KR100799858B1 - 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더 및 이를 이용한 적층세라믹 기판 제조방법. - Google Patents

적층 세라믹 기판 소성용 가압로더 및 이를 이용한 적층세라믹 기판 제조방법. Download PDF

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Abstract

본 발명의 일측면은, 세라믹 적층체 표면의 테두리 영역에 적재되어 상기 테두리 영역을 가압하는 외부로더(outer loader), 및 상기 테두리 영역을 제외한 상기 적층체의 내부영역에 적재되어 상기 내부영역을 가압하는 내부로더(inner loader)를 포함하는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더를 제공한다.
또한 본발명의 다른 측면으로는, 상기 가압로더를 이용하여 적층 세라믹 기판을 제조하는 방법을 제공한다.
적층체(laminated body), 소성(firing), 로더(loader)

Description

적층 세라믹 기판 소성용 가압로더 및 이를 이용한 적층 세라믹 기판 제조방법.{PRESSURE LOADER FOR LAMINATED CERAMIC SUBSTRATE FIRING AND METHOD OF MANUFACTURING LAMINATED CERAMIC SUBSTRATE USING THE SAME }
도1은, 본 발명 일측면의 바람직한 실시형태에 따른 적층 세라믹 기판 소성용 로더의 분해 사시도이다.
도2는, 본 발명 다른 측면의 바람직한 실시형태에 따른 적층 세라믹 기판 제조방법의 공정도이다.
도3a 및 도3b는, 본 발명 다른 측면의 일 실시예에 따라 제조된 적층 세라믹 기판과 종래기술에 의한 적층 세라믹 기판의 수축율 및 캠버를 비교한 그래프이다.
도4는, 본 발명 다른 측면의 일 실시예에 따라 제조된 적층 세라믹 기판과 종래 기술에 의한 적층 세라믹 기판의 제조 단계별 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호설명>
11 : 세라믹 적층체 11a: 내부 영역
11b: 테두리 영역 12 : 외부로더
13 : 내부로더 14 : 탑로더
본 발명은, 세라믹 적층체 소성시 사용되는 로더 및 이를 이용한 적층 세라믹 기판 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 세라믹 적층체의 상면의 테두리 영역을 상기 테두리 영역이 제외된 내부영역보다 더 높은 압력으로 가압하여 소성함으로써, 소성후 평탄한 세라믹 기판을 얻을 수 있는 로더 및 이를 이용한 세라믹 기판 제조방법에 관한 것이다.
유리-세라믹을 이용한 다층 세라믹 기판은 3차원 구조의 회로 구현 및 캐비티 형성이 가능하므로, 높은 설계 유연성을 가지고 다양한 기능의 소자를 내장할 수 있다. 이로 인해, 소형화, 고기능화 되는 고주파 부품 시장에서 다층 세라믹 기판의 활용도는 점차 높아지고 있다.
현재 간단한 RF 소자 및 저용량 L,C 소자들은 대부분 내장이 가능하지만, 전원 디커플링(decoupling)용 등으로 사용되는 고용량 캐패시터는 재료 및 공정의 제한으로 인해 아직까지 만족할 만한 특성을 구현하지 못하고 있다. 저유전율 배선층 사이에 고용량 유전층을 삽입하기 위해 이종재료의 접합이 요구되는데, 이러한 이종재료의 접합 동시 소성시 서로 다른 소성 수축 거동에 의해서 기판이 휘거나 층간 박리되는 현상이 발생한다.
이러한 문제를 해결하기 위해 접합 기판을 강제로 구속 소성하여 수축 거동 차이에 의한 기판 불량을 줄이는 방법이 사용되고 있는데, 이러한 방법으로는 적층체의 상하면에 가요성 구속층을 접합하여 x-y 방향 수축을 억제하는 방법과 소성시 기판에 큰 하중을 주어 수축을 억제하는 방법, 또는 이 두 가지를 병행하는 방법등이 사용되고 있다.
적층체 상하면에 가요성 구속층을 접합하여 소성하는 경우, 구속층의 두께가 적층체의 두께에 비해 크게 높지 않으면 소성시 기판의 뒤틀림이 발생하게 되며, 이를 방지하기 위해 구속층의 두께를 크게 높이면 소성 과정에서 세라믹 적층체에서 발생되는 유기물 및 휘발물질 등의 탈지가 제한되어 소성 특성이 나빠지게 된다.
하중을 이용한 가압 소성의 경우, 가압만으로 x-y 수축을 억제해야 하므로 기판에 매우 높은 압력을 가하게 되는데, 소성 과정에서 적층체의 파손이 발생하거나 역시 유기물등의 탈지를 위한 통로 부족으로 소성 특성이 저하될 수 있다.
이러한 두 가지 방법을 병행하여 얇은 두께의 구속층을 적층체의 표면에 접합하고 적층체에 손상이 되지 않는 낮은 하중을 가하는 방법이 있다. 그러나 구속층을 접합하고 가압 소성하는 경우에, 적층체의 최외곽 테두리에 위치한 입자는 한쪽 면이 허공에 노출되므로 적층체 내부의 입자에 비해 주변 입자에 의한 구속력이 약해질 수 밖에 없다. 허공에 접하는 테두리 영역에 위치한 입자들 또한 주변입자에 의한 구속력이 상대적으로 약해지며, 이러한 영향에 의해 적층체 내부와 수축 거동이 달라지게 되는 영역이 존재하게 된다. 구속력이 약해지는 적층체의 테두리 영역은 내부영역에 비해 x-y 방향 수축이 커지게 되며, 부피 수축은 일정하게 유지 되므로 두께 방향 수축은 감소하게 된다. 즉, 적층체의 외곽 테두리로부터 일정거리 이내의 영역은 내부 영역에 비해 두께 수축이 덜 되므로 소성 후 기판은 가운데가 얇고 테두리 영역이 두꺼운 형상이 된다.
이와 같이 소성이 진행되는 동안 적층체 내부가 얇아지면 하중을 주는 가압면과 적층체의 표면이 분리되어 적층체 내부영역은 무가압 상태가 된다. 따라서 순전히 구속층에 의해서만 x-y 방향 수축이 억제되어 가압에 의한 효과는 사라지므로 내부의 수축율이 증가하게 된다. 또한 IC 등의 부품 장착을 위해 표면을 평탄화시켜야 하는데, 소성 중에 일시적으로 적층체의 내부가 무가압 상태이므로 평탄도가 떨어지고 소성 후에 외곽이 두꺼워지므로 평탄화를 위한 래핑 공정의 시간이 증가하게 되는 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은, 적층 세라믹 기판을 제조하기 위해 세라믹 적층체를 소성시 적층체의 테두리 영역과 내부 영역에 대해 별도로 가압을 하여 적층체의 테두리 영역과 내부 영역 사이의 수축율을 차이를 줄일 수 있는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 상기 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더를 이용하여 전체적으로 평탄한 표면을 갖는 적층 세라믹 기판 제조방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 일측면은, 세라믹 적층체 상면의 테두리 영역에 적재되어 상기 테두리 영역을 가압하는 외부로더(outer loader), 및 상기 테두리 영역을 제외한 상기 적층체의 내부영역에 적재되어 상기 내부영역을 가압하는 내부로더(inner loader)를 포함하는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더를 제공한다.
상기 외부로더는, 상기 세라믹 적층체의 내부영역에 대응하는 부분이 관통된 형태일 수 있으며, 상기 내부로더는, 상기 외부로더의 관통된 영역에 삽입되는 블럭 형태일 수 있다.
바람직하게는, 상기 외부로더는, 상기 세라믹 적층체의 테두리 영역에 적재시 그 상면이 상기 내부로더의 상면보다 높게 위치되도록 형성될 수 있다.
상기 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더는, 상기 외부로더의 상면에 적재되어 상기 외부로더를 가압하는 탑로더를 더 포함할 수 있다.
상기 탑로더는, 그물망 구조인 것이 바람직하며, 상기 외부로더 및 내부로더를 동시에 가압할 수 있도록 탄성을 가질 수 있다.
본 발명의 다른 일측면은, 복수개의 그린시트가 적층된 세라믹 적층체를 형 성하는 단계와, 상기 적층체 상면의 테두리 영역이 상기 적층체 상면의 테두리 영역을 제외한 내부영역보다 낮아지도록 1차 가압하는 단계, 및 상기 1차 가압된 적층체의 테두리 영역 및 내부영역을 각각 2차 가압한 상태에서 소성하는 단계를 포함하는 적층 세라믹 기판 제조 방법을 제공한다.
상기 1차 가압하는 단계는, 테두리 압착용 지그를 사용할 수 있으며, 이 경우, 상기 테두리 압착용 지그는, 상기 적층체의 테두리 영역에 대응하는 부분에 돌출부가 형성된 평판형 지그일 수 있다.
상기 적층체를 소성하는 단계는, 상기 테두리 영역과 내부영역의 상면에 각각 적재되는 별개의 로더를 사용할 수 있으며, 상기 별개의 로더는, 상기 테두리 영역을 가압하는 외부로더, 및 상기 내부영역을 가압하는 내부로더를 포함할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하겠다.
도1은 본 발명 일측면의 바람직한 실시 형태에 따른 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더의 분해 사시도이다.
도1을 참조하면, 본 실시형태에 따른 적층 세라믹 기판 소성용 가압 로더는, 외부로더(12), 내부로더(13) 및 탑로더(14)를 포함한다.
본 실시형태에 따른 가압로더를 사용하기 위해서는, 소성되는 세라믹 적층 체(11)는 그 상면의 테두리 영역(11b)이 내부 영역(11a)보다 강하게 가압되어 상기 테두리 영역이 내부영역보다 낮게 형성되는 형태임이 바람직하다.
상기와 같은 형태의 세라믹 적층체(11)를 얻기 위해서, 그린시트를 적층한 후에 상기 적층체의 테두리 영역에 대한 압력이 내부영역에 대한 압력보다 더 크게 가압할 수 있는 가압용 지그를 사용할 수 있다. 상기 가압용 지그는, 상기 적층체의 테두리 영역과 대면하는 부분에 돌출부가 형성된 평판형 지그를 사용함이 바람직하다.
적층 및 가압공정을 거친 세라믹 적층체(11)를 소성시에 본 실시형태의 가압용 로더가 사용된다. 이는 소성시 세라믹 적층체(11)의 상면에 압력을 가하여 적층체의 x-y 방향에 대한 수축을 방지하기 위함이다.
본 실시형태에서는, 상기 세라믹 적층체(11)의 테두리영역(11b)의 상면에는 외부로더(12)를 적재하고, 상기 세라믹 적층체(11)의 내부영역(11a)의 상면에는 내부로더(13)를 적재하여, 소성시 상기 세라믹 적층체(11)의 테두리 영역(11b) 및 내부영역(11a)을 각각 가압하도록 한다.
상기 외부로더(12)는, 상기 가압된 적층 세라믹 기판(11)의 테두리 영역(11b)에만 가압할 수 있도록, 상기 적층 세라믹 기판(11)의 내부영역(11a)과 대응하는 부분이 관통된 관형태이다.
상기 내부로더(13)는, 상기 가압된 적층 세라믹 기판(11)의 내부영역(11a)에만 가압할 수 있도록, 상기 적층 세라믹 기판(11)의 내부영역(11)에 대응하는 하면을 갖는 블록형태이다.
상기 내부로더(13)는 상기 외부로더(12)의 관내에 삽입되도록 배치됨이 바람직하다.
상기 내부로더 및 외부로더는 내화성 산화물이나 합금을 사용하는 것이 바람직하며, 상기 내부로더 및 외부로더의 형태는, 상기 세라믹 적층체의 테두리 영역 및 내부 영역을 별도로 가압한다는 본 발명의 취지를 유지하는 한 다양한 형태로 제조될 수 있다.
상기 적재된 내부로더(13) 및 외부로더(12)의 상면에는 상기 내부로더(13) 및 외부로더(12)를 동시에 가압할 수 있는 탑로더(14)가 적재될 수 있다.
상기 내부로더(13) 및 외부로더(12)가 상기 적층 세라믹 기판(11) 상에 적재된 후에 상기 외부로더(12)의 상면이 상기 내부로더(13)의 상면보다 높게 위치하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 탑로더(14)는 상기 외부로더(12)의 상면에 접촉하도록 적재되어 상기 외부로도(12)에만 가압하게 된다.
이렇게 탑로더(14)에 의해 상기 외부로더(12)를 가압함으로써, 구속력이 약한 세라믹 적층체의 테두리 영역(11b)을 내부영역(11a)보다 높은 압력으로 가압할 수 있어 내부영역(11a)과 테두리 영역(11b)의 수축율 차이를 줄일 수 있고 전체적으로 평탄한 기판을 만들 수 있다.
상기 탑로더(14)는 다공성 구조를 갖도록 그물망 형태인 것이 바람직하다. 이러한 그물망 형태를 갖춤으로써, 상기 세라믹 기판의 소성시 발생되는 유기물이나 휘발성분이 탈지되는 것이 더 용이해진다.
또한, 상기 탑로더(14)는, 상기 내부로더(13) 및 외부로더(12)의 적재된 높이 차이를 보상할 수 있도록 약간의 탄성을 갖는 것도 바람직하다.
도2a 내지 도2c는, 본 발명 다른 측면의 바람직한 실시형태에 따른 적층 세라믹 기판 제조방법의 순서도이다.
본 바람직한 실시형태에 따르면, 적층 세라믹 기판 제조방법은, 적층체를 형성하는 단계와, 상기 적층체 표면의 테두리 영역이 상기 적층체 표면의 내부영역보다 더 낮아지도록 가압하는 단계, 및 상기 테두리 영역 및 내부 영역을 별개로 가압하며 소성하는 단계를 포함한다.
도2a는, 복수개의 그린시트가 적층된 세라믹 적층체(21)를 형성하는 단계이다.
상기 세라믹 적층체(21)는 복수개의 그린시트가 적층되어 형성된다. 상기 적층된 그린시트들의 사이에는 내부 전극패턴이 형성되어 있으며, 상기 내부 전극들은 상기 그린시트를 관통하는 도전성 비아홀에 의해 서로 연결된다.
상기 세라믹 적층체(21)가 형성되는 과정은, 각각의 그린시트 상에 도전성 페이스트를 인쇄하거나, 증착, 또는 스퍼터링 방식으로 내부 전극을 형성하고, 상기 내부 전극이 다른 층의 내부 전극과 연결될 수 있도록 상기 그린시트 상에 도전성 비아홀을 형성한 후, 상기 각각의 그린 시트를 적층하는 단계를 거칠 수 있다.
도2b는, 상기 적층체 표면의 테두리 영역이 상기 적층체의 테두리 영역을 제 외한 내부영역보다 더 낮아지도록 가압하는 단계이다.
본 단계에서는, 적층체의 테두리 영역(21b)을 내부영역(21a)보다 더 강하게 압착하기 위해서, 상기 적층체(21)의 테두리 영역(21b)에 대응하는 부분에 돌출부(26a)가 형성된 평판형 압착용 지그(26)를 사용한다.
상기 압착용 지그(26)는 폴리 프로필렌, 혹은 폴리에틸렌 테레프탈레이트 등의 합성수지 필름, 즉 가요성을 가지는 재료로 구성됨이 바람직하다. 상기 지그(26)에 형성된 돌출부(26a)는 상기 압착용 지그(26)가 상기 세라믹 적층체(21)를 압착하는 공정에서 상기 세라믹 적층체(21)의 테두리 영역(21b)을 상기 내부 영역(21a)보다 먼저 압착하는 역할을 한다. 따라서, 상기 적층체의 테두리 영역(21b)과 내부영역(21a)의 적층 높이를 다르게 형성할 수 있다.
본 실시형태에서, 상기 압착용 지그(26)는 상기 적층체(21)의 테두리 영역(21b)에 대응하는 부분에 돌출부(26a)가 형성된 평판형 압착용 지그를 사용한다. 상기 압착용 지그의 형태는, 상기 적층체(21)의 테두리 영역(21b)을 상기 내부 영역(21a)보다 강하게 압착하기 위한 형태라면, 본 실시형태에 제한되지 아니하고 다양하게 구현될 수 있다.
도2c는, 상기 가압된 적층체의 테두리 영역 및 내부영역을 각각 별도로 가압하며 소성하는 단계이다.
본 실시형태에서는, 상기 테두리 영역이 내부영역보다 더 강하게 가압된 적층체(21)의 테두리 영역의 상면에는 외부로더(22), 상기 적층체(21)의 내부 영역의 상면에는 내부로더(23)가 각각 적재되고, 상기 외부로더(22) 및 내부로더(23)의 상부에는 탑로더(24)가 적재된다.
종래 방식에서는, 세라믹 적층체를 소성시 패널 전체를 덮는 하나의 단단한 로더를 얹어 가압을 시키는데, 이렇게 하는 경우에는 세라믹 적층체 외곽의 테두리 영역과 내부영역의 소성 거동 차이가 생겨 세라믹 적층체에 두께 편차가 발생하게 된다. 이러한 세라믹 적층체의 두께 편차가 발생하게 되면, 상기 적층체와 상기 적층체 상에 적재되는 로더 사이의 접촉율이 나빠져서 가압의 효과가 점점 사라지게 된다. 따라서, 소성기간 내내 적층체 전체를 계속해서 균일하게 가압할 수 없어 적층체 내부영역과 테두리 영역의 수축율이 크게 달라진다.
본 실시형태에서는, 세라믹 적층체의 외곽 테두리 가압용 외부로더(22)와, 세라믹 적층체 내부영역 가압용 내부로더(23)가 별개로 적재되며, 외부로더(22)의 내부에 내부로더(23)를 삽입하여 기판 전체를 가압하도록 한다.
따라서, 적층체(21)의 테두리 영역(21b) 및 내부 영역(21a) 각각이 가압되므로 내부 영역과 외곽 테두리 영역의 두께 편차가 발생해도 계속해서 상기 테두리 영역(21b) 및 내부영역(21a) 각각을 균일하게 가압할 수 있다.
또한, 상기 외부로더(22)의 상부에는 탑로더(24)가 적재될 수 있다.
상기 탑로더(24)는 상기 외부로더(22) 및 상기 외부로더(22)의 내부 관통영역에 삽입된 내부로더(23)를 동시에 가압할 수도 있으나, 상대적으로 구속력이 약한 기판의 테두리 영역(21b)을 가압하는 외부로더(22)를 가압하는 것이 바람직하다.
상기와 같이 외부로더(22)의 상부에 탑로더(24)를 더 적재함으로써 상기 적층체의 테두리 영역(21b)을 상기 내부영역(21a)보다 더 높은 압력으로 가압할 수 있어서 상기 적층체(21)의 내부영역(21a)과 테두리 영역(21b) 사이의 수축율 차이를 줄일 수 있고, 전체적으로 평탄한 기판을 만들수 있다.
이때, 상기 외부로더(22)의 상부에 적재되는 탑로더(24)는 그물망 형태의 다공성 구조를 갖춤으로써 상기 세라믹 적층체(21)의 소성시 발생되는 유기물 및 휘발물질의 탈지에 유리하도록 할 수 있다.
도3a 및 도3b는, 종래(기존)방식에 따른 경우와 본 발명(개선)에 따른 경우의 적층 세라믹 기판의 소성시 상기 적층체의 내부 영역 및 외곽 테두리 영역의 수축율, 및 제작된 세라믹 기판의 캠버(camber)를 비교한 것이다. 여기서, 기존방식이라 함은 세라믹 적층체의 상면에 상기 적층체 전체를 덮는 하나의 단단한 로더를 적재하고 소성하는 경우를 말한다.
도3a를 참조하면, 기존방식에 의한 경우, 적층체의 내부영역의 x-y 방향에 대한 수축율은 0.45%, 외곽 테두리 영역에 대한 수축율은 1.00%이고, 본 발명의 실시예에 의한 경우, 적층체의 내부영역의 x-y 수축율은 0.35%, 외곽 테두리 영역에 대한 수축율은 0.45%임을 알 수 있다.
상기 그래프에서 알 수 있듯이 기존방식에 의한 경우, 적층체 내부 영역과 외곽 테두리 영역사이의 소성시 수축율의 차이가 0.5% 이상이 발생하므로 상기 도4와 같은 적층 세라믹 기판의 평탄도가 불량한 형상이 나타나게 된다.
그러나, 본 발명의 경우, 적층체 내부 영역과 외곽 테두리 영역의 수축율 차이가 0.1% 미만으로 나타나므로 적층 세라믹 기판 전체 평면의 평탄도가 양호하게 나타날 수 있다.
도3b는, 기존방식과 본 발명의 실시예에 따른 소성후 적층 세라믹 기판의 캠버(휨)를 나타내는 그래프이다.
도3b를 참조하면, 기존방식에 따르면 소성후 적층 세라믹 기판의 캠버는 약 40㎛인 반면, 본 발명의 실시예에 따르면, 약 7㎛로 전체적인 적층 세라믹 기판의 캠버가 월등히 감소된 것을 볼 수 있다.
도4는, 종래(기존) 방식과 본 발명의 일실시예에 따라 제조되는 적층 세라믹 기판의 단계별 단면도이다.
도4는, 상기 도2의 단계중 상기 적층체 표면의 테두리 영역이 상기 적층체 표면의 테두리 영역을 제외한 내부영역보다 더 낮아지도록 가압하는 단계(도2b) 및 상기 가압된 적층체의 테두리 영역 및 내부영역을 각각 가압하며 소성하는 단계(도2c)의 단면도를 종래방식에 의한 경우와 비교하여 나타내고 있다.
도4를 참조하면, 종래방식의 경우 적층체(41)에 대해 등방성 가압을 한 후, 상기 가압된 적층체의 상부에 하나의 로더를 적재하여 소성시 적층체(41)의 테두리 영역(41b)이 내부영역(41a)에 비해 수축율이 커서 더 많이 수축되므로 소성 후 적층 세라믹 기판의 평탄도가 좋지 않음을 알 수 있다. 이러한 경우, 상기 적층 세라믹 기판의 테두리 영역(41b)을 래핑하여 평탄화 시키는 공정을 별도로 거쳐야 하는 문제점이 있다.
본 실시예의 경우, 소성전에 적층체(42)의 테두리 영역(42b)을 내부영역(42a)보다 강하게 압착하고, 상기 압착된 테두리 영역(42b) 및 내부영역(42a)에 대해 별개의 로더를 적재하고 소성한 후에 형성된 적층 세라믹 기판의 형태는 종래방식과 비교하여 기판 전체에 있어 양호한 평탄도를 갖는 것을 볼 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 즉, 적층체의 테두리를 가압하는 지그의 형태, 소성시 사용되는 로더의 형태 및 상기 로더의 재질 등은 다양하게 구현될 수 있다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
본 발명의 일면에 따르면, 적층 세라믹 기판의 소성시 내부로더와 외부로더를 사용하여 적층체의 테두리 영역 및 내부영역을 각각 가압함으로써 상기 적층체를 균일하게 가압할 수 있는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 일면에 따르면, 적층 세라믹 기판 제조시 소성전에 적층체의 테두리 영역을 내부영역보다 강하게 가압하고, 소성시 상기 테두리 영역 및 내부 영역 각각에 외부로더 및 내부로더를 적재함으로써 적층체의 내부영역과 테두 리 영역의 수축율 차이를 줄일 수 있어 전체적으로 평탄한 기판을 얻을 수 있는 적층 세라믹 기판 제조방법을 얻을 수 있다.

Claims (18)

  1. 세라믹 적층체 상면의 테두리 영역에 적재되어 상기 테두리 영역을 가압하는 외부로더(outer loader); 및
    상기 테두리 영역을 제외한 상기 적층체 상면의 내부영역에 적재되어 상기 내부영역을 가압하는 내부로더(inner loader)를 포함하며,
    상기 외부로더는, 상기 세라믹 적층체의 내부영역에 대응하는 부분이 관통된 형태이며,
    상기 내부로더는, 상기 외부로더의 관통된 영역에 삽입되는 블럭 형태인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 외부로더는,
    상기 세라믹 적층체의 테두리 영역에 적재시 그 상면이 상기 내부로더의 상면보다 높게 위치하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더.
  5. 제1항 또는 제4항에 있어서,
    상기 외부로더의 상면에 적재되어 상기 외부로더를 가압하는 탑로더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 탑로더는,
    그물망 구조인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 탑로더는,
    상기 외부로더 및 내부로더를 동시에 가압할 수 있도록 탄성을 갖는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 소성용 가압로더.
  8. 복수개의 그린시트를 적층하여 세라믹 적층체를 형성하는 단계;
    상기 적층체 상면의 테두리 영역이 상기 적층체 상면의 테두리 영역을 제외한 내부영역보다 낮아지도록 1차 가압하는 단계; 및
    상기 1차 가압된 적층체의 테두리 영역 및 내부영역을 각각 2차 가압한 상태 에서 상기 적층체를 소성하는 단계를 포함하는 적층 세라믹 기판 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 1차 가압하는 단계는,
    테두리 압착용 지그를 사용하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 테두리 압착용 지그는,
    상기 적층체의 테두리 영역에 대응하는 부분에 돌출부가 형성된 평판형 지그인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조 방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 소성 단계에서의 상기 2차 가압은,
    상기 테두리 영역과 내부영역의 상면에 각각 별개의 로더를 적재하여 가압하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 별개의 로더는,
    상기 테두리 영역을 가압하는 외부로더; 및
    상기 내부영역을 가압하는 내부로더를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 외부로더는,
    상기 세라믹 적층체의 내부영역에 대응하는 부분이 관통된 형태인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 내부로더는,
    상기 외부로더의 관통된 영역에 삽입되는 블럭 형태인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 외부로더는,
    상기 세라믹 적층체의 테두리 영역에 적재시 그 상면이 상기 내부 영역에 적재된 내부로더의 상면보다 높게 위치하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
  16. 제12항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 외부로더의 상면에 적재되어 상기 외부로더를 가압하는 탑로더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 탑로더는,
    그물망 구조인 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 탑로더는,
    상기 외부로더 및 내부로더를 동시에 가압할 수 있도록 탄성을 갖는 것을 특징으로 하는 적층 세라믹 기판 제조방법.
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