KR100802661B1

KR100802661B1 - 테잎 이송 안내장치

Info

Publication number: KR100802661B1
Application number: KR1020070016227A
Authority: KR
Inventors: 최한현
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2007-02-15
Filing date: 2007-02-15
Publication date: 2008-02-13

Abstract

본 발명의 테잎 이송 안내장치는 지지 유닛과; 상기 지지 유닛에 서로 평행하게 설치되는 두 개의 가이드 레일들을 포함하여 구성되며, 상기 가이드 레일들에 각각 테잎이 삽입되어 이송되는 테잎 가이드 홈이 형성되고, 그 가이드 레일들의 상면에 각각 테잎 가이드 홈에 대한 위치를 표시하는 표시부가 구비된다. 이로 인하여, 두 개의 가이드 레일들의 폭을 조절 후 그 테잎이 위치하는 두 개의 가이드 레일들의 테잎 가이드 홈들 사이의 거리 측정을 간단하게 하고 또한 테잎이 두 개의 가이드 레일들의 테잎 가이드 홈들을 따라 원활하게 이송될 수 있도록 한 것이다.

Description

테잎 이송 안내장치{TAPE FEEDING GUIDER}

도 1은 구동 칩이 구비된 테잎을 도시한 평면도,

도 2는 본 발명의 출원인이 연구 개발 중인 본딩 장비를 개략적으로 도시한 정면도,

도 3은 상기 본딩 장비를 구성하는 테잎 이송 안내장치를 도시한 사시도,

도 4는 상기 본딩 장비를 구성하는 테잎 이송 안내장치를 분해하여 도시한 사시도,

도 5는 상기 테잎 이송 안내장치를 구성하는 가이드 레일들을 도시한 단면도,

도 6은 본 발명의 테잎 이송 안내장치의 일실시예를 도시한 사시도,

도 7,8은 본 발명의 테잎 이송 안내장치를 구성하는 가이드 레일들을 도시한 사시도 및 단면도,

도 9는 본 발명의 테잎 이송 안내장치를 구성하는 표시부의 다른 변형예를 도시한 사시도,

도 10은 본 발명의 테잎 이송 안내장치를 구성하는 체결 수단을 도시한 사시도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

310; 가이드 레일 312; 테잎 가이드 홈

313; 표시부 314; 원형공

315; 장공 316,317; 제1,2 볼트

본 발명은 테잎 이송 안내장치에 관한 것으로, 특히, 테잎을 작업 위치로 이송시 그 테잎의 파손을 방지하면서 그 테잎의 이송을 원활하게 하고, 아울러 그 테잎이 이송되는 가이드 홈들 사이의 거리 측정을 간편하게 할 수 있도록 한 테잎 이송 안내장치에 관한 것이다.

일반적으로 본딩 장비는 반도체 칩과 같은 미세 부품을 패키지 등에 접착시켜 칩과 패키지 간의 전기적 접속이 이루어지도록 하는 것이다. 그 반도체 칩과 패키지를 접착시키는 방식으로 열압착 또는 초음파 접착 방식이 사용된다.

엘시디 모니터의 경우 그 엘시디 패널에 다수개의 구동 회로가 구비되며, 그 구동 회로는 구동 칩과 그 구동 칩에 연결되는 다수개의 와이어 단자 등으로 구현된다.

상기 구동 회로는, 도 1에 도시한 바와 같이, 절연 필름(1)에 다수개의 단위 메탈 패턴(matel pattern)(2)이 형성된 테잎(tape)(T)에 구동 칩(3)을 그 테잎(T)의 단위 메탈 패턴(2)에 각각 접착하는 공정을 거쳐 제작되고, 그 테잎의 메탈 패턴(2)에 구동 칩(3)을 접착하는 공정은 본딩 장비에 의해 진행된다. 상기 메탈 패 턴(2)은 다수개의 와이어 단자를 이루게 된다.

상기 구동 칩(3)들은 원판 형상의 웨이퍼 유닛(wafer unit)에 다수 개 배열되도록 제작된다. 이와 같은 웨이퍼 유닛은 본딩 장비의 웨이퍼 공급유닛으로 공급된다.

도 2는 본 발명의 출원인이 연구 개발 중인 본딩 장비의 일예를 개략적으로 도시한 것이다.

이에 도시한 바와 같이, 상기 본딩 장비는 테잎(T)이 감겨진 릴(reel)(10)에서 테잎(T)이 풀리면서 테잎 피더(20)가 테잎(T)을 지속적으로 피딩하게 되며 그 테잎(T)은 테잎 안내유닛(30)을 따라 본딩 헤드(40)측으로 이동하게 된다. 이와 동시에, 구동 칩들이 배열된 웨이퍼 유닛이 웨이퍼 공급유닛(50)에 의해 공급되고 그 웨이퍼 공급유닛(50)의 측부에 위치한 칩 전달 유닛(60)이 웨이퍼 유닛에 배열된 구동 칩을 픽업하여 상기 본딩 헤드(40)측으로 이동시키게 된다.

상기 본딩 헤드(40)가 그 칩 전달 유닛(60)에 의해 공급되는 구동 칩을 흡착하여 테잎(T)의 단위 메탈 패턴에 접착시키게 된다. 이때, 상기 메탈 패턴과 구동 칩은 가열되고 가압되어 서로 접착되고, 그 테잎(T)의 하부에 하부 툴 및 본딩 스테이지가 위치하여 그 구동 칩 및 본딩 헤드(40)를 지지하게 된다.

이와 같은 과정이 반복되면서 웨이퍼 유닛에 배열된 구동 칩(3)들을 테잎(T)에 배열된 단위 메탈 패턴들에 각각 본딩시키게 된다. 상기 구동 칩(3)이 접착된 테잎(T)은 별도의 릴(11)에 감기게 된다.

도 3은 상기 본딩 장비에서 테잎을 이송시키는 구조를 도시한 사시도이다. 이에 도시한 바와 같이, 테잎을 이송시키는 동작은 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

먼저, 두 개의 가이드 레일(G)들을 포함하는 테잎 안내유닛에 테잎(T)이 놓여진 상태에서 두 개의 가이드 레일(G)들에 각각 위치하는 전방 피더(210)들과 후방 피더(220)들이 동시에 테잎(T)을 클램핑한 다음 설정된 거리만큼 테잎(T)의 진행 방향으로 이동하여 그 테잎(T)을 이송시키게 된다. 본딩 헤드(40)의 아래에 위치하는 본딩 스테이지(70)에 버큠(vacuum)이 작용하여 그 테잎(T)이 본딩 스테이지(70)에 고정된다.

그리고 상기 본딩 헤드(40)가 이동하여 그 본딩 헤드(40)에 흡착된 구동 칩을 테잎(T)의 메탈 패턴에 본딩시키게 된다.

이와 동시에, 상기 본딩 스테이지(70)의 버큠에 의해 테잎(T)이 고정된 상태에서 전방 피더들(210)과 후방 피더들(220)이 테잎(T)의 고정을 해제하고 테잎(T)의 진행 방향의 반대 방향으로 이동하게 된다.

상기 테잎(T)의 메탈 패턴에 구동 칩이 본딩되고 나면 상기 전방 피더(210)들과 후방 피더(220)들이 테잎(T)을 클램핑하여 위에서 설명한 바와 같이 테잎의 이송 방향으로 이동하면서 그 테잎(T)을 이송시키게 된다. 이와 같은 과정이 반복되면서 테잎(T)을 반복적으로 이송시키게 된다.

미설명 부호 230, 240은 프레임이고, 250은 테이블이다.

한편, 상기 테잎(T)의 이송을 안내하는 테잎 이송 안내장치는, 도 3, 4에 도시한 바와 같이, 일정 간격을 두고 위치하는 프레임들(230)(240)에 각각 평행하게 위치하는 두 개의 가이드 레일(G)들과, 그 가이드 레일(G)을 프레임들(230)(240)에 고정하는 체결 볼트(B)들을 포함하여 구성된다.

상기 가이드 레일(G)은 두 개의 프레임들(230)(240) 사이에 연결되는 제1 레일(260)과 그 제1 레일(260)의 양측에 각각 그 제1 레일(260)과 동일 선상으로 위치하는 제2 레일(270)들과, 상기 제1 레일(260) 위에 결합되어 그 제1 레일(260)과 함께 테잎(T)이 이송되는 가이드 홈(C)을 형성하는 제1 커버 플레이트(280)와, 상기 제1 레일(260)과 제1 커버 플레이트(280)를 체결하는 체결 불트(B)들과, 상기 제2 레일(270) 위에 결합되어 그 제2 레일(270)과 함께 테잎(T)이 이송되는 가이드 홈(C)을 형성하는 제2 커버 플레이트(290)와, 상기 제2 레일(270)과 제2 커버 플레이트(290)를 체결하는 체결 볼트(B)들을 포함하여 구성된다.

상기 제1,2 레일(260)(270)들은 내측 모서리에 직각 형태의 직각 홈(261)(271)이 형성되고 그 제1,2 레일(260)(270)들에 일정 두께와 상기 레일의 면적과 상응하는 면적을 갖는 커버 플레이트가 각각 결합되어 그 직각 홈(261)(271)과 커버 플레이트의 일면에 의해 테잎(T)이 이송되는 가이드 홈(C)을 형성하게 된다. 상기 레일의 직각 홈(261)(271)과 커버 플레이트에 의해 형성되는 가이드 홈(C)은 그 단면 형상이 일측이 개구된 디귿자 형상이 된다.

상기한 바와 같은 테잎 이송 안내장치는 전방 피더(210)들과 후방 피더(220)들의 작동에 의해 릴에서 풀리는 테잎(T)이, 도 5에 도시한 바와 같이, 가이드 레일(G)의 가이드 홈(C)을 따라 이송하도록 그 테잎(T)을 안내하게 된다. 이때, 테잎(T)의 양측 단부가 두 개의 가이드 레일(G)의 가이드 홈(C)에 각각 삽입된 상태 로 이송된다.

또한 상기 두 개의 가이드 레일(G)들은 본딩 장비에 구비된 폭 조절 장치에 의해 그 폭이 조절된다.

그러나 상기한 바와 같은 종래 테잎 이송 안내장치는 가이드 레일(G)을 구성하는 제1,2 레일(260)(270)들에 제1,2 커버 플레이트(280)(290)가 각각 고정 결합됨에 의해 그 가이드 레일(G)에 테잎(T)이 위치하는 가이드 홈(C)을 형성하게 되므로 테잎(T)이 가이드 레일(G)의 가이드 홈(C)을 따라 이송되는 과정에서 그 레일과 커버 플레이트의 틈새로 테잎(T)이 끼어 테잎(T)의 파손을 유발시키게 되는 문제점이 있다.

또한, 두 개의 가이드 레일(G)들의 폭을 조절 후 하나의 가이드 레일(G)의 가이드 홈(C)과 다른 하나의 가이드 레일(G)의 가이드 홈 사이의 거리(테잎의 폭에 해당됨)(L)를 측정시 커버 플레이트들을 레일들에서 분리시킨 후 하나의 레일의 직각 홈과 다른 하나의 레일의 직각 홈 사이의 거리를 측정한 후 그 커버 플레이트들을 레일들에 각각 다시 조립하여야 하므로 그 두 개의 가이드 레일(G)들에 각각 형성된 가이드 홈(C)들 사이의 거리를 측정하는 측정 작업이 번거로울 뿐만 아니라 측정 시간이 많이 소요되는 문제점이 있다.

또한, 가이드 레일(G)이 복수 개의 레일들로 구성되므로 테잎(T)을 가이드 레일(G)들의 가이드 홈(C)에 삽입시 그 레일과 레일의 연결부분에 테잎(T)이 걸리게 되는 문제점이 있다.

상기한 바와 같은 문제점들을 감안하여 안출한 본 발명의 목적은 테잎을 작업 위치로 이송시 그 테잎의 파손을 방지하면서 그 테잎의 이송을 원활하게 하고, 아울러 그 테잎이 이송되는 가이드 홈들 사이의 거리 측정을 간편하게 할 수 있도록 한 테잎 이송 안내장치를 제공함에 있다.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 지지 유닛과, 상기 지지 유닛에 서로 평행하게 설치되는 두 개의 가이드 레일들을 포함하여 구성되며, 상기 가이드 레일들에 각각 테잎이 삽입되어 이송되는 테잎 가이드 홈이 형성되고, 그 가이드 레일들의 상면에 각각 테잎 가이드 홈의 깊이에 대한 위치를 표시하는 표시부가 구비된 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 테잎 이송 안내장치를 첨부도면에 도시한 실시예에 따라 설명하면 다음과 같다.

도 6은 본 발명의 테잎 이송 안내장치의 일 실시예가 구비된 본딩 장비의 일부분을 도시한 사시도이다.

이에 도시한 바와 같이, 본 발명의 테잎 이송 안내장치는 지지 유닛과, 상기 지지 유닛에 서로 평행하게 설치되어 테잎의 이송을 안내하는 두 개의 가이드 레일(310)들을 포함하여 구성된다.

상기 지지 유닛은 일정 간격을 두고 서로 평행하게 위치하는 두 개의 전방 프레임(320)들과, 상기 전방 프레임(320)들과 일정 거리를 두고 서로 평행하게 위치하는 두 개의 후방 프레임(330)들을 포함하여 구성된다. 상기 두 개의 전방 프레 임(320)들과 두 개의 후방 프레임(330)들은 서로 대응되게 위치할 뿐만 아니라 하나의 전방 프레임(320)과 하나의 후방 프레임(330)은 일직선상에 위치하게 되고 또한 다른 하나의 전방 프레임(320)과 다른 하나의 후방 프레임(330)은 일직선상에 위치하게 된다.

상기 두 개의 가이드 레일(310)들 중 하나는 전방 프레임(320)과 후방 프레임(330)에 걸쳐 위치하게 되고, 다른 가이드 레일(310)은 다른 전방 프레임(320)과 다른 후방 프레임(330)에 걸쳐 위치하게 된다.

상기 전방 프레임(320)들과 후방 프레임(330)들에는 테잎을 이송시키는 전방 피더(340)들과 후방 피더(350)들이 각각 구비된다. 또한, 상기 전방 프레임(320)들과 후방 프레임(330)들에는 두 개의 가이드 레일(310)들의 폭을 조절하는 폭 조절 장치가 각각 구비될 수 있다.

상기 두 개의 가이드 레일(310)들은 각각 일정 길이를 가지는 하나의 레일 몸체(311)와 상기 레일 몸체(311)에 형성되며 테잎이 삽입되어 이송되는 테잎 가이드 홈(312)과, 상기 레일 몸체(311)의 상면에 형성되어 그 테잎 가이드 홈(312)에 대한 위치를 표시하는 표시부(313)를 포함하여 이루어진다.

상기 테잎 가이드 홈(312)은 서로 대면되는 가이드 레일(310)의 내측면에 형성되고, 그 테잎 가이드 홈(312)의 단면 형상은 디귿자 형상으로 형성된다. 상기 테잎 가이드 홈(312)의 단면 형상은 반구 형태 등 테잎이 삽입되어 이송될 수 있는 다양한 형태로 형성될 수 있고, 가공상 단면이 디귿자 형상인 것이 바람직하다.

도 8에 도시한 바와 같이, 상기 두 개의 가이드 레일(310)들에 각각 형성된 테잎 가이드 홈(312)에 테잎의 양측 단부가 각각 위치하게 된다.

상기 표시부(313)는 상기 테잎 가이드 홈(312)의 깊이에 상응하는 영역에 일정 깊이를 갖는 형성된 표시 홈으로 이루어진다. 즉, 상기 표시 홈은 가이드 레일(310)의 내측 끝단부터 테잎 가이드 홈(312)의 깊이에 상응하는 거리만큼 그 가이드 레일(310)의 상면에 일정 깊이로 형성된다.

상기 표시부의 다른 변형예로, 도 9에 도시한 바와 같이, 상기 표시부(313)는 상기 테잎 가이드 홈(312)의 깊이에 해당되는 부분이 표시되도록 형성된 라인으로 이루어진다.

상기 하나의 가이드 레일(310) 상면에 형성된 표시부(313)와 다른 하나의 가이드 레일(310)의 상면에 형성된 표시부(313) 사이의 거리(L)를 측정함에 의해 그 두 개의 가이드 레일(310)에 각각 형성된 테잎 가이드 홈(312) 내벽 사이의 거리(L)를 측정할 수 있게 된다.

상기 두 개의 가이드 레일(310)은 각각 하나의 몸체로 이루어지며, 그 가이드 레일(310)들은 각각 체결수단에 의해 전방 프레임(320)과 후방 프레임(330)에 각각 체결된다.

상기 체결수단은, 도 10에 도시한 바와 같이, 가이드 레일(310)의 일측 단부에 관통 형성되는 원형 형태의 원형공(314)과 타측 단부에 형성되는 타원 형태의 장공(315)과, 상기 원형공(314)에 삽입되어 상기 지지 유닛에 체결되는 제1 볼트(316)와, 상기 장공(315)에 삽입되어 상기 지지 유닛에 체결되는 제2 볼트(317)를 포함하여 구성된다. 상기 장공(315)의 길이 방향은 가이드 레일(310)의 길이 방 향과 동일 방향으로 위치하게 된다.

상기 가이드 레일(310)이 체결수단에 의해 전방 프레임(320) 및 후방 프레임(330)에 체결됨에 의해 그 가이드 레일(310)의 자체 변형 발생시 그 가이드 레일(310)의 장공(315)이 그 변형을 흡수하게 된다. 상기 가이드 레일(310)이 하나의 몸체로 이루어질 경우 그 가이드 레일(310)들의 폭을 조절하는 폭 조절 장치의 구성 부품을 조립시 그 조립 오차가 발생하게 될 경우 그 가이드 레일(310)의 변형을 흡수하게 된다.

상기 가이드 레일(310)의 변형예로, 그 가이드 레일은 복수 개의 레일로 구성되며, 그 복수 개의 레일들에 각각 테잎 가이드 홈이 형성되고, 그 복수 개의 레일들의 상면에 각각 그 테잎 가이드 홈의 위치를 표시하는 표시부가 형성된다. 상기 테잎 가이드 홈의 형상과 표시부의 형상은 위에서 설명한 테잎 가이드 홈(312)과 표시부(313)의 형상과 같이 구현될 수 있다.

이하, 본 발명의 테잎 이송 안내장치의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 릴에 감겨있는 테잎이 풀려 두 개의 가이드 레일(310)의 테잎 가이드 홈(312)에 삽입된다. 즉, 테잎의 양측 단부가 두 개의 가이드 레일(310)의 테잎 가이드 홈(312)에 각각 삽입된다. 이와 같은 상태에서, 위에서 설명한 바와 같이, 상기 전방 피더(340)들과 후방 피더(350)들이 동시에 움직이면서 그 테잎을 이송시키게 된다. 상기 테잎은 두 개의 가이드 레일(310)들의 테잎 가이드 홈(312)에 삽입된 상태에서 그 두 개의 가이드 레일(310)들을 따라 이송하게 된다.

본 발명은 가이드 레일(310)의 측부에 테잎의 이송을 안내하는 테잎 가이드 홈(312)을 형성하게 되므로 테잎이 그 테잎 가이드 홈(312)을 따라 이송될 때 그 테잎이 테잎 가이드 홈(312) 내에 끼여 걸리는 것을 방지하게 된다. 즉, 테잎 가이드 홈(312)은 가이드 레일(310)의 내측면에 일정 폭과 깊이를 갖도록 형성되므로 그 테잎 가이드 홈(312) 내부에 테잎이 끼는 것을 방지하게 된다.

또한, 두 개의 가이드 레일(310)들의 폭을 조절한 후 테잎이 삽입되는 두 개의 가이드 레일(310)의 테잎 가이드 홈(312)들 사이의 거리(테잎의 폭에 해당됨)(L)를 측정할 때 그 두 개의 가이드 레일(310)들의 상면에 각각 형성된 표시부(313)들의 거리(L)를 측정하면 되므로 그 두 개의 가이드 레일(310)들의 테잎 가이드 홈(312)들 사이의 거리(L) 측정이 간단하게 된다.

종래의 가이드 레일들은 레일에 커버 플레이트를 결합시켜 테잎이 이송되는 가이드 홈을 형성하게 되므로 그 가이드 레일들의 가이드 홈 거리를 측정시 그 커버 프레이트를 분해/조립해야될 뿐만 아니라 테잎이 이송시 그 레일과 커버 플레이트에 끼여 테잎이 파손되는 등의 문제점이 있으나, 본 발명은 이와 같은 문제점을 모두 해소할 수 있다.

또한, 본 발명의 가이드 레일(310)들이 각각 하나의 몸체로 구성될 경우 테잎이 가이드 레일(310)의 테잎 가이드 홈(312)에 삽입된 상태에서 그 두 개의 가이드 레일(310)들을 따라 이송할 때 연결 부분이 배제되어 테잎이 그 연결 부분에 걸리는 것을 방지하게 되어 테잎의 이송이 원활하게 된다.

본 발명의 테잎 이송 안내장치는 본딩 장비 이외에 테잎의 이송을 안내하는 장치에 적용될 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 테잎 이송 안내장치는 두 개의 가이드 레일들의 폭을 조절 후 그 테잎이 위치하는 두 개의 가이드 레일들의 테잎 가이드 홈들 사이의 거리 측정이 간단하게 되고 또한 그 거리 측정 시간을 단축시키게 되므로 두 개의 가이드 레일들의 폭 조절 공정 시간을 단축시키고, 또한 테잎이 두 개의 가이드 레일들의 테잎 가이드 홈들을 따라 원활하게 이송되므로 테잎 이송시 테잎의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims

지지 유닛과;

상기 지지 유닛에 서로 평행하게 설치되는 두 개의 가이드 레일들을 포함하여 구성되며,

상기 가이드 레일들에 각각 테잎이 삽입되어 이송되는 테잎 가이드 홈이 형성되고, 그 가이드 레일들의 상면에 각각 테잎 가이드 홈의 위치를 알 수 있도록 표시하는 표시부가 구비된 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치.
제 1 항에 있어서, 상기 테잎 가이드 홈은 서로 대면되는 가이드 레일의 내측면에 형성되고, 그 단면 형상은 디귿자 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치.
제 1 항에 있어서, 상기 표시부는 상기 테잎 가이드 홈의 깊이와 같은 영역에 일정 깊이를 갖는 홈이 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치.
제 1 항에 있어서, 상기 표시부는 상기 테잎 가이드 홈의 깊이에 해당되는 부분이 표시되도록 라인이 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치.
제 1 항에 있어서, 상기 가이드 레일은 하나의 몸체로 이루어진 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치.
제 1 항에 있어서, 상기 가이드 레일들은 각각 그 가이드 레일의 일측 단부에 원형 형태의 원형공이 관통 형성되고, 그 타측 단부에 타원 형태의 장공이 형성되며, 상기 원형공과 장공에 각각 삽입되어 상기 지지유닛에 체결되는 체결수단이 구비된 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치.
제 6 항에 있어서, 상기 원형공에 삽입되는 체결수단은 제1 볼트이고, 장공에 삽입되는 체결수단은 제2 볼트인 것을 특징으로 하는 테잎 이송 안내장치.