KR100879142B1 - 진자 밸브 조립체 및 박막 코팅 공정 수행에 사용되는 시스템 - Google Patents

Abstract

내부 공간 및 유체가 이 내부 공간으로 출입하기 위한 개구가 있는 하우징, 이 하우징의 내부 공간에서, 유체가 이 개구를 통해 흐를 수 있는 완전히 열린 위치와 유체가 개구를 통해 흐르지 못하는 완전히 닫힌 위치 사이로 이동 가능한 밸브 본체, 그리고 종방향 축선을 따라 종방향으로 이동 가능하고 그 둘레로 회전 가능한 슬리브를 포함하는 신규하고도 개선된 밸브 조립체가 제공된다. 슬리브는 상기 밸브 본체가 슬리브로 회전하고 종방향으로 이동할 수 있도록 밸브 본체에 연결된다. 하우징과 슬리브 중의 하나에는 캠면이 있고, 하우징과 슬리브 중의 다른 하나는 캠면에 의해 수납되는 캠 종동자가 있다. 회전 가능한 샤프트는 이 샤프트의 회전에 의해 슬리브가 캠 종동자에 대해 회전 및 축방향 운동 중의 적어도 하나를 하게 되도록 슬리브와 나사 결합된다.

Description

진자 밸브 조립체 및 박막 코팅 공정 수행에 사용되는 시스템{PENDULUM VALVE ASSEMBLY AND SYSTEM USED TO PERFORM THIN FILM COATING PROCESS}

본 발명은 진자 또는 게이트 밸브 조립체에 관한 것이며, 더 구체적으로는 플래퍼(flapper)에 회전 및 축방향 운동 양쪽을 제공하는 신규하고 개선된 구성을 포함하는 진자 밸브 조립체에 관한 것이다.

진자 밸브 조립체는 진자 밸브를 수용하면서 내부 공간과 이 공간으로 기상 유체가 출입할 수 있게 해주는 한 쌍의 개구를 갖는 하우징을 포함한다. 진자 밸브 조립체는 반도체 제조 또는 다른 박막 코팅 공정과 같은 고순도 기체 수송 시스템에 특히 유용하다. 그 명칭이 암시하는 바와 같이, 진자 밸브는 열림 및 닫힘 위치 사이에서 피벗하며, 보통 디스크 또는 플래퍼로서 제공되어 피벗 암에 의해 회전 가능한 샤프트에 연결된 밸브 본체를 포함한다. 완전히 열린 위치에서, 진자 밸브의 디스크 형태의 밸브 본체는 유체가 하우징의 내부 공간으로 출입할 수 있도록 개구에 의해 형성된 유로 밖으로 나온다. 한편, 완전히 닫힌 위치에서, 디스크형태의 밸브 본체는 유체가 내부 공간으로 들어갈 수 없도록 개구들 중의 하나를 둘러싼 밸브 시트와 밀봉 접촉하게 된다.

디스크 형태의 밸브 본체의 운동은 일반적으로, 완전히 닫힌 위치와 중간 위치 사이의 회전( 즉 피벗식 또는 측방) 운동을 필요로 하고, 중간 위치로부터 완전히 닫힌 위치로의 적어도 일부의 종방향 (즉 병진, 선형 또는 축방향) 운동을 필요로 하며, 완전히 닫힌 위치에서 디스크 형태의 밸브 본체는 밸브 시트와 밀봉 접촉한다. 이러한 회전 및 병진 운동의 결합을 달성하기 위해, 몇 가지 종래의 진자 밸브는 통상 다중 액추에이터 요소를 구비한다.

또한, “표준형” 게이트 또는 진자 밸브에서, 게이트가 밸브 하우징의 개구를 열기(clear) 시작하면, 기체 흐름은 신속하게 증가한다. 또한, 게이트와 개구 사이에 공통되는 중복이 있기 때문에 (즉, 게이트는 개구보다 직경이 크기 때문에), 게이트의 초기 운동은 흐름 변화를 거의 일으키지 않는다. 따라서, 전체 컨덕턴스는 매우 작은 흐름 변화에 매우 빠른 흐름 변화가 따라오게 되며( 또한, 게이트가 닫힐 때에는 역), 이는 이러한 밸브의 작동 범위에서 흐름(컨덕턴스)의 제어를 빈약하게 한다.

본 발명의 양수인에게 양도되고 본원에 참조로 포함되는 Olmsted의 미국특허 제6,089,537호는 완전히 열린 위치와 완전히 닫힌 위치 사이에서 밸브 본체의 회전 및 종방향 운동을 정밀하게 제어하는 간단한 회전형 캠 기구를 사용하는 개선된 진자 밸브 조립체를 개시한다. 미국특허 제6,161,576호, 제6,328,051호 및 제6,409,149호는 공히 본 발명의 양수인에게 양도되고 본 명세서에 참조로 포함되는 것들로서, 이들 또한 개선된 진자 밸브 조립체와 시스템을 개시한다.

하지만, 닫힌 위치와 열린 위치 사이에서 밸브 조립체의 디스크 형태의 밸브 본체의 회전 및 종방향 운동을 모두 제공하도록 신규하고도 개선된 구성을 포함하는 신규하고 개선된 진자 밸브 조립체가 여전히 요구된다. 바람직하게는, 구성의 종방향 운동의 정밀도는 회전 운동의 정밀도와 무관하게 선택될 수 있다. 또한, 밸브의 열림과 닫힘 중에 밸브 조립체를 통해 컨덕턴스의 더욱 제어 가능하고도 일관된 변화를 제공하는 신규하고도 개선된 진자 밸브 조립체가 요구된다.

본 발명은 내부 공간 및 유체가 상기 내부 공간으로 출입하기 위한 제1 개구가 있는 하우징, 상기 하우징의 내부 공간에서, 유체가 상기 제1 개구를 통해 흐를 수 있는 완전히 열린 위치와 유체가 상기 제1 개구를 통해 흐르지 못하는 완전히 닫힌 위치 사이로 이동 가능한 밸브 본체, 그리고 종방향 축선을 따라 종방향으로 이동 가능하고 그 둘레로 회전 가능한 슬리브를 포함하는 신규하고도 개선된 밸브 조립체를 제공한다. 상기 슬리브는 상기 밸브 본체가 완전히 열린 위치와 중간 위치 사이에서 상기 종방향 축선 둘레를 상기 슬리브와 함께 회전할 수 있도록 상기 밸브 본체에 연결되고, 상기 중간 위치는 상기 밸브 본체가 상기 제1 개구와 정렬되지만 그로부터 종방향으로 떨어진 위치이고, 또, 상기 슬리브는 상기 밸브 본체가 중간 위치와 완전히 닫힌 위치 사이에서 슬리브와 함께 종방향으로 이동할 수 있도록 상기 밸브 본체에 연결된다.

상기 하우징과 상기 슬리브 중의 하나에는 캠면이 있고, 상기 하우징과 상기 슬리브 중의 다른 하나는 상기 캠면에 의해 수납되어 상기 캠면을 따라 이동하고 그에 의해 안내되는 캠 종동자가 있다. 본 발명의 밸브 조립체는 상기 슬리브의 종방향 축선을 따라 연장되어 그 둘레로 회전 가능한 샤프트를 더 포함하며, 상기 샤프트는 상기 샤프트의 회전에 의해 상기 슬리브가 상기 캠 종동자에 대해 회전 및 축방향 운동 중의 적어도 하나를 하게 되도록 상기 슬리브와 나사 결합된다.

본 발명의 다른 특징과 장점 중에서, 밸브 조립체의 밸브 본체는 닫힌 위치와 열린 위치 사이에서 회전 및 축방향 운동이 모두 제공된다. 본 발명의 밸브 조립체는 밸브 본체의 회전 운동의 정밀도와 무관하게 선택될 수 있는 종방향 운동의 정밀도도 역시 제공한다. 더욱이, 밸브의 열림과 닫힘 중에 밸브 조립체를 통한 더욱 제어 가능하면서 일관된 컨덕턴스 변화를 제공하는 신규하면서도 개선된 진자 밸브 조립체를 제공한다.

당업자라면 아래의 상세한 설명으로부터 본 발명의 다른 특징 및 장점을 이해할 것이며, 본 발명의 예시적인 실시예는 본 발명을 실시하기 위해 안출된 최선의 방식의 예로서만 도시 및 기재된다. 구현되는 바와 같이, 본 발명은 여러 가지 실시예로 가능하며, 이들의 상세내용은 여러 관점에서 수정될 수 있음이 명백하며, 이들은 모두 본 발명을 벗어나지 않는다. 따라서, 도면과 기재내용은 한정이 아닌 본질의 예시로서 이해해야 한다.

동일한 참조 부호가 동일 또는 유사한 요소를 나타내는 첨부 도면을 참조한다.

도 1은 본 발명에 따라 구성된 진자 밸브 조립체의 예시적인 실시예를 포함하는 고순도 기체 수송 시스템의 일부를 개략적으로 예시하며, 도시한 바와 같이 밸브 본체가 닫힌 위치와 열린 위치 사이에서 회전식으로 종방향으로 운동 가능하다.

도 2는 도 1의 진자 밸브 조립체의 사시도이다.

도 3은 밸브 본체가 중간 위치에 도시된 도 1과 2의 진자 밸브 조립체의 단면도이다.

도 4는 도 1 내지 3의 진자 밸브 조립체의 캠 종동자, 슬리브 및 스크루 샤프트의 측면도이다.

도 5는 도 1 내지 3의 진자 밸브 조립체의 캠 종동자, 슬리브 및 스크루 샤프트의 분해 측면 사시도로, 슬리브의 일부가 절단되어 있다.

도 6은 밸브 조립체 전체의 컨덕턴스 대 밸브 조립체의 열린 비율(%)의 그래프로, 본 발명에 따라 구성된 밸브 조립체와 기존의 밸브 조립체를 서로 비교한다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따라 구성된 진자 밸브 조립체(10)의 바람직한 실시예는 진자 밸브(16)를 수용하는 내부 공간(14)이 형성되고, 기체가 내부 공간(14)으로 출입하기 위한 한 쌍의 대향 개구(18, 20)를 갖는 하우징(12)을 포함한다. 밸브 시트(22, 24)는 개구(18, 20)의 가장자리 둘레의, 하우징(12)의 내부 공간(14)에 제공된다. 도시한 바와 같이, 진자 밸브(16)는 유체가 제1 개구(18)를 통해 흐를 수 있는 점선으로 도시한 완전히 열린 위치와 유체가 제1 개구(18)를 통해 흐르지 않게 하는 실선으로 도시한 완전히 닫힌 위치 사이에서 이동하는 밸브 본체(26)를 포함한다.

또, 도시한 바와 같이, 예컨대, 진자 밸브 조립체(10)의 개구(18, 20)들 중의 제1 개구(18)는 공정 챔버에 연결되고, 제2 개구(20)는 진공 펌프에 연결되어, 매우 낮은 압력(고진공) 즉 1torr 이하 정도의 압력에서 수행되는 반도체 제조 또는 다른 박막 코팅 공정에서 사용되거나 하는 고순도 기체 운송 시스템의 일부를 형성할 수 있다. 일반 적으로, 반도체 웨이퍼와 같은 작업물은 공정 기체가 미리 정해진 방식으로 작업물과 화학적으로 반응하도록 챔버 안으로 도입되는 동안 챔버에 배치된다.

진자 밸브 조립체(10)에 의해, 완전히 열린 위치와 완전히 닫힌 위치 사이에서 디스크 형태의 밸브 본체(26)의 위치를 제어하여 공정 챔버와 진공 펌프 사이의 기체 흐름을 제어하게 된다. 닫힌 위치일 때, 디스크 형태의 밸브 본체(26)는 내부 공간(14)의 제1 개구(18)의 가장자리 둘레에 제공된 밸브 시트(22)와 밀봉 접촉한다.

도 2 내지 도 5를 또한 참조하면, 본 발명은 완전히 열린 위치와 완전히 닫힌 위치 사이에서 밸브 본체(26)의 회전 및 종방향 운동을 정밀하게 제어하는 구성을 제공한다. 특히, 도 3 내지 5를 참조하면, 구성은 종방향 축선(32)을 따라 종방향으로 이동 가능하고 그 둘레로 회전 가능한 슬리브(28)를 포함한다. 슬리브(28)는, 밸브 본체(26)가 슬리브(28)에 의해 종방향 축선(32)을 중심으로 완전히 닫힌 위치와, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 개구(18)와 실질적으로 정렬되지만 그로부터 종방향으로 떨어진 중간 위치 사이에서 회전할 수 있도록, 그리고 밸브 본체(26)가 슬리브(28)에 의해 중간 위치와 완전히 닫힌 위치 사이에서 종방향으로 이동할 수 있도록, 피벗 암(30)을 통해 밸브 본체(26)에 연결된다. 피벗 암(30)은 도1 내지 도5에 도시된 바와 같이 슬리브(28)의 종방향 축선(32)에 직각으로 연장되어 구성될 수 있다.

하우징(12)과 슬리브(28) 중의 하나는 캠면(34)을 포함하며, 다른 하나는 캠면(34)에 의해 수납되는 종동자(36)를 포함한다. 조립체(10)는 또한, 슬리브(28)의 종방향 축선(32)을 따라 연장되고 그 둘레로 회전 가능한 샤프트(38)를 포함한다. 샤프트(38)는 샤프트(38)의 회전이 슬리브(28)와 캠 종동자(36)의 회전 및 종방향 운동을 일으키도록 슬리브(28)와 나사 결합된다.

디스크 형태의 밸브 본체(26)의 위치를 제어하기 위해, 조립체(10)는 도 3에 도시한 바와 같이 모터(48), 그리고 하우징(12)에 장착된 기어 기구를 포함한다. 모터(48)는 바람직하게는 역전 가능한 스테핑 모터로서, 기어 기구의 제1 기어(52)에 고정되거나 이를 구비하는 모터 샤프트를 포함한다. 기어 기구는 모터(48)가 회전 방향으로 제1 기어(52)를 구동할 때 제1 기어(52)의 회전 운동에 반대로 회전하는 제2 기어(54)도 역시 포함한다. 제2 기어(54)는 진자 밸브(16)의 종방향 샤프트(38)의 단부에 고정된다.

샤프트(38)는 슬리브(28)에 대해 종방향으로 고정된다. 도 5에 가장 잘 나타낸 바와 같이, 슬리브(28)는 샤프트(38)의 수나사(42)와 맞물리는 암나사(40)가 제공된다. 예시적인 실시예에 도시한 바와 같이, 수나사(42)는 암나사(40)와 직접 접촉한다. 하지만, 이와 달리, 볼 베어링은 수나사와 암나사 사이에 즉 볼-스크루 구성에 제공될 수 있다. 좌우간, 샤프트(38)가 회전하면, 슬리브(28)는 축선(32)을 따라 종방향으로 정상 이동한다. 하지만, 슬리브(28)가 캠면(34)과 캠 종동자(36)에 의해 종방향으로 움직이지 못하게 되면, 슬리브(28)는 샤프트(38)와 함께 회전한다.

도 3 내지 5에 도시한 예시적인 실시예에서, 캠 종동자(36)는 이동 가능한 슬리브(28)에 대해 고정된 위치에서 하우징(12)에 고착되며, 캠면(34)은 슬리브(28)의 외측면에 제공된다. 도 4와 5에 가장 잘 도시한 것과 같이, 캠면(34)은 측방으로 연장된 제1 부분(60), 종방향으로 연장된 제2 부분(62) 및 제1 및 제2 부분을 연결하는 중간 또는 전이 부분(64)을 포함한다. 따라서, 일반적으로, 캠면(34)은 “L"자형이다.

측방으로 연장된 제1 부분(60)은 슬리브(28)와 디스크 형태의 밸브 본체(26)가 제1 개구(18)에 평행한 면에서 회전하여, (도 1에 점선으로 도시한) 완전히 열린 위치로부터 도 3에 도시한 것과 같이 디스크 형태의 밸브 본체(26)가 실질적으로 제1 개구(18)와 정렬된 중간 위치로 회전하게 한다. 샤프트(38)의 회전시 캠면(34)의 제1 부분(60)이 회전 운동만으로 캠 종동자(36)를 따라가기 때문에, 디스크 형태의 밸브 본체(26)는 평행면에서 움직인다.

하지만, 캠면(34)의 종방향으로 연장된 제2 부분(62)에 의해, (도 1에 점선으로 도시한 것과 같이) 디스크 형태의 밸브 본체(26)가 밸브 시트(22)와 맞물릴 때까지(즉, 접촉할 때까지) 슬리브(28)와 디스크 형태의 밸브 본체(26)가 슬리브 축선(32)에 평행하게 제1 개구(18) 쪽으로 이동한다. 제2 부분(62)이 캠 종동자(36) 위로 움직일 때, 슬리브(28)는 캠 종동자(36)에 의해 회전하지 않게 된다.

슬리브(28)와 디스크 형태의 밸브 본체(26)가 회전 운동 및 종방향 운동을 모두 하게 되도록, 캠면(34)의 전이 부분(64)은 종방향과 측방향 양쪽으로 연장된다. 도시한 예시적인 실시예에서, 캠면(34)의 전이 부분(64)은 곡선 형태가 제공된다. 하지만, 원하는 경우, 직선 형태가 제공될 수도 있다. 따라서, 스크루 샤프트(38), 슬리브(28), 캠면(34)과 캠 종동자(36)는 진자 밸브(16)의 회전 및 종방향 운동을 제공하기 위한 신규하고 개선된, 단순하고도 효과적인 구성을 제공한다. 또한, 본 발명의 밸브 조립체(10)는 밸브 본체(26)의 종방향 운동의 정밀도(resolution)를 제공하며, 이 종방향 운동 정밀도는 캠면(34)의 제1 부분(60)의 길이, 캠면의 제2 부분(62)의 길이, 캠면의 전이 부분(64)의 길이와 곡률, 또는 스크루 나사(40, 42)의 피치를 바꾸기만 함으로써 밸브 본체(26)의 회전 운동의 정밀도와 무관하게 설계할 수 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 조립체(10)는 밸브 본체(26)가 완전히 닫힌 위치로 실질적으로 이동하면, 밸브 본체(26)를 제1 개구(18)의 밸브 시트(22) 측 종방향으로 편향시키도록 배치된 스프링 장전형 피스톤(70)을 더 포함할 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 스프링 장전형 피스톤(70)에는 스프링이 구비되어 있어서, 밸브 본체(26)가 완전히 닫힌 위치로 이동하면 스프링력에 의해서 스프링 장전형 피스톤(70)이 밸브 본체(26)를 가압하여 밸브 본체(26)를 제1 개구(18)의 밸브 시트(22) 측 종방향으로 편향시킬 수 있다. O링(72)이 디스크 형태의 밸브 본체(26)에 제공되어 디스크 형태의 밸브 본체(26)와 밸브 시트(22) 사이를 밀봉시킨다.

도시하지 않았지만, 조립체(10)는 하우징(12) 내부에서, 유체가 제2 개구(20)를 통과할 수 있는 완전히 열린 위치와 유체가 제2 개구(20)를 통과할 수 없는 완전히 닫힌 위치 사이로 이동 가능한 제2 밸브 본체를 포함할 수 있다. 즉, 제2 밸브 본체는 하우징(12)에 구비되는 별도의 구동수단에 의해서 밸브 본체(26)와는 독립적으로 하우징(12)에 있는 제2 개구(20) 및 하우징(12) 안에서 이동가능하도록 구성될 수 있다. 일 예로서, 제2 밸브 본체를 구동시키는 구동수단은 밸브 본체(26)를 구동하기 위한 구동수단과 유사한 구성을 가질 수 있다. 그와 같은 구성의 예가 미국특허 제6,328,051호와 제6,409,149호에 도시되며, 이들은 공히 본 발명의 양수인에게 양도되었으며 본원에 참조로 포함되었다. 조립체(10)는 제2 개구(20)의 밸브 시트(24)를 보호하기 위해 밸브 시트(24)를 덮을 수 있는 환상 커버도 포함할 수 있다. 이러한 환상 커버는 하우징(12)에 구비된 별도의 구동수단을 통해 하우징(12) 내의 덮인 위치(covered position)와 덮이지 않은 위치 사이에서 이동 가능하게 구성될 수 있다. 덮인 위치는 환상 커버가 제2 개구(20)의 밸브 시트(24)를 덮어서 밸브 시트(24)를 보호하는 위치이고, 덮이지 않은 위치는 환상 커버가 제2 개구(20)로부터 떨어져 제2 밸브 본체가 환상 커버와 제2 개구(20) 사이로 이동될 수 있도록 하는 위치이다. 이 경우 제2 밸브 본체는 제2 개구(20)의 밸브 시트(24)와 맞물려서(즉, 접촉하여) 제2 개구(20)를 밀봉할 수 있다. 그와 같은 구성의 예가 미국특허 제6,409,149호에 제시된다.

본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서 다양하게 변경할 수 있다. 예컨대, 캠면(34)이 슬리브(28)에 제공되고 캠 종동자(36)가 하우징(12)에 고정되지만, 이 구성을 역으로 할 수 있다.

도 6은 밸브 조립체 전체의 컨덕턴스 대 밸브 조립체의 200mm 밸브에 대해 열린 비율(%)의 그래프로, “I”로 표시한 도 1 내지 5에 도시한 밸브 조립체(10)와 같은 본 발명에 따라 구성된 밸브 조립체를 “II” 선으로 표시한 기존의 밸브 조립체와 비교한다. 기존의 밸브 조립체의 예로는 Haag Switzerland(www.vatvalve.com)의 VAT Vakuumventile AG의 Series 65 진자 밸브가 있다. 도 6의 그래프에 “II”로 표시한 바와 같이, Series 65 진자 밸브가 처음 열리면, 밸브를 통한 흐름은 미세하게 변한 다음 비교적 작은 각도 변화(4 내지 6% 열림)에서 비교적 신속한 흐름 변화로 전이된다. 이러한 컨덕턴스 곡선의 기울기의 신속한 변화에 따라 컨덕턴스의 제어( 및 그에 따라 공정 챔버 내의 압력 제어)가 빈약해진다.

도 6의 그래프에 “I”로 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따라 구성된 밸브 조립체(10)의 밸브 본체(26)가 완전히 닫힌 위치로부터 멀어지게 처음 이동하면, 하우징(12)의 밸브 본체(26)와 밸브 시트(22) 사이의 축방향 간격이 1차로 증가됨으 로써, 흐름은 대수선형 관계(예컨대, 1차의 3.5%-4%의 밸브 열림 중에 약 7L/S)를 고려할 때 비교적 일정한 기울기(컨덕턴스 대 열림 %)로 증가할 수 있다. 본 발명에 따라 구성한 밸브 조립체가 밸브 본체(26)의 회전 운동의 정밀도와 무관하게 설계될 수 있는 밸브 본체(26)의 종방향 운동의 높은 정밀도를 제공하므로, 진자 밸브의 흐름 특성은 밸브의 특정 용례의 요구사항에 맞춰질 수 있다. 예컨대, 반도체 산업용 밸브 용례의 경우, 도 6의 그래프의 I선으로 나타낸 바와 같이, 닫힌 위치 부근에서 정밀한 제어를 요구하지만 완전히 열린 위치에서는 높은 컨덕턴스(흐름)를 갖는 것을 요구한다. 따라서, 다른 이점과 특징들 중에서, 본 발명은 매우 높은 제어 범위를 갖고 밸브 본체가 완전히 닫힌 위치로부터 멀어지기 시작함에 따라 완만한 컨덕턴스(흐름) 곡선을 갖는 밸브 조립체를 제공한다.

따라서, 본 발명에 따라 구성된 신규하고 개선된 진자 밸브 조립체(10)가 기재되었다. 특히, 본 발명은 진자 밸브 조립체(10)의 디스크 형태의 밸브 본체(26)의 운동을 적어도 2 방향으로 제공하기 위한 신규하고 개선된, 간단하고도 효과적인 구성을 제공한다. 본 명세서에 기재된 예시적인 실시예는 한정이라기보다는 예시로서 제시되었으며, 당업자라면 첨부한 청구범위에 기재된 광의의 본 발명의 사상 또는 범위로부터 벗어나지 않으면서 실시예를 다양하게 수정, 결합 및 대체할 수 있을 것이다. 본 명세서에 개시된 본 발명의 밸브 조립체 및 모든 구성요소는 아래의 청구항들 중의 적어도 하나의 범위에 속한다. 현재 개시된 밸브 조립체의 모든 구성요소는 권리에 속한다.

Claims (24)

1. 내부 공간(14) 및 유체가 상기 내부 공간으로 출입하기 위한 제1 개구(18)가 있는 하우징(12);

   상기 하우징의 내부 공간에서, 유체가 상기 제1 개구를 통해 흐를 수 있는 완전히 열린 위치와 유체가 상기 제1 개구를 통해 흐르지 못하는 완전히 닫힌 위치 사이로 이동 가능한 밸브 본체(26);

   종방향 축선(32)을 따라 종방향으로 이동 가능하고 그 둘레로 회전 가능한 슬리브(28); 및

   상기 슬리브의 종방향 축선을 따라 연장되어 그 둘레로 회전 가능한 샤프트(38)를 포함하며,

   상기 슬리브(28)는 상기 밸브 본체(26)가 완전히 열린 위치와 중간 위치 사이에서 상기 종방향 축선(32) 둘레를 상기 슬리브와 함께 회전할 수 있도록 상기 밸브 본체(26)에 연결되고, 상기 중간 위치는 상기 밸브 본체가 상기 제1 개구와 정렬되지만 그로부터 종방향으로 떨어진 위치이고, 또, 상기 슬리브(28)는 상기 밸브 본체(26)가 중간 위치와 완전히 닫힌 위치 사이에서 상기 슬리브(28)와 함께 종방향으로 이동할 수 있도록 상기 밸브 본체(26)에 연결되고, 상기 하우징과 상기 슬리브 중의 하나에는 캠면(34)이 있고 상기 하우징과 상기 슬리브 중의 다른 하나는 상기 캠면에 의해 수납되어 상기 캠면을 따라 이동하고 그에 의해 안내되는 캠 종동자(36)가 있으며,

   상기 샤프트는 상기 샤프트의 회전에 의해 상기 슬리브가 상기 캠 종동자에 대해 회전 및 축방향 운동 중의 적어도 하나를 하게 되도록 상기 슬리브와 나사 결합된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
2. 제1항에 있어서, 상기 슬리브는 암나사를 포함하며, 상기 샤프트는 수나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
3. 제1항에 있어서, 상기 캠 종동자는 상기 이동 가능한 슬리브에 대해 고정된 위치에서 상기 하우징에 고착되며, 상기 캠면은 상기 슬리브의 외측면에 제공된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
4. 제3항에 있어서, 상기 캠면은 제1 부분, 제2 부분 및 상기 제1 부분과 상기 제2 부분을 연결하는 전이 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
5. 제4항에 있어서, 상기 캠면의 제1 부분은 상기 종방향 축선에 대해 측방으로 연장된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
6. 제4항에 있어서, 상기 캠면의 제2 부분은 상기 종방향 축선에 대해 종방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
7. 제1항에 있어서, 상기 샤프트를 회전시키도록 상기 샤프트에 결합된 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
8. 제7항에 있어서, 상기 모터는 기어 기구를 통해 상기 샤프트에 결합된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
9. 제8항에 있어서, 상기 모터는 구동 샤프트를 포함하며, 상기 기어 기구는 상기 모터 구동 샤프트에 고정된 기어와 상기 샤프트에 고정된 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
10. 제1항에 있어서, 상기 밸브 본체는 디스크인 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
11. 제10항에 있어서, 상기 디스크는 상기 제1 개구 둘레의 상기 하우징의 내부와 밀봉 맞물림을 위한 O링을 갖는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
12. 제1항에 있어서, 상기 하우징은 완전히 닫힌 위치에서 상기 밸브 본체를 수납하기 위해 상기 제1 개구의 가장자리 둘레에 상기 하우징의 상기 내부 공간에 배치된 밸브 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
13. 제1항에 있어서, 상기 밸브 본체가 완전히 닫힌 위치로 이동하면 상기 밸브 본체를 상기 제1 개구 측 종방향으로 편향시키도록 배치된 스프링 장전형 피스톤을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
14. 제1항에 있어서, 상기 하우징에 있는 제2 개구 및 상기 하우징 안에서 이동 가능한 제2 밸브 본체를 더 포함하며, 상기 제2 밸브 본체는 유체가 상기 제2 개구를 통과할 수 있도록 완전히 열린 위치와 유체가 상기 제2 개구를 통과하지 못하는 완전히 닫힌 위치 사이에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
15. 제14항에 있어서, 덮인 위치와 덮이지 않은 위치 사이에서 이동 가능한 환상 커버를 더 포함하며, 상기 덮인 위치는 상기 커버가 상기 제2 개구의 밸브 시트를 보호하는 위치이고, 상기 덮이지 않은 위치는 상기 커버가 상기 제2 개구로부터 떨어져 상기 제2 밸브 본체가 상기 제2 개구의 밸브 시트와 맞물릴 수 있는 위치인 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
16. 박막 코팅 공정 수행에 사용되는 시스템으로서,

    제1항에 기재한 밸브 조립체; 및

    상기 밸브 조립체를 통해 공정 챔버에 연결된 진공 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 공정 수행에 사용되는 시스템.
17. 제1항에 있어서, 상기 슬리브는 피벗 암을 통해 상기 밸브 본체에 연결된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
18. 제17항에 있어서, 상기 피벗 암은 상기 슬리브의 축선에 직각으로 연장된 것 을 특징으로 하는 밸브 조립체.
19. 제1항에 있어서, 상기 제1 개구는 그 축선이 상기 슬리브의 축선과 평행하게 연장되는 방향으로 배치된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
20. 제1항에 있어서, 상기 슬리브는 암나사를 포함하고, 상기 샤프트는 수나사를 포함하며, 상기 수나사는 상기 암나사와 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
21. 제1항에 있어서, 상기 샤프트는 종방향으로 고정된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
22. 제1항에 있어서, 상기 캠면은 L자형인 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
23. 제4항에 있어서, 상기 캠면의 전이 부분은 상기 슬리브의 종방향 축선에 대해 종방향 및 측방으로 연장된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
24. 제4항에 있어서, 상기 캠면의 전이 부분은 만곡된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.

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