는 3도 내지 12도인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 유닛.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 정렬 롤러(120)를 통하여 상기 웨이퍼(10)들이 모두 정렬되었을 때, 상기 정렬이 이루어진 웨이퍼(10)들을 안착시키기 위한 받침대(160)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 유닛.
  6. 가장 자리에 노치(12)가 형성되면서 수직으로 배치된 다수의 웨이퍼(10)들을 정렬하는 웨이퍼 정렬 유닛(100);
    상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)에서 정렬된 웨이퍼(10)들을 이송하는 웨이퍼 이송 유닛(200); 및
    상기 웨이퍼 이송 유닛(200)에서 이송된 웨이퍼(10)들의 표면을 세정하는 웨이퍼 세정 유닛(300)을 포함하고,
    상기 웨이퍼 정렬 유닛(100)은
    상기 웨이퍼(10)들을 회전시키기 위한 회전력을 제공하는 구동 롤러(110);
    상기 구동 롤러(110)의 회전력을 통하여 실질적으로 상기 웨이퍼(10)들을 회전시키면서 상기 노치(12)를 감지하여 상기 웨이퍼(10)들을 정렬시키며, 상기 노치(12)에 삽입이 가능한 직경을 갖는 정렬 롤러(120); 및
    상기 정렬 롤러(120)와 결합되며, 그 중심이 상기 정렬 롤러(120)를 통해 회전하는 각 웨이퍼(10)의 중심으로부터 상기 정렬 롤러(120)의 중심으로 연장한 연장선(EL)에 위치하도록 형성되어 상기 정렬 롤러(120)를 지지하며, 상기 정렬 롤러(120)와 같이 상승할 때 상기 구동 롤러(110)와 접촉하여 상기 구동 롤러(110)의 회전력을 상기 정렬 롤러(120)에 전달하는 지지 롤러(130);
    상기 구동 롤러(110)와 연결되며, 상기 정렬 롤러(120)가 상기 웨이퍼(10)들 각각을 회전시켜 상기 웨이퍼(10)들의 정렬을 진행하는 도중 상기 웨이퍼(10)들의 회전을 가이드하기 위한 가이드 롤러(140); 및
    상기 정렬 롤러(120) 및 상기 지지 롤러(130)와 결합되며, 상기 정렬 롤러(120)가 각 웨이퍼(10)의 노치(12)를 감지하여 상기 정렬 롤러(120)가 상기 노치(12)에 삽입될 때 상기 정렬 롤러(120)가 상기 감지된 노치(12)의 안쪽에서 헛돌도록 상기 정렬 롤러(120)를 상기 노치(12)로부터 이격시키는 보조 롤러(150)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 장치.
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