KR100798244B1

KR100798244B1 - 표시 패널의 제조 방법 및 표시 패널

Info

Publication number: KR100798244B1
Application number: KR1020067015543A
Authority: KR
Inventors: 데쯔지 오무라; 류우지 니시까와
Original assignee: 산요덴키가부시키가이샤
Priority date: 2004-06-11
Filing date: 2005-06-13
Publication date: 2008-01-24
Also published as: JPWO2005122645A1; WO2005122645A1; CN1951154A; US7572162B2; TW200605710A; KR20060135732A; US20070164672A1; CN100525559C

Abstract

밀봉 기판(10)의 패널 접합 부분에 프레임 형상의 홈을 형성하고, 그 홈에 저융점 유리 분말을 포함하는 페이스트를 매립하고, 프레임 형상의 유리 페이스트층을 형성한다. 유리 페이스트층에 포함되는 용제를 휘발시켜 고화하고, 저융점 유리 프레임(22)으로 한다. 다음에, 밀봉 기판(10)의 표면에 돌출되어 나온 저융점 유리 프레임(22)을 제거하여, 밀봉 기판(10)의 접합 부분의 표면을 포함하는 면의 표면을 평탄화한다. 다음에, 밀봉 기판(10)의 평탄화된 접합면 상에 저내열성층(24)을 형성한다. 밀봉 기판(10)을 소자 기판(26)에 소정 간격을 두고 대향하여 배치하고, 레이저광을 소자 기판(26)을 거쳐서 저융점 유리 프레임(22)에 조사하여 이 부분을 가열한다. 이에 의해, 그 저융점 유리가 솟아 올라 밀봉 기판(10)과 소자 기판이 용접된다.

저융점 유리 프레임, 소자 기판, 밀봉 기판, 저내열성층, 컬러 필터

Description

표시 패널의 제조 방법 및 표시 패널{DISPLAY PANEL MANUFACTURING METHOD AND DISPLAY PANEL}

전계 발광 소자가 형성된 소자 기판과, 소자 기판 상의 공간을 밀봉하는 밀봉 기판을 포함하는 표시 패널에 관한 것이다.

박형의 플랫 디스플레이 패널로서, 플라즈마 디스플레이(PDP), 액정 디스플레이(LCD) 등이 보급되어 있고, 유기 전계 발광(EL) 소자를 이용한 유기 EL 패널도 실용화되도록 되고 있다.

이 유기 소자는 그 발광 재료 등에 유기 재료를 이용하고 있고, 이 유기 재료가 수분을 포함하면 수명이 짧아진다. 이로 인해, EL 소자가 매트릭스 형상으로 형성된 EL 기판에 대해 밀봉 기판을 소정 간격을 두고 대향시켜, 이들 기판의 주변 부분을 수지제의 밀봉재에 의해 기밀하게 밀봉하여 내부로 수분이 침입하지 않도록 하고 있다. 또한, 밀봉 기판으로 밀봉된 내부 공간에는 건조제를 수용하여 수분을 제거하고 있다.

여기서, 밀봉재로서는 통상 에폭시계의 자외선 경화 수지 등이 이용되고 있다. 그러나, 기밀성을 더욱 향상시키기 위해 땜납 유리 등의 저융점 유리를 이용하는 것도 제안되어 있다(예를 들어, 일본 특허 공개 제2001-319775호 공보 참조).

또한, 유기 EL 패널의 각 화소에는 EL 소자 및 이 EL 소자에의 전류를 제어하기 위한 스위칭 TFT나, 전류 드라이브 TFT 등이 형성된다. 그리고, 이 화소가 소자 기판 상에 매트릭스 형상으로 형성되고, 각 화소의 표시를 제어하여 패널 전체의 표시가 행해진다.

또한, 유기 EL 패널은 그 사출 방향에 따라 하부 방출 타입과, 상부 방출 타입이 있다. 하부 방출 타입은 소자 기판측에 유기 EL 소자의 발광층으로부터의 광을 취출하지만, 상부 방출은 밀봉 기판측으로부터 광을 취출한다. 상부 방출 타입은, 예를 들어 일본 특허 공개 제2002-299044호 공보에 개시되어 있다. 상부 방출 타입에서는, 발광층으로부터의 광이 화소 내의 각 TFT로 차단되는 일이 없으므로, 화소의 개구율을 크게 할 수 있어 고휘도화가 가능해진다고 하는 이점이 있다.

또한, 유기 EL 패널에 있어서 컬러 표시를 행하기 위한 방법으로서, 1종류(백색)의 발광층과 컬러 필터를 조합하는 컬러 필터 방식이 있다. 상부 방출 구조의 경우, 컬러 필터는 밀봉 기판으로 형성된다.

여기서, 일본 특허 공개 제2001-319775호 공보에서는 접합용 저융점 유리를 유리 기판(소자 기판과 밀봉 기판) 사이에 끼워 넣고, 그 후 가열 용접하고 있다. 저융점 유리를 원하는 위치에 배치하는 방법으로서, 저융점 유리의 분말과 수지 바인더가 혼합되어 이루어지는 페이스트 형상의 유리 페이스트를 도포하는 방법이 이용된다. 유리 페이스트를 기판에 도포한 후, 유리 페이스트에 포함되는 용제를 제거하고 고화하기 위해서는, 일반적으로 450 ℃ 이상에서 몇 십분 이상의 열처리를 할 필요가 있다.

한편, 유기 EL 패널에 있어서 이용되는 컬러 필터는 유기 수지에 의해 구성되므로 열에 약하고, 일반적으로 내열 온도는 200 ℃ 이하이다.

따라서, 예를 들어 기판에 컬러 필터를 형성한 후에 유리 페이스트를 도포하고, 그 기판을 열처리할 수는 없다. 반대로, 기판에 먼저 유리 페이스트를 도포한 경우, 기판 표면에 유리 페이스트에 의한 볼록부가 형성된다. 이와 같이 컬러 필터 형성면에 볼록부가 있으면, 레지스트 등의 패터닝에 의해 형성하는 컬러 필터를 소정 위치에 정확하게 형성할 수 없다. 또한, 각 화소로부터의 광의 혼합을 피하기 위해 화소 사이에 블랙 매트릭스를 배치하거나, 번쩍임이나 반사 방지를 위해 위상차판이나 편광판을 설치하는 경우가 있고, 상부 방출 타입의 경우 이 블랙 매트릭스, 위상차판, 편광판 등도 컬러 필터와 마찬가지로 밀봉 기판측에 설치되고, 또한 수지제인 것이 이용되는 경우가 많다. 이 경우에는, 블랙 매트릭스에 대해서도 컬러 필터와 마찬가지이다.

본 발명은, 전계 발광 소자가 형성된 소자 기판과, 주변의 패널 접합 부분에 있어서 소자 기판의 주변 부분에 접합되고, 소자 기판 상의 공간을 밀봉하는 밀봉 기판을 포함하는 표시 패널의 제조 방법이며, 상기 밀봉 기판의 패널 접합 부분에 프레임 형상의 홈을 형성하는 홈 형성 공정과, 상기 홈에 저융점 유리 분말 및 용제를 포함하는 페이스트를 도입하고, 프레임 형상의 유리 페이스트층을 형성하는 유리 페이스트층 형성 공정과, 상기 유리 페이스트층에 포함되는 용제를 열처리에 의해 휘발시켜 저융점 유리 프레임을 형성하는 열처리 공정과, 상기 밀봉 기판 표면 상에 상기 열처리 온도보다 내열 온도가 낮은 재료로 이루어지는 저내열층을 형성하는 저내열층 형성 공정과, 상기 소자 기판을 상기 밀봉 기판에 대해 소정 간격을 두고 대향 배치시킨 상태에서, 상기 저융점 유리 프레임에 레이저를 조사함으로써 이 저융점 유리를 가열 용융시키고, 상기 저융점 유리를 상기 소자 기판을 향해 솟아 오르게 하여 상기 소자 기판과 밀봉 기판을 주변 부분에서 유리 용접하여 양 기판에 의해 끼워지는 공간을 밀폐하는 밀봉 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 유리 페이스트층 형성 공정에 있어서, 상기 페이스트를 상기 프레임 형상의 홈에 그 체적을 초과하여 도입하는 동시에, 상기 열처리 공정에 있어서 용제를 휘발시킨 상기 저융점 유리 프레임 중, 상기 밀봉 기판 표면으로부터 돌출되어 나온 부분을 제거하고, 이 밀봉 기판의 접합 부분의 표면을 평탄화하는 평탄화 공정을 더 갖는다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 저내열층 형성 공정에 의해 형성되는 상기 저내열층은 컬러 필터, 수지 블랙 매트릭스, 편광판 및 위상차판 중 적어도 어느 하나이다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 평탄화 공정에 있어서의 상기 밀봉 기판 표면으로부터 돌출되어 나온 상기 저융점 유리 프레임의 제거는 연마에 의해 행한다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 평탄화 공정은 상기 밀봉 기판 표면으로부터 돌출되어 나온 상기 저융점 유리 프레임을 제거함으로써, 상기 밀봉 기판의 접합 부분의 표면을 이 공정 후에 형성되는 상기 저내열층의 막 두께의 1/10 이하의 크기의 요철로 평탄화한다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 홈 형성 공정에 있어서 형성하는 홈은, 상기 밀봉 기판 표면으로부터 홈의 깊이 방향에 있어서 서서히 홈 폭이 좁아지는 테이퍼 단면 형상이다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 홈 형성 공정에 있어서 형성하는 홈의 바닥부는 매끄러운 곡면을 이루는 단면 형상이다.

또한, 본 발명의 표시 패널은 전계 발광 소자가 형성된 소자 기판과, 주변의 패널 접합 부분에 있어서 소자 기판의 주변 부분에 접합되고, 소자 기판 상의 공간을 밀봉하는 밀봉 기판을 포함하는 표시 패널이며, 상기 소자 기판과 밀봉 기판은 그 주변 부분에 있어서 저융점 유리에 의해 용접 밀봉되고, 상기 저융점 유리는 그 일부가 상기 밀봉 기판에 형성된 프레임 형상의 홈에 도입되어 있다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 밀봉 기판의 상기 소자 기판에 대향하는 면 상의 적어도 일부에 컬러 필터, 수지 블랙 매트릭스, 편광판 및 위상차판 중 적어도 어느 하나를 구비한다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 홈은 상기 밀봉 기판 표면으로부터 홈의 깊이 방향에 있어서 서서히 홈 폭이 좁아지는 테이퍼 단면 형상이다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 홈은 그 바닥부가 매끄러운 곡면을 이루는 단면 형상이다.

또한, 본 발명의 다른 태양에 따르면, 상기 소자 기판과 밀봉 기판을 접합시키는 저융점 유리의 상기 홈의 폭 방향에 있어서의 두께는 상기 홈의 폭보다 작다.

본 발명에 따르면, 밀봉 기판의 프레임 형상의 홈에 유리 페이스트를 매립하고, 유리 페이스트에 포함되는 용제를 휘발시킨 후, 밀봉 기판 표면에 돌출되어 나온 저융점 유리 프레임을 제거하고 이 밀봉 기판의 접합면 표면을 평탄화한다. 그리고, 그 후 컬러 필터, 수지 블랙 매트릭스, 편광판 및 위상차판 등을 형성한다. 이와 같이, 밀봉 기판 표면에 돌출되어 나온 저융점 유리 프레임을 제거하고 상기 밀봉 기판의 접합면 표면을 평탄화하므로, 컬러 필터, 수지 블랙 매트릭스, 편광판 및 위상차판 등을 형성할 수 있다. 또한, 유리는 투습성이 매우 낮다. 따라서, 유리에 의한 용접 밀봉에 따르면, 화소 공간 내부에의 수분의 침입을 확실하게 방지할 수 있어, 내부에 봉입되는 건조제의 양을 감소 또는 없앨 수 있다.

도1은 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 방법의 순서를 도시하는 도면이다.

도2는 도1에 도시한 제조 공정에 후속되는 표시 패널의 제조 방법의 순서를 도시하는 도면이다.

도3은 도1의 유리 기판에 복수의 밀봉 기판(10)을 설치한 상태를 도시하는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해, 도면을 기초로 하여 설명한다. 본 실시 형태의 표시 패널에서는, 매트릭스 형상으로 배치된 각 화소에 전계 발광 소자가 형성된다.

도1 및 도2에, 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 방법의 순서를 도시한다. 우선, 도1의 (a)에 도시하는 바와 같이 유리제의 밀봉 기판(10)의 접합 부분을 포함하는 밀봉 기판(10)의 표면 전체면에, Cr 등의 불산계 용액으로 에칭되지 않는 물질로 막(12)을 형성한다. 이 막(12)은, Cr 등의 불산계 용액으로 에칭되지 않는 물질을 사용한다. 다음에, 막(12)의 상면에 포토레지스트(14)를 도포하고, 소정의 마스크 패턴을 거쳐서 노광하고 현상함으로써, 도1의 (b)에 도시하는 바와 같이 포토레지스트(14)에 마스크 패턴에 대응한 프레임 형상의 에칭 마스크 개구(16)를 형성한다. 이에 의해, 막(12)의 포토레지스트(14)의 에칭 마스크 개구(16)의 바닥면에 닿는 부분이 노출된다.

다음에, 막(12)의 노출된 부분의 에칭을 행한다. 막(12)이 Cr막인 경우에는, 일반적인 Cr 에칭액에 의한 습윤 에칭법에 의해 노출부의 에칭을 행한다. 이에 의해, 도1의 (c)에 도시하는 바와 같이 에칭 마스크 개구(16)는 밀봉 기판(10)의 표면까지 신장된다. 이와 같이, 에칭 마스크 개구(16)는 포토리소그래피법에 의해 형성되므로, 소정의 위치에 정해진 크기로 정밀도 좋게 형성된다. 에칭 마스크 개구(16)는, 0.5 내지 1 mm 정도의 폭으로 형성된다.

다음에, 도1의 (d)에 도시하는 바와 같이 에칭 마스크 개구(16)로부터 밀봉 기판(10)을 에칭한다. 에칭은, 불화수소계의 에칭제를 이용한 습윤 에칭법이라도 좋고, 불화수소계의 가스를 이용한 드라이 에칭법에 의해도 좋다. 이들 중 어느 하나, 혹은 조합에 의한 에칭 방법에 의해 밀봉 기판(10)에 깊이 300 ㎛ 정도의 홈(18)을 형성한다. 또한, 포토레지스트(14)는 미리 제거해 두는 것이 바람직하지 만, 밀봉 기판(10)의 에칭시에 함께 제거해도 좋다.

홈(18)은, 후속 공정에 있어서 홈(18) 내부에 유리 분말 페이스트를 간극 없이 매립할 수 있도록, 밀봉 기판(10)의 표면으로부터 홈의 깊이 방향으로 홈 폭이 좁아지는 테이퍼 단면 형상으로 하고, 또한 홈(18)의 바닥부는 매끄러운 곡면을 이루는 단면 형상인 것이 바람직하다. 그러한 홈(18)의 형상을 실현시키는 에칭은, 전술한 각 에칭 방법에 있어서의 에칭 조건을 적절하게 선택함으로써 실현할 수 있다.

다음에, 도1의 (e)에 도시하는 바와 같이 막(12)을 제거한다.

다음에, 도1의 (f)에 도시하는 바와 같이 홈(18)에 저융점 유리 분말을 포함하는 페이스트를 유입하여 홈(18)을 매립한다. 홈(18) 내에 공간이 잔류하지 않도록 매립한다. 또한, 유리 페이스트는 홈(18)을 매립하고, 또한 밀봉 기판(10) 표면으로부터 솟아 오르도록 도포한다.

유리 페이스트는 홈(18)의 개구로부터 주변으로 확대되지 않고, 솟아 오른 형상을 유지하는 정도의 점성과 표면 장력을 갖고, 또한 홈(18)의 내부에 공간이 남지 않도록 어느 정도의 유동성을 갖도록 용제에 녹아 있다. 이에 의해, 프레임 형상의 유리 페이스트층(20)이 홈(18)에 따라 형성된다.

다음에, 도2의 (a)에 도시한 바와 같이 유리 페이스트층(20)이 형성된 밀봉 기판(10)을 열처리하고, 유리 페이스트층(20)에 포함되는 용제를 휘발시킨다. 열처리의 온도 및 시간은, 이용한 유리 페이스트(20)의 특성에 따라 적절하게 정해진다. 이 용제를 휘발시키는 열처리에 의해, 접합용 저융점 유리 분말 페이스트층은 고화되어 저융점 유리 프레임(22)이 된다.

다음에, 도2의 (b)에 도시하는 바와 같이 저융점 유리 프레임(22)의 밀봉 기판(10) 표면 상에 돌출되어 나온 저융점 유리 프레임(22)을 연마하여, 밀봉 기판(10)의 접합 부분의 표면을 평탄화한다. 저융점 유리 프레임(22)은, 밀봉 기판(10) 표면에 몇백 ㎛ 정도 돌출되어 나온다. 연마는 기계적 연마법이라도 좋고, 화학 기계적 연마법이라도 좋다. 이 연마에 의해, 밀봉 기판(10)의 접합면의 요철을, 후속 공정에 있어서 형성하는 저내열층의 막 두께의 1/10 이하로 하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 컬러 필터막은 소정의 광학적 특성을 얻기 위해 일반적으로 막 두께 변동을 막 두께의 10 ％ 이하로 하는 것이 요구된다. 컬러 필터막에 있어서의, 막 두께 변동 10 ％ 이하라 하는 정밀도를 실현시키기 위해서는, 접합면 표면의 요철은 컬러 필터막의 막 두께의 1/10 이하인 것이 요구된다.

또한, 홈(18)에의 유리 페이스트의 도입량을 적절하게 조정하고, 열처리 후에 있어서의 저융점 유리 프레임(22)의 표면의 요철을 저내열층의 막 두께의 1/10 이하로 억제하면 평탄화 공정을 생략할 수 있다.

다음에, 도2의 (c)에 도시하는 바와 같이 평탄화된 접합 부분의 표면을 포함하는 밀봉 기판(10) 표면 상에 컬러 필터(24)를 형성한다. 컬러 필터(24)는 전사 필름에 설치된 컬러 필터층을 밀봉 기판(10)의 표면에 전사함으로써 형성한다. 밀봉 기판(10)의 표면에 대해, 전사 필름에 형성된 컬러 필터층을 예를 들어 전사 롤러를 이동하면서 압착함으로써 컬러 필터층을 각 화소에 대응하는 영역에 전사한다. R, G, B의 컬러 필터(24)를 형성하는 경우에는, 1색씩 차례로 밀봉 기판(10) 의 표면 상에 형성해 간다. 또한, 컬러 필터 재료로서는 네거티브형 포토레지스트 재료에 안료를 혼입한 재료가 적합하고, 이러한 재료를 이용한 경우 상기 필터 재료를 노광·현상함으로써 불필요한 위치로부터 컬러 필터 재료를 제거할 수 있다.

밀봉 기판(10)의 접합 부분의 표면은 평탄화되어 있으므로, 밀봉 기판(10)의 표면에 컬러 필터층을 균일하게 압착할 수 있어, 압착 불균일에 기인하는 필터 특성의 어긋남, 컬러 필터(24)의 박리 등을 방지할 수 있다.

상기에서는, 컬러 필터(24)의 형성 방법으로서 전사 방법을 예로 들어 설명하였지만, 막 형상의 컬러 필터를 형성하는 방법이면 예를 들어 컬러 레지스트의 스핀 코팅법이나 액상의 컬러 필터 재료의 잉크젯 도포법에 의해도 좋다. 이들 방법에 의한 컬러 필터(24)의 형성에 있어서도, 밀봉 기판(10)의 접합 부분의 표면의 평탄성은 전사 방법에 의한 경우와 마찬가지로 중요하다. 컬러 필터(24)의 형성면인 밀봉 기판(10)의 접합면이 평탄함으로써 컬러 필터(24)를 균일하게 불균일 없이 형성할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서 컬러 필터(24)를 화소 영역에 대응하는 영역에 형성하는 것으로 하였지만, 소자 기판(26)의 전계 발광 소자의 발광색, 표시 패널에 요구시키는 표시색 등에 의해 컬러 필터(24)는 밀봉 기판의 상기 소자 기판에 대향하는 면 상의 적어도 일부의 영역에 형성할 뿐이라도 좋다.

그리고, 도2의 (d)에 도시하는 바와 같이 밀봉 기판(10)과 소자 기판(26)을 4 내지 10 ㎛, 바람직하게는 8 ㎛ 정도의 간격을 떨어뜨려 고정한다. 이 고정은, 예를 들어 소자 기판(26)에 소정 높이의 스페이서를 적어도 3개 배치시키고, 그 스 페이서를 거쳐서 밀봉 기판(10)을 지지시킴으로써 행할 수 있다. 이 상태에서, 소자 기판(26)을 거쳐서 저융점 유리 프레임(22)에 레이저광을 조사한다. 레이저광은 저융점 유리 프레임(22)에서 흡수되고, 이 부분이 가열 용융된다. 저융점 유리 프레임(22)은 용융하면 팽창하여, 소자 기판(26)에 접촉할 때까지 솟아 오른다. 녹은 저융점 유리가 소자 기판(26) 표면에서 소정 접촉 폭의 용접 영역을 형성한다. 이 때, 레이저광의 스캔 속도 및 출력을 적절한 것으로 제어하여, 패널 외주부를 확실하게 용접한다.

이와 같이 하여, 도2의 (e)에 도시하는 바와 같이 소자 기판(26)과 밀봉 기판(10)이 그 주변의 접합 부분에서 저융점 유리에 의해 접속된다. 또한, 소자 기판(26)과 밀봉 기판(10)을 접속하고 있는 저융점 유리 프레임(22)의 홈(18)의 폭 방향에 있어서의 두께는 홈(18)의 폭보다 작게 되어 있다.

또한, 레이저광은 예를 들어 YAG 레이저의 출력광(파장 : 1064 nm) 등이 채용된다. 저융점 유리 프레임(22)의 표면 부분에서, 레이저광을 저융점 유리 프레임(22)의 폭보다 약간 큰 스폿 직경이 되도록 집광하여 그 부분을 가열, 용융시키고, 이 스폿을 저융점 유리 프레임(22)에 따라 스캔함으로써 필요한 용접 밀봉을 행한다.

이와 같이 하여, 소자 기판(26)과 컬러 필터(24)를 형성한 밀봉 기판(10)을 유리에 의해 접속할 수 있다. 본 실시 형태에 따르면, 밀봉을 유리로 행하므로, 종래의 에폭시 수지 등으로 밀봉을 하는 방법에 비해 밀봉 성능이 높다. 이로 인해, 수분의 투과량이 적어, 화소 공간 내부에 건조제를 수용하지 않아도 되고, 또한 수용하는 경우라도 그 양을 매우 적은 양으로 할 수 있다. 접합용 저융점 유리 분말 페이스트층(20)에 포함되는 용제를 휘발시킨 후에 컬러 필터(24)를 형성하므로, 내열성 및 내용제성이 낮은 컬러 필터(24)를 고온 및 용제 분위기에 노출시키는 일이 없다. 따라서, 컬러 필터(24)의 특성을 열화시키지 않고, 소자 기판(26)의 상방 공간을 밀봉할 수 있다. 또한, 컬러 필터(24)를 평탄한 밀봉 기판(10) 상에 형성하므로, 컬러 필터(24)를 균일하게 불균일 없이 형성할 수 있어 필터 특성을 표시 영역 내에서 균일화할 수 있다.

본 실시 형태에서는 저융점 유리 프레임(22)을 용융시키기 위한 레이저광의 조사를 소자 기판(26)을 거쳐서 행하는 것으로 하였지만, 밀봉 기판(10)측으로부터 레이저광을 조사해도 좋다. 그 경우, 레이저광의 포커스를 저융점 유리 프레임(22)의 표면 근방에 맞추도록 함으로써 소자 기판(26)을 향해 팽창, 접촉하기 쉽도록 한다.

또한, 본 실시 형태에서는 밀봉 기판(10)의 홈(18) 형성을 습윤 에칭법 혹은 드라이 에칭법에 의한 것으로 하였지만, 유리인 밀봉 기판(10)의 홈(18)은 샌드블래스트법에 의해서도 형성할 수 있다. 샌드블래스트법에 의한 경우에는, 패터닝 마스크로서의 막(12)은 Cr 등의 불산계 용액으로 에칭되지 않는 물질 대신에 샌드블래스트법에 통상 이용되는 수지막을 이용한다.

또한, 본 실시 형태에서는 유리 페이스트층(20)에 포함되는 용제를 열처리에 의해 휘발시킨 후에 컬러 필터(24)를 형성하는 것으로 하였지만 이 컬러 필터(24) 대신에, 혹은 이 컬러 필터(24)와 함께 수지 블랙 매트릭스, 편광판, 위상차판 등 중 적어도 어느 하나를 형성할 수 있다. 수지 블랙 매트릭스는, 예를 들어 카본 등을 포함하는 흑색 안료를 수지막을 패턴화하여 형성한 블랙 매트릭스이며, 화소끼리의 격리를 위해 이용된다. 또한 편광판은, 예를 들어 PVA(poly vinyl alchol)에 요오드를 물들여 연신하여 형성되고, 위상차판은 예를 들어 1축 혹은 2축 연신한 PVA로 형성되고, 이들 편광판, 위상차판은 표면에 있어서의 반사 방지 등을 위해 이용된다. 수지 블랙 매트릭스, 편광판, 위상차판 등도 컬러 필터(24)와 마찬가지로 유기 수지를 포함하므로 내열성 및 내용제성이 낮고, 그 내열 온도는 유리 페이스트층(20)에 포함되는 용제를 휘발시키는 열처리 온도보다 낮다. 또한, 수지 블랙 매트릭스, 편광판, 위상차판 등은 컬러 필터(24)와 마찬가지로 수지의 도포, 전사·압착 등에 의해 형성하므로, 밀봉 기판(10) 표면은 평탄할 필요가 있다. 따라서, 수지 블랙 매트릭스, 편광판, 위상차판 등을 구성하는 저내열층을 평탄화된 접합 부분의 표면을 포함하는 밀봉 기판 표면 상에 형성함으로써 정밀도 좋게 형성할 수 있다. 또한, 열처리 후에 형성함으로써 내열성 및 내용제성이 낮은 수지 블랙 매트릭스, 편광판, 위상차판 등을 고온 및 용제 분위기에 노출시킬 일이 없다. 따라서, 수지 블랙 매트릭스, 편광판, 위상차판 등의 특성을 열화시키는 일이 없어, 소자 기판(26)의 상방 공간을 밀봉할 수 있다.

또한, 저내열층인 수지층으로 구성하는 기능층으로서 수지 블랙 매트릭스, 편광판, 위상차판을 예로 들었지만, 이들 기능층, 수지층에 한정하지 않고, 유리 페이스트층(20)의 열처리 온도 이하의 내열 온도인 재료로 구성되는 기능층이면 본 발명을 적절하게 적용할 수 있다.

도3에는, 1개의 큰 유리 기판에 복수(이 경우는 6개)의 밀봉 기판(10)을 설치한 상태를 접합 부분을 포함하는 면의 상면으로부터 본 상태로서 도시하고 있다. 이와 같이, 1매의 유리 기판에 사각 프레임 형상의 저융점 유리 프레임(22)을 소정 간격을 두고 형성한다. 한편, 소자 기판(26)도 마찬가지로 1매의 유리 기판에 복수 형성한다. 이에 의해, 복수의 소자 기판(26)을 함께 제작할 수 있다. 그리고, 양자를 접합한 후, 다이아몬드 커터나 레이저 커터 등에 의해 각각의 표시 패널을 분리한다. 이에 의해, 접합 및 컷트도 1개의 공정으로서 효율적으로 행할 수 있다.

Claims

전계 발광 소자가 형성된 소자 기판과, 주변의 패널 접합 부분에 있어서 소자 기판의 주변 부분에 접합되고, 소자 기판 상의 공간을 밀봉하는 밀봉 기판을 포함하는 표시 패널의 제조 방법이며,

상기 밀봉 기판의 패널 접합 부분에 프레임 형상의 홈을 형성하는 홈 형성 공정과,

상기 홈에 저융점 유리 분말 및 용제를 포함하는 페이스트를 도입하고, 프레임 형상의 유리 페이스트층을 형성하는 유리 페이스트층 형성 공정과,

상기 유리 페이스트층에 포함되는 용제를 열처리에 의해 휘발시켜, 저융점 유리 프레임을 형성하는 열처리 공정과,

상기 밀봉 기판 표면 상에 상기 열처리 온도보다 내열 온도가 낮은 재료로 이루어지는 저내열층을 형성하는 저내열층 형성 공정과,

상기 소자 기판을 상기 밀봉 기판에 대해 소정 간격을 두고 대향 배치시킨 상태에서, 상기 저융점 유리 프레임에 레이저를 조사함으로써 이 저융점 유리를 가열 용융시키고, 상기 저융점 유리를 상기 소자 기판을 향해 솟아 오르게 하여 상기 소자 기판과 밀봉 기판을 주변 부분에서 유리 용접하여 양 기판에 의해 끼워져 있는 공간을 밀폐하는 밀봉 공정을 갖는 표시 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 유리 페이스트층 형성 공정에 있어서 상기 페이스트를 상기 프레임 형상의 홈에 그 체적을 초과하여 도입하는 동시에,

상기 열처리 공정에 있어서 용제를 휘발시킨 상기 저융점 유리 프레임 중, 상기 밀봉 기판 표면으로부터 돌출되어 나온 부분을 제거하고, 이 밀봉 기판의 접합 부분의 표면을 평탄화하는 평탄화 공정을 더 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 저내열층 형성 공정에 의해 형성되는 상기 저내열층은 컬러 필터, 수지 블랙 매트릭스, 편광판 및 위상차판 중 적어도 어느 하나인 표시 패널의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 평탄화 공정에 있어서의 상기 밀봉 기판 표면으로부터 돌출되어 나온 상기 저융점 유리 프레임의 제거는 연마에 의해 행하는 표시 패널의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 평탄화 공정은 상기 밀봉 기판 표면으로부터 돌출되어 나온 상기 저융점 유리 프레임을 제거함으로써 상기 밀봉 기판의 접합 부분의 표면을 이 공정 후에 형성되는 상기 저내열층의 막 두께의 1/10 이하의 크기의 요철로 평탄화하는 표시 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 홈 형성 공정에 있어서 형성하는 홈은 상기 밀봉 기판 표면으로부터 홈의 깊이 방향에 있어서 서서히 홈 폭이 좁아지는 테이퍼 단면 형상인 표시 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 홈 형성 공정에 있어서 형성하는 홈의 바닥부는 매끄러운 곡면을 이루는 단면 형상인 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법.
전계 발광 소자가 형성된 소자 기판과, 주변의 패널 접합 부분에 있어서 소자 기판의 주변 부분에 접합되고, 소자 기판 상의 공간을 밀봉하는 밀봉 기판을 포함하는 표시 패널이며,

상기 소자 기판과 밀봉 기판은 그 주변 부분에 있어서 저융점 유리에 의해 용접 밀봉되고,

상기 저융점 유리는 그 일부가 상기 밀봉 기판에 형성된 프레임 형상의 홈에 도입되어 있고,

상기 밀봉 기판의 소자 기판에 대향하는 면 상에는 저내열성층이 형성되어 있는 표시 패널.
제8항에 있어서, 상기 저내열성층은 컬러 필터, 수지 블랙 매트릭스, 편광판 및 위상차판 중 적어도 어느 하나로 구성되는 표시 패널.
제8항에 있어서, 상기 홈은 상기 밀봉 기판 표면으로부터 홈의 깊이 방향에 있어서 서서히 홈 폭이 좁아지는 테이퍼 단면 형상인 표시 패널.
제8항에 있어서, 상기 홈은 그 바닥부가 매끄러운 곡면을 이루는 단면 형상인 것을 특징으로 하는 표시 패널.
제8항에 있어서, 상기 소자 기판과 밀봉 기판을 접합하는 저융점 유리의 상기 홈의 폭 방향에 있어서의 두께는 상기 홈의 폭보다 작은 것을 특징으로 하는 표시 패널.