JP5157842B2 - ターボ分子ポンプおよび回転体の重心位置調整方法 - Google Patents
ターボ分子ポンプおよび回転体の重心位置調整方法 Download PDFInfo
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Description
重心位置調整部材は、ロータの軸方向最大寸法を規定する両端面と最大外径を規定する円筒面とで囲まれたロータ領域に設けるのが好ましい。
さらに、ロータの軸方向端面に凹部を形成し、該凹部内に重心位置調整部材を設けるのが好ましい。
さらに、重心位置調整部材は円柱状またはリング状の部材であって、回転体の軸と円柱状またはリング状の部材の軸とが一致するように、該円柱状またはリング状の部材が凹部内に設けられるのが好ましい。
本発明による回転体の重心位置調整方法は、回転翼が形成されたロータと回転軸とを締結して成る回転体の軸方向重心位置を計算し、軸方向重心位置を所定重心位置へと移動させるための回転体の軸に関して回転対称な形状を有する重心位置調整部材を形成し、回転体に重心位置調整部材を固定することを特徴とする。
Claims (5)
- 回転翼が形成されたロータと回転軸とを締結して成る回転体を備えるターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの比重よりも大きな比重の材料で形成され、前記回転体の軸に関して回転対称な形状を有する重心位置調整部材を、前記回転体に設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの軸方向最大寸法を規定する両端面と最大外径を規定する円筒面とで囲まれたロータ領域に、前記重心位置調整部材を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項2に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ロータの軸方向端面に凹部を形成し、該凹部内に前記重心位置調整部材を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項3に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記重心位置調整部材は円柱状またはリング状の部材であって、
前記回転体の軸と前記円柱状またはリング状の部材の軸とが一致するように、該円柱状またはリング状の部材を前記凹部内に設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 回転翼が形成されたロータと回転軸とを締結して成る回転体の軸方向重心位置を計算し、
前記軸方向重心位置を所定重心位置へと移動させるための前記回転体の軸に関して回転対称な形状を有する重心位置調整部材を形成し、
前記回転体に前記重心位置調整部材を固定することを特徴とする回転体の重心位置調整方法。
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JP2008295257A JP5157842B2 (ja) | 2008-11-19 | 2008-11-19 | ターボ分子ポンプおよび回転体の重心位置調整方法 |
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