JP2002277748A - 顕微鏡の照明光路に対してランプを相対的に調整する方法及び該方法の実施に適した顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 照射されるべき対物フィールドが均質に照射
されることを保証し、かつ自動化に良く適している、顕
微鏡でのランプを調整する簡単な方法を提供することで
ある。さらに本発明の課題は、本発明の方法を使用する
のに適した顕微鏡を提供し、この顕微鏡によって対物フ
ィールドを均質に照らすことを保証するランプの調整
が、自動的に行われるようにする。 【解決手段】 顕微鏡対物レンズの瞳面の後方または照
明光路の瞳面の後方において積分光出力を検出器でもっ
て測定し、検出器によって検出された光出力が最大にな
るように、照明光路に対してランプを相対的に調整す
る。顕微鏡が照明光路に対してランプを相対的に調整す
るモータ駆動部及び評価及び制御計算機を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、照明光路内に光線
ホモジナイザを有さない顕微鏡の照明光路に対してラン
プを相対的に調整する方法及び光線ホモジナイザを有さ
ない照明光路を備えた顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】顕微鏡照明におけるランプの調整は、顕
微鏡を最初に調整する際でも、またランプを交換した後
でも、通常の場合においては古典的な調整判定基準によ
って行われ、この調整判定基準は対物フィールドを均質
に照らすことを保証する。この場合において、第１の調
整判定基準では、光源、すなわちランプアークまたはラ
ンプフィラメントを、対物レンズの瞳に焦点を合わせて
結像する。この調整判定基準を、対物レンズの瞳を顕微
鏡の視野に結像する、いわゆるベルトランレンズを用い
て検査することができる。焦点の合った結像を視覚的に
監視する代わりに、ベルトランレンズの像面にＣＣＤカ
メラを配置することも可能であり、その像は焦点の合っ
た結像について評価される。第２の判定基準として、対
物フィールドにおける照射自体を均質性について検査す
ることができ、また必要に応じてランプの均質性を最大
にするよう再調整することができる。ここでのランプを
調整する目的は、対物フィールド内に十分に均質な照明
を常に保証することである。

【０００３】ランプを調整するためのこれらの古典的な
方法は、顕微鏡が手動の介入操作を要せずに対物フィー
ルドを均質に照らすことを保証するように最初に組み立
てるとき、またそのようにランプを交換するときでも、
その複雑性のために自動化には完全には適していない。
他方では、例えば顕微鏡のルーチンを使用する者に、古
典的な調整判定基準に応じたランプ調整によって、頻繁
に過大な要求がなされているということが経験から分か
っている。

【０００４】マイクロリソグラフィ機器のための照明装
置には光線ホモジナイザが使用され、この光線ホモジナ
イザは結像されるべきマスクを均質に照らすことを保証
する。付加的に、照明光路に対して相対的に光源の位置
が、光線ホモジナイザの最大の光出力となるよう調整さ
れ、したがって光源から放出された光出力は最適に十分
に使用される。

【０００５】確かに顕微鏡照明であっても、例えばいわ
ゆるフライアイレンズまたは光を混合するためのガラス
棒の形式でホモジナイザを使用することも考えられよ
う。これによって、照明光路に対して相対的にランプを
位置決めすることに依存せずに、対物フィールドを均質
に照らすことが保証されるであろうし、その結果ランプ
を調整することを完全に省略することができるであろ
う。しかしながらそのような光線ホモジナイザの使用
は、顕微鏡では容認できない多額の費用がかかることに
なる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の課
題は、照射されるべき対物フィールドが均質に照射され
ることを保証し、かつ自動化に良く適している、顕微鏡
でのランプを調整する簡単な方法を提供することであ
る。さらに本発明の課題は、本発明の方法を使用するの
に適した顕微鏡を提供し、この顕微鏡によって対物フィ
ールドを均質に照らすことを保証するランプの調整が、
自動的に行われるようにすることである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この課題は、顕微鏡対物
レンズの瞳面の後方または照明光路の瞳面の後方におい
て積分光出力を検出器でもって測定し、照明光路に対し
てランプを、検出器によって検出された光出力が最大に
なるように、相対的に調整する方法、並びに照明光路に
対してランプを相対的に調整するモータ駆動部及び評価
及び制御計算機を備えた顕微鏡によって解決される。こ
こで評価及び制御計算機は、モータ駆動部を照明光路ま
たは顕微鏡対物レンズの瞳面の後方に配置された検出器
を用いて、積分光出力の最大値が測定されるまで順次制
御する。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明は、光線ホモジナイザを有
さない照明光路でも、顕微鏡対物レンズの瞳面の後方ま
たは照明光路の後方において（さもなければランプの一
定の作動条件で）、面に応じた積分光出力が最大となる
ときに、照明フィールドを均質に照らすことを保証する
という基本思想に基づいている。それに応じて本発明の
方法では、顕微鏡対物レンズの瞳面の後方または照明光
路の瞳面の後方において、面に応じた積分光出力が検出
器によって測定され、検出器によって検出された積分光
出力が最大となるように、照明光路に対して相対的にラ
ンプは調整される。ここで重要なことは、光束を制限す
る絞りを通過した後に初めて、光出力が積分的に検出さ
れるということである。

【０００９】したがって本発明の基本思想に基づいて、
ランプを交換した後のランプの自動的な調整または初め
て調整する際のランプの自動的な調整に殊に適した、簡
単な調整判定基準が生じる。したがってランプの調整
は、有利にはモータでもってソフトウェアの制御により
行われる。しかしながら有利にはまた本発明の基本思想
を、手動でランプを調整する際にも使用することができ
る。何故ならば最大の積分光出力の調整判定基準を、操
作に慣れていない者によっても、ベルトランレンズを用
いてランプアークを対物レンズ瞳孔に焦点を合わせて結
像する通常の調整判定基準よりも、基本的には簡単に検
査及び実践することができる。

【００１０】自動的なランプ調整に適した顕微鏡は、有
利には光線ホモジナイザを有さない照明光路に、照明光
路に対してランプを相対的に調整するためのモータ駆動
部、並びに評価及び制御計算機を有する。ここでこの評
価及び制御計算機は、照明光路または顕微鏡対物レンズ
の瞳面の後方に配置された検出器によって積分光出力の
最大値が測定されるまで、ランプを調整するためのモー
タ駆動部を順次制御する。

【００１１】光出力を検出するための検出器を、照明光
路に収容して設けることができる。このような場合、顕
微鏡のステージに反射領域が設けられており、検出器が
この反射領域において反射される光を検出するならば有
利である。照明光の一部分が取り出され検出器に反射さ
せることも、択一的に可能である。

【００１２】さらに、光出力を検出するための検出器を
多かれ少なかれ露出させて顕微鏡のステージに設けるこ
とも可能である。この実施形態は例えば、既存の顕微鏡
を増備すること、並びに既存の大量生産された顕微鏡に
おいて本発明を使用することに適している。

【００１３】検出器として、単一のダイオード、四象限
ダイオードまたはＣＣＤカメラも使用することができ
る。象限ダイオードまたはＣＣＤセンサの場合には、個
々のセンサ部分ないしセンサ領域でもって検出された光
出力が、検出器出力側において面に関して積分される。
勿論ＣＣＤセンサないしＣＣＤカメラの使用は、例えば
反射光顕微鏡の場合のように、像を詳細に写すためのＣ
ＣＤカメラがいずれにせよ設けられているときには、殊
に考慮される。

【００１４】本発明を使用するにあたり、ランプを照明
光路に対して相対的に、互いに直交する３つの空間方向
に調整することができるか、またはランプを互いに直角
な２つの空間方向に調整し、光路に配置されたコレクタ
レンズを残りの照明光路の光軸に沿って移動させること
ができる。

【００１５】最大光出力を見つけ出すために、有利には
勾配方法を使用することができる。そのような勾配方法
では、出発位置を前提として、光出力の最大勾配が照明
光路に対してランプの位置変化に依存して及び／又は照
明光路に対してランプ及びコレクタレンズの位置変化に
依存して相対的に求められ、続けてランプ及び／又はコ
レクタレンズが照明光路において、光出力の最大勾配の
方向に調節される。

【００１６】

【実施例】本発明を図面の実施例に基づき以下詳細に説
明する。

【００１７】図１には、照明光路が設けられている顕微
鏡スタンドの上部が、参照記号（１）でもって表されて
いる。顕微鏡には公知のやり方で、集束用のステージ
（２）が高さを調節できるように取り付けられている。
さらに顕微鏡は公知のやり方で、対物レンズ（４）が取
り付けられた対物レンズレボルバ（３）を有する。図１
においては、この対物レンズ（４）のうちの１つだけが
図示されている。

【００１８】図１における顕微鏡での反射光照明光路
は、原則としてケーラー照明条件を調整するための通常
のコンポーネントを有する。光源として、ハロゲンラン
プまたはガス放電ランプ（５）を設けることができる。
ランプ（５）から放出された光は、コレクタレンズ
（９）によって、また場合によってはコレクタミラー
（１７）と関連して視準される。このコレクタミラー
（１７）は、後方に放射された光を集め、そしてランプ
（５）へ帰還的に反射させる。視準された光路の領域に
は、その開口の直径について調節可能な視野絞り（１
０）が設けられており、この視野絞り（１０）は、顕微
鏡対物レンズ（４）の焦点面と共役に配置されている。
視野絞り（１０）の後方に配置されたレンズ（１１）
は、視野絞り（１０）を無限遠に結像する。レンズ（１
１）の焦点面には、開口の直径について調整可能な第２
の絞り（１２）が、照射開口を調整するために設けられ
ている。この開口絞り（１２）は、後続のレンズ（１
３）によって無限遠に結像され、そしてビームスプリッ
タ（１４）を介して観察光路に反射された後に、照明光
路と観察光路の共通の部分にあるチューブレンズ（１
５）を通り顕微鏡対物レンズ（４）の射出瞳（１８）に
結像される。

【００１９】マイクロスコイープのステージ（２）に
は、検出器として大面積のダイオード（１６）が収容さ
れており、このダイオード（１６）を用いて、顕微鏡対
物レンズ（４）によって集束された全体の光の強さが検
出される。このダイオード（１６）は大面積の簡単なダ
イオードとして構成することができる。しかしながら、
ダイオード（１６）が四象限ダイオードとして構成され
ていれば殊に有利である。したがって後者の場合におい
ては、このダイオード（１６）を同時にステージを較正
するためにも使用することができる。この較正は、四象
限ダイオードによって形成された座標系の中心が、ステ
ージのＸ／Ｙ調節のための参照点、例えば零点として使
用されることによって行われる。

【００２０】ダイオード（１６）の光を受ける面の直径
（象限ダイオードの場合、４つの象限がまとまって直径
となる）は少なくとも、対物レンズ（４）の焦点面にお
いて照らされるフィールドの直径よりも大きい。

【００２１】自動的なランプの調整を実現するために、
ランプ（５）のソケット（８）を２つのモータ駆動部
（６、７）を介して、照明光路の光軸（１９）に対して
垂直な２つの方向に調整することができる。別のモータ
駆動部（２０）を介して、コレクタレンズ（９）を光軸
（１９）の方向に移動させることができる。ランプ
（５）並びにコレクタレンズ（９）も移動させるため
に、択一的にランプ（５）も３つの相応の駆動部を介し
て、相互に垂直となる３つの空間方向に移動させること
ができる。もっともこのためには、相応にコストのかか
る機械装置が必要となる。何故ならば、互いに垂直な３
つの空間方向に相互に依存せずに調節するための自由度
が必要とされるかもしれないからである。

【００２２】ランプ（５）の調整駆動部（６、７）及び
コレクタレンズ（９）の調整駆動部（２０）を、インタ
フェース（２１）を介して制御計算機（２２）によって
制御することができる。同一のインタフェース（２１）
を介してダイオード（１６）の出力信号も制御計算機
（２２）に供給される。

【００２３】自動的なランプ調整の際に実行されるステ
ップを、以下図２に基づき詳細に説明する。調整プロセ
スは、開始ステップ（３０）から開始する。この開始ス
テップ（３０）は例えば、ユーザが操作表面を介してラ
ンプが交換されたことを確認することによって開始され
る。続く初期化ステップ（３１）においては、ステージ
（２）を、顕微鏡対物レンズ（４）の光軸方向において
もまたこの光軸に垂直な２つの方向においても、ダイオ
ード（１６）が顕微鏡対物レンズ（４）の下方に位置決
めし、したがって顕微鏡対物レンズ（４）によって集光
された光出力全てが検出されるようにする。顕微鏡がモ
ータ集束駆動部及びモータＸ／Ｙステージを有するなら
ば、この初期化は勿論自動的に行うこともできる。この
場合制御及び評価計算機（２２）が、集束及びステージ
の横方向の位置決め用のモータ駆動部を相応に制御す
る。集束及びＸ／Ｙステージ用のモータ駆動部が設けら
れていない場合には、ユーザは操作表面を介して、ダイ
オード（１６）が対物レンズ（４）の真下に位置するよ
うにステージを相応に調節するよう指示を受ける。

【００２４】続く２つのステップ（３２、３３）におい
ては変数割当が行われ、この変数割当では変数「古い位
置」に変数「新しい位置」の値が割り当てられ、変数
「新しい位置」に変数「位置ａ」の値が割り当てられ
る。プロセスの最初の実行の際これらの変数に対して、
初期化ステップ（３１）においては決められた所定の値
が使用される。続くステップ（３４）において、ランプ
の駆動部（６、７）及びコレクタレンズの駆動部（２
０）は、駆動部が変数「新しい位置」の値に応じるよう
に制御される。引き続き、光出力をダイオード（１６）
によって測定し、そして測定された光出力を読み出す。
続くステップ（３５）において別の変数割当を行い、こ
の変数割当では測定された光出力の値が、変数「新しい
位置の光出力」に割り当てられる。続くステップ（３
６）では、初期化ステップにおいて同様にして値が割り
当てられた変数「古い位置の光出力」の値が、変数「新
しい位置の光出力」よりも小さいかどうかを決定する問
い合わせが行われる。この問いの解答が否定である場合
には、ステップ（３７）において変数「実際のステップ
幅」に変数「カウントダウン」の値が割り当てられ、そ
して続くステップ（３８）において、変数「新しい位置
の光出力」に変数「古い位置の光出力」の値が割り当て
られる。続くステップ（３９）においては、変数「位置
ａ」の値が計算され、この変数「位置ａ」はつまり、変
数「実際のステップ幅」と変数「光出力の導関数」のと
積と変数「古い位置」との和である。続く決定ステップ
（４０）においては、変数「実際のステップ幅」の値が
所定の限界値よりも大きいかどうかが検査される。この
問いの解答が肯定であれば、新たな値を有するルーチン
は上述のステップ（３２）に戻り、後続のステップが新
たに行われる。これに対し、ステップ（４０）における
問いの解答が否定であれば、ルーチンは終了する。

【００２５】上述のステップ（３６）において、変数
「古い位置の光出力」の値が、変数「新しい位置の光出
力」の値よりも小さいかまたは同じであるかという問い
の解答が肯定であれば、ステップ（４１）において変数
「実際のステップ幅」に変数「カウントアップ」の値が
割り当てられ、そして続けてステップ（４２）において
光出力の勾配が測定される。光出力の勾配の測定に関す
る詳細は、図３のフローチャートに基づき詳しく後述す
る。光出力の勾配の測定に続いて、変数「光出力の導関
数」に、測定された勾配の値が割り当てられ、続いてス
テップ（４３）において変数「位置ａ」に、変数「実際
のステップ幅」と変数「光出力の導関数」との積と変数
「新しい位置」との和からなる値が割り当てられる。こ
れに続いてルーチンは、この分岐を介しても変数「実際
のステップ幅」の値が限界値よりも大きいかどうかの問
い合わせ（４０）に到達し、そしてこの問いの解答が否
定であればルーチンは終了し、解答が肯定であれば、ル
ーチンはこの場合においても初期化ステップ（３１）の
後のステップ（３２）へと戻る。

【００２６】光出力の勾配を決定するための方法を、以
下図面３に基づき詳細に説明する。最初の２つの割当ス
テップにおいては、変数「実際の光出力」に変数「光出
力」の値が割り当てられ、変数「実際の位置」に変数
「新しい位置」の値が割り当てられる。これらの変数の
値は、以前に行われた図２のステップより既知である
か、または図２の初期化ステップ（３１）において設定
されている。別の２つの初期化ステップ（５３、５４）
においては、指数変数（ｉ）及び（Ｎ）の値が設定され
る。これに続いて、ランプの各駆動部（６、７）ないし
コレクタレンズの駆動部（２０）それぞれは、順次所定
のステップ幅ｄ_ｉだけ移動され、そしてステップ（５
５）において、ダイオード（１６）に入射した光出力が
それぞれ測定される。続くステップ（５６）において光
出力の変化が測定され、すなわち変数「光出力」と変数
「実際の光出力」との差が計算される。これらのステッ
プは、３つ全ての駆動部に対して別個にかつ順次行われ
る。３つの駆動部全てを制御するための光出力の差値が
与えられた後に、ステップ（５７）において光出力の勾
配、すなわちベクトル量としての変数「光出力の導関
数」の値が計算される。そのように計算されたベクトル
量「光出力の導関数」の値は、後続のステップ（３９）
及び（４３）において、新たに制御されるべき位置「位
置ａ」を計算するために使用される。

【００２７】図４には、透過形照明装置を備えた本発明
の顕微鏡が図示されている。図１の実施例でのコンポー
ネントと対応する、図４の実施例でのコンポーネントに
はそれぞれ１００を加えた参照記号が与えられている。
ランプ（１０５）から放出された光は、コレクタレンズ
（１０９）及びコレクタミラー（１１７）によって視準
される。コレクタレンズ（１０９）の後には、開口の直
径について変化する絞り（１１０）が続き、この絞り
（１１０）は後続のレンズについては、対物レンズ（１
０４）の焦点面と共役に配置されており、照射されるフ
ィールドを調節するために使用される。視野絞り（１１
０）に続くレンズ（１１１）は、開口絞り（１１２）の
面にランプ（１０５）の光源の像を形成する。同時に、
レンズ（１１１）は視野絞り（１１０）を無限遠に結像
する。偏向ミラー（１１４）の後方には、別の２つのレ
ンズ（１１３、１１５）が続き、これらのミラーは共通
して一方では開口絞り（１１２）の面をステージ（１０
２）に収容された透過コンデンサ（１２５）の後方の焦
点面に結象し、また同時に視野絞り（１１０）を無限遠
に結像する。視野絞り（１１０）及び開口絞り（１１
２）の開口の直径を調節することによってこの実施例で
も、公知のやり方でいわゆるケーラー照明を調節するこ
とができる。

【００２８】照明光路で積分光出力を検出するために、
開口絞り（１１２）の後方には部分透過性のミラー（１
２３）が配置されており、このミラー（１２３）によっ
て照明光の小さい部分が出力結合され、そして後続のレ
ンズ（１２４）を介して、顕微鏡台に収容されたダイオ
ード（１１６）に集束される。

【００２９】この実施例でもランプ（１０５）を、光軸
（１１９）に対して垂直な、相互に垂直となる２つの方
向にモータによって移動させることができ、このために
モータ駆動部（１０６、１０７）が設けられている。さ
らに、この実施例においても、コレクタレンズ（１０
９）をモータ駆動部（１２０）によって光軸（１１９）
の方向に、照明を調整するために調節することができ
る。ランプ（１０５）を調整するための駆動モータ（１
０６、１０７）及びコレクタレンズ（１０９）を軸方向
に移動させるための駆動部（１２０）は、やはり制御計
算機（１２２）、ならびに顕微鏡スタンドに設けられた
インタフェース（１２１）を介して制御され、このイン
タフェース（１２１）を介してダイオード（１１６）の
出力信号も制御計算機（１２２）に供給されている。

【００３０】照明光路に収容されたダイオード（１１
６）を備えた図４の実施例では、図２及び図３に基づい
た上述の方法に応じてランプ（１０５）を調整するため
に、開口絞り（１１２）の位置が、コンデンサ（１２
５）の入射瞳の位置と共役し、開口絞りの直径に関して
は、２つのレンズ（１１３、１１５）によって生じる拡
大ないし縮小を考慮してコンデンサ（１２５）の瞳直径
に対応することが重要である。この種の要求は図１の実
施例では生じないが、ダイオード（１１６）の光を感知
する領域の直径が、対物レンズ（４）によって照らされ
る照射フィールドの直径よりも大きいかまたは同じであ
ることは必要である。

【００３１】上述した本発明の方法は勿論、照明光路に
対してランプ（５、１０５）を相対的に調整するためだ
けに使用されるのではなく、最初の調整の際には、コレ
クタ（９、１０９）に対して相対的にコレクタミラー
（１７、１１７）を調整するためにも使用することがで
きる。このために、ランプと凹面鏡とを交互に、ダイオ
ード（１６、１１６）における最大出力へと反復的に調
整することができる。コレクタミラーを粗く事前調節し
た後では、最適な調節を達成するために約３回から４回
の反復が必要となる。これによってランプを交換する際
には、ランプは光軸に対して垂直に調整され、コレクタ
レンズ（９、１０９）は光軸の方向に調整されるだけで
ある。後にランプが交換される際にコレクタミラー（１
７、１１７）を調整する必要はない。

【００３２】本発明の方法を、最大光出力を有するラン
プの位置を求めるための、上述の勾配方法に基づいて説
明した。この勾配方法は、一方では比較的簡単に実現す
ることができ、また他方では比較的僅かな反復ステップ
でもって最適に調整するという利点を供給する。しかし
ながら勾配方法の変わりに別のアルゴリズムも考えられ
る。例えばそのアルゴリズムにおいては、個々の駆動部
はそれぞれ個々の方向移動が光出力における最大値にそ
れぞれ到達するまで順次制御され、これらのステップは
検出された光出力が絶対最大値に到達するまで何度も順
次連続して繰り返される。

【図面の簡単な説明】

【図１】ステージに収容された検出器を備えた反射光顕
微鏡の断面図である。

【図２】自動的にランプの調整を行う顕微鏡で行われる
プロセスのフローチャートである。

【図３】最大光出力を発見するための勾配方法において
行われるプロセスのフローチャートである。

【図４】照明光路内に収容された検出器を備えた顕微鏡
の断面図である。

【符号の説明】

１、１０１ 顕微鏡の上部、 ２、１０２ スタンド、
３、１０３ 対物レンズレボルバ、 ４、１０４ 対
物レンズ、 ５、１０５ ランプ、 ６、７、２０、１
０６、１０７、１２０ 駆動部、 ８、１０８ ソケッ
ト、 ９、１０９ コレクタレンズ、 １０、１１０
視野絞り、 １１、１３、１１１、１１３ レンズ、
１２、１１２ 開口絞り、 １４、１１４ 偏光ミラ
ー、 １５、１１５ チューブレンズ、 １６、１１６
ダイオード、 １７、１１７ コレクタミラー、 １
８ 出射瞳、 １９、１１９ 照明光路、 ２１、１２
１インタフェース、 ２２、１２２ 制御計算機

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 照明光路内に光線ホモジナイザを有さな
   い顕微鏡の照明光路（１９、１１９）に対してランプ
   （５、１０５）を相対的に調整する方法において、 顕微鏡対物レンズの瞳面（１８）の後方または照明光路
   の瞳面（１１２）の後方において積分光出力を検出器
   （１６、１１６）でもって測定し、 前記検出器によって検出された光出力が最大になるよう
   に、照明光路に対してランプ（５、１０５）を相対的に
   調整する、 ランプを調整する方法。
2. 【請求項２】 ランプの調整を、モータでもってソフト
   ウェアによる制御によって行う、請求項１記載の方法。
3. 【請求項３】 前記検出器（１６、１１６）において検
   出される光出力が最大値に到達するまで、評価計算機
   （２２、１２２）によって、ランプを移動させるための
   モータ（６、７、２０；１０６、１０７、１２０）を制
   御する、請求項２記載の方法。
4. 【請求項４】 前記光出力の最大値を見つけ出すために
   勾配法を使用する、請求項３記載の方法。
5. 【請求項５】 光線ホモジナイザを有さない照明光路
   （１９、１１９）を備えた顕微鏡において、 照明光路に対してランプ（５、１０５）を相対的に調整
   するモータ駆動部（６、７、２０；１０６、１０７、１
   ２０）を備え、 該モータ駆動部を順次制御する評価及び制御計算機（２
   ２、１２２）を備え、 該制御は、前記照明光路または顕微鏡対物レンズの瞳面
   の後方に配置された検出器（１６、１１６）を用いて、
   積分光出力の最大値が測定されるまで行われることを特
   徴とする顕微鏡。
6. 【請求項６】 ステージ（２）が設けられており、該ス
   テージ（２）に検出器（１６）が収容されている、請求
   項５記載の顕微鏡。
7. 【請求項７】 検出器（１１６）が照明光路に収容され
   ている、請求項５記載の顕微鏡。
8. 【請求項８】 光軸（１９、１１９）に沿って、モータ
   によって移動するコレクタレンズ（９、１０９）が設け
   られている、請求項５から７のいずれか１項記載の顕微
   鏡。
9. 【請求項９】 出発位置から、前記光出力の最大勾配が
   ランプ及び／又はコレクタレンズの位置変化に依存して
   求められ、該ランプ（５、１０５）及び／又はコレクタ
   レンズ（９、１０９）は、積分光出力の最大勾配の方向
   に位置調節される勾配法を使用して、評価計算機（２
   ２、１２２）は最大光出力を発見する、請求項５から８
   のいずれ１項記載の顕微鏡。