KR100773840B1 - 헤드 슬라이더 및 디스크 장치 - Google Patents

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KR100773840B1
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시마노우치다케아키
고이시료우스케
이마무라다카히로
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후지쯔 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 부상량을 제어할 수 있는 헤드 슬라이더를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명은 헤드 슬라이더로서, 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 공기 베어링 표면과 상기 공기 베어링 표면보다도 낮은 스텝면을 갖는 프론트 레일과, 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와, 프론트 레일에서 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈을 포함하고 있다. 또한, 헤드 슬라이더는, 공기 유출단 근방을 제외한 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 포함하고 있다. 이 압전 액추에이터에 의해, 프론트 레일 및 그 주변부를 기록 매체에 근접시키는 방향 또는 기록 매체로부터 이간시키는 방향으로 변형하고, 공기 베어링 표면에서 발생하는 정압을 조정함으로써, 헤드 슬라이더의 부상량을 조정할 수 있다.
공기 베어링, 기록 매체, 헤드 슬라이더, 디스크 장치

Description

헤드 슬라이더 및 디스크 장치{HEAD SLIDER AND DISK DEVICE}
도 1은 종래예의 사시도.
도 2는 종래예의 동작 설명도.
도 3은 커버를 제거한 상태의 자기 디스크 장치의 평면도.
도 4a는 램프부재의 측면도, 도 4b는 램프부재의 평면도.
도 5는 본 발명의 제 1 실시형태의 사시도.
도 6은 도 5의 VI-VI선 단면도.
도 7은 제 1 실시형태의 자기 헤드 슬라이더의 동작 설명도.
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태의 사시도.
도 9는 도 8의 IX-IX선 단면도.
도 10은 본 발명의 제 3 실시형태의 사시도.
도 11은 도 10의 XI-XI선 단면도.
도 12는 본 발명의 제 4 실시형태의 사시도.
도 13은 도 12의 XIII-XIII선 단면도.
도 14는 본 발명의 제 5 실시형태의 사시도.
도 15는 도 14의 XV-XV선 단면도.
도 16은 본 발명의 제 6 실시형태의 사시도.
도 17은 도 16의 XVII-XVII선 단면도.
도 18은 본 발명의 제 7 실시형태의 사시도.
도 19는 도 18의 XIX-XIX선 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
48∼48F : 자기 헤드 슬라이더
70 : 프론트 레일
72 : 리어 센터 레일
74 : 공기 베어링 표면(ABS)
76 : 스텝면
82 : 전자 트랜스듀서
84, 86 : 사이드 레일
92 : 홈
94 : 압전 액추에이터
96 : 전극
본 발명은 자기 디스크 장치에 이용되는 자기 헤드 슬라이더에 관한 것이다.
최근의 자기 디스크 장치용 헤드 슬라이더에 있어서는, 기록 밀도의 증가를 위해 부상량 저감화가 추진되고 있다. 또한, 액세스의 고속화를 위해, 액세스 방향으로 큰 가속도가 가해지기 때문에, 부상 안정성이 우수한 헤드 슬라이더가 요구되고 있다.
또한, 장치의 소형화 및 기구의 단순화를 위해, 회전형 포지셔너가 널리 이용되고, 요각(yaw angle) 변화에 의한 부상량 변동이 적은 헤드 슬라이더가 요망되고 있다.
헤드 슬라이더의 부상량을 작게 하기 위해서는, 자기 디스크 표면의 표면 조도(粗度)를 작게 할 필요가 있다. 종래부터 현재에 이르기까지 널리 이용되고 있는 콘택트 스타트 스톱(CSS) 방식에서는, 자기 디스크의 회전 정지 시에는 자기 헤드 슬라이더의 부상면과 자기 디스크가 접촉하고, 자기 디스크의 회전 시에는 자기 헤드 슬라이더가 자기 디스크의 회전에 따라 생기는 공기류의 작용에 의해 부상한다.
따라서, CSS 방식의 자기 디스크 장치에서는, 자기 디스크의 표면 조도를 작게 하면, 자기 디스크의 회전 정지 시에서의 자기 헤드 슬라이더 부상면(공기 베어링 표면)과 자기 디스크 표면 사이의 접촉 면적이 커지고, 자기 디스크 장치의 회전 기동 시에, 자기 헤드 슬라이더와 자기 디스크 사이의 흡착(sticktion) 장해를 야기시키게 될 위험성이 있다.
CSS 방식의 자기 디스크 장치에서는, 이 흡착 문제를 회피하기 위해, 자기 디스크의 CSS 존에 레이저에 의해 텍스처(texture) 가공을 행하는 기술 또는 슬라이더 부상면에 복수개의 패드(돌기)를 설치하는 기술이 제안되어 있다.
한편, 노트북 퍼스널 컴퓨터 등의 휴대용 퍼스널 컴퓨터는, 자주 운반되기 때문에 높은 내충격성이 필요하게 된다. 따라서, 전원 오프 시 또는 슬립 모드 시에 헤드 슬라이더를 자기 디스크 표면으로부터 언로드하고, 사용 시에 헤드 슬라이더를 자기 디스크 표면에 로드하는 로드 언로드 방식의 자기 디스크 장치가 일반적으로 채용되고 있다.
로드 언로드 방식의 자기 디스크 장치는, 컴퓨터의 전원 오프 시 또는 슬립 모드 시에 디스크 매체의 외주부에 설치된 램프부재의 램프(경사부)에 서스펜션의 선단부에 마련된 코너부를 올라타게 하고, 자기 디스크 위를 미소한 갭으로 부상하는 자기 헤드 슬라이더를 자기 디스크 위로부터 이탈시키는 것이다.
이것에 의해, 컴퓨터에 충격이 가해졌을 때에 자기 헤드 슬라이더가 자기 디스크를 두드려, 자기 디스크를 손상시키는 것을 회피할 수 있다.
로드 언로드 기구를 갖는 자기 디스크 장치에 이용되는 자기 헤드 슬라이더에는, 자기 디스크 위를 자기 헤드 슬라이더가 부상하고 있을 때뿐만 아니라, 자기 헤드 슬라이더가 자기 디스크 위에 로드할 때에도 자기 헤드 슬라이더가 자기 디스크에 접촉 또는 충돌하지 않는 고신뢰성 자기 헤드 슬라이더가 요구되고 있다.
자기 디스크에 대한 자기 헤드 슬라이더의 부상 갭을 작게 하기 위해, 최근의 자기 디스크 장치에는 부압 자기 헤드 슬라이더가 다용되고 있다. 예를 들면, 일본국 특개2000-173217호에는, 저부상이며, 부상 변동이 적고 강성이 높은 부압 헤드 슬라이더가 개시되어 있다.
자기 헤드 슬라이더의 부상량을 작게 하고, 자기 스페이싱(spacing)을 저하 시키는 종래기술로서, 일본국 특개2000-348321호에는, 종래기술로서 도 1에 나타낸 바와 같은 자기 헤드 슬라이더의 뒷면에 압전 소자를 매립한 기술이 개시되어 있다. 도 2는 도 1에 나타낸 종래예의 동작 설명도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 자기 헤드 슬라이더(2)는 공기 유입단(2a)과 공기 유출단(2b)을 갖고 있으며, 이 공기 유출단(2b) 근방에 전자 트랜스듀서(4)가 형성되어 있다.
자기 헤드 슬라이더(2)의 뒷면(2c)의 공기 유출단 측에 적층형 압전 액추에이터(6)가 매립되어 있다. 부호 8은 압전 액추에이터(6)의 전극이며, 인접하는 전극(8) 사이에 전압 V가 인가된다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 인접하는 전극(8) 사이에 전압 V를 인가하면, 압전 액추에이터(6)는 화살표(10) 방향으로 변위한다. 부호 11은 자기 스페이싱 방향, 부호 12는 트랜스듀서 변위 방향이다. 부호 14는 공기 유출단측 공기 베어링 표면(ABS), 부호 16은 기록 매체를 각각 나타내고 있다.
이 자기 헤드 슬라이더(2)에서는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 압전 액추에이터(6)의 변위 방향(10)은 기록 매체(16)의 회전 방향이고, 압전 액추에이터(6)의 변위에 의해 슬라이더(2)를 휘어지게 하여 부상량을 조정하기 때문에, 전자 트랜스듀서(4)의 변위 방향(12)은 압전 액추에이터(6)의 변위량에 의해 변화한다.
압전 액추에이터(6)를 구동시키면, 전자 트랜스듀서(4)가 기울어짐으로써, 전자 트랜스듀서(4)가 슬라이더(2)의 최하점으로 되지 않고 부상량을 반대로 증가 시키는 문제 또는 기록 재생의 시간 변동(jitter)이 커진다는 문제도 있다.
또한, 압전 액추에이터(6)가 신장됨으로써 공기 유출단측 ABS(14)가 휘어지고, 기록 매체(16)에 전자 트랜스듀서(4)가 근접하나, 공기 유출단측 ABS(14)가 발생하는 정압이 커져, 부상량은 오히려 커지게 된다는 문제도 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해, 일본국 특개2000-348321호에서는, 자기 헤드 슬라이더를 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체에 고정된 압전 소자와, 압전 소자에 고정된 전자 트랜스듀서를 갖는 블록으로 구성한 자기 헤드 슬라이더를 제안하고 있다. 그러나, 이 자기 헤드 슬라이더는 구조가 복잡하기 때문에, 제조가 곤란하다는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 부상량을 일정 범위 내에서 임의로 제어할 수 있고, 기록 재생 특성을 향상시킬 수 있는 헤드 슬라이더를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 디스크 대향면과 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더로서, 상기 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 1 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과, 상기 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와, 상기 공기 유출단 근방을 제외한 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
바람직하게는, 헤드 슬라이더는 공기 유출단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 2 공기 베어링 표면을 갖는 리어 레일을 더 포함하고 있다. 트랜스듀서는 리어 레일의 공기 유출단부에 형성되어 있다.
바람직하게는, 헤드 슬라이더는 압전 액추에이터를 탑재한 부분의 헤드 슬라이더 뒷면에 형성된 헤드 슬라이더 폭 방향으로 신장되는 노치(notch)를 갖고 있다.
헤드 슬라이더의 중량을 저감시키기 위해, 압전 액추에이터의 표면이 헤드 슬라이더 뒷면과 동일 평면으로 되도록 압전 액추에이터가 헤드 슬라이더에 매립되어 있을 수도 있다.
바람직하게는, 제 1 공기 베어링 표면은 서로 이간(離間)된 좌측 공기 베어링 표면과 우측 공기 베어링 표면을 포함하고 있다. 그리고, 압전 액추에이터는 좌측 공기 베어링 표면에 배향하여 설치된 좌측 압전 액추에이터와, 우측 공기 베어링 표면에 배향하여 설치된 우측 압전 액추에이터를 포함하고 있다.
본 발명의 다른 측면에 의하면, 디스크 대향면과 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더로서, 상기 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 1 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과, 상기 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와, 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면의 전면에 걸쳐 탑재된 압전 액추에이터를 구비하고, 상기 압전 액추에이터는 상기 공기 유출단 근방에 불활성부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
본 발명의 또 다른 측면에 의하면, 베이스를 갖는 하우징과, 복수의 트랙을 갖는 디스크에 대하여 데이터를 판독/기록하는 트랜스듀서와, 공기 유입단과, 공기 유출단과, 디스크 대향면을 갖는 부압 헤드 슬라이더와, 상기 부압 헤드 슬라이더 를 디스크의 트랙을 횡단하여 이동시키는 액추에이터를 구비하고, 상기 액추에이터는, 상기 베이스에 회전 가능하게 부착된 액추에이터 암과, 상기 액추에이터 암의 선단부에 그 기단부(基端部)가 고정된 서스펜션과, 상기 서스펜션의 선단부에 탑재된 상기 부압 헤드 슬라이더를 포함하고, 상기 부압 헤드 슬라이더는, 상기 공기 유입단 근방의 상기 디스크 대향면에 형성되고 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과, 상기 공기 유출단 근방에 형성된 상기 트랜스듀서와, 상기 프론트 레일에서 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈과, 상기 공기 유출단 근방을 제외한 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비하며, 상기 압전 액추에이터에 의해, 상기 프론트 레일 및 그 주변부를 기록 매체에 근접시키는 방향 또는 기록 매체로부터 이간시키는 방향으로 변형하고, 상기 공기 베어링 표면에서 발생하는 정압을 조정함으로써, 헤드 슬라이더의 부상량을 조정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 디스크 장치가 제공된다.
도 3을 참조하면, 커버를 제거한 상태의 자기 디스크 장치의 평면도가 도시되어 있다. 하우징(22)은 베이스(24)와 이 베이스(24)에 고정된 커버(도시 생략)로 구성된다. 베이스(24)에는 샤프트(26)가 고정되어 있고, 이 샤프트(26) 주위에 DC 모터에 의해 회전 구동되는 스핀들 허브(도시 생략)가 설치되어 있다.
스핀들 허브에는 자기 디스크(28)와 스페이서(도시 생략)가 번갈아 삽입되고, 디스크 클램프(30)를 복수의 나사(32)에 의해 스핀들 허브에 체결함으로써, 복수개의 자기 디스크(28)가 소정 간격 이간하여 스핀들 허브에 부착된다.
부호 34는 액추에이터 암 어셈블리(36)와 자기회로(38)로 구성되는 로터리 액추에이터를 나타내고 있다. 액추에이터 암 어셈블리(36)는 베이스(24)에 고정된 샤프트(40) 주위에 회전 가능하게 부착되어 있다.
액추에이터 암 어셈블리(36)는 한쌍의 축받이를 통하여 샤프트(40) 주위에 회전 가능하게 부착된 액추에이터 블록(42)과, 액추에이터 블록(42)으로부터 일 방향으로 신장된 복수의 액추에이터 암(44)과, 각 액추에이터 암(44)의 선단부에 고정된 헤드 어셈블리(46)를 포함하고 있다.
각 헤드 어셈블리(46)는 자기 디스크(28)에 데이터를 기록/판독하는 자기 헤드 소자(트랜스듀서)를 갖는 헤드 슬라이더(48)와, 선단부에 헤드 슬라이더(48)를 지지하고 그 기단부가 액추에이터 암(44)에 고정된 서스펜션(로드 빔)(50)을 포함하고 있다.
샤프트(40)에 대하여 액추에이터 암(44)과 반대쪽에는 코일(51)이 지지되어 있고, 코일(51)이 자기회로(38)의 갭 중에 삽입되어, 보이스 코일 모터(VCM)(52)가 구성된다.
부호 54는 트랜스듀서에 기록 신호를 공급하거나, 트랜스듀서로부터의 판독 신호를 취출하는 플렉시블 프린트 배선판(FPC)을 나타내고 있으며, 그 일단이 액추에이터 블록(42)의 측면에 고정되어 있다.
자기 디스크(28)의 외주에 인접하여 램프부재(56)가 베이스(24)에 고정되어 있다. 램프부재(56)는 도 4a 및 도 4b에 나타낸 바와 같이, 슬라이더의 수에 대응한 복수의 램프(경사부)(60)와 헤드 어셈블리(46)의 선단에 형성된 코너부(66)가 안정되게 파크하는 복수의 파킹부(62)를 갖고 있다.
램프부재(56)의 측면에는 언로드된 헤드 슬라이더가 서로 간섭하는 것을 방지하기 위한 돌기(64)가 형성되어 있다. 부호 58은 언로드 상태의 액추에이터(34)의 돌기부(59)를 래치(latch)하는 래치 기구이다.
도시된 상태는 헤드 슬라이더(48)가 자기 디스크(28) 위로부터 언로드된 언로드 상태이며, 헤드 어셈블리(46)의 코너부(66)가 램프부재(56)의 파킹부(62)에 파크하고, 액추에이터(34)의 돌기부(59)가 래치 기구(58)에 의해 래치되어 있다.
이 상태에서 컴퓨터의 전원이 투입되거나 또는 슬립 모드가 해제되면, 먼저, 래치 기구(58)가 해제되고, 액추에이터(34)가 시계 반대 방향으로 회전되어, 코너부(66)가 램프(60)를 미끄러져 내려와 헤드 슬라이더(48)가 자기 디스크(28) 위에 로드된다.
컴퓨터의 전원이 오프로 되거나 또는 슬립 모드로 되면, 자기 디스크 장치의 메인 프린트 배선판(도시 생략) 위에 탑재된 MPU 등의 제어 수단이 각 헤드 슬라이더(48)가 자기 디스크(28)의 외주를 초과하여 회전되도록 액추에이터(34)를 제어한다.
이것에 의해, 헤드 어셈블리(46)의 코너부(66)가 램프부재(56)의 램프(60)를 뛰어올라, 파킹 위치(62)에 파크한다. 이 상태에서 액추에이터(34)의 돌기부(59)가 래치 기구(58)에 의해 래치된다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시형태의 부압 자기 헤드 슬라이더(48)의 사시도가 도시되어 있다. 도 6은 도 5의 VI-VI선 단면도이다. 자기 헤드 슬라이더(48)는 직육면체 형상을 하고 있으며, 공기 유입단(48a) 및 공기 유출단(48b) 을 갖고 있다. 자기 헤드 슬라이더(48)의 사이즈는, 예를 들어, 1.25㎜×1㎜, 두께 0.3㎜이다.
자기 헤드 슬라이더(48)의 재료는 Al2O3-TiC이며, 웨이퍼에 다수의 전자 변환 소자(전자 트랜스듀서)를 형성한 후, 웨이퍼를 바 형상으로 절단하고, 측면을 가공하여 레일면을 형성한다. 이 레일면의 형성에는 포토리소그래피 기술을 이용한다.
자기 헤드 슬라이더(48)는 부압 자기 헤드 슬라이더이며, 공기 유입단(48a) 측에 형성된 프론트 레일(70)과, 공기 유출단(48b) 측에 형성된 리어 센터 레일(72)을 갖고 있다.
프론트 레일(70)의 상면에는 공기 베어링 표면(ABS)(74)과, 공기 베어링 표면(74)에 대하여 소정 단차만큼 낮은 스텝면(76)이 형성되어 있다. 상기와 동일하게, 리어 센터 레일(72)에는 공기 베어링 표면(78)과, 공기 베어링 표면(78)에 대하여 소정 단차만큼 낮은 스텝면(80)이 형성되어 있다. 리어 센터 레일(72)의 공기 유출단부에는 전자 변환 소자(82)가 형성되어 있다.
프론트 레일(70)의 슬라이더 폭 방향 양측에는 하류측으로 신장되는 한쌍의 사이드 레일(84, 86)이 형성되어 있다. 사이드 레일(84, 86)의 정상면(88, 90)은 프론트 레일(70)의 스텝면(76)과 동일한 높이이다.
프론트 레일(70)의 하류측에는 홈(92)이 형성되어 있다. 공기 베어링 표면(74)으로부터의 홈(92)의 깊이는 약 1.4㎛이고, 공기 베어링 표면(74)과 스텝면(76)의 단차는 약 0.2㎛이다. 상기와 동일하게, 리어 센터 레일(72)의 공기 베 어링 표면(78)과 스텝면(80)의 단차는 약 0.2㎛이다.
공기 유출단(48b) 근방을 제외한 헤드 슬라이더의 뒷면에는 압전 액추에이터(94)가 탑재되어 있다. 압전 액추에이터(94)는, 예를 들어, 티탄늄산지르콘산납(PZT)으로 형성되어 있다.
PZT의 그린 시트를 복수층 적층시키고 복수의 전극(96)을 그린 시트 사이에 매립하여, 가열하면서 가압함으로써 그린 시트를 일체적으로 접착한다. 이어서, 일체화된 적층 그린 시트를 소성(燒成)함으로써, 압전 액추에이터(94)가 제조된다.
인접하는 전극(96) 사이에 전압 V를 인가하면, 압전 액추에이터(94)는 구동 전계와 직교한 화살표(95)로 나타낸 방향으로 축소된다. 인접하는 전극(96) 사이에 전압 -V를 인가하면, 압전 액추에이터(94)는 화살표(95)와 반대 방향으로 신장된다.
압전 액추에이터(94)는 바이모르프형 압전 액추에이터이다. PZT 대신에 압전 액추에이터(94)를 티탄늄산바륨(BaTiO3), 티탄늄산납(PbTiO3) 등으로 형성하는 것도 가능하다.
자기 헤드 슬라이더(48)는 그 뒷면에서 서스펜션(30)에 부착되어 있다. 자기 디스크가 회전되어, 디스크면을 따라 기류가 발생하면, 그 기류가 공기 베어링 표면(74)과 스텝면(76) 사이의 단차 및 공기 베어링 표면(78)과 스텝면(80) 사이의 단차에 충돌한 후, 공기 베어링 표면(74, 78)에 작용한다.
그 결과, 공기 베어링 표면(74, 78)에서는, 자기 헤드 슬라이더(48)를 디스 크면으로부터 부상시키는 부력이 발생된다. 스텝면(76, 80)에서도 부력이 발생하지만 이것은 크지 않다.
이 자기 헤드 슬라이더(48)에서는, 공기 베어링 표면(74)에 큰 부력이 생성되는 결과, 부상 시에는 자기 헤드 슬라이더(48)가 피치각 α의 경사 자세로 유지된다. 여기서, 피치각 α는 기류의 흐름에 따른 자기 헤드 슬라이더(48)의 경사각을 의미한다.
프론트 레일(70)의 하류측에 홈(92)이 형성되어 있기 때문에, 공기 베어링 표면(74)을 따라 흐르는 기류는 프론트 레일(70)을 통과하는 동시에 홈(92) 부분에서 디스크면 연직 방향으로 확산되고, 그 결과, 홈(92) 부분에서 부압이 생성된다. 이 부압이 상술한 부력(정압)과 균형을 이룸으로써, 자기 헤드 슬라이더(48)의 부상량이 규정된다.
또한, 본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48)에서는, 자기 헤드 슬라이더(48)의 뒷면에 압전 액추에이터(94)가 탑재되어 있기 때문에, 압전 액추에이터(94)의 인접하는 전극(96) 사이에 전압 V를 인가하면, 압전 액추에이터(94)는 도 5에서 화살표(95)로 나타낸 방향으로 축소되고, 그 결과, 자기 헤드 슬라이더(48)는 도 7에서 파선으로 나타낸 바와 같이 변형된다.
자기 헤드 슬라이더(48)가 이와 같이 변형되면, 프론트 측의 공기 베어링 표면(프론트 ABS)(74)에서 발생하는 정압이 작아지고, 자기 헤드 슬라이더(48)의 부상량은 작아진다. 따라서, 전자 변환 소자(82)와 기록 매체(28) 사이의 자기 스페이싱이 작아지기 때문에, 전자 변환 소자(82)의 재생 출력을 향상시킬 수 있다.
압전 액추에이터(94)의 인접하는 전극(96) 사이에 -V의 전압을 인가하면, 압전 액추에이터(94)는 화살표(95)와 반대 방향으로 신장되고, 그 결과, 자기 헤드 슬라이더(48)는 파선으로 나타낸 휨 방향과 반대 방향, 즉, 기록 매체(28) 측으로 휘어지게 된다. 그 결과, 프론트 ABS(74)에서 발생하는 정압이 커지고, 자기 헤드 슬라이더(48)의 부상량은 커진다.
이와 같이, 본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48)에서는, 주로 프론트 ABS(74)에서 발생하는 정압(슬라이더(48)를 기록 매체(28)로부터 부상시키고자 하는 압력)을 증감시킴으로써 자기 헤드 슬라이더(48)의 부상량을 조정한다.
기록 매체(자기 디스크)(28)의 내주와 외주에서는, 외주가 주속도가 더 빠르기 때문에, 자기 헤드 슬라이더(48)의 부상량은 커진다. 그래서, 외주로 감에 따라 압전 액추에이터(94)에 의해 프론트 ABS(74)를 기록 매체(28)로부터 멀어지는 방향으로 변위시켜 가면, 정압의 발생이 작아지고 부상량을 저하시키는 것이 가능하여, 내주와 외주에서의 부상량을 일정하게 유지할 수 있다.
자기 헤드 슬라이더(48)의 부상량이 일정할 경우, 기록 밀도를 균일화할 수 있기 때문에, 존 비트 리코딩(zone bit recording)이 용이해지고, 기록 밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 전자 변환 소자(82)의 재생 출력이 낮고, 판독 에러를 발생시키기 쉬울 때도, 압전 액추에이터(94)를 구동시킴으로써, 자기 헤드 슬라이더(48)의 부상량을 저하시킴으로써 재생 출력이 높아지며, 판독 에러를 방지할 수 있다.
도 8은 본 발명의 제 2 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48A)의 사시도이고, 도 9는 도 8의 IX-IX선 단면도이다. 본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48A)는, 압전 액추에이터(94)를 탑재한 부분의 헤드 슬라이더 뒷면에 슬라이더 폭 방향으로 신장되는 노치(98)를 갖고 있다.
본 실시형태의 다른 구성은 도 5 및 도 6에 나타낸 제 1 실시형태와 동일하다. 이와 같이, 슬라이더 뒷면에 노치(98)를 형성함으로써, 주로 휨을 발생시키고자 하는 부분의 한정이 가능해지며, 휨량을 증가시킬 수 있다. 또는, 보다 작은 인가 전압으로 원하는 휨량을 얻을 수 있다.
도 10은 본 발명의 제 3 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48B)의 사시도이고, 도 11은 도 10의 XI-XI선 단면도이다. 본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48B)에서는, 압전 액추에이터(94)의 표면이 헤드 슬라이더 뒷면과 동일 평면으로 되도록 압전 액추에이터(94)가 헤드 슬라이더(48B)에 매립되어 있다. 이것에 의해, 압전 액추에이터(94)를 탑재하는 것에 의한 자기 헤드 슬라이더(48B)의 질량 증가를 억제할 수 있다.
도 12를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48C)의 사시도가 도시되어 있다. 도 13은 도 12의 XIII-XIII선 단면도이다. 본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48C)에서는, 슬라이더 뒷면에 2개의 압전 액추에이터(94a, 94b)가 탑재되어 있다.
좌측 압전 액추에이터(94a)는 좌측 공기 베어링 표면(74)에 대향하여 설치되어 있고, 우측 압전 액추에이터(94b)는 우측 공기 베어링 표면(74)에 대향하여 설치되어 있다.
상술한 제 1 내지 제 3 실시형태와 동일하게, 각 압전 액추에이터(94a, 94b)는 복수의 전극(96)을 갖고 있으며, 인접하는 전극 사이에 소정 전압을 인가함으로써, 압전 액추에이터(94a, 94b)는 구동 전계와 직교한 방향으로 신축된다.
각각의 프론트 ABS(74)의 뒷면에 독립된 압전 액추에이터(94a, 94b)가 배치되어 있기 때문에, 각각의 프론트 ABS(74) 주변부의 휨량에 차를 부여함으로써, 자기 헤드 슬라이더(48C)의 롤 방향 제어도 가능해지고, 부상 자세의 보다 정밀한 제어가 가능해진다.
도 14는 본 발명의 제 5 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48D)의 사시도이고, 도 15는 도 14의 XV-XV선 단면도이다. 본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48D)는, 슬라이더 뒷면에 형성된 슬라이더 폭 방향으로 신장되는 노치(98)와, 각 공기 베어링 표면(74)의 슬라이더 폭 방향 내측에 형성된 한쌍의 슬릿(100)을 갖고 있다.
각 슬릿(100)은 공기 유입단(48a)으로부터 소정의 거리로, 또한, 디스크 대향면으로부터 그 뒷면에 걸쳐 신장되고 있다. 본 실시형태의 다른 구성은 도 12 및 도 13에 나타낸 제 4 실시형태와 동일하다.
본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48D)는, 노치(98) 및 한쌍의 슬릿(100)을 갖고 있기 때문에, 주로 휨을 발생시키고자 하는 부분의 한정이 가능해지며, 휨량을 증가시킬 수 있다. 또는, 보다 작은 구동 전압으로 원하는 휨을 얻을 수 있다.
도 16은 본 발명의 제 6 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48E)의 사시도이고, 도 17은 도 16의 XVII-XVII선 단면도이다. 본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48E)에서는, 도 10 및 도 11에 나타낸 제 3 실시형태의 자기 헤드 슬라이 더(48B)와 동일하게, 각 압전 액추에이터(94a, 94b)의 표면이 헤드 슬라이더 뒷면과 동일 평면으로 되도록 각 압전 액추에이터(94a, 94b)가 헤드 슬라이더에 매립되어 있다.
이와 같이 각 압전 액추에이터(94a, 94b)를 슬라이더에 매립함으로써, 압전 액추에이터(94a, 94b)를 탑재하는 것에 의한 자기 헤드 슬라이더(48E)의 질량 증가를 억제할 수 있다.
도 18을 참조하면, 본 발명의 제 7 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48F)의 사시도가 도시되어 있다. 도 19는 도 18의 XIX-XIX선 단면도이다. 상술한 제 1 내지 제 6 실시형태에서는, 압전 액추에이터(94)가 공기 유출단(48b) 근방을 제외한 헤드 슬라이더의 뒷면에 탑재되어 있다.
본 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48F)에서는, 압전 액추에이터(102)가 슬라이더의 뒷면 전면에 걸쳐 탑재되어 있다. 압전 액추에이터(102)는 복수의 전극(96)이 매립된 활성부(변위부)(102a)와, 전극이 없는 불활성부(102b)를 갖고 있다. 불활성부(102b)는 공기 유출단(48b)의 근방에 배치되어 있다.
이와 같이 압전 액추에이터(102)를 슬라이더의 뒷면 전면에 탑재함으로써, 자기 헤드 슬라이더(48F)와 서스펜션(50)의 접속이 용이해진다. 본 실시형태의 작용은 상술한 제 1 실시형태의 자기 헤드 슬라이더(48)와 동일하다.
상술한 각 실시형태에서는, 압전 액추에이터로서 바이모르프형 압전 액추에이터를 탑재한 예에 대해서 설명했으나, 모노모르프형 또는 유니모르프형의 압전 액추에이터를 탑재하도록 할 수도 있다.
또한, 액추에이터는 압전 액추에이터에 한정되는 것이 아니라, 전왜 액추에이터, 자왜 액추에이터, 수정 진동자 등도 사용할 수 있다.
본 발명은 이하의 부기를 포함하는 것이다.
(부기 1) 디스크 대향면과 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더로서, 상기 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 1 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과, 상기 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와, 상기 공기 유출단 근방을 제외한 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 2) 상기 공기 유출단 근방의 상기 디스크 대향면에 형성되고 제 2 공기 베어링 표면을 갖는 리어 레일을 더 구비하고, 상기 트랜스듀서는 상기 리어 레일의 공기 유출단부에 형성되어 있는 부기 1에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 3) 상기 압전 액추에이터를 탑재한 부분의 상기 헤드 슬라이더 뒷면에 형성된 헤드 슬라이더 폭 방향으로 신장되는 노치를 더 구비한 부기 1에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 4) 상기 압전 액추에이터의 표면이 상기 헤드 슬라이더 뒷면과 동일 평면으로 되도록 상기 압전 액추에이터가 상기 헤드 슬라이더에 매립되어 있는 부기 1에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 5) 상기 제 1 공기 베어링 표면은 서로 이간된 좌측 공기 베어링 표면과 우측 공기 베어링 표면을 포함하고 있으며, 상기 압전 액추에이터는 상기 좌측 공기 베어링 표면에 배향하여 설치된 좌측 압전 액추에이터와, 상기 우측 공기 베 어링 표면에 배향하여 설치된 우측 압전 액추에이터를 포함하고 있는 부기 1에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 6) 상기 압전 액추에이터를 탑재한 부분의 상기 헤드 슬라이더 뒷면에 형성된 헤드 슬라이더 폭 방향으로 신장되는 노치를 더 구비한 부기 5에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 7) 상기 좌측 공기 베어링 표면의 폭 방향 내측의 상기 공기 유입단으로부터 소정 길이로 상기 디스크 대향면으로부터 상기 슬라이더 뒷면에 걸쳐 형성된 제 1 슬릿과, 상기 우측 공기 베어링 표면의 폭 방향 내측의 상기 공기 유입단으로부터 소정 길이로 상기 디스크 대향면으로부터 상기 슬라이더 뒷면에 걸쳐 형성된 제 2 슬릿을 더 구비한 부기 6에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 8) 상기 좌측 압전 액추에이터의 표면 및 상기 우측 압전 액추에이터의 표면이 상기 슬라이더 뒷면과 동일 평면으로 되도록 상기 좌우의 압전 액추에이터는 상기 헤드 슬라이더에 매립되어 있는 부기 5에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 9) 상기 좌측 공기 베어링 표면의 폭 방향 내측의 상기 공기 유입단으로부터 소정 길이로 상기 디스크 대향면으로부터 상기 슬라이더 뒷면에 걸쳐 형성된 제 1 슬릿과, 상기 우측 공기 베어링 표면의 폭 방향 내측의 상기 공기 유입단으로부터 소정 길이로 상기 디스크 대향면으로부터 상기 슬라이더 뒷면에 걸쳐 형성된 제 2 슬릿을 더 구비한 부기 8에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 10) 디스크 대향면과 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더로서, 상기 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 1 공기 베어링 표 면을 갖는 프론트 레일과, 상기 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와, 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면의 전면에 걸쳐 탑재된 압전 액추에이터를 구비하고, 상기 압전 액추에이터는 상기 공기 유출단 근방에 불활성부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 11) 상기 공기 유출단 근방의 상기 디스크 대향면에 형성되고 제 2 공기 베어링 표면을 갖는 리어 레일을 더 구비하고, 상기 트랜스듀서는 상기 리어 레일의 공기 유출단부에 형성되어 있는 부기 10에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 12) 디스크 대향면과 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더로서, 상기 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 1 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과, 상기 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와, 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비하고, 상기 압전 액추에이터의 길이 방향 중심은 상기 헤드 슬라이더의 길이 방향 중심보다도 상기 공기 유입단 측에 위치하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 13) 상기 헤드 슬라이더의 길이 방향 중심으로부터 상기 압전 액추에이터의 공기 유입단부까지의 길이를 L1, 공기 유출단부까지의 길이를 L2로 하면, L1＞L2인 부기 12에 기재된 헤드 슬라이더.
(부기 14) 베이스를 갖는 하우징과, 복수의 트랙을 갖는 디스크에 대하여 데이터를 판독/기록하는 트랜스듀서와, 공기 유입단과, 공기 유출단과, 디스크 대향면을 갖는 부압 헤드 슬라이더와, 상기 부압 헤드 슬라이더를 디스크의 트랙을 횡단하여 이동시키는 액추에이터를 구비하고, 상기 액추에이터는, 상기 베이스에 회 전 가능하게 부착된 액추에이터 암과, 상기 액추에이터 암의 선단부에 그 기단부가 고정된 서스펜션과, 상기 서스펜션의 선단부에 탑재된 상기 부압 헤드 슬라이더를 포함하고, 상기 부압 헤드 슬라이더는, 상기 공기 유입단 근방의 상기 디스크 대향면에 형성되고 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과, 상기 공기 유출단 근방에 형성된 상기 트랜스듀서와, 상기 프론트 레일에서 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈과, 상기 공기 유출단 근방을 제외한 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비하며, 상기 압전 액추에이터에 의해, 상기 프론트 레일 및 그 주변부를 기록 매체에 근접시키는 방향 또는 기록 매체로부터 이간시키는 방향으로 변형하고, 상기 공기 베어링 표면에서 발생하는 정압을 조정함으로써, 헤드 슬라이더의 부상량을 조정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 디스크 장치.
본 발명은 상술한 바와 같이, 압전 액추에이터에 의해 공기 유입단 측의 공기 베어링 표면 주변부를 변형함으로써, 헤드 슬라이더에 작용하는 정압 및 부압의 균형을 변경하고, 헤드 슬라이더의 부상량을 제어할 수 있다.
부상량이 작아지도록 제어함으로써, 전자 트랜스듀서와 기록 매체 사이의 전자 변환 효율을 향상시킬 수 있다. 이것에 따라, 전자 트랜스듀서의 재생 출력이 낮고, 판독 에러가 발생하기 쉬울 때에도, 압전 액추에이터를 구동시킴으로써, 헤드 슬라이더의 부상량을 저하시켜, 재생 출력을 향상시키고 판독 에러를 방지할 수 있다.
또한, 기록 매체의 내주와 외주에서는, 외주가 주속도가 더 빠르기 때문에, 헤드 슬라이더의 부상량은 커진다. 그래서, 외주로 감에 따라, 압전 액추에이터에 의해 프론트 측의 공기 베어링 표면을 기록 매체로부터 멀어지는 방향으로 변위시키면, 정압의 발생이 작아지고 헤드 슬라이더의 부상량을 저하시키는 것이 가능하여, 기록 매체의 내주와 외주에서의 부상량을 일정하게 유지할 수 있다.
헤드 슬라이더의 부상량이 일정할 경우, 기록 밀도를 균일화할 수 있기 때문에, 존 비트 리코딩이 용이해지고, 기록 밀도를 향상시킬 수 있다.
공기 베어링 표면의 가공 편차에 의한 헤드 슬라이더의 부상량 편차를 보정할 수 있다. 또한, 사용 장소(고도차)에 의한 헤드 슬라이더의 부상량 변화를 보정할 수 있다.
프론트 레일의 우측 공기 베어링 표면과 좌측 공기 베어링 표면을 독립적으로 변화시킴으로써, 헤드 슬라이더의 롤 방향 보정도 가능하다. 또한, 헤드 슬라이더가 자기 디스크에 흡착할 때에, 압전 액추에이터에 의해 공기 베어링 표면을 변화시킴으로써 흡착 상태를 해제할 수 있다.

Claims (5)

  1. 디스크 대향면과 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더로서,
    상기 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 1 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과,
    상기 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와,
    상기 공기 유출단 근방을 제외한 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비하며,
    상기 압전 엑추에이터는 상기 프론트 레일 및 그 주변부를 기록 매체의 외주로 갈수록 기록 매체로부터 멀어지는 방향으로 변형시키도록 변형되는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공기 유출단 근방의 상기 디스크 대향면에 형성되고 제 2 공기 베어링 표면을 갖는 리어 레일을 더 구비하고,
    상기 트랜스듀서는 상기 리어 레일의 공기 유출단부에 형성되어 있는 헤드 슬라이더.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 공기 베어링 표면은 서로 이간된 좌측 공기 베어링 표면과 우측 공기 베어링 표면을 포함하고 있으며,
    상기 압전 액추에이터는 상기 좌측 공기 베어링 표면에 배향(背向)하여 설치된 좌측 압전 액추에이터와, 상기 우측 공기 베어링 표면에 배향하여 설치된 우측 압전 액추에이터를 포함하고 있는 헤드 슬라이더.
  4. 디스크 대향면과 공기 유입단과 공기 유출단을 갖는 헤드 슬라이더로서,
    상기 공기 유입단 근방의 디스크 대향면에 형성되고 제 1 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과,
    상기 공기 유출단 근방에 형성된 트랜스듀서와,
    상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비하고,
    상기 압전 액추에이터의 길이 방향 중심은 상기 헤드 슬라이더의 길이 방향 중심보다도 상기 공기 유입단 측에 위치하며,
    상기 압전 엑추에이터는 상기 프론트 레일 및 그 주변부를 기록 매체의 외주로 갈수록 기록 매체로부터 멀어지는 방향으로 변형시키도록 변형되는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  5. 베이스를 갖는 하우징과,
    복수의 트랙을 갖는 디스크에 대하여 데이터를 판독/기록하는 트랜스듀서와, 공기 유입단과, 공기 유출단과, 디스크 대향면을 갖는 부압 헤드 슬라이더와,
    상기 부압 헤드 슬라이더를 디스크의 트랙을 횡단하여 이동시키는 액추에이터를 구비하고,
    상기 액추에이터는,
    상기 베이스에 회전 가능하게 부착된 액추에이터 암과,
    상기 액추에이터 암의 선단부에 그 기단부가 고정된 서스펜션과,
    상기 서스펜션의 선단부에 탑재된 상기 부압 헤드 슬라이더를 포함하고,
    상기 부압 헤드 슬라이더는,
    상기 공기 유입단 근방의 상기 디스크 대향면에 형성되고 공기 베어링 표면을 갖는 프론트 레일과,
    상기 공기 유출단 근방에 형성된 상기 트랜스듀서와,
    상기 프론트 레일에서 일단 압축된 공기를 팽창시켜 부압을 발생시키는 홈과,
    상기 공기 유출단 근방을 제외한 상기 디스크 대향면과 반대쪽의 헤드 슬라이더 뒷면에 탑재된 압전 액추에이터를 구비하며,
    상기 프론트 레일 및 그 주변부를 기록 매체의 외주로 갈수록 기록 매체로부터 멀어지는 방향으로 변형시키도록 상기 압전 액추에이터를 변형하여, 상기 공기 베어링 표면에서 발생하는 정압을 조정함으로써, 헤드 슬라이더의 부상량을 조정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 디스크 장치.
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Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003041062A1 (en) * 2001-11-03 2003-05-15 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Method and apparatus for improved attachment of a micro-actuator to a slider device
JP3696596B2 (ja) * 2003-02-07 2005-09-21 アルプス電気株式会社 磁気ヘッドアクチュエータ及びその製造方法
US7248442B1 (en) * 2003-03-05 2007-07-24 Meyer Dallas W Integrated recording head micropositioner using off-axis flexure bending
US7369369B1 (en) 2003-04-03 2008-05-06 Meyer Dallas W Bidirectional micropositioning recording head for a magnetic storage device
US6992865B2 (en) * 2003-06-19 2006-01-31 Seagate Technology Llc Headstack with semi-permanently deformable element for pole-tip recession adjustment
JP4198557B2 (ja) * 2003-07-15 2008-12-17 富士通株式会社 ヘッドスライダ及びそれを備えた磁気ディスク装置
US7538983B1 (en) * 2003-07-29 2009-05-26 Meyer Dallas W Micropositioner recording head for a magnetic storage device
US20060262455A1 (en) * 2003-08-29 2006-11-23 Druist David P Apparatus and method for forming a magnetic head coil in a compact area using damascene technology
JP4057982B2 (ja) 2003-09-02 2008-03-05 株式会社東芝 接触型磁気ヘッドスライダ、磁気ヘッドアセンブリおよび磁気記録装置
US7072136B2 (en) * 2003-09-25 2006-07-04 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method and apparatus for dynamically establishing pitch static attitude in hard disk drive
JP2005228362A (ja) * 2004-02-10 2005-08-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd スライダおよび磁気ディスク装置
JP4146811B2 (ja) * 2004-03-03 2008-09-10 Ｔｄｋ株式会社 サスペンション、及びハードディスク装置
JP4268904B2 (ja) * 2004-06-11 2009-05-27 富士通株式会社 ディスク装置およびスライダ
US7646566B1 (en) 2004-08-05 2010-01-12 Maxtor Corporation Slider deformation control by thermal-structural compensators
US7724480B1 (en) * 2005-08-19 2010-05-25 Seagate Technology Llc Slider that dynamically adjusts the head-to-disk spacing in a disk drive
US8756776B1 (en) 2005-12-09 2014-06-24 Western Digital Technologies, Inc. Method for manufacturing a disk drive microactuator that includes a piezoelectric element and a peripheral encapsulation layer
JP2007293948A (ja) * 2006-04-21 2007-11-08 Fujitsu Ltd 情報記録再生装置、ヘッド浮上量制御方法、ヘッド浮上制御回路
US20070297080A1 (en) * 2006-06-23 2007-12-27 Lee Sungchang Apparatus and method for bending a slider to create rounded corners on its trailing edge in a hard disk drive
JP2008059660A (ja) * 2006-08-30 2008-03-13 Fujitsu Ltd ヘッドスライダ
JP2008065903A (ja) 2006-09-07 2008-03-21 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv ヘッドスライダ
JP2008084412A (ja) * 2006-09-27 2008-04-10 Fujitsu Ltd 記憶媒体駆動装置およびヘッドスライダ
US7837885B2 (en) * 2006-11-07 2010-11-23 Sae Magnetics (Hk) Ltd. Air bearing design with a flatter pitch profile for reducing particle TAs
US7948713B2 (en) * 2007-01-12 2011-05-24 Tdk Corporation Magnetic head slider using giant magnetostrictive material
US8040639B2 (en) * 2007-03-28 2011-10-18 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands B.V. Integrated silicon micro-actuator slider
JP2009110563A (ja) * 2007-10-26 2009-05-21 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv ディスク装置及びヘッドスライダ
US8643980B1 (en) 2008-12-15 2014-02-04 Western Digital (Fremont), Llc Micro-actuator enabling single direction motion of a magnetic disk drive head
US8279559B1 (en) 2009-01-02 2012-10-02 Meyer Dallas W Process for creating discrete track magnetic recording media including an apparatus having a stylus selectively applying stress to a surface of the recording media
US8264797B2 (en) * 2009-12-21 2012-09-11 Western Digital (Fremont), Llc Head gimbal assembly having a radial rotary piezoelectric microactuator between a read head and a flexure tongue
US8792212B1 (en) 2010-09-14 2014-07-29 Western Digital (Fremont), Llc Robust gimbal design for head gimbal assembly
US8295012B1 (en) 2011-06-14 2012-10-23 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive suspension assembly with rotary fine actuator at flexure tongue
US8593764B1 (en) 2011-06-14 2013-11-26 Western Digital Technologies, Inc. Method for fine actuation of a head during operation of a disk drive
US8446694B1 (en) 2011-06-14 2013-05-21 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive head suspension assembly with embedded in-plane actuator at flexure tongue
US9318031B2 (en) * 2012-08-27 2016-04-19 Michael Edward Boyd Device and method to produce gravitomagnetic induction, mass spin-valve or gravitational rectifier
US8810971B1 (en) 2013-04-08 2014-08-19 HGST Netherlands B.V. Single sheet differential-poled piezoelectric microactuator for a hard disk drive
US8797691B1 (en) 2013-05-21 2014-08-05 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive head suspension with a single piezoelectric element adhered to rotary-actuated and non-actuated portions of a structural layer of a tongue of a laminated flexure
US8982513B1 (en) 2013-05-21 2015-03-17 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive head suspension with dual piezoelectric elements adhered to rotary-actuated and non-actuated portions of a structural layer of a tongue of a laminated flexure
US10210889B1 (en) * 2017-09-29 2019-02-19 Seagate Technology Llc Monolithically-integrated hybridized slider electronics for magnetic read/write
IT201900022488A1 (it) * 2019-11-29 2021-05-29 St Microelectronics Srl Dispositivo di lettura/scrittura per un sistema di memoria a disco rigido e relativo procedimento di fabbricazione

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980024017A (ko) * 1996-09-04 1998-07-06 제프리 엘. 포먼 음압력 계단 패드(negative pressure step pad)형 공기 베어링의 설계 및 그 제조 방법
KR19990076758A (ko) * 1996-10-31 1999-10-15 사토 히로시 판독/기록헤드, 판독/기록헤드 위치선정기구, 및 판독/기록 시스템

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4605977A (en) * 1983-12-14 1986-08-12 Sperry Corporation Air bearing head displacement sensor and positioner
US4532802A (en) * 1984-05-31 1985-08-06 International Business Machines Corporation Apparatus for analyzing the interface between a recording disk and a read-write head
GB2223718B (en) * 1988-09-22 1992-08-26 Speechbond Limited Control arrangement
US5021906A (en) * 1989-10-31 1991-06-04 International Business Machines Corporation Programmable air bearing slider including magnetic read/write element
US5943189A (en) * 1996-12-05 1999-08-24 Seagate Technology, Inc. Piezoelectric engageable slider and slider microactuator
US6327120B1 (en) * 1997-04-17 2001-12-04 Fujitsu Limited Actuator using piezoelectric element and head-positioning mechanism using the actuator
US6314799B1 (en) * 1997-07-25 2001-11-13 Seagate Technology, Llc Advanced glidehead sensor for small slider
US6239947B1 (en) * 1998-05-11 2001-05-29 International Business Machines Corporation Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same
KR100601607B1 (ko) * 1999-06-02 2006-07-14 삼성전자주식회사 디스크 드라이브의 헤드 서스펜션 조립체
JP2000348321A (ja) 1999-06-03 2000-12-15 Nec Corp 磁気ディスク装置，磁気ヘッド，磁気ヘッドの製造方法および磁気ディスク装置の製造方法
US6338269B1 (en) * 2000-03-09 2002-01-15 Marburg Technologies, Inc. Glide head with side mounted transducer
US6435016B1 (en) * 2000-03-24 2002-08-20 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Head gimbal assembly, test device and slider for use therewith
US6624984B2 (en) * 2000-05-25 2003-09-23 Seagate Technology Llc Fly height control slider with crown and cross curve de-coupling
JP3689635B2 (ja) * 2000-11-15 2005-08-31 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ 磁気ディスク装置
US6611399B1 (en) * 2000-12-07 2003-08-26 Seagate Technology Llc Micro-actuated micro-suspension(MAMS) slider for both fly height and tracking position

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980024017A (ko) * 1996-09-04 1998-07-06 제프리 엘. 포먼 음압력 계단 패드(negative pressure step pad)형 공기 베어링의 설계 및 그 제조 방법
KR19990076758A (ko) * 1996-10-31 1999-10-15 사토 히로시 판독/기록헤드, 판독/기록헤드 위치선정기구, 및 판독/기록 시스템

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