KR100781104B1 - 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 및 전자 기기 - Google Patents

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Abstract

과제
액정 장치 등의 전기 광학 장치에 있어서, 화상 표시 영역의 면적을 그대로 확보하면서 소형화한다.
해결 수단
전기 광학 장치는, 한 쌍의 제 1 및 제 2 기판이 접합되어 이루어지고, 제 1 기판은, 그 제 1 변에 있어서 평면적으로 보아 제 2 기판으로부터 장출된 장출부를 갖는다. 제 1 기판에, 복수의 화소부, 주사선 구동 회로, 데이터선 구동 회로, 복수의 외부 회로 접속 단자 및 화상 신호선을 포함하는 복수의 인회 배선을 구비한다. 제 1 및 제 2 기판 사이에, 시일 영역에 있어서 제 1 및 제 2 기판을 서로 접합하는 시일재를 구비한다. 화상 신호선 중 제 1 기판 상에서 평면적으로 보아 데이터선 구동 회로 및 화상 표시 영역 사이에 제 1 변을 따라 배선된 제 1 배선 부분은 적어도 부분적으로, 시일 영역 내에 배선되어 있다.
전기 광학 장치

Description

전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 및 전자 기기{ELECTRO-OPTICAL DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING ELECTRO-OPTICAL DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS}
도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 전기 광학 장치의 전체 구성을 나타내는 평면도.
도 2 는 도 1 의 H-H' 단면도.
도 3 은 도 1 의 L12 로 나타내는 영역을 확대하여 나타내는 부분 평면도.
도 4 는 제 1 실시형태에 관련된 데이터선 구동 회로 및 샘플링 회로에 관련된 회로 구성의 개략을 인회 배선과 함께 나타내는 회로도.
도 5 는 제 1 실시형태에 관련된 상하 도통 단자로부터 대향 전극 전위가 공급되는 대향 전극과 화소 회로와 관련된 회로 구성의 개략을 나타내는 회로도.
도 6 은 제 1 실시형태의 비교예에 있어서의 도 3 과 동일 취지의 부분 평면도.
도 7 은 제 2 실시형태에 있어서의 도 3 과 동일 취지의 평면도.
도 8 은 도 7 의 A-A'선 단면도.
도 9 는 변형예에 있어서의 도 7 과 동일 취지의 평면도.
도 10 은 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 제조 방법을 나타내는 플로우 차트.
도 11 은 전기 광학 장치를 적용한 전자 기기의 일례인 프로젝터의 구성을 나타내는 평면도.
도 12 는 전기 광학 장치를 적용한 전자 기기의 일례인 PC 의 구성을 나타내는 사시도.
도 13 은 전기 광학 장치를 적용한 전자 기기의 일례인 휴대 전화의 구성을 나타내는 사시도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
9a…화소 전극, 3a…주사선, 6a…데이터선, 10…TFT 어레이 기판, 10a…화상 표시 영역, 10e…장출부, 20…대향 기판, 21…대향 전극, 21e…대향 전극 연재 부분, 23…차광막, 30…화소 스위칭용 TFT, 50…액정층, 52…시일재, 52a…시일 영역, 53…액자 차광막, 71…대향 전극용 인회 배선, 101…데이터선 구동 회로, 102, 102a, 102b, 102c…외부 회로 접속 단자, 104…주사선 구동 회로, 106…상하 도통 단자, 107…상하 도통재, 115…화상 신호선, 116…인출 배선 부분, 117…샘플링 회로 구동 신호선, 118…주사선 구동 회로용 배선, 301…샘플링 회로, 302…샘플링 스위치, L1…제 1 배선 부분, LCCOM…대향 전극 전위, R1, R2…절결 부분, VID1∼VID6…화상 신호
〔특허문헌 1〕일본 공개특허공보 평10-253990호
본 발명은, 예를 들어 액정 장치 등의 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 및 그 전기 광학 장치를 구비한, 예를 들어 액정 프로젝터 등의 전자 기기의 기술분야에 관한 것이다.
이 종류의 전기 광학 장치에서는, 예를 들어 TFT 어레이 기판 상에, 매트릭스상으로 배열된 복수의 화소 전극을 구비하고 있고, 이들이 배열된 평면 영역이 화상 표시 영역이 된다. 그 동작시에는, 예를 들어 데이터선, 주사선 등의 배선을 통하여, 화소 스위칭용 TFT 등의 전자 소자에, 화상 신호, 주사 신호 등이 공급된다. 그리고, 화상 신호 등이 전자 소자로부터 선택적으로 화소 전극에 공급됨으로써 매트릭스 구동이 실시된다. 즉, 복수의 화소 전극이 매트릭스상으로 평면 배열된 화상 표시 영역에 있어서의 화상 표시가 실시된다. 이와 같이 구성한 TFT 어레이 기판은, 소정의 간극을 통하여 대향 기판과 접합되고, 이들의 기판 사이에 액정 등의 전기 광학 물질이 봉입된다. 이러한 TFT 어레이 기판 상의 영역 중, 화상 표시 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에는, 주사 신호를 공급하는 주사선 구동 회로, 화상 신호를 공급하는 데이터선 구동 회로 등의 구동 회로부가 형성되고 있고, 또한, 복수의 외부 회로 접속 단자 및 이들로부터 구동 회로부에 인회된 화상 신호선 등을 포함하는 복수의 인회 배선 등이 형성되어 있다.
그러나, 주변 영역 중, 기판의 법선 방향에서 보아 대향 기판으로부터 장출된 장출 영역에, 상기 서술한 바와 같은 구동 회로부, 외부 회로 접속 단자, 인회 배선을 형성할 필요가 있고, 또한, 장출 영역에는, 모(母)기판으로부터의 절단 시에 필요한 마진 영역을 확보할 필요도 있다. 특히, 구동 주파수를 높게 하는 것을 피하면서 고정세의 화상 표시를 실시할 목적으로 이미 범용화되어 있는 직-병렬 변환된, 또는 상전개된 복수의 화상 신호가 공급되는 형식의 전기 광학 장치에 있어서는, 이들 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 외부 회로 접속 단자의 수 및 화상 신호선의 수도 증가한다. 예를 들어, 직-병렬 변환의 수 또는 상전개수가 24, 48, 96 등인 전기 광학 장치도 개발되어 있고, 다수의 외부 회로 접속 단자 및 다수의 화상 신호선의 존재에 의해서, 장출 영역은, 커지지 않을 수가 없다. 이 때문에, 화상 표시 영역이 될 수 없는 장출 영역 또는 주변 영역의 존재에 의해서, 화상 표시 영역의 면적을 그대로 하여 TFT 어레이 기판을 소형화할 수 없다는, 또는 전기 광학 장치를 소형화할 수 없다는 기술적 문제점이 있다.
삭제
본 발명은, 상기 서술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 화상 표시 영역의 면적을 그대로 확보하면서 소형화 가능한 전기 광학 장치 및 그 제조 방법, 그리고 그와 같은 전기 광학 장치를 구비한 각종 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 전기 광학 장치는 상기 과제를 해결하기 위해서, 한 쌍의 제 1 및 제 2 기판이 접합되어 이루어지고, 상기 제 1 기판은, 그 제 1 변에 있어서 평면적으로 보아 상기 제 2 기판으로부터 장출된 장출부를 갖는 전기 광학 장치로서, 상기 제 1 기판에 화소 영역에 배열되어 있고 화소 전극을 각각 갖는 복수의 화소부와, 상기 화소 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에 있어서, 상기 제 1 변을 따라 배치되어 있고 상기 화소부에 화상 신호를 공급하기 위한 데이터선 구동 회로와, 상기 주변 영역 중 상기 장출부 상에 있는 영역에 있어서 상기 제 1 변을 따라 배열된 복수의 외부 회로 접속 단자와, 상기 복수의 외부 회로 접속 단자로부터 상기 데이터선 구동 회로의 주위를 따라 인회되어 있고 상기 데이터선 구동 회로와 상기 화소 영역과의 사이에서 상기 제 1 변의 방향으로 배선된 제 1 배선 부분을 갖는 화상 신호선과, 상기 화소 영역의 주위를 따르는 시일 (seal) 영역에 있어서 상기 제 1 및 제 2 기판을 서로 접합하는 시일재를 구비하고, 상기 제 1 배선 부분은 적어도 부분적으로, 상기 시일 영역 내에 배선되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 그 동작시에는, 데이터선 구동 회로에 의해 화상 신호가 화소부에 공급되고, 예를 들어 제 1 및 제 2 기판 사이에 협지된 액정 등의 전기 광학 물질을 각 화소부에서 구동함으로써, 액티브 매트릭스 구동이 실시된다. 또한, 이러한 주사선 및 데이터선은, 예를 들어, 제 1 기판 상에 서로 교차하도록, 또한 각각 복수 배선된다. 또한, 이러한 화소부는, 예를 들어, 화소 전극과 주사선에 게이트가 접속되고, 또한 데이터선으로부터 공급되는 화상 신호를 주사선으로부터 공급되는 주사 신호에 따라 화소 전극으로 선택적으로 공급하는 화소 스위칭용 TFT 를 갖는다.
본 발명의 전기 광학 장치에서는 특히, 제 1 기판은, 그 제 1 변에 있어서 평면적으로 보아 제 2 기판으로부터 장출된 장출부를 갖고, 장출부 상에 복수의 외부 회로 접속 단자가 제 1 변을 따라 배열되어 있다. 또한, 데이터선 구동 회로에 관해서도, 제 1 변을 따라 배치되어 있고, 예를 들어, 장출부 상에 배치되어 있다. 또한, 화상 신호선은, 제 1 기판 상에서 평면적으로 보아 데이터선 구동 회로 및 화소 영역 사이에 제 1 변을 따라 배선된 제 1 배선 부분을 갖는다. 예를 들어, 이러한 화상 신호선은, 직-병렬 변환수에 따라 복수개만 병행 또는 가로로 (horizontally) 배선되어 있다. 다만, 제 1 배선 부분은 1 개여도 된다. 그리고, 이러한 화상 신호선 중 제 1 배선 부분은 적어도 부분적으로, 시일재가 배치된 시일 영역 내에 배선되어 있다. 따라서, 이러한 제 1 배선 부분을 시일 영역보다도 화소 영역으로부터 먼 측에 배치하는 경우와 비교하여, 장출부를 작게 하는 것이 가능해진다. 바꿔 말하면, 외부 회로 접속 단자가 배열된 장출부에 관해서, 제 1 및 제 2 기판의 평면 형상을 서로 동일에 가깝게 하는 것, 즉 제 1 기판의 사이즈를 상대적으로 작게 하는 것이 가능해진다.
이상의 결과, 본 발명의 전기 광학 장치에 의하면, 전기 광학 장치에 있어서의 주변 영역을 화소 영역에 대하여 좁히는 것이 가능해지고, 화소 영역을 좁히는 일없이 당해 전기 광학 장치를 소형화하는 것이 가능해진다. 그리고 특히, 이러한 구성으로 하면, 복수의 제 1 기판이 되는 모기판 상에 복수의 전기 광학 장치를 형성한 후에 절단하여 개개의 전기 광학 장치로 한다는 범용적인 제조 공정에 있어서, 동일 면적 내에 의해 많은 전기 광학 장치를 형성하는 것이 가능해진다. 동일 모기판 상에 당해 전기 광학 장치를 수매나 십수매 또는 수십매 배열하여 제조하는 경우, 예를 들어 제 1 기판의 사이즈를 콤마 수 mm 나 수 mm 정도로 약간 작게 할 수 있는 것만으로도, 동일 모기판 상에 일렬이나 복수열만큼 많게, 또는 일행이나 복수행만큼 많게, 당해 전기 광학 장치를 형성하는 것도 가능해질 수 있 다. 이에, 이와 같이 제 1 기판의 사이즈를 약간 작게 할 수 있는 것만으로도, 실용에 있어서, 매우 유익하고, 그 효과는 절대적이라고 할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치의 하나의 태양에서는, 상기 화상 신호는 직-병렬 변환된 복수의 화상 신호이고, 상기 제 1 배선 부분은 상기 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 복수의 제 1 배선 부분이고, 상기 복수의 제 1 배선 부분은 각각, 상기 시일 영역 내에 배치되어 있다.
이 태양에 의하면, 그 동작시에는, 직-병렬 전개된 복수의 화상 신호가 복수의 화상 신호선을 통하여 동시에 공급된다. 여기서 특히, 복수의 제 1 배선 부분은 각각, 시일 영역 내에 배치되어 있기 때문에, 제 1 기판 상에 있어서의 영역을 한층 더 유효하게 활용함으로써, 제 1 기판을 한 층 더 소형화하는 것이 가능해진다. 예를 들어, 화상 신호는, 직-병렬 전개된 복수의 화상 신호이고, 화상 신호선은 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 복수의 화상 신호선이다. 예를 들어, 3, 6, 9, 12, 24, 48, 96, … 등 적당한 수 m 에 전개된 화상 신호가 m 개의 화상 신호선으로부터 공급된다. 따라서, 이 수 m 이 많을수록, 본 발명에 의한, 제 1 기판 상에 있어서의 영역을 유효하게 활용한다는 효과가 보다 현저하게 발휘되게 된다.
또한, 본 발명과 같이 제 1 배선 부분과 대향 기판이 대향하고 있으면, 제 1 배선 부분과 시일재 또는 시일재를 통한 대향 기판과의 사이의 용량에 의해서, 화상 신호가 영향을 받는다. 더구나, 이와 같이 복수의 화상 신호선이 존재하는, 즉 복수의 제 1 배선 부분이 존재하는 경우에는, 복수의 제 1 배선 부분에서 대향 기판과의 사이에 있어서의 용량의 형성 방법이 바뀌면, 화상 신호의 계열마다 표시 불균일이 생겨버릴 가능성이 있다. 그런데 본 태양에 의하면, 그들 복수의 제 1 배선 부분의 각각에 관해서, 시일 영역 내에 넣음으로써, 표시 불균일을 저감시키는 것이 가능해진다.
또는 본 발명의 전기 광학 장치의 다른 태양에서는, 직-병렬 변환된 복수의 화상 신호이고, 상기 제 1 배선 부분은 상기 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 복수의 제 1 배선 부분이고, 상기 복수의 제 1 배선 부분은, 상기 시일 영역 내에 존재하는 부분의 각 면적이 서로 균등해지도록 배치되어 있다.
이 태양에 의하면, 그 동작시에는, 직-병렬 변환된 복수의 화상 신호가 복수의 화상 신호선을 통하여 동시에 공급된다. 여기서 특히, 복수의 제 1 배선 부분은 적어도 부분적으로, 시일 영역 내에 배치되어 있기 때문에, 제 1 기판 상에 있어서의 영역을, 한층 더 유효하게 활용함으로써, 제 1 기판을 한층 더 소형화하는 것이 가능해진다. 예를 들어, 직-병렬 전개수 m 이 많을수록, 본 발명에 의한, 제 1 기판 상에 있어서의 영역을 유효하게 활용한다는 효과가 보다 현저하게 발휘되게 된다.
또한, 본 발명과 같이 제 1 배선 부분과, 시일재 또는 시일재를 통하여 대향 기판이 대향하고 있으면, 이들 제 1 배선 부분과, 시일재 또는 시일재를 통한 대향 기판과의 사이의 용량에 의해서, 화상 신호가 영향을 받는다. 더구나, 이와 같이 복수의 화상 신호선이 존재하는, 즉 복수의 제 1 배선 부분이 존재하는 경우에는, 복수의 제 1 배선 부분에서 대향 기판과의 사이에 있어서의 용량의 형성 방법 이 바뀌면, 화상 신호의 계열마다의 표시 불균일이 생겨버릴 가능성이 있다. 그런데 본 태양에 의하면, 복수의 제 1 배선 부분을, 시일 영역 내에 존재하는 부분의 각 면적이 서로 균등해지도록 배치함으로써, 표시 불균일을 저감시키는 것이 가능해진다. 한편, 여기에서 말하는, 「각 면적이 서로 균등」 또는 「각 면적이 서로 균등하게 된다」 란, 바람직하게는, 설계상 동일 면적으로 하여, 그 상이함이 제조 오차의 범위 내인 것을 의미한다. 다만, 실천에 있어서, 상기 서술한 용량의 형성 방법이 표시 불균일 등의 실천에 있어서의 문제가 되지 않을 정도로까지 동일하게 하면 된다는 취지이다. 이에, 그 범위는, 개개의 전기 광학 장치에 대하여 요구되는 성능이나 장치 수단에 따라 정해진다. 따라서 여기에서 말하는 「각 면적이 서로 균등하게 된다」 는 범위에 관해서는, 구체적으로는, 실험적, 경험적, 시뮬레이션 등에 의해, 개개의 전기 광학 장치에 대하여 개별 구체적으로 설정하면 충분하다.
본 발명의 전기 광학 장치의 다른 태양에서는, 상기 화상 신호선은 상기 제 1 배선 부분으로부터 상기 화소 영역측을 향하여 인출된 인출 배선 부분을 추가로 갖고, 상기 인출 배선 부분은 적어도 부분적으로 상기 시일 영역 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 태양에 의하면, 화상 신호선 중, 기판의 제 1 변을 따르는 제 1 배선 부분과, 그리고 화소 영역측을 향하여, 예를 들어 제 1 변에 교차하는 방향으로 인출된 인출 배선 부분의 양자가 적어도 부분적으로 시일 영역 내에 배치되어 있다. 따라서, 제 1 기판 상에 있어서의 영역을, 한층 더 유효하게 활용함으로써, 제 1 기판을 한층 더 소형화하는 것이 가능해진다.
본 발명의 전기 광학 장치의 다른 태양에서는, 상기 제 2 기판에, 상기 복수의 화소부가 각각 갖는 상기 화소 전극에 공통으로 대향하도록 형성되어 있음과 함께 상기 제 1 배선 부분에 대향하는 영역에 있어서 절결되어 있는 대향 전극을 구비한다.
이 태양에 의하면, 복수의 화소 전극 및 이들에 대하여 공통의 대향 전극사이에, 종전계를 발생시키는 것으로, 전기 광학 물질을 화소마다 종전계 구동하는 것이 가능해진다. 이 태양에서는 특히, 이러한 대향 전극은, 제 1 배선 부분에 대향하는 영역에 있어서 절결되어 있기 때문에, 절결되어 있지 않은 경우에 거의 기판 사이의 갭을 통하여 대향 배치될 수 있는, 즉 콘덴서 구조를 구축할 수 있는 제 1 배선 부분과 대향 전극을 실제로는 대향시키지 않아도 된다. 따라서, 화상 신호선과 대향 전극과의 사이의 용량에 의해서, 화상 신호가 대향 전극 전위의 영향을 받는, 또는, 대향 전극 전위가 화상 신호의 영향을 받는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 이 결과, 한층 더 고품위의 화상 표시가 가능해진다.
이 대향 전극에 관련되는 태양에서는, 상기 화상 신호는 직-병렬 변환된 복수의 화상 신호이고, 상기 제 1 배선 부분은 상기 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 복수의 제 1 배선 부분이고, 상기 대향 전극은 상기 복수의 제 1 배선 부분에 대향하는 영역에는 각각 부분적으로 대향하지 않도록 또한 상기 복수의 제 1 배선 부분에 대향하는 부분의 각 면적이 서로 균등해지도록, 절결되어 있도록 구성해도 된다.
이와 같이 구성하면, 복수의 제 1 배선 부분과 대향 전극은 부분적으로 대향하고 있기 때문에, 제 1 배선 부분과 대향 전극과의 사이의 용량에 의해서, 화상 신호가 대향 전극 전위의 영향을 받거나, 또는, 대향 전극 전위가 화상 신호의 영향을 받는다. 그러나, 직-병렬 전개된 복수의 화상 신호에 관련된 계열별 용량의 차이는 거의 없기 때문에, 화상 신호의 계열마다의 표시 불균일을 거의 발생시키지 않을 수 있다. 이 결과, 대향 전극을 극단적으로 후퇴시킬 필요없이, 고품위의 화상 표시가 가능해진다. 또한, 여기에서 말하는, 「각 면적이 서로 균등」 또는 「각 면적이 서로 균등하게 된다」 란, 바람직하게는 설계상 동일 면적으로 하고, 그 상이가 제조 오차의 범위 내인 것을 의미한다. 다만, 실천상, 상기 서술한 용량의 형성 방법이 표시 불균일 등의 실천에 있어서 문제가 되지 않을 정도로까지 동일하게 하면 된다는 취지이다. 이에, 그 범위는, 개개의 전기 광학 장치에 대하여 요구되는 성능이나 장치 수단에 따라 결정된다. 따라서 여기에서 말하는 「각 면적이 균등하게 된다」 는 범위에 관해서는, 구체적으로는, 실험적, 경험적, 시뮬레이션 등에 의해, 개개의 전기 광학 장치에 대하여 개별 구체적으로 설정하면 충분하다.
이 대향 전극에 관련되는 태양에서는, 상기 제 1 기판에, 상기 대향 전극에 대향 전극 전위를 공급하기 위한 상하 도통 단자를 추가로 구비하고, 상기 대향 전극은 그 절결되어 있는 부분의 옆에 있어서, 상기 상하 도통 단자에 대향하는 영역에까지 연재하고 있어, 상기 제 1 및 제 2 기판 사이에, 상기 상하 도통 단자와 상기 대향 전극에 있어서의 연재하고 있는 부분을 전기적으로 상호 접속하는 상하 도 통재를 추가로 구비해도 좋다.
이와 같이 구성하면, 상하 도통 단자의 위치를 종래와 동일한 제 2 기판의 네 구석에 있어서, 적어도 제 1 기판의 제 1 변을 따르는 제 2 기판의 제 1 변의 한끝 또는 양단에 있어서의 두 구석에 있어서, 상하 도통재 및 대향 전극에 있어서의 연재하고 있는 부분을 통하여, 상하 도통 단자와 대향 전극과의 사이에 있어서의 상하 도통을 취하는 것이 가능해진다. 한편, 이러한 상하 도통 단자는, 예를 들어, 인회 배선 중, 외부 회로 접속 단자로부터 대향 전극 전위를 공급하기 위한 배선에 접속되어 있다.
본 발명의 전기 광학 장치의 다른 태양에서는, 상기 시일재에는 상기 제 1 및 제 2 기판 사이의 기판 사이의 갭을 규정하기 위한 갭재가 혼입되어 있고, 상기 제 1 기판 상에 있어서, 상기 제 1 배선 부분의 상층 측에 배치된 막에 대하여, 평탄화 처리가 실시되어 있다.
이 태양에 의하면, 시일재 내에 혼입된, 예를 들어 비즈형상이나 화이버형상의 갭재에 의해서, 기판 사이의 갭을 제어할 수 있다. 이 때, 액정 등의 전기 광학 물질 내에 갭재를 혼입하지 않아도 되고, 또한 화소 영역 내에 조개 관자형상의 갭재를 만들어 넣을 필요도 없다. 더구나, 제 1 배선 부분의 상층 측에 배치된 막에 대하여, 평탄화 처리가 실시되어 있기 때문에, 화상 신호선의 존재에 기인하는 요철이 제 1 기판의 표면에 존재하는 채로 기판 사이의 갭을 제어하는 경우와 비교하여, 갭재에 의해, 기판 사이의 갭을 고정밀도로 제어할 수 있다. 여기서는 예를 들어, CMP (화학적 기계 연마) 처리나, 열처리에 의한 리플로우에 의해서, 상층 측의 막은 평탄화되어 있다. 또는, 스핀 코트에 의해 상층 측의 막이 형성되어 있어도 된다. 또한, 이들을 대신하거나 또는 첨가하여, 하층 측에 배치된 막이나 제 1 기판의 기판 본체에 오목부를 형성하고, 제 1 배선 부분을 적어도 부분적으로 매립하거나 또는 가라앉힘으로써, 상층 측의 막에 대하여 평탄화 처리가 실시되어 있어도 된다.
이 태양에서는, 상기 제 1 기판 상에, 상기 화상 신호선을 통하여 공급되는 상기 화상 신호를, 상기 데이터선 구동 회로로부터 공급되는 샘플링 회로 구동 신호에 따라 샘플링하고, 상기 데이터선에 공급하는 샘플링 회로를 추가로 구비하며, 상기 데이터선 구동 회로는, 상기 주변 영역 중, 상기 시일 영역보다도 상기 화소 영역으로부터 먼 측의 영역에 배치되어 있고, 상기 샘플링 회로는, 상기 주변 영역 중, 상기 시일 영역보다도 상기 화소 영역에 가까운 측에 배치되어 있도록 구성해도 된다.
이와 같이 구성하면, 그 동작시에는, 데이터선 구동 회로에서 샘플링 회로 구동 신호선을 통하여 샘플링 회로 구동 신호를 샘플링 회로에 공급하면서, 화상 신호선을 통하여 화상 신호를 샘플링 회로에 공급함으로써, 데이터선에 대한 화상 신호의 제공을 소정 타이밍으로 실시하는 것이 가능해지고, 고주파수 구동에 의한 액티브 매트릭스 구동이 가능해진다. 여기서 특히, 데이터선 구동 회로는, 시일 영역보다도 먼 측의 영역에 배치되어 있고, 샘플링 회로는, 시일 영역보다도 가까운 측에 배치되어 있기 때문에, 제조 공정 중에 제 1 및 제 2 기판을 부착할 때에, 시일재에 대하여 작용하는 압축력에 의해서, 데이터선 구동 회로를 구성하는 TFT 등의 회로 소자나 샘플링 회로를 구성하는 TFT 등의 회로 소자에 데미지를 주는 사태를 미연에 방지할 수 있다. 따라서, 실용에 있어서도 대단히 유리하다.
본 발명의 전자 기기는 상기 과제를 해결하기 위해서, 상기 서술한 본 발명의 전기 광학 장치 (다만, 그 각종 태양을 포함함) 를 구비하여 이루어진다.
본 발명의 전자 기기는, 상기 서술한 본 발명의 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지기 때문에, 고품위의 화상을 표시 가능한, 텔레비전, 휴대 전화, 전자 수첩, 워드 프로세서, 뷰파인더형 또는 모니터 직시형의 비디오 테이프 레코더, 워크스테이션, 텔레비전 전화, POS 단말, 터치패널 등, 또한 전기 광학 장치를 노광용 헤드로서 사용한 프린터, 카피, 팩시밀리 등의 화상 형성 장치 등, 각종 전자 기기를 실현할 수 있다.
본 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법은 상기 과제를 해결하기 위해서, 한 쌍의 제 1 및 제 2 기판이 접합되어 이루어지고, 상기 제 1 기판은, 그 제 1 변에 있어서 평면적으로 보아 상기 제 2 기판으로부터 장출된 장출부를 갖는 전기 광학 장치를 제조하는 전기 광학 장치의 제조 방법으로서, 상기 제 1 기판에, 화소 영역에 배열되어 있고 화소 전극을 각각 갖는 복수의 화소부와, 상기 화소 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에 있어서 상기 제 1 기판의 상기 제 1 변에 인접하는 적어도 하나의 제 2 변을 따라 배치되어 있고 주사선을 통하여 상기 화소부를 구동하기 위한 주사선 구동 회로와, 상기 주변 영역에 있어서 상기 제 1 변을 따라 배치되어 있고 데이터선을 통하여 상기 화소부를 구동하기 위한 데이터선 구동 회로와, 상기 주변 영역 중 상기 장출부 상에 있는 영역에 있어서 상기 제 1 변을 따라 배열된 복수의 외부 회로 접속 단자와, 상기 복수의 외부 회로 접속 단자로부터 인회되어 있고 상기 제 1 기판 상에서 평면적으로 보아 상기 데이터선 구동 회로 및 상기 화소 영역 사이에 상기 제 1 변을 따라 배선된 제 1 배선 부분을 갖는 화상 신호선을 포함하는 복수의 인회 배선을 형성하는 형성 공정과, 상기 주변 영역 중 상기 화소 영역의 주위를 따르는 시일 영역에 있어서, 시일재로, 상기 제 1 및 제 2 기판을 서로 접합하는 접합 공정을 구비하고, 상기 형성 공정은, 상기 제 1 배선 부분을 적어도 부분적으로, 상기 시일 영역 내에 형성한다.
본 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법에 의하면, 상기 서술한 본 발명의 전기 광학 장치를 비교적 용이하게 제조하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 서술한 본 발명의 전기 광학 장치의 각종 태양에 대응하는 각종 태양을 채용하는 것이 가능하다.
본 발명의 이러한 작용 및 다른 이득은 다음에 설명하는 실시형태로부터 분명하게 된다.
발명을 실시하기 위한 최선의 형태
이하에서는, 본 발명의 실시형태에 관해서 그림을 참조하면서 설명한다. 이하의 실시형태에서는, 본 발명의 전기 광학 장치의 일례인 구동 회로 내장형의 TFT 액티브 매트릭스 구동 방식의 액정 장치를 예로 든다.
<제 1 실시형태>
제 1 실시형태에 관련된 액정 장치에 관해서, 도 1 에서 도 8 을 참조하여 설명한다.
먼저, 도 1 및 도 2 를 참조하여, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 전체구성에 관해서 설명한다. 여기에 도 1 은, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 구성을 나타내는 평면도이고, 도 2 는, 도 1 의 H-H' 선에서의 단면도이다.
도 1 및 도 2 에 있어서, 본 실시형태에 관련된 액정 장치에서는, TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 이 대향 배치되어 있다. TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 과의 사이에 액정층 (50) 이 봉입되어 있고, TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 과는, 화소 영역 (이하, 화상 표시 영역이라 함, 10a) 의 주위에 위치하는 시일 영역 (52a) 에 형성된 시일재 (52) 에 의해 서로 접착되어 있다.
도 1 에 있어서, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역 (52a) 의 안쪽에 병행하고, 화상 표시 영역 (10a) 의 액자 영역을 규정하는 차광성의 액자 차광막 (53) 이 대향 기판 (20) 측에 형성되어 있다. 주변 영역 중, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역 (52a) 의 외측에 위치하는 영역에는, 데이터선 구동 회로 (101) 및 외부 회로 접속 단자 (102) 가 TFT 어레이 기판 (10) 의 한 변을 따라 형성되어 있다. 이 한 변을 따르는 시일 영역 (52a) 보다도 안쪽에, 샘플링 회로 (301) 가 액자 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성되어 있다. 또한, 주사선 구동 회로 (104) 는, 이 한 변에 인접하는 두 변을 따르는 시일 영역 (52a) 의 안쪽에, 액자 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 형성되어 있다. 또한, 이와 같이 화상 표시 영역 (10a) 의 양측에 형성된 두 개의 주사선 구동 회로 (104) 사이를 잇기 위해서, TFT 어레 이 기판 (10) 의 남는 한 변을 따라서, 또한, 액자 차광막 (53) 에 덮이도록 하여 복수의 배선 (105) 이 형성되어 있다. 또한, TFT 어레이 기판 (10) 상에는, 대향 기판 (20) 의 4 개의 코너부에 대향하는 영역에, 양 기판 사이를 상하 도통재 (107) 로 접속하기 위한 상하 도통 단자 (106) 가 배치되어 있다. 이들에 의해, TFT 어레이 기판 (10) 과 대향 기판 (20) 과의 사이에서 전기적인 도통을 취할 수 있다.
도 2 에 있어서, TFT 어레이 기판 (10) 상에는, 구동 소자인 화소 스위칭용 TFT (Thin Film Transistor) 나 주사선, 데이터선 등의 배선이 만들어 넣은 적층 구조가 형성된다. 화상 표시 영역 (10a) 에는, 화소 스위칭용 TFT 나 주사선, 데이터선 등의 배선의 상층에 화소 전극 (9a) 이 형성되어 있다. 한편, 대향 기판 (20) 에 있어서의 TFT 어레이 기판 (10) 과의 대향면 상에, 차광막 (23) 이 형성되어 있다. 그리고, 차광막 (23) 상에, ITO 등의 투명 재료로 이루어지는 대향 전극 (21) 이 복수의 화소 전극 (9a) 과 대향하여 형성된다.
다음으로 도 3 에서 도 5 를 참조하여, 데이터선 구동 회로와, 외부 회로 접속 단자로부터 인회되는 화상 신호선과의 평면 레이아웃의 상세한 것에 관해서 설명한다. 여기에 도 3 은, 본 실시형태에 관련된 액정 장치 중, 도 1 의 원영역 (L12) 을 확대하여 나타낸 부분 평면도이다. 도 4 는, 데이터선 구동 회로 및 샘플링 회로에 관련된 회로 구성의 개략을 인회 배선과 함께 나타내는 회로도이다. 도 5 는, 상하 도통 단자로부터 대향 전극 전위가 공급되는 대향 전극과 화소 회로와 관련된 회로 구성의 개략을 나타내는 회로도이다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는 특히, TFT 어레이 기판 (10) 은, 그 제 1 변 (도 3 중, 밑변) 에 있어서, 평면적으로 보아 대향 기판 (20) 으로부터 장출된 장출부 (10e) 를 갖고, 장출부 (10e) 상에 있는 영역에, 제 1 변을 따라 복수의 외부 회로 접속 단자 (102) 를 구비한다. 복수의 외부 회로 접속 단자 (102) 는, 화상 신호를 공급하기 위한 화상 신호용 단자 (102a), 주사선 구동 회로 (104) 에, 클록 신호, 반전 클록 신호, 스타트 펄스 신호, 주사 방향 제어 신호, 전원 신호, 기타 특수 제어 신호 등의 각종 신호를 공급하기 위한 주사선 구동 회로용 단자 (102b), 및 상하 도통 단자 (106) 에 대향 전극 전위 또는 공통 전위를 공급하기 위한 대향 전극 전위용 단자 (102c) 를 포함한다. 또한, 복수의 외부 회로 접속 단자 (102) 는, 그 외에도, 데이터선 구동 회로 (101) 에, 클록 신호, 반전 클록 신호, 스타트 펄스 신호, 주사 방향 제어 신호, 전원 신호, 기타 특수 제어 신호 등의 각종 신호를 공급하기 위한, 도시를 생략한 데이터선 구동 회로용 단자, 검사용의 단자 등도 포함한다.
주사선 구동 회로 (104) 는, 제 2 변 (도 3 중, 좌변) 을 따라 배치되어 있고, 주사선 구동 회로용 단자 (102b) 로부터는, 주사선 구동 회로용 인회 배선 (118) 이 주사선 구동 회로 (104) 까지 인회되어 있다.
대향 전극용 단자 (102c) 로부터는, 대향 전극용 인회 배선 (71) 이 상하 도통 단자 (106) 까지 인회되어 있고, 또한, 제 2 변을 따라 다른 상하 도통 단자 (106) 까지 인회되고 있다.
데이터선 구동 회로 (101) 는, 제 1 변을 따라 배치되어 있고, 도시 생략의 데이터선 구동 회로용 단자로부터 데이터선 구동 회로용 인회 배선이 데이터선 구동 회로 (101) 까지 인회되고 있다.
화상 신호용 단자 (102a) 로부터는, 화상 신호선 (115) 이 데이터선 구동 회로 (101) 의 주위를 따라 인회되어 있다. 화상 신호선 (115) 으로부터는, 인출 배선 부분 (116) 이 샘플링 회로 (301) 로 배선되어 있다. 한편, 데이터선 구동 회로 (101) 로부터는, 샘플링 회로 구동 신호선 (117) 이 샘플링 회로 (301) 로 배선되어 있다.
이들 데이터선 구동 회로 (101) 및 샘플링 회로 (301) 에 관련된 회로 구성이나, 인회 배선 등에 의한 전기적인 접속 관계는, 도 4 에 나타낸 바와 같다.
즉, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 화상 신호선 (115) 으로부터의 분지 배선 (116) 은, 샘플링 회로 (301) 를 구성하는 TFT 등으로 이루어지는 샘플링 스위치 (302) 의 소스에 접속되어 있고, 데이터선 구동 회로 (101) 로부터의 샘플링 회로 구동 신호선 (117) 은, 샘플링 스위치 (302) 의 게이트에 접속되어 있다. 이에, 전기 광학 장치의 동작시에는, 외부 회로로부터 화상 신호용 단자 (102a) 에 인가되는 화상 신호는, 화상 신호선 (115) 으로부터의 분지 배선 (116) 을 지나서 샘플링 회로 (301) 에 공급된다. 여기서, 샘플링 회로 (301) 에 공급되는 화상 신호는, 6 상으로 직-병렬 전개된 화상 신호 (VID1∼VID6) 로서, 6 개의 데이터선 (6a) 세트에 대하여, 세트마다 패럴렐 또는 병렬로, 샘플링 회로 (301) 에 공급된다. 그리고, 화상 신호는 데이터선 구동 회로 (101) 로부터 샘플링 회로 구동 신호선 (117) 을 지나서 공급되는, 시프트 레지스터 출력에 근거하는 샘플링 회로 구동 신호에 따르는 타이밍으로 샘플링된다. 이 때, 화상 신호 (VID1∼VID6) 가 6 상으로 직-병렬 변환되어 있는 화상 신호이기 때문에, 데이터선 구동 회로 (101) 는, 샘플링 회로 구동 신호를 각각, 그 최종단에 있어서 6 개로 분지함으로써, 6 개의 데이터선 (6a) 세트에 대응하는 6 개의 샘플링 스위치 (302) 의 세트에 대하여 동시에 공급한다. 그리고, 6 개의 데이터선 (6a) 세트마다 동시에 샘플링된 화상 신호는, 각 데이터선 (6a) 에 공급되게 된다.
또한, 이러한 동작시에는, 외부 회로로부터 대향 전극용 단자 (102c) 에 인가되는 대향 전극 전위 (LCCOM) 는, 대향 전극용 인회 배선 (71) 및 상하 도통 단자 (106) 를 통하여, 대향 전극 (21) 으로 공급되게 된다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 상기 서술한 바와 같이 대향 전극 전위 (LCCOM) 가 공급되는 대향 전극 (21) 은, 액정층 (50) 을 사이에 두고 화소 전극 (9a) 과 대향 배치되어 있고, 액정 용량 (50a) 을 구축하고 있다. 여기서, 각 화소부에는, 상기 서술한 바와 같이 화상 신호가 공급되는 데이터선 (6a) 이, 그 소스에 접속된 화소 스위칭용 TFT (30) 을 갖는다. 이 TFT (30) 의 게이트에는, 주사선 구동 회로 (104) (도 1 에서 도 3 참조) 로부터 주사 신호가 공급되는 주사선 (3a) 이 접속되어 있다. 따라서, 주사선 (3a) 을 통하여 주사 신호가 공급되는 타이밍에서, TFT (30) 가 도통 상태가 됨으로써, 데이터선 (6a) 및 TFT (30) 의 소스 드레인 사이를 통하여 화소 전극 (9a) 에 화상 신호가 기록되게 된다. 또한, 액정 용량 (50a) 에서의 전위의 유지 특성을 높이기 위해서, 액정 용량 (50a) 과 병렬로 축적 용량 (70) 이 구축되어 있다.
이러한 축적 용량 (70) 은, 소정 전위를 공급하는 용량선 (300) 의 일부 또는 이에 접속된 고정 전위측 용량 전극과, 화소 전극 (9a) 에 접속된 화소 전위측 용량 전극이 유전체막을 통하여 대향 배치됨으로써 구축된다.
이와 같이 구성되어 있기 때문에, 본 실시형태에 관련된 액정 장치는, 그 동작시에는, 주사선 구동 회로 (104) 에 의해 주사선 (3a) 을 통하여 주사 신호가 화소부에 공급되고, 데이터선 구동 회로 (101) 에 의해 데이터선 (6a) 을 통하여 화상 신호가 화소부에 공급되어, 각 화소부에 있어서의 액티브 매트릭스 구동이 실시되는 것이다.
다시 도 3 에 있어서, 본 실시형태에서는 특히, TFT 어레이 기판 (10) 은, 그 제 1 변 (도 3 중, 밑변) 에 있어서 평면적으로 보아 대향 기판 (20) 보다 장출된 장출부 (10e) 를 갖고, 장출부 (10e) 상에 복수의 외부 회로 접속 단자 (102)가 제 1 변을 따라 배열되어 있다. 또한, 데이터선 구동 회로 (101) 에 관해서도, 제 1 변을 따라 배치되어 있고, 장출부 (10e) 상에 배치되어 있다. 또한, 화상 신호선 (115) 은, TFT 어레이 기판 (10) 상에서 평면적으로 보아 데이터선 구동 회로 (101) 및 화상 표시 영역 (10a) 사이에 제 1 변을 따라 배선된 제 1 배선 부분 (L1) 을 갖는다. 화상 신호선 (115) 은, 직-병렬 전개수에 따라 6 개가 병행 또는 가로로 배선되어 있다. 다만, 제 1 배선 부분 (L1) 은, 1 개여도 된다. 그리고, 화상 신호선 (115) 중 제 1 배선 부분 (L1) 은 적어도 부분적으로, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역 (52a) 내에 배선되어 있다.
여기서 도 6 에 나타낸 본 실시형태에 관련된 비교예와 비교함으로써, 상기 서술한 바와 같이 구성된 본 실시형태의 작용 효과에 관해서 검토한다. 여기서 도 6 은, 본 실시형태의 비교예에 있어서의 도 3 과 동 취지의 부분 평면도이다.
도 6 에 나타내는 비교예에서는, 화상 신호선 (115) 중 제 1 배선 부분 (L1) 은, 시일재 (52) 가 배치된 시일 영역 (52a) 보다도 화상 표시 영역 (10a) 에서 먼 측에 배치되어 있다. 바꿔 말하면, 제 1 배선 부분 (L1) 은, 시일 영역 (52a) 내에는 배선되어 있지 않다. 그 밖의 구성에 관해서는, 도 3 에 나타낸 실시형태와 거의 같다. 이 때문에, 비교예에 있어서는, 장출부 (10e) 에 관해서, TFT 어레이 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 의 평면 형상을 서로 동일에 가깝게 하는 것, 즉 TFT 어레이 기판 (10) 의 사이즈를 상대적으로 작게 할 수 없다.
도 3 에 나타낸 본 실시형태의 액정 장치에서는, 도 6 의 비교예에 비하여, TFT 어레이 기판 (10) 의 폭을
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W 만큼 좁힐 수 있고, 이것에 의해, 장출부 (10e) 를 작게 하는 것이 가능해지는 것이다. 바꿔 말하면, 외부 회로 접속 단자 (102) 가 배열된 장출부 (10e) 에 관해서, TFT 어레이 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 의 평면 형상을 서로 동일에 가깝게 하는 것, 즉 TFT 어레이 기판 (10) 의 사이즈를 상대적으로 작게 하는 것이 가능해지는 것이다.
이상의 결과, 본 실시형태에 의하면, 액정 장치에 있어서의 주변 영역을 화상 표시 영역 (10a) 에 대하여 좁히는 것이 가능해지고, 화상 표시 영역 (10a) 을 좁히는 일 없이 당해 액정 장치를 소형화하는 것이 가능해진다. 그리고 특히, 이러한 구성으로 하면, 복수의 TFT 어레이 기판 (10) 이 되는 모기판 상에 복수의 액정 장치를 형성한 뒤에 절단하여 개개의 액정 장치로 한다는 범용적인 제조 공정에 있어서, 동일 면적 내에 의해 많은 액정 장치를 형성하는 것이 가능해진다. 동일 모기판 상에 당해 액정 장치를 수매나 십수매 또는 수십매 배열하여 제조하는 경우, 예를 들어 TFT 어레이 기판의 사이즈를 콤마 수 mm 나 수 mm 정도로 약간 작게 할 수 있는 것만으로도, 동일 모기판 상에 일렬이나 복수열만큼 많고, 또는 일행이나 복수행만큼 많게, 당해 액정 장치를 형성하는 것도 가능해질 수 있다. 이에, 이와 같이 TFT 어레이 기판 (10) 의 사이즈를 약간 작게 할 수 있다는 것만으로도, 실용에 있어서는, 매우 유익하고, 그 효과는 절대적이라고 할 수 있다.
도 3 및 도 4 에 있어서, 본 실시형태에서는, 화상 신호는 직-병렬 변환된 6 개의 화상 신호 (VID1∼VID6) 이고, 6 개의 화상 신호 (VID1∼VID6) 를 공급하기 위한 6 개의 제 1 배선 부분 (L1) 은 각각, 시일 영역 (52a) 내에 배치되어 있다.
이 때문에, 그 동작시에는, 직-병렬 변환된 6 개의 화상 신호 (VID1∼VID6) 가, 6 개의 화상 신호선 (115) 을 통하여 동시에 공급된다. 여기서 특히, 6 개의 제 1 배선 부분 (L1) 은 각각, 시일 영역 (52a) 내에 배치되어 있기 때문에, TFT 어레이 기판 (10) 상에 있어서의 영역을, 한층 더 유효하게 활용함으로써, TFT 어레이 기판 (10) 을 한층 더 소형화하는 것이 가능해진다.
특히, 도 6 의 비교예에서는, 상전개수를 6 으로 하고 있는, 즉 6 개의 화상 신호선이 가로로 배열되어 있을 뿐이다. 그러나 실제로는, 예를 들어 상전개수가 9, 12, 24, 48, 96, … 등, 즉 9, 12, 24 개, 48 개, 96 개, … 등의 화상 신호선이 가로로 배열되는 경우도 있다. 따라서, 이와 같이 시일 영역과 데이터선 구동 회로와의 사이에 배열된 다수의 화상 신호선이 차지하는 평면 영역은, 데이터선 구동 회로 등이 차지하는 평면 영역 등과 비교하더라도 무시할 수 없을 정도로 커져 버리는 것이다. 즉, 본 실시형태의 구성은, 상전개수가 많아지면 많아질수록, 비교예와 비교하여 현저하게 유리해진다.
또한, 본 실시형태와 같이 제 1 배선 부분 (L1) 과 대향 기판 (20) 이 대향하고 있으면, 제 1 배선 부분 (L1) 과 시일재 (52) 또는 시일재 (52) 를 통한 대향 기판 (20) 과의 사이의 용량에 의해서, 화상 신호 (VID1∼VID6) 가 영향을 받는다. 더구나, 이와 같이 복수의 화상 신호선 (115) 이 존재하는, 즉 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 이 존재하는 경우에는, 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 에서 대향 기판 (20) 과의 사이에 있어서의 용량의 형성 방법이 바뀌면, 화상 신호 (VID1∼VID6) 의 계열마다의 표시 불균일이 생겨버릴 가능성이 있다. 그런데 본 실시형태에 의하면, 그들 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 의 각각에 관해서, 시일 영역 (52a) 내에 넣음으로써, 즉 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 에서 대향 기판 (20) 과의 사이에 있어서의 용량의 형성 방법을 배선 간에 서로 근접하게 함으로써, 표시 불균일을 저감시키는 것이 가능해진다.
보다 바람직하게는, 6 개의 제 1 배선 부분 (L1) 은, 시일 영역 (52a) 내에 존재하는 부분의 각 면적이 서로 균등해지도록 배치된다. 이와 같이 구성하면, 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 에서 대향 기판 (20) 과의 사이에 있어서의 용량의 형성 방법이 변하는 것에 의한 화상 신호 (VID1∼VID6) 의 계열마다의 표시 불균일을 저감시키는 것이 가능해진다. 또한, 여기에서 말하는 「각 면적이 서로 균등하게 된다」 는 범위에 관해서는, 구체적으로는, 실험적, 경험적, 시뮬레이션 등에 의해, 개개의 액정 장치에 대하여 개별 구체적으로 설정하면 된다.
본 실시형태에서는, 화상 신호선 (115) 은 데이터선 (6a) 에 대응하여 제 1 배선 부분 (L1) 으로부터 화상 표시 영역 (10a) 측을 향해서 인출 배선 부분 (116)을 추가로 갖는다. 또한, 화상 신호선 (115) 중, TFT 어레이 기판 (10) 의 제 1 변을 따르는 제 1 배선 부분 (L1) 과, 그리고 화상 표시 영역 (10a) 측을 향해서, 제 1 변에 교차하는 방향으로 인출된 인출 배선 부분 (116) 과의 양자가 적어도 부분적으로, 시일 영역 (52a) 내에 배치되어 있다. 따라서, TFT 어레이 기판 (10) 상에 있어서의 영역을, 한층 더 유효하게 활용함으로써, TFT 어레이 기판 (10) 을 한층 더 소형화하는 것이 가능해진다.
또한, 이러한 인출 배선 부분 (116) 은, 제 1 배선 부분 (L1) 으로부터 인출되어 샘플링 회로 (301) 에 달한다. 따라서, 이 경우에는, 샘플링 회로 구동 신호선 (117) 에 관해서도, 인출 배선 부분 (116) 과 가로로 시일 영역 (52a) 내에, 적어도 부분적으로 배치되게 된다.
다시 도 3 에 있어서, 본 실시형태에서는, 시일재 (52) 에는, TFT 어레이 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 사이의 기판 사이의 갭을 규정하기 위한 갭재가 혼입되어 있고, TFT 어레이 기판 (10) 상에 있어서, 제 1 배선 부분 (L1) 의 상층 측에 배치된 막에 대하여, 평탄화 처리가 실시되어 있다.
따라서, 시일재 (52) 내에 혼입된 비즈형상이나 화이버형상의 갭재에 의해서, 기판 사이의 갭을 제어할 수 있다. 이 때, 액정 내에 갭재를 혼입하지 않아도 되고, 또한 화상 표시 영역 (10a) 내에 조개 관자형상의 갭재를 만들어 넣을 필요도 없다. 더구나, 제 1 배선 부분 (L1) 의 상층 측에 배치된 막에 대하여, 평탄화 처리가 실시되어 있기 때문에, 화상 신호선 (115) 의 존재에 기인하는 요철이 TFT 어레이 기판 (10) 의 표면에 존재하는 채로 기판 사이의 갭을 제어하는 경우와 비교하여, 갭재에 의해, 기판 사이의 갭을 고정밀도로 제어할 수 있다. 또한, 시일 영역 (52a) 내에 배선된 화상 신호선 (115) 이나 인출 배선 부분 (116) 등이, 예를 들어 양 기판의 접합 공정시에 기판 표면의 요철의 존재에 의해 압력이 집중하는 개소에서, 단선이나 쇼트될 가능성을, 이와 같이 기판 표면을 평탄화함으로써 저감할 수 있다.
여기서는, CMP (화학적 기계 연마) 처리나, 열처리에 의한 리플로우에 의해서, 상층 측의 막은 평탄화되어 있다. 또는, 스핀 코트에 의해 상층 측의 막이 형성되어 있어도 된다. 또한, 이들을 대신하거나 또는 첨가하여, 하층 측에 배치된 막이나 TFT 어레이 기판 (10) 의 기판 본체에 오목부를 형성하고, 제 1 배선 부분 (L1) 을 적어도 부분적으로 매립하거나 또는 가라앉힘으로써, 상층 측의 막에 대하여 평탄화 처리가 실시되어 있어도 된다.
도 3 에 있어서, 본 실시형태에서는, TFT 어레이 기판 (10) 상에, 화상 신호선 (115) 을 통하여 공급되는 화상 신호 (VID1∼VID6) 를, 데이터선 구동 회로 (101) 로부터 공급되는 샘플링 회로 구동 신호에 따라 샘플링하고, 데이터선 (6a)에 공급하는 샘플링 회로 (301) 를 추가로 구비하여, 데이터선 구동 회로 (101) 는, 주변 영역 중 시일 영역 (52a) 보다도 화상 표시 영역 (10a) 에서 먼 측의 영역에 배치되어 있고, 샘플링 회로 (301) 는, 주변 영역 중 시일 영역 (52a) 보다도 화상 표시 영역 (10a) 에 가까운 측에 배치되어 있다.
이 때문에, 그 동작시에는, 데이터선 구동 회로 (101) 로부터 샘플링 회로 구동 신호선 (117) 을 통하여 샘플링 회로 구동 신호를 샘플링 회로 (301) 에 공급하면서, 화상 신호선 (115) 을 통하여 화상 신호 (VID1∼VID6) 를 샘플링 회로 (301) 에 공급함으로써, 데이터선 (6a) 에 대한 화상 신호 (VID1∼VID6) 의 제공을 소정 타이밍으로 실시하는 것이 가능해지고, 고주파수 구동에 의한 액티브 매트릭스 구동이 가능해진다. 여기에서 특히, 데이터선 구동 회로 (101) 는 시일 영역 (52a) 보다도 먼 측의 영역에 배치되어 있고, 샘플링 회로 (301) 는 시일 영역 (52a) 보다도 가까운 측에 배치되어 있기 때문에, 제조 공정 중에 TFT 어레이 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 을 부착할 때에, 시일재 (52) 에 대하여 작용하는 압축력에 의해서, 데이터선 구동 회로 (101) 를 구성하는 TFT 등의 회로 소자나 샘플링 회로 (301) 를 구성하는 TFT 등의 회로 소자에 데미지를 주는 사태를 미연에 방지할 수 있다. 따라서, 실용에 있어서 대단히 유리하다.
또한, 대향 기판 (20) 에, 화상 표시 영역 (10a) 의 액자를 규정하는 액자 차광막 (53) 을 추가로 구비하고, 샘플링 회로 (301) 는 주변 영역 중 액자 차광막 (53) 이 형성된 액자 영역 내에 적어도 부분적으로 배치되어 있다. 이 때문에, 시일 영역 (52a) 의 안쪽에 위치하는 액자 영역을 이용하여, 샘플링 회로 (301) 를 형성하는 영역을 확보 가능해진다. 이에, 시일 영역 (52a) 의 내측에 배치된 샘플링 회로 (301) 의 존재에 의해서, 화상 표시 영역 (10a) 이 작아지는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 또한, 이러한 액자 차광막은, TFT 어레이 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 의 적어도 일방에 배치되어 있으면 된다.
<제 2 실시형태>
다음으로, 제 2 실시형태에 따르는 액정 장치에 관해서, 도 7 및 도 8 을 참조하여 설명한다. 여기에 도 7 은, 제 2 실시형태에 있어서의 도 3 과 동일 취지의 평면도이다. 도 8 은, 도 7 의 A-A' 선에서의 단면도이다. 또한, 도 7 및 도 8 에 있어서, 도 3 에 나타낸 제 1 실시형태에 따르는 구성 요소와 같은 구성 요소에 동일한 참조 부호를 붙이고, 그들의 설명은 적절히 생략한다.
도 7 및 도 8 에 있어서, 본 실시형태에 관련된 액정 장치에서는, 대향 전극 (21) 은 대향 기판 (20) 에 복수의 화소부가 각각 갖는 화소 전극 (9a) (도 2 참조) 에 공통으로 대향하도록 형성되어 있음과 함께 제 1 배선 부분 (L1) 에 대향하는 영역의 절결 부분 (R1) 에 있어서 절결되어 있다.
제 1 배선 부분 (L1) 은, TFT 어레이 기판 (10) 상의 제 1 층간 절연막 (41) 상에 형성되어 있다. 그들의 위에 제 2 층간 절연막 (42) 이 형성되어 있다.
본 실시형태에 의하면, 복수의 화소 전극 (9a) (도 2 참조) 및 이들에 대하여 공통의 대향 전극 (21) 사이에, 종전계를 발생시킴으로써, 액정을 화소마다 종전계 구동한다. 본 실시형태에서는 특히, 이러한 대향 전극 (21) 은 제 1 배선 부분 (L1) 에 대향하는 영역의 절결 부분 (R1) 에 있어서 절결되어 있기 때문에, 절결되어 있지 않은 경우에 거의 기판 사이의 갭을 통하여 대향 배치될 수 있는, 즉 콘덴서 구조를 구축할 수 있는 제 1 배선 부분 (L1) 과 대향 전극 (21) 과는 실제로는 대향하지 않는다. 따라서, 화상 신호선 (115) 과 대향 전극 (21) 과의 사이의 용량에 의해서, 화상 신호 (VID1∼VID6) 가 대향 전극 전위의 영향을 받거나, 또는, 대향 전극 전위가 화상 신호 (VID1∼VID6) 의 영향을 받는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 이 결과, 한층 더 고품위의 화상 표시가 가능해진다.
또한, 본 실시형태에서는 바람직하게는, 대향 전극 (21) 은 제 1 배선 부분 (L1) 에 대향하는 영역에는 완전히 대향하지 않도록 절결되어 있다. 또는, 절결 부분 (R1) 을 크게 하고, 평면적으로 보아 대향 전극 (21) 에 있어서의 제 1 배선 부분 (L1) 에 가장 가까운 부분을, 제 1 배선 부분 (L1) 으로부터 적당한 거리만큼 후퇴시키도록 구성해도 된다.
즉, 절결 부분 (R1) 을 형성할 때는, 예를 들어, 대향 기판 (20) 의 거의 전면에 형성되는 대향 전극 (21) 중, 제 1 배선부 (L1) 에 대향하는 직사각형의 영역을 절결하고, 화소 전극 (9a) 에 대향하는 영역과, 상하 도통 단자 (106) 에 대향하는 영역이 남도록 하면 된다.
도 7 에 있어서, 본 실시형태에서는, TFT 어레이 기판 (10) 에 대향 전극 (21) 에 대향 전극 전위를 공급하기 위한 상하 도통 단자 (106) 를 추가로 구비하고 있다. 대향 전극 (21) 은, 그 절결 부분 (R1) 의 옆에 있어서, 상하 도통 단자 (106) 에 대향하는 영역에까지 연재되어 있는 대향 전극 연재 부분 (21e) 을 갖는다. TFT 어레이 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 사이에, 상하 도통 단자 (106) 와 대향 전극 (21) 에 있어서의 대향 전극 연재 부분 (21e) 을 전기적으로 상호 접속하는 상하 도통재 (107) 를 추가로 구비해도 된다.
이와 같이 구성하면, 상하 도통 단자 (106) 의 위치를 종래와 동일한 대향 기판 (20) 의 네 구석에 있어서, 적어도 TFT 어레이 기판 (10) 의 제 1 변을 따르는 대향 기판 (20) 의 제 1 변의 한 끝 또는 양끝에 있어서의 두 구석에 있어서, 상하 도통재 (107) 및 대향 전극 (20) 에 있어서의 대향 전극 연재 부분 (21e) 을 통하여, 상하 도통 단자 (106) 와 대향 전극 (21) 과의 사이에 있어서의 상하 도통을 취하는 것이 가능해진다. 또한, 이러한 상하 도통 단자 (106) 는, 외부 회로 접속 단자 (102) 로부터 대향 전극 전위를 공급하기 위한 대향 전극용 인회 배선 (71) 에 접속되어 있다.
(변형예)
도 9 에 변형예로서 나타내는 바와 같이, 대향 전극 (21) 은 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 에 대향하는 영역에는 각각 부분적으로 대향하지 않도록, 또한 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 에 대향하는 부분의 각 면적이 서로 균등해지도록, 절결 부분 (R2) 이 절결되어 있도록 해도 된다. 여기에 도 9 는, 변형예에 있어서의 도 7 과 동일 취지의 도면이다. 또한, 도 9 에 있어서, 도 3 에 나타낸 제 1 실시형태에 관련된 구성 요소와 동일한 구성 요소에 동일한 참조 부호를 붙이고, 그들의 설명은 적절히 생략한다.
이와 같이하면, 복수의 제 1 배선 부분 (L1) 과 대향 전극 (21) 과는 부분적으로 대향하고 있기 때문에, 제 1 배선 부분 (L1) 과 대향 전극 (21) 과의 사이의 용량에 의해서, 화상 신호 (VID1∼VID6) 가 대향 전극 전위의 영향을 받거나, 또는, 대향 전극 전위가 화상 신호 (VID1∼VID6) 의 영향을 받는다. 그러나, 직-병렬 전개된 복수의 화상 신호 (VID1∼VID6) 에 관련된 계열별 용량의 차이는 거의 없기 때문에, 화상 신호의 계열마다 표시 불균일을 거의 발생시키지 않는다. 이 결과, 대향 전극 (21) 을 극단적으로 후퇴시킬 필요없이, 고품위의 화상 표시가 가능해진다. 또한, 여기에서 말하는 「각 면적이 서로 균등하게 된다」 는 범위에 대해서는, 구체적으로는, 실험적, 경험적, 시뮬레이션 등에 의해, 개개의 액정 장치에 대하여 개별 구체적으로 설정하면 충분하다.
(제 3 실시형태)
다음으로, 제 3 실시형태에 따르는 액정 장치의 제조 방법에 관해서, 도 2, 도 3 및 도 10 을 참조하여 설명한다. 도 10 은, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 제조 방법을 나타내는 플로우 차트이다.
도 10 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 제조 방법에 의하면, 먼저, 형성 공정에 있어서 (단계 S10), TFT 어레이 기판 (10) 에 관해서는, 막형성 처리, 패터닝 처리, 불순물 도핑 처리, 고온 처리 등에 관련된 각종 처리를 포함하는 공정에 의해서, 화소부, 데이터선 구동 회로 (101), 주사선 구동 회로 (104) 등을 포함하는 주변 회로, 외부 회로 접속 단자 (102), 화상 신호선 (115) 을 포함하는 인회 배선 등이 형성된다 (단계 S10a).
이 때, 복수의 화소부는, 화상 표시 영역 (10a) 에 배열된다. 주사선 (3a) 을 통하여 화소부를 구동하기 위한 주사선 구동 회로 (104) 는, 화상 표시 영역 (10a) 의 주변에 위치하는 주변 영역에 있어서 TFT 어레이 기판 (10) 의 제 1 변 (도 3 중, 밑변) 에 인접하는 적어도 하나의 제 2 변을 따라 배치된다. 데이터선 (3a) 을 통하여 화소부를 구동하기 위한 데이터선 구동 회로 (101) 는, 주 변 영역에 있어서 제 1 변을 따라 배치된다. 복수의 외부 회로 접속 단자 (102) 는, 주변 영역 중 장출부 (10e) 상에 있는 영역에 있어서 제 1 변을 따라 배열된다.
한편, 이러한 TFT 어레이 기판 (10) 의 형성 공정과 상전후하거나 또는 병행하게, 대향 기판 (20) 에 관해서는, 막형성 처리, 패터닝 처리, 불순물 도핑 처리, 고온 처리 등에 관련된 각종 처리를 포함하는 공정에 의해서, 대향 전극 (21) 등이 형성된다 (단계 S10b).
그 후, 접합 공정에 의해서, TFT 어레이 기판 (10) 및 대향 기판 (20) 사이에 액정층 (50) 이 협지되고, TFT 어레이 기판 (10) 은, 그 제 1 변에 있어서 평면적으로 보아 대향 기판 (20) 보다 장출된 장출부 (10e) 를 갖도록 형성된다 (단계 S20).
여기서 특히, 형성 공정 (단계 S10a) 에서는, 화상 신호선 (115) 중 제 1 배선 부분 (L1) 은 적어도 부분적으로, 시일 영역 (52a) 내에 형성된다. 또한, 형성 공정 (단계 S10a) 에서, TFT 어레이 기판 (10) 의 표면을 평탄화함으로써, 그 후에 실시되는 접합 공정 (단계 S20) 에 있어서, 시일 영역 (52a) 내에 배선된 화상 신호선 (115) 이나 인출 배선 부분 (116) 등이 단선이나 쇼트될 가능성을 저감하고 있다.
따라서, 본 실시형태에 관련된 액정 장치의 제조 방법에 의하면, 상기 서술한 제 1 및 제 2 실시형태에 따르는 액정 장치를 비교적 용이하게 하여 제조하는 것이 가능하다. 또한, 본 실시형태의 액정 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 서술한 제 1 및 제 2 실시형태에 따르는 액정 장치의 각종 태양에 대응하는 각종 태양을 채용하는 것도 가능하다.
<전자 기기>
다음으로, 상기 서술한 전기 광학 장치인 액정 장치를 각종 전자 기기에 적용하는 경우에 관해서 설명한다.
우선, 이 액정 장치를 라이트 밸브로서 사용한 프로젝터에 관해서 설명한다. 도 11 은, 프로젝터의 구성예를 도시하는 평면도이다. 이 도 11 에 나타나는 바와 같이, 프로젝터 (1100) 의 내부에는, 할로겐 램프 등의 백색 광원으로 이루어진 램프 유닛 (1102) 이 형성되어 있다. 이 램프 유닛 (1102) 으로부터 출사 된 투사광은, 라이트 가이드 (1104) 내에 배치된 4 장의 미러 (1106) 및 2 장의 다이크로익 미러 (1108) 에 의해서 RGB 의 3 원색으로 분리되고, 각 원색에 대응하는 라이트 밸브로서의 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에 입사된다.
액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 의 구성은, 상기 서술한 액정 장치와 동등하고, 화상 신호 처리 회로로부터 공급되는 R, G, B 의 원색 신호로 각각 구동되는 것이다. 그리고, 이들의 액정 패널에 의해서 변조된 빛은, 다이크로익 프리즘 (1112) 에 3 방향에서 입사된다. 이 다이크로익 프리즘 (1112) 에 있어서는, R 및 B 의 빛이 90 도로 굴절하는 한편, G 의 빛이 직진한다. 따라서, 각 빛깔의 화상이 합성되는 결과, 투사 렌즈 (1114) 를 통하여, 스크린 등에 컬러 화상이 투사되는 것이 된다.
여기서, 각 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에 의한 표시 이미지에 관 해서 주목하면, 액정 패널 (1110G) 에 의한 표시 이미지는, 액정 패널 (1110R, 1110B) 에 의한 표시 이미지에 대하여 좌우 반전하는 것이 필요해진다.
또, 액정 패널 (1110R, 1110B 및 1110G) 에는, 다이크로익 미러 (1108) 에 의해서, R, G, B 의 각 원색에 대응하는 빛이 입사하기 때문에, 컬러 필터를 형성할 필요는 없다.
다음으로, 액정 장치를, 모바일형의 PC 에 적용한 예에 관해서 설명한다. 도 12 는, 이 PC 의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 12 에 있어서, 컴퓨터 (1200) 는, 키보드 (1202) 를 구비한 본체부 (1204) 와, 액정 표시 유닛 (1206) 으로 구성되어 있다. 이 액정 표시 유닛 (1206) 은, 먼저 말한 액정 장치 (1005) 의 배면에 백라이트를 부가함으로써 구성되어 있다.
또한, 액정 장치를, 휴대 전화에 적용한 예에 관해서 설명한다. 도 13 은, 이 휴대 전화의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 13 에 있어서, 휴대 전화 (1300) 는, 복수의 조작 버튼 (1302) 과 동시에, 반사형의 액정 장치 (1005) 를 구비하는 것이다. 이 반사형의 액정 장치 (1005) 에 있어서는, 필요에 따라 그 전면에 프론트 라이트가 형성된다.
또한, 도 11 에서 도 13 을 참조하여 설명한 전자 기기 외에도, 액정 텔레비전이나, 뷰파인더형, 모니터 직시형의 비디오 테이프 레코더, 카내비게이션 장치, 페이저, 전자 수첩, 전자 계산기, 워드 프로세서, 워크스테이션, 텔레비전 전화, POS 단말, 터치 패널을 구비한 장치 등등을 들 수 있다. 그리고, 이들의 각종전자 기기에 적용 가능한 것은 말할 필요도 없다.
또한 본 발명은, 상기 서술한 실시형태에서 설명한 액정 장치 이외에도, 규소 기판 상에 소자를 형성하는 반사형 액정 장치 (LCOS), 플라즈마 디스플레이 (PDP), 전계 방출형 디스플레이 (FED, SED), 유기 EL 디스플레이 등에도 적용 가능하다.
본 발명은, 상기 서술한 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 청구의 범위 및 명세서 전체로부터 알아낼 수 있는 발명의 요지 또는 사상에 반하지 않는 범위에서 적절히 변경 가능하고, 그와 같은 변경을 수반하는 전기 광학 장치, 그 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지는 전자 기기 및 그 전기 광학 장치의 제조 방법도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함되는 것이다.
이상, 본 발명에 따르면, 액정 장치 등의 전기 광학 장치에 있어서, 화상 표시 영역의 면적을 그대로 확보하면서 소형화할 수 있다.

Claims (11)

  1. 삭제
  2. 한 쌍의 제 1 및 제 2 기판이 접합되어 이루어지고, 상기 제 1 기판은, 그 제 1 변에 있어서 평면적으로 보아 상기 제 2 기판으로부터 장출된 장출부를 갖는 전기 광학 장치로서,
    상기 제 1 기판에, 화소 영역에 배열되어 있고 화소 전극을 각각 갖는 복수의 화소부,
    상기 화소 영역의 주변에 위치하는 주변 영역에 있어서, 상기 제 1 변을 따라 배치되어 있고 상기 화소부에 화상 신호를 공급하기 위한 데이터선 구동 회로,
    상기 주변 영역 중 상기 장출부 상에 있는 영역에 있어서 상기 제 1 변을 따라 배열된 복수의 외부 회로 접속 단자,
    상기 복수의 외부 회로 접속 단자로부터 상기 데이터선 구동 회로의 주위를 따라 인회되어 있고, 상기 데이터선 구동 회로와 상기 화소 영역과의 사이에서 상기 제 1 변의 방향으로 배선된 제 1 배선 부분을 갖는 화상 신호선, 및
    상기 화소 영역의 주위를 따르는 시일 (seal) 영역에 있어서 상기 제 1 및 제 2 기판을 서로 접합하는 시일재를 구비하고,
    상기 제 1 배선 부분은 적어도 부분적으로, 상기 시일 영역 내에 배선되어 있으며,
    상기 화상 신호는, 직-병렬 변환된 복수의 화상 신호이고, 상기 제 1 배선 부분은, 상기 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 복수의 배선으로 이루어지고,
    복수의 상기 제 1 배선 부분은 각각, 상기 시일 영역 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 화상 신호는 직-병렬 변환된 복수의 화상 신호이고, 상기 제 1 배선 부분은 상기 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 복수의 제 1 배선 부분이고,
    상기 복수의 제 1 배선 부분은, 상기 시일 영역 내에 존재하는 부분의 각 면적이 서로 균등해지도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 화상 신호선은, 상기 제 1 배선 부분으로부터 상기 화소 영역측을 향해서 인출된 인출 배선 부분을 추가로 갖고,
    상기 인출 배선 부분은, 적어도 부분적으로, 상기 시일 영역 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  5. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 기판에, 상기 복수의 화소부가 각각 갖는 상기 화소 전극에 공통으로 대향하도록 형성되어 있음과 함께 상기 제 1 배선 부분에 대향하는 영역에 있어서 절결되어 있는 대향 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 화상 신호는, 직-병렬 전개된 복수의 화상 신호이고, 상기 제 1 배선 부분은, 상기 복수의 화상 신호를 공급하기 위한 복수의 제 1 배선 부분이고,
    상기 대향 전극은, 상기 복수의 제 1 배선 부분에 대향하는 영역에는 각각 부분적으로 대향하지 않도록, 또한 상기 복수의 제 1 배선 부분에 대향하는 부분의 각 면적이 서로 균등해지도록 절결되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 기판에, 상기 대향 전극에 대향 전극 전위를 공급하기 위한 상하 도통 단자를 추가로 구비하고,
    상기 대향 전극은, 그 절결되어 있는 부분의 옆에 있어서, 상기 상하 도통 단자에 대향하는 영역에까지 연재하고 있으며,
    상기 제 1 및 제 2 기판 사이에, 상기 상하 도통 단자와 상기 대향 전극에 있어서의 연재하고 있는 부분을 전기적으로 상호 접속하는 상하 도통재를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  8. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 시일재에는, 상기 제 1 및 제 2 기판 사이의 기판 사이의 갭을 규정하기 위한 갭재가 혼입되어 있고,
    상기 제 1 기판 상에 있어, 상기 제 1 배선 부분의 상층 측에 배치된 막에 대하여, 평탄화 처리가 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 기판 상에, 상기 화상 신호선을 통하여 공급되는 상기 화상 신호를 상기 데이터선 구동 회로로부터 공급되는 샘플링 회로 구동 신호에 따라 샘플링하여 상기 데이터선에 공급하는 샘플링 회로를 추가로 구비하고,
    상기 데이터선 구동 회로는, 상기 주변 영역 중, 상기 시일 영역보다도 상기 화소 영역으로부터 먼 측의 영역에 배치되어 있고,
    상기 샘플링 회로는, 상기 주변 영역 중, 상기 시일 영역보다도 상기 화소 영역에 가까운 측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  10. 제 2 항 또는 제 3 항에 기재된 전기 광학 장치를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
  11. 삭제
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