JPS6038353B2 - セラミツク基板の製造方法 - Google Patents
セラミツク基板の製造方法Info
- Publication number
- JPS6038353B2 JPS6038353B2 JP53164725A JP16472578A JPS6038353B2 JP S6038353 B2 JPS6038353 B2 JP S6038353B2 JP 53164725 A JP53164725 A JP 53164725A JP 16472578 A JP16472578 A JP 16472578A JP S6038353 B2 JPS6038353 B2 JP S6038353B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- green sheet
- ceramic green
- plate
- smooth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はアルミナ、ステアタィト、フオルステラィト
などのセラミック基板、特に大型のセラミック基板の製
造方法に関するものである。
などのセラミック基板、特に大型のセラミック基板の製
造方法に関するものである。
アルミナ、ステアタイト、フオルステライトなどのセラ
ミック基板は集積回路用基板、抵抗器用基板などの電気
絶縁材料として使用されているが、特に大型の基板の場
合、焼成した段階で反りやうねりの生じた状態のものが
多く、平滑な表面を有するものが得られなかった。従来
は平滑な表面のセラミック基板を得るために、一旦焼成
されたセラミック基板を裏返えし、この上に平滑なセラ
ミック板の鍵を載せ、焼成温度より１００〜３００ｏｏ
低い温度で熱処理することによりセラミック基板を軟化
させ、錘の自重により平滑面を得るようにしていた。
ミック基板は集積回路用基板、抵抗器用基板などの電気
絶縁材料として使用されているが、特に大型の基板の場
合、焼成した段階で反りやうねりの生じた状態のものが
多く、平滑な表面を有するものが得られなかった。従来
は平滑な表面のセラミック基板を得るために、一旦焼成
されたセラミック基板を裏返えし、この上に平滑なセラ
ミック板の鍵を載せ、焼成温度より１００〜３００ｏｏ
低い温度で熱処理することによりセラミック基板を軟化
させ、錘の自重により平滑面を得るようにしていた。
しかしながらこの従来法では、一旦焼成したセラミック
基板についてさらに熱処理して加工しなければならない
ため、工程数が増えることになり、コストアップ、低生
産性の原因になっていた。
基板についてさらに熱処理して加工しなければならない
ため、工程数が増えることになり、コストアップ、低生
産性の原因になっていた。
このような従来例を改善する手段として種々険討したと
ころ、セラミックグリーンシートの周囲に、このセラミ
ックグリーンシートの厚みよりやや厚く、かつ同材質の
支柱を配置し、この支柱の上にセラミックグリーンシー
トを覆うように平滑なセラミック板を戦直し、この状態
にてセラミックグリーンシートを焼成する方法、また同
材質の支柱の代わりにセラミック焼結物からなる支柱を
用いてセラミックグリーンシートを焼成する方法などを
試みた。
ころ、セラミックグリーンシートの周囲に、このセラミ
ックグリーンシートの厚みよりやや厚く、かつ同材質の
支柱を配置し、この支柱の上にセラミックグリーンシー
トを覆うように平滑なセラミック板を戦直し、この状態
にてセラミックグリーンシートを焼成する方法、また同
材質の支柱の代わりにセラミック焼結物からなる支柱を
用いてセラミックグリーンシートを焼成する方法などを
試みた。
しかし同材質の支柱を用いた前者の方法によれば、焼成
段階においてセラミックグリーンシートの周囲に配置し
た支柱からバインダー成分が飛散して割れが生じたり、
支柱の収縮率が大きいなどの原因によって、セラミック
グリーンシートが塚結するに至るまでに反りやうねりを
押える役割を果たす平滑なセラミック板の位置がずれた
り、あるいはセラミックグリーンシートと平滑なセラミ
ック板とが接合したりするなどの問題があった。
段階においてセラミックグリーンシートの周囲に配置し
た支柱からバインダー成分が飛散して割れが生じたり、
支柱の収縮率が大きいなどの原因によって、セラミック
グリーンシートが塚結するに至るまでに反りやうねりを
押える役割を果たす平滑なセラミック板の位置がずれた
り、あるいはセラミックグリーンシートと平滑なセラミ
ック板とが接合したりするなどの問題があった。
また、セラミック焼結物からなる支柱を用いた後者の方
法では、焼成段階において、セラミックグリーンシート
が収縮する一方、支柱の収縮が生じないため、セラミッ
クグリーンシートと、平滑なセラミック板との間の間隙
が広がり、焼結して得られたセラミック板に反りやうね
りが見られ、平滑な表面を有するセラミック基板が得ら
れなかつた。この発明はさらに上記した方法を検討した
結果見い出されたもので、従来の欠点を解消したセラミ
ック基板の製造方法を提供せんとするものである。
法では、焼成段階において、セラミックグリーンシート
が収縮する一方、支柱の収縮が生じないため、セラミッ
クグリーンシートと、平滑なセラミック板との間の間隙
が広がり、焼結して得られたセラミック板に反りやうね
りが見られ、平滑な表面を有するセラミック基板が得ら
れなかつた。この発明はさらに上記した方法を検討した
結果見い出されたもので、従来の欠点を解消したセラミ
ック基板の製造方法を提供せんとするものである。
すなわち、この発明の要旨とするところは、セラミック
グリーンシートの周囲に、このセラミックグリーンシー
トの厚みよりやや厚いセラミック仮焼物の支柱を配置し
、この支柱の上にセラミックグリーンシートを覆うよう
に平滑なセラミック板または金属板を載置し、この状態
にてセラミックグリーンシートを焼成することを特徴と
するものである。
グリーンシートの周囲に、このセラミックグリーンシー
トの厚みよりやや厚いセラミック仮焼物の支柱を配置し
、この支柱の上にセラミックグリーンシートを覆うよう
に平滑なセラミック板または金属板を載置し、この状態
にてセラミックグリーンシートを焼成することを特徴と
するものである。
以下この発明を図示した一実施例に従って詳述する。
第１図において、１は合板で、この上にたとえばアルミ
ナのセラミックグリーンシート２が載簿されている。
ナのセラミックグリーンシート２が載簿されている。
３はセラミック仮焼物の支柱で、セラミックグリ−ンシ
ート２の周囲に配置されている。
ート２の周囲に配置されている。
この支柱３は、セラミックグリーンシート２の厚みより
やや厚く、また、この支柱３の上に平滑なセラミック板
または金属板４を萩層したとき、セラミックグリーンシ
ート２が収容されるに十分な空間を形成できるように配
置されている。合板１、セラミック板または金属板４は
いずれもセラミックグリーンシート２と焼成工程におい
て反応しないものを用いることはもちろんである。たと
えば材質としては、アルミナのセラミックグリーンシー
トについては十分に嘘結された高純度アルミナを用いる
。また、セラミックグリーンシートがステアタイト、フ
オルステライトなどについても同材質のものを用いれば
よい。さらに金属板には、還元性雰囲気で焼成する場合
はモリブデンなどの金属板を用いればよい。さらにまた
支柱３にはセラミックグリーンシート２と同材質であら
かじめ仮焼されたものを用いればよい。上記した状態に
おいて、ァルミナからなるセラミックグリーンシート２
について１６００午０以上で焼成を行った場合、支柱３
も同時に焼結が進行し、収縮が始まる。
やや厚く、また、この支柱３の上に平滑なセラミック板
または金属板４を萩層したとき、セラミックグリーンシ
ート２が収容されるに十分な空間を形成できるように配
置されている。合板１、セラミック板または金属板４は
いずれもセラミックグリーンシート２と焼成工程におい
て反応しないものを用いることはもちろんである。たと
えば材質としては、アルミナのセラミックグリーンシー
トについては十分に嘘結された高純度アルミナを用いる
。また、セラミックグリーンシートがステアタイト、フ
オルステライトなどについても同材質のものを用いれば
よい。さらに金属板には、還元性雰囲気で焼成する場合
はモリブデンなどの金属板を用いればよい。さらにまた
支柱３にはセラミックグリーンシート２と同材質であら
かじめ仮焼されたものを用いればよい。上記した状態に
おいて、ァルミナからなるセラミックグリーンシート２
について１６００午０以上で焼成を行った場合、支柱３
も同時に焼結が進行し、収縮が始まる。
このときセラミックグリーンシート２は反りやうねりが
発生いまじめるが、支柱３上のセラミック板または金属
板４がその反りやうねりを抑制する。つまり、支柱３は
焼成工程において収縮するから、セラミックグリーンシ
ート２とセラミック板４の間隔は焼成工程に入る前とほ
ぼ同じ間隔を保ち、セラミックグリーンシート２が競結
されたときの反りを防ぐに十分な役割を果たす。支柱３
の厚みは上記したように、セラミックグリーンシート２
の厚みよりやや厚くしておくが、その厚みは焼結が終了
したときにセラミック基板とセラミック板または金属板
４との間にほとんどすき間の生じないような収縮率を有
するものを用いればよい。具体的に説明すると、支柱３
を構成するセラミック仮焼物としては、セラミックグリ
ーンシートと同材質、この場合、Ｎ２０３９７モル％、
Ｃａ００．５モル％、Ｓｉ０２２．０モル％、Ｍｇ００
．５モル％のものを用い、９００〜１１００００で仮擁
したものである。
発生いまじめるが、支柱３上のセラミック板または金属
板４がその反りやうねりを抑制する。つまり、支柱３は
焼成工程において収縮するから、セラミックグリーンシ
ート２とセラミック板４の間隔は焼成工程に入る前とほ
ぼ同じ間隔を保ち、セラミックグリーンシート２が競結
されたときの反りを防ぐに十分な役割を果たす。支柱３
の厚みは上記したように、セラミックグリーンシート２
の厚みよりやや厚くしておくが、その厚みは焼結が終了
したときにセラミック基板とセラミック板または金属板
４との間にほとんどすき間の生じないような収縮率を有
するものを用いればよい。具体的に説明すると、支柱３
を構成するセラミック仮焼物としては、セラミックグリ
ーンシートと同材質、この場合、Ｎ２０３９７モル％、
Ｃａ００．５モル％、Ｓｉ０２２．０モル％、Ｍｇ００
．５モル％のものを用い、９００〜１１００００で仮擁
したものである。
このセラミック仮焼物は焼成に入った場合、初期の段階
でやや膨脹するが、その後セラミックグリーンシートの
焼結が始まる直前で収縮現象を呈し、最終焼成段階で１
５〜２０％の収縮率を示す。セラミックグリーンシート
２として厚み１柳のものを焼成する場合、支柱３として
は高さ１．０２５〜１．１物吻のものを用いる。
でやや膨脹するが、その後セラミックグリーンシートの
焼結が始まる直前で収縮現象を呈し、最終焼成段階で１
５〜２０％の収縮率を示す。セラミックグリーンシート
２として厚み１柳のものを焼成する場合、支柱３として
は高さ１．０２５〜１．１物吻のものを用いる。
したがってセラミックグリーンシート２と平滑なセラミ
ック板または金属板４との間隔は０．０２５〜０．１０
肋に説定されることになる。このように配置したのち、
たとえば１６２０℃、２時間、空気中または水素−窒素
雰囲気（Ｎ２／比＝９５〜９８％／２〜５％）の条件で
焼成される。以上説明したようにこの発明によれば、セ
ラミックグリーンシートの周囲に配置する支柱にセラミ
ック仮焼物を用いたため、従来のようにバインダー飛散
による欠点も発生せず、また、セラミック焼成物からな
る支柱を用いた場合のように、セラミック基板の反りや
うねりの発生も見られず、０．１脚以下の薄いものから
１肌以上の厚い平滑な表面を有するセラミック基板の製
造方法として有用であり、量産に適している。
ック板または金属板４との間隔は０．０２５〜０．１０
肋に説定されることになる。このように配置したのち、
たとえば１６２０℃、２時間、空気中または水素−窒素
雰囲気（Ｎ２／比＝９５〜９８％／２〜５％）の条件で
焼成される。以上説明したようにこの発明によれば、セ
ラミックグリーンシートの周囲に配置する支柱にセラミ
ック仮焼物を用いたため、従来のようにバインダー飛散
による欠点も発生せず、また、セラミック焼成物からな
る支柱を用いた場合のように、セラミック基板の反りや
うねりの発生も見られず、０．１脚以下の薄いものから
１肌以上の厚い平滑な表面を有するセラミック基板の製
造方法として有用であり、量産に適している。
第１図はこの発明の製造方法を実施する状況を示す側面
図である。 １・…・・合板、２・・・・・・セラミックグリーンシ
ート、３…・・・支柱、４・・・・・・平滑なセラミッ
ク板または金属板。 簾、図
図である。 １・…・・合板、２・・・・・・セラミックグリーンシ
ート、３…・・・支柱、４・・・・・・平滑なセラミッ
ク板または金属板。 簾、図
Claims (1)
- １ セラミツクグリーンシートの周囲に、このセラミツ
クグリーンシートの厚みよりやや厚いセラミツク仮焼物
の支柱を配置し、この支柱の上にセラミツクグリーンシ
ートを覆うように平滑なセラミツク板または金属板を載
置し、この状態にてセラミツクグリーンシートを焼成す
ることを特徴とするセラミツク基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53164725A JPS6038353B2 (ja) | 1978-12-26 | 1978-12-26 | セラミツク基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53164725A JPS6038353B2 (ja) | 1978-12-26 | 1978-12-26 | セラミツク基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5590475A JPS5590475A (en) | 1980-07-09 |
| JPS6038353B2 true JPS6038353B2 (ja) | 1985-08-31 |
Family
ID=15798700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53164725A Expired JPS6038353B2 (ja) | 1978-12-26 | 1978-12-26 | セラミツク基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6038353B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10212166A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Toray Ind Inc | セラミックスシート、グリーンシートおよびセラミックスシートの製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8894920B2 (en) * | 2008-10-31 | 2014-11-25 | Corning Incorporated | Methods and apparatus for casting ceramic sheets |
-
1978
- 1978-12-26 JP JP53164725A patent/JPS6038353B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10212166A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Toray Ind Inc | セラミックスシート、グリーンシートおよびセラミックスシートの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5590475A (en) | 1980-07-09 |
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