JP2572822B2 - セラミック基板の焼成方法 - Google Patents
セラミック基板の焼成方法Info
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- JP2572822B2 JP2572822B2 JP63236591A JP23659188A JP2572822B2 JP 2572822 B2 JP2572822 B2 JP 2572822B2 JP 63236591 A JP63236591 A JP 63236591A JP 23659188 A JP23659188 A JP 23659188A JP 2572822 B2 JP2572822 B2 JP 2572822B2
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- Japan
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- ceramic
- ceramic substrate
- firing
- green sheet
- substrate
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、セラミック基板、特に低温焼成セラミック
基板の焼成に用いて有用な焼成方法に関するものであ
る。
基板の焼成に用いて有用な焼成方法に関するものであ
る。
（従来の技術） 従来、グリーンシート状またはその上に形成されるペ
ースト状の低温焼成セラミック材料を焼成する場合に、
その焼成温度が約1000℃以下であるため、一般にコンベ
ヤ式トンネル炉が使用されている。このコンベヤ式トン
ネル炉でセラミックグリーンシートを焼成する場合に
は、コンベヤのメッシュベルト上に直接又はアルミナ基
板、金属板等の支持台上に載置されたセラミックグリー
ンシートが、セラミックグリーシート中に含有させるバ
インダーの飛散除去のために、トンネル炉内に大気その
他のガスが送気される雰囲気中を、所定の焼成工程のス
ケジュールに従って運搬されて焼成される。
ースト状の低温焼成セラミック材料を焼成する場合に、
その焼成温度が約1000℃以下であるため、一般にコンベ
ヤ式トンネル炉が使用されている。このコンベヤ式トン
ネル炉でセラミックグリーンシートを焼成する場合に
は、コンベヤのメッシュベルト上に直接又はアルミナ基
板、金属板等の支持台上に載置されたセラミックグリー
ンシートが、セラミックグリーシート中に含有させるバ
インダーの飛散除去のために、トンネル炉内に大気その
他のガスが送気される雰囲気中を、所定の焼成工程のス
ケジュールに従って運搬されて焼成される。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、コンベヤのメッシュベルト上にセラミ
ックグリーンシートを直接に載置すると、メッシュベル
トのメッシュの目が粗いため、焼成体のメッシュベルト
に面する側に、メッシュの跡がつき、またグリーンシー
トのメッシュベルトに面する側からのバインダの除去が
十分でなく、残留するバインダ（焼成によりカーボンと
なっている）により、焼成された焼成体のメッシュベル
トに面する側が黒化する問題点があった。
ックグリーンシートを直接に載置すると、メッシュベル
トのメッシュの目が粗いため、焼成体のメッシュベルト
に面する側に、メッシュの跡がつき、またグリーンシー
トのメッシュベルトに面する側からのバインダの除去が
十分でなく、残留するバインダ（焼成によりカーボンと
なっている）により、焼成された焼成体のメッシュベル
トに面する側が黒化する問題点があった。
又、アルミナ基板及びMo等の金属板の支持台上で焼成
した場合でも、同様に、焼成体の支持台により支持され
る側の黒化が生じる問題もある。
した場合でも、同様に、焼成体の支持台により支持され
る側の黒化が生じる問題もある。
本発明の目的は、上記問題点を解消し、上記焼成体の
表面の黒化を発生することなく、セラミック基板を焼成
するセラミック基板の焼成方法を提供することにある。
表面の黒化を発生することなく、セラミック基板を焼成
するセラミック基板の焼成方法を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明は、ガラス−セラミック複合体または結晶化ガ
ラス体より成る低温焼成セラミック基板を、中性または
還元性雰囲気中で焼成して、セラミック基板を作製する
に際して、セラミック基板を、平坦な載置面を有して、
セル数15.5〜186.0個/cm2（100〜1200個／インチ２）、
セルの厚さ0.1〜0.5mm、開口率60〜80％のファインピッ
チのセル開口を有する多孔質のハニカム構造体のセラミ
ック支持台上に載置し、前記雰囲気が前記セラミック支
持台のセル開口を介して直接に前記セラミック基板に接
触するようにしたことを特徴とするものである。
ラス体より成る低温焼成セラミック基板を、中性または
還元性雰囲気中で焼成して、セラミック基板を作製する
に際して、セラミック基板を、平坦な載置面を有して、
セル数15.5〜186.0個/cm2（100〜1200個／インチ２）、
セルの厚さ0.1〜0.5mm、開口率60〜80％のファインピッ
チのセル開口を有する多孔質のハニカム構造体のセラミ
ック支持台上に載置し、前記雰囲気が前記セラミック支
持台のセル開口を介して直接に前記セラミック基板に接
触するようにしたことを特徴とするものである。
（作 用） 本発明では、焼成すべきセラミックグリーンシート
を、平坦な載置面を有して多孔質のファインピッチのセ
ル開口を有するハニカム構造のセラミック支持台上に載
置することにより、焼成すべきセラミックグリーンシー
トをファインピッチのセル開口により凹凸が形成されな
いように極めて均等に支持する。さらに中性または還元
性雰囲気が上記セラミック支持台のファインピッチのハ
ニカムセル開口を介して、セラミックグリーンシートの
面にほぼ均等にかつ直接に接触することにより、この雰
囲気が接触するセラミックグリーンシートの面からもバ
インダ等の焼成助剤を昇華または飛散させる。したがっ
て、セラミックグリーンシートのほぼ全面に上記雰囲気
が接触するため、セラミックグリーンシートのほぼ全面
からバインダ等の焼成助剤を昇華または飛散させること
ができ、焼成後のセラミック焼成体に残留バインダ（カ
ーボン）がほとんどないようにすることができる。
を、平坦な載置面を有して多孔質のファインピッチのセ
ル開口を有するハニカム構造のセラミック支持台上に載
置することにより、焼成すべきセラミックグリーンシー
トをファインピッチのセル開口により凹凸が形成されな
いように極めて均等に支持する。さらに中性または還元
性雰囲気が上記セラミック支持台のファインピッチのハ
ニカムセル開口を介して、セラミックグリーンシートの
面にほぼ均等にかつ直接に接触することにより、この雰
囲気が接触するセラミックグリーンシートの面からもバ
インダ等の焼成助剤を昇華または飛散させる。したがっ
て、セラミックグリーンシートのほぼ全面に上記雰囲気
が接触するため、セラミックグリーンシートのほぼ全面
からバインダ等の焼成助剤を昇華または飛散させること
ができ、焼成後のセラミック焼成体に残留バインダ（カ
ーボン）がほとんどないようにすることができる。
（実施例） 本発明のセラミック基板の焼成方法の例を説明する。
まず、ホウケイ酸ガラス40wt％、アルミナ60wt％を混
合した混合物100重量部に対し、アクリルバインダ10重
量部を添加して調整して、150×150×0.5mm寸法のグリ
ーンシートを準備する。
合した混合物100重量部に対し、アクリルバインダ10重
量部を添加して調整して、150×150×0.5mm寸法のグリ
ーンシートを準備する。
このグリーンシートに、金型によりスルーホールを形
成してその中に内部導体として銅ペーストを充填し、さ
らに表面導体として銅ペーストをスクリーン印刷して、
グリーンシート層を形成する。このグリーンシート層を
例えば10層積層して、厚さ5mmのグリーンシート積層体
を形成する。
成してその中に内部導体として銅ペーストを充填し、さ
らに表面導体として銅ペーストをスクリーン印刷して、
グリーンシート層を形成する。このグリーンシート層を
例えば10層積層して、厚さ5mmのグリーンシート積層体
を形成する。
第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）にその断面図およ
び支持台13の平面図と断面図を示すように、グリーンシ
ート積層体11を、セラミック支持台13を介してコンベヤ
式トンネル炉のメッシュベルト15上に載置する。このセ
ラミック支持台13は、セル形状が４角形、多角形、円形
その他のハニカム形状の、セル数100〜1200個／インチ
２の、セルの厚さ0.1〜0.5mm、開口率60〜80％のファイ
ンピッチのセル開口を有し、主成分がコージュライト質
より成る、セラミック構造体である。ここでの開口率は
全空間に占めるセル部分以外の空隙の割合のことであ
る。
び支持台13の平面図と断面図を示すように、グリーンシ
ート積層体11を、セラミック支持台13を介してコンベヤ
式トンネル炉のメッシュベルト15上に載置する。このセ
ラミック支持台13は、セル形状が４角形、多角形、円形
その他のハニカム形状の、セル数100〜1200個／インチ
２の、セルの厚さ0.1〜0.5mm、開口率60〜80％のファイ
ンピッチのセル開口を有し、主成分がコージュライト質
より成る、セラミック構造体である。ここでの開口率は
全空間に占めるセル部分以外の空隙の割合のことであ
る。
このように載置したグリーンシート積層体を、コンベ
ヤ式トンネル炉において、窒素ガス流量100／分の送
気状態で、第２図に示す焼成スケジュールにて焼成す
る。
ヤ式トンネル炉において、窒素ガス流量100／分の送
気状態で、第２図に示す焼成スケジュールにて焼成す
る。
得られた焼成基板は、バインダの残留による支持台に
面する側の面の黒化はなく、グリーンシートのセラミッ
ク支持台に面する側からのバインダの除去が有効に行わ
れたことが分かった。
面する側の面の黒化はなく、グリーンシートのセラミッ
ク支持台に面する側からのバインダの除去が有効に行わ
れたことが分かった。
（発明の効果） 以上の詳細な説明から明らかなように、本発明によれ
ば、平坦な載置面を有して、多孔質のファインピッチの
セル開口を有するハニカム構造体を支持台として用いる
ことにより、セラミックグリーンシートのセラミック支
持台と接触する面に跡がつくことなく、焼成中における
セラミックグリーンシートの支持台と接触する面からバ
インダの除去が有効に行われ、したがって、セラミック
グリーンシートのほぼ全面からバインダの除去が行われ
て、表面の黒化のない良好なセラミック基板を得ること
ができる。
ば、平坦な載置面を有して、多孔質のファインピッチの
セル開口を有するハニカム構造体を支持台として用いる
ことにより、セラミックグリーンシートのセラミック支
持台と接触する面に跡がつくことなく、焼成中における
セラミックグリーンシートの支持台と接触する面からバ
インダの除去が有効に行われ、したがって、セラミック
グリーンシートのほぼ全面からバインダの除去が行われ
て、表面の黒化のない良好なセラミック基板を得ること
ができる。
第１図（ａ），（ｂ）および（ｃ）は本発明の方法を実
施する態様を示す説明図、 第２図はコンベヤ式トンネル炉を用いた場合の焼成スケ
ジュールを示すグラフ図である。 11……グリーンシート積層体 13……セラミック支持台 15……メッシュベルト
施する態様を示す説明図、 第２図はコンベヤ式トンネル炉を用いた場合の焼成スケ
ジュールを示すグラフ図である。 11……グリーンシート積層体 13……セラミック支持台 15……メッシュベルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−42563（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−255786（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−155297（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス−セラミック複合体または結晶化ガ
ラス体より成る低温焼成セラミック基板を、中性または
還元性雰囲気中で焼成して、セラミック基板を作製する
に際して、セラミック基板を、平坦な載置面を有して、
セル数15.5〜186.0個/cm2（100〜1200個／インチ２）、
セルの厚さ0.1〜0.5mm、開口率60〜80％のファインピッ
チのセル開口を有する多孔質のハニカム構造体のセラミ
ック支持台上に載置し、前記雰囲気が前記セラミック支
持台のセル開口を介して直接に前記セラミック基板に接
触するようにしたことを特徴とするセラミック基板の焼
成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63236591A JP2572822B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | セラミック基板の焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63236591A JP2572822B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | セラミック基板の焼成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0286187A JPH0286187A (ja) | 1990-03-27 |
| JP2572822B2 true JP2572822B2 (ja) | 1997-01-16 |
Family
ID=17002913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63236591A Expired - Lifetime JP2572822B2 (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 | セラミック基板の焼成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2572822B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04116105A (ja) * | 1990-09-03 | 1992-04-16 | Kawasaki Steel Corp | 成形体の脱脂方法 |
| US20080142149A1 (en) * | 2004-09-27 | 2008-06-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Setter Used in Firing and Method for Firing of Formed Honeycomb Body Using the Setter |
| JP2008182136A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-07 | Tdk Corp | 多層セラミック基板の製造方法 |
| CN104219884A (zh) * | 2013-05-31 | 2014-12-17 | 英业达科技有限公司 | 基板与铜条的接合结构及其接合方法 |
| JP6364570B1 (ja) * | 2016-09-12 | 2018-07-25 | 日本碍子株式会社 | 焼成用セッター |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5916800Y2 (ja) * | 1980-04-19 | 1984-05-16 | 日本碍子株式会社 | 陶磁器焼成用棚組み部材 |
| JPS6049420B2 (ja) * | 1980-08-27 | 1985-11-01 | 旭硝子株式会社 | セラミツクスハニカムの製造方法 |
| JPS62255786A (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-07 | 太陽誘電株式会社 | セラミツクシ−ト焼成用保持板及びセラミツクシ−トの焼成方法 |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP63236591A patent/JP2572822B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0286187A (ja) | 1990-03-27 |
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