KR100880504B1 - 진공 펌프 - Google Patents
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Abstract
부식에 의한 회전체 파괴를 방지할 수 있고, 또한 장기간에 걸쳐서 회전체의 균형 잡기를 행할 수 있는 진공 펌프를 제공한다.
상면에 가스 흡기구를 개구한 펌프 케이스(1)와, 펌프 케이스(1) 내에 회전 가능하게 지지된 회전자 축(5)과, 펌프 케이스(1) 내에 수용되고, 회전자 축(5)에 고정된 회전자(8)의 외주면에 일체 가공된 다수장의 회전자 블레이드(10, 10, …)와, 다수장의 회전자 블레이드(10, 10, …) 사이에 번갈아 위치 결정되고, 펌프 케이스(1) 내에 고정된 다수장의 고정자 블레이드(11, 11, …)와, 회전자 축(5)을 회전시키기 위한 구동 모터(9)를 구비하고, 회전자(8)의 내주면(8b) 및 외주면(8a)에 무전해 도금에 의한 부식 방지 피막을 형성하고, 또한, 회전자(8)의 내주면(9b)에 질량 부가 수단(15)으로서, 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제(15a)를 도포한다.
Description
도 1은 본 발명에 관한 진공 펌프의 일 실시 형태의 구성을 도시하는 종단면도,
도 2는 도 1에 도시한 회전자 내주면의 확대 단면도,
도 3은 도 1에 도시한 회전자 내주면의 확대 단면도이고, 질량 부가 수단의 변형예를 도시하는 도면,
도 4는 도 1에 도시한 회전자 내주면의 확대 단면도이고, 질량 부가 수단의 다른 변형예를 도시하는 도면,
도 5는 도 4에 도시한 회전자 내주면의 A방향의 화살표 방향에서 본 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 펌프 케이스 1-1 : 원통부
1-2 : 베이스 2 : 가스 흡기구
3 : 가스 배기구 4 : 고정자 기둥
5 : 회전자 축 6-1 : 반경 방향 전자석(자기 베어링)
6-2 : 축방향 전자석(자기 베어링) 7 : 볼 베어링(보호용 베어링)
8 : 회전자 8a : 회전자 외주면(원통면)
8b : 회전자 내주면 9 : 구동 모터
10 : 회전자 블레이드 11 : 고정자 블레이드
12 : 스페이서 13 : 나사 홈
14 : 나사 고정자 15 : 질량 부가 수단
15a : 합성 수지 접착제 15b : 도브테일 홈
15c : 나사 15d : 나사 구멍
16 : 볼트 16a : 좌금
P : 진공 펌프 PA : 터보 분자 펌프 기구부
PB : 나사 홈 펌프 기구부
본 발명은 반도체 제조 장치 등에 이용되는 진공 펌프에 관한 것으로, 특히 회전체의 균형 잡기를 위한 구조에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조 공정에서의 드라이 에칭이나 CVD 등의 프로세스와 같이 고진공의 프로세스 챔버 내에서 처리를 행하는 공정에서는 프로세스 챔버 내의 가스를 배기하여 일정한 고진공도를 형성하는 수단으로서, 예를 들면 터보 분자 펌프와 같은 진공 펌프가 이용되고 있다.
이 종류의 터보 분자 펌프의 회전체는 통상 알루미늄 합금으로 형성되어 있 지만, 염소나 황화 불소계의 부식성 가스로 되는 것 같은 과혹한 환경 하에서 사용되는 터보 분자 펌프의 경우, 알루미늄 합금으로 형성되어 있는 회전체의 표면에, 예를 들면, 니켈 인 합금 도금과 같은 무전해 도금을 행한 부식 방지 피막을 형성하고 있다.
그런데, 상기와 같은 터보 분자 펌프에서는, 펌프 조립 제조 단계에서 회전체의 고속 회전시의 균형 잡기를 행할 필요가 있다. 이와 같은 균형 잡기의 수단으로서는 일반적으로 회전체의 외주면이나 내주면을 드릴이나 라우터에 의해 일부 제거함으로써 회전체의 질량을 변화시켜서 균형의 미세 조정을 행하는 방법이 공지되어 있다.
그러나, 상기와 같은 제거에 의한 균형 잡기의 경우, 드릴이나 라우터에 의해서 회전체의 표면에 행해진 부식 방지 피막을 제거해 버리기 때문에, 알루미늄 합금이 노출된 제거 부분에 부식이 발생하고, 회전체의 고속 회전에 의해 제거 부분의 응력 부식 균열이 진행되어, 최악의 경우, 회전체 파괴로 이어지는 문제점을 갖고 있었다.
또, 상기와 같은 제거에 의한 균형 잡기 대신에, 부식 방지 피막이 형성된 회전체의 표면에 추 등에 의해 질량을 부가함으로써, 부식을 방지하면서, 회전체의 질량을 변화시켜서 균형의 미세 조정을 행하는 방법도 생각할 수 있지만, 이와 같은 질량 부가에 의한 균형 잡기의 경우, 회전체의 고속 회전에 의한 원심력에 의해서 추가 떨어져 버려서, 장기간 균형이 잡혀지는 회전체를 얻을 수 없다고 하는 문제점이 있고, 원심력을 견딜 수 있는 질량 부가에 의한 균형 잡기 방법은 그다지 채용되지 않고 있는 것이 실정이다.
본 발명은, 상기와 같은 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 것은 부식에 의한 회전체 파괴를 방지할 수 있고, 또한 장기간에 걸쳐서 회전체의 균형 잡기를 행할 수 있는 진공 펌프를 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관한 진공 펌프는, 상면에 가스 흡기구를 개구한 펌프 케이스와, 상기 펌프 케이스 내에 회전 가능하게 지지된 회전자 축과, 상기 펌프 케이스 내에 수용되고, 상기 회전자 축에 고정된 회전자의 외주면에 일체 가공된 다수장의 회전자 블레이드와, 상기 다수장의 회전자 블레이드 사이에 번갈아 위치 결정되고, 상기 펌프 케이스 내에 고정된 다수장의 고정자 블레이드와, 상기 회전자 축을 회전시키기 위한 구동 모터를 구비하고, 상기 회전자의 내주면 및 외주면에는 무전해 도금에 의한 부식 방지 피막이 형성되고, 또한 상기 회전자의 내주면에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제 또는 도료를 도포한 질량 부가 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또, 본 발명에 관한 진공 펌프는 상면에 가스 흡기구를 개구한 펌프 케이스와, 상기 펌프 케이스 내에 회전 가능하게 지지된 회전자 축과, 상기 펌프 케이스 내에 수용되고, 상기 회전자 축에 고정된 회전자의 외주면에 일체 가공된 다수장의 회전자 블레이드와, 상기 다수장의 회전자 블레이드 사이에 번갈아 위치 결정되고, 상기 펌프 케이스 내에 고정된 다수장의 고정자 블레이드와, 상기 회전자 축을 회전시키기 위한 구동 모터를 구비하고, 상기 회전자의 내주면 및 외주면에는 무전해 도금에 의한 부식 방지 피막이 형성되며, 또한 상기 회전자의 내주면에 형성된 홈에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제 또는 도료를 충전한 질량 부가 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제로서, 에폭시 수지, 규소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지 등으로부터 선택되는 합성 수지 접착제를 사용할 수 있다.
또, 상기 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제에는 SUS 분말, 또는 산화 알루미늄(AL2O3), 산화 규소(SiO2), 산화 크롬(Cr2O3) 등의 금속 산화물로 이루어지는 세라믹 섬유가 함유되어 있어도 좋다.
또, 상기 내열성 및 내부식성 도료로서는, 알키드 수지를 사용할 수 있다.
또한, 이 경우, 상기 질량 부가 수단은 회전자의 내주면이 단면의 요철이 없는 평탄한 면이 되도록 충전되어 있으면 좋다.
또, 본 발명에 관한 진공 펌프는, 상면에 가스 흡기구를 개구한 펌프 케이스와, 상기 펌프 케이스 내에 회전 가능하게 지지된 회전자 축과, 상기 펌프 케이스 내에 수용되고, 상기 회전자 축에 고정된 회전자의 외주면에 일체 가공된 다수장의 회전자 블레이드와, 상기 다수장의 회전자 블레이드 사이에 번갈아 위치 결정되고, 상기 펌프 케이스 내에 고정된 다수장의 고정자 블레이드와, 상기 회전자 축을 회전시키기 위한 구동 모터를 구비하고, 상기 회전자 축과 회전자를 고정하는 볼트의 좌금을 스텐인레스로 회전자 축 외주에 링 형상으로 일체 성형하고, 또한, 상기 좌금의 내주에 나사, 락킹 핀, 부시 등으로부터 선택되는 적어도 1개의 추를 장착한 질량 부가 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
또한, 상기 축의 축심에는 가스 빠짐 구멍이 형성되어 있어도 좋다.
이하, 본 발명에 관한 진공 펌프의 실시 형태에 대해서 첨부 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 관한 진공 펌프의 일 실시 형태의 구성을 도시하는 종단면도이다.
동일 도면에 도시하는 바와 같이, 본 실시 형태에서의 진공 펌프(P)는 원통부(1-1)와 그 하단에 장착된 베이스(1-2)로 이루어지는 펌프 케이스(1)와, 펌프 케이스(1) 내부에 수용된 펌프 기구부로 대략 구성되어 있다.
펌프 케이스(1)의 상면은 개구되어 있고, 가스 흡기구(2)로 되어 있으며, 가스 흡기구(2)에는 도시하지 않은 프로세스 챔버 등의 진공 용기가 볼트에 의해 나사 고정되고, 펌프 케이스(1)의 하부 일측면에는 가스 흡기구(3)로 이루어지는 파이프가 설치되어 있다.
펌프 케이스(1)의 하부 저면에는 엔드 플레이트(1-3)가 덮여져 있고, 엔드 플레이트(1-3) 내 중앙부에는 펌프 케이스(1) 내부를 향해서 세워서 설치하는 고정자 기둥(4)이 볼트에 의해 나사 고정되어 있다.
고정자 기둥(4)에는 그 단면 사이를 관통하는 회전자 축(5)이 회전 가능하게 되도록, 고정자 기둥(4) 내부에 설치된 반경 방향 전자석(6-1), 축 방향 전자석(6-2)에 의해, 회전자 축(5)의 반경 방향 및 축 방향으로 각각 베어링 지지되어 있다. 또한, 부호 7은 드라이 윤활제가 도포된 볼 베어링이고, 상기 자기 베어링의 전원 이상 시에 회전자 축(5)과 전자석(6-1, 6-2)이 접촉하는 것을 보호하고, 회전자 축(5)을 지지하기 위한 것으로, 통상 운전 시에는 회전자 축(5)에는 접촉하지 않는다.
펌프 케이스(1) 내부에는 회전자(8)가 알루미늄 합금 등에 의해 원통형으로 형성되고, 또한, 알루미늄 합금의 표면에 니켈 인 합금 도금 등의 무전해 도금에 의한 부식 방지 피막이 20㎛ 정도의 두께로 코팅되어 있으며, 이 회전자(8)가 고정자 기둥(4)을 둘러싸고 있도록 배치되고, 회전자(8) 상단은 가스 흡기구(2) 부근까지 연장되어 있으며, 볼트에 의해 회전자 축(5)에 나사 고정되어 있다.
회전자 축(5)의 축 방향의 대략 중앙부에는 회전자 축(5)과 고정자 기둥(4)의 사이에 고주파 모터 등으로 이루어지는 구동 모터(9)가 배치되어 있고, 회전자 축(5)과 회전자(8)는 구동 모터(9)에 의해 고속 회전하도록 구성되어 있다.
본 실시 형태에서의 진공 펌프(P)는 펌프 기구부가, 펌프 케이스(1) 내부에 수용되고, 회전자(8) 외주면과 펌프 케이스(1) 내주면의 사이에서의 위쪽 반분의 터보 분자 펌프 기구부(PA)와, 아래쪽 반분의 나사 홈 펌프 기구부(PB)로 구성된 복합형의 펌프 기구를 채용하고 있다.
터보 분자 펌프 기구부(PA)는 고속 회전하는 회전자 블레이드(10)와 고정되어, 정지하고 있는 고정자 블레이드(11)에 의해 구성되어 있다.
즉, 회전자(8)의 위쪽 반분의 외주면에는 가스 흡기구(2)측으로부터 회전자(8)의 회전 중심 축선(L) 방향에 걸쳐서 일체 가공된 다수장의 블레이드 형상의 회전자 블레이드(10, 10, …)가 형성되어 있고, 펌프 케이스(1)의 위쪽 반분의 내주면에는 다수장의 회전자 블레이드(10, 10, …) 사이에 번갈아 배치된 다수장의 고정자 블레이드(11, 11, …)가 형성되며, 스페이서(12, 12, …)를 통해서 고정되어 있다.
한편, 나사 홈 펌프 기구부(PB)는 고속 회전하는 회전자(8)의 원통면(8a)과, 정지하고 있는 나사 홈(13)에 의해 구성되어 있다.
즉, 회전자(8)의 아래쪽 반분의 외주면은 평탄한 원통면(8a)으로 되어 있고, 펌프 케이스(1)의 아래쪽 반분의 내주면에는 회전자(8) 외주의 원통면(8a)과 좁은 간격으로 대향하는 원통형의 나사 고정자(14)가 배치되고, 나사 고정자(14)에 의해 나사 홈(13)이 형성되어 있다.
또한, 회전자(8)의 아래쪽 반분의 외주면에 나사 홈(13)을 형성하고, 펌프 케이스(1)의 아래쪽 반분의 내주에 배치된 나사 고정자(14)의 회전자(8) 대향면을 평탄한 원통면으로 형성할 수도 있다.
그런데, 본 실시 형태에서의 진공 펌프(P)는 알루미늄 합금 등에 의해 형성되고, 알루미늄 합금의 표면에 부식 방지 피막이 형성된 회전자(8)의 내주면(8b)에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제 또는 도료를 도포한 질량 부가 수단(15)을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
즉, 도 2의 확대 단면도에 도시하는 바와 같이, 회전자(8)의 외주면(8b)에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제로서, 예를 들면, 에폭시 수지, 규소 수지, 폴리 아미드 수지, 폴리이미드 수지 등의 합성 수지 접착제(15a)를 2∼10㎛ 정도의 두께로 도포하고, 상온 또는 가열에 의해 합성 수지 접착제(15a)를 경화시킴으로써, 회전자(8)의 내주면(8b)에 질량을 부가할 수 있고, 회전자 축(5), 회전자(8), 회전자 블레이드(10)로 이루어지는 회전체의 균형 잡기의 미세 조정을 행하는 것이 가능하게 된다.
또, 상기 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제(15a)에는 접착제보다도 밀도가 높은 금속 분말로서, 예를 들면 SUS 분말, 또는 산화 알루미늄(AL2O3), 산화 규소(SiO2), 산화 크롬(Cr2O3) 등의 금속 산화물로 이루어지는 세라믹 섬유가 함유되어 있어도 좋다.
단, 상기 각 금속 분말을 접착제(15a)에 함유시키는 경우에는, 분말 입자의 입자 직경은 10㎛ 이하로 분쇄되어 있는 것이 바람직하다. 이것은, 금속 분말 입자의 입자 직경이 10㎛보다도 크면, 용제 내에서 금속 분말이 가라앉아 버려서, 균일하게 섞을 수 없기 때문이고, 금속 분말의 입자 직경이 10㎛ 이하이면 용제에 금속 분말이 용융하여 접착제로서 균일하게 섞을 수 있기 때문이다.
또한, 상기 합성 수지 접착제(15a) 대신에, 알키드 수지 등의 내열성 및 내부식성을 갖는 도료를 도포하는 구성으로 할 수도 있다.
이와 같이, 상기 합성 수지 접착제(15a)는 회전자(8)의 내주면(8b)에 도포되어 있고, 회전체의 고속 회전 중에는 회전자(8)의 원심력에 의해 회전자 블레이드(10)측에 눌려서 부착되기 때문에, 강고한 접착력을 필요로 하지 않고, 원 심력에 의해서 박리되지도 않는다.
또, 상기 합성 수지 접착제(15a)가 도포되는 회전자(8)의 내주에는 퍼지 가스(불활성 가스)가 있고, 배기하는 가스의 영향이 적기 때문에, 합성 수지 접착제(15a)가 염소, 황화 불소 등의 부식성 가스에 의해 부식하지도 않는다.
따라서, 상기 구성으로 이루어지는 진공 펌프(P)는 부식성 가스에 기인하는 부식에 의한 회전자 파괴를 방지할 수 있고, 또한 장기간에 걸쳐서 회전체의 균형 잡기를 행하는 것이 가능하게 된다.
다음에, 본 발명에 관한 진공 펌프의 제2 실시 형태에 대해서 도 3에 기초하여 설명한다.
본 실시 형태에서의 진공 펌프의 기본적인 구성에 대해서는 도 1에 도시한 진공 펌프와 동일하기 때문에, 동일 부재에는 동일 부호를 붙이며 그 상세한 설명은 생략한다.
본 실시 형태에서의 진공 펌프는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 회전체의 균형 잡기를 위한 질량 부가 수단(15)을 설치하는 변형예로서, 회전자(8)의 내주면(8b)에 홈을 형성하고, 이 홈에 질량 부가 수단(15)을 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.
즉, 회전자(8)의 내주면(8b)을 드릴이나 라우터로 제거함으로써, 동일 도면에 도시하는 바와 같은 도브테일 홈(15b)을 형성하고, 이 도브테일 홈(15b)에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제(15a)를 충전하여 회전자(8)의 내주면(8b)을 평탄한 면으로 한 것이다.
또한, 도브테일 홈(15b)에 충전하는 접착제(15a)로서는, 상기 제1 실시 형태에서 설명한 에폭시 수지, 규소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지 등의 내열성 및 내부식성을 갖는 합성 수지 접착제나, 알키드 수지 등의 내열성 및 내부식성을 갖는 도료를 사용하고, 이 합성 수지 접착제에는 SUS 분말, 또는 산화 알루미늄(AL2O3), 산화 규소(SiO2), 산화 크롬(Cr2O3) 등의 금속 산화물로 이루어지는 세라믹 섬유가 함유되어 있어도 좋다.
또, 도시는 하지 않지만, 상기와 같은 도브테일 홈(15b) 대신에, 회전자(8)의 내주면(8b)의 원주 상에 고리 형상 홈을 형성하고, 이 고리 형상 홈에 상기 접착제를 충전하는 구성으로 해도 좋다.
이와 같이, 본 실시 형태와 같은 균형 잡기 구조에 의하면, 회전자(8)의 내주면(8b)에는 단면의 요철이 없고, 또, 균형 잡기를 위한 노치도 없기 때문에, 회전자(8)의 고속 회전에 의한 응력 집중이 생기지 않고, 회전자(8)의 최대 응력이 작아져서, 회전자(8)가 파괴되기 어려워진다.
다음에, 본 발명에 관한 진공 펌프의 제3 실시 형태에 대해서 도 4에 기초하여 설명한다.
본 실시 형태에서의 진공 펌프의 기본적인 구성에 대해서는, 도 1에 도시한 진공 펌프와 동일하기 때문에, 동일 부재에는 동일 부호를 붙이며 그 상세한 설명은 생략한다.
본 실시 형태에서의 진공 펌프는 도 4에 도시하는 바와 같이, 회전체의 균형 잡기를 위한 질량 부가 수단(15)을 설치하는 변형예로서, 회전자 축(5)과 회전자(8)를 고정하는 볼트(16)의 좌금(16a)의 내주면에 나사(15c)로 이루어지는 추를 장착한 것을 특징으로 하는 것이다.
즉, 도 5에 도시하는 바와 같이, 회전자 축(5)과 회전자(8)를 고정하는 볼트(16)의 좌금(16a)을 알루미늄 합금보다도 비중이 무겁고, 원심력에 대한 내강도성이 우수한 스테인레스에 의해, 회전자 축(5)의 외주에 링 형상으로 일체 성형하고, 좌금(16a)의 내주면에 방사 형상이 되도록 3㎜∼5㎜ 정도의 나사 구멍(15d)을 다수개 형성하고, 이 나사 구멍(15d)에 비중이 무거운 탄화 텅스텐 등을 함유하는 중금속으로 형성되는 나사(15c)를 장착하고, 질량 부가 수단(15)으로 한 것이다.
또한, 질량 부가 수단(15)으로서는 나사(15c) 대신에, 락킹 핀이나 부시 등으로 이루어지는 추를 채용할 수도 있다.
또, 도시하지 않지만, 상기 추의 축심에 소직경의 구멍을 형성하여, 가스 빠짐 구멍으로 할 수도 있다.
이와 같이, 본 실시 형태에서의 진공 펌프에 의하면, 회전체의 균형 잡기를 위한 질량 부가 수단으로서, 회전자 축의 축심으로부터 가까운 위치에 비중이 무거운 나사, 락킹 핀, 부시 등의 추를 장착하는 것이 가능하게 되기 때문에, 회전체의 균형 잡기를 효율적으로 행할 수 있다.
또, 회전자 축(5)과 회전자(8)를 고정하는 볼트(16)의 좌금(16a)은 스테인레스 제이기 때문에, 염소나 황화 불소 등의 부식성 가스에 대한 내부식성을 갖고, 나사, 락킹 핀, 부시 등의 추를 장착하기 위한 장착 구멍을 형성해도, 그 장착 구 멍으로부터 부식이 생기지 않고, 부식에 의한 회전자 파괴를 방지할 수 있으면, 또한 장기간에 걸쳐서 회전체의 균형 잡기를 행하는 것이 가능해진다.
이상, 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명에 관한 진공 펌프에 의하면, 회전체의 균형 잡기를 위한 질량 부가 수단으로서, 회전자의 내주면에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제 또는 도료를 도포하는 방법, 혹은 회전자 축과 회전자를 고정하는 볼트의 좌금을 스테인레스에 의해 일체 성형하고, 또한 좌금의 내주에 추를 장착하는 방법을 채용함으로써, 부식성 가스에 기인한 부식에 의한 회전자 파괴를 방지할 수 있으면, 또한 장기간에 걸쳐서 회전체의 균형 잡기를 효율적으로 행할 수 있는 효과를 이룬다.
Claims (11)
- 상면에 가스 흡기구를 개구한 펌프 케이스와,상기 펌프 케이스 내에 회전 가능하게 지지된 회전자 축과,상기 펌프 케이스 내에 수용되고, 상기 회전자 축에 고정된 회전자의 외주면에 일체 가공된 다수장의 회전자 블레이드와,상기 다수장의 회전자 블레이드 사이에 번갈아 위치 결정되고, 상기 펌프 케이스 내에 고정된 다수장의 고정자 블레이드와,상기 회전자축을 회전시키기 위한 구동 모터를 구비하고,상기 회전자의 내주면 및 외주면에는 무전해 도금에 의한 부식 방지 피막이 형성되고, 또한 상기 회전자의 내주면에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제 또는 도료를 도포한 질량 부가 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제1항에 있어서,상기 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제는 에폭시 수지, 규소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지 등으로부터 선택되는 합성 수지 접착제인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제는, SUS 분말, 또는 산화 알루미늄(AL2O3), 산화 규소(SiO2), 산화 크롬(Cr2O3) 등의 금속 산화물로 이루어지는 세라믹 섬유가 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제1항에 있어서,상기 내열성 및 내부식성을 갖는 도료는 알키드 수지인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 상면에 가스 흡기구를 개구한 펌프 케이스와,상기 펌프 케이스 내에 회전 가능하게 지지된 회전자 축과,상기 펌프 케이스 내에 수용되고, 상기 회전자 축에 고정된 회전자의 외주면에 일체 가공된 다수장의 회전자 블레이드와,상기 다수장의 회전자 블레이드 사이에 번갈아 위치 결정되고, 상기 펌프 케이스 내에 고정된 다수장의 고정자 블레이드와,상기 회전자축을 회전시키기 위한 구동 모터를 구비하고,상기 회전자의 내주면 및 외주면에는 무전해 도금에 의한 부식 방지 피막이 형성되고, 또한 상기 회전자의 내주면에 형성된 홈에 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제 또는 도료를 충전한 질량 부가 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제5항에 있어서,상기 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제는 에폭시 수지, 규소 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지 등으로부터 선택되는 합성 수지 접착제인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제5항 또는 제6항에 있어서,상기 내열성 및 내부식성을 갖는 접착제는, SUS 분말, 또는 산화 알루미늄(AL2O3), 산화 규소(SiO2), 산화 크롬(Cr2O3) 등의 금속 산화물로 이루어지는 세라믹 섬유가 함유되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제5항에 있어서,상기 내열성 및 내부식성을 갖는 도료는 알키드 수지인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제5항 또는 제6항에 있어서,상기 질량 부가 수단은 회전자의 내주면이 단면의 요철이 없는 평탄한 면이 되도록 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 상면에 가스 흡기구를 개구한 펌프 케이스와,상기 펌프 케이스 내에 회전 가능하게 지지된 회전자 축과,상기 펌프 케이스 내에 수용되고, 상기 회전자 축에 고정된 회전자의 외주면 에 일체 가공된 다수장의 회전자 블레이드와,상기 다수장의 회전자 블레이드 사이에 번갈아 위치 결정되고, 상기 펌프 케이스 내에 고정된 다수장의 고정자 블레이드와,상기 회전자축을 회전시키기 위한 구동 모터를 구비하고,상기 회전자축과 회전자를 고정하는 볼트의 좌금을 스테인레스에 의해 회전자 축 외주에 링 형상으로 일체 성형하고, 또한 좌금의 내주에 나사, 락킹 핀, 부시 등으로부터 선택되는 적어도 1개의 추를 장착한 질량 부가 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
- 제10항에 있어서,상기 추의 축심에 가스 빠짐 구멍을 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
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