JP2001229519A - スライダおよび記録装置 - Google Patents
スライダおよび記録装置Info
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
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- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/488—Disposition of heads
- G11B5/4886—Disposition of heads relative to rotating disc
Abstract
(57)【要約】
【課題】浮上量５ｎｍを実現するために、ヘッド素子を
記録媒体表面に接触させ、その接触を安定に維持する。 【解決手段】記録媒体に情報を記録再生するヘッド素子
を備えたスライダに、段差を有する複数のパッドを設
け、前記パッドのうちヘッド素子を搭載したパッドの高
さを、他のパッドの高さより小さく構成する。これによ
って、ヘッド素子搭載パッド以外のパッドを浮上させ、
ヘッド素子搭載パッドを円板潤滑剤のメニスカス吸引力
とダンピング作用によって円板表面に安定に接触させ
る。
記録媒体表面に接触させ、その接触を安定に維持する。 【解決手段】記録媒体に情報を記録再生するヘッド素子
を備えたスライダに、段差を有する複数のパッドを設
け、前記パッドのうちヘッド素子を搭載したパッドの高
さを、他のパッドの高さより小さく構成する。これによ
って、ヘッド素子搭載パッド以外のパッドを浮上させ、
ヘッド素子搭載パッドを円板潤滑剤のメニスカス吸引力
とダンピング作用によって円板表面に安定に接触させ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、記録媒体上を走行
するスライダに設けたヘッド素子によって記録媒体に情
報を記録再生する記録装置に係り、特に、搭載したヘッ
ド素子と記録媒体との隙間間隔を低減し得るスライダ
と、このスライダを搭載した記録装置に関する。
するスライダに設けたヘッド素子によって記録媒体に情
報を記録再生する記録装置に係り、特に、搭載したヘッ
ド素子と記録媒体との隙間間隔を低減し得るスライダ
と、このスライダを搭載した記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のスライダは、特開平１１−８６４
８３号公報の図１０に開示されているように、空気流入
端近傍および空気流出端近傍の空気ベアリング表面上
に、段差を備えたパッドを形成し、空気流入端近傍に形
成したパッドの段差が、空気流出端近傍に形成したパッ
ドの段差より高い、という構成になっている。この従来
の技術の目的は、パッドによる磁気ディスクの潤滑剤の
掻き集めを最小限に押さえ、スライダと磁気ディスク表
面との間の摩擦力の増加および付着力の増加を防止する
ことである。
８３号公報の図１０に開示されているように、空気流入
端近傍および空気流出端近傍の空気ベアリング表面上
に、段差を備えたパッドを形成し、空気流入端近傍に形
成したパッドの段差が、空気流出端近傍に形成したパッ
ドの段差より高い、という構成になっている。この従来
の技術の目的は、パッドによる磁気ディスクの潤滑剤の
掻き集めを最小限に押さえ、スライダと磁気ディスク表
面との間の摩擦力の増加および付着力の増加を防止する
ことである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近、記録
装置への要求の第一は記録密度の増加である。記録密度
を増加させるためには、ビットと呼ばれる記録媒体上の
記録再生の最小単位領域の面積を小さくする必要があ
る。そのため、スライダに搭載され記録再生を行うヘッ
ド素子と記録媒体表面との隙間間隔を低減することが必
要である。１００Ｇｂ／ｉｎ2の記録密度を実現するた
めには、ヘッド素子ときり媒体表面の隙間間隔を５ｎｍ
以下に低減する必要がある。このため、ヘッド素子を記
録媒体表面に接触させ、かつヘッド素子と記録媒体表面
とが離れないスライダの実現が必須である。
装置への要求の第一は記録密度の増加である。記録密度
を増加させるためには、ビットと呼ばれる記録媒体上の
記録再生の最小単位領域の面積を小さくする必要があ
る。そのため、スライダに搭載され記録再生を行うヘッ
ド素子と記録媒体表面との隙間間隔を低減することが必
要である。１００Ｇｂ／ｉｎ2の記録密度を実現するた
めには、ヘッド素子ときり媒体表面の隙間間隔を５ｎｍ
以下に低減する必要がある。このため、ヘッド素子を記
録媒体表面に接触させ、かつヘッド素子と記録媒体表面
とが離れないスライダの実現が必須である。
【０００４】しかし上記の従来のスライダでは、ヘッド
素子が空気ベアリング表面上に備えられ、パッドの頂部
に備えられていないので、ヘッド素子と記録媒体との隙
間間隔を、概略パッドの高さ以下に低減できない。従っ
て、ヘッド素子を記録媒体表面に接触させることができ
ないという課題がある。
素子が空気ベアリング表面上に備えられ、パッドの頂部
に備えられていないので、ヘッド素子と記録媒体との隙
間間隔を、概略パッドの高さ以下に低減できない。従っ
て、ヘッド素子を記録媒体表面に接触させることができ
ないという課題がある。
【０００５】また、上記の従来のスライダでは、パッド
の段差によって構成されるステップ面が記録媒体の表面
と同じ方向に向いており、記録媒体表面に対向していな
いので、段差が低い空気流出端近傍のパッドにおいて
も、潤滑剤のメニスカス吸引力によってパッドを記録媒
体表面側に引っ張ることができない。従って、パッド頂
部が記録媒体表面上で跳躍し、ヘッド素子が記録媒体表
面から離れるのを防止することができないという課題が
あるまた、段差が高い空気流入端近傍のパッドにおいて
も、気体ステップ軸受の作用によって、パッドを非接触
に浮上させることができない。従って、ヘッド素子を搭
載しないパッドのパッド頂部に作用する大摩擦力や、パ
ッド頂部の摩耗損傷を防止することができないという課
題がある。
の段差によって構成されるステップ面が記録媒体の表面
と同じ方向に向いており、記録媒体表面に対向していな
いので、段差が低い空気流出端近傍のパッドにおいて
も、潤滑剤のメニスカス吸引力によってパッドを記録媒
体表面側に引っ張ることができない。従って、パッド頂
部が記録媒体表面上で跳躍し、ヘッド素子が記録媒体表
面から離れるのを防止することができないという課題が
あるまた、段差が高い空気流入端近傍のパッドにおいて
も、気体ステップ軸受の作用によって、パッドを非接触
に浮上させることができない。従って、ヘッド素子を搭
載しないパッドのパッド頂部に作用する大摩擦力や、パ
ッド頂部の摩耗損傷を防止することができないという課
題がある。
【０００６】本発明は、上記の課題のうち少なくとも一
つを解決するためになされたものであり、スライダに搭
載したヘッド素子を記録媒体と概略接触させ、その接触
を安定に維持すること。さらに、スライダ及び記録媒体
表面の大摩擦力、及び摩耗損傷を防止できるスライダと
それを搭載した記録装置を提供することにある。
つを解決するためになされたものであり、スライダに搭
載したヘッド素子を記録媒体と概略接触させ、その接触
を安定に維持すること。さらに、スライダ及び記録媒体
表面の大摩擦力、及び摩耗損傷を防止できるスライダと
それを搭載した記録装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、スライダの
媒体対向面に、頂上面であるベアリング面と、ベアリン
グ面に対して窪む方向の段差によって構成された記録媒
体に対向するステップ面を有する第１および第２のパッ
ド（突出部）を設け、第２のパッドにヘッド素子を備
え、第２のパッドの段差の高さが第１のパッドの段差の
高さより小さい構成とすることにより達成される。
媒体対向面に、頂上面であるベアリング面と、ベアリン
グ面に対して窪む方向の段差によって構成された記録媒
体に対向するステップ面を有する第１および第２のパッ
ド（突出部）を設け、第２のパッドにヘッド素子を備
え、第２のパッドの段差の高さが第１のパッドの段差の
高さより小さい構成とすることにより達成される。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施例を図１ない
し図５を用いて説明する。図１は本発明を適用した記録
装置である磁気ディスク装置の斜視図である。
し図５を用いて説明する。図１は本発明を適用した記録
装置である磁気ディスク装置の斜視図である。
【０００９】信号を記録する記録媒体である磁気ディス
ク１が、スピンドルモータ３の軸に固定されて矢印４ａ
の回転方向に回転する。この回転する磁気ディスク１の
面上を、サスペンション５に取付けられ、情報の記録再
生を行うヘッド素子を具備したスライダ２が、ボイスコ
イルモータによって駆動されるキャリッジ６で磁気ディ
スク１の概略半径方向に移動する。ここで、サスペンシ
ョン５、キャリッジ、及びボイスコイルモータを総称し
てアクセス手段と称する。本発明は、特にスライダ２に
関するものである。本発明のスライダを磁気ディスク装
置に適用することにより、ヘッド素子と磁気ディスク表
面との隙間間隔を概略ゼロにまで低減でき、しかもスラ
イダおよび磁気ディスクの摩耗損傷を防止して磁気ディ
スク装置全体の耐久性向上を図ることが可能になる。
ク１が、スピンドルモータ３の軸に固定されて矢印４ａ
の回転方向に回転する。この回転する磁気ディスク１の
面上を、サスペンション５に取付けられ、情報の記録再
生を行うヘッド素子を具備したスライダ２が、ボイスコ
イルモータによって駆動されるキャリッジ６で磁気ディ
スク１の概略半径方向に移動する。ここで、サスペンシ
ョン５、キャリッジ、及びボイスコイルモータを総称し
てアクセス手段と称する。本発明は、特にスライダ２に
関するものである。本発明のスライダを磁気ディスク装
置に適用することにより、ヘッド素子と磁気ディスク表
面との隙間間隔を概略ゼロにまで低減でき、しかもスラ
イダおよび磁気ディスクの摩耗損傷を防止して磁気ディ
スク装置全体の耐久性向上を図ることが可能になる。
【００１０】ちなみに、磁気ディスク１の回転方向４ａ
は、逆向きの回転方向４ｂでも良い。回転方向を矢印４
ｂにすることにより、スライダ２に作用する風乱を低減
することができる。
は、逆向きの回転方向４ｂでも良い。回転方向を矢印４
ｂにすることにより、スライダ２に作用する風乱を低減
することができる。
【００１１】図２は、スライダ２とサスペンション５の
組み立て体の斜視図である。サスペンション５は、サス
ペンション５に設けられたマウント９の部分でキャリッ
ジ６に固定される。サスペンション５には、スライダ２
に押付荷重を加えるためのばね部１０、磁気ディスク１
側面に突出したピボット突起７が設けられている。この
ピボット突起７をスライダ１の背面に押し当てることに
より、サスペンション５による押付荷重をスライダ２に
付与する。そしてスライダ２は、スライダ２がピボット
突起７との接触点の周りに概ね自由にピッチングおよび
ローリーング運動ができ、かつ磁気ディスク１の面内方
向には概ね固定されるように、磁気ディスク１の表面に
概ね平行な平面の薄板からなる弾性部材で形成されたジ
ンバル８を介して、サスペンション５に固定されてい
る。
組み立て体の斜視図である。サスペンション５は、サス
ペンション５に設けられたマウント９の部分でキャリッ
ジ６に固定される。サスペンション５には、スライダ２
に押付荷重を加えるためのばね部１０、磁気ディスク１
側面に突出したピボット突起７が設けられている。この
ピボット突起７をスライダ１の背面に押し当てることに
より、サスペンション５による押付荷重をスライダ２に
付与する。そしてスライダ２は、スライダ２がピボット
突起７との接触点の周りに概ね自由にピッチングおよび
ローリーング運動ができ、かつ磁気ディスク１の面内方
向には概ね固定されるように、磁気ディスク１の表面に
概ね平行な平面の薄板からなる弾性部材で形成されたジ
ンバル８を介して、サスペンション５に固定されてい
る。
【００１２】ここで、スライダ２には、矢印４ａの回転
方向に運動する場合に、磁気ディスク１の表面が接近す
る側に気体流入端１１、離れてゆく側に気体流出端１２
が備えられている。
方向に運動する場合に、磁気ディスク１の表面が接近す
る側に気体流入端１１、離れてゆく側に気体流出端１２
が備えられている。
【００１３】これら気体流入端１１、気体流出端１２の
配置は、磁気ディスク１表面とスライダ２との相対運動
の方向で決まり、サスペンション５に対するスライダ２
の取り付け方向には無関係である。そのため、以下のス
ライダ２の単体あるいはそれと磁気ディスク１表面近傍
を示す図では、サスペンション５に対する回転方向４
ａ、４ｂの違いは区別せず、スライダ２に対する磁気デ
ィスク１表面の相対的な運動方向を単に回転方向４とし
表記する。
配置は、磁気ディスク１表面とスライダ２との相対運動
の方向で決まり、サスペンション５に対するスライダ２
の取り付け方向には無関係である。そのため、以下のス
ライダ２の単体あるいはそれと磁気ディスク１表面近傍
を示す図では、サスペンション５に対する回転方向４
ａ、４ｂの違いは区別せず、スライダ２に対する磁気デ
ィスク１表面の相対的な運動方向を単に回転方向４とし
表記する。
【００１４】図３はスライダ２の、磁気ディスク１との
対向面を示す平面図であり、図４は走行中のスライダ２
と磁気ディスク１の側面図である。
対向面を示す平面図であり、図４は走行中のスライダ２
と磁気ディスク１の側面図である。
【００１５】気体流入端１１と気体流出端１２との距離
であるスライダ全長は１．２５ｍｍ、スライダ全長に直
行するスライダ幅は１．０ｍｍである。また、スライダ
２の厚さは０．４ｍｍ程度であるが、図４ではスライダ
全長方向と比較して厚さ方向の寸法を拡大誇張して表示
している。スライダ２の気体流入端１１近傍に第１のパ
ッド１５が設けられ、気体流出端１２近傍に第２のパッ
ド１６が設けられている。第１のパッド１５の頂部に
は、二つの浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂが設けられ
ている。浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂのそれぞれの
気体流入端１１側には、浮上ベアリング面１７ａ、１７
ｂに対して窪む方向の段差１８ａ、１８ｂによって構成
された、磁気ディスク１に対向する浮上ステップ面１９
ａ、１９ｂが形成されている。本実施例の場合、段差１
８ａ、１８ｂの高さ２３(図４)は、例えば１００〜２０
０ｎｍ程度である。
であるスライダ全長は１．２５ｍｍ、スライダ全長に直
行するスライダ幅は１．０ｍｍである。また、スライダ
２の厚さは０．４ｍｍ程度であるが、図４ではスライダ
全長方向と比較して厚さ方向の寸法を拡大誇張して表示
している。スライダ２の気体流入端１１近傍に第１のパ
ッド１５が設けられ、気体流出端１２近傍に第２のパッ
ド１６が設けられている。第１のパッド１５の頂部に
は、二つの浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂが設けられ
ている。浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂのそれぞれの
気体流入端１１側には、浮上ベアリング面１７ａ、１７
ｂに対して窪む方向の段差１８ａ、１８ｂによって構成
された、磁気ディスク１に対向する浮上ステップ面１９
ａ、１９ｂが形成されている。本実施例の場合、段差１
８ａ、１８ｂの高さ２３(図４)は、例えば１００〜２０
０ｎｍ程度である。
【００１６】また、第２のパッド１６には、ヘッド素子
１３が備えられている。また、第２のパッドの頂部に
は、コンタクトベアリング面２０が設けられている。本
実施例の場合、ヘッド素子１３は、コンタクトベアリン
グ面２０に備えられている。コンタクトベアリング面２
０の周囲には、コンタクトベアリング面２０に対して窪
む方向の段差２１によって形成された、磁気ディスク１
に対向するメニスカスステップ面２２が形成されてい
る。この第２のパッド１６の段差２１の高さ２４(図４)
は、第１のパッドの段差１８ａ、１８ｂの高さ２３より
小さい値に形成してある。この高さの差は１〜５０ｎｍ
程度(望ましくは１〜２５ｎｍ程度)である。すなわち、
第２のパッド１６の段差２１の高さ２４は、第１のパッ
ド１５の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３の１／２倍以
下、１／２００倍以上としている。なお、本実施例では
第１パッドの浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂと第２パ
ッドのコンタクトベアリング面２０のブリード面１４か
らの高さは略同じ高さにしてある。
１３が備えられている。また、第２のパッドの頂部に
は、コンタクトベアリング面２０が設けられている。本
実施例の場合、ヘッド素子１３は、コンタクトベアリン
グ面２０に備えられている。コンタクトベアリング面２
０の周囲には、コンタクトベアリング面２０に対して窪
む方向の段差２１によって形成された、磁気ディスク１
に対向するメニスカスステップ面２２が形成されてい
る。この第２のパッド１６の段差２１の高さ２４(図４)
は、第１のパッドの段差１８ａ、１８ｂの高さ２３より
小さい値に形成してある。この高さの差は１〜５０ｎｍ
程度(望ましくは１〜２５ｎｍ程度)である。すなわち、
第２のパッド１６の段差２１の高さ２４は、第１のパッ
ド１５の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３の１／２倍以
下、１／２００倍以上としている。なお、本実施例では
第１パッドの浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂと第２パ
ッドのコンタクトベアリング面２０のブリード面１４か
らの高さは略同じ高さにしてある。
【００１７】本実施例では、第１のパッド１５の気体流
出端１２側には、浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂから
窪んだブリード面１４が形成されている。この浮上ベア
リング面１７ａ、１７ｂに対するブリード面１４の窪み
の深さは、例えば１μｍ程度である。このとき、気体流
入端１１近傍にスライダ２の横幅全体に渡って設けられ
た第１のパッド１５はクロスレールとして作用する。こ
のため、スライダ２がディスク面上を走行している時
は、クロスレールである第１のパッド１５の気体流出端
１２側に存在するブリード面１４には負圧が生じる。
出端１２側には、浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂから
窪んだブリード面１４が形成されている。この浮上ベア
リング面１７ａ、１７ｂに対するブリード面１４の窪み
の深さは、例えば１μｍ程度である。このとき、気体流
入端１１近傍にスライダ２の横幅全体に渡って設けられ
た第１のパッド１５はクロスレールとして作用する。こ
のため、スライダ２がディスク面上を走行している時
は、クロスレールである第１のパッド１５の気体流出端
１２側に存在するブリード面１４には負圧が生じる。
【００１８】図４に示すように、スライダ２は、第１の
パッド１５の浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂが空気膜
を介して磁気ディスク１の面上に浮上させ、第２のパッ
ド１６のコンタクトベアリング面２０を磁気ディスク１
に概略接触させながら走行する。スライダ２と磁気ディ
スク１とが接触するときの両者の摩耗や損傷を防止する
ために、磁気ディスク１の表面には潤滑剤２５が塗布さ
れている。本実施例では、潤滑剤２５は、例えばパーフ
ルオロポリエーテル潤滑剤であり、潤滑剤２５の膜厚２
６は例えば１〜５ｎｍ程度である。従って、第２のパッ
ド１６の段差２１の高さ２４は、潤滑剤２５の厚さ２６
の概略１倍以上、１０倍以下、望ましい高さ２４は潤滑
剤２５の膜厚２６の概略１倍以上、５倍以下となってい
る。
パッド１５の浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂが空気膜
を介して磁気ディスク１の面上に浮上させ、第２のパッ
ド１６のコンタクトベアリング面２０を磁気ディスク１
に概略接触させながら走行する。スライダ２と磁気ディ
スク１とが接触するときの両者の摩耗や損傷を防止する
ために、磁気ディスク１の表面には潤滑剤２５が塗布さ
れている。本実施例では、潤滑剤２５は、例えばパーフ
ルオロポリエーテル潤滑剤であり、潤滑剤２５の膜厚２
６は例えば１〜５ｎｍ程度である。従って、第２のパッ
ド１６の段差２１の高さ２４は、潤滑剤２５の厚さ２６
の概略１倍以上、１０倍以下、望ましい高さ２４は潤滑
剤２５の膜厚２６の概略１倍以上、５倍以下となってい
る。
【００１９】図５は、図４の部分拡大図であり、ヘッド
素子１３を備える第２のパッド１６および磁気ディスク
１の表面付近を示している。コンタクトベアリング面２
０の面積とメニスカスステップ面２２の面積の合計は、
概略０．０００１ｍｍ2以上、０．０３ｍｍ2以下程度と
なっている。
素子１３を備える第２のパッド１６および磁気ディスク
１の表面付近を示している。コンタクトベアリング面２
０の面積とメニスカスステップ面２２の面積の合計は、
概略０．０００１ｍｍ2以上、０．０３ｍｍ2以下程度と
なっている。
【００２０】次に本発明の第１の実施例の作用を説明す
る。
る。
【００２１】図４に示すように、スライダ２は、第１の
パッド１５の浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂを空気膜
を介して磁気ディスク１の面上に浮上させ、第２のパッ
ド１６のコンタクトベアリング面２０を磁気ディスク１
に概略接触させながら走行する。本実施例によれば、ヘ
ッド素子１３は、第２のパッド１６のコンタクトベアリ
ング面２０に搭載されているので、ヘッド素子１３と磁
気ディスク１との隙間間隔を第２のパッド１６の高さ以
下に低減できる。さらに、ヘッド素子１３と磁気ディス
ク１との隙間間隔を概略ゼロにまで低減することができ
る。
パッド１５の浮上ベアリング面１７ａ、１７ｂを空気膜
を介して磁気ディスク１の面上に浮上させ、第２のパッ
ド１６のコンタクトベアリング面２０を磁気ディスク１
に概略接触させながら走行する。本実施例によれば、ヘ
ッド素子１３は、第２のパッド１６のコンタクトベアリ
ング面２０に搭載されているので、ヘッド素子１３と磁
気ディスク１との隙間間隔を第２のパッド１６の高さ以
下に低減できる。さらに、ヘッド素子１３と磁気ディス
ク１との隙間間隔を概略ゼロにまで低減することができ
る。
【００２２】また、本実施例によれば、第２のパッド１
６の段差２１の高さ２４が第１のパッド１５の段差１８
ａ、１８ｂの高さ２３より小さいので、第２のパッド１
６の段差２１の高さ２４を、前述の通り、磁気ディスク
１の表面上の潤滑剤２５の厚さ２６の概略１倍以上、10
倍以下に設定することができる。
６の段差２１の高さ２４が第１のパッド１５の段差１８
ａ、１８ｂの高さ２３より小さいので、第２のパッド１
６の段差２１の高さ２４を、前述の通り、磁気ディスク
１の表面上の潤滑剤２５の厚さ２６の概略１倍以上、10
倍以下に設定することができる。
【００２３】このとき、段差２１によって構成されるメ
ニスカスステップ面２２は、磁気ディスク１に対向して
いるのでメニスカスステップ面２２と磁気ディスク１の
間に潤滑剤２５のメニスカスが形成される。このメニス
カスの吸引力によって、メニスカスステップ面２２及び
コンタクトベアリング面２０が、磁気ディスク１表面側
に引っ張られる。このメニスカス吸引力により第２のパ
ッド１６の頂上面であるコンタクトベアリング面２０
は、跳躍することなく磁気ディスク１表面と安定に接触
する。従って、第２のパッド１６のコンタクトベアリン
グ面２０に備えられたヘッド素子１３が、磁気ディスク
１の表面から離れるのを防止することができる。
ニスカスステップ面２２は、磁気ディスク１に対向して
いるのでメニスカスステップ面２２と磁気ディスク１の
間に潤滑剤２５のメニスカスが形成される。このメニス
カスの吸引力によって、メニスカスステップ面２２及び
コンタクトベアリング面２０が、磁気ディスク１表面側
に引っ張られる。このメニスカス吸引力により第２のパ
ッド１６の頂上面であるコンタクトベアリング面２０
は、跳躍することなく磁気ディスク１表面と安定に接触
する。従って、第２のパッド１６のコンタクトベアリン
グ面２０に備えられたヘッド素子１３が、磁気ディスク
１の表面から離れるのを防止することができる。
【００２４】ここで、第２のパッド１６の段差２１の高
さ２４の範囲について、段差２１の高さ２４が潤滑剤２
５の膜厚２６より小さいと、メニスカスステップ面２２
が潤滑剤２５の層内に埋没してしまい、吸引力が発生し
ない。また逆に段差２１の高さ２４が潤滑剤２５の膜厚
２６の概略１０倍より大きいと、潤滑剤２５がメニスカ
スステップ面２２まで到達できず、メニスカスが形成さ
れないので、吸引力が発生しない。望ましくは、前述の
通り、段差２１の高さ２４は潤滑剤２５の厚さ２６の1
〜5倍程度が好ましい。
さ２４の範囲について、段差２１の高さ２４が潤滑剤２
５の膜厚２６より小さいと、メニスカスステップ面２２
が潤滑剤２５の層内に埋没してしまい、吸引力が発生し
ない。また逆に段差２１の高さ２４が潤滑剤２５の膜厚
２６の概略１０倍より大きいと、潤滑剤２５がメニスカ
スステップ面２２まで到達できず、メニスカスが形成さ
れないので、吸引力が発生しない。望ましくは、前述の
通り、段差２１の高さ２４は潤滑剤２５の厚さ２６の1
〜5倍程度が好ましい。
【００２５】また本実施例によれば、第１のパッド１５
の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３が第２のパッド１６の
段差２１の高さ２４より大きいので、第１のパッド１５
の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３を、前述の通り、１０
０〜２００ｎｍ程度に設定することができる。このと
き、段差１８ａ、１８ｂによって構成される浮上ステッ
プ面１９ａ、１９ｂは、磁気ディスク１に対向している
ので、浮上ステップ面１９ａ、１９ｂおよび浮上ベアリ
ング面１７ａ、１７ｂの組み合わせからなる面は気体ス
テップ軸受として作用する。例えば、スライダ２に対す
る磁気ディスク１の表面の相対速度が数ｍ／ｓ以上の場
合、数ｇｆオーダの浮上力を発生する。この浮上力によ
り第１のパッド１５は、磁気ディスク１表面上に非接触
に浮上する。これにより、第１のパッド１５に作用する
大摩擦力や第１のパッド１５の頂部の摩耗損傷を防止す
ることができる。
の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３が第２のパッド１６の
段差２１の高さ２４より大きいので、第１のパッド１５
の段差１８ａ、１８ｂの高さ２３を、前述の通り、１０
０〜２００ｎｍ程度に設定することができる。このと
き、段差１８ａ、１８ｂによって構成される浮上ステッ
プ面１９ａ、１９ｂは、磁気ディスク１に対向している
ので、浮上ステップ面１９ａ、１９ｂおよび浮上ベアリ
ング面１７ａ、１７ｂの組み合わせからなる面は気体ス
テップ軸受として作用する。例えば、スライダ２に対す
る磁気ディスク１の表面の相対速度が数ｍ／ｓ以上の場
合、数ｇｆオーダの浮上力を発生する。この浮上力によ
り第１のパッド１５は、磁気ディスク１表面上に非接触
に浮上する。これにより、第１のパッド１５に作用する
大摩擦力や第１のパッド１５の頂部の摩耗損傷を防止す
ることができる。
【００２６】大摩擦力を防止することにより、サスペン
ション５及びキャリッジ６によるヘッド素子１３の半径
方向位置決め精度の向上、スピンドル３の消費電力及び
発熱の低減、という利点が生じる。また、摩擦損傷を防
止することは、磁気ディスク装置の信頼性の大幅な向上
につながる。ヘッド素子１３と磁気ディスク１との隙間
の低減のために、磁気ディスク１との接触がやむを得な
い第２のパッド１６を除いて、それ以外のヘッド素子１
３を搭載しない第１のパッド１５については、本実施例
のように、磁気ディスク１との接触を避ける構成が最良
の選択である。
ション５及びキャリッジ６によるヘッド素子１３の半径
方向位置決め精度の向上、スピンドル３の消費電力及び
発熱の低減、という利点が生じる。また、摩擦損傷を防
止することは、磁気ディスク装置の信頼性の大幅な向上
につながる。ヘッド素子１３と磁気ディスク１との隙間
の低減のために、磁気ディスク１との接触がやむを得な
い第２のパッド１６を除いて、それ以外のヘッド素子１
３を搭載しない第１のパッド１５については、本実施例
のように、磁気ディスク１との接触を避ける構成が最良
の選択である。
【００２７】ここで、潤滑剤２５のメニスカス吸引力を
利用してヘッド素子１３を磁気ディスク１側に引き付け
る方法として、例えば、従来のスライダにおいて、パッ
ドの高さを低くすることによって記録媒体と空気ベアリ
ング表面との間に直接メニスカスを形成させるという手
段もあり得る。しかし、この場合には、空気ベアリング
表面上でメニスカスを形成させる領域の面積を制御する
ことができない。このため、メニスカス領域の面積に概
略比例するメニスカス吸引力を、調節することができな
い。従って、過大な吸引力によるパッド頂部の摩耗や、
過小な吸引力による跳躍の発生を防止することができな
い。
利用してヘッド素子１３を磁気ディスク１側に引き付け
る方法として、例えば、従来のスライダにおいて、パッ
ドの高さを低くすることによって記録媒体と空気ベアリ
ング表面との間に直接メニスカスを形成させるという手
段もあり得る。しかし、この場合には、空気ベアリング
表面上でメニスカスを形成させる領域の面積を制御する
ことができない。このため、メニスカス領域の面積に概
略比例するメニスカス吸引力を、調節することができな
い。従って、過大な吸引力によるパッド頂部の摩耗や、
過小な吸引力による跳躍の発生を防止することができな
い。
【００２８】これに対して本実施例では、メニスカスが
形成される領域がメニスカスステップ面２２と、メニス
カスステップ面２２に隣接するコンタクトベアリング面
２０に限定される。このため、第２のパッドのメニスカ
スステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０
の面積の合計と、第２のパッド１６の段差２１の高さ２
４を調整することにより、メニスカス吸引力を規定する
ことができる。従って、過大な吸引力によるパッド頂部
の摩耗や、過小な吸引力による跳躍の発生を防止するこ
とができる。
形成される領域がメニスカスステップ面２２と、メニス
カスステップ面２２に隣接するコンタクトベアリング面
２０に限定される。このため、第２のパッドのメニスカ
スステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０
の面積の合計と、第２のパッド１６の段差２１の高さ２
４を調整することにより、メニスカス吸引力を規定する
ことができる。従って、過大な吸引力によるパッド頂部
の摩耗や、過小な吸引力による跳躍の発生を防止するこ
とができる。
【００２９】ここで、メニスカスステップ面２２の面積
とコンタクトベアリング面２０の面積の合計をＡ、潤滑
剤２５の表面エネルギをγ、段差２１の高さ２４をｈと
すると、第２のパッド１６表面および磁気ディスク１の
表面に対する潤滑剤２５の接触角は概略ゼロと仮定でき
る。そこで、第２のパッド１６を磁気ディスク１側に引
っ張るメニスカス力Ｆｍは、概略下記式で表される。
とコンタクトベアリング面２０の面積の合計をＡ、潤滑
剤２５の表面エネルギをγ、段差２１の高さ２４をｈと
すると、第２のパッド１６表面および磁気ディスク１の
表面に対する潤滑剤２５の接触角は概略ゼロと仮定でき
る。そこで、第２のパッド１６を磁気ディスク１側に引
っ張るメニスカス力Ｆｍは、概略下記式で表される。
【００３０】 Ｆｍ＝（２Ａγ）／ｈ （１） ここで式(1)より、第２のパッド１６のメニスカスステ
ップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０の面積
の合計Ａの、現実的な上限値および下限値を検討してみ
る。潤滑剤２５は、前出のパーフルオロポリエーテル潤
滑剤の場合、表面エネルギγは０．０２５Ｎ／ｍであ
る。まず上限値について、Ｆｍは現状のスライダ荷重
０．０３Ｎ(約３ｇｆ)程度を超える必要はないので、ｈ
の上限値５０ｎｍより、Ａの上限は０．０３ｍｍ2とな
る。次に下限値については、必要最小限のＦｍを０．０
０５Ｎ(約０．５ｇｆ)とし、ｈを下限値１ｎｍとする
と、Ａは０．０００１ｍｍ2となる。すなわち、メニス
カスステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２
０の面積の合計は０．０００１ｍｍ2から０．０３ｍｍ2
の程度である。
ップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２０の面積
の合計Ａの、現実的な上限値および下限値を検討してみ
る。潤滑剤２５は、前出のパーフルオロポリエーテル潤
滑剤の場合、表面エネルギγは０．０２５Ｎ／ｍであ
る。まず上限値について、Ｆｍは現状のスライダ荷重
０．０３Ｎ(約３ｇｆ)程度を超える必要はないので、ｈ
の上限値５０ｎｍより、Ａの上限は０．０３ｍｍ2とな
る。次に下限値については、必要最小限のＦｍを０．０
０５Ｎ(約０．５ｇｆ)とし、ｈを下限値１ｎｍとする
と、Ａは０．０００１ｍｍ2となる。すなわち、メニス
カスステップ面２２の面積とコンタクトベアリング面２
０の面積の合計は０．０００１ｍｍ2から０．０３ｍｍ2
の程度である。
【００３１】また、パッド先端の摩耗損傷を防止するた
めには、接触面の潤滑剤を枯渇させないことが必須であ
る。しかし、従来のスライダでは、パッドの細い根元部
分と太い先端部分の間に段差を設けているので、パッド
が潤滑剤を掻き集めてパッド先端部に保持することがで
きない。従って、記録媒体と連続接触するパッド頂部の
潤滑剤の枯渇を防止できず、パッド頂部および記録媒体
表面の摩耗を防止するということができないという課題
がある。
めには、接触面の潤滑剤を枯渇させないことが必須であ
る。しかし、従来のスライダでは、パッドの細い根元部
分と太い先端部分の間に段差を設けているので、パッド
が潤滑剤を掻き集めてパッド先端部に保持することがで
きない。従って、記録媒体と連続接触するパッド頂部の
潤滑剤の枯渇を防止できず、パッド頂部および記録媒体
表面の摩耗を防止するということができないという課題
がある。
【００３２】これに対して本実施例によれば、第２のパ
ッド１６のメニスカスステップ面２２と磁気ディスク１
表面との間にメニスカスを形成することにより、第２の
パッド１６の先端部に潤滑剤２５を保持できる。従っ
て、磁気ディスク１と概略連続接触するコンタクトベア
リング面２０に供給される潤滑剤２５が枯渇したり、枯
渇によって第２のパッド１６のコンタクトベアリング面
２０や磁気ディスク１が摩耗することを防止することが
できる。
ッド１６のメニスカスステップ面２２と磁気ディスク１
表面との間にメニスカスを形成することにより、第２の
パッド１６の先端部に潤滑剤２５を保持できる。従っ
て、磁気ディスク１と概略連続接触するコンタクトベア
リング面２０に供給される潤滑剤２５が枯渇したり、枯
渇によって第２のパッド１６のコンタクトベアリング面
２０や磁気ディスク１が摩耗することを防止することが
できる。
【００３３】なお、前述のように本発明は、２段ステッ
プスライダのヘッド素子を設けたパッドの１段目のブリ
ード面からの高さを、ヘッド素子を設けないパッドの１
段目の高さより高くして、ヘッド素子側の段差を小さく
したものである。この他に、１段目のブリード面からの
高さを同じとし、２段目の高さをヘッド素子を設けた側
だけ低くしても同様の効果が得られる。また、２段ステ
ップスライダに限らず浮上用パッドに対してヘッド素子
を設けたパッドのブリード面からの高さを低くしてもよ
い。
プスライダのヘッド素子を設けたパッドの１段目のブリ
ード面からの高さを、ヘッド素子を設けないパッドの１
段目の高さより高くして、ヘッド素子側の段差を小さく
したものである。この他に、１段目のブリード面からの
高さを同じとし、２段目の高さをヘッド素子を設けた側
だけ低くしても同様の効果が得られる。また、２段ステ
ップスライダに限らず浮上用パッドに対してヘッド素子
を設けたパッドのブリード面からの高さを低くしてもよ
い。
【００３４】次に、本発明の第２の実施例を図６を用い
て説明する。図６は、本発明の第２の実施例のスライダ
２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６及び磁
気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図に
示すように、第２のパッド１６のコンタクトベアリング
面が、複数の突出部の頂上面２７からなっている。
て説明する。図６は、本発明の第２の実施例のスライダ
２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６及び磁
気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図に
示すように、第２のパッド１６のコンタクトベアリング
面が、複数の突出部の頂上面２７からなっている。
【００３５】本実施例によれば、磁気ディスク１と接触
する突出部の頂上面２７の極近傍に窪みがあるので、接
触摺動によって突出部の頂上面２７の潤滑剤２５が減少
しても、直ちに極近傍の窪みに存在する潤滑剤２５によ
って修復される。従って、突出部の頂上面２７の潤滑剤
２５が枯渇して突出部の頂上面２７や磁気ディスク１が
摩耗することを防止することができる。
する突出部の頂上面２７の極近傍に窪みがあるので、接
触摺動によって突出部の頂上面２７の潤滑剤２５が減少
しても、直ちに極近傍の窪みに存在する潤滑剤２５によ
って修復される。従って、突出部の頂上面２７の潤滑剤
２５が枯渇して突出部の頂上面２７や磁気ディスク１が
摩耗することを防止することができる。
【００３６】次に、本発明の第３の実施例を図７を用い
て説明する。図７は、本発明の第３の実施例のスライダ
２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６および
磁気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図
に示すように、第２のパッド１６のコンタクトベアリン
グ面２０に、複数の窪み２８が設けられている。
て説明する。図７は、本発明の第３の実施例のスライダ
２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６および
磁気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図
に示すように、第２のパッド１６のコンタクトベアリン
グ面２０に、複数の窪み２８が設けられている。
【００３７】本実施例によれば、第２の実施例と同様
に、コンタクトベアリング面２０の磁気ディスク１との
接触部の極近傍に窪みがあるので、コンタクトベアリン
グ面２０の潤滑剤２５が枯渇してコンタクトベアリング
面２０や磁気ディスク１が摩耗することを防止すること
ができる。
に、コンタクトベアリング面２０の磁気ディスク１との
接触部の極近傍に窪みがあるので、コンタクトベアリン
グ面２０の潤滑剤２５が枯渇してコンタクトベアリング
面２０や磁気ディスク１が摩耗することを防止すること
ができる。
【００３８】次に、本発明の第４の実施例を図８を用い
て説明する。図８は、本発明の第４の実施例のスライダ
２の、磁気ディスク１との対向面を示す平面図である。
図に示すように、ブリード面１４は気体流入端１１から
気体流出端１２に渡り概ね平面で構成されており、クロ
スレールに相当するものが無い構成となっている。
て説明する。図８は、本発明の第４の実施例のスライダ
２の、磁気ディスク１との対向面を示す平面図である。
図に示すように、ブリード面１４は気体流入端１１から
気体流出端１２に渡り概ね平面で構成されており、クロ
スレールに相当するものが無い構成となっている。
【００３９】本実施例によれば、クロスレールがないの
で、ブリード面１４には概ね負圧は発生しない。これよ
り、キャリッジ６の動作によってスライダ２の半径位置
が変化し、スライダ２に対する磁気ディスク１の相対運
動の速度が変化しても、第２のパッド１６に作用する気
体動圧による力が変化することを防止することができ
る。従って、第２のパッド１６と磁気ディスク１との接
触力を概略一定に維持することができる。
で、ブリード面１４には概ね負圧は発生しない。これよ
り、キャリッジ６の動作によってスライダ２の半径位置
が変化し、スライダ２に対する磁気ディスク１の相対運
動の速度が変化しても、第２のパッド１６に作用する気
体動圧による力が変化することを防止することができ
る。従って、第２のパッド１６と磁気ディスク１との接
触力を概略一定に維持することができる。
【００４０】次に、本発明の第５の実施例を図９を用い
て説明する。図９は、本発明の第５の実施例のスライダ
２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６および
磁気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図
に示すように、ヘッド素子が、カンチレバー２９、カン
チレバーの先端に備えられたプローブチップ３０、及び
カンチレバーを磁気ディスク１の表面に概略垂直な方向
に動かすと同時にその動きをモニターリングするセンサ
ー・アクチュエータ３１とから構成している。この構成
はＡＦＭ(Atomic force microscopy)のカンチレバー部
の構成とほぼ同様である。また記録媒体であるディスク
１の表面はプラスチックである。
て説明する。図９は、本発明の第５の実施例のスライダ
２の、ヘッド素子１３を備える第２のパッド１６および
磁気ディスク１の表面付近を示す部分拡大図である。図
に示すように、ヘッド素子が、カンチレバー２９、カン
チレバーの先端に備えられたプローブチップ３０、及び
カンチレバーを磁気ディスク１の表面に概略垂直な方向
に動かすと同時にその動きをモニターリングするセンサ
ー・アクチュエータ３１とから構成している。この構成
はＡＦＭ(Atomic force microscopy)のカンチレバー部
の構成とほぼ同様である。また記録媒体であるディスク
１の表面はプラスチックである。
【００４１】記録媒体１にデータを記録する場合には、
プローブチップ３０を記録媒体１の表面に押し当て、記
録媒体上に窪みを形成する。この際、プローブチップ３
０を加熱すれば、窪みの形成はより容易である。記録媒
体１に記録されたデータを読み出す場合には、プローブ
チップ３０を記録媒体表面に接触させてスライダ２の走
行方向に沿って動かす。このときのプローブチップ３０
の記録媒体１の表面に垂直な方向の動きを、センサー・
アクチュエータ３１によってモニターすることにより記
録媒体１上の窪みを読み取る。
プローブチップ３０を記録媒体１の表面に押し当て、記
録媒体上に窪みを形成する。この際、プローブチップ３
０を加熱すれば、窪みの形成はより容易である。記録媒
体１に記録されたデータを読み出す場合には、プローブ
チップ３０を記録媒体表面に接触させてスライダ２の走
行方向に沿って動かす。このときのプローブチップ３０
の記録媒体１の表面に垂直な方向の動きを、センサー・
アクチュエータ３１によってモニターすることにより記
録媒体１上の窪みを読み取る。
【００４２】本実施例によれば、原子像の観察が可能な
ＡＦＭと同等の空間分解能を実現できるので、現時点の
記録密度の概略３０倍である３００Ｇｂ／ｉｎ2程度の
高記録密度を達成することができる。
ＡＦＭと同等の空間分解能を実現できるので、現時点の
記録密度の概略３０倍である３００Ｇｂ／ｉｎ2程度の
高記録密度を達成することができる。
【００４３】このＡＦＭ型ヘッド素子の他、極微小電極
をヘッド素子とし、表面がNitride-oxide-siliconから
なる記録媒体に電荷を記録再生する方式、ＳＴＭ(Scann
ing tunneling maicroscopy)のプローブをヘッド素子と
し、記録媒体上に原子レベルの構造変化を記録再生する
方式などがあり得る。
をヘッド素子とし、表面がNitride-oxide-siliconから
なる記録媒体に電荷を記録再生する方式、ＳＴＭ(Scann
ing tunneling maicroscopy)のプローブをヘッド素子と
し、記録媒体上に原子レベルの構造変化を記録再生する
方式などがあり得る。
【００４４】次に、本発明の第６の実施例を図１０およ
び図１１を用いて説明する。図１０はスライダ２の、磁
気ディスク１との対向面を示す平面図であり、図１１は
走行中のスライダ２と磁気ディスク１の側面図である。
図に示すように、ヘッド素子１３を搭載する第２のパッ
ド１６が、気体流入端１１近傍に設けられている。
び図１１を用いて説明する。図１０はスライダ２の、磁
気ディスク１との対向面を示す平面図であり、図１１は
走行中のスライダ２と磁気ディスク１の側面図である。
図に示すように、ヘッド素子１３を搭載する第２のパッ
ド１６が、気体流入端１１近傍に設けられている。
【００４５】本実施例によれば、第２のパッド１６に作
用する摩擦力によってスライダ２には気体流入端１１が
磁気ディスク１に近づく向きのモーメントが作用するの
で、ヘッド素子１３が磁気ディスク１の表面から離れる
ことをより確実に防止することができる。
用する摩擦力によってスライダ２には気体流入端１１が
磁気ディスク１に近づく向きのモーメントが作用するの
で、ヘッド素子１３が磁気ディスク１の表面から離れる
ことをより確実に防止することができる。
【００４６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、スライダに搭載したヘッド素子を記録媒体と
概略接触させ、その接触を安定に維持し、さらにスライ
ダおよび記録媒体表面の大摩擦力および摩耗損傷を防止
できるスライダおよびそれを搭載した記録装置を提供す
ることができる。
によれば、スライダに搭載したヘッド素子を記録媒体と
概略接触させ、その接触を安定に維持し、さらにスライ
ダおよび記録媒体表面の大摩擦力および摩耗損傷を防止
できるスライダおよびそれを搭載した記録装置を提供す
ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例の磁気ディスク装置の斜
視図。
視図。
【図２】本発明の第１の実施例のスライダとサスペンシ
ョンの組み立て体の斜視図。
ョンの組み立て体の斜視図。
【図３】本発明の第１の実施例のスライダの、磁気ディ
スクとの対向面を示す平面図。
スクとの対向面を示す平面図。
【図４】本発明の第１の実施例の走行中のスライダと磁
気ディスクの側面図。
気ディスクの側面図。
【図５】本発明の第１の実施例のスライダの、ヘッド素
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
【図６】本発明の第２の実施例のスライダの、ヘッド素
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
【図７】本発明の第３の実施例のスライダの、ヘッド素
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
【図８】本発明の第４の実施例のスライダの、磁気ディ
スクとの対向面を示す平面図。
スクとの対向面を示す平面図。
【図９】本発明の第５の実施例のスライダの、ヘッド素
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
子を備える第２のパッドおよび磁気ディスクの表面付近
を示す部分拡大図。
【図１０】本発明の第６の実施例のスライダの、磁気デ
ィスクとの対向面を示す平面図。
ィスクとの対向面を示す平面図。
【図１１】本発明の第６の実施例の走行中のスライダと
磁気ディスクの側面図。
磁気ディスクの側面図。
１…磁気ディスク（記録媒体）、２…スライダ、３…ス
ピンドル、４…回転方向、５…サスペンション、６…キ
ャリッジ、７…ピボット突起、８…ジンバル、９…マウ
ント、１０…ばね部、１１…気体流入端、１２…気体流
出端、１３…ヘッド素子、１４…ブリード面、１５…第
１のパッド、１６…第２のパッド、１７…浮上ベアリン
グ面、１８…段差、１９…浮上ステップ面、２０…コン
タクトベアリング面、２１…段差、２２…メニスカスス
テップ面、２３…高さ、２４…高さ、２５…潤滑剤、２
６…厚さ、２７…突出部の頂上面、２８…窪み、２９…
カンチレバー、３０…プローブチップ、３１…センサー
・アクチュエータ。
ピンドル、４…回転方向、５…サスペンション、６…キ
ャリッジ、７…ピボット突起、８…ジンバル、９…マウ
ント、１０…ばね部、１１…気体流入端、１２…気体流
出端、１３…ヘッド素子、１４…ブリード面、１５…第
１のパッド、１６…第２のパッド、１７…浮上ベアリン
グ面、１８…段差、１９…浮上ステップ面、２０…コン
タクトベアリング面、２１…段差、２２…メニスカスス
テップ面、２３…高さ、２４…高さ、２５…潤滑剤、２
６…厚さ、２７…突出部の頂上面、２８…窪み、２９…
カンチレバー、３０…プローブチップ、３１…センサー
・アクチュエータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徳山 幹夫 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 徐 鈞国 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 土山 龍司 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA01 PA05 QA02 QA03 SA02
Claims (6)
- 【請求項１】記録媒体上に情報を記録再生するためのヘ
ッド素子を備えたスライダにおいて、 前記スライダは、前記媒体対向面に、頂上面であるベア
リング面と、ベアリング面に対して窪む方向の段差によ
って構成された記録媒体に対向するステップ面を有する
第１および第２のパッドを有し、 前記第２のパッドに前記ヘッド素子を備え、前記第２の
パッドの段差の高さが、前記第１のパッドの段差の高さ
より小さことを特徴とするスライダ。 - 【請求項２】前記第２のパッドの段差の高さは、前記第
1のパッドの段差の高さの１／２倍以下、１／２００倍
以上であることを特徴とする請求項１記載のスライダ。 - 【請求項３】前記第２のパッドのベアリング面が、複数
の突出部の頂上面から成ることを特徴とする請求項１記
載のスライダ。 - 【請求項４】前記第２のパッドのベアリング面に、複数
の窪みを設けたことを特徴とする請求項１項記載のスラ
イダ。 - 【請求項５】スピンドルに回転可能に取り付けられた記
録媒体と、この記録媒体上に情報を記録再生するための
ヘッド素子を備えたスライダと、前記記録媒体の表面に
対して前記スライダを移動させるアクセス手段とを備え
た記録装置において、 前記スライダの一方側面に、複数の２段の段差を有する
パッドを備え、前記複数のパッドの１つに磁気ヘッド素
子を設けて有り、前記磁気ヘッド素子を備えたパッドの
スライダ底面からの高さが他のパッドより低く構成して
ある記録装置。 - 【請求項６】前記記録媒体の表面上には潤滑剤層が形成
され、前記磁気ヘッド素子を備えたパッドの段差が、こ
の潤滑剤層の厚さの概略１倍以上、１０倍以下である請
求項５記載の記録装置。
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