KR100809938B1 - 액정 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

액정 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100809938B1
KR100809938B1 KR1020010077070A KR20010077070A KR100809938B1 KR 100809938 B1 KR100809938 B1 KR 100809938B1 KR 1020010077070 A KR1020010077070 A KR 1020010077070A KR 20010077070 A KR20010077070 A KR 20010077070A KR 100809938 B1 KR100809938 B1 KR 100809938B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
liquid crystal
seal pattern
etching
substrates
Prior art date
Application number
KR1020010077070A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20030046809A (ko
Inventor
정태용
김명규
Original Assignee
엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지.필립스 엘시디 주식회사 filed Critical 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority to KR1020010077070A priority Critical patent/KR100809938B1/ko
Priority to US10/309,900 priority patent/US7336334B2/en
Publication of KR20030046809A publication Critical patent/KR20030046809A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100809938B1 publication Critical patent/KR100809938B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치를 경량화하기 위해 기판을 식각하는 공정을 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치의 경량화가 요구됨에 따라, 합착된 기판의 바깥쪽 면을 식각하는 공정이 이루어지는데, 이때 식각액이 기판 사이로 침투하여 씰 패턴이 손상되는 문제가 발생한다.
본 발명에서는 액정 표시 장치의 기판 표면을 식각하는데 있어서, 셀 영역을 정의하는 주 씰 패턴 둘레에 개구부를 가지는 보조 씰 패턴을 형성하고 기판을 합착한 다음, 합착된 기판의 측면 둘레에 식각방지물을 형성하여 기판을 식각함으로써, 셀 내부의 공기를 원활하게 제거할 수 있으며, 식각액이 셀 영역으로 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 셀 영역의 손상을 방지할 수 있다.
씰패턴, 개구부, 테플론

Description

액정 표시 장치의 제조 방법{manufacturing method of a liquid crystal display device}
도 1은 일반적인 액정 셀 제조 공정을 도시한 흐름도.
도 2는 합착된 기판의 가공 공정을 도시한 흐름도.
도 3은 종래의 씰패턴 구조를 도시한 평면도.
도 4는 도 3에서 A 부분에 대한 확대도.
도 5는 본 발명에 따른 씰패턴 구조를 도시한 평면도.
도 6은 본 발명에 따른 기판 가공 공정시 합착된 기판의 구조를 도시한 평면도.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 실시예에 따른 합착된 기판의 단면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
210 : 제 1 기판 220 : 제 2 기판
230 : 식각방지물
본 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정 표시 장치를 경량화하기 위해 기판을 식각하는 공정에 관한 것이다.
최근 정보화 사회로 시대가 급발전함에 따라 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었는데, 그 중 색 재현성 등이 우수한 액정 표시 장치(liquid crystal display)가 활발하게 개발되고 있다.
일반적으로 액정 표시 장치는 일측에 전극이 각각 형성되어 있는 두 기판을, 두 전극이 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고 두 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정 분자를 움직이게 함으로써, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치이다.
이러한 액정 표시 장치는 박막트랜지스터와 화소 전극이 배열된 하부의 어레이 기판을 제조하는 공정과 컬러 필터와 공통 전극을 포함하는 상부의 컬러 필터 기판을 제조하는 공정, 그리고 제조된 두 기판의 배치와 액정 물질의 주입 및 봉합, 편광판 부착으로 이루어진 액정 셀(cell) 공정에 의해 형성된다.
이때, 대면적 기판 상에 다수개의 셀을 한꺼번에 형성함으로써 액정 표시 장치의 생산성을 높일 수 있는데, 이러한 경우 액정 셀 공정에서 기판을 배치한 다음 각각의 셀로 절단하는 공정이 필요하다.
이하, 액정 표시 장치의 액정 셀 제조 공정에 대하여 첨부한 도 1을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 일반적인 액정 셀 제조 공정을 도시한 흐름도이다.
먼저, 박막트랜지스터를 포함하는 하부의 박막트랜지스터 기판과 컬러 필터를 포함하는 상부의 컬러 필터 기판을 준비한다(st1).
박막트랜지스터 기판은 박막을 증착하고 패터닝하는 과정을 여러 회 반복함으로써 형성되며 박막의 패터닝시 사용되는 마스크의 수가 공정수를 대표하는데, 현재 마스크 수를 감소시켜 제조 비용을 줄이기 위한 연구가 활발히 이루어지고 있다.
컬러 필터 기판은 각 컬러 필터를 구분하며 화소 영역 이외의 부분에서 발생하는 빛샘을 방지하기 위한 블랙 매트릭스와 적(R), 녹(G), 청(B)의 컬러 필터 및 공통 전극을 순차적으로 형성함으로써 이루어진다. 컬러 필터는 염색법, 인쇄법, 안료 분산법, 전착법 또는 전사법 등에 의해 형성될 수 있으며, 현재 안료 분산법이 주로 사용되고 있다.
이어, 각 기판에 액정 분자의 초기 배향 방향을 결정하기 위한 배향막을 형성한다(st2).
배향막의 형성은 고분자 박막을 도포하고 배향막을 일정한 방향으로 배열시키는 공정으로 이루어진다. 일반적으로 배향막에는 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기물질이 주로 사용되고, 배향막을 배열시키는 방법으로는 러빙 방법이 이용된 다. 러빙 방법은 러빙포를 이용하여 배향막을 일정한 방향으로 문질러주는 것으로, 배향 처리가 용이하여 대량 생산에 적합하고 배향이 안정하며 프리틸트각(pretilt angle)의 제어가 용이한 장점이 있다.
다음, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 씰패턴(seal pattern)을 형성하는데(st3), 씰패턴은 액정 주입을 위한 갭을 형성하고 주입된 액정의 누설을 방지하는 역할을 하는 것으로, 하나의 셀이 형성되는 영역에 각각 하나씩 형성한다.
씰패턴은 열경화성 수지를 일정한 패턴으로 형성함으로써 이루어지며, 씰패턴 형성 방법으로는 스크린 마스크(screen mask)를 이용한 스크린 인쇄법과 디스펜서를 이용한 씰 디스펜서(dispenser)법이 있다. 현재 공정의 편의성이 큰 스크린 인쇄법이 주로 사용되고 있으나, 마스크와 배향막의 접촉에 의한 불량 유발과 기판의 크기가 커짐에 따라 스크린 마스크의 대응이 어려운 단점이 있어 점차 씰 디스펜서법으로 변경이 이루어지고 있다.
이어, 두 기판 중 어느 하나의 기판에 액정 표시 장치의 상부 기판과 하부 기판 사이의 간격을 정밀하고 균일하게 유지하기 위해 일정한 크기의 스페이서를 산포한다(st4). 스페이서의 산포 방식은 알코올 등에 스페이서를 혼합하여 분사하는 습식 산포법과 스페이서만을 산포하는 건식 산포법으로 나눌 수 있으며, 건식 산포는 정전기를 이용하는 정전 산포법과 기체의 압력을 이용하는 제전 산포법으로 나뉘는데, 액정 표시 장치는 정전기에 취약한 구조를 가지므로 제전 산포법이 많이 사용된다.
다음, 액정 표시 장치의 두 기판 즉, 박막 트랜지스터 기판과 칼라 필터 기판을 배치하고 씰패턴을 가압경화하여 합착한다(st5).
다음, 두 기판을 각각의 셀로 절단하여 분리한다(st6). 셀 절단 공정은 유리 기판 보다 경도가 높은 다이아몬드 재질의 펜(pen)으로 유리 기판 표면에 절단선을 형성하는 스크라이브(scribe) 공정과 힘을 가하여 절단하는 브레이크(break) 공정으로 이루어진다.
이어, 두 기판 사이에 액정을 주입한다(st7). 액정의 주입은 셀 내외의 압력차를 이용한 진공 주입법이 주로 이용된다. 여기서 셀 내부에 액정이 주입되었을 때, 액정 속의 미세한 공기 방울에 의해 셀 내부에서 기포가 형성되어 불량이 발생할 수 있다. 따라서, 이를 방지하기 위해 액정을 장시간 진공에 방치하여 기포를 제거하는 탈포 과정이 필요하다.
액정의 주입이 완료되면 셀의 주입구에서 액정이 흘러나오지 않도록 주입구를 봉합한다. 보통 디스펜서를 이용하여 주입구에 열경화 수지를 도포한 후, 경화시킴으로써 주입구를 막아준다.
이와 같이 액정 셀을 제조하고 액정 셀의 외측에 각각 편광판을 부착한 후 구동회로를 연결하면 액정 패널이 완성된다.
이러한 액정 패널은 노트북의 화면으로 많이 이용되는데, 노트북은 휴대와 운반이 용이해야 하므로 부피 및 무게가 작은 것이 좋다. 따라서, 액정 패널의 경량화가 요구되므로, 기판의 두께를 줄이기 위해 두 기판을 합착한 후(도 1의 st5) 각각의 셀로 절단(도 1의 st6)하기 전에 상부 및 하부 기판의 바깥쪽 노출된 면을 식각하는 공정을 수행한다.
도 2는 이러한 기판의 식각 과정을 도시한 흐름도이다.
먼저, 합착된 기판의 바깥쪽 면을 식각하기 전에 이전 공정의 단계에서 발생할 수 있는 불순물을 제거한다(st11).
기판의 바깥쪽 면에 불순물이 존재할 경우 불순물 주변에서는 기판이 식각되지 않는 것과 같은 식각 불량이 유발되어 식각된 기판의 표면이 평탄하지 않게 된다. 이에 따라 빛의 난반사 또는 굴절이 발생하게 되므로, 이를 방지하기 위해 세정액인 이소프로필 알코올(isopropyl alcohol) 또는 탈이온수(deionized water)를 이용하여 기판의 바깥쪽 면에 존재하는 불순물을 제거한다.
다음, 세정된 합착 기판을 식각한다(st12). 일반적으로 액정 표시 장치용 기판으로는 유리 기판이 이용되는데, 유리 기판에는 실리콘 산화물(SiO2)이 약 60% 정도 포함되어 있다. 따라서, 합착 기판의 산화막(SiO2)을 식각하는데 쓰이는 HF 용액에 넣어 액정 표시 장치용 기판을 식각한다.
다음, 기판의 표면에 잔존하는 HF 용액을 세정하고 건조 과정을 거친다(st13, st14).
이와 같이, 합착된 기판의 바깥쪽 면을 식각한 후, 각각의 셀로 절단하는 공정(도 1의 st6) 및 액정을 주입(도 1의 st 7)하는 공정을 실시한다.
그런데, 합착된 기판의 바깥쪽 면을 식각하는 공정에서, 두 기판의 사이로 식각액이 침투하여 씰패턴이 손상되거나, 셀 내부의 패드가 부식될 수 있다. 따라 서, 이를 방지하기 위해 기판 가장자리에 공기를 배출시킬 수 있는 부분을 가지는 보조씰패턴을 형성한 구조가 제시되었다.
이러한 종래의 씰패턴 구조에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
도 3은 종래의 씰패턴 구조를 도시한 평면도이고, 도 4는 도 3의 A 부분을 확대한 도면으로서, 기판 가장자리의 보조씰패턴에 관한 것이다.
도시한 바와 같이, 기판(10) 상에 다수 개의 씰패턴이 형성되어 있는데, 이 씰패턴은 각각의 셀 영역을 정의하고 액정이 주입되는 주씰패턴(20)과 주씰패턴을 감싸고 있는 제 1 보조씰패턴(30), 그리고 기판(10)의 가장자리와 소정 간격을 유지하며 제 1 보조씰패턴(30)을 감싸고 있는 제 2 보조씰패턴(40)으로 이루어진다. 여기서, 제 1 보조씰패턴(30)과 제 2 보조씰패턴(40)은 적어도 하나 이상의 개구부(T)를 가지며, 제 2 보조씰패턴(40)에 형성된 개구부(T) 근처의 제 1 보조씰패턴(30)과 제 2 보조씰패턴(40) 사이에는 제 3 보조씰패턴(50)이 형성되어 있다.
이러한 제 3 보조씰패턴(50)의 구조를 도 4에 확대 도시하였다. 제 3 보조씰패턴(50)은 다수의 패턴이 일정 간격 이격되어 나란하게 형성되어 있으며, 일끝이 제 1 보조씰패턴(30)이나 제 2 보조씰패턴(40) 중의 어느 하나와 연결되고 타끝은 분리되어 있는데, 제 3 보조씰패턴(50)은 제 1 보조씰패턴(30)에 연결된 것과 제 2 보조씰패턴(40)에 연결된 것이 교대로 형성되어 있다.
따라서, 보조씰패턴(30, 40, 50)의 내부가 완전히 밀폐되지 않고 외부와 소통될 수 있으므로, 액정 표시 장치의 상부와 하부 기판을 합착시 내부의 공기가 제 3 보조씰패턴(30) 사이의 공간을 통해 바깥쪽으로 배출될 수 있으며, 이후 합착된 기판의 바깥쪽 면을 식각할 때 식각액이 제 2 보조씰패턴(40)의 개구부(T)를 통해 유입되더라도, 셀 영역의 내부까지 침투하는 것을 방지할 수 있다.
그러나, 이러한 씰패턴 구조에서는 공기가 빠져나가는 경로가 복잡하기 때문에, 씰패턴이 형성된 기판과 액정 표시 장치의 다른 기판을 배치한 다음 합착 정반을 이용하여 핫프레스(hot press)함으로써 두 기판을 합착시킬 때, 내부의 공기가 미처 외부로 빠져나가지 못하게 되므로, 내부의 공기 압력을 견디지 못하여 씰패턴이 터지는 문제가 발생한다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 액정 표시 장치를 경량화시키며 식각액의 침투를 방지하여 씰 패턴을 보호하고 불량을 방지할 수 있는 액정 표시 장치의 기판 식각 방법을 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은, 하나의 액정 패널이 되는 셀 영역이 다수 개 정의되는 제 1 및 제 2 기판을 구비하는 단계; 상기 제 1 기판 상에, 일부가 개방되고 상기 셀 영역의 둘레에 각각 위치하도록 하나 이상의 주씰패턴을 형성하는 단계; 상기 주씰패턴의 주변에 보조씰패턴을 형성하는 단계; 상기 보조씰패턴이 형성된 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 합착하는 단계; 상기 합착된 제 1 및 제 2 기판의 적어도 일측면에 상기 제 1 및 제 2 기판 사이가 노출되지 않도록 테이프 형태로 이루어진 식각방지물을 형성하는 단계; 상기 식각방지물이 형성된 제 1 및 제 2 기판을 식각용기에 담가 기판의 표면을 식각하는 단계를 포함하거나, 또는 하나의 액정 패널이 되는 셀 영역이 다수 개 정의되는 제 1 및 제 2 기판을 구비하는 단계; 상기 제 1 기판 상에, 일부가 개방되고 상기 셀 영역의 둘레에 각각 위치하도록 하나 이상의 주씰패턴을 형성하는 단계; 상기 주씰패턴의 주변에 보조씰패턴을 형성하는 단계; 상기 보조씰패턴이 형성된 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 합착하는 단계; 상기 합착된 제 1 및 제 2 기판의 적어도 일측면에 상기 제 1 및 제 2 기판 사이가 노출되지 않도록 봉지형태로 이루어진 식각방지물을 형성하는 단계; 상기 식각방지물이 형성된 제 1 및 제 2 기판을 식각용기에 담가 기판의 표면을 식각하는 단계를 포함하거나, 또는 하나의 액정 패널이 되는 셀 영역이 다수 개 정의되는 제 1 및 제 2 기판을 구비하는 단계; 상기 제 1 기판 상에, 일부가 개방되고 상기 셀 영역의 둘레에 각각 위치하도록 하나 이상의 주씰패턴을 형성하는 단계; 상기 주씰패턴의 주변에 보조씰패턴을 형성하는 단계; 상기 보조씰패턴이 형성된 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 합착하는 단계; 상기 합착된 제 1 및 제 2 기판의 적어도 일측면에 상기 제 1 및 제 2 기판 사이가 노출되지 않도록 캡핑형태로 이루어진 식각방지물을 형성하는 단계; 상기 식각방지물이 형성된 제 1 및 제 2 기판을 식각용기에 담가 기판의 표면을 식각하는 단계를 포함한다.
여기서, 식각방지물은 테이프형태로 이루어질 수도 있는데, 이때 테플론 물질로 이루어지는 것이 좋다.
삭제
이와 같이, 본 발명에서는 액정 표시 장치를 경량화하기 위해 기판을 식각하는데 있어서, 셀 영역을 정의하는 주씰패턴과 주씰패턴 둘레의 보조씰패턴을 형성하고 기판을 합착한 다음, 합착된 기판의 측면 둘레에 식각액에 영향을 받지 않는 물질로 식각방지물을 형성하여 기판을 식각한다. 따라서, 씰패턴의 불량을 방지할 수 있으며, 식각액이 기판 내부로 침투하는 것을 막을 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.
먼저, 도 5는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 씰패턴 구조를 도시한 평면도이다.
도 5에 도시한 바와 같이, 기판(110) 상에 각각의 셀 영역을 정의하는 다수의 주씰패턴(120)이 형성되어 있고, 각각의 주씰패턴(120)의 둘레에는 제 1 보조씰패턴(131, 132, 133, 134)이 형성되어 있으며, 기판(110)의 가장자리에는 제 2 보조씰패턴(140)이 형성되어 있다. 여기서, 주씰패턴(120)은 액정 주입을 위한 갭을 형성하고 주입된 액정의 누설을 방지하는 것으로, 이후 액정 주입을 하기 위한 주 입구(121)를 가지고 있고, 그 개수는 형성되는 액정 셀의 크기에 따라 달라질 수 있다. 또한, 제 1 보조씰패턴(131, 132, 133, 134)은 합착된 기판을 각각의 셀로 절단할 때 액정 셀을 유지하는 역할을 하며, 각각의 셀 영역에 대응하여 분리되어 있다.
따라서, 이러한 구조의 씰패턴을 이용하여 액정 표시 장치의 상부 및 하부 기판을 합착하면, 기판 내부에 위치하는 셀 영역 내의 공기들이 원활하게 배출되므로, 씰패턴의 터짐과 같은 문제를 방지할 수 있다.
이어, 합착된 기판 20매 정도를 한꺼번에 식각장치에 넣고 식각액에 담가 기판 표면을 식각하는 공정을 수행하는데, 이때 식각액이 기판 내부로 침투하지 못하도록 본 발명에서는 도 6에 도시한 바와 같이 합착된 두 기판의 둘레에 식각방지물(230)을 형성한다. 도 6은 합착된 기판을 상부에서 본 평면도로서, 도면부호 220은 상부 기판을 나타낸다.
이러한 식각방지물(230)은 다양한 형태로 이루어질 수 있는데, 그 실시예를 도 7a 내지 도 7c에 도시하였다.
도 7a 내지 도 7c에 도시한 바와 같이, 액정 표시 장치의 제 1 기판(210)과 제 2 기판(220)이 일정간격 씰패턴(도시하지 않음)에 의해 합착되어 있고, 두 기판(210, 220)의 가장자리, 즉 두 기판의 측면 둘레에는 식각액에 의해 영향을 받지 않는 성질을 가지는 식각방지물(230)이 형성되어 있어, 두 기판(210, 220) 사이의 영역을 밀폐시켜 식각액의 유입을 방지한다.
식각방지물(230)은 도 7a에 도시한 바와 같이 동일한 두께를 가지는 테이프(tape)형태로 이루어질 수 있고, 도 7b에 도시한 바와 같이 바깥쪽 부분이 볼록한 모양을 가지는 봉지형태로 이루어질 수 있으며, 또는 도 7c에 도시한 바와 같이 두 기판의 가장자리 바깥쪽 면까지 덮고 있는 캡핑(capping)형태로 이루어질 수도 있다.
앞서 언급한 바와 같이, 식각방지물(230)은 식각액에 의해 영향을 받지 않는 물질로 이루어져야 하는데, 이중 테이프형태의 식각방지물은 폴리테트라플루오르에틸렌(polytetrafluoroethylene : PTFE), 즉 테플론 (teflon)을 이용하여 형성할 수 있다.
이러한 테플론은 플라스틱 계통의 합성 수지 및 섬유로서 절연성이 뛰어난 물질인데, 흡수율이 0.00%이며 260℃ 이하에서 어떤 강한 산이나 강한 알칼리 용매에도 침범 당하지 않는다. 또한, 오랫동안 사용해도 노화하지 않고, 마찰계수는 가장 작으며 비점착성 물질로서, 온도 -100℃ 내지 260℃ 범위에서 사용 가능한 장점을 가진다.
한편, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 유리기판 식각장치(300)를 나타낸 도면으로서(도 2의 st12에 해당됨), 용기(311)와, 용기(311) 상부에 설치된 덮개(312)와, 용기(311) 내부에 설치된 버블판(313)으로 구성된다. 용기(311)와 덮개(312)는 봉지액(water sealant)(315)에 의해 봉지된다. 버블판(313)의 좌우에는 가스통(도시 안함)으로부터 질소(N2) 또는 산소(O2)를 공급하는 공기공급관(316)이 연결된다.
용기(311) 하부에는 화합물 혼합탱크(317)로부터 식각액을 공급하는 식각액 공급관(318)이 연결된다.
유리기판(321)의 식각에 사용된 식각액은 식각액 배출관(328)을 통해 필터(319)로 배출되고, 필터(319)에 의해 불순물이 제거된 후 버퍼탱크(322)에 저장된다. 버퍼탱크(322)에 저장되어 정화된 식각액은 화합물 혼합탱크(317)에 공급되며, 식각액 화합물을 공급하는 DI공급부(312)와 HF공급부(324)로부터 제공된 DI(증류수, deionized water) 및 HF와 혼합된다. 화합물 혼합탱크(317)에 설치된 농도측정장치(325)는 혼합탱크(317) 내의 혼합액의 농도를 측정하며, 이미 설정된 기준농도에 도달하면 DI와 HF의 공급이 중단된다. 이때, 기준농도는 1∼50%의 범위 내에서 설정한다. 또한 혼합탱크(317) 내부의 혼합액을 일정한 온도로 유지하기 위하여, 혼합탱크 내부에는 PCW(냉각수) 관(도시하지 않음)이 설치된다. 혼합탱크(317) 내에서 혼합된 식각액은 펌프(327)에 의해 용기 내로 제공된다.
용기(311)에서 일어나는 기판과 식각액의 발열반응으로 생기는 온도변화를 측정하기 위하여, 용기(311) 내부에는 온도측정장치(329)가 설치된다. 이 온도변화에 따라 기판이 식각되게 된다. 이와 같은 방법으로, 현재 시판되고 있는 1.4 ㎜ 두께의 기판을 0.5 ㎜ 이하까지 식각할 수 있다. 온도설정은 다음 식으로 결정하며, 최종 온도가 되면 자동적으로 식각을 중단한다.
Tt = Ti + (Kr ·N ·Δt2) / m,
(Tt : 최종온도, Ti : 초기온도, Kr : 반응상수, N : 기판의 수, Δt2 : 식각 하고자 하는 두께)
이러한 식각공정을 거쳐 기판의 두께는 얇아지게 된다.
상기 식각공정은 기판과 HF용액인 에천트의 발열 반응에 의한 온도변화에 의해 기판의 두께를 조절할 수 있다. 상기 공정에서 기판 합착 후 액정을 주입하고 식각공정을 진행할 수 있고, 기판 합착 후 식각공정을 진행하고 애정을 주입하여도 된다.
이와 같이, 본 발명에서는 합착된 기판의 측면 둘레에 또는 일부에 식각방지물을 형성하여 식각액이 기판의 내부로 침투하는 것을 방지할 수 있다.
상기의 실시예에서 기판의 표면을 식각한 후 셀을 절단하고 기판 사이에 액정을 주입하는 공정을 하게 된다. 또한, 액정을 주입한 후 기판의 표면을 식각하는 공정도 가능하다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
본 발명에서는 액정 표시 장치를 경량화하기 위해 기판을 식각하는데 있어서, 셀 영역을 정의하는 주씰패턴과 주씰패턴 둘레의 보조씰패턴을 형성하고 기판을 합착한 다음, 합착된 기판의 측면 둘레에 식각액에 영향을 받지 않는 물질로 식각방지물을 형성하여 기판을 식각한다. 따라서, 기판의 가압경화시 배기문제로 인한 씰패턴의 불량을 방지할 수 있으며, 식각액이 기판 내부로 침투하는 것을 막을 수 있다.

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 하나의 액정 패널이 되는 셀 영역이 다수 개 정의되는 제 1 및 제 2 기판을 구비하는 단계;
    상기 제 1 기판 상에, 일부가 개방되고 상기 셀 영역의 둘레에 각각 위치하도록 하나 이상의 주씰패턴을 형성하는 단계;
    상기 주씰패턴의 주변에 보조씰패턴을 형성하는 단계;
    상기 보조씰패턴이 형성된 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 합착하는 단계;
    상기 합착된 제 1 및 제 2 기판의 적어도 일측면에 상기 제 1 및 제 2 기판 사이가 노출되지 않도록 테이프 형태로 이루어진 식각방지물을 형성하는 단계;
    상기 식각방지물이 형성된 제 1 및 제 2 기판을 식각용기에 담가 기판의 표면을 식각하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 식각방지물은 테플론 물질로 이루어진 액정 표시 장치의 제조 방법.
  4. 하나의 액정 패널이 되는 셀 영역이 다수 개 정의되는 제 1 및 제 2 기판을 구비하는 단계;
    상기 제 1 기판 상에, 일부가 개방되고 상기 셀 영역의 둘레에 각각 위치하도록 하나 이상의 주씰패턴을 형성하는 단계;
    상기 주씰패턴의 주변에 보조씰패턴을 형성하는 단계;
    상기 보조씰패턴이 형성된 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 합착하는 단계;
    상기 합착된 제 1 및 제 2 기판의 적어도 일측면에 상기 제 1 및 제 2 기판 사이가 노출되지 않도록 봉지형태로 이루어진 식각방지물을 형성하는 단계;
    상기 식각방지물이 형성된 제 1 및 제 2 기판을 식각용기에 담가 기판의 표면을 식각하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  5. 하나의 액정 패널이 되는 셀 영역이 다수 개 정의되는 제 1 및 제 2 기판을 구비하는 단계;
    상기 제 1 기판 상에, 일부가 개방되고 상기 셀 영역의 둘레에 각각 위치하도록 하나 이상의 주씰패턴을 형성하는 단계;
    상기 주씰패턴의 주변에 보조씰패턴을 형성하는 단계;
    상기 보조씰패턴이 형성된 제 1 기판을 상기 제 2 기판과 합착하는 단계;
    상기 합착된 제 1 및 제 2 기판의 적어도 일측면에 상기 제 1 및 제 2 기판 사이가 노출되지 않도록 캡핑형태로 이루어진 식각방지물을 형성하는 단계;
    상기 식각방지물이 형성된 제 1 및 제 2 기판을 식각용기에 담가 기판의 표면을 식각하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 식각방지물은 테플론 물질로 이루어진 액정 표시 장치의 제조 방법.
KR1020010077070A 2001-12-06 2001-12-06 액정 표시 장치의 제조 방법 KR100809938B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010077070A KR100809938B1 (ko) 2001-12-06 2001-12-06 액정 표시 장치의 제조 방법
US10/309,900 US7336334B2 (en) 2001-12-06 2002-12-05 Fabrication method of liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010077070A KR100809938B1 (ko) 2001-12-06 2001-12-06 액정 표시 장치의 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030046809A KR20030046809A (ko) 2003-06-18
KR100809938B1 true KR100809938B1 (ko) 2008-03-06

Family

ID=19716726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020010077070A KR100809938B1 (ko) 2001-12-06 2001-12-06 액정 표시 장치의 제조 방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7336334B2 (ko)
KR (1) KR100809938B1 (ko)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100755645B1 (ko) * 2000-12-29 2007-09-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 및 그의 제조방법
JP4148086B2 (ja) * 2003-09-29 2008-09-10 セイコーエプソン株式会社 液晶パネルの製造方法及び液晶パネル
KR100561645B1 (ko) * 2003-10-13 2006-03-20 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시패널 및 그 제조방법
US7282749B2 (en) * 2003-12-26 2007-10-16 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Organic electroluminescent device and method of fabricating the same
US7038755B2 (en) * 2004-08-03 2006-05-02 Arima Computer Corporation Method for fabricating an LC panel having m×n panel patterns and 2m+2n seal patterns
KR100928926B1 (ko) * 2004-12-29 2009-11-30 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 실 경화공정 중 얼룩무늬 발생을감소시키는 랙 바구조를 가지는 실 경화로
KR20070084945A (ko) * 2006-02-22 2007-08-27 삼성전자주식회사 액정 패널용 모기판, 그의 절단 방법 및 그 방법에 의해형성된 액정 패널
TWI349130B (en) * 2006-05-12 2011-09-21 Chimei Innolux Corp Liquid crystal panel
US8169587B2 (en) * 2007-08-16 2012-05-01 Apple Inc. Methods and systems for strengthening LCD modules
JP5872182B2 (ja) * 2011-04-05 2016-03-01 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置の製造方法
US9315412B2 (en) * 2011-07-07 2016-04-19 Corning Incorporated Surface flaw modification for strengthening of glass articles
KR101897033B1 (ko) * 2011-10-27 2018-09-12 엘지이노텍 주식회사 광학 부재, 이를 포함하는 표시장치 및 이의 제조방법
US9488857B2 (en) 2014-01-10 2016-11-08 Corning Incorporated Method of strengthening an edge of a glass substrate
CN109471305A (zh) * 2018-12-21 2019-03-15 深圳市华星光电技术有限公司 显示面板制造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010065171A (ko) * 1999-12-29 2001-07-11 구본준, 론 위라하디락사 액정 표시장치의 씰 패턴 형성방법

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02138459A (ja) 1988-11-16 1990-05-28 Raimuzu:Kk 複合硬質材料及びその製造方法
JPH0679512B2 (ja) 1989-06-20 1994-10-05 シャープ株式会社 薄膜ｅｌパネルの製造方法
JP2722798B2 (ja) 1990-09-07 1998-03-09 カシオ計算機株式会社 薄型液晶表示素子の製造方法
JP3010325B2 (ja) * 1992-02-21 2000-02-21 キヤノン株式会社 液晶パネルの製造方法
JP2678325B2 (ja) 1992-03-06 1997-11-17 カシオ計算機株式会社 液晶表示素子の製造方法
JP2678326B2 (ja) 1992-03-06 1997-11-17 カシオ計算機株式会社 液晶表示素子の製造方法
JPH07168172A (ja) 1993-12-16 1995-07-04 Canon Inc 液晶表示装置及びその製造方法
KR0171092B1 (ko) * 1995-07-06 1999-05-01 구자홍 기판 제조방법
US6197209B1 (en) * 1995-10-27 2001-03-06 Lg. Philips Lcd Co., Ltd. Method of fabricating a substrate
JP3298451B2 (ja) * 1997-03-28 2002-07-02 三菱電機株式会社 液晶パネルの製造方法
KR100234896B1 (ko) * 1997-07-29 1999-12-15 구본준 액정표시장치의 기판 평탄화 방법
US6239855B1 (en) * 1997-08-25 2001-05-29 Sharp Kabushiki Kaisha Method for producing a liquid crystal display panel having dummy seal particles arranged in at least two arrays
KR100293435B1 (ko) * 1997-10-31 2001-08-07 구본준, 론 위라하디락사 위치검출액정디스플레이장치(pslcd)및이의제조방법
KR100347436B1 (ko) * 1999-12-16 2002-08-03 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정 표시장치의 씰 패턴 형성방법 및 그 방법에 의해제조된 씰 패턴
US6473148B1 (en) * 2000-11-28 2002-10-29 Yafo Networks, Inc. Seal pattern for liquid crystal device

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010065171A (ko) * 1999-12-29 2001-07-11 구본준, 론 위라하디락사 액정 표시장치의 씰 패턴 형성방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030046809A (ko) 2003-06-18
US20030107699A1 (en) 2003-06-12
US7336334B2 (en) 2008-02-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100809938B1 (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법
KR100493870B1 (ko) 액정 표시장치의 씰 패턴 형성방법
US6573968B2 (en) Seal pattern for liquid crystal display device and related method
US6958801B2 (en) Seal pattern for ultra-thin liquid crystal display device
US7532301B2 (en) Method for fabricating liquid crystal display panel including dummy sealant pattern
US6836311B2 (en) Seal pattern for liquid crystal display device including first, second and third dummy seal patterns in non-active area
KR100552798B1 (ko) 액정 표시 장치의 씰 패턴 및 그의 형성 방법
KR20030010135A (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법
KR100672633B1 (ko) 액정표시소자의 제조방법
US20020063838A1 (en) Liquid crystal panel for a liquid crystal display device
US6567152B2 (en) Method of fabricating liquid crystal display
JP2001100165A (ja) 表示装置の製造方法とエッチング装置及びエッチング方法
US20120002147A1 (en) Method for manufacturing liquid crystal display device and liquid crystal display device manufactured thereby
KR100870658B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조 방법
KR100965424B1 (ko) 평판 표시 소자의 제조방법 및 장치
KR100650341B1 (ko) 합착 장치
KR100720439B1 (ko) 액정패널의 제조방법
KR100494699B1 (ko) 액정표시장치의 칼라필터 제조방법
JP3671506B2 (ja) 液晶素子及びその製造方法
JP2010096809A (ja) 液晶表示装置、及びその製造方法
KR20070077995A (ko) 액정표시장치의 제조방법
KR20030018476A (ko) 박막 트랜지스터 표시소자의 칼라필터 수리방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121228

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131227

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150127

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160128

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170116

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190114

Year of fee payment: 12