KR100833701B1 - 현미경의 조명빔 경로에 대하여 램프를 조정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 데 적합한 현미경 - Google Patents

Abstract

빔 균질화기(homogenizer) 없이 현미경의 조명빔 경로에서 자동적으로 램프를 조정하는 방법 및 상기 방법을 적용하기 위해 장착된 현미경이 개시된다. 본 발명에 따르면, 조명빔 경로에서의 적분 광세기(light power)는 현미경 대물렌즈의 개구판 평면 뒤의 또는 조명빔 경로의 개구판 평면 뒤의 검출기에 의해 측정되고, 상기 조명빔 경로에 대해 램프가 조정되어 상기 검출기에 의해 검출된 광세기가 최대가 된다. 예를 들어, 램프 교체 후 본 발명에 따른 방법에 의한 램프의 자동조정에 적합한 현미경에서, 램프 조정을 위해, 검출기에 의해 최대 광세기가 검출될 때까지 평가 및 조정 계산기에 의해 차례대로 조정되는 모터 구동장치가 구비된다.

Description

현미경의 조명빔 경로에 대하여 램프를 조정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 데 적합한 현미경{Method for adjusting a lamp relative to an illumination beam path of a microscope and microscope suitable for carrying out the method}

도 1은 재물대에 일체화된 검출기를 구비한 반사광 현미경의 단면도,

도 2는 현미경에서 램프의 자동조정이 진행되는 공정단계를 나타내는 플로우 차트,

도 3은 경사법에서 최대 광세기를 찾기 위해 진행되는 공정단계를 나타내는 플로우 차트이며,

도 4는 조명빔 경로에 일체화된 검출기를 구비한 현미경의 단면도이다.

본 발명은 빔 균질화기(homogenizer) 없이 현미경의 조명빔 경로에 대해 상대적으로 램프를 조정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 데에 적합한 현미경에 관한 것이다.

현미경 조명에서 램프의 조정은 현미경의 최초 조정시에서 뿐만 아니라 램프 교체 후에도 일반적으로 전형적인 조정기준에 따라 수행되는데, 이러한 조정기준으로 인해 물체 필드의 균질한 조명이 보장된다. 여기서, 제 1 조정기준은 광원, 즉 램프 아크 또는 램프 필라멘트를 대물렌즈의 개구판에 정확히 결상하는 것이다. 상기 조정기준은 대물렌즈 개구판을 현미경의 시야로 결상하는 소위 베르트랑(Bertrand) 렌즈에 의해 검사될 수 있다. 이러한 정확한 결상을 시각적으로 조절하지 않고, CCD 카메라를 베르트랑 렌즈의 이미지 평면에 배치할 수도 있는데, 이때 CCD 카메라의 상(像)은 결상의 선예도에 의해 평가된다. 제 2 조정기준으로서, 물체 필드 내의 조명 자체를 균질성 정도에 대해 검사할 수 있고 마찬가지로, 최대 균질성으로 램프가 사후 조정될 수 있다. 이때, 램프 조정의 목적은 항상 물체 필드 내에서 지속적으로 균질한 조명을 보장하는 데에 있다.

일반적인 램프 조정방법의 복잡성으로 인하여, 이러한 방법은, 최초 설치시에서 뿐만 아니라 램프 교체 후에도, 현미경으로 하여금 수동적인 개입없이 물체 필드의 균질한 조명을 보장하는 제한적인 자동화에만 적합하다. 다른 한 편으로는, 특히, 현미경의 일반 사용자가 전형적인 조정기준에 따른 램프 조정을 종종 필요로 하는 경우도 있다.

마이크로리소그래피 장치의 조명장치에는 결상할 마스크의 균질한 조명을 보장하는 빔 균질화기가 삽입된다. 또한, 조명빔 경로에 대한 광원의 위치는 빔 균질화기의 최대 광세기(light power)로 조정되어 광원으로부터 방출되는 광세기가 최적으로 이용된다.

이에 따라, 현미경 조명시 빔 균질화기, 예컨대, 소위 플라이 아이(Fly-Eye) 렌즈 또는 유리막대 형태의 빔 균질화기를 빛의 혼합을 위해 삽입할 수 있다. 따라서, 대물 필드의 균질한 조명은 조명빔 경로에 따른 램프의 위치에 상관없이 보장되어 램프 조정이 필요하지 않을 수 있다. 그러나, 현미경에 이러한 빔 균질화기를 삽입한다면 상당한 추가비용이 소요될 것이다.

본 발명의 목적은 조명될 물체 필드의 균질한 조명을 보장하고 자동화에 매우 적합한, 현미경의 램프를 용이하게 조정하는 방법을 제공하는 데에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 본 발명에 따른 방법을 수행하는 데에 적합한 현미경을 제공하고, 물체 필드의 균질한 조명을 보장하는 램프의 조정을 자동화하는 데에 있다.

상기 목적은 청구항 제 1 항에 따른 램프 조정방법과 청구항 제 5 항의 특징을 갖는 현미경에 의해 달성된다. 본 발명의 바람직한 실시예는 첨부되는 청구범위의 특징에 의해 수행된다.

본 발명은, 램프의 다른 동작조건들은 일정한 상태에서, 현미경 대물렌즈의 개구판 평면 뒤의 또는 조명빔 경로의 개구판 평면 뒤의 영역의 적분 광세기가 최대가 되는 경우, 빔 균질화기 없이 조명 필드의 균질한 조명을 조명빔 경로에 대해 보장하는 것에 기초한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 방법에서 상기 현미경 대물렌즈의 개구판 평면 뒤의 또는 조명빔 경로의 개구판 평면 뒤의 영역의 적분 광세기가 검출기에 의해 측정되고, 상기 조명빔 경로에 대해 상대적으로 램프 본체가 조정되어 상기 검출기에 의해 검출된 적분 광세기가 최대가 된다. 이때, 상기 적분 광세기의 검출은 광속(光束)을 제한하는 조리개를 통과한 후에야 수행된다.

본 발명에 따르면, 램프 교체 후 램프의 자동조정 또는 최초 조정시 램프의 자동조정을 위해 매우 적합한 간단한 조정기준이 제공된다. 따라서, 상기 램프의 조정은 모터에 의해 소프트웨어적으로 조정되어 수행되는 것이 바람직하다. 그러나, 본 발명에 따르면, 램프를 수동으로 조정할 때도 바람직한데, 이는 상기 최대 적분 광세기의 조정기준이 숙련되지 않은 조작자에 의해서도 실질적으로 간단히 검사될 수 있고, 베르트랑 렌즈를 사용하여 대물렌즈 개구판에 램프 아크를 정확하게 결상하는 일반적인 조정기준으로서 수행될 수 있기 때문이다.

램프의 자동조정을 위해 적합한 현미경은 상기 빔 균질화기 없이 조명빔 경로에서 상기 조명빔 경로에 대해 상대적으로 램프를 조정하기 위한 모터 구동장치와, 평가 및 조정 계산기를 구비하는 것이 바람직하다. 이때, 상기 평가 및 조정 계산기는 상기 조명빔 경로 또는 현미경 대물렌즈의 개구판 평면 뒤에 배치된 검출기에 의해 적분 광세기에서 최대값이 측정될 때까지 램프조정을 위한 상기 모터 구동장치를 차례대로 조정한다.

상기 광세기를 검출하기 위한 검출기는 상기 조명빔 경로에 일체화되어 구비될 수 있다. 이 경우, 상기 현미경의 재물대에 반사영역이 제공되고, 상기 검출기는 상기 반사영역에서 반사된 빛을 검출한다. 대안으로서, 상기 조명빔 경로의 일부 반사가 검출기 위에서 수행될 수 있다.

또한, 상기 광세기를 검출하기 위한 검출기를 어느 정도 개방하여 상기 현미경의 재물대에 구비할 수 있다. 이러한 실시예는 특히, 기존의 현미경을 보완하는 데에 적합할 뿐만 아니라, 기존의 현미경 내에 본 발명을 적용하는 데에 적합하다.

검출기로서 개별적인 다이오드, 4상한(four-quadrant) 다이오드 또는 CCD 카메라가 삽입될 수 있다. 4상한 다이오드 또는 CCD 센서의 경우, 개개의 센서부 또는 센서영역에 의해 검출된 광세기는 검출기 출구에서 면적단위로 일체화된다. CCD 센서 또는 CCD 카메라의 삽입은 물론 특히, 예를 들어 조명 현미경에서와 같이, CCD 카메라가 사진기록을 위해 구비되는 경우에 고려된다.

본 발명을 적용함으로써 상기 조명빔 경로에 따라 세 개의 서로 수직인 공간 방향으로 상기 램프를 조정할 수 있고, 또한 상기 램프가 두 개의 서로 수직인 공간 방향으로만 조정되고 빔 경로에 배치된 콜렉터 광학기기가 상기 남은 조명빔 경로의 광축을 따라 변위될 수 있다.

최대 광세기를 찾기 위해서 경사법(gradient method)이 적용될 수 있다. 이러한 경사법에서, 시작위치에서 시작되어 상기 광세기의 최대 기울기는 상기 조명빔 경로에 대한 상기 램프의 위치 변경 및/또는 상기 조명빔 경로에 대한 상기 콜렉터 광학기기의 위치 변경에 의존하여 찾을 수 있고, 이어서 상기 조명빔 경로 내의 램프 및/또는 상기 콜렉터 광학기기는 상기 광세기의 최대 기울기 방향으로 조정된다.

이하, 본 발명은 실시예에 따른 첨부된 도면을 참조로 하여 보다 상세히 설명된다.

도 1에서, 현미경 삼각대의 상부에는 참조부호(1)로 표시된, 상기 현미경 삼각대 안에 삽입된 조명빔 경로가 마련되어 있다. 상기 현미경에는 잘 알려진 바와 같이 초점을 맞추기 위한 재물대(2)가 높이를 조정할 수 있도록 삽입되어 있다. 또한, 상기 현미경은 잘 알려진 바와 같이 대물렌즈(4)를 구비한 대물렌즈 리볼버(revolver)(3)를 구비하며, 상기 대물렌즈(4) 중에서 단 하나의 렌즈만이 도 1에 도시되어 있다.

도 1의 현미경에서 조명빔 경로는 원칙적으로 쾰러 조명조건의 조정을 위한 일반적인 요소들을 구비한다. 광원으로서 할로겐 램프 또는 가스 방전등(5)이 구비될 수 있다. 상기 램프(5)로부터 방출된 빛은 콜렉터 광학기기(9)에 의해, 경우에 따라서는 뒤쪽으로 방사된 빛을 모아 상기 램프(5)로 다시 반사하는 콜렉터 미러(7)와 결합하여, 콜리메이팅 된다. 콜리메이팅 된 빔 경로 영역에는 자체의 조리개 직경이 조절될 수 있는 필드 조리개(10)가 구비되는데, 상기 필드 조리개(10)는 상기 현미경 대물렌즈(4)의 초점면에 대해 공액이 되도록 배치된다. 상기 필드 조리개(10) 뒤에 배열된 렌즈(11)는 상기 필드 조리개(10)를 무한대의 위치에 결상한다. 상기 렌즈(11)의 초점면에는 자체의 조리개 직경이 조절될 수 있는 제 2 조리개(12)가 조명 구경 조정을 위해 구비된다. 상기 구경 조리개(12)는 후속 렌즈(13)에 의해 무한대의 위치로 결상되며, 관찰빔 경로로 반사된 후, 빔 분할기(14)를 통과하여 조명빔 경로와 관찰빔 경로의 공통 부분에 있는 원통형 렌즈(15)에 의해 상기 현미경 대물렌즈(4)의 사출동공(18)으로 결상된다.

상기 현미경의 재물대(2)에는 검출기로서 대면적의 다이오드(16)가 일체화되며, 상기 다이오드(16)에 의해 상기 현미경 대물렌즈(4)에 의해 초점 맞춰진 전체 빛의 세기가 검출된다. 상기 다이오드(16)는 단순한 대면적의 다이오드로 형성될 수 있다. 특히, 상기 다이오드(16)는 4상한 다이오드로 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 최후의 경우에는, 상기 4상한 다이오드에 의해 형성된 종축과 횡축의 십자의 중심점이 상기 재물대(2)의 X/Y 조정을 위한 기준점, 예를 들어, 영점으로서 사용되는 경우, 상기 다이오드(16)는 동시에 상기 재물대(2)의 교정에도 사용될 수 있다.

이때, 상기 다이오드(16)의 감광 표면의 직경(4상한 다이오드에서 사분면의 직경은 동일함)은 적어도 상기 대물렌즈(4)의 초점면에 비춰진 필드의 직경과 동일하다.

램프의 자동조정을 실현하기 위해서 상기 램프(5)의 테(8)는 두 개의 모터 구동장치(6, 7)에 의해 상기 조명빔 경로의 광축(19)에 수직인 양방향으로 조정될 수 있다. 또 다른 모터 구동장치(20)에 의해 콜렉터 렌즈(9)는 광축(19)의 방향으로 변위될 수 있다. 상기 램프(5) 및 상기 콜렉터 렌즈(9)를 변위시키는 대신, 상기 램프(5)가 세 개의 해당 구동장치에 의해 3개의 서로 수직인 공간방향으로 변위될 수 있으며, 이때 물론 이에 상응하는 상대적으로 많은 비용의 장치가 필요한데, 이는 상기 3개의 서로 수직인 공간방향으로 서로 독립적으로 조정하기 위한 자유도(degree of freedom)가 필요하기 때문이다.

상기 램프(5)의 조정 구동장치(6, 7) 및 상기 콜렉터 렌즈(9)의 조정 구동장치(20)는 조정 계산기(22) 및 전달부(21)에 의해 조정될 수 있다. 상기 동일한 전달부(21)에 의해 또한 상기 다이오드(16)의 출력신호가 상기 조정 계산기(22)에 공급된다.

자동적인 램프 조정에서 진행되는 방법 단계가 도 2를 참조하여 상세히 설명된다. 조정과정은 시작단계(30)로 시작되어 사용자는 수행된 램프교체를 작동표면위에서 확인한다. 후속 초기화단계(31)에서 상기 재물대(2)는 상기 현미경 대물렌즈(4)의 광축 방향에서 뿐만 아니라 그에 수직인 양방향에서도 작동되어 상기 다이오드(16)는 상기 현미경 대물렌즈(4) 아래에 위치하며, 따라서 상기 현미경 대물렌즈(4)에 의해 모여진 전체 광세기가 검출된다. 상기 현미경이 모터 초점조정 구동장치 및 모터에 의해 움직이는 X/Y 재물대를 구비하는 한, 상기 초기화는 물론 또한 자동적으로 수행될 수 있다. 이 경우, 상기 조정 및 평가 계산기(22)는 초점조정을 위해 상기 모터 구동장치를 조정하고 이에 상응하여 상기 재물대(2)의 측면위치를 조정한다. 초점조정을 위한 모터 구동장치 및 상기 X/Y 재물대를 구비하지 않는 한, 상기 사용자는 상기 작동표면 위에서 상기 다이오드(16)가 상기 대물렌즈(4) 바로 아래에 위치하도록 상기 재물대(2)를 적절하게 조정해야 한다.

후속 두 단계(32, 33)에서 변수의 할당이 수행되는데, 변수 "새로운 위치(new position)"의 값은 변수 "이전 위치(old position)"에 할당되고, 상기 변수 "새로운 위치"에는 변수 "a 위치"의 값이 할당된다. 상기 과정을 한 번에 수행하기 위해서 상기 변수들에 대한 소정의 값이 상기 초기화단계(31)에서 확정된다. 후속 단계(34)에서 상기 램프(5) 및 상기 콜렉터 렌즈(9)의 상기 구동장치(6, 7)가 조정되어 상기 구동장치(6, 7)는 상기 변수 "새로운 위치"의 값을 수용한다. 이어서, 상기 광세기가 상기 다이오드(16)에 의해 측정되고, 상기 측정된 광세기가 선택되고, 이어서 단계(35)에서 또 다른 변수 할당이 수행되는데, 즉, 상기 측정된 광세기의 값이 변수 "새로운 위치의 광세기(light power of new position)"에 할당된다. 후속 단계(36)에서 마찬가지로 상기 초기화 단계에서 하나의 값으로 할당된 변수 "이전 위치의 광세기(light power of old position)"의 값이 상기 변수 "새로운 위치의 광세기"의 값보다 작은지의 여부에 대한 판단 질문이 수행된다. 상기 질문의 대답이 부정일 경우, 단계(37)에서 변수 "실제 단계(actual step with)"에 변수 "카운트다운(count down)"의 값이 할당되고, 후속 단계(38)에서 상기 변수 "새로운 위치의 광세기"에 상기 변수 "이전 위치의 광세기"의 값이 할당된다. 후속 단계(39)에서 상기 변수 "a 위치"의 값이 산출되는데, 즉 상기 변수 "이전 위치"와, 상기 변수 "실제 단계"와 변수 "광세기의 미분계수(derivative of light power)"의 곱의 합으로서 산출된다. 후속 단계(40)에서 상기 변수 "실제 단계"의 값이 소정의 한계값보다 상대적으로 큰 지가 확인된다. 상기 질문의 대답이 긍정이면, 새로운 값을 갖는 순서가 상술한 상위 단계(32)로 거슬러 올라가서 후속 단계가 다시 수행된다. 이와는 달리 상기 단계(40)에서 상기 질문의 대답이 부정이면, 상기 순서는 종료된다.

상기 전술한 단계(36)에서 상기 변수 "이전 위치의 광세기"의 값이 상기 변수 "새로운 위치의 광세기"의 값보다 작거나 동일한지의 여부에 대한 질문의 대답이 긍정이면, 단계(41)에서 상기 변수 "실제 단계"에 변수 "카운트업(count up)"의 값이 할당되며, 이어서 단계(42)에서 상기 광세기의 기울기가 측정된다. 상기 광세기의 기울기 측정에 관해서는 도 3의 플로우 차트를 참조하여 상세히 설명될 것이다. 상기 광세기의 기울기 측정과 관련하여 상기 변수 "광세기의 미분계수"에 상기 측정된 기울기 값이 할당되고, 이어서 단계(43)에서 상기 변수 "a 위치"의 값은 상기 변수 "새로운 위치"와, 상기 변수 "실제 단계"와 상기 변수 "광세기의 미분계수"의 곱의 합으로서 산출된다. 이와 관련하여 상기 순서에서 상기 변수 "실제 단계"의 값이 한계값보다 큰 지에 대한 질문(40)이 수행되고, 이 경우, 상기 질문의 대답이 부정이면, 상기 순서는 종료되고, 상기 질문의 대답이 긍정이면, 상기 순서는 상기 초기화단계(31) 뒤의 상기 단계(32)로 거슬러 올라간다.

이하, 상기 광세기의 기울기를 결정하는 방법이 도 3을 참조하여 상세히 설명된다. 두 개의 처음 할당 단계에서 변수 "실제 광세기"에는 변수 "광세기"의 값이 할당되고, 변수 "실제 위치"에는 변수 "새로운 위치"의 값이 할당된다. 이들 변수들의 값은 도 2의 진행단계에 알려져 있거나 도 2의 상기 초기화단계(31)에서 확정된다. 두 개의 또 다른 초기화단계(53, 54)에서 지수 변수 i와 N의 값이 확정된다. 이와 관련하여 상기 램프(5)의 각각의 구동장치(6, 7) 또는 상기 콜렉터 렌즈(9)의 구동장치(20)는 순차적으로 소정의 폭 d_i으로 변위되며, 상기 다이오드(16)에 입사되는 광세기가 단계(55)에서 매번 측정된다. 후속 단계(56)에서 상기 광세기의 변화가 측정되는데, 다시 말해서 상기 변수 "광세기"과 상기 변수 "실제 광세기"의 차이가 산출된다. 상기 단계는 상기 세 개 모두의 구동장치에 대해 각각 차례대로 수행된다. 상기 광세기의 차이값이 상기 세 개 모두의 구동장치의 조정을 위해 설정된 후에, 단계(37)에서 상기 광세기의 기울기, 즉 상기 변수 "광세기의 미분계수"의 값이 벡터 크기로 산출된다. 이어서, 상기 변수 "광세기의 미분계수"의 벡터 크기의 산출된 값은 단계(39) 및 (43)에서 새로 조정되는 위치 "a 위치"를 산출하는 데에 사용된다.

도 4에는 본 발명에 따른 조명을 구비한 현미경이 도시되어 있다. 도 1의 실시예에서의 요소들에 상응하는 도 4의 실시예에서의 이러한 요소들에는 100번대의 참조부호가 제공된다. 램프(105)로부터 방출되는 빛은 콜렉터 렌즈(109)와 콜렉터 미러(117)에 의해 콜리메이팅 된다. 상기 콜렉터 렌즈(109) 다음에 자체의 조리개 직경이 변화 가능한 조리개(110)가 구비되는데, 상기 조리개(110)는 후속 광학기기(optics)에 결합되어 대물렌즈(104)의 초점면에 배치되며 조명받은 필드를 조정하는 데에 사용된다. 상기 필드 조리개(110)의 후속 렌즈(111)는 구경 조리개(112)의 평면에서 상기 램프(105)의 광원의 상을 형성한다. 동시에, 상기 렌즈(111)는 상기 필드 조리개(110)를 무한대의 위치에 결상한다. 편향 미러(114) 다음에는 두 개의 또 다른 렌즈(113, 115)가 수반되는데, 상기 렌즈(113, 115)는, 한편으로는 상기 구경 조리개(112)의 평면을 재물대(102)에 일체화된 조명 집광렌즈(125)의 후방 초점면으로 결상하며, 동시에 상기 필드 조리개(110)를 무한대의 위치에 결상한다. 상기 필드 조리개(110)와 상기 구경 조리개(112)의 조리개 직경을 조절함으로써 또한 본 실시예에서 잘 알려진 바와 같이 이른바 쾰러 조명이 조정될 수 있다.

상기 조명빔 경로 내부의 적분 광세기를 검출하기 위해서, 상기 구경 조리개(112) 뒤에는 부분투과 미러(123)가 배치된다. 상기 미러(123)에 의해 상기 조명 빛의 작은 일부가 출력 결합되며, 후속 렌즈(124)에 의해 현미경 다리에 일체화된 다이오드(116)로 초점이 맞춰진다.

또한, 본 실시예에서 상기 램프(105)는 두 개의 서로 수직인 방향으로 광축(119)에 수직하게 조정될 수 있으며, 이를 위해 모터 구동장치(106, 107)가 구비된다. 또한, 본 실시예에서 조명조정을 위해 상기 콜렉터 렌즈(109)는 모터 구동장치(120)에 의해 상기 광축(119)의 방향으로 조정될 수 있다. 상기 램프(105)를 조정하기 위한 구동 모터(106, 107) 및 상기 콜렉터 렌즈(109)를 축방향으로 변위시키기 위한 구동장치(120)를 구동시키는 것은 다시 조정 계산기(122)와, 현미경 삼각대에 구비된 전달부(121)에 의해 수행되며, 상기 전달부(121)에 의해 또한 상기 다이오드(116)의 출력신호가 상기 조정 계산기(122)에 공급된다.

조명빔 경로에 일체화된 상기 다이오드(116)를 구비한 도 4에 따른 실시예에서, 도 2 및 3을 참조하여 전술한 방법에 따라 상기 램프(105)를 조정하는 데 있어서, 상기 구경 조리개(112)의 위치가 상기 집광렌즈(125)의 입사동공의 위치와 공액을 이루며, 상기 구경 조리개(112) 자체의 개구부 직경은 상기 두 개의 렌즈(113, 115)에 의한 확대 또는 축소를 고려하여 상기 집광렌즈(125)의 개구판 직경에 대응하는 것이 중요하다. 이러한 요구사항은 도 1에 따른 실시예에서 성립되지 않았으나, 상기 다이오드(116)의 감광 영역의 직경이 상기 대물렌즈(4)에 의해 비춰진 조명필드의 직경보다 크거나 동일해야 한다.

전술한 본 발명에 따른 방법은 물론 상기 조명빔 경로에 따라 상기 램프(5, 105)를 조정하기 위해 적용될 뿐만 아니라, 상기 콜렉터(9, 109)에 따른 상기 콜렉터 미러(17, 117)의 조정을 위해서도 최초 조정시 적용된다. 따라서, 상기 램프(5, 105) 및 오목거울이 교번적으로 상기 다이오드(16, 116)에서 최대 광세기로 반복적으로 조정될 수 있다. 상기 콜렉터 미러(17, 117)를 간단히 미리 설치한 후에, 최적의 조정을 위해 3 내지 4번의 반복작동이 필요하다. 그리고 나서, 램프교체시 상기 램프(5, 105)를 상기 광축(119)에 수직으로 조정하고 상기 콜렉터 렌즈(9, 109)를 상기 광축(119) 방향으로 조정한다. 상기 콜렉터 미러(17, 117)의 조정은 램프교체 후에 필요치 않다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 방법은 최대 광세기를 구비한 상기 램프의 위치를 찾아내기 위한 경사법을 참조하여 설명되었다. 여기서, 상기 경사법은 한편으로는 상대적으로 간단하게 수행할 수 있고, 다른 한편으로는 상대적으로 적은 반복단계에 의해 최적의 조정을 수행할 수 있는 장점을 갖는다. 하지만, 경사법 대신에 다른 알고리즘을 고려할 수 있는데, 예를 들어, 검출된 광세기에서 절대적인 최대값이 도달할 때까지, 각각의 방향이동이 광세기가 최대값에 도달하고 이러한 단계가 여러 번 차례대로 반복될 때까지 개개의 구동장치를 매번 차례대로 조정하는 것이다.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 현미경의 조명빔 경로에 따라 램프를 조정하는 방법 및 상기 방법을 수행하는 데에 적합한 현미경을 제공함으로써 조명할 물체 필드의 균질한 조명을 보장하고 자동화에 매우 적합하게 현미경의 램프를 용이하게 조정할 수 있고, 물체 필드의 균질한 조명을 보장하는 램프의 조정을 자동화할 수 있다.

Claims (9)

1. 조명빔 경로에서 빔 균질화기 없이 현미경의 조명빔 경로(19, 11)에 대해 상대적으로 램프(5, 105)를 조정하는 방법에 있어서,

   적분 광세기는 현미경 대물렌즈의 개구판 평면(18) 뒤의 또는 조명빔 경로의 개구판 평면(112) 뒤의 검출기(16, 116)에 의해 측정되고, 상기 조명빔 경로(19, 119)에 대해 상대적으로 램프 본체(105, 115)가 조정되어 상기 검출기에 의해 검출된 광세기가 최대가 되는 것을 특징으로 하는 현미경의 조명빔 경로에 따라 램프를 조정하는 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 램프의 조정은 모터에 의해 소프트웨어적으로 조정되어 수행되는 것을 특징으로 하는 현미경의 조명빔 경로에 따라 램프를 조정하는 방법.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 검출기(16, 116)에서 검출된 광세기가 최대값에 도달할 때까지, 램프 가동을 위해 모터(6, 7, 20; 106, 107, 120)가 평가 계산기(22, 122)에 의해 조정되는 것을 특징으로 하는 현미경의 조명빔 경로에 따라 램프를 조정하는 방법.
4. 제 3 항에 있어서, 최대 광세기를 찾기 위해 경사법이 적용되는 것을 특징으로 하는 현미경의 조명빔 경로에 따라 램프를 조정하는 방법.
5. 빔 균질화기가 없는 조명빔 경로(19, 119)를 구비하고, 상기 조명빔 경로에 대해 상대적으로 램프(5, 105)를 조정하기 위한 모터 구동장치(6, 7, 20; 106, 107, 120)를 구비하며, 상기 조명빔 경로 또는 현미경 대물렌즈의 개구판 평면 뒤에 배치된 검출기(16, 116)에 의해 적분 광세기의 최대값이 측정될 때까지 상기 모터 구동장치를 차례대로 조정하는 평가 및 조정 계산기(22, 122)를 구비하는 것을 특징으로 하는 현미경.
6. 제 5 항에 있어서, 재물대(2)가 구비되고, 상기 검출기(16)가 상기 재물대(2)에 일체화되는 것을 특징으로 하는 현미경.
7. 제 5 항에 있어서, 상기 검출기(16)는 상기 조명빔 경로에 일체화되는 것을 특징으로 하는 현미경.
8. 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 광축(19, 119)를 따라 모터에 의해 변위되는 콜렉터 광학기기(collector optics)(9, 109)가 구비되는 것을 특징으로 하는 현미경.
9. 제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 평가 계산기(22, 122)는 최대 광세기를 찾기 위해 경사법을 적용하고, 상기 경사법에 의해 시작위치로부터 상기 램프 및/또는 상기 콜렉터 광학기기의 위치 변화에 따른 상기 광세기의 최대 기울기를 결정하고, 상기 램프(5, 105) 및/또는 상기 콜렉터 광학기기(9, 109)를 상기 적분 광세기의 최대 기울기 방향으로 조정하는 것을 특징으로 하는 현미경.

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