JPH0428011A - 浮上型磁気ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば電子計算機の外部記憶装置として用い
られる例えばハードディスク装置（以下ＨＤ　Ｄ　：Ｈ
ａｒｄ　Ｄｉｓｃ　Ｄｒｉｖｅと記す）の浮上型磁気ヘ
ッド装置に係わる。

〔発明の概要〕

本発明は浮上型磁気ヘッド装置に係わり、磁気記録媒体
に対して浮上して走行するスライダーと、このスライダ
ーに設けられた圧電アクチュエータと、このアクチュエ
ータに設けられ、作動磁気ギャップがスライダーの浮上
面側に臨む様に設けられた磁気ヘッド素子とより成り、
圧電アクチュエータの駆動によりこの磁気ヘッド素子と
磁気記録媒体との間隔を可変にしたことによって、磁気
ヘッド素子と磁気記録媒体との距離を任意に選択するこ
とによって電磁変換効率の向上をはかる。

他の本発明は、上述の浮上型磁気ヘッド装置において、
磁気ヘッド素子と磁気記録媒体との間隔が一定になる様
圧電アクチュエータが駆動されるようにしたことにより
、電磁変換効率の安定化をはかる。

また他の本発明は、上述の浮上型磁気ヘッド装置におい
て、磁気記録媒体に対して停止時に磁気ヘッド素子がス
ライダーの浮上面より突出する様に圧電アクチュエータ
が駆動されるようにしたことによって、磁気記録媒体と
磁気ヘッドとのはりつきを防止する。

またさらに他の本発明は、上述の浮上型磁気ヘッド装置
において、外部からの衝撃を検知して、磁気ヘッド素子
をスライダーの浮上面より後退する様に圧電アクチュエ
ータが駆動されるようにしたことによって、衝撃による
磁気ヘッド及び磁気記録媒体の損傷を防止する。

〔従来の技術〕

ＨＤＤ等の磁気記録再生では、浮上型磁気ヘッド装置が
用いられ、これにはスライダーが設けられ、その磁気記
録媒体と所要の間隔を保持して対向する浮上面に、この
浮上面とほぼ同一面に作動磁気ギャップが臨むように磁
気ヘッドが取りつけられ、その磁気記録媒体例えば磁気
ディスクの回転によって生じる空気流によってこのスラ
イダーが磁気ディスク面から浮上するようになされる。

このときの磁気ディスクと磁気ヘッドとの浮上距離をフ
ライングハイド（以下ＦＨと記す）と呼び、このＦＨの
値が小さい程磁気ヘッドと磁気記録媒体との電磁変換効
率は大となる。

このＨＤＤ駆動時の磁気ディスクと磁気ヘットの路線的
拡大断面図を第９図に示す。第９図において、（７１）
は磁気記録媒体例えば磁気ディスクで、（７２）はスラ
イダー、（７３）は磁気ヘッドである。この場合磁気デ
ィスク（７１）は矢印ａで示す方向に回転される。スラ
イダー（７２）は、例えば一端が固定（図示せず）され
た弾性体（７４）の遊端下に金属板（７５）を介して配
され、弾性的に磁気ディスクに向かって押圧するように
なされ、磁気ディスク（７１）の回転によって生しる空
気流によってその押圧弾性力に抗して浮上し、このスラ
イダー（７２）の先端に取着された磁気ヘッド（７３）
が磁気ディスク（７１）上に所要の距離を保持して対向
するようになされ、磁気ディスク（７１）上を走査して
記録再生を行うようになされている。

このような磁気ヘッドを有する浮上型磁気ヘッド装置に
おいては、浮上距離ＦＨが小である程磁気ヘッド（７３
）と磁気ディスク（７１）との電磁変換効率が高くなり
、またＨＤＤの磁気記録密度向上をはかる為にもこのＦ
Ｈが小であることが望まれるが、磁気ディスク面及びス
ライダー面の表面精度の問題や、スライダー（７２）の
浮上に要する空気流の厚みの制限等によって、実際には
０．１μｍ以下の安定した浮上距離ＦＨを保つことが困
難であった。

特にディスクリートメディアのように、磁気ディスク面
に凹凸のある場合は０．１μｍ以下のＦＨの実現は非常
に困難となる。

また、停止時において浮上型磁気ヘッド装置と、磁気デ
ィスクとの接触面積が大となることによって、磁気ヘッ
ド（７３）と磁気ディスク（７１）とにはりつきが生じ
、次の駆動が円滑に行われず、ある場合には磁気ヘッド
（７３）や磁気ディスク（７１）の表面を損傷する等の
問題があった。

或いはまた上述の浮上型磁気ヘッド装置においては、Ｈ
ＤＤ駆動中に外部から衝撃が加わった場合、この衝撃に
よってスライダー（７２）が磁気記録媒体（７１）にぶ
つかって、磁気ヘッド（７３）や磁気ディスク（７１）
に著しく損傷を与えるという問題があった。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、上述したような浮上型磁気ヘッド装置の浮上
距離ＦＨの短小化及び均一化によって電磁変換効率の向
上及び安定化をはかり、またＨＤＤ駆動停止時の磁気記
録媒体（７１）と磁気ヘッド（７３）とのはりつきを防
止し、さらに外部からの衝撃に因る破損を生じない浮上
型磁気ヘッド装置を構成する。

〔課題を解決するための手段〕

本発明による浮上型磁気ヘッド装置の一例の斜視図を第
１図に示す。

本発明は第１図に示すように、磁気記録媒体Ｄ（破線図
示）に対して浮上即ち離間して走行するスライダー（１
）と、このスライダー（１）に設けられた圧電アクチュ
エータ（２）と、このアクチュエータ（２）に設けられ
、作動磁気ギャップがスライダー（１）の浮上面（ＩＡ
）側に臨む様に設けられた磁気ヘッド素子（３）とより
成り、圧電アクチュエータ（２）の駆動によりこの磁気
ヘッド素子（３）と磁気記録媒体りとの間隔を可変にす
るものであり、このことによって磁気ヘッド素子（３）
と磁気記録媒体りとの距離を任意に選択する。

他の本発明は、磁気ヘッド素子（３）と磁気記録媒体り
との間隔が一定になる様圧電アクチュエータ（２）が駆
動されるようにする。

また他の本発明は、磁気記録媒体りに対して停止時に磁
気ヘッド素子（３）がスライダー（１）の浮上面（ＩＡ
）より突出する様に圧電アクチュエータ（２）が駆動さ
れるようにする。

さらにまた他の本発明は、外部からの衝撃を検知して、
磁気ヘッド素子（３）をスライダー（１）の浮上面（Ｉ
Ａ）より後退する様に圧電アクチュエータ（２）が駆動
されるようにする。

〔作用〕

このように、本発明による浮上型磁気ヘッド装置は圧電
アクチュエータ（２）の駆動によって磁気ヘッド素子（
３）と磁気記録媒体りとの距離を任意にかつ一定に選択
することができるので、実質的にその浮上距離ＦＨの短
小化及び安定動作を可能にして、電磁変換効率の向上と
安定化をはかることができる。例えば、ヘッドシーク時
にそのＦＨを大としておくことにより、シーク時の磁気
ヘッド素子と磁気記録媒体りとの接触を回避することが
できる。

また本発明は、磁気ヘッド素子（３）と磁気記録媒体り
との間隔が一定になる様に、例えば磁気記録媒体りに予
めＦＨ検出信号を書き込み、この信号を基準として圧電
アクチュエータ（２）をサーボ駆動することによって、
例えば磁気記録媒体りの内周と外周でのＨＤＤ駆動駆動
速度の差異によるＦＨの変動を回避することができ、電
磁変換効率の安定化をはかることができる。

また本発明は、ＨＤＤ駆動後の停止時に、磁気ヘッド素
子（３）がスライダー（１）の浮上面（１＾）より突出
する様に圧電アクチュエータ（２）が駆動されるように
したので、これによって停止時の浮上型磁気ヘッド装置
（１０）の例えばスライダー（１）と磁気記録媒体りと
の接触面積を小とすることができ、これらのはりつきを
回避することができる。

また本発明は、例えば加速度を感知するセンサーを別に
設けることによって外部からの衝撃を検知して、磁気ヘ
ッド素子（３）をスライダー（１）の浮上面（ＩＡ）よ
り後退する様に圧電アクチュエータ（２）が駆動される
ようにしたので、磁気ヘッド素子（３）と磁気記録媒体
りとがぶつかることを回避することができ、磁気ヘッド
素子（３）の損傷を防くことができる。

〔実施例〕

以下、本発明による浮上型磁気ヘッド装置の各側を、第
１図〜第６図の斜視図を参照して詳細に説明する。この
場合、第１図及び第２図に示す例はコンポジットタイプ
の磁気ヘッド素子を用いた例、第３図〜第６図に示す例
は薄膜タイプの磁気ヘッド素子を用いた例を示す。

実施例１ 第１図に示すように、スライダー（１）を設ける。

このスライダー（１）の、磁気記録媒体りと対向する側
には、磁気記録媒体との相対的走行によって空気流を発
生してスライダー（１）を浮上させる、直線状の平行す
る凸部より成る、第１及び第２のレール（６）及び（７
）が設けられる。そして第１及び第２のレール（６）及
び（７）の一部を含む、例えば第１のレール（６）の端
部を含むスライダー（１）の−角が、切り欠かれた切欠
部（４）が設けられて、例えばＰＺＴ（ジルコン酸チタ
ン酸鉛）より成る圧電アクチュエータ（２）がこの切欠
部（４）上に配設される。そしてこの圧電アクチュエー
タ（２）に磁気ヘッド素子（３）が取着され、その作動
磁気ギャップが第１のレール（６）の突出面すなわち磁
気記録媒体りと所要の間隔を保持する浮上面（ＩＡ）側
に臨むようになされ、浮上型磁気ヘッド装置（１０）が
構成される。（９）はスライダー（１）の切欠部（４）
側面とブロック（８）との間の間隙を示す。

磁気ヘッド素子（３）は、例えばスライダー（１）と同
組成の非磁性体ブロック（８）に保持されて成る。（５
）はヘッド巻線である。ブロック（８）にはスライダー
（１）の例えば第１のレール（６）の端部から延長する
補助レール（１６）がスライダー（１）の浮上面（ＩＡ
）側に設けられる。

そしてこの例では、圧電アクチュエータ（２）がスライ
ダー（１）の浮上面（ＩＡ）に対して平行するように面
状に形成され、これに所要の電圧を印加することにより
、その緬モードｄ３ｆｆを利用して厚みを変化させて、
これに取着された磁気ヘッド素子（３）即ちその作動磁
気ギャップが浮上面（ＩＡ）から突き出したり後退した
り駆動するようになされる。

このような圧電アクチュエータ（２）は、例えば第７図
にその路線的断面図を示すように、１０μｍ程度の圧電
体層を例えば２０層積層して交互に正負の電位となるよ
うな構造とし、各層にＩＯＶ程度の電圧を印加すると約
±０．２μｍの厚み変化が得られ、これを利用して所要
の厚み変化を得るように構成することができる。

実施例２ この例においては、第２図に示すように第１のレール（
６）及び第２のレール（７）の中間に第３のレール（２
６）が配置され、この第３のレール（２６）の端部に切
欠部（４）を設けてここに圧電アクチュエータ（２）を
介して磁気ヘッド素子（３）を配置する。

第２図において、第１図に対応する部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。

実施例３ この例では、第３図に示すように薄膜磁気ヘッド素子（
３３）を用いた場合で、スライダー（１）の一端に切欠
部（４）を設けて対の薄膜磁気ヘッド素子（３３）を有
するブロック（８）を圧電アクチュエータ（２）を介し
て配置した場合である。

第３図において、第１図に対応する部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。

実施例４ この例では、第４図に示すようにプレーナ型薄膜磁気ヘ
ッド素子（４３）を用いた場合で、スライダー（１）の
中間部即ち第１のレール（６）及び第２のレール（７）
の浮上面（ＩＡ）側中間部に切欠部（４）を設けて対の
プレーナ型薄膜磁気ヘッド素子（４３）を有するブロッ
ク（８）を圧電アクチュエータ（２）を介して配置した
場合である。

第４図において、第１図に対応する部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。

実施例５ この例では、第５図に示すように薄膜磁気ヘッド素子（
３３）を用いた場合で、スライダー（１）の一端に切欠
部（４）を設けて対の薄膜磁気ヘッド素子（３３）を有
するブロック（８）を圧電アクチュエータ（２）を介し
て配置した場合である。

この場合、圧電アクチュエータ（２）はスライダー（１
）の浮上面（１＾）に対して直交する方向に面状に形成
され、これに所要の電圧を印加することにより、その横
モードｄｏｌｌを利用して厚みを矢印Ｃで示す方向に変
化させて、これに伴う体積変化を戻すように矢印ｄ方向
の厚みを変化させ、これに取着された磁気ヘッド素子（
３）即ちその作動磁気ギャップが浮上面（ＩＡ）から突
き出したり後退したり駆動するようになされる。

第５図において、第１図に対応する部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。

実施例６ 二の例においても、第６図に示すように薄膜磁気ヘッド
素子（３３）を用いた例で、第５図で説明した例と同様
にスライダー（１）の一端に切欠部（４）を設けて対の
薄膜磁気ヘッド素子（３３）を有するブロック（８）を
圧電アクチュエータ（２）を介して配置した場合である
。

この場合においても圧電アクチュエータ（２）はスライ
ダー（１）の浮上面（ＩＡ）に対して直交する方向に面
状に形成され、これに所要の電圧を印加することにより
、そのすべりモードｄｌｓを利用して厚みを矢印ｅで示
す方向に変化させて、これに取着された磁気ヘッド素子
（３）即ちその作動磁気ギャップが浮上面（ＩＡ）から
突き出したり後退したり駆動するようになされる。

第６図において、第１図に対応する部分には同一符号を
付して重複説明を省略する。

このような構成において、浮上型磁気ヘッド装置（１０
）を磁気記録媒体り上に浮上させる。即ち、磁気記録媒
体の相対的高速移行例えばＨＤＤの高速回転駆動による
空気流によって磁気ヘッド装置（１０）を浮上させる。

このような状態で、圧電アクチュエータ（２）に所要の
電圧を印加して磁気ヘッド素子（３）をスライダー（１
）の浮上面（ＩＡ）に対して進退させることにより、磁
気ヘッド素子（３）と磁気記録媒体との距離ＦＨを可変
にする。

また圧電アクチュエータ（２）によってブロック（８）
を進退させるだけでなく、例えば磁気記録媒体りに予め
ＦＨ検出信号を書き込み、この信号を基準として圧電ア
クチュエータ（２）をサーボ駆動することによりブロッ
ク（８）の浮上距離ＦＨを一定の例えば０．０５μｍに
設定するように制御して、ＨＤＤ等の磁気記録媒体の、
内周と外周での速度の差異による浮上距離ＦＨの変動を
制御することもできる。

更に、磁気ヘッド素子（３）と磁気記録媒体りとの距離
ＦＨの変動を検出するセンサを設けて、検出ＦＨ値をも
とにブロック（８）の突出量を修正して、浮上距離ＦＨ
を一定に保持するように制御することもできる。

また磁気記録媒体の停止時においてブロック（８）を突
出させたり、外部からの衝撃を、別に設けたセンサによ
って検知してブロック（８）を後退させたりすることも
できる。

また、磁気記録媒体が停止する際、或いは回転等の相対
的移行を始める際に、圧電アクチュエータ（２）に高周
波例えば５９ｋＨｚの交流電圧を印加してブロック（８
）を振動させることにより、磁気へ・ノド素子（３）と
磁気記録媒体との実質的な摩擦抵抗を小とすることがで
き、これにより磁気ヘッド素子（３）と磁気記録媒体と
の擦過による損傷を回避することができる。

ちなみにこのような浮上型磁気ヘッド装置（１０）の浮
上距離ＦＨを調べるために、第８図の斜視図に示す浮上
型磁気ヘッド装置モデル（２０）を用いてシミュレーシ
ョンを行った。この場合、第８図に示すように、スライ
ダー（１）の長さり、が２５４０　ｕ　ｔｓ、幅Ｌ２が
２０３２μ園、厚さＬ３が５０８μ観であるとし、この
スライダー（１）の磁気記録媒体（図示せず）と対向す
る側の面に幅Ｌ４が５００μ謡の第１及び第２のレール
（６）及び（７）を設けるものとした。この第１及び第
２のレール（６）及び（７）の一端を長さし、が２５４
μｌの斜面状とする。そして第１のレール（６）の他端
にはブロック（８）との間に溝幅Ｇの間隙（９）を形成
し、長さしを有する切欠部（４）を設けて、ＰＺＴより
成る圧電アクチュエータ（２）をこの切欠部（４）上に
配設した。そしてこの圧電アクチュエータ（２）にブロ
ック（８）を取着して厚さＬ６を２５０μｍとし、その
上面が第１のレール（６）の突出面すなわち磁気記録媒
体と所要の間隔を保持する浮上面（ｌ＾）側に臨むよう
にした。

このような構成において、溝幅Ｇ及び長さしを変化させ
、また圧電アクチュエータ（２）による磁気記録媒体側
への突き出し量を変化させて、浮上距離ＦＨのシミュレ
ーションを行った結果を表１に示す。このシミュレーシ
ョンでは、この浮上型磁気ヘッド装置モデルと磁気記録
媒体との相対速度を９　ｍ／ｓｅｃとしてＦＨを解析し
た。この速度は３．５インチＨＤＤの回転速度を３６０
０回／分としたときの中心部における速度にほぼ等しい
。但しく　）内数字は、第１及び第２のレール上に同形
状のブロックを設けた場合に、この両ブロックを溝幅、
長さ及び突き出し量を同じ条件としてＦＨをシミュレー
ションした結果を示す。

表 ＦＨ量 （単位二μｍ） 表１かられかるように、浮上距離ＦＨはほぼ突き出し量
の増加に反比例して減少している。この場合突き出し量
が０．１５μｍ程度でＦＨが０．１０μｍ以下となって
おり、突き出し量０．２０μｍではＦＨは０．０５μｍ
以下となった。このとき、溝幅Ｇが１０μｍより１００
μｍの場合に比較的ＦＨが小となっているが、はとんど
同程度のＦＨの短小化がはかられている。またこのとき
第２のレール（７）の端部のＦＨは殆ど変化しない。

また、第１及び第２の両レール（６）及び（７）にブロ
ックを設けてこの両ブロックの突き出しを行った場合は
、片側のブロックのみを突き出した場合に比してＦＨが
小となることがわかる。

この溝幅の効果を調べるために、第１のレール（６）の
みにブロック（８）を設けた場合において、溝幅Ｇを０
μｍとして長さしを３００μｍとし、さらに突き出し量
を０．１０μｍとしてシミュレーションを行った。この
ときの第１のレール（６）及び第２のレール（７）の各
浮上距離ＦＨの結果を表２に示す。

表　２　　　　ＦＨ量　（単位：μｍ）表２かられかる
ように、 このとき各レールのＦ Ｈの差は０．２５９−０．２０２＝０．０５７μｍで、
突き出し量０．１０μｍに比して小さく、第１のレール
（６）が第２のレール（７）に比してかなり浮上してい
ることがわかる。これは、溝幅Ｇを０μｍとしたために
、空気の流れがブロック（８）によって妨げられてＦＨ
が大となったものと思われる。このため、圧電アクチュ
エータ（２）によるブロック（８）とスライダー（１）
との間には空気の逃げ溝を設けたほうが浮上距離ＦＨは
小となることがわかる。

従って、本発明装置においては、ブロック（８）と、ス
ライダー（１）との間に間隙（９）を設けることが望ま
しい。

〔発明の効果］ 上述したように、本発明による浮上型磁気ヘッド装置（
１０）は圧電アクチュエータ（２）の駆動によってブロ
ック（８）を移動させることにより、このブロック（８
）上の磁気ヘッド素子（３）と磁気記録媒体りとの距離
を可変にすることができ、磁気ヘッド素子（３）と磁気
記録媒体りとの距離を任意に選択して実質的に浮上距離
ＦＨの短小化を可能にし、これにより電磁変換効率の向
上をはかることができる。

また例えばヘッドシーク時にＦＨを大としておくことに
より、シーク時の磁気ヘッド素子と磁気記録媒体との接
触を回避することができる等、種々の効果を得ることが
できる。

また、例えば磁気記録媒体に予めＦＨ検出信号を書き込
み、この信号を基準として圧電アクチュエータ（２）を
サーボ駆動することによって、磁気ヘッド素子（３）と
磁気記録媒体との間隔が一定になる様にすることができ
、このため例えばＨＤＤ等の磁気記録媒体の、内周と外
周でのＨＤＤ駆動時の速度の差異によるＦＨの変動を回
避することができる。更に、例えば磁気ヘッド素子（３
）と磁気記録媒体りとの距離ＦＨの変動を検出するセン
サを設けて、この検出ＦＨ値によってブロック（８）の
突出量を修正して、浮上距離ＦＨを一定に保持するよう
に制御することもでき、これによって電磁変換効率の安
定化をはかることができる。

あるいはまた、ＨＤＤ駆動後の停止時に、ブロツク（８
）を突出させるように、すなわち磁気ヘッド素子（３）
が浮上面（ＩＡ）より突出する様に圧電アクチュエータ
（２）が駆動されるようにすることができ、これによっ
て停止時の浮上型磁気ヘッド装置（１０）の例えばスラ
イダー（１）と磁気記録媒体りとの接触面積が小となっ
て、これらのはりつきを回避することができる。従って
、次の動作時にその立ち上がりから円滑に動作すること
ができ、さらに磁気記録媒体等の損傷を回避することが
できる。

または、加速度を感知するセンサーを別に設けることに
よって外部からの衝撃を検知して、突出部（８）即ち磁
気ヘッド素子（３）を浮上面（ＩＡ）より後退する様に
圧電アクチュエータ（２）が駆動されるようにすること
ができ、これによって磁気ヘッド素子（３）と磁気記録
媒体との接触を回避することができる。従ってその衝撃
による磁気ヘッド素子（３）の損傷を回避することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明による浮上型磁気ヘッド装置の
各側を示す斜視図、第７図は圧電アクチュエータの一例
を示す路線的断面図、第８図は浮上距離のシミュレーシ
ョンに用いた浮上型磁気ヘッド装置モデルの斜視図、第
９図は従来の浮上型磁気ヘッド装置を示す構成図である
。 （１）はスライダー、（ＩＡ）は浮上面、（２）は圧電
アクチュエータ、（３）は磁気ヘッド素子、（４）は切
欠部、（５）はヘッド巻線、（６）及び（７）は第１及
び第２のレール、（８）はブロック、（９）は間隙、（
１６）は補助レール、（２６）は第３のレール、（３３
）は薄膜磁気ヘッド素子、（４３）はプレーナ型薄膜磁
気ヘッド素子、（１０）は浮上型磁気ヘッド装置、（２
０）は浮上型磁気ヘッド装置モデル、（７１）は磁気記
録媒体、（７２）はスライダ（７３）は磁気ヘッド、（
７４）は弾性体、（７５）は金属板である。 代 理 人 松 隈 秀 盛 第 図 第４図 星４Ｅ主石ａチへ７に裏置モチ゛ル ５ｔ＝！谷＆負へ砕茨１モフル１示Ｔ斜履圓第８図 ′３二ｉ確肩ヘウト＝ｉｚの−１八口 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　磁気記録媒体に対して浮上して走行するスライダー
   と、 このスライダーに設けられた圧電アクチュエータと、 このアクチュエータに設けられ、作動磁気ギャップがス
   ライダーの浮上面側に臨む様に設けられた磁気ヘッド素
   子とより成り、 上記圧電アクチュエータの駆動により上記磁気ヘッド素
   子と上記磁気記録媒体との間隔を可変にしたこと を特徴とする浮上型磁気ヘッド装置。 ２　特許請求の範囲第１項に記載の浮上型磁気ヘッド装
   置において、 上記間隔が一定になる様上記圧電アクチュエータが駆動
   されるようにしたこと を特徴とする浮上型磁気ヘッド装置。 ３　特許請求の範囲第１項に記載の浮上型磁気ヘッド装
   置において、 磁気記録媒体に対して停止時に上記磁気ヘッド素子が上
   記スライダーの浮上面より突出する様に圧電アクチュエ
   ータが駆動されるようにしたこと を特徴とする浮上型磁気ヘッド装置。 ４　特許請求の範囲第１項に記載の浮上型磁気ヘッド装
   置において、 外部からの衝撃を検知して、上記磁気ヘッド素子を上記
   浮上面より後退する様に圧電アクチュエータが駆動され
   るようにしたこと を特徴とする浮上型磁気ヘッド装置。