JP4934089B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Description

本発明はターボ分子ポンプに関し、特に、回転体のバランスを取る機構を備えたターボ分子ポンプに関する。

ターボ分子ポンプは、タービン翼を有する回転体を高速で回転させることで、気体の分子とタービン翼とを繰り返し衝突させ、これにより気体を排気する真空ポンプである。高速で回転する回転体がアンバランスであると、振動、騒音、回転体の疲労破壊などの問題を引き起こしてしまう。このため、ターボ分子ポンプにおいては、回転体のバランスを取る作業が必要不可欠とされている。

バランスを取る方法は、回転体に質量を付加する方法と、回転体から質量を削除する方法の２通りに大別される。いずれの方法においても、まず、回転体を実際に回転させて、アンバランスを取り除くための最適な質量と位置（角度）を算出し、そして、計算により求められた質量を回転体に付加する、または回転体から取り除くことで、回転体のアンバランスを修正する。

回転体から質量を取り除く方法では、ドリルで回転体を削り取ることが一般的である。しかしながら、ドリルを用いた切削作業では、回転体を削りすぎると、その軸心に関して反対側の位置の部分を削り取る作業が必要となる。また、削る位置が不正確であると、それを打ち消すための付加的な切削作業が必要となる。したがって、作業員には、所定の位置で所定の質量を正確に削ることが必要とされ、高い技量が求められる。

また、回転体を削る作業にはパーティクルの発生が伴う。これは、高いクリーン度が要求されるターボ分子ポンプにおいては好ましいことではなく、パーティクルを回転体から除去する作業を十分に行うことが必要となる。さらに、回転体に穴を開けることによる、回転体の強度の低下や、回転体を保護する耐食性コーティング材の剥がれなどを招いてしまう。

一方、回転体に質量を付加する方法では、上述したような問題は生じない。しかしながら、この方法は、錘を取り付けるためのベース部材や、このベース部材を回転体に取り付ける機構が必要となり（例えば、特許文献１参照）、回転体の構成が複雑となってしまう。また、アンバランス修正の精度を上げるためには、錘が挿入される受け孔を、回転中心周りにできるだけ多く、等間隔に設けることが必要とされる。

図１は、錘を回転体に付加することによってバランスを取る方法を説明するための図である。図１において、ｍはアンバランスを修正するために付加すべき質量であり、計算により求められる。ｍ１およびｍ２は、付加される錘の質量である。αは隣接する錘の角度間隔（錘が挿入される受け孔の角度間隔）である。βは質量ｍの位置に近い方の質量ｍ２と質量ｍとの角度間隔である。

βが３°未満であるとき、１つの錘が用いられ、質量ｍの位置に最も近い受け孔に挿入される。βが３°以上であるときは、２つの錘が用いられる。この場合、βとβ−αとの比がｍ２とｍ１との比にほぼ等しくなるように質量ｍ１と質量ｍ２が決定される。しかしながら、ｍ２とｍ１との比がある程度大きくなると、質量ｍ２が小さくなりすぎ、質量ｍ２に対応する錘を用意することができなくなる。これは、錘の質量には物理的な上限および下限があるからである。

受け孔の角度間隔が大きいほど、ｍ２とｍ１との比は大きくなる。したがって、受け孔の角度間隔はできるだけ小さいことが好ましい。すなわち、受け孔の数が多いほど、アンバランスを修正する精度が高まる。

特開２００３−１４８３８９号公報 特開２００６−２２７７１号公報

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、簡単な構成で、回転体のアンバランス修正を精度よく行うことができるターボ分子ポンプを提供することを目的とする。

上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、複数の回転翼を有するロータと、前記ロータが固定される回転軸と、前記複数の回転翼に対向して配置される複数の固定翼と、前記複数の固定翼を支持するケーシングと、気体の吸気口および排気口と、前記回転軸と同心上に配置され、前記ロータを前記回転軸に固定する固定ボルトと、前記固定ボルトに着脱可能に取り付けられる少なくとも１つの第１の錘と、を備え、前記固定ボルトの頭部には、前記回転軸の軸心周りに複数の第１のねじ穴が等間隔に形成され、前記第１の錘は、前記第１のねじ穴に螺合されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。

本発明の好ましい態様は、前記回転軸を支持するラジアル磁気軸受と、前記回転軸に固定されたスラストディスクと、前記スラストディスクを支持するスラスト磁気軸受とをさらに備え、前記スラストディスクには、前記回転軸の軸心周りに複数の第２のねじ穴が等間隔に形成され、前記第２のねじ穴には、少なくとも１つの第２の錘が螺合されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第２の錘は、前記スラストディスクの内部に位置していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記スラストディスクは、その中心に位置する一条ねじを有しており、前記一条ねじを介して前記スラストディスクが前記回転軸に固定されていることを特徴とする。

本発明の好ましい態様は、前記第１の錘は、前記第１のねじ穴に螺合する取付ボルトと、該取付ボルトが挿通される孔を有する分銅とを有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記固定ボルトは、一条ねじであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記固定ボルトには、その軸心に沿って貫通孔が形成されていることを特徴とする。

本発明によれば、１本の固定ボルトを用いてロータが回転軸に固定され、この固定ボルトに第１の錘が直接取り付けられる。したがって、アンバランス修正機構を簡素にすることができる。また、固定ボルトは回転軸と同心上に配置されているので、固定ボルト自体が回転体（ロータおよび回転軸を含む組立体）のバランス状態に与える影響は極めて小さい。さらに、固定ボルトの頭部全体を錘が取り付けられる基台として用いることができるので、多数のねじ穴を等間隔で形成することができる。したがって、精度の高いアンバランス修正が可能となる。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図において同一または相当する部材には同一符号を付し、重複した説明を省略する。
図２は、本発明の一実施形態に係るターボ分子ポンプを示す断面図である。図２に示すように、ターボ分子ポンプは、ロータ１と、このロータ１が固定される回転軸２と、ロータ１を収容するケーシング３と、回転軸２を回転させるモータ４とを備えている。

ケーシング３は、上ハウジング３Ａ、下ハウジング３Ｂ、およびサブケーシング３Ｃとから構成されている。ロータ１は上ハウジング（ポンプケーシング）３Ａに収容されており、モータ４は下ハウジング（モータケーシング）３Ｂに収容されている。サブケーシング３Ｃは、上ハウジング３Ａと下ハウジング３Ｂとの間に配置されている。上ハウジング３Ａの上端には吸気口６が設けられており、サブケーシング３Ｃには排気口７が設けられている。

ロータ１は、第１のタービン翼部１０、第２のタービン翼部２０、および遠心翼部３０に分けられる。第１のタービン翼部１０は、複数の（本実施形態では５段の）第１のタービン翼１１を有している。第２のタービン翼部２０は、複数の（本実施形態では２段の）第２のタービン翼２１を有している。遠心翼部３０は、複数の（本実施形態では３段の）遠心翼３１を有している。

上ハウジング３Ａの内周面には、第１のタービン翼１１、第２のタービン翼２１、および遠心翼３１にそれぞれ対向するように、第１の固定翼４１、第２の固定翼５１、および第３の固定翼６１が固定されている。第１のタービン翼１１と第１の固定翼４１は、回転軸２の長手方向に沿って交互に配置されている。同様に、第２のタービン翼２１と第２の固定翼５１は交互に配置され、遠心翼３１と第３の固定翼６１も交互に配置されている。

図３（ａ）は第１のタービン翼部１０を示す平面図であり、吸気口６に最も近い最上段の第１のタービン翼１１のみを示す。図３（ｂ）は径方向から見た第１のタービン翼１１を部分的に展開した図である。第１のタービン翼部１０は、ボス１２と、複数の第１のタービン翼１１と、ボス１２と第１のタービン翼１１との間に位置する取付リング１３とを有している。各第１のタービン翼１１は、放射状に延びる複数の羽根１１ａから構成されている。これらの羽根１１ａは各取付リング１３の外周面に設けられている。全段の取付リング１３はボス１２の外周面に一体に形成されている。ボス１２には、回転軸２の軸心に沿って延びる中空部１４及び挿入孔１５が形成されている。

各羽根１１ａは、β１（例えば、１０〜４０度）だけ捩れ角をもって取付リング１３に取り付けられている。その他の第１のタービン翼１１の構成は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示す最上段の第１のタービン翼１１の構成と同じであるが、羽根１１ａの枚数、羽根１１ａの取付角度β１、取付リング１３の外径、羽根１１ａの長さなどは、適宜変えてもよい。

図４（ａ）は１段目の第２のタービン翼２１を示す平面図であり、図４（ｂ）は径方向から見た第２のタービン翼２１を部分的に展開した図である。第２のタービン翼２１は、ボス２２と、放射状に延びる複数の羽根２１ａと、ボス２２と羽根２１ａとの間に位置する取付リング２３とを有している。羽根２１ａは取付リング２３の外周面に設けられている。取付リング２３はボス２２の外周面に一体に形成されている。ボス２２には、回転軸２の軸心に沿って延びる嵌合孔２４が形成されている。

各羽根２１ａは、β２（例えば、１０〜４０度）だけ捩れ角をもって取付リング２３に取り付けられている。２段目の第２のタービン翼２１の構成は、１段目の第２のタービン翼２１の構成と同じであるが、羽根２１ａの枚数、羽根２１ａの取付角度β２、取付リング２３の外径、羽根２１ａの長さなどは、適宜変えてもよい。

図５(ａ)は、第１の固定翼４１を吸気口側から見た平面図であり、図５(ｂ)は、径方向から見た第１の固定翼４１を部分的に展開した図であり、図５(ｃ)は、図５(ａ)のＸ−Ｘ線断面図である。第１の固定翼４１は、円環部４２と、放射状に延びる複数の羽根４１ａとを備えている。これらの羽根４１ａは、円環部４２の外周面に取り付けられている。円環部４２の内周面は軸孔４３を構成し、軸孔４３を回転軸２（図２参照）が貫通している。

各羽根４１ａは、β３（例えば、１０〜４０度）だけ捩れ角をもって円環部４２に取り付けられている。その他の第１の固定翼４１、および第２の固定翼５１の構成は、図５（ａ）乃至図５（ｃ）に示す第１の固定翼４１の構成と同じであるが、羽根の枚数、羽根の取付角度、円環部の外径、羽根の長さなどは、適宜変えてもよい。

図６（ａ）は遠心翼３１を示す平面図であり、図６（ｂ）は遠心翼３１の断面図である。遠心翼３１は、ボス３２ａを有する略円板状の基部３２と、基部３２の表面（上面）に形成された複数の渦巻状羽根３３とを備えている。渦巻状羽根３３は、ボス３２ａの外周面から基部の周縁部まで延びており、その延びる方向は、回転方向に対して反対向きである。ボス３２ａには、回転軸２の軸心に沿って延びる嵌合孔３４が形成されている。このような渦巻状羽根３３を有する遠心翼３１は、気体の分子に径方向の運動量を与える役割を有する。第２のタービン翼部２０と遠心翼部３０との間には、緩和空間５０が形成されている。この緩和空間５０は、気体の流れが軸方向から径方向に移行する際の損失を緩和する目的で設けられている。

図２に示すように、回転軸２は、上ラジアル磁気軸受７１および下ラジアル磁気軸受７２によって非接触に支持されている。回転軸２の端部（下端）にはスラストディスク７５が回転軸２と同心上に固定されている。スラストディスク７５は、その中心に位置する一条ねじ７５ａを有しており、スラストディスク７５と一条ねじ７５ａとは一体に形成されている。スラストディスク７５は、一条ねじ７５ａを回転軸２の端部に形成されたねじ穴に螺合させることにより、回転軸２に固定されている。

スラストディスク７５は、スラスト磁気軸受７３によって非接触に支持されている。上ラジアル磁気軸受７１および下ラジアル磁気軸受７２に隣接して、ラジアル変位センサ８０，８１がそれぞれ設けられている。また、スラストディスク７５の端面（下面）に対向して、回転センサ（回転速度検出用ギャップセンサ）８２およびアキシャル変位センサ８３が設けられている。

ラジアル変位センサ８０，８１は、回転軸２のラジアル方向の変位を測定し、アキシャル変位センサ８３は、回転軸２のアキシャル方向の変位を測定する。ラジアル変位センサ８０，８１およびアキシャル変位センサ８３の信号は、図示しない制御部に送信されるようになっている。制御部は、これらの信号を受けて、回転軸２のラジアル方向の変位と、アキシャル方向の変位をキャンセルするように、上ラジアル磁気軸受７１、下ラジアル磁気軸受７２、およびスラスト磁気軸受７３に指令を発する。このような動作により、回転軸２はほぼ一定の位置で支持される。

上ラジアル磁気軸受７１、下ラジアル磁気軸受７２、およびスラスト磁気軸受７３のいずれかが機能しないときに回転軸２を物理的接触により支持する上タッチダウン軸受８５および下タッチダウン軸受８６が設けられている。上タッチダウン軸受８５は、回転軸２の大径部２ａの径方向外側に配置され、下タッチダウン軸受８６は、回転軸２の下端近傍に配置されている。

図２に示すように、回転軸２は、その内部に中空室９０が形成された中空軸である。中空室９０の上端は開口しており、その開口部はキャップ９１によって塞がれている。キャップ９１の中心には、キャップ９１を貫通するねじ穴９２が形成されており、上述した第１のタービン翼部１０の挿入孔１５を通じて固定ボルト１００がねじ穴９２に螺合されている。この固定ボルト１００は一条ねじである。固定ボルト１００には、その軸心に沿って貫通孔１０１が形成されている。この貫通孔１０１は回転軸２の中空室９０に連通している。

このような貫通孔１０１を固定ボルト１００に設けることにより、ターボ分子ポンプの運転に従って、中空室９０内に存在する気体（通常は、大気圧の空気）が貫通孔１０１を通じて排出される。なお、回転軸２は、中空室９０を有さない中実軸であってもよい。

ロータ１を構成する第１のタービン翼部１０は、固定ボルト１００によって回転軸２の上端に直接固定される。第２のタービン翼部２０および遠心翼部３０は、焼きばめにより回転軸２に固定されている。第１のタービン翼部１０は回転軸２の上方に位置し、第２のタービン翼部２０および遠心翼部３０は回転軸２の径方向外側に位置している。なお、図示はしないが、回転軸２に第２のタービン翼部２０および遠心翼部３０を重ねて取り付け、第１のタービン翼部１０と回転軸２の大径部２ａとの間に挟むことにより、回転軸２に固定してもよい。

上述した固定ボルト１００は、回転体（ロータ１および回転軸２を含む組立体）のバランスを取るための機構の一部を構成している。図７（ａ）は、固定ボルト１００を示す断面図であり、図７（ｂ）は固定ボルト１００を上から見た図である。固定ボルト１００は、回転軸２と同心上に配置されており、回転軸２のキャップ９１に形成されたねじ穴９２に螺合されている。

固定ボルト１００の頭部の上面には、固定ボルト１００の軸心（すなわち回転軸２の軸心）周りに複数のねじ穴（第１のねじ穴）１０２が等間隔に形成されている。図７（ｂ）に示す例では、頭部の上面全体は平坦に形成され、１８個のねじ穴１０２が固定ボルト１００の上面に形成されている。また、固定ボルト１００の頭部の中心には、固定ボルト１００自身をキャップ９１のねじ穴９２に捩じ込むための六角穴１０５が形成されている。

計算により予め求められたカウンターウェイトの質量および位置に従って、少なくとも１つの錘（第１の錘）１０３がねじ穴１０２に挿入される。錘１０３は、ねじ穴１０２に螺合する取付ボルト１０３Ａと、この取付ボルト１０３Ａが挿通される孔を有する分銅（錘）１０３Ｂとを有している。重さが異なる複数の分銅１０３Ｂが用意され、計算により求められた質量に対応する分銅１０３Ｂが選択され、そして、取付ボルト１０３Ａにより固定ボルト１００の頭部に取り付けられる。なお、取付ボルト１０３Ａ自体が錘の一部を構成するので、計算により求められた、回転体のアンバランス修正のための質量が小さい場合には、分銅１０３Ｂを省略することができる。

図８（ａ）は、図２に示すスラストディスク７５を示す拡大断面図であり、図８（ｂ）は、スラストディスク７５を下から見た図である。スラストディスク７５の下面には、回転軸２の軸心周りに複数のねじ穴（第２のねじ穴）１１０が等間隔に形成されている。図８（ｂ）に示す例では、３６個のねじ穴１１０が形成されている。なお、図８（ｂ）では、ねじ穴１１０はスラストディスク７５を貫通していないが、スラストディスク７５を貫通してもよい。

このねじ穴１１０には、少なくとも１つの錘（第２の錘）１１１が螺合される。この錘１１１は、頭部を有していなく、錘１１１の外周面には雄ねじが形成されている。また、錘１１１の端面には、錘１１１自身をねじ穴１１０に捩じ込むための六角穴が形成されている。図８（ａ）に示すように、錘１１１全体はねじ穴１１０の内部に位置している。

本実施形態では、これら固定ボルト１００およびスラストディスク７５を利用して２面つりあわせが行われる。２面つりあわせでは、２面間の距離が離れている方がアンバランス修正精度および修正作業の効率が向上する。固定ボルト１００およびスラストディスク７５は、回転軸２の両端部に位置しているので、精度よく、かつ簡単にアンバランス修正作業を行うことができる。なお、第１の錘１０３のみの付加で回転体のバランスが取れる場合には、第２の錘１１１を用いなくてもよい。

上述したように、固定ボルト１００は一条ねじである。また、スラストディスク７５はそれと一体に形成された一条ねじ７５ａにより回転軸２に固定されている。ここで、一条ねじとは、リードがピッチに等しいねじをいう。このような構成によれば、固定ボルト１００を取り外して、再度キャップ９１のねじ穴９２に螺合しても、第１の錘１０３と回転軸２との相対位置は一定である。同様に、スラストディスク７５を取り外して、再度回転軸２に取り付けても、第２の錘１１１と回転軸２との相対位置は一定である。したがって、回転体のバランスは維持される。

図９は、中空室を有さない中実軸を回転軸に用いた例を示す断面図である。回転軸以外の構成は、図２に示す構成と同一である。この例でも、第１の錘１０３および／または第２の錘１１１を用いて回転体のバランスが取られる。

次に、固定ボルト１００の変形例について、図１０（ａ）および図１０（ｂ）を参照して説明する。図１０（ａ）は固定ボルトの変形例を示す部分断面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）に示す固定ボルトを下方から見た図である。図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示すように、固定ボルト１００の頭部の下面には、環状溝１２０が形成されている。この環状溝１２０は、それぞれのねじ穴１０２の下端に接続されており、環状溝１２０とねじ穴１０２とは互いに連通している。また、環状溝１２０には、固定ボルト１００の頭部の外周面で開口する溝１２１が接続されている。このような構成としたことにより、第１の錘１０３によってねじ穴１０２に閉じ込められた気体は、ポンプ運転とともに環状溝１２０および溝１２１を通じて排出される。

なお、このような環状溝および溝に代えて、第１の錘１０３に、その長手方向に沿って延びる貫通孔を形成してもよい。より具体的には、図１１に示すように、第１の錘１０３を構成する取付ボルト１０３Ａに、その長手方向に沿って貫通孔１３０を形成してもよい。この場合でも、第１の錘１０３によってねじ穴１０２に閉じ込められた気体は、ポンプ運転とともに貫通孔１３０を通じて排出される。

上述した実施形態は、本発明の属する通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。したがって、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想の範囲内において種々の変形例が可能である。

錘を回転体に付加することによってバランスを取る方法を説明するための図である。 本発明の一実施形態に係るターボ分子ポンプを示す断面図である。 図３（ａ）は第１のタービン翼部を示す平面図であり、吸気口に最も近い最上段の第１のタービン翼のみを示す。図３（ｂ）は径方向から見た第１のタービン翼を部分的に展開した図である。 図４（ａ）は１段目の第２のタービン翼を示す平面図であり、図４（ｂ）は径方向から見た第２のタービン翼を部分的に展開した図である。 図５(ａ)は、第１の固定翼を吸気口側から見た平面図であり、図５(ｂ)は、径方向から見た第１の固定翼を部分的に展開した図であり、図５(ｃ)は、図５(ａ)のＸ−Ｘ線断面図である。 図６（ａ）は遠心翼を示す平面図であり、図６（ｂ）は遠心翼の断面図である。 図７（ａ）は、固定ボルトを示す断面図であり、図７（ｂ）は固定ボルトを上から見た図である。 図８（ａ）は、図２に示すスラストディスクを示す拡大断面図であり、図８（ｂ）は、スラストディスクを下から見た図である。 中空室を有さない中実軸を回転軸に用いたターボ分子ポンプの例を示す断面図である。 図１０（ａ）は固定ボルトの変形例を示す部分断面図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）に示す固定ボルトを下方から見た図である。 貫通孔を有する第１の錘の構成例を示す図である。

符号の説明

１ ロータ
２ 回転軸
３ ケーシング
４ モータ
６ 吸気口
７ 排気口
１０ 第１のタービン翼部
１１ 第１のタービン翼
１２ ボス
１３ 取付リング
１４ 中空部
１５ 貫通孔
２０ 第２のタービン翼部
２１ 第２のタービン翼
２２ ボス
２３ 取付リング
２４ 嵌合孔
３０ 遠心翼部
３１ 遠心翼
３２ 基部
３３ 渦巻状羽根
３４ 嵌合孔
４１ 第１の固定翼
４２ 円環部
４３ 軸孔
５０ 緩和空間
５１ 第２の固定翼
６１ 第３の固定翼
７１ 上ラジアル磁気軸受
７２ 下ラジアル磁気軸受
７３ スラスト磁気軸受
７５ スラストディスク
８０，８１ ラジアル変位センサ
８２ 回転センサ（回転速度検出用ギャップセンサ）
８３ アキシャル変位センサ
８５ 上タッチダウン軸受
８６ 下タッチダウン軸受
９０ 中空室
９１ キャップ
９２ ねじ穴
１００ 固定ボルト
１０１ 貫通孔
１０２ 第１のねじ穴
１０３ 第１の錘
１０５ 六角穴
１１０ 第２のねじ穴
１１１ 第２の錘
１２０ 環状溝
１２１ 溝
１３０ 貫通孔

Claims (7)

1. 複数の回転翼を有するロータと、
   前記ロータが固定される回転軸と、
   前記複数の回転翼に対向して配置される複数の固定翼と、
   前記複数の固定翼を支持するケーシングと、
   気体の吸気口および排気口と、
   前記回転軸と同心上に配置され、前記ロータを前記回転軸に固定する固定ボルトと、
   前記固定ボルトに着脱可能に取り付けられる少なくとも１つの第１の錘と、を備え、
   前記固定ボルトの頭部には、前記回転軸の軸心周りに複数の第１のねじ穴が等間隔に形成され、
   前記第１の錘は、前記第１のねじ穴に螺合されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. 前記回転軸を支持するラジアル磁気軸受と、
   前記回転軸に固定されたスラストディスクと、
   前記スラストディスクを支持するスラスト磁気軸受とをさらに備え、
   前記スラストディスクには、前記回転軸の軸心周りに複数の第２のねじ穴が等間隔に形成され、
   前記第２のねじ穴には、少なくとも１つの第２の錘が螺合されていることを特徴とする請求項１に記載のターボ分子ポンプ。
3. 前記第２の錘は、前記スラストディスクの内部に位置していることを特徴とする請求項２に記載のターボ分子ポンプ。
4. 前記スラストディスクは、その中心に位置する一条ねじを有しており、前記一条ねじを介して前記スラストディスクが前記回転軸に固定されていることを特徴とする請求項２に記載のターボ分子ポンプ。
5. 前記第１の錘は、前記第１のねじ穴に螺合する取付ボルトと、該取付ボルトが挿通される孔を有する分銅とを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ。
6. 前記固定ボルトは、一条ねじであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ。
7. 前記固定ボルトには、その軸心に沿って貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のターボ分子ポンプ。

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