KR100888303B1 - 와이어 그리드 편광판 및 그 제조 방법 - Google Patents
와이어 그리드 편광판 및 그 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100888303B1 KR100888303B1 KR1020080096740A KR20080096740A KR100888303B1 KR 100888303 B1 KR100888303 B1 KR 100888303B1 KR 1020080096740 A KR1020080096740 A KR 1020080096740A KR 20080096740 A KR20080096740 A KR 20080096740A KR 100888303 B1 KR100888303 B1 KR 100888303B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- lattice
- dielectric layer
- wire grid
- convex portion
- polarizing plate
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133528—Polarisers
- G02F1/133548—Wire-grid polarisers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
Abstract
Description
유전체 재료 *1 | B영역의 평균 굴절률 | P [nm] | H1 [nm] | H2 [nm] | H3 [nm] | W3 [nm] | 편광도 [%] *2 | 투과율 [%] *2 | |
제1 실시예 | 질화규소 | 1.59 | 140 | 128 | 165 | 153 | 67 | 99.96 | 42 |
제2 실시예 | 질화규소 | 1.59 | 140 | 128 | 165 | 180 | 69 | 99.99 | 38 |
제3 실시예 | 질화규소 | 1.56 | 120 | 110 | 141 | 151 | 54 | 99.97 | 43 |
제4 실시예 | 산화규소 | 1.24 | 120 | 110 | 155 | 153 | 54 | 99.97 | 41 |
제5 실시예 | 질화규소 | 1.56 | 100 | 92 | 128 | 145 | 45 | 99.99 | 43 |
제6 실시예 | 질화규소 | 1.56 *3 | 120 | 110 | 144 | 152 | 54 | 99.97 | 41 |
제1 비교예 | 없음 | 120 | 110 | - | 형성되지 않음 | 형성되지 않음 | - | - | |
제2 비교예 | - | 144 | - | - | 180 | 70 | 99.89 | 44 | |
제3 비교예 | 144 | - | - | 150 | 68 | 99.40 | 47 |
Claims (20)
- 격자형 볼록부를 갖고 수지로 이루어지는 기재와, 상기 기재의 격자형 볼록부 및 그 측면의 적어도 일부를 덮도록 설치된 유전체층과, 상기 유전체층 상에 설치된 금속 와이어를 구비하는 와이어 그리드 편광판.
- 제1항에 있어서, 상기 기재의 격자형 볼록부의 피치가 150 nm 이하이고, 높이가 피치의 0.5배 내지 2배인 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유전체층이 상기 기재의 격자형 볼록부를 피복하여 형성되는 요철 격자의 볼록부 마루와 오목부 골의 고저차가 100 nm 내지 300 nm인 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속 와이어가 상기 유전체층의 볼록부보다 높은 위치에 존재하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유전체층이 상기 기재의 격자형 볼록부를 피복하여 형성되는 요철 격자의 볼록부 마루와 오목부 골의 고저차가 100 nm 내지 300 nm이고, 상기 금속 와이어가 상기 유전체층의 볼록부보다 높은 위치에 존재하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속 와이어가 상기 유전체층의 볼록부의 한쪽 측면에 치우쳐 설치된 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유전체층이 상기 기재의 격자형 볼록부를 피복하여 형성되는 요철 격자의 볼록부 마루와 오목부 골의 고저차가 100 nm 내지 300 nm이고, 상기 금속 와이어가 상기 유전체층의 볼록부의 한쪽 측면에 치우쳐 설치된 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속 와이어가 상기 유전체층의 볼록부보다 높은 위치에 존재하고, 상기 금속 와이어가 상기 유전체층의 볼록부의 한쪽 측면에 치우쳐 설치된 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유전체층이 상기 기재의 격자형 볼록부를 피복하여 형성되는 요철 격자의 볼록부 마루와 오목부 골의 고저차가 100 nm 내지 300 nm이고, 상기 금속 와이어가 상기 유전체층의 볼록부보다 높은 위치에 존재하며, 상기 유전체층의 볼록부의 한쪽 측면에 치우쳐 설치된 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유전체층은 산화티탄, 산화셀륨, 산화지르코늄, 산화알루미늄, 산화이트륨, 산화규소, 질화규소, 질화알루미늄 또는 이들의 복합물로 구성되어 있는 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속 와이어는 알루미늄 또는 그 합금으로 이루어지는 금속으로 구성되어 있는 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 단위 면적이 100 cm2 이상인 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 유전체층의 굴절률이 상기 기재의 굴절률보다도 높은 와이어 그리드 편광판.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기재의 격자형 볼록부의 피치가 120 nm 이하인 와이어 그리드 편광판.
- 액정 패널과, 상기 액정 패널에 광을 조사하는 조명 수단과, 상기 액정 패널과 상기 조명 수단의 사이에 배치된 제1항 또는 제2항에 기재된 와이어 그리드 편광판을 구비하는 액정 표시 장치.
- 제15항에 있어서, 상기 액정 패널이 투과형 액정 패널인 액정 표시 장치.
- 광원과, 상기 광원으로부터의 광을 편광 분리하는 제1항 또는 제2항에 기재된 와이어 그리드 편광판과, 상기 편광판에 의해 편광된 광을 투과 또는 반사하는 액정 표시 소자와, 상기 액정 표시 소자를 투과 또는 반사한 광을 스크린에 투사하는 투사 광학계를 구비하는 투사형 액정 표시 장치.
- 표면에 격자형 볼록부를 갖고 수지로 이루어지는 기재의, 상기 격자형 볼록부 및 그 측면의 적어도 일부를 덮도록 유전체층을 형성하는 공정과, 상기 유전체층 상에 금속 와이어를 형성하는 공정을 구비하는 와이어 그리드 편광판의 제조 방법.
- 표면에 격자형 볼록부를 갖고 수지로 이루어지는 기재의, 상기 격자형 볼록부 및 그 측면의 적어도 일부를 덮도록 유전체층을 형성하는 공정과, 상기 유전체층 상에 금속 와이어를 형성하는 공정을 구비하고, 상기 기재의 격자형 볼록부 형상은 표면에 100 nm 내지 100 μm 피치의 요철 격자를 갖는 피연신 부재를 상기 요철 격자의 길이 방향과 대략 직교하는 방향의 상기 피연신 부재의 폭을 자유자재로 한 상태에서, 상기 길이 방향과 대략 평행한 방향으로 일축 연신함으로써 제작한 미세 요철 격자를 갖는 형틀을 이용하여 미세 요철 격자를 전사에 의해 기재에 부형하는 와이어 그리드 편광판의 제조 방법.
- 제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 금속 와이어를 형성하는 공정에서, 상기 격자형 볼록부의 격자의 길이 방향과 수직으로 교차하는 평면 내에서, 기재면의 법선과 증착원이 이루는 각도가 30°이하의 방향으로부터 금속을 적층하여 금속 와이어를 형성하는 와이어 그리드 편광판의 제조 방법.
Applications Claiming Priority (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2005-00301884 | 2005-10-17 | ||
JP2005301884 | 2005-10-17 | ||
JPJP-P-2005-00301883 | 2005-10-17 | ||
JP2005301883 | 2005-10-17 | ||
JPJP-P-2006-00232967 | 2006-08-30 | ||
JP2006232968 | 2006-08-30 | ||
JPJP-P-2006-00232968 | 2006-08-30 | ||
JP2006232967 | 2006-08-30 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060100128A Division KR100894939B1 (ko) | 2005-10-17 | 2006-10-16 | 와이어 그리드 편광판 및 그 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080101833A KR20080101833A (ko) | 2008-11-21 |
KR100888303B1 true KR100888303B1 (ko) | 2009-03-11 |
Family
ID=37714357
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060100128A KR100894939B1 (ko) | 2005-10-17 | 2006-10-16 | 와이어 그리드 편광판 및 그 제조 방법 |
KR1020080096740A KR100888303B1 (ko) | 2005-10-17 | 2008-10-01 | 와이어 그리드 편광판 및 그 제조 방법 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060100128A KR100894939B1 (ko) | 2005-10-17 | 2006-10-16 | 와이어 그리드 편광판 및 그 제조 방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (2) | EP1775607A1 (ko) |
KR (2) | KR100894939B1 (ko) |
CN (1) | CN1952700B (ko) |
TW (1) | TWI321663B (ko) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101334497B (zh) * | 2007-06-28 | 2015-11-25 | 第一毛织株式会社 | 偏振分光器件及其制造方法和设备以及包括其的显示器 |
KR100980284B1 (ko) * | 2007-09-07 | 2010-09-06 | 미래나노텍(주) | 접착력이 향상된 나노 와이어 그리드 편광자 및 그 제조방법 |
WO2009125751A1 (ja) | 2008-04-08 | 2009-10-15 | 旭硝子株式会社 | ワイヤグリッド型偏光子の製造方法 |
JP4968165B2 (ja) * | 2008-04-24 | 2012-07-04 | ウシオ電機株式会社 | 光配向用偏光光照射装置 |
WO2010005059A1 (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-14 | 旭硝子株式会社 | ワイヤグリッド型偏光子およびその製造方法 |
KR101610376B1 (ko) * | 2009-04-10 | 2016-04-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 액정 표시 장치 및 와이어 그리드 편광자의 제조 방법 |
CN102713697A (zh) * | 2009-10-08 | 2012-10-03 | 旭硝子株式会社 | 线栅型偏振片及其制造方法 |
KR101714035B1 (ko) * | 2010-04-12 | 2017-03-22 | 엘지이노텍 주식회사 | 와이어 그리드 편광자, 이를 포함하는 액정 표시 장치, 3차원 입체영상 디스플레이장치 및 와이어 그리드 편광자의 제조 방법 |
JP2012002972A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Seiko Epson Corp | 偏光素子及びその製造方法、液晶装置、電子機器 |
JP2012002971A (ja) * | 2010-06-16 | 2012-01-05 | Seiko Epson Corp | 偏光素子及びその製造方法、液晶装置、電子機器 |
TWI429966B (zh) * | 2010-12-20 | 2014-03-11 | Ind Tech Res Inst | 偏振片 |
DE102011079030B4 (de) | 2011-07-12 | 2014-10-02 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Polarisator und Verfahren zur Herstellung eines Polarisators |
WO2014035170A1 (ko) * | 2012-08-29 | 2014-03-06 | 주식회사 엘지화학 | 편광 자외선 분리 소자 |
JP2015219319A (ja) * | 2014-05-15 | 2015-12-07 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板及びその製造方法 |
TWI613467B (zh) * | 2014-09-30 | 2018-02-01 | Ushio Electric Inc | 光柵偏光元件及光配向裝置 |
CN104297835B (zh) | 2014-10-17 | 2017-03-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种线栅偏振片的制作方法 |
CN104459865A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-03-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种线栅偏振片及其制作方法、显示装置 |
CN104483733B (zh) | 2014-12-30 | 2017-11-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种线栅偏振片及其制作方法、显示装置 |
CN104516164B (zh) | 2015-01-05 | 2018-03-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法和显示装置 |
CN106569296B (zh) * | 2015-10-07 | 2020-08-14 | 住友化学株式会社 | 偏振板 |
CN105652564B (zh) * | 2016-01-26 | 2017-07-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示系统及显示方法 |
JP6903470B2 (ja) * | 2016-05-12 | 2021-07-14 | Eneos株式会社 | 光学位相差部材及びプロジェクタ |
CN106094083A (zh) * | 2016-06-01 | 2016-11-09 | 武汉华星光电技术有限公司 | 用于裸眼立体显示设备的狭缝光栅及裸眼立体显示设备 |
JP2018155795A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-10-04 | Jxtgエネルギー株式会社 | 光学位相差部材、偏光変換素子、テンプレート及び光学位相差部材の製造方法 |
JP6826073B2 (ja) * | 2018-05-31 | 2021-02-03 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
CN108803124B (zh) * | 2018-06-27 | 2021-05-28 | 武汉华星光电技术有限公司 | 曲面液晶显示屏及其制造方法 |
US20200012146A1 (en) * | 2018-07-05 | 2020-01-09 | Innolux Corporation | Electronic device |
CN112567270B (zh) * | 2018-08-30 | 2023-05-30 | Scivax株式会社 | 偏振片及利用该偏振片的显示器及紫外线照射装置 |
JP7477085B2 (ja) * | 2019-06-25 | 2024-05-01 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ワイヤグリッド型偏光素子、及びその製造方法 |
CN110426850A (zh) * | 2019-06-29 | 2019-11-08 | 天津大学 | 单层全彩耦合的波导显示光栅耦合器 |
PH12020050192A1 (en) * | 2019-07-17 | 2021-05-17 | Moxtek Inc | Reflective wire grid polarizer with transparent cap |
PH12020050239A1 (en) * | 2019-08-27 | 2021-05-17 | Moxtek Inc | Optical device with embedded organic moieties |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4289381A (en) | 1979-07-02 | 1981-09-15 | Hughes Aircraft Company | High selectivity thin film polarizer |
US6122103A (en) | 1999-06-22 | 2000-09-19 | Moxtech | Broadband wire grid polarizer for the visible spectrum |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3291871A (en) * | 1962-11-13 | 1966-12-13 | Little Inc A | Method of forming fine wire grids |
JPH0990122A (ja) | 1995-09-28 | 1997-04-04 | Kyocera Corp | グリッド型偏光子の製造方法 |
AU2001284825A1 (en) | 2000-08-15 | 2002-02-25 | Reflexite Corporation | A light polarizer |
US6532111B2 (en) * | 2001-03-05 | 2003-03-11 | Eastman Kodak Company | Wire grid polarizer |
GB0106050D0 (en) | 2001-03-12 | 2001-05-02 | Suisse Electronique Microtech | Polarisers and mass-production method and apparatus for polarisers |
JP2002328222A (ja) | 2001-04-26 | 2002-11-15 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 偏光素子及びその製造方法 |
US6739723B1 (en) | 2001-12-07 | 2004-05-25 | Delta Electronics, Inc. | Polarization recapture system for liquid crystal-based data projectors |
CN1621866A (zh) | 2003-11-28 | 2005-06-01 | 日本板硝子株式会社 | 薄膜结构与制造该薄膜结构的方法 |
JP4238766B2 (ja) | 2004-04-15 | 2009-03-18 | 株式会社デンソー | 環状交差点の車両情報システム |
JP4334399B2 (ja) | 2004-04-15 | 2009-09-30 | 株式会社リコー | 印刷制御装置、印刷制御方法 |
JP5062873B2 (ja) | 2005-02-24 | 2012-10-31 | 有限会社梅田事務所 | 複合脂質画分、それから単離されたヒト型スフィンゴミエリンとプラズマローゲンならびにこれらを含む機能性食品素材、医薬品素材および化粧品素材 |
JP2006232968A (ja) | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 活性光線硬化型インクとそれを用いた画像形成方法及びインクジェット方式記録装置 |
-
2006
- 2006-10-16 KR KR1020060100128A patent/KR100894939B1/ko active IP Right Grant
- 2006-10-16 CN CN2006101360118A patent/CN1952700B/zh active Active
- 2006-10-16 EP EP06021627A patent/EP1775607A1/en not_active Ceased
- 2006-10-16 EP EP09006387A patent/EP2090909B1/en active Active
- 2006-10-17 TW TW095138286A patent/TWI321663B/zh active
-
2008
- 2008-10-01 KR KR1020080096740A patent/KR100888303B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4289381A (en) | 1979-07-02 | 1981-09-15 | Hughes Aircraft Company | High selectivity thin film polarizer |
US6122103A (en) | 1999-06-22 | 2000-09-19 | Moxtech | Broadband wire grid polarizer for the visible spectrum |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Journal of the Optical Society of America, vol. 50, no. 9, p. 886 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070042079A (ko) | 2007-04-20 |
EP2090909A1 (en) | 2009-08-19 |
CN1952700A (zh) | 2007-04-25 |
TW200728786A (en) | 2007-08-01 |
TWI321663B (en) | 2010-03-11 |
CN1952700B (zh) | 2010-06-09 |
EP2090909A8 (en) | 2010-06-09 |
KR100894939B1 (ko) | 2009-04-27 |
KR20080101833A (ko) | 2008-11-21 |
EP2090909B1 (en) | 2012-08-29 |
EP1775607A1 (en) | 2007-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100888303B1 (ko) | 와이어 그리드 편광판 및 그 제조 방법 | |
JP4275691B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板の製造方法 | |
JP4275692B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板及びそれを用いた液晶表示装置 | |
JP5026759B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法 | |
US7894019B2 (en) | Wire grid polarizer and liquid crystal display device using the same | |
KR20090108592A (ko) | 편광판 및 이것을 사용한 액정표시장치 | |
US20120206805A1 (en) | Nanowire grid polarizers and methods for fabricating the same | |
JP2006201540A (ja) | ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法 | |
JP2010085990A (ja) | ワイヤグリッド偏光板 | |
JP5069037B2 (ja) | 積層ワイヤグリッド偏光板 | |
JP2012118237A (ja) | 赤外線用ワイヤグリッド偏光板 | |
JP5525289B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板の製造方法並びに液晶表示装置 | |
JP2016148871A (ja) | 赤外線用ワイヤグリッド偏光板、赤外線用イメージセンサー及び赤外線用カメラ | |
JP4617329B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板の製造方法 | |
JP5833301B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板及びワイヤグリッド偏光板の製造方法 | |
JP5069036B2 (ja) | 高偏光度を持つ偏光板 | |
CN116719114A (zh) | 一种基于纳米压印的线栅圆偏振片 | |
JP2011059370A (ja) | ワイヤグリッド偏光子及びその作製方法 | |
TW201835648A (zh) | 光學相位差構件、偏光變換元件、模板及光學相位差構件的製造方法 | |
JP2008268297A (ja) | 薄型偏光板 | |
JP5235208B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板 | |
JP2009192586A (ja) | ワイヤグリッド型偏光素子及びそれを用いた表示装置 | |
JP5069035B2 (ja) | ワイヤグリッド偏光板 | |
JP2010256553A (ja) | ワイヤグリッド偏光フィルム | |
JP2008268296A (ja) | ワイヤグリッド偏光板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130227 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140220 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150224 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160219 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170221 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180220 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190219 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200219 Year of fee payment: 12 |