JP3689830B2 - 金属−セラミックス複合部材の接合方法 - Google Patents
金属−セラミックス複合部材の接合方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はセラミックス基板に金属板を直接接合する接合方法に関し、特に特定の大きさの平板状の治具を用いることにより、金属とセラミックス基板間に未接部分の無い複合部材を工業的に量産できる様に改善した接合方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、セラミックス基板としてのアルミナ基板と、金属板としての銅板とを接合する方法としては、バインダーを含んだ銅ペーストをアルミナ基板上に塗布し、乾燥焼成してアルミナ基板中のガラス形成物質と銅ペースト中のバインダーとを反応させ、かつ銅とも反応させて接合する方法がある。
【0003】
また、アルミナ基板と銅板との間に反応金属(ろう材)をはさみ込み、反応金属の融点よりも高い温度で加熱してアルミナ基板と反応金属間、及び銅板と反応金属との間にそれぞれ拡散反応を起こさせて接合する方法などが知られている。
【0004】
しかし最近の半導体は大電力化、高集積化およびモジュール化の方向に進展しており、セラミックス基板の高放熱化、半導体実装の簡略化、高信頼化の要求に対応して前述の銅ペーストやろう材を用いないでアルミナ基板上に銅回路板を直接接合する方法が用いられる様になった。
【0005】
この製造方法の一例として、本出願人による特開昭63−166774号「銅板とアルミナ基板との接合体の製造方法」には、相互に接触した銅板とアルミナ基板とを不活性雰囲気中において、1083℃よりも低い温度に加熱し、接触部に銅と銅酸化物の共晶液相を形成させることなく、銅とアルミナ基板表面のアルミナおよびガラス質形成物質との化合物を形成させた後、冷却する直接接合方法が開示されているが、この方法では、コンベア炉に直接接合される銅板とアルミナ基板とを搬入する際、SiC製の台座上に配置して自動搬入してコンベア炉内で接合処理している。
【0006】
この場合、上記SiC製の台座では、製作段階でSiCの焼結が難しく、且つ台座中に含まれる遊離Siが不活性雰囲気下で銅板と合金化して金色を呈するという問題が有り、これを解決するために本出願人は特開平3−80163号「金属とセラミックスとの接合方法」において、治具本体に直交するアルミナ焼結板表面をCr2 O3 で被覆した保持治具を使用してセラミックス基板上に銅板を接合する製造方法を開発した。
【0007】
図3〜図5はその説明図であって、1は板状の2枚の治具本体、2はこの治具本体1上に直交して固定した、その表面をCr2 O3 で被覆した厚さ0.65mm、幅と長さが5mm×60mmの2枚のアルミナ焼結板、3はこのアルミナ基板焼結板2上に記載した厚さ、0.3mm、幅と長さが65mm×83mmの2枚のタフピッチ銅板、4はこれら銅板間に介挿した厚さ0.635mm、幅と長さが61mm×88mmの95%アルミナ基板である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来例では表面をCr2 O3 で被覆した保持治具を用いるものであり、その後の試験によりサイズの大きい基板を使用する場合には、銅とアルミナ基板間に部分的に未接合を生ずることが判明した。
【0009】
これらの問題点は、量産を計ろうとする場合の検査工程の増大につながり、コスト高の要因となるため、何らかの解決手段が求められていた。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は斯る課題を解決する手段を鋭意研究したところ、保持治具として特定範囲の厚みと幅等を有する平板状の保持治具を用いると上記未接合を防止できることを見出し、本発明を達成することができた。
【0011】
すなわち本発明の金属−セラミックス複合部材の接合方法は、相互に接触した金属板とセラミックス基板とを不活性雰囲気中において接合させる金属−セラミックス複合部材の接合方法において、厚さが0.1〜1.0mm、幅が5〜15mm、長さが80〜150mmの大きさであり表面にMgO、Al 2 O 3 、Y 2 O 3 、TiO 2 のグループから選ばれる少なくとも1種の塗布材を塗布したセラミックス平板からなる保持治具を用い、接合すべき金属板とセラミックス基板とを交互に重ねたものの中心部を該保持治具により支持し、800℃以上の温度に保たれた不活性雰囲気中で接合処理することを特徴とする。
【0013】
上記塗布材は、粒径が0.1〜100μmの粉末であることを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施例を詳細に説明する。
【0017】
(実施例)
【0018】
本発明においては図1及び図2に示すように治具本体1と、互いに接合させるための銅板およびアルミナ基板として、厚さ0.3mm、幅と長さが55mm×83mmのタフピッチ銅板3と厚さ0.635mm、幅と長さが60mm×90mmの95%アルミナ基板4とを準備した。
【0019】
表1に示すようなサイズである平板状の95%アルミナ基板4から成るものを用い、該基板4上に塗布材として粉体粒径が20μmのMgO、Al2 O3 、Y2 O3 、TiO2 と比較のために従来のCr2 O3 を用いて約200μmの厚さで接触面に塗布したものを夫々保持治具とした。その形態の一例を図1に示す。
【0020】
【表1】
【0021】
これらの保持治具を、接合炉に基板を搬入するベルト上に図2に示すように中心部に置き、この上に下板のタフピッチ銅とアルミナ基板と上板のタフピッチ銅とを重ね、接合炉中にて不活性雰囲気下で850℃で接合させたところ表1に示すように比較例のCr2 O3 で塗布したもの以外には、銅とアルミナ基板間にふくれや未接合部分は生じなかった。また下板のタフピッチ銅板と保持治具はまったく接合されず、簡単に分離することができた。
【0022】
本発明方法で使用する保持治具は、接合時の雰囲気を阻害しない安定な物質、即ち、高温下で分解や解離をすることがなく、且つ工業的に安定した物質で作られたものであって、接合処理後得られた接合体製品を容易に取り外しできるものであればよい。該治具の材質としては、本明細書中に示す実施例ではアルミナを用いたが、上記の要件を満たす材質であればステンレスなどの金属や上記のアルミナ以外のセラミックス材を用いることが勿論可能である。
【0023】
また該治具の形状としては、厚みや幅によって上記未接合部分が生ずることから、本発明保持治具は、厚さが0.1〜1.0mm、幅が5〜15mm、長さが80〜150mmの大きさである平板状のものを用いた。
【0024】
上記板厚を0.1〜1.0mmとする理由は、0.1mm以下であれば薄すぎて製造工程に難があり、逆に1.0mm以上だと熱伝導が悪くなることによる。幅や長さを限定するのは、接合工程において接合治具から基板への伝達熱を調節し、上記未接合の発生を防止するためである。
【0025】
また本発明で使用する治具に塗布する粉末としては、粉末粒径が0.1〜100μmの範囲のMgO、Al2 O3 、Y2 O3 、TiO2 のグループから選ばれる少なくとも1種とする。この場合、0.1から100μmとする理由は、0.1μm以下であれば高価なものとなり、100μm以上であれば治具と接合基板との間の隙間が大き過ぎて熱の伝達が悪いことによる。
【0026】
本発明者等の実験では、上記塗布材の厚さとして少なくとも5μm以上の厚みがあれば、充分な効果が得られることを確認している。
【0027】
本発明の保持治具は、アルミナなどのセラミックスの焼結体や、ステンレスなどの金属を所望形状に成形したものを治具本体として用い、その表面(少なくとも保持面)に、望ましくは99%以上の純度を有する上記塗布材の粉末をアルコール、水などに混合して表面に塗布し、次いで乾燥させて作成することができ、あるいは直接、これらの粉末を治具本体中、または少なくとも保持面を含む表面部に含ませて一体的に焼結、合体させて作成することができる。
【0028】
また、本発明で使用する接合体構成要素の銅板としては、タフピッチ銅板やその銅合金を用いることができるが、これらの銅板はその材質中に酸素を0.01重量%以上含有するものであることが望ましい。これは0.01重量%以下ではこれらの銅板とアルミナ基板との接合が充分でないという理由による。
【0029】
本発明方法による接合は、100ppm以下、好ましくは10ppm以下の酸素を含有する不活性雰囲気下で、接合温度を800℃以上として行なうことが望ましいことを確認している。
【0030】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、銅板とアルミナ基板とを安定な雰囲気下で加熱・接合することができる。また、使用する保持治具としてはアルミナ材やステンレス材等安価な材料を用いることができることに加えて、MgO、Al2 O3 、Y2 O3 、TiO2 の少なくとも1種の塗布材で被覆されていることにより、該治具と銅板との分離が簡単にできるため、治具の繰り返し使用ができ、作業者の取扱い上の負担を軽減する効果を併せて有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の保持治具の斜視図である。
【図2】本発明の保持治具を用いた金属−セラミックス複合部材の製造方法の説明図である。
【図3】従来の保持治具の平面図である。
【図4】従来の保持治具の正面図である。
【図5】従来の保持治具を用いた金属−セラミックス複合部材の製造方法の説明図である。
【符号の説明】
1 治具本体
2 アルミナ焼結板
3 タフピッチ銅板
4 アルミナ基板
Claims (2)
- 相互に接触した金属板とセラミックス基板とを不活性雰囲気中において接合させる金属−セラミックス複合部材の接合方法において、厚さが0.1〜1.0mm、幅が5〜15mm、長さが80〜150mmの大きさであり表面にMgO、Al 2 O 3 、Y 2 O 3 、TiO 2 のグループから選ばれる少なくとも1種の塗布材を塗布したセラミックス平板からなる保持治具を用い、接合すべき金属板とセラミックス基板とを交互に重ねたものの中心部を該保持治具により支持し、800℃以上の温度に保たれた不活性雰囲気中で接合処理することを特徴とする金属−セラミックス複合部材の接合方法。
- 上記塗布材は、粒径が0.1〜100μmの粉末であることを特徴とする請求項1記載の金属−セラミックス複合部材の接合方法。
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JP02312297A JP3689830B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 金属−セラミックス複合部材の接合方法 |
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JP02312297A JP3689830B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 金属−セラミックス複合部材の接合方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH10212171A JPH10212171A (ja) | 1998-08-11 |
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JP02312297A Expired - Fee Related JP3689830B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 金属−セラミックス複合部材の接合方法 |
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---|---|---|---|---|
WO2024128770A1 (ko) * | 2022-12-13 | 2024-06-20 | 주식회사 케이씨씨 | 세라믹 기판의 제조방법 |
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1997
- 1997-01-23 JP JP02312297A patent/JP3689830B2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2024128770A1 (ko) * | 2022-12-13 | 2024-06-20 | 주식회사 케이씨씨 | 세라믹 기판의 제조방법 |
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