JPS6073291A - アルミナ基板の製造方法 - Google Patents
アルミナ基板の製造方法Info
- Publication number
- JPS6073291A JPS6073291A JP58182054A JP18205483A JPS6073291A JP S6073291 A JPS6073291 A JP S6073291A JP 58182054 A JP58182054 A JP 58182054A JP 18205483 A JP18205483 A JP 18205483A JP S6073291 A JPS6073291 A JP S6073291A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- alumina substrate
- firing
- green sheet
- sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（８）発明の技術分野
本発明は混成築債回路用のアルミナ基板の製造方法に係
り、特にグリーンシートの焼成方法にＷｌする。
り、特にグリーンシートの焼成方法にＷｌする。
（ｂｌ 技術の背景
混成１）５項回路の小形化、高密度化に伴って基板の一
１二に形成される各種パターンは微細化し、月つ各種パ
ターンの形成、各種部品の搭載、試験等の工程は自動化
される傾向にあり、混成某積回路に使用する！、（板の
反りや、うねりか混成築積回路の品質や歩留りを左右す
る大きな因子になっている。例えは９５ｍｍ Ｘ １１
４ｍｍ、厚さ０．６５ｍｍの基板で許容される反りは０
．２〜０．３ｍｍが限度であり、ときには更に厳しい寸
法に抑えることを要求される場合もある。
１二に形成される各種パターンは微細化し、月つ各種パ
ターンの形成、各種部品の搭載、試験等の工程は自動化
される傾向にあり、混成某積回路に使用する！、（板の
反りや、うねりか混成築積回路の品質や歩留りを左右す
る大きな因子になっている。例えは９５ｍｍ Ｘ １１
４ｍｍ、厚さ０．６５ｍｍの基板で許容される反りは０
．２〜０．３ｍｍが限度であり、ときには更に厳しい寸
法に抑えることを要求される場合もある。
（Ｉ：＋ １メＬ来技術と間、＋Ｘｆｊ、点第１図は従
来の製造方法である。型抜きされたクリーンシート１を
台板２に乗せ、これを高温焼成炉にいれて高温で焼成し
ている。グリーンシートは焼成される過程で約１８％収
縮し、その際に反りやうねりが発生する。反りの大きさ
は前述の大きさの板で数ｍｍ程度にまでなることがあり
”、その中から前述の許容寸法に入る基板を選別して使
用している。また前述の許容寸法に入らない基板は基板
の上から圧力を加え、高温中に放置することによって反
りを修正している。
来の製造方法である。型抜きされたクリーンシート１を
台板２に乗せ、これを高温焼成炉にいれて高温で焼成し
ている。グリーンシートは焼成される過程で約１８％収
縮し、その際に反りやうねりが発生する。反りの大きさ
は前述の大きさの板で数ｍｍ程度にまでなることがあり
”、その中から前述の許容寸法に入る基板を選別して使
用している。また前述の許容寸法に入らない基板は基板
の上から圧力を加え、高温中に放置することによって反
りを修正している。
しかし基板の上から圧力を加えた際に基板が割れたり、
或いは表面に傷が付き基板として使用できないものが数
多く発生ずる。
或いは表面に傷が付き基板として使用できないものが数
多く発生ずる。
（（」）発明の目的
本発明の目的はグリーンシートが焼成される過程で発生
ずる、反りやうねりを極く小さくできるアルミナ基板の
製造方法を提供するごとにある。
ずる、反りやうねりを極く小さくできるアルミナ基板の
製造方法を提供するごとにある。
（ｅｌ 発明の構成
そしζこの目的は台板上にグリーンシー１−と、該グリ
ーンシーＩ・の周辺部を押さえる枠と、該枠を介して該
グリーンシートの周辺部に加圧するだめの重しとなる板
を積重しで焼成し、焼成後該枠で押さえられた部分のア
ルミナ基板を除去Ｊることで達成している。
ーンシーＩ・の周辺部を押さえる枠と、該枠を介して該
グリーンシートの周辺部に加圧するだめの重しとなる板
を積重しで焼成し、焼成後該枠で押さえられた部分のア
ルミナ基板を除去Ｊることで達成している。
ｆｆｌ 発明の実施例
以下添付図により本発明の詳細な説明する。
第２図は本発明の一実施例であり、第１図と同し対象物
は同一符号で表す。
は同一符号で表す。
図において台板２の上に型抜きされたグリーンシーｌ−
３、グリーンシート３の周辺部４を押さえる枠５、およ
び枠５を介して該グリーンシート３の周辺部４に加圧す
るための重しとなる坂６を積ｔｌｉＬ、これを高温焼成
炉にいれて高温で焼成する。。
３、グリーンシート３の周辺部４を押さえる枠５、およ
び枠５を介して該グリーンシート３の周辺部４に加圧す
るための重しとなる坂６を積ｔｌｉＬ、これを高温焼成
炉にいれて高温で焼成する。。
クリーンノート３は焼成の過程で収縮するが、周辺部４
が押さえられているためクリーンシート３自体か緊張し
、反りやうねりを最小限（例えば前述の大きさの板で反
りの大きさは０．１ｍｍ未満）に抑えるごとができる。
が押さえられているためクリーンシート３自体か緊張し
、反りやうねりを最小限（例えば前述の大きさの板で反
りの大きさは０．１ｍｍ未満）に抑えるごとができる。
しかし枠５によって台板２に押しく＝Ｊりられているグ
リーンシート３の周辺部４は、枠５によって台板２に押
しく＝Ｊりられた際に表面に傷が付いたり、或いはグリ
ーンシート３が収縮する際に引きずられて表面に傷がイ
１いたりすることがある。したかりて高品質のアルミナ
基板を得るためにはグリーンシート３の周辺部４は焼成
後除去することが望ましい。、グリーンシーＩ・周辺部
４の除去は、焼成後アルミナ基板の表面に傷をつり、こ
の傷心と沿って周辺部４を折り取′ることも可能である
が、焼成後のアルミナ基板の加工ば困′ｊ１ｔなため、
本実施例では加工の容易なグリーンシ・−１〜にり・１
して、焼成後の周辺部４の除去を容易にする溝７を設ｉ
Ｊている。
リーンシート３の周辺部４は、枠５によって台板２に押
しく＝Ｊりられた際に表面に傷が付いたり、或いはグリ
ーンシート３が収縮する際に引きずられて表面に傷がイ
１いたりすることがある。したかりて高品質のアルミナ
基板を得るためにはグリーンシート３の周辺部４は焼成
後除去することが望ましい。、グリーンシーＩ・周辺部
４の除去は、焼成後アルミナ基板の表面に傷をつり、こ
の傷心と沿って周辺部４を折り取′ることも可能である
が、焼成後のアルミナ基板の加工ば困′ｊ１ｔなため、
本実施例では加工の容易なグリーンシ・−１〜にり・１
して、焼成後の周辺部４の除去を容易にする溝７を設ｉ
Ｊている。
また焼成中に不純物Ｇこよっ−ζ基板の表面が汚染され
るのを防ぎ、熱膨張率の差等によって基板に歪を与える
のを防くために、グリーンシー１−３の周辺部４を押さ
える枠５、および枠５を介して該グリーンシート３の周
辺部４に加圧するだめの重しとなる板６ば、グリーンシ
ートと同じ材質のグリーンシートから焼成された板を用
いることが望ましい。そこで本実施例においてはグリー
ンシー１〜を用いて所望の形状に加工し焼成したものを
、枠５および重しとなる板６とし−ζ用いている。
るのを防ぎ、熱膨張率の差等によって基板に歪を与える
のを防くために、グリーンシー１−３の周辺部４を押さ
える枠５、および枠５を介して該グリーンシート３の周
辺部４に加圧するだめの重しとなる板６ば、グリーンシ
ートと同じ材質のグリーンシートから焼成された板を用
いることが望ましい。そこで本実施例においてはグリー
ンシー１〜を用いて所望の形状に加工し焼成したものを
、枠５および重しとなる板６とし−ζ用いている。
（［１発明の効果
以上述べたように本発明によれば、クリーンシートが焼
成される過程で発生ずる、反りゃうねりを極く小さく抑
えられるアルミナ基板の製造方法を提供することができ
る。
成される過程で発生ずる、反りゃうねりを極く小さく抑
えられるアルミナ基板の製造方法を提供することができ
る。
第１図は従来の製造方法、第２図は本発明の一実施例で
ある。図においζ１および３はグリーンシーＩ・、２は
台板、４はクリーンシート３の周辺部、５は枠、６は重
しとなる板、７は焼成後の周辺部４の除去を容易にする
溝を示す。
ある。図においζ１および３はグリーンシーＩ・、２は
台板、４はクリーンシート３の周辺部、５は枠、６は重
しとなる板、７は焼成後の周辺部４の除去を容易にする
溝を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）型抜きされたグリーンシートを自仮に乗−Ｕて高温
で焼成する工程において、台板」−にクリーンシートと
、該クリーンシ゛−１−の周辺部を押ざえる枠と、該枠
を介して該グリーンソートの周辺部に加圧するための重
しとなる板を積重して焼成し、焼成後該枠で押さえられ
た部分のアルミナ基板を除去することを特徴とするアル
ミナ基板の製造方法。 ２、特許請求の範囲第１項記載のアルミナ基（しの製造
方法におい“ζ、焼成前の型抜きしたクリーンソートの
周辺部に、焼成後の枠で押さえられた部分のアルミナ基
板除去を容易にする、溝を設りることを特徴とするアル
ミナ基板の製造方ｄ：。 ３）特許請求の範囲第１項、および第２項記載のアルミ
ナ基板の製造方法において、該グリーンシートの周辺部
を押ざえる枠、および該枠を介して該グリーンシートの
周辺部に加圧する丸めの重しとなる板に、該クリーンシ
ートと同し＋Ａ質のグリーンシートから焼成された板を
用いることを特徴とするアルミナ基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182054A JPS6073291A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | アルミナ基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58182054A JPS6073291A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | アルミナ基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6073291A true JPS6073291A (ja) | 1985-04-25 |
| JPS6318114B2 JPS6318114B2 (ja) | 1988-04-16 |
Family
ID=16111531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58182054A Granted JPS6073291A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | アルミナ基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6073291A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428259A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Mitsubishi Mining & Cement Co | Burning of ceramic plate in continuous form |
| JPH02302088A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-14 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム基板の焼成方法 |
| JPH04280875A (ja) * | 1991-03-06 | 1992-10-06 | Mitsubishi Materials Corp | セラミック基板の製造方法 |
| US6607620B2 (en) * | 2001-01-08 | 2003-08-19 | International Business Machines Corporation | Greensheet carriers and processing thereof |
| JP2008105939A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層セラミック基板焼成用加圧ローダ及びそれを用いた積層セラミック基板の製造方法 |
| JP2009143730A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Tokuyama Corp | 板状セラミックス成形体の焼成方法および板状セラミックス成形体 |
| JP2013208876A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Nippon Shokubai Co Ltd | セラミックシートの製造方法 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58182054A patent/JPS6073291A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428259A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Mitsubishi Mining & Cement Co | Burning of ceramic plate in continuous form |
| JPH02302088A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-14 | Fujitsu Ltd | 窒化アルミニウム基板の焼成方法 |
| JPH04280875A (ja) * | 1991-03-06 | 1992-10-06 | Mitsubishi Materials Corp | セラミック基板の製造方法 |
| US6607620B2 (en) * | 2001-01-08 | 2003-08-19 | International Business Machines Corporation | Greensheet carriers and processing thereof |
| US6790515B2 (en) | 2001-01-08 | 2004-09-14 | International Business Machines Corporation | Greensheet carriers and processing thereof |
| JP2008105939A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 積層セラミック基板焼成用加圧ローダ及びそれを用いた積層セラミック基板の製造方法 |
| JP2009143730A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Tokuyama Corp | 板状セラミックス成形体の焼成方法および板状セラミックス成形体 |
| JP2013208876A (ja) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Nippon Shokubai Co Ltd | セラミックシートの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6318114B2 (ja) | 1988-04-16 |
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