KR100873467B1 - 통전 소결방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전기 전도시 발열이 되는 몰드에 제품 형상을 음각 성형하여 제품을 신속하게 소결 가공하는 한편, 국부적인 통전 특성을 발휘하여 필요한 부분에만 소결 가공이 가능하게 한 통전 소결방법 및 장치에 관한 것이다.
이를 위해, 통전과 함께 발열이 이루어지는 재질로 몰드를 성형하되, 상기 몰드 일면에 성형홈을 음각 성형하고, 상기 성형홈 내부에 소결분말을 장입하며, 상, 하부 펀치 사이에 몰드를 다수 적층하고, 상기 상, 하부 펀치를 가압하면서 전원을 인가하므로 소결분말을 가압함과 동시에 가열하여 소결 가공하는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 따라, 제품의 형상이 성형된 몰드를 이용하므로, 추가적인 기계가공 없이 복잡한 형상의 제품을 간편하게 소결 가공할 수 있고, 몰드를 챔버 내부에 다수 적층시켜 소결하므로, 다수의 제품의 대량 생산이 가능하며, 몰드 표면에 절연층을 코팅하여 국부적인 소결 가공이 가능한 효과도 있다.
통전, 소결, 몰드, 성형홈, 절연층.
Description
본 발명은 통전 소결방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전기 전도시 발열이 되는 몰드에 제품 형상을 음각 성형하여 제품을 신속하게 소결 가공하는 한편, 국부적인 통전 특성을 발휘하여 필요한 부분에만 소결 가공이 가능하게 한 통전 소결방법 및 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 소결은 분말체를 적당한 형상으로 가압 성형하고, 이것을 가열하여 서로 단단히 밀착 성형함으로써, 제품을 성형하는 방법이다. 즉, 고체의 가루를 틀 속에 넣고 프레스로 적당히 눌러 단단하게 만든 다음 그 물질의 녹는점에 가까운 온도로 가열했을 때 가루가 서로 접한 면에서 접합이 이루어지거나 일부가 증착(蒸着)하여 서로 연결됨으로써, 한 덩어리로 되는 것이다.
이러한, 소결과정에 대해 간단하게 설명하면, 먼저 소결의 원재료인 분말체를 첨가물과 함께 골고루 섞고, 섞은 혼합물을 프레스에 넣어 압축하여 제조하고 자 하는 형상을 만든다. 이 후, 형상물을 소결로에 넣어 가열 소결한 후 소결한 결과물을 다시 교정하거나 열처리 피막처리와 같은 후처리 공정을 통해 완성품을 제 조하게 된다.
이와 같은 소결 가공은 금속과 세라믹의 복합재료를 제작하고, 주조대비 높은 정밀도를 유지하며, 경도 및 내마모성이 요구되는 기계물 등을 제작하는데 매우 유용하게 적용되고 있다.
그러나, 상기한 기존의 소결법은 혼합물을 소결 가공하기 위해 가압 성형된 형상물을 다시 소결로에 장입하여 가열하는 과정을 거쳐야 함으로서, 소결 가공이 번거롭고 소결 시간이 장시간 소요되어 제품의 대량 생산에 어려움이 있었다.
이에, 상기한 문제점을 해결하기 위해 근래에는 플라즈마 방전소결 또는 펄스 통전소결이라 일컬어지는 통전 소결법을 이용하여 제품을 소결 가공하는 추세에 있다. 즉, 상기한 통전 소결법은 가압장치를 통해 분말재료를 가압하는 동시에, 상기 가압장치에 외부로부터 펄스 전류를 인가하여 분말재료에 줄열(Joule heat)을 발생시키므로, 분말 재료를 가압함과 동시에 가열하고 이로 인해 소결 가공하는 것이다.
도 1은 대한민국 특허 공개번호 제2000-0057987호로 개시된 종래의 "통전소결 방법, 통전소결 장치 및 통전소결용 몰드"에 대한 것으로, 통전 소결방법에 적용되는 통전소결 장치에 대해 간략하게 설명하면, 챔버(10) 내부에는 분말재료를 수용하여 가압하면서 소결하는 소결다이(3) 및 상기 소결다이(3) 내에 상기 분말재료를 충전한 분말재료를 상, 하부에서 가압하는 한 쌍의 펀치(4a)(4b)로 구성된 통전소결용 몰드(2)를 구비한다.
그리고, 상기 양 펀치(4a)(4b)에는 프레스판(7a)(7b)이 각각 연결되고, 상기 프레스판(7a)(7b)에는 분말재료에 통전 가능하게 펀치전극(8a)(8b)을 각각 구비하며, 상기 각각의 프레스판(7a)(7b) 단부에는 상기 양 펀치(4a)(4b)를 근접시킬 수 있게 가압기구(6a)(6b)를 각각 설치하되, 상기 가압기구(6a)(6b)는 상기 챔버(10) 천장부와 저부에 설치하고, 또한 상기 펀치(4a)(4b)에 전력을 공급할 수 있게 상기 펀치전극(8a)(8b)에 소결전원(12)을 연결한다.
즉, 소결전원(12)의 인가를 통해 압력을 가하는 펀치(4a)(4b)와 압력을 유지하는 소결다이(3)에 통전이 이루어지면, 줄열에 의해 발열이 일어나므로 인가된 전력에 비례하여 초당 약 200℃ 이상의 순간적인 고온이 발생하고, 이로 인해 분말재료를 가압 소결할 수 있게 된다.
그러나, 상기한 종래의 통전 소결장치를 통해 소결하는 방법은 통전 소결용 몰드의 형태가 실린더 형태로써 매우 단순하여 복잡한 형상의 기계 부품 제조에는 적합하지 못한 문제가 있있다. 다만, 후처리 기계가공을 통해 제품의 형상을 성형할 수도 있으나, 실질적으로 통전 소결 이 후에는 분말재료의 강도 증가로 인해 기계적 가공이 곤란하여 특정한 형상을 갖는 대부분의 제품 제조에 부적합한 문제가 있는 것이다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 몰드 자체를 전기 저항체로 이용하여 발열시킴과 아울러, 몰드에 제조하고자 하는 제품 형상을 음각 성형하므로, 추가적인 기계적 가공 없이 복잡한 기계 제품을 보다 신속하고 간편하게 소결가공할 수 있도록 한 통전 소결방법 및 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 몰드 표면에 국부적인 통전을 위한 절연층을 인쇄하여 원하는 부위만 소결가공할 수 있도록 한 통전 소결방법 및 장치를 제공하는 데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 통전 소결방법은, 통전이 가능한 상, 하부 펀치 사이에 소결분말을 위치시키고, 상기 상, 하부 펀치를 통해 소결분말에 압력을 가하는 동시에 전원을 인가하여 소결분말을 소결 가공하는 방법에 있어서, 통전과 함께 발열이 이루어지는 재질로 몰드를 성형하되, 상기 몰드 일면에 성형홈을 음각 성형하는 몰드 성형단계와; 상기 성형홈 내부에 소결분말을 장입하고, 상, 하부 펀치 사이에 몰드를 다수 적층하는 몰드 적층단계와; 상기 상, 하부 펀치를 가압하면서 전원을 인가하므로 소결분말을 가압함과 동시에 가열하는 소결단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 통전 소결장치는, 통전이 가능한 상, 하부 펀치를 통해 소 결분말에 압력을 가하는 동시에 전원을 인가하여 소결분말을 소결 가공하는 장치에 있어서, 상기 상, 하부 펀치 사이에 다수의 몰드를 적층 구비하되, 상기 각각의 몰드 일면에 제조하고자 하는 제품의 형상에 따라 성형홈을 음각 성형하고, 상기 몰드는 통전과 함께 발열이 이루어지는 재질로 성형한다.
상기한 과제 해결수단을 통해 본 발명은, 제품의 형상이 성형된 몰드를 이용하여 소결 가공을 수행하므로, 추가적인 기계 가공을 거치지 않더라도 복잡한 형상의 제품을 한 번에 소결 가공할 수 있어 제품을 보다 신속하고 간편하게 제조할 수 있는 효과가 있다.
더욱이, 본 발명은 몰드를 챔버 내부에 다수 적층시켜 소결하므로, 제품의 대량 생산이 가능하여 제품의 생산성 향상과 더불어 제품의 제조단가를 절감시킬 수 있는 효과도 있고, 또한 몰드 표면에 절연층을 코팅하여 국부적인 소결 가공을 수행하므로, 일부분에만 소결 가공이 필요한 제품 제조에 탁월한 효과도 있다.
본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 통전 소결방법에 대해 순차적으로 나열한 것으로, 크게 몰드 성형단계(S10)와, 몰드 적층단계(S20)와, 소결단계(S30)로 나뉘어진다.
도 3와 도 4를 통해 보다 상세하게 설명하면, 먼저 몰드 성형단계(S10)에서는 챔버(10) 내부에 장입되는 몰드(20)를 성형하는 단계로써, 통전과 함께 발열이 이루어지는 재질로 몰드(20)를 성형하고, 상기 몰드(20) 저면에는 소결 가공하고자 하는 제품의 형상에 따라 성형홈(21)을 음각 성형한다.
여기서, 상기한 몰드(20)의 재질로는 상기와 같이 전원의 인가와 더불어 자체적인 전기적 저항으로 인해 발열이 될 수 있게 금속합금저항 발열체, 흑연 발열체, 세라믹 발열체 등을 사용하는 것이 적절하고, 상기한 금속합금저항 발열체로는 스테인리스 스틸, Fe-Cr강, Ni-Cr강 등이 사용될 수 있다.
그리고, 도 5와 같이 상기 몰드 성형단계(S10)에서는 상기 몰드(20) 상면에 부분적으로 절연층(22)을 더 코팅 가능하여, 몰드(20)에 전원 인가시 전류를 부분적으로 통전시키도록 함으로써, 소결분말의 일부분만을 국부적으로 가열할 수 있다. 이처럼, 코팅되는 절연층(22)은 SiO2, Al2O3, Fe3O4, ZrO2, SiC, BN 중 어느 하나가 사용될 수 있으나, 이 외에도 상기한 절연 특성과 유사한 절연 특성을 갖는 다른 재질로 절연층(22)이 코팅될 수 있음은 본 발명을 구성함에 있어 자명한 사항에 해당된다.
그리고, 상기한 절연층(22)은 몰드(20) 표면에 절연 코팅되는 특성상, 절연층(22)의 두께가 두꺼워 몰드(20)와 다른 몰드(20)가 적층되는 경우 그 사이가 벌어질 때에는, 절연층(22)이 코팅되지 않은 부분에 절연층(22)과 동일 및 유사한 두께로 전도층(도시 생략)을 더 코팅할 수 있다.
다음으로, 몰드 적층단계(S20)는 몰드 성형단계(S10)에서 성형된 몰드(20)를 챔버(10) 내부에 적층하는 단계로써, 몰드(20) 일면에 형성된 성형홈(21) 내부에 소결분말을 내재시키고, 상, 하부 펀치(11a)(11b) 사이에 상기한 몰드(20)를 다수 적층한다.
소결단계(S30)는 상기 몰드(20)의 성형홈(21)에 내재된 소결분말을 소결 가공하는 단계로써, 상기 상, 하부 펀치(11a)(11b)를 가압하면서 동시에 전원을 인가하므로 소결분말을 가압함과 동시에 가열하고, 이로 인해 소결분말을 소결 가공한다.
한편, 본 발명의 통전 소결장치는, 챔버(10)와, 펀치(11a)(11b)와, 전극(12a)(12b)과, 몰드(20)로 구성된다.
도 3을 통해 설명하면, 챔버(10)는 분위기 가스조절이 가능하게 구성한 것으로, 내벽면과 천장 및 바닥면에 단열재(부호 생략)를 설치한다. 그리고, 상기 챔버(10) 상부와 하부 중심에는 구리 재질로 제조된 수냉의 상, 하부 전극(12a)(12b)을 각각 관통 설치하고, 상기 상, 하부 전극(12a)(12b)에는 소결전원을 연결하여 전원 인가시 상기 상, 하부 전극(12a)(12b)을 통해 전류가 통전될 수 있게 구성한다. 이때, 상기 상, 하부 전극(12a)(12b)은 비록 도면으로 도시하지는 않았으나, 전원의 구동을 통해 상, 하로 이송되어 상, 하부 펀치(11a)(11b) 사이의 간격을 좁힐 수 있게 된다.
또한, 상기 상, 하부 전극(12a)(12b)에는 그 사이에 상, 하부 펀치(11a)(11b)를 각각 설치하고, 상기 상, 하부 펀치(11a)(11b) 사이에는 다수의 몰드(20)를 적층 구비한다.
상기한 몰드(20)에 대해 도 4를 통해 설명하면, 상기 몰드(20)는 통전과 함 께 발열이 이루어지는 재질로 몰드(20)를 성형하게 되는데, 이에 대해서는 전술한 바 있으므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
그리고, 상기 몰드(20) 저면에는 소결 가공하고자 하는 제품의 형상에 따라 성형홈(21)을 음각 성형하여, 상기 성형홈(21) 내에 소결분말이 내재될 수 있게 구성한다. 이때, 상기 몰드(20)는 그 상면과 저면을 평평하게 형성하여 다수의 몰드(20) 적층이 용이하도록 구성한다.
또한, 도 5와 같이 같이 상기 몰드(20) 상면에는 부분적으로 절연층(22)을 더 코팅 가능하여, 몰드(20)에 전원 인가시 전류를 부분적으로 통전시키도록 함으로써, 소결분말의 일부분만을 국부적으로 가열할 수 있다. 이처럼, 코팅되는 절연층(22)에 대해서는 전술한 바 있으므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
그리고, 상기한 절연층(22)은 몰드(20) 표면에 절연 코팅되는 특성상, 절연층(22)의 두께가 두꺼워 몰드(20)와 다른 몰드(20)가 적층되는 경우 그 사이가 벌어질 때에는, 절연층(22)이 코팅되지 않은 부분에 절연층(22)과 동일 및 유사한 두께로 전도층을 더 코팅할 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용 및 효과를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 통전 소결방법을 통해 소결분말을 소결 가공하기 위해, 우선적으로 몰드(20)를 제조하게 되는데, 아래의 일실시예에서는 연료전지용 분리판과 같이 그 제품이 넓고 얇은 경우를 예시하여 설명하기로 한다.
도 3 및 도 4와 같이 본 발명에 사용되는 몰드(20)는 전원의 인가와 동시에 발열이 가능한 재질로 성형하되, 상기 몰드(20) 저면에는 소결 가공하고자 하는 제품(분리판)의 형상에 따라 성형홈(21)을 형성한다.
그리고, 상기와 같이 성형된 몰드(20)를 챔버(10) 하부에 구비된 하부 펀치(11b) 위에 적층 구비하되, 상기 몰드(20)에 성형된 성형홈(21) 내부에 소량의 바인더가 포함된 흑연분말로 이루어진 소결분말을 장입한다. 이 후, 상부 펀치(11a)와 하부 펀치(11b) 사이의 간격을 좁혀 상기 몰드(20) 내부의 소결분말을 상, 하부 펀치(11a)(11b)에 의해 가압하여 소결분말을 가압 성형시킴과 동시에, 상기 상, 하부 펀치(11a)(11b) 상, 하부에 각각 구비된 전극(12a)(12b)에 전원을 인가하여 몰드(20) 내로 전류를 흘려보낸다.
이처럼, 몰드(20)에 전원이 인가되면, 상기 몰드(20)는 그 재질 특성상 발열이 되면서 성형홈(21) 내부에 내재된 소결분말을 가열시키게 되고, 결국 소결분말을 소결가공할 수 있게 됨으로써, 미세한 유로와 극히 매끄러운 표면을 가진 제품(흑연분리판)을 제조할 수 있게 된다. 그리고, 상기와 같은 가압 소결 완료 후, 제품 둘레에 돌출되는 잔여부분은 후처리 가공하여 제품을 완성한다.
즉, 본 발명은 제품의 형상에 따라 성형홈(21)을 형성한 몰드(20)를 사용하고, 몰드(20)의 재질을 전기저항체로 형성함으로써, 복잡한 형상의 제품의 경우에도 간편하게 소결 가공을 수행할 수 있다. 따라서, 종래와 같이 제품 형상 성형을 위한 추가적인 기계 가공을 하지 않더라도, 소결 가공과 동시에 완성 제품을 생산할 수 있으므로, 제품을 보다 신속하고 간편하게 제조할 수 있는 것이다.
더욱이, 본 발명은 몰드(20)를 챔버(10) 내부에 다수 적층시켜 소결하는 구 조 및 방법 특성상, 한 번에 다량의 제품을 대량으로 생산할 수 있어, 제품의 생산성을 향상시키고, 제품의 제조단가 절감을 통해 기업의 채산성을 높일 수 있는 것이다.
한편, 제조하고자 하는 제품이 고강도금속 및 석재 등을 절단 및 연마하는 데 사용하는 다이아몬드 공구 등과 같은 경우에는, 생크로 불리는 금속몸체에 실제로 절단이 이루어지는 금속분말과 다이아몬드분말의 혼합분말을 가압소결 해야하는 특성상, 분말소결과 동시에 생크와의 접합이 이루어져야 함으로써, 분말부와 접합부를 집중적으로 가열할 필요가 있다.
즉, 몰드(20)의 일부분에 절연코팅을 실시하게 되면, 절연코팅이 이루어진 부분은 통전이 이루어지지 않아 발열이 되지 않는 반면, 절연코팅이 이루어지지 않은 전도부분은 통전이 이루어져 발열이 됨으로써, 온도를 집중적으로 올려 제품을 부분적으로 소결 가공할 수 있게 된다.
이와 같은 부분 소결방법에 대해 첨부된 도면 도 3 및 도 5를 통해 보다 상세하게 설명하면, 우선 전원의 인가와 동시에 발열이 가능한 재질로 몰드(20)를 성형하되, 상기 몰드(20) 저면에는 소결 가공하고자 하는 제품의 형상에 따라 성형홈(21)을 형성하고, 몰드(20) 상면에는 소결을 원하지 않는 부분에 절연코팅을 실시한다. 이때, 상기 절연층(22)이 두껍게 코팅되어 절연층(22)이 코팅되지 않은 부분에 원활한 통전작용이 불가능한 경우에는 절연층(22)이 코팅되지 않은 부분에 별도의 전도층(도시 생략)을 더 코팅하게 된다.
그리고, 상기와 같이 성형된 몰드(20)를 챔버(10) 하부에 구비된 하부 펀 치(11b) 위에 적층 구비하되, 상기 몰드(20)에 성형된 성형홈(21) 내부에 소결분말을 장입한 후, 상부 펀치(11a)와 하부 펀치(11b) 사이의 간격을 좁혀 상기 몰드(20) 내부의 소결분말을 상, 하부 펀치(11a)(11b)에 의해 가압하여 소결분말을 가압 성형시키고, 이와 동시에 상기 상, 하부 펀치(11a)(11b) 상, 하부에 각각 구비된 전극(12a)(12b)에 전원을 인가하여 몰드(20) 내로 전류를 흘려보낸다.
이처럼, 몰드(20)에 전원이 인가되면, 상기 몰드(20)는 그 재질 특성상 발열이 되나, 절연층(22)이 코팅된 몰드(20) 부분은 통전이 제대로 이루어지지 않게 되면서 소결 가공이 되지 않고, 절연층(22)이 코팅되지 않은 몰드(20) 부분만 부분적으로 통전이 이루어져 발열되면서 성형홈(21) 내부에 내재된 소결분말의 일부분만 소결가공하게 됨으로써, 제품을 제조할 수 있게 된다. 즉, 본 발명은 몰드(20) 표면에 국부 가열을 위한 절연 패턴을 코팅함으로써, 원하는 특정 부위에만 부분적으로 발열을 시켜 제품을 소결 가공할 수 있는 것이다.
한편, 본 발명은 상기한 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 통전 소결에 사용되는 소결장치를 도시한 단면도,
도 2는 본 발명에 의한 통전 소결방법을 도시한 블록도,
도 3은 본 발명에 의한 통전 소결방법에 사용되는 소결장치를 도시한 단면도,
도 4는 본 발명에 의한 통전 소결에 사용되는 몰드의 일례를 도시한 단면도와 이를 저면에서 바라본 도면,
도 5는 본 발명에 의한 통전 소결에 사용되는 절연층이 코팅되는 몰드의 다른 일례를 개략적으로 도시한 도면.
*도면중 주요 부호에 대한 설명*
10 : 챔버 11a, 11b : 상, 하부 펀치
12a, 12b : 상, 하부 전극 20 : 몰드
21 : 성형홈 22 : 절연층
S10 : 몰드 성형단계 S20 : 몰드 적층단계
S30 : 소결단계
Claims (12)
- 통전이 가능한 상, 하부 펀치 사이에 소결분말을 위치시키고, 상기 상, 하부 펀치를 통해 소결분말에 압력을 가하는 동시에 전원을 인가하여 소결분말을 소결 가공하는 방법에 있어서,통전과 함께 발열이 이루어지는 재질로 몰드(20)를 성형하되, 상기 몰드(20) 일면에 성형홈(21)을 음각 성형하는 몰드 성형단계(S10)와;상기 성형홈(21) 내부에 소결분말을 장입하고, 상, 하부 펀치(11a)(11b) 사이에 몰드(20)를 다수 적층하는 몰드 적층단계(S20)와;상기 상, 하부 펀치(11a)(11b)를 가압하면서 전원을 인가하므로 소결분말을 가압함과 동시에 가열하는 소결단계(S30)를 포함하는 것을 특징으로 하는 통전 소결방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 몰드 성형단계(S10)에서 몰드(20)에 인가되는 전원을 부분적으로 통전시키기 위해 몰드(20) 상면에 절연층(22)을 더 코팅하는 것을 특징으로 하는 통전 소결방법.
- 제 2항에 있어서, 상기 몰드(20)에 코팅된 절연층(22)이 두꺼운 경우, 절연층(22)이 코팅되지 않은 부분에 전도층을 더 코팅할 수 있는 것을 특징으로 하는 통전 소결방법.
- 제 2항에 있어서, 상기 절연층(22)은 SiO2, Al2O3, Fe3O4, ZrO2, SiC, BN 중 어느 하나를 사용함을 특징으로 하는 통전 소결방법.
- 제 1항에 있어서, 상기 몰드(20)는 전원 인가시 발열이 가능한 금속합금저항 발열체, 흑연 발열체, 세라믹 발열체 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 통전 소결방법.
- 제 5항에 있어서, 상기 금속합금저항 발열체는 스테인리스 스틸, Fe-Cr강, Ni-Cr강 중 어느 하나임을 특징으로 하는 통전 소결방법.
- 통전이 가능한 상, 하부 펀치를 통해 소결분말에 압력을 가하는 동시에 전원을 인가하여 소결분말을 소결 가공하는 장치에 있어서,상기 상, 하부 펀치(11a)(11b) 사이에 다수의 몰드(20)를 적층 구비하되, 상기 각각의 몰드(20) 일면에 제조하고자 하는 제품의 형상에 따라 성형홈(21)을 음각 성형하고, 상기 몰드(20)는 통전과 함께 발열이 이루어지는 재질로 성형한 것을 특징으로 하는 통전 소결장치.
- 제 7항에 있어서, 상기 몰드(20)에 인가되는 전원을 부분적으로 통전시키기 위해 몰드(20) 상면에 절연층(22)을 더 코팅하는 것을 특징으로 하는 통전 소결장치.
- 제 8항에 있어서, 상기 몰드(20)에 코팅된 절연층(22)이 두꺼운 경우, 절연층(22)이 코팅되지 않은 부분에 전도층을 더 코팅할 수 있는 것을 특징으로 하는 통전 소결장치.
- 제 8항에 있어서, 상기 절연층(22)은 SiO2, Al2O3, Fe3O4, ZrO2, SiC, BN 중 어느 하나로 코팅함을 특징으로 하는 통전 소결장치.
- 제 7항에 있어서, 상기 몰드(20)는 전원 인가시 발열이 가능한 금속합금저항 발열체, 흑연 발열체, 세라믹 발열체 중 어느 하나임을 특징으로 하는 통전 소결장치.
- 제 11항에 있어서, 상기 금속합금저항 발열체는 스테인리스 스틸, Fe-Cr강, Ni-Cr강 중 어느 하나임을 특징으로 하는 통전 소결장치.
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