KR100617453B1 - 기판 이송시스템 - Google Patents

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KR100617453B1
KR100617453B1 KR1020060038359A KR20060038359A KR100617453B1 KR 100617453 B1 KR100617453 B1 KR 100617453B1 KR 1020060038359 A KR1020060038359 A KR 1020060038359A KR 20060038359 A KR20060038359 A KR 20060038359A KR 100617453 B1 KR100617453 B1 KR 100617453B1
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신동혁
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주식회사 인아텍
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Abstract

기판을 상부 작업부로부터 하부작업부로 또는 하부작업부로부터 상부작업부로 이송시킬때 이송시간을 단축시킬 수 있도록 한 기판 이송시스템에 관한 것이다.
제1위치로 공급된 기판을 제2위치의 높이로 기판을 이송시키는 기판 이송시스템은, 제2위치에 마련되고 기판이 탑재될 수 있도록 일정간격으로 복수의 수평지지봉으로 형성된 안착대(130)와; 안착대(130)의 적어도 일측에 제1,2위치 사이를 연결하도록 마련되는 제1가이드와; 안착대(130)의 적어도 일측에 제1,2위치 사이를 연결하도록 마련되며 제1가이드의 외측에 마련되는 제2가이드와; 제1가이드를 따라 승강되고 기판을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 수평지지봉 사이사이로 통과되는 복수의 제1회동지지봉을 구비하는 제1리프트(110)와; 제1리프트(110)를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제1회동수단과; 제2가이드를 따라 승강되고 기판을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 수평지지봉 사이사이로 통과되는 복수의 제2회동지지봉을 구비하는 제2리프트(120)와; 제2리프트(120)를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제2회동수단과; 제1,2리프트(110)(120)를 각각 제1,2가이드를 따라 승강시키는 승강수단을 구비한다.
이와 같은 시스템은 제1,2리프트(110)(120)가 각각 제1위치와 제2위치 사이를 교대로 승강되면서 기판을 이송시키게 되므로 상/하부작업부(30)(40)에서 공정이 완료될때 까지 대기하여야 하는 대기시간을 줄임으로써 이송시간 및 공정시간을 단축시킬 수 있게 한다.
기판, 이송, 리프트, 안착대, 경사

Description

기판 이송시스템{A base plate transfer system}
도 1 내지 도 3은 종래 기판 이송장치 및 방법을 설명하는 개념도,
도 4a 내지 도 4h는 본 발명 실시예의 기판 이송시스템의 동작상태를 설명하는 개념도,
도 5a는 제2리프트와 안착대의 위치관계를 나타낸 개략적 평면도,
도 5b는 제1리프트와 안착대의 위치관계를 나타낸 개략적 평면도,
도 6은 본 발명 이송시스템이 적용된 기판 세정장치를 나타낸 개략 측면도,
도 7은 본 발명 이송시스템의 개략 측면도,
도 8은 본 발명 이송시스템의 바닥에 설치되어 제1,2가이드에 동력을 전달하는 모터의 설치 상태도,
도 9는 수평상태의 제1리트프를 나타낸 평면도,
도 10은 제1리프트의 동작상태도,
도 11은 수직상태로 놓인 제1리프트의 승강상태를 설명하는 개략도,
도 12는 수평상태의 제2리트프를 나타낸 평면도,
도 13은 제2리프트의 동작상태도,
도 14는 수직상태로 놓인 제2리프트의 승강상태를 설명하는 개략도이다.
본 발명은 작업 대상물인 기판의 이송시스템에 관한 것으로써, 특히 기판을 상부 작업부로부터 하부작업부로 또는 하부작업부로부터 상부작업부로 이송시킬때 이송시간을 단축시킬 수 있도록 한 기판 이송시스템에 관한 것이다.
예컨대, 평판디스플레이(FPT;flat panel display), 반도체 웨이퍼, LCD 글라스 등에 사용되는 기판은 증착, 에칭, 스트립, 세정, 린스등의 일련의 공정을 거치면서 처리된다.
이러한 일련의 기판 처리공정은 기판이송시스템에 의해 이송되어 기판의 공급, 처리, 배출의 과정이 하나의 순환싸이클을 이루게 된다.
일 예로서 기판 이송장치를 나타낸 도 1 내지 도 3을 참조하면, 이는 상부작업대(10)로부터 하부작업대(20)로 기판(1)(2)을 이송시키고, 다시 하부작업대(20)로부터 상부작업대(10)로 기판(1)(2)을 이송하여 배출시키는 구조를 가진다.
즉, 도 1에서와 같이, 상부작업대(10)의 공급 및 배출부(15)를 통하여 기판(1)이 공급되어서, 상부작업대(10)의 일정구간에서 제1기판(1)에 대한 자외선세정이 행하여지고, 자외선세정이 완료된 제1기판(1)은 공급측리프트(11)로 이동되어서 도 2 및 도 3에서와 같이 하강되어 하부작업대(20)로 제1기판(1)이 이동되고, 하부작업대(20)에서 세정수에 의한 세정작업등의 공정이 이루어진다.
이와 같이 하부작업대(20)에서의 공정이 완료된 후에는 배출측리프트(21)로 제1기판(1)이 이동되고, 상승되어서 상부작업대(10)의 공급 및 배출부(15)를 통하 여 제1기판(1)이 배출되게 된다.
그러나 이와 같은 기판 이송장치는 제1기판(1)이 공급측리프트(11)에 탑재되어서 상부작업대(10)로부터 하부작업대(20)로 이송되는 동안, 도 2에서와 같이 상부작업대(10)에서 자외선세정공정이 완료된 제2기판(2)이 대기하여야 하고 이에 따라 공급 및 배출부(15)를 통한 다른 기판의 공급이 지연되므로 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로써, 기판의 대기시간을 최소화하여 작업시간을 단축시킬 수 있도록 한 기판 이송시스템을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하는 본 발명은 제1위치로 공급된 기판을 제2위치의 높이로 기판을 이송시키는 기판 이송시스템에 있어서,
상기 제2위치에 마련되고 상기 기판이 탑재될 수 있도록 일정간격으로 복수의 수평지지봉으로 형성된 안착대와;
상기 안착대의 적어도 일측에 상기 제1,2위치 사이를 연결하도록 마련되는 제1가이드와;
상기 안착대의 적어도 일측에 상기 제1,2위치 사이를 연결하도록 마련되며 상기 제1가이드의 외측에 마련되는 제2가이드와;
상기 제1가이드를 따라 승강되고 상기 기판을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 상기 수평지지봉 사이사이로 통과되는 복수의 제1회동지지봉을 구비하는 제1리프트와;
상기 제1리프트를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제1회동수단과;
상기 제2가이드를 따라 승강되고 상기 기판을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 상기 수평지지봉 사이사이로 통과되는 복수의 제2회동지지봉을 구비하는 제2리프트와;
상기 제2리프트를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제2회동수단과;
상기 제1,2리프트를 각각 상기 제1,2가이드를 따라 승강시키는 승강수단을 구비하여 된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명 시스템은 상기 제1,2가이드는 상기 안착대(130)의 양측에 마련되고,
상기 제1리프트는 상기 제1가이드에 각각 일정간격 유지되어 함께 승강 및 회동가능하게 마련되는 제1상부리프트와 제1하부리프트를 구비하고,
상기 제2리프트는 상기 제2가이드에 각각 일정간격 유지되어 함께 승강 및 회동가능하게 마련되는 제2상부리프트와 제2하부리프트를 구비하여 된 것을 특징으로 한다,
또한, 상기 승강수단은; 상기 제1,2가이드는 각각 동력을 발생하는 제1,2모터에 의해서 회전되는 스크류축으로 구성되고, 상기 제1,2가이드에는 각각 상기 제1,2리프트가 회동가능하게 결합되는 제1,2승강블럭이 나사결합되어서, 상기 제1,2모터의 동력에 의해서 상기 제1,2승강블럭이 승강되도록 된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제1,2회동수단은 각각 상기 제1,2승강블럭에 제1,2회동실린더의 일단이 회전가능하게 결합되고 그 실린더로드가 상기 제1,2리프트에 회전가능하게 연결되어서, 상기 제1,2회동실린더의 실린더로드의 출몰작동에 의해서 상기 제1,2리프트가 수평위치와 수직위치사이를 회동하도록 된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명 이송시스템은 상기 안착대의 일측이 회전가능하게 힌지 연결되는 고정테이블과, 상기 안착대의 타측에 그 실린더로드가 연결되어 상기 안착대를 수평상태에서 소정각도로 경사진 상태로 회전시키는 경사실린더를 구비하여서,
상기 안착대에 안착된 기판을 자중에 의해서 배출시킬수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
상기 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명은 제1리프트가 기판을 제2위치로 이송시키는 동안 제2리프트가 제1위치로 이송되어 다른 기판을 이송시킬 수 있도록 함으로써 기판의 이송시간을 단축시켜 작업공정시간을 단축시킬 수 있도록 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
본 발명 실시예에 적용되는 기판 이송시스템은 예컨대, LCD 글라스와 같은 기판을 증착, 에칭, 스트립, 세정, 린스등의 일련의 공정을 거칠 수 있도록 자동이송시키도록 한다.
이와 같은 일련의 기판 처리공정은 기판이송시스템에 의해 이송되어 기판의 공급, 처리, 배출의 과정이 하나의 순환싸이클을 이루게 된다.
본 발명 실시예의 기판 이송시스템을 개략적 개념작동도로 나타낸 도 4a 내 지 도 4h, 이송시스템을 개략 개념 평면도로 나타낸 도 5, 본 발명 이송시스템이 채용된 기판 공정부를 측면도로 나타낸 도 6 및 본 발명 실시예의 이송시스템을 측면도로 나타낸 도 7을 참조하면, 이는 좌측상부의 공급측유니트(100)로부터 기판(140)을 2장 공급받아 하부작업부(40)에 공급하여서 세정작업등의 공정이 이루어지고, 이로부터 우측의 배출측이송유니트(200)를 통하여 배출할 수 있도록 한다.
공급 및 배출측 유니트(100)(200)에는 로봇(101)(201)에 의하여 기판(140)들이 공급 및 배출될 수 있도록 한다.
이하에서는 상기 공급측이송유니트(100)와 배출측이송유니트(200)는 본 발명 실시예의 기판이송시스템 구조를 가지는 것으로써, 이들은 동일한 구조를 가지므로 공급측이송유니트(100)에 대하여만 설명한다.
공급측이송유니트(100)는 로봇(101)으로부터 기판(140)이 공급되는 제1위치로부터 하부작업부(40)로 기판(140)을 공급시키는 제2위치 사이를 왕복 이동되면서 기판(140)을 이송시킨다.
도 4, 도 5 및 도 7을 참조하면, 상기 공급측이송유니트(100)는 상기 제2위치에 마련되고 상기 기판(140)이 탑재될 수 있도록 일정간격으로 복수의 수평지지봉(131)으로 형성된 안착대(130)와; 상기 안착대(130)의 양측에 상기 제1,2위치 사이를 연결하도록 수직으로 마련되는 제1가이드(151,152)와; 상기 안착대(130)의 양측에 상기 제1,2위치 사이를 연결하도록 수직으로 마련되며 상기 제1가이드(151,152)의 외측에 마련되는 제2가이드(161,162)와; 상기 제1가이드(151,152)를 따라 승강되고 상기 기판(140)을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 상기 수평지지봉(131) 사이사이로 통과되는 복수의 제1회동지지봉을 구비하는 제1리프트(110)와; 상기 제1리프트(110)를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제1회동수단과; 상기 제2가이드(161,162)를 따라 승강되고 상기 기판(140)을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 상기 수평지지봉(131) 사이사이로 통과되는 복수의 제2회동지지봉을 구비하는 제2리프트(120)와; 상기 제2리프트(120)를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제2회동수단과; 상기 제1,2리프트(110)(120)를 각각 상기 제1,2가이드(151,152)(161,162)를 따라 승강시키는 승강수단을 구비한다.
상기 안착대(130)는 도 5 및 도 7에서와 같이, 일측이 고정테이블(170)에 회전가능하게 힌지(171) 연결되어 있고, 안착대(130)의 타측에는 경사실린더(180)의 실린더로드가 연결되어 수평상태에서 소정각도로 경사진 상태로 회전될 수 있도록 되어 있다.
이에 따라서 안착대(130)에 안착된 기판(140)을 자중(自重)에 의해서 배출시킬수 있도록 되어 있다.
또한, 안착대(130)는 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 수평지지봉(131)이 일정간격으로 마련된 구조를 가짐으로써, 제1리프트(110)와 제2리프트(120)들의 회동지지봉들이 수평지지봉(131) 사이사이로 통과될 수 있도록 되어 있다.
상기 제1리프트(110)는 상기 제1가이드(151)(152)에 각각 일정간격 유지되어 함께 승강 및 회동가능하게 마련되는 제1상부리프트(111a,112a)와 제1하부리프트(111b,112b)를 구비한다.
상기 제2리프트(120)는 상기 제2가이드(161)(162)에 각각 일정간격 유지되어 함께 승강 및 회동가능하게 마련되는 제2상부리프트(121a,122a)와 제2하부리프트(121b,122b)를 구비한다.
도 7, 도 8, 도 10 및 도 13을 참조하면, 상기 제1,2가이드(151,152)(161,162)를 따라 상기 제1,2리프트(110)(120)를 승강시키는 승강수단은 다음과 같은 구성을 가진다.
상기 제1,2가이드(151,152)(161,162)는 각각 동력을 발생하는 제1,2모터(310)(320)에 의해서 회전되는 스크류축으로 구성된다.
상기 제1,2가이드(151,152)(161,162)에는 각각 상기 제1,2리프트(110)(120)가 회동가능하게 결합되는 제1,2승강블럭(311,312)(321,322)이 나사결합되어서, 상기 제1,2모터(310)(320)의 동력에 의해서 상기 제1,2승강블럭(311,312)(321,322)이 승강된다.
한편, 도 10 및 도 13을 참조하면, 상기 제1,2회동수단은 각각 상기 제1,2승강블럭(311,312)(321,322)에 제1,2회동실린더(313,314)(323,324)의 일단이 회전가능하게 결합되고 그 실린더로드가 상기 제1,2리프트(110)(120)에 회전가능하게 연결되어서, 상기 제1,2회동실린더(313,314)(323,324)의 실린더로드의 출몰작동에 의해서 상기 제1,2리프트(110)(120)가 수평위치와 수직위치사이를 회동하도록 한다.
도 9는 공급측이송유니트(100)중 제1리프트(110)부분만을 발췌하여 나타낸 평면도로서, 기판(140)을 안착시킬 수 있도록 제1리프트(110)가 수평상태위치로 된 상태를 나타내고, 도 11은 공급측이송유니트(100)중 제1리프트(110)부분만을 발췌 하여 나타낸 측면도로서 제1리프트(110)가 수직상태로 회동된 상태를 나타낸다.
도 12는 공급측이송유니트(100)중 제2리프트(120)부분만을 발췌하여 나타낸 평면도로서, 기판(140)을 안착시킬 수 있도록 제2리프트(120)가 수평상태위치로 된 상태를 나타내고, 도 14는 공급측이송유니트(100)중 제2리프트(120)부분만을 발췌하여 나타낸 측면도로서 제2리프트(120)가 수직상태로 회동된 상태를 나타낸다.
한편, 도면에는 제1리프트(110)를 회동시키는 실린더로서 하나의 제1회동실린더(313)만이 도시되어 있으나, 실질적으로는 제1상부리프트(111a,112a)와 제1하부리프트(111b,112b)가 적용되는 경우 각각 회동시키는 2개의 회동실린더가 적용된다.
이하 상기와 같은 구성을 가지는 기판 이송시스템의 작동을 설명한다.
먼저, 도 10에서와 같이, 제1회동실린더(313,314)는 제1상/하부리프트(111a,112a)(111b,112b)를 함께 회동시킬 수 있도록 도시되어 있으나, 실제로는 제1상부리프트(111a,112a)와 제1하부리프트(111b,112b)를 별개로 구동시키는 회동실린더가 마련된다.
마찬가지로 도 13에서와 같이, 제2회동실린더(323,324)는 제2상/하부리프트(121a,122a)(121b,122b)를 함께 회동시킬 수 있도록 도시되어 있으나, 실제로는 제2상부리프트(121a,122a)와 제2하부리프트(121b,122b)를 별개로 구동시키는 회동실린더가 마련된다.
이하에서는 제1상/하부리프트(111a,112a)(111b,112b)를 작동시키는 제1회동실린더 2쌍과, 제2상/하부리프트(121a,122a)(121b,122b)를 작동시키는 2쌍이 구비 된 것으로 보고 설명한다.
먼저, 도 6을 참조하면, 처리할 기판(140)이 로봇(101)으로부터 공급측이송유니트(100)측으로 이송된다.
이때, 도 4a에 도시된 바와 같이, 제1리프트(110)는 제1위치로 상승된 상태이고 제2리프트(120)는 제2위치에 위치된 상태이며, 로봇(101)으로부터 기판(140)이 제1리프트(110)로 이송되어 안착된다.
이때, 제1상부리프트(111a,112a)와 제1하부리프트(111b,112b)가 제1위치에 위치되어서 로봇(101)으로부터 2장의 기판(140)이 공급되어 안착된다.
이와 같이 제1상/하부리프트(111a,112a)(111b,112b)에 기판(140)이 안착된 후에는 제1모터(310)의 구동으로 도 4b에서와 같이 제1가이드(151,152)를 따라 하강되고, 제2리프트(120)는 제2모터(320)의 구동으로 제2가이드(161,162)를 따라 제1위치측으로 상승된다.
도 4b 및 도 4c에서와 같이, 제1위치로 이송된 제1리프트(110)중 제1하부리프트(111b,112b)는 안착대(130)를 통과하면서 기판(140)을 안착대(130)에 안착시킨 후 제1회동실린더에 의해서 회동되어 수직상태로 유지되고, 이어서 도 4d에서와 같이 안착대(130)가 경사실린더(180)의 작동으로 경사지게 되면서 기판(140)이 자중(自重)에 의해서 하부작업대(40)로 이동되고 다시 경사실린더(180)의 작동으로 수평상태로 복귀된다.
이어서 도 4e 및 도 4f에서와 같이, 제1모터(310)의 구동으로 제1리프트(110)가 약간 하강되어 제1상부리프트(111a,112a)가 안착대(130)를 통과하게 되 면서 안책대(130)에 기판(140)을 안착시키게 되고, 다른 제1회동실린더의 작동으로 제1상부리프트(111a,112a)가 수직상태로 회동되게 되며, 상기와 같이 경사실린더(180)의 작동으로 안착대(130)가 경사지면서 안착대(130)에 안착된 기판(140)이 하부작업부(40)로 이동되게 된다.
한편, 제1리프트(110)가 기판(140)을 안착대(130)를 통하여 하부작업부(40)로 이동시키는 동안, 제1위치로 상승이동된 제2리프트(120)는 제2회동실린더의 작동으로 도 4c 내지 도 4f에서와 같이 수평상태로 위치되어 제2상부리프트(121a,122a)와 제2하부리프트(121b,122b)에 로봇(101)으로부터 다른 기판(140)이 공급되어 안착된다.
이어서, 도 4g에서와 같이, 기판(140)을 하부작업부(40)로 이동시킨 제1리프트(110)는 제1모터(310)의 구동으로 제1가이드(151,152)를 따라 제1위치로 상승되고, 로봇(101)으로부터 기판(140)이 이동된 제2리프트(120)는 제2모터(320)의 구동으로 제2가이드(161,162)를 따라 제2위치로 하강된다.
제2위치로 하강된 제2리프트(120)는 상기 제2위치에서와 제1리프트(110)의 작동과 마찬가지로 제2하부리프트(121b,122b)가 하강되면서 안착대(130)에 기판(140)을 안착시키고, 제2하부리프트(121b,122b)가 제2회동실린더의 작동으로 도 4h에서와 같이 수직상태로 회동되고 안착대(130)의 경사로 하부작업부(40)로 기판을 이송시킨 후 수평상태로 복귀된다.
또한, 제2모터(320)의 구동으로 제2상부리프트(121a,122a)가 하강되면서 안착대(130)에 기판을 안착시킨 후 제2회동실린더의 작동으로 수직상태로 회동되고, 경사실린더(180)의 작동으로 안착대(130)가 경사지면서 기판(140)을 하부작업부(40)로 이송시킨다.
한편, 하부작업부(40)로 이송된 기판(140)의 세정공정이 완료된 후에는 배출측이송유니트(200)를 통하여 상승되고, 도 6에서와 같이 로봇(201)에 의해서 배출되어 진다. 배출측이송유니트(200)는 상술한 공급측이송유니트(100)와 동일한 구조를 가지므로 상세한 설명은 생략한다.
상기와 같은 본 발명 실시예의 기판 이송시스템은 제1,2리프트(110)(120)가 각각 제1위치와 제2위치 사이를 교대로 승강되면서 기판을 이송시키게 되므로 하부작업부(40)에서 공정이 완료될때 까지 대기하여야 하는 대기시간을 줄임으로써 이송시간 및 공정시간을 단축시킬 수 있게 한다.
특히 본 발명 이송시스템은 제1리프트(110)와 제2리프트(120)가 각각 제1상/하부리프트(111a,112a)(111b,112b)와 제2상/하부리프트(121a,122a)(121b,122b)로서 2층 구조를 가짐으로써, 기판(140) 4장을 동시에 이송가능하게 하여 보다 신속한 공정을 가능하게 한다.
상술한 바와 같은 본 발명은 상기 본원의 정신과 범위를 이탈함이 없이 상기 실시예에 한정되지 아니하고 많은 변형을 가하여 실시될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명은 제1,2리프트(110)(120)가 각각 제1위치와 제2위치 사이를 교대로 승강되면서 기판을 이송시키게 되므로 하부작업부(40)에서 공정이 완료될때 까지 대기하여야 하는 대기시간을 줄임으로써 이송시간 및 공정시간을 단축시킬 수 있게 한다.
특히 본 발명 이송시스템은 제1리프트(110)와 제2리프트(120)가 각각 제1상/하부리프트(111a,112a)(111b,112b)와 제2상/하부리프트(121a,122a)(121b,122b)로서 2층 구조를 가짐으로써, 기판(140) 4장을 동시에 이송가능하게 하여 보다 신속한 공정을 가능하게 한다.

Claims (5)

  1. 제1위치로 공급된 기판을 제2위치의 높이로 기판을 이송시키는 기판 이송시스템에 있어서,
    상기 제2위치에 마련되고 상기 기판이 탑재될 수 있도록 일정간격으로 복수의 수평지지봉으로 형성된 안착대(130)와;
    상기 안착대(130)의 적어도 일측에 상기 제1,2위치 사이를 연결하도록 마련되는 제1가이드와;
    상기 안착대(130)의 적어도 일측에 상기 제1,2위치 사이를 연결하도록 마련되며 상기 제1가이드의 외측에 마련되는 제2가이드와;
    상기 제1가이드를 따라 승강되고 상기 기판을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 상기 수평지지봉 사이사이로 통과되는 복수의 제1회동지지봉을 구비하는 제1리프트(110)와;
    상기 제1리프트(110)를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제1회동수단과;
    상기 제2가이드를 따라 승강되고 상기 기판을 안착시킬 수 있는 수평위치와 승강시 수직위치로 회동되며 상기 수평지지봉 사이사이로 통과되는 복수의 제2회동지지봉을 구비하는 제2리프트(120)와;
    상기 제2리프트(120)를 수평위치와 수직위치로 회동시키는 제2회동수단과;
    상기 제1,2리프트(110)(120)를 각각 상기 제1,2가이드를 따라 승강시키는 승강수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제1,2가이드(151,152)(161,162)는 상기 안착대(130)의 양측에 마련되고,
    상기 제1리프트(110)는 상기 제1가이드(151)(152)에 각각 일정간격 유지되어 함께 승강 및 회동가능하게 마련되는 제1상부리프트(111a,112a)와 제1하부리프트(111b,112b)를 구비하고,
    상기 제2리프트(120)는 상기 제2가이드(161)(162)에 각각 일정간격 유지되어 함께 승강 및 회동가능하게 마련되는 제2상부리프트(121a,122a)와 제2하부리프트(121b,122b)를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 승강수단은;
    상기 제1,2가이드(151,152)(161,162)는 각각 동력을 발생하는 제1,2모터(310)(320)에 의해서 회전되는 스크류축으로 구성되고,
    상기 제1,2가이드(151,152)(161,162)에는 각각 상기 제1,2리프트(110)(120)가 회동가능하게 결합되는 제1,2승강블럭(311,312)(321,322)이 나사결합되어서,
    상기 제1,2모터(310)(320)의 동력에 의해서 상기 제1,2승강블럭(311,312)(321,322)이 승강되도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 제1,2회동수단은 각각 상기 제1,2 승강블럭(311,312)(321,322)에 제1,2회동실린더(313,314)(323,324)의 일단이 회전가능하게 결합되고 그 실린더로드가 상기 제1,2리프트(110)(120)에 회전가능하게 연결되어서,
    상기 제1,2회동실린더(313,314)(323,324)의 실린더로드의 출몰작동에 의해서 상기 제1,2리프트(110)(120)가 수평위치와 수직위치사이를 회동하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 안착대(130)의 일측이 회전가능하게 힌지(171) 연결되는 고정테이블(170)과, 상기 안착대(130)의 타측에 그 실린더로드가 연결되어 상기 안착대(130)를 수평상태에서 소정각도로 경사진 상태로 회전시키는 경사실린더(180)를 구비하여서,
    상기 안착대(130)에 안착된 기판을 자중에 의해서 배출시킬수 있도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이송시스템.
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