KR100806223B1 - 기판 세정장치 - Google Patents

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KR100806223B1
KR100806223B1 KR1020070022459A KR20070022459A KR100806223B1 KR 100806223 B1 KR100806223 B1 KR 100806223B1 KR 1020070022459 A KR1020070022459 A KR 1020070022459A KR 20070022459 A KR20070022459 A KR 20070022459A KR 100806223 B1 KR100806223 B1 KR 100806223B1
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    • G02F1/1316—Methods for cleaning the liquid crystal cells, or components thereof, during manufacture: Materials therefor

Abstract

롤 브러싱(roll-brushing) 방식으로 평판표시패널 제조용 기판을 세정하는 작업에 사용되며, 특히 사이즈가 작은 소면적의 평판표시패널 제조용 기판을 간편하게 세정할 수 있는 기판 세정장치를 개시한다.
그러한 기판 세정장치는, 세정 작업이 진행되기 위한 작업면이 구비된 작업대와, 평판표시패널 제조용 기판이 로딩되기 위한 로딩플레이트를 구비하고 이 로딩플레이트가 상기 작업면에서 중심부를 기준으로 회전되는 회전체에 부착되는 회전 이송부와, 상기 작업면에서 상기 회전 이송부와 떨어져서 위치되며 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전되면서 평판표시패널 제조용 기판을 브러싱하기 위한 세정용 롤 브러쉬와, 상기 세정용 롤 브러쉬에 세정액을 공급하기 위한 유체 공급부 그리고, 상기 작업면에서 상기 세정용 롤 브러쉬의 위치를 두 방향 이상으로 변화시키기 위한 구동수단을 포함한다.
평판표시패널 제조용 기판, 세정용 롤 브러쉬, 롤 브러싱 방식의 세정 작업, 턴테이블 방식의 회전 이송부, 기판의 이송 효율 및 작업 호환성 향상, 소면적 기판의 세정 작업, 단면(單面) 또는 양면(兩面) 세정 작업

Description

기판 세정장치{substrate cleaning apparatus}
도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치의 전체 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치의 회전 이송부 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치의 구동수단 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치의 완충수단 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치의 커버수단 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 8 및 도 9는 도 7의 커버수단 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른실시예에 따른 기판 세정장치의 전체 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 도 10의 제2 세정부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 기판 세정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤 브러싱(roll-brushing) 방식으로 평판표시패널 제조용 기판을 세정할 수 있으며, 특히 사이즈가 작은 소면적의 평판표시패널 제조용 기판을 간편하게 세정할 수 있는 기판 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판표시패널 제조용 기판의 제조 공정 중에는 기판 표면에 달라붙은 각종 이물질을 제거하기 위한 세정 작업이 포함된다.
상기 세정 작업은 롤 브러싱 방식의 세정장치를 이용하여 평판표시패널 제조용 기판을 세정하는 방법이 널리 알려져 있다.
상기 롤 브러싱 방식의 세정장치는, 세정 작업이 진행되기 위한 베스 내부에 세정용 롤 브러쉬(brush)가 구비되며, 모터와 같은 구동원으로부터 동력을 전달받아 중심 축선을 기준으로 회전되면서 평판표시패널 제조용 기판 표면을 브러싱하는 방식으로 세정이 가능하게 이루어진다.
그리고, 상기 베스 내부에는 평판표시패널 제조용 기판을 이송시키기 위한 이송수단이 위치되며, 이 이송수단은 이송용 로울러들로 구성되는 통상의 로울러 컨베이어 구조로 이루어진다.
즉, 상기 이송수단은 평판표시패널 제조용 기판이 이송용 로울러들 외부면에 수평하게 얹혀진 상태로 세정용 브러쉬가 설치된 지점을 통과하면서 롤 브러싱 방식으로 세정 작업이 진행될 수 있도록 작동된다.
그러나, 상기 롤 브러싱 방식의 세정장치는, 상기 로울러 컨베이어 구조의 이송수단을 이용하여 평판표시패널 제조용 기판을 이송시키면서 세정 작업을 진행할 때에 다음과 같은 문제가 발생될 수 있다.
먼저, 평판표시패널 제조용 기판의 이송 구간을 따라 일정 간격을 두고 복수 개의 지점에 이송용 로울러들이 배치되므로 다양한 사이즈를 가지는 평판표시패널 제조용 기판들을 이송하기 어렵다.
예를들어, 핸드폰이나 PDA, 전자사전 또는 소형 모니터 등에 사용되는 소면적(대략 19inch 이하)의 평판표시패널 제조용 기판들은 이송용 로울러들 사이사이에 발생되는 빈 공간들 때문에 원활하게 이송될 수 없다.
이와 같이 이송용 로울러들 사이에 발생되는 빈 공간을 줄이기 위하여, 로울러 간격을 좁히거나 로울러 직경 크기를 작게 형성하는 방법이 제시되고 있지만 기판 이송시 빈 공간에 의해 발생되는 문제점들을 근본적으로 해결하기 어렵다.
또한, 상기 이송용 로울러들의 외부면에 평판표시패널 제조용 기판이 얹혀진 상태로 이송되므로 평판표시패널 제조용 기판과 이송용 로울러의 접촉면 사이에 슬립(slip) 현상이 쉽게 발생될 수 있다.
특히, 슬립 현상은 평판표시패널 제조용 기판의 표면에 각종 스크래치나 파티클(particle)을 유발하는 한 요인이 될 수 있다.
더욱이, 평판표시패널 제조용 기판이 이송용 로울러 위에 얹혀진 상태에서는 세정용 롤 브러쉬로 브러싱할 때에 작용하는 접촉 압력을 완충(緩衝)시키기 어렵다.
그러므로 세정 작업 중에 세정용 롤 브러쉬의 접촉 압력에 의해 각종 불량 품질이 발생될 수 있다.
그리고, 상기 롤 브러싱 방식의 세정장치는, 평판표시패널 제조용 기판들이 상기 이송수단에 의해 통상의 인라인(inline) 방식으로 이송되면서 세정 작업이 진행되므로 장치의 사이즈를 소형화하기 어렵다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 턴테이블(turntable) 방식으로 평판표시패널 제조용 기판을 이송시키면서 세정 작업을 진행할 수 있으며, 특히 사이즈가 작은 소면적의 평판표시패널 제조용 기판을 간편하게 세정할 수 있는 기판 세정장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,
세정 작업이 진행되기 위한 작업면이 구비된 작업대;
평판표시패널 제조용 기판이 로딩되기 위한 로딩플레이트를 구비하고 이 로딩플레이트가 상기 작업면에서 중심부를 기준으로 회전되는 회전체에 부착되는 회전 이송부;
상기 작업면에서 상기 회전 이송부와 떨어져서 위치되며 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전되면서 평판표시패널 제조용 기판을 브러싱하기 위한 세정용 롤 브러쉬;
상기 세정용 롤 브러쉬에 세정액을 공급하기 위한 유체 공급부;
상기 작업면에서 상기 세정용 롤 브러쉬의 위치를 두 방향 이상으로 변화시키기 위한 구동수단;
을 포함하는 기판 세정장치를 제공한다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치의 전체 구조를 설명하기 위한 도면으로서, 도면 부호 2는 작업대를 지칭한다.
상기 작업대(2)는 평판표시패널 제조용 기판(G, 이하 "기판"이라고 함.)의 세정 작업이 진행하기 위한 작업면(F)이 구비된다.
상기 작업면(2)에는 회전 이송부(4)이 위치되며, 이 회전 이송부(4)는 통상의 턴테이블(turntable) 방식으로 기판(G)의 이송이 가능하게 이루어진다.
이를 위하여 본 실시예에서는 도 1에서와 같이 중심 축선을 기준으로 회전되는 회전체(S) 외부면에 로딩플레이트(L)가 설치되어 이 로딩플레이트(L)에 기판(G)이 고정된 상태로 이송되도록 하고 있다.
상기 회전체(S)는 도면에는 나타내지 않았지만 상기 작업면(F)에서 서보 모터와 같은 구동원으로부터 통상의 방법으로 동력을 전달받아서 중심부를 기준으로 회전될 수 있도록 설치된다.
그리고, 상기 로딩플레이트(L)들은 기판(G)이 로딩되기 위한 로딩면(H)을 가지며, 상기 회전체(S)의 외부면 둘레를 따라 등분된 복수 개의 지점에 위치된다.
상기 로딩플레이트(L)들은 상기 작업면(F)에서 기판(G)이 세워진 상태로 로딩될 수 있도록 도 2에서와 같이 상기 로딩면(H)들이 각각 세워진 상태로 상기 회전체(S)에 설치된다.
상기 각 로딩면(H)은 기판(G)의 양쪽 면 중에서 어느 한쪽 면이 접촉 지지된 상태로 로딩될 수 있는 크기를 가지며, 복수 개의 흡착용 홀(H1)들이 구비된다.
상기 흡착용 홀(H1)들은 도면에는 나타내지 않았지만 진공 펌프와 연결되어 진공압에 의해 통상의 흡착 고정 방식으로 기판(G)을 분리 가능하게 고정하는 역할을 한다.
즉, 상기한 로딩플레이트(L)들은 기판(G)의 어느 한쪽 면이 상기 로딩면(H)과 접촉 지지되면서 상기 작업면(S)에서 세워진 로딩 상태로 고정할 수 있다.
이와 같이 로딩 구조는 예를들어, 롤 브러싱 방식으로 세정 작업을 진행할 때에 작용하는 접촉 압력에 의해 기판(G)이 흔들리거나 슬립이 발생되는 현상을 억제할 수 있다.
상기한 회전 이송부(4)는 상기 작업대(2)에서 도 3에서와 같이 통상의 턴테이블(turntable) 방식으로 기판(G)을 이송시킬 수 있으며, 특히 소면적(대략 19inch 이하)의 기판(G)들을 안정적인 로딩 상태로 이송시킬 수 있다.
그리고, 상기 기판(G)은 도 1에서와 같이 상기 작업대(2)의 어느 한 지점에 위치되는 로딩기(J)에 의해 상기 로딩플레이트(L)측에 공급되며, 상기 로딩기(J)는 통상의 흡착기가 사용될 수 있다.
한편, 상기 작업면(F)에는 롤 브러싱 방식으로 기판(G)을 세정하기 위한 세정용 롤 브러쉬(6)가 위치된다.
상기 세정용 롤 브러쉬(6)는 외부면에 세정모(B)가 부착되어 기판(G) 세정 작업에 사용되는 통상의 롤 브러쉬 구조로 이루어진다.
이러한 롤 브러쉬 구조는 해당 분야에서 이미 널리 알려지고 사용되는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기 세정용 롤 브러쉬(6)는 상기 작업면(F)에 위치된 고정플레이트(8)에서 브라켓트(10)에 의해 양측 단부가 회전 가능하게 지지된 상태로 위치된다.
그리고, 상기 세정용 롤 브러쉬(6)는 일측 단부가 모터(M) 축으로부터 통상의 방법으로 동력을 전달받아서 회전된다.
상기 고정플레이트(8)는 도 2에서와 같이 상기 회전 이송부(4)와 떨어져서 어느 하나의 로딩플레이트(L)에 대응하도록 세워진 상태로 상기 작업면(F) 위에 설치된다.
상기 세정용 롤 브러쉬(6)는 상기 고정플레이트(8)측에 한 개 또는 두 개 이상이 수평한 자세로 설치된다.
그리고, 상기 세정용 롤 브러쉬(6)는 도면에는 나타내지 않았지만 상기 작업면(F)으로부터 세워진 자세로 상기 고정플레이트(8)측에 설치될 수 있다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치는, 유체 공급부(12)를 포함 한다.
상기 유체 공급부(12)는 상기 세정용 롤 브러쉬(6) 외부면에 세정액(W)의 공급이 가능하게 이루어진다.
이를 위하여 본 실시예에서는 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 고정플레이트(8)측에 장방형의 공급 노즐(N)이 설치되어 이 공급 노즐(N)에 의해 세정액(W)이 공급되도록 하고 있다.
상기 세정액(W)은 기판(G)의 세정 작업에 널리 사용되는 통상의 DI워터(Deionized Water)가 사용된다.
그리고, 상기 공급 노즐(N)은 상기 세정용 롤 브러쉬(6)의 전체 길이에 대응하여 세정액(W)의 공급이 가능한 통상의 장방형(長方形)의 노즐이 사용될 수 있다.
상기 공급 노즐(N)은 도 2에서와 같이 세정액(W)이 담겨진 공급탱크(T1)와 관체로 연결되며 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 유체 펌프의 구동에 의해 세정액(W)을 공급받도록 셋팅된다.
그러므로, 상기한 공급 노즐(N)은 상기 세정용 롤 브러쉬(6)의 세정모(B)에 세정액(B)이 묻은 상태로 기판(G) 표면이 브러싱될 수 있도록 세정액(W)을 공급할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치는, 상기 세정용 롤 브러쉬(6)의 세정 위치를 변화시키기 위한 구동수단(14)을 포함한다.
상기 구동수단(14)은 도 2에서와 같이 제1 이송유니트(U1)와 제2 이송유니트(U2)로 구성될 수 있다.
상기 제1 이송유니트(U1)는, 상기 고정플레이트(8)의 일측면에서 상기 세정용 롤 브러쉬(6)가 위아래로 이동될 수 있도록 설치된다.
그리고, 상기 제2 이송유니트(U2)는 상기 작업면(F)과 상기 고정플레이트(8)의 저면 사이에 설치되어 이 고정플레이트(8)가 상기 작업면(F)을 따라 이동될 수 있도록 설치된다.
그리하여, 상기 세정용 롤 브러쉬(6)는 상기 제1 이송유니트(U1) 및 제2 이송유니트(U2)에 의해 상기 작업면(F)에서 두 방향으로 위치가 변화된다.
즉, 상기 제2 이송유니트(U2)에 의해 도 4에서와 같이 상기 어느 하나의 로딩플레이트(L)를 향하여 근접하거나 그 반대 방향으로 이동될 수 있도록 위치가 변화된다.
그리고, 상기 고정플레이트(8)에서 도 5에서와 같이 위아래로 수직 이동되면서 기판(G) 전체면을 브러싱할 수 있도록 위치가 변화된다.
그러므로, 상기 세정용 롤 브러쉬(6)들은 상기 구동수단(14)에 의해 세정모(B)들이 기판(G)의 어느 한쪽 면과 접촉된 상태에서 위아래로 위치가 변화되면서 브러싱 작업을 진행할 수 있다.
이와 같은 구조는 상기 세정용 롤 브러쉬(6)를 이용하여 다양한 사이즈를 가지는 기판(G) 전체면을 간편하게 브러싱할 수 있다.
그리고, 상기 구동수단(14)은 도면에는 나타내지 않았지만 상기 세정용 롤 브러쉬(6)가 상기 고정플레이트(8)측에 세워진 설치 상태에서는 기판(G)의 좌/우측으로 이동되면서 브러싱이 가능하도록 셋팅된다.
이러한 구조는 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치는, 도 6에서와 같이 완충수단(16)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 완충수단(16)은 상기 로딩플레이트(L)의 로딩면(H)에 작용하는 접촉 압력의 완충(緩衝)이 가능하게 이루어진다.
이를 위하여 본 실시예에서는 도 6에서와 같이 상기 로딩플레이트(L)와 상기 회전체(S)의 부착 지점 사이에 가이드축(18)과 탄성부재(C)를 설치하여 이 탄성부재(C)의 탄성력에 의해 접촉 압력이 완충되도록 하고 있다.
상기 가이드축(18)의 일측 단부는 상기 로딩플레이트(L)의 배면과 고정되고, 반대쪽 단부는 상기 회전체(S) 외부면과 통상의 방법으로 슬라이드 가능한 걸림 상태로 끼움 결합된다.
그리고, 상기 탄성부재(C)는 통상의 압축 코일 스프링이 사용되며, 상기 가이드축(18)에 끼워져서 양측 단부가 상기 로딩플레이트(L)와 상기 회전체(S)를 향하도록 설치된다.
즉, 상기 로딩플레이트(L)는 상기 세정용 롤 브러쉬(6)의 접촉 압력이 상기 로딩면(H)에 전달되면 상기 로딩플레이트(L)가 상기 가이드축(18)을 따라 탄력적으로 이동되면서 접촉 압력이 흡수된다.
그러므로, 상기 완충수단(16)은 기판(G)의 세정 작업을 진행할 때에 상기 세정용 롤 브러쉬(6)의 브러싱에 의해 기판(G)측에 전달되는 접촉 압력을 완충시킬 수 있다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치는, 도 7에서와 같이 커버수단(20)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 커버수단(20)은 내부에 공간이 마련된 박스 형태의 커버(22)가 사용되며, 상기 세정용 롤 브러쉬(6)가 외부로부터 가려지도록 상기 고정플레이트(8)측에 설치된다.(도 7참조)
상기 커버(22)는 상기 세정용 롤 브러쉬(6)가 기판(G)과 접촉될 수 있도록 일측면이 개방되어 있으며, 이 개방 지점에는 연결 접지구(24)가 부착된다.
상기 연결 접지구(24)는 통상의 플렉시블 튜브(주름관)가 사용되며, 상기 로딩플레이트(L)의 로딩면(H)과 접촉될 때에 연결 길이(Q)가 변화된다.
즉, 상기 연결 접지구(24)는 세정 작업 전에는 도 8에서와 같이 연결 길이(Q)가 확장된 상태가 된다.
그리고, 세정 작업을 진행할 때에는 상기 로딩면(H)과 접촉되어 도 9에서와 같이 연결 길이(Q)가 좁혀지면서 상기 세정용 롤 브러쉬(6)와 기판(G)이 접촉될 수 있도록 변화된다.
그러므로, 상기 커버(22)는 상기 세정용 롤 브러쉬(6)로 세정 작업을 진행할 때에 세정액(W)이 외부로 퍼지는 것을 차단할 수 있다.
상기 커버(22)의 하부에는 도 8에서와 같이 배수관(26)이 연결되며, 이 배수관(26)은 세정액(W)이 한 곳에 수거될 수 있는 공간을 가지는 저장탱크(T2)와 연결된다.
그리하여, 세정 작업을 진행할 때에 사용되는 세정액(W)은 상기 커버(22) 내부의 바닥면으로 낙하된 후 상기 배수관(26)을 따라 외부로 배수되면서 상기 저장탱크(T2) 내부에 수거된다.
따라서, 상기한 구조로 이루어지는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 세정장치는, 상기 회전 이송부(4)측에 로딩된 상태로 상기 세정용 롤 브러쉬(6)가 설치된 지점으로 기판(G)이 옮겨지면서 기판(G)의 양쪽 면 중에서 어느 한쪽 면을 브러싱하는 방식으로 세정할 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른실시예에 따른 기판 세정장치의 전체 구조를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이 실시예에서는 상기 작업대(2)에 두 개의 세정부 즉, 제1 세정부(D1)와 제2 세정부(D1, D2)가 구비되어 기판(G)의 양쪽 면을 연속적으로 세정할 수 있는 구조를 일예로 설명한다.
그리고, 아래에서 설명하지 않는 구조는 상기한 일실시예의 구조와 동일하게 이루어진다.
먼저, 상기 제1 세정부(D1)와 상기 제2 세정부(D2)는 상기 작업대(2)의 작업면(F)에서 일정 간격을 두고 떨어져서 위치된다.
상기 각 세정부(D1, D2)는, 회전체(S1, S2) 외부면 둘레를 따라 복수 개의 지점에 로딩플레이트(L1, L2)들이 부착된 회전 이송부(4a, 4b)를 포함한다.
상기 회전 이송부(4a, 4b) 둘레 외측에는 상기한 일실시예와 동일한 구조를 가지는 세정용 롤 브러쉬(6a, 6b)와 구동수단(14a, 14b)이 도 10에서와 같이 위치 된다.
그리고, 상기 제1 및 제2 세정부(D1, D2)에 대응하여 기판(G)을 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 통상의 흡착기 구조를 가지는 로딩기(J1)와 언로딩기(J2)가 설치된다.
상기 두 개의 세정부(D1, D2)는 기판(G)의 인수 또는 인계가 가능하게 이루어진다.
이를 위하여 본 실시예에서는 도 11에서와 같이 상기 제2 세정부(D2)의 로딩플레이트(L2)들이 회전체(S2)에서 구동원(M1)으로부터 동력을 전달받아서 전방을 향하여 위치가 변화되도록 고정 설치된다.
상기 구동원(M1)은 통상의 공압용 실린더가 사용될 수 있으며, 도면에서와 같이 피스톤 로드가 상기 로딩플레이트(L2)와 연결된다.
즉, 상기 제1 세정부(D1)에서 어느 한쪽 면이 세정된 기판(G)은 상기 제2 세정부(D2)의 로딩플레이트(L2)로 옮겨지면서 로딩된다.(도 11참조)
그러므로, 상기 작업대(2)에서 상기 제1 및 제2 세정부(D1, D2)를 순차적으로 거치면서 기판(G)의 양쪽 면을 간편하게 연속 세정할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은, 회전 이송부로 기판을 이송시키면서 세정용 롤 브러쉬를 이용한 롤 브러싱 방식으로 세정 작업을 간편하게 진행할 수 있다.
특히, 상기 회전 이송부는, 중앙 지점을 중심으로 회전되는 회전체 둘레를 따라 기판을 로딩하기 위한 로딩플레이트들이 부착되어 턴테이블 방식으로 기판을 이송시킬 수 있다.
그러므로, 상기 회전 이송부는 예를들어, 통상의 로울러 컨베이어 구조를 가지는 종래의 이송수단과 비교할 때 소면적의 기판(대략 19inch 이하)을 안정적인 상태로 이송시킬 수 있다.
그리고, 상기 회전 이송부는 기판의 양쪽 면 중에서 어느 한쪽 면 전체가 접촉 지지된 흡착 고정 상태로 이송이 가능하므로 기판의 이송 중에 슬립(slip) 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 세정 작업시 세정용 롤 브러쉬의 접촉 압력에 의해 기판의 로딩 자세나 위치가 변화되는 현상을 최대한 억제할 수 있다.
따라서, 본 발명은 평판표시패널 제조용 기판 중에서 특히 소면적의 기판 세정 작업을 진행할 때에 안정적인 상태로 이송이 가능하여 한층 향성된 기판 이송 효율 및 작업성을 확보할 수 있다.

Claims (11)

  1. 세정 작업이 진행되기 위한 작업면이 구비된 작업대;
    평판표시패널 제조용 기판이 로딩되기 위한 로딩플레이트를 구비하고 이 로딩플레이트가 상기 작업면에서 중심부를 기준으로 회전되는 회전체에 부착되는 회전 이송부;
    상기 작업면에서 상기 회전 이송부와 떨어져서 위치되며 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전되면서 평판표시패널 제조용 기판을 브러싱하기 위한 세정용 롤 브러쉬;
    상기 세정용 롤 브러쉬에 세정액을 공급하기 위한 유체 공급부;
    상기 작업면에서 상기 세정용 롤 브러쉬의 위치를 두 방향 이상으로 변화시키기 위한 구동수단;
    을 포함하는 기판 세정장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 로딩플레이트는,
    기판이 로딩되기 위한 로딩면을 가지며 상기 회전체 둘레를 따라 등분된 복수개의 지점에서 상기 로딩면이 상기 작업면으로부터 세워진 상태로 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 로딩플레이트는,
    진공압에 의한 흡착력으로 기판을 분리 가능하게 고정하기 위한 흡착용 홀들이 구비되는 기판 세정장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 세정용 롤 브러쉬는,
    외부면 둘레를 따라 부착된 세정모를 가지며, 한 개 이상이 한 조로 설치되는 기판 세정장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 유체 공급부는,
    상기 세정용 롤 브러쉬의 외부면을 향하여 공급 노즐로 세정액을 분사 공급하는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 세정장치는, 완충수단을 더 포함하며,
    상기 완충수단은,
    상기 회전체에서 상기 로딩플레이트를 슬라이드 가능하게 고정하기 위한 가이드축과, 이 가이드축의 양측단으로 탄성 반발력을 발생하는 탄성부재를 포함하는 기판 세정장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 세정장치는, 커버수단을 더 포함하며,
    상기 커버수단은, 일측면이 개방된 박스 형태의 커버가 사용되고 상기 작업면에서 상기 세정용 롤 브러쉬를 외부로부터 가릴 수 있도록 설치되는 기판 세정장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 커버는,
    개방면에 연결 접지구가 부착되며, 이 연결 접지구는 연결 길이가 변화될 수 있는 블렉시블 튜브가 사용되는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동수단은,
    공압용 이송 실린더가 사용되며 상기 세정용 롤 브러쉬 위치가 상기 작업면에서 수평 또는 수직 방향으로 이동되도록 셋팅되는 기판 세정장치.
  10. 세정 작업이 진행되기 위한 작업면이 구비된 작업대;
    상기 작업면 일측에 위치되어 평판표시패널 제조용 기판의 양쪽 면 중에서 어느 한쪽 면을 세정용 롤 브러쉬로 세정하기 위한 제1 세정부;
    상기 제1 세정부와 떨어져서 상기 작업면에 위치되며 상기 제1 세정부로부터 평판표시패널 제조용 기판이 옮겨지면서 다른 한쪽 면을 세정용 롤 브러쉬로 세정하기 위한 제2 세정부;
    를 포함하며,
    상기 제1 세정부 및 제2 세정부는,
    평판표시패널 제조용 기판이 로딩되기 위한 로딩플레이트를 구비하고 이 로딩플레이트가 상기 작업면에서 중심부를 기준으로 회전되는 회전체에 부착되는 회전 이송부;
    상기 작업면에서 상기 회전 이송부와 떨어져서 위치되며 구동원으로부터 동력을 전달받아 회전되면서 평판표시패널 제조용 기판을 브러싱하기 위한 세정용 롤 브러쉬;
    상기 세정용 롤 브러쉬에 세정액을 공급하기 위한 유체 공급부;
    상기 작업면에서 상기 세정용 롤 브러쉬의 위치를 두 방향 이상으로 변화시키기 위한 구동수단;
    을 포함하여 이루어지는 기판 세정장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 제1 세정부 또는 상기 제2 세정부는,
    상기 로딩플레이트가 구동원으로부터 동력을 전달받아 이동되면서 평판표시 패널 제조용 기판이 상기 제1 세정부와 상기 제2 세정부 사이에서 인수/인계될 수 있도록 위치 변화가 가능하게 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
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