KR20050101165A - 진자 밸브 조립체 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 내부 공간 및 유체가 상기 내부 공간으로 출입하기 위한 개구가 있는 하우징;상기 하우징의 내부 공간에서, 유체가 상기 개구를 통해 흐를 수 있는 완전히 열린 위치와 유체가 상기 개구를 통해 흐르지 못하는 완전히 닫힌 위치 사이로 이동 가능한 밸브 본체;종방향 축선을 따라 종방향으로 이동 가능하고 그 둘레로 회전 가능한 슬리브; 및상기 슬리브의 종방향 축선을 따라 연장되어 그 둘레로 회전 가능한 샤프트를 포함하며,상기 슬리브는 상기 밸브 본체가 완전히 열린 위치와 중간 위치 사이에서 상기 종방향 축선을 따라 그 둘레로 상기 슬리브로 회전할 수 있도록 상기 밸브 본체에 연결되고, 상기 중간 위치는 상기 밸브 본체가 상기 개구와 실질적으로 정렬되지만 그로부터 종방향으로 떨어진 위치이고, 또, 상기 슬리브는 상기 밸브 본체가 중간 위치와 완전히 닫힌 위치 사이에서 상기 슬리브로 종방향으로 이동할 수 있도록 상기 밸브 본체에 연결되고, 상기 하우징과 상기 슬리브 중의 하나에는 캠면이 있고 상기 하우징과 상기 슬리브 중의 다른 하나는 상기 캠면에 의해 수납되어 상기 캠면을 따라 이동하고 그에 의해 안내되는 캠 종동자가 있으며,상기 샤프트는 상기 샤프트의 회전에 의해 상기 슬리브가 상기 캠 종동자에 대해 회전 및 축방향 운동 중의 적어도 하나를 하게 되도록 상기 슬리브와 나사 결합된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 캠 슬리브는 암나사를 포함하며, 상기 샤프트는 수나사를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 캠 종동자는 상기 이동 가능한 슬리브에 대해 고정된 위치에서 상기 하우징에 고착되며, 상기 캠면은 상기 슬리브의 외측면에 제공된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제3항에 있어서, 상기 캠면은 제1 부분, 제2 부분 및 상기 제1 부분과 상기 제2 부분을 연결하는 전이 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제4항에 있어서, 상기 캠면의 제1 부분은 상기 종방향 축선에 대해 측방으로 연장된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제4항에 있어서, 상기 캠면의 제2 부분은 상기 종방향 축선에 대해 종방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 샤프트를 회전시키도록 상기 샤프트에 결합된 모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제7항에 있어서, 상기 모터는 기어 기구를 통해 상기 샤프트에 결합된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제8항에 있어서, 상기 모터는 구동 샤프트를 포함하며, 상기 기어 기구는 상기 모터 구동 샤프트에 고정된 기어와 상기 샤프트에 고정된 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 밸브 본체는 디스크인 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제10항에 있어서, 상기 디스크는 상기 개구 둘레의 상기 하우징의 내부와 밀봉 맞물림을 위한 O링을 갖는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 하우징은 완전히 닫힌 위치에서 상기 밸브 본체를 수납하기 위해 상기 개구의 가장자리 둘레에 상기 하우징의 상기 내부 공간에 배치된 밸브 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 밸브 본체가 완전히 닫힌 위치로 실질적으로 이동하면 상기 제1 개구에 대해 종방향으로 상기 밸브 본체를 편향시키도록 배치된 스프링 장전형 피스톤들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 하우징에 있는 제2 개구 및 상기 하우징 안에서 이동 가능한 제2 밸브 본체를 더 포함하며, 상기 제2 밸브 본체는 유체가 상기 제2 개구를 통과할 수 있도록 완전히 열린 위치와 유체가 상기 제2 개구를 통과하지 못하는 완전히 닫힌 위치 사이에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제14항에 있어서, 덮인 위치와 덮이지 않은 위치 사이에서 이동 가능한 환상 커버를 더 포함하며, 상기 덮인 위치는 상기 커버가 상기 제2 개구의 밸브 시트를 보호하는 위치이고, 상기 덮이지 않은 위치는 상기 커버가 상기 제2 개구로부터 떨어져 상기 제2 밸브 본체가 상기 제2 개구의 밸브 시트와 맞물릴 수 있는 위치인 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 박막 코팅 공정 수행에 사용되는 시스템으로서,제1항에 기재한 밸브 조립체; 및상기 밸브 조립체를 통해 공정 챔버에 연결된 진공 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 캠 슬리브는 피벗 암을 통해 상기 밸브 본체에 연결된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제17항에 있어서, 상기 피벗 암은 상기 슬리브의 축선에 직각으로 연장된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 개구는 그 축선이 상기 캠 슬리브의 축선과 평행하게 연장되는 방향으로 배치된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 캠 슬리브는 암나사를 포함하고, 상기 샤프트는 수나사를 포함하며, 상기 수나사는 상기 암나사와 직접 접촉하는 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 샤프트는 종방향으로 고정된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제1항에 있어서, 상기 캠면은 대체로 L자형인 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제4항에 있어서, 상기 캠면의 전이 부분은 상기 슬리브의 종방향 축선에 대해 종방향 및 측방으로 연장된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
- 제4항에 있어서, 상기 캠면의 전이 부분은 만곡된 것을 특징으로 하는 밸브 조립체.
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---|---|---|---|---|
US7032882B2 (en) * | 2003-09-29 | 2006-04-25 | Mks Instruments, Inc. | Valve assembly having novel flow characteristics |
US20050269197A1 (en) * | 2004-06-08 | 2005-12-08 | Velan Inc. | Rotary coke drum un-heading valve |
JP4979429B2 (ja) | 2006-03-31 | 2012-07-18 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
TWI388754B (zh) | 2006-06-16 | 2013-03-11 | Vat Holding Ag | 真空閥 |
JP5171137B2 (ja) | 2006-07-18 | 2013-03-27 | ヴィ・エイ・ティー ホールディング アクチェンゲゼルシャフト | シャトルバルブ |
DE102007030006B4 (de) * | 2006-07-19 | 2009-12-17 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
JP5080169B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-11-21 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
CN100455856C (zh) * | 2007-04-02 | 2009-01-28 | 石家庄阀门一厂股份有限公司 | 眼镜阀的自动补偿夹紧密封装置 |
FR2915550B1 (fr) | 2007-04-27 | 2012-05-11 | Snecma | Vanne a clapet pour un systeme de refroidissement dans une turbomachine |
US7762526B2 (en) | 2007-08-27 | 2010-07-27 | Nor-Cal Products, Inc. | Pendulum valve having independently and rapidly controllable theta-and z-axis motion |
DE102007059039A1 (de) * | 2007-12-06 | 2009-06-18 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
US8141846B2 (en) * | 2008-06-10 | 2012-03-27 | Mark Gehrig | Vacuum sealing system and device |
US7950294B2 (en) * | 2008-06-20 | 2011-05-31 | Mks Instruments, Inc. | Preventive maintenance diagnostics for valve systems |
FR2933128B1 (fr) * | 2008-06-25 | 2010-09-17 | Snecma | Dispositif de prelevement d'air de refroidissement dans une turbomachine |
FR2933127B1 (fr) * | 2008-06-25 | 2015-04-24 | Snecma | Dispositif de prelevement d'air de refroidissement dans une turbomachine |
DE102008051349B3 (de) * | 2008-10-15 | 2009-11-12 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
FR2937679B1 (fr) * | 2008-10-24 | 2010-12-03 | Snecma | Dispositif de prelevement d'air de refroidissement dans une turbomachine |
WO2010115917A1 (de) | 2009-04-07 | 2010-10-14 | Vat Holding Ag | Vakuumventil und vakuumkammersystem |
FR2947318B1 (fr) * | 2009-06-29 | 2015-07-17 | Fmc Technologies Sa | Vanne a obturateur pour un dispositif d'accouplement de conduits |
TW201124655A (en) * | 2009-09-03 | 2011-07-16 | Ulvac Inc | Gate valve |
KR101253317B1 (ko) * | 2011-01-14 | 2013-04-10 | 오에이치시스템 주식회사 | 음식물 쓰레기 진공수거 시스템의 게이트 밸브 |
US8833383B2 (en) | 2011-07-20 | 2014-09-16 | Ferrotec (Usa) Corporation | Multi-vane throttle valve |
KR101317164B1 (ko) | 2012-02-10 | 2013-10-11 | (주)시스콤 | 역압 대응구조를 갖춘 고속구동 진자식 게이트밸브 |
US9133960B2 (en) | 2013-01-29 | 2015-09-15 | Mks Instruments, Inc. | Fluid control valves |
KR101425811B1 (ko) | 2013-02-15 | 2014-08-05 | (주)시스콤 | 고속 압력제어와 파티클 발생을 극소화한 구조를 지닌 역압대응 진자식 게이트 밸브 |
EP2781813A1 (de) | 2013-03-21 | 2014-09-24 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
JP6507516B2 (ja) * | 2014-08-06 | 2019-05-08 | 株式会社島津製作所 | 真空バルブ |
TW201636525A (zh) | 2015-01-16 | 2016-10-16 | Mks儀器公司 | 徑向密封蝶形閥 |
KR102504622B1 (ko) * | 2015-03-27 | 2023-02-27 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
DE102015106061A1 (de) * | 2015-04-21 | 2016-10-27 | Von Ardenne Gmbh | Ventilanordnung |
EP3318787A1 (de) * | 2016-11-03 | 2018-05-09 | VAT Holding AG | Vakuumventilsystem zum geregelten betrieb eines vakuumprozesses |
US10197166B2 (en) * | 2016-12-12 | 2019-02-05 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Vacuum gate valve |
US10559451B2 (en) * | 2017-02-15 | 2020-02-11 | Applied Materials, Inc. | Apparatus with concentric pumping for multiple pressure regimes |
EP3372881A1 (de) * | 2017-03-07 | 2018-09-12 | VAT Holding AG | Optimierte druckregelung für und mit einem vakuumventil |
DE102022129356A1 (de) | 2022-11-07 | 2024-05-08 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1111281A (en) * | 1913-10-13 | 1914-09-22 | Austin C Whidden | Resilient wheel. |
GB1111281A (en) * | 1965-02-03 | 1968-04-24 | Speedwell Res Ltd | Improvements in fluid control valves |
US3973753A (en) * | 1974-03-18 | 1976-08-10 | Varian Associates | High vacuum gate valve |
DE2550203B2 (de) * | 1975-11-08 | 1980-03-13 | Leybold-Heraeus Gmbh, 5000 Koeln | Pendelschieber |
DE2820531A1 (de) * | 1978-05-11 | 1979-11-15 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Antrieb fuer ventile, schieber u.dgl. |
US5577707A (en) * | 1995-12-18 | 1996-11-26 | Vat Holding Ag | Slide valve |
US6161576A (en) * | 1999-06-23 | 2000-12-19 | Mks Instruments, Inc. | Integrated turbo pump and control valve system |
US6089537A (en) * | 1999-06-23 | 2000-07-18 | Mks Instruments, Inc. | Pendulum valve assembly |
JP2001165334A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-06-22 | Smc Corp | スイングドアーゲートバルブ |
US6409149B1 (en) * | 2000-06-28 | 2002-06-25 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly with valve seat cover |
US6328051B1 (en) * | 2000-06-28 | 2001-12-11 | Mks Instruments, Inc. | Dual pendulum valve assembly |
-
2002
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