KR100885877B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

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Abstract

기판을 지지시키는 회동지지대의 구조를 간단히 한 기판의 이송장치에 관한 것이다.
이 장치는 상부의 제1위치로 공급된 기판을 하부의 제2위치의 높이로 기판을 이송시키고, 제2위치로 이송된 기판을 이송레일로 이동시켜 배출시키는 기판 이송장치에 있어서, 제1,2상부회동지지대와 제1,2하부회동지지대가 상하로 이격된 상태로 회동되게 한 구조를 가진다.
이러한 이송장치는 제1,2리프트가 각각 제1위치와 제2위치 사이를 교대로 승강되면서 복수의 기판을 이송시키게 되므로 제1,2회동지지대에서의 기판 대기시간을 줄임으로써 이송시간 및 공정시간을 단축시킬 수 있게 한다.
또한, 제1~4회전축 및 제1~4벨트부재에 의해서 제1,2상부지지대와 제1,2하부지지대가 회동되도록 함으로써, 회동구조를 간단히한다.
기판, 이송, 리프트, 경사, 회동지지대

Description

기판 이송장치{A base plate transfer method and apparatus}
본 발명은 작업 대상물인 기판을 상부 작업부로부터 하부작업부로 또는 하부작업부로부터 상부작업부로 이송시킬때 이송시간을 단축시키고 기판의 처리공정시간을 단축시킬 수 있도록 한 기판 이송장치에 관한 것으로써, 특히 기판을 지지시키는 회동지지대의 구조를 간단히 한 기판의 이송장치에 관한 것이다.
예컨대, 평판디스플레이(FPT;flat panel display), 반도체 웨이퍼, LCD 글라스 등에 사용되는 기판은 증착, 에칭, 스트립, 세정, 린스등의 일련의 공정을 거치면서 처리된다.
이러한 일련의 기판 처리공정은 기판이송장치에 의해 이송되어 기판의 공급, 처리, 배출의 과정이 하나의 순환싸이클을 이루게 된다.
일 예로서의 기판 이송장치를 개략적으로 나타낸 도 1 내지 도 3을 참조하면, 이는 상부작업대(10)로부터 하부작업대(20)로 기판(1)(2)을 이송시키고, 다시 하부작업대(20)로부터 상부작업대(10)로 기판(1)(2)을 이송하여 배출시키는 구조를 가진다.
즉, 도 1에서와 같이, 상부작업대(10)의 공급 및 배출부(15)를 통하여 기판(1)이 공급되어서, 상부작업대(10)의 일정구간에서 제1기판(1)에 대한 자외선세정이 행하여지고, 자외선세정이 완료된 제1기판(1)은 공급측리프트(11)로 이동되어서 도 2 및 도 3에서와 같이 하강되어 하부작업대(20)로 제1기판(1)이 이동되고, 하부작업대(20)에서 세정수에 의한 세정작업등의 공정이 이루어진다.
이와 같이 하부작업대(20)에서의 공정이 완료된 후에는 배출측리프트(21)로 제1기판(1)이 이동되고, 상승되어서 상부작업대(10)의 공급 및 배출부(15)를 통하여 제1기판(1)이 배출되게 된다.
그러나 이와 같은 기판 이송장치는 제1기판(1)이 공급측리프트(11)에 탑재되어서 상부작업대(10)로부터 하부작업대(20)로 이송되는 동안, 도 2에서와 같이 상부작업대(10)에서 자외선세정공정이 완료된 제2기판(2)이 대기하여야 하고 이에 따라 공급 및 배출부(15)를 통한 다른 기판의 공급이 지연되므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로써, 기판의 대기시간을 최소화하여 작업시간을 단축시키고 기판의 이송공간을 최소화할 수 있도록 한 기판 이송장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 기판을 리프트에 전달시키는 회동지지대의 작동구조를 간단히 한 기판 이송장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하는 본 발명은 상부의 제1위치로 공급된 기판을 하부의 제2위치의 높이로 기판을 이송시키고, 제2위치로 이송된 기판을 이송레일로 이동시켜 배출시키는 기판 이송장치에 있어서,
상기 이송레일의 마주보는 양측에 제1위치로부터 제2위치에 이르는 구간에 마련되는 제1,2승강기구와;
상기 제1위치에서 상기 제1승강기구에 인접한 고정구조물에 일정간격으로 세로로 세워져 고정되는 복수의 제1고정판과;
상기 제1고정판들의 일단부를 나란하게 관통하여 회전가능하게 지지되는 제1,2회전축과;
상기 제1,2회전축을 각각 회전구동시키는 제1,2회전모터와;
일단이 상기 각 제1고정판들에 회전가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제1상부지지대와, 상기 제1 상부지지대의 하부에 위치되어 상기 각 제1고정판에 각 일단이 회동가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제1하부지지대를 구비하는 제1회동지지대와;
상기 제1회전축과 상기 각 제1상부지지대를 연결시키는 복수의 제1벨트부재와;
상기 제2회전축과 상기 각 제1하부지지대를 연결시키는 복수의 제2벨트부재와;
상기 제1위치에서 상기 제2승강기구에 인접한 고정구조물에 일정간격으로 세로로 세워져 고정되는 복수의 제2고정판과;
상기 제2고정판들의 일단부를 나란하게 관통하여 회전가능하게 지지되는 제3,4회전축과;
상기 제3,4회전축을 각각 회전구동시키는 제3,4회전모터와;
일단이 상기 각 제2고정판들에 회전가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제2상부지지대와, 상기 제2상부지지대의 하부에 위치되어 상기 각 제2고정판에 각 일단이 회동가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제2하부지지대를 구비하는 제2회동지지대와;
상기 제2회전축과 상기 각 제2상부지지대를 연결시키는 복수의 제3벨트부재와;
상기 제4회전축과 상기 각 제2하부지지대를 연결시키는 복수의 제4벨트부재 와;
상기 제1,2승강기구에 지지되어 상하로 이동가능하고, 상기 제1,2승강기구에 대해 회동가능하고, 길이가 신축가능하며, 상기 제1,2회동지지대의 기판을 탑재하여 상기 이송레일에 안착시키는 포크형 제1,2리프트;를 구비하며,
상기 이송레일은 상기 포크형 제1,2리프트가 통과되도록 일정간격으로 마련되는 복수의 회전봉을 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 승강기구는 모터의 동력으로 회전되는 스크류봉인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1,2리프트는 각각 상기 스크류봉에 나사결합되어 승강되는 제1,2이동블럭과, 상기 제1,2이동블럭에 고정되는 제1,2승강몸체와, 상기 각 제1,2승강몸체에 일단이 회동가능하게 지지되는 제1,2회동바아와, 일단이 상기 제1,2회동바아의 타단부에 회전수단에 의해서 회전가능하게 연결되는 제1,2확장바아를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 회전수단은 상기 제1,2회동바아에 각각 소정간격 이격되어 회전가능하게 지지되는 제1,2풀리와, 상기 제1,2풀리에 권회되어 회전안내되는 벨트와, 상기 제1,2회동바아에 고정설치되며 그 로드가 상기 벨트와 연결고정되는 실린더를 구비하며,
상기 각 제2풀리를 상기 각 제1,2확장바아와 동축으로 연결하여 된 것을 특징으로 한다.
본 발명은 제1,2리프트가 각각 제1위치와 제2위치 사이를 교대로 승강되면서 복수의 기판을 이송시키게 되므로 제1,2회동지지대에서의 기판 대기시간을 줄임으로써 이송시간 및 공정시간을 단축시킬 수 있게 한다.
또한, 제1~4회전축 및 제1~4벨트부재에 의해서 제1,2상부지지대와 제1,2하부지지대가 회동되도록 함으로써, 회동구조를 간단히한다.
또한, 제1,2리프트들을 회동가능하게 하고 신축가능하도록 함으로써, 좁은공간에서의 설치를 가능하게 한다.
또한, 이송레일을 수평 및 경사구동을 가능하게 하여, 이송레일의 수평위치에서 기판을 안정적으로 안착시키고 또한 기판이 안착된 이송레일을 경사지도록 함으로써 물기 등의 배출을 원할하게 한다.
본 발명 실시예에 적용되는 기판 이송장치는 예컨대, LCD 글라스와 같은 기판을 증착, 에칭, 스트립, 세정, 린스등의 일련의 공정을 거칠 수 있도록 자동이송시키는 기판 이송라인에서, 각 공정간에 기판을 이송/대기시키는 버퍼(buffer)구간에 적용된다. 즉, 도 1에서와 같이, 상부작업대로부터 하부작업대로 또는 그 반대로 기판을 이송시키는 기판의 공급 및 배출과 퍼버구간에 적용된다.
이와 같은 일련의 기판 처리공정은 기판이송시스템에 의해 이송되어 기판의 공급, 처리, 배출의 과정이 대기시간없이 최소한의 시간으로 하나의 순환사이클을 이루게 된다.
종래에는 일련의 공정소요시간이 종래 리프터의 작동시간보다 짧아져서 문제가 되었는데, 본 발명은 리프터의 처리속도를 향상시켜서 공정소요시간보다 빠르게 하여 다음 기판공급준비를 가능하게 한다.
또한, 본 발명 이송장치는 기판을 임시 대기시키는 상/하부지지대의 작동 구조를 간단히 하여 동작 특성을 향상시킨다. 특히, 본 출원인이 선출원한 특허출원번호 제2007-141641호에 개시된 상/하부지지대의 링크구조에 비하여 설계를 간단히하고 구조를 간단히하여 동작특성을 향상시킨다.
이하에서는 본 발명 기판 이송장치에 대하여 설명한다.
본 발명 실시예의 기판 이송장치의 개략적 개념작동도를 나타낸 도 4, 도 10a 내지 도 10n를 참조하면, 이는 제1위치(상부위치)로 공급된 기판(400)을 제1,2리프트(100)(200)에 의해서 제2위치(하부위치)의 높이로 이송시키고, 제2위치로 이송된 기판을 이송레일(300)에 이송시켜 배출시키도록 한다.
먼저, 상기 이송레일(300)의 마주보는 양측에 제1위치로부터 제2위치에 이르는 구간에 각각 제1,2승강가이드를 마련하고, 제1,2승강가이드에 제1,2리프트(100)(200)를 승강가능하게 지지시킨다. 이때 승강구조는 체인,로우프, 타이밍벨트, 볼스크류 또는 유압실린더에 의해서 가능하게 구성될 수 있다.
본 발명 실시예에서의 제1,2승강가이드는 제1,2모터(110)(210)에 의해서 회전되는 제1,2스크류봉(101)(201)을 채택하였다.
상기 제1,2스크류봉(101)(201) 사이에는 로봇(미도시)에 의해서 2장의 기판(400)이 안착되는 제1회동지지대(130)와 제2회동지지대(230)가 수평위치 및 수직위치 사이를 왕복회동될 수 있도록 마련된다.
도 4 내지 도 8을 참조하면, 상기 제1위치에서 상기 제1승강기구(이하 제1스 크류봉(101)이라 한다)에 인접한 고정구조물(510)에 일정간격으로 세로로 세워져 고정되는 복수의 제1고정판(51)과, 상기 제1고정판(51)들의 일단부를 나란하게 관통하여 상기 고정구조물(510)에 회전가능하게 지지되는 제1,2회전축(41)(42)과, 상기 제1,2회전축(41)(42)을 각각 회전구동시키는 제1,2회전모터(31)(32)가 구비되어 있다.
상기 제1회동지지대(130)는 일단이 상기 각 제1고정판(51)들에 회전가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판(400)을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제1상부지지대(131)와, 상기 각 제1상부지지대(131)의 직하부에 위치되어 상기 각 제1고정판(51)에 각 일단이 회동가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판(400)을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제1하부지지대(132)를 구비한다.
여기서 도 10a에서와 같이, 상기 각 제1상부지지대(131)의 회전축보다 상기 각 제1하부지지대(132)의 회전축은 상대적으로 상기 제1승강기구에 근접되게 마련된다.
이에 따라서 도 10j에서와 같이, 제1상/하부지지대(131)(132)가 하향회전되었을때 상호 나란한 상태가 되어 상호 간섭을 방지할 수 있게 한다.
상기 제1회전축(41)과 상기 각 제1상부지지대(131)의 일단은 복수의 제1벨트부재(61)에 의해서 연결되어 있고, 상기 제2회전축(42)과 상기 각 제1하부지지대(132)의 일단은 복수의 제2벨트부재(71)에 의해서 연결되어 있다.
여기서 제1,2회전축(41)(42)과 제1상/하부지지대(131)(132)는 풀리(도면부호 미표기)가 결합되어서 상기 제1,2벨트부재(61)(71)가 권회될 수 있도록 되어 있다.
한편, 본 발명 이송장치는 상기 제1위치에서 상기 제2승강기구(이하 제2스크류봉(201)이라 한다)에 인접한 고정구조물(510)에 일정간격으로 세로로 세워져 고정되는 복수의 제2고정판(52)과, 상기 제2고정판(52)들의 일단부를 나란하게 관통하여 회전가능하게 지지되는 제3,4회전축(43)(44)과, 상기 제3,4회전축(43)(44)을 각각 회전구동시키는 제3,4회전모터(33)(34)를 구비한다.
상기 제2회동지지대(230)는 일단이 상기 각 제2고정판(52)들에 회전가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판(400)을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제2상부지지대(231)와, 상기 각 제2상부지지대(231)의 직하부에 위치되어 상기 각 제2고정판(52)에 각 일단이 회동가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제2하부지지대(232)를 구비한다.
여기서 도 10a에서와 같이, 상기 각 제2상부지지대(231)의 회전축보다 상기 각 제2하부지지대(232)의 회전축은 상대적으로 상기 제2승강기구에 근접되게 마련된다.
이에 따라서 도 10j에서와 같이, 제2상/하부지지대(231)(232)가 하향회전되었을때 상호 나란한 상태가 되어 상호 간섭을 방지할 수 있게 한다.
상기 제3회전축(43)과 상기 각 제2상부지지대(231)는 복수의 제3벨트부재(62)에 의해서 연결되어 있고, 상기 제4회전축(44)과 상기 각 제2하부지지대(232)는 복수의 제4벨트부재(72)에 의해서 연결되어 있다.
여기서 제3,4회전축(43)(44)과 제2상/하부지지대(231)(232)는 풀리(도면부호 미표기)가 결합되어서 상기 제3,4벨트부재(62)(72)가 권회될 수 있도록 되어 있다.
상기 제1,2리프트(100)(200)는 동일한 구조를 가지므로, 도 4, 도 9, 도 10a 및 도 11을 참조하면서 구성을 설명한다.
제1,2리프트(100)(200)는 상기 제1,2스크류봉(101)(201)에 지지되어 상하로 이동가능하고, 상기 제1,2스크류봉(101)(201)에 대해 회동가능하고, 길이가 신축가능하며, 상기 제1,2회동지지대(130)(230)의 기판(400)을 탑재하여 상기 이송레일(300)에 안착시키는 포크형 구조를 가진다.
상기 제1,2리프트(100)(200)는 각각 상기 스크류봉(101)(201)에 나사결합되어 승강되는 제1,2이동블럭(102)(202)과, 상기 제1,2이동블럭(102)(202)에 고정되는 제1,2승강몸체(103)(203)와, 상기 각 제1,2승강몸체(103)(203)에 일단이 회동가능하게 지지되는 복수의 제1,2회동바아(104)(204)와, 일단이 상기 제1,2회동바아(104)(204)의 타단부에 회전수단에 의해서 회전가능하게 연결되는 복수의 제1,2확장바아(105)(205)를 구비한다.
도 7을 참조하면, 제1승강몸체(103)의 한쌍의 브라켓트(108)에 제1회동모터(106)의 동력으로 회전되는 회전축(107)이 회전가능하게 지지되어 있고, 이 회전축(107)의 양단부에는 각 제1회동바아(104)의 선단이 결합되어 함께 회동될 수 있도록 되어 있다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 상기 회전수단은 상기 제1,2회동바아(104)(204)에 각각 소정간격 이격되어 회전가능하게 지지되는 제1,2풀리(141)(142)와, 상기 제1,2풀리(141)(142)에 권회되어 회전안내되는 벨트(143)와, 상기 제1,2회동바아(104)(204)에 고정설치되며 그 로드(140a)가 상기 벨트(143)와 연결고정되는 실린더(140)를 구비한다. 상기 각 제2풀리(142)의 회전축은 상기 각 제1,2확장바아(105)(205)와 동축으로 연결되어서, 제2풀리(142)의 회전과 함께 제1,2확장바아(105)(205)가 회전되게 된다.
한편, 상기 이송레일(300)은 상기 포크형 제1,2리프트(100)(200)가 통과되도록 일정간격으로 마련되는 복수의 회전봉(301)을 구비하며, 각 회전봉(301)에는 기판(400)이 안착되는 복수의 롤러(302)들이 결합되어 있다.
도 4 및 도 9를 참조하면, 상기 이송레일(300)을 탑재하는 프레임(310)은 하단에 고정된 두개의 경사도가 다른 경사블럭(311)(312)에 슬라이딩 가능하게 지지되고, 경사실린더(320)의 작동에 의해서 가동되어 수평 또는 소정각도로 경사질 수 있도록 되어 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 기판 이송장치의 작동은 다음과 같다.
a) 도 4 및 도 10a를 참조하면, 상기 제1위치에서 상기 제1,2상/하부지지대(131,231)(132,232)를 수평으로 위치시키고, 각 제1,2상부지지대(131,231)와 제1,2하부지지대(132,232)에 로봇으로부터 각각 기판(400)을 공급하여 안착시킨다.
이때 이송레일(300)은 수평위치를 유지하고, 제1,2리프트(100)(200)들은 제1스크류봉(101)(201)과 평행상태가 되도록 지지되어 있게 된다.
b) 도 10b, 도 10c, 도 11 및 도 12b를 참조하면, 제1회동모터(106)에 의해서 상기 제1리프트(100)를 수평상태가 되도록 회전시키고, 제1,2하부지지 대(132,232)의 아래에서 실린더(140)를 가동하여 제1확장바아(105)를 회동시킴으로써 길이를 신장시키고 수평으로 유지시킨다.
c) 도 10d에서와 같이 제1스크류봉(101)을 회전시키면서 상기 제1리프트(100)를 상승시켜서 제1,2하부지지대(132,232)의 직하부에 위치시키고, 도 10e에서와 같이 제1,2하부지지대(132,232)를 하방향으로 회전시키면서 기판(400)을 상기 제1리프트(100)로 옮겨 안착시킨다.
이때 제1,2하부지지대(132)(232)는 제2,4회전축(42)(44)의 회전구동 및 제2,4벨트부재(71)(72)의 동력전달로 하방향으로 회동되게 된다.
또한, 제1,2상부지지대(131)(231)의 직하방에는 제1,2하부지지대(132)(232)가 위치되어 있고, 도 10a에서와 같이 제1,2하부지지대(132)(232)의 회전중심축은 제1,2상부지지대(131)(231)의 회전중심축보다 외측으로 벗어나 있다.
따라서 도 10j에서와 같이, 제1,2상부지지대(131)(231)와 제1,2하부지지대(132)(232)가 하방향으로 회동된 상태에서는 상호 나란한 상태가 된다.
d) 도 10f 및 도 10g에서와 같이 제1스크류봉(101)을 구동하여 상기 제1리프트(100)를 하강시켜 상기 이송레일(300)에 기판을 안착시키고, 도 10h 및 도 10i에서와 같이 제1확장바아(105)을 접어서 제1리프트(100)의 길이를 수축시킨 후 제1회동바아(104)를 하방향으로 회전시킨다.
이어서, 도 10i에서와 같이 경사실린더(320)를 가동하여 프레임(310)을 제1,2경사블럭(311)(312)을 따라 경사이동시켜서 이송레일(300)이 경사지도록 한다. 이때 기판(400)상에 잔류하는 세척액등의 액체들이 흘러내린다.
이어서 이송레일(300)을 회전구동하여 기판(400)을 이송배출시킨다.
e) 상기 제1리프트(100)가 상기 d)단계를 수행하는 동안 도 10f에서와 같이 제2리프트(200)를 제2스크류봉(201)을 회전구동하여 상승시키고, 도 10g 및 도 10h에서와 같이 제1,2상부지지대(131,231)의 아래에서 길이를 신장시켜 수평으로 유지시킨다. 제2리프트(200)의 길이신장 작동은 상기 제1리프트(100)의 작동과 동일 구성을 가지므로 상세한 설명은 생략한다.
f) 도 10i 내지 도 10l에서와 같이, 상기 제1,2상부지지대(131,231)를 하방향으로 회동시키면서 제1,2상부지지대(131,231)에 공급된 기판(400)을 제2리프트(200)에 옮겨 안착시킨다.
이때 제1,2상부지지대(131,231)의 회전작동은 제1,2하부지지대(132)(232)의 회전작동과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
도 10l에서와 같이 제2리프트(200)의 하강으로 기판(400)을 이송레일(300)에 안착시킨 후에는, 제2확장바아(205)를 회동시켜서 접고 제2회동모터(206)를 구동하여 제2회동바아(204)를 도 10m에서와 같이 하강회전시키고, 도 10n에서와 같이 제2스크류봉(201)을 회전구동하여 제2리프트(200)를 제2위치로 상승이동시킨다.
한편, 기판(400)이 안착된 이송레일(300)은 도 10m에서와 같이 경사실린더(320)의 작동으로 경사지게 되고 모터(미도시)의 구동으로 회전구동되어 기판(400)을 이송 배출시킨다.
g) 상기 f)단계의 제2리프트(200)를 제2위치로 하강시키는 동안 상기 d)단계에서 하방향으로 회전된 제1리프트(100)를 상승시키고, 상기 c)단계와 f)단계에서 하방향으로 회전된 제1,2상부지지대(131,231)와 제1,2하부지지대(132,232)를 도 10k 및 도 10l에서와 같이 수평위치로 회전시키며, 도 10m에서와 같이 로봇(미도시)에 의해 새로운 기판(400)이 제1,2상부지지대(131,231)와 제1,2하부지지대(132,232)에 공급된다.
이후 제1리프트(100)에 제1,2하부지지대(132,232)에 공급된 기판(400)이 옮겨지게 되는 데, 이는 도 10f와 도 10n이 동일한 동작구간이 되게 되는 것이며 이로부터 상기한 동작이 반복적으로 수행되게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명 실시예의 기판 이송장치는 신축가능한 제1,2상/하부지지대들을 갖는 제1,2리프트(100)(200)를 제1,2위치에서 상호 교대로 승강시키면서 기판을 이송시킬 수 있도록 하며, 협소공간에서도 기판들을 상하로 이송시킬 수 있도록 한다.
특히, 제1,2상부지지대(131)(231)의 직하방에 제1,2하부지지대(132)(232)가 위치되도록 하고, 도 10a에서와 같이 제1,2하부지지대(132)(232)의 회전중심축이 제1,2상부지지대(131)(231)의 회전중심축보다 외측으로 벗어나도록 하여, 도 10j에서와 같이, 제1,2상부지지대(131)(231)와 제1,2하부지지대(132)(232)가 하방향으로 회동된 상태에서는 상호 나란한 상태가 되도록 함으로써, 본 출원인이 선출원한 장치에서 제1,2상부지지대(131)(231)와 제1,2하부지지대(132)(232)를 상호 교차되도록 함에 따른 공간확보가 요구된 것과는 달리 보다 협소한 공간에 설치할 수 있게 한다.
또한, 제1~4회전축(41~44) 및 제1~4벨트부재(61,62)(71,72)에 의해서 제1,2 상부지지대(131)(231)와 제1,2하부지지대(132)(232)가 회동되도록 함으로써, 회동구조를 간단히한다.
도 1 내지 도 3은 종래 기판 이송장치 및 방법을 설명하는 개념도,
도 4는 본 발명 이송장치의 개략도,
도 5는 도 4의 요부를 발췌하여 나타낸 개략도,
도 6은 도 5의 개략적 평면도,
도 7은 도 5의 개략적 좌측면도,
도 8은 본 발명 장치에 채용되는 회동지지대를 나타낸 개략 사시도,
도 9는 리프트의 신축상태를 설명하는 작동도,
도 10a 내지 도 10n은 본 발명 이송방법 및 장치의 공정 및 동작도를 나타낸 개념도,
도 11은 리프트를 나타낸 사시도,
도 12a 및 도 12b는 리프트의 신축상태를 나타낸 개략도이다.

Claims (4)

  1. 상부의 제1위치로 공급된 기판을 하부의 제2위치의 높이로 기판을 이송시키고, 제2위치로 이송된 기판을 이송레일로 이동시켜 배출시키는 기판 이송장치에 있어서,
    상기 이송레일(300)의 마주보는 양측에 제1위치로부터 제2위치에 이르는 구간에 마련되는 제1,2승강기구와;
    상기 제1위치에서 상기 제1승강기구에 인접한 고정구조물에 일정간격으로 세로로 세워져 고정되는 복수의 제1고정판(51)과;
    상기 제1고정판(51)들의 일단부를 나란하게 관통하여 회전가능하게 지지되는 제1,2회전축(41)(42)과;
    상기 제1,2회전축(41)(42)을 각각 회전구동시키는 제1,2회전모터(31)(32)와;
    일단이 상기 각 제1고정판(51)들에 회전가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제1상부지지대(131)와, 상기 각 제1상부지지대(131)의 직하부에 위치되어 상기 각 제1고정판(51)에 각 일단이 회동가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제1하부지지대(132)를 구비하며, 상기 각 제1상부지지대(131)의 회전축보다 상기 각 제1하부지지대(132)의 회전축은 상대적으로 상기 제1승강기구에 근접되게 마련되는 제1회동지지대(130)와;
    상기 제1회전축(41)과 상기 각 제1상부지지대(131)의 회전축을 연결시키는 복수의 제1벨트부재(61)와;
    상기 제2회전축(42)과 상기 각 제1하부지지대(132)의 회전축을 연결시키는 복수의 제2벨트부재(71)와;
    상기 제1위치에서 상기 제2승강기구에 인접한 고정구조물에 일정간격으로 세로로 세워져 고정되는 복수의 제2고정판(52)과;
    상기 제2고정판(52)들의 일단부를 나란하게 관통하여 회전가능하게 지지되는 제3,4회전축(43)(44)과;
    상기 제3,4회전축(43)(44)을 각각 회전구동시키는 제3,4회전모터(33)(34)와;
    일단이 상기 각 제2고정판(52)들에 회전가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제2상부지지대(231)와, 상기 각 제2상부지지대(231)의 직하부에 위치되어 상기 각 제2고정판(52)에 각 일단이 회동가능하게 지지되며 각 수평위치에서 상기 공급된 기판을 지지하고 동일평면상에 마련되는 복수의 제2하부지지대(232)를 구비하고, 상기 각 제2상부지지대(231)의 회전축보다 상기 각 제2하부지지대(232)의 회전축은 상대적으로 상기 제2승강기구에 근접되게 마련되는 제2회동지지대(230)와;
    상기 제3회전축(43)과 상기 각 제2상부지지대(231)의 회전축을 연결시키는 복수의 제3벨트부재(62)와;
    상기 제4회전축(44)과 상기 각 제2하부지지대(232)의 회전축을 연결시키는 복수의 제4벨트부재(72)와;
    상기 제1,2승강기구에 지지되어 상하로 이동가능하고, 상기 제1,2승강기구에 대해 회동가능하고, 길이가 신축가능하며, 상기 제1,2회동지지대(130)(230)의 기판을 탑재하여 상기 이송레일(300)에 안착시키는 포크형 제1,2리프트(100)(200);를 구비하며,
    상기 이송레일(300)은 상기 포크형 제1,2리프트(100)(200)가 통과되도록 일정간격으로 마련되는 복수의 회전봉(301)을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 승강기구는 모터(110)(210)의 동력으로 회전되는 스크류봉(101)(201)인 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제1,2리프트(100)(200)는 각각 상기 스크류봉(101)(201)에 나사결합되어 승강되는 제1,2이동블럭(102)(202)과, 상기 제1,2이동블럭(102)(202)에 고정되는 제1,2승강몸체(103)(203)와, 상기 각 제1,2승강몸체(103)(203)에 일단이 회동가능하게 지지되는 제1,2회동바아(104)(204)와, 일단이 상기 제1,2회동바아(104)(204)의 타단부에 회전수단에 의해서 회전가능하게 연결되는 제1,2확장바아(105)(205)를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 회전수단은 상기 제1,2회동바아(104)(204)에 각각 소정간격 이격되어 회전가능하게 지지되는 제1,2풀리(141)(142)와, 상기 제1,2풀리(141)(142)에 권회되어 회전안내되는 벨트(143)와, 상기 제1,2회동바 아(104)(204)에 고정설치되며 그 로드(140a)가 상기 벨트(143)와 연결고정되는 실린더(140)를 구비하며,
    상기 각 제2풀리(142)를 상기 각 제1,2확장바아(105)(205)와 동축으로 연결하여 된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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