JP2003157637A - ヘッドスライダ及びディスク装置 - Google Patents

ヘッドスライダ及びディスク装置

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JP2003157637A JP2001351316A JP2001351316A JP2003157637A JP 2003157637 A JP2003157637 A JP 2003157637A JP 2001351316 A JP2001351316 A JP 2001351316A JP 2001351316 A JP2001351316 A JP 2001351316A JP 2003157637 A JP2003157637 A JP 2003157637A
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亮介 古石
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 浮上量を制御可能なヘッドスライダを提供す
ることである。 【解決手段】 ヘッドスライダであって、空気流入端近
傍のディスク対向面に形成された、空気ベアリング表面
と該空気ベアリング表面よりも低いステップ面とを有す
るフロントレールと、空気流出端近傍に形成されたトラ
ンスデューサと、フロントレールで一旦圧縮された空気
を膨張させて負圧を発生させる溝とを含んでいる。ヘッ
ドスライダはさらに、空気流出端近傍を除くディスク対
向面と反対側のヘッドスライダ背面に搭載された圧電ア
クチュエータを含んでいる。この圧電アクチュエータに
より、フロントレール及びその周辺部を記録媒体に近づ
く方向又は記録媒体から遠ざかる方向に変形し、空気ベ
アリング表面で発生する正圧を調整することで、ヘッド
スライダの浮上量を調整可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。
【０００２】近年の磁気ディスク装置用ヘッドスライダ
においては、記録密度の増加のために低浮上量化が進め
られている。また、アクセスの高速化のため、アクセス
方向に大きな加速度がかけられるので、浮上安定性に優
れたヘッドスライダが求められている。
【０００３】さらに、装置の小型化、機構の単純化のた
めに、回転型ポジショナーが広く用いられ、ヨー角変化
による浮上量変動の少ないヘッドスライダが望まれてい
る。
【０００４】
【従来の技術】ヘッドスライダの浮上量を小さくするた
めには、磁気ディスク表面の表面粗さを小さくする必要
がある。従来から現在に至るまで広く用いられているコ
ンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式では、磁
気ディスクの回転停止時には磁気ヘッドスライダの浮上
面と磁気ディスクが接触し、磁気ディスクの回転時には
磁気ヘッドスライダは磁気ディスクの回転に伴って生じ
る空気流の作用で浮上する。
【０００５】このため、ＣＳＳ方式の磁気ディスク装置
では、磁気ディスクの表面粗さを小さくすると、磁気デ
ィスクの回転停止時における磁気ヘッドスライダの浮上
面（空気ベアリング表面）と磁気ディスク表面との間の
接触面積が大きくなり、磁気ディスク装置の回転起動時
に、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク間の吸着（ステ
ィクション）障害を引き起こしてしまう危険性がある。
【０００６】ＣＳＳ方式の磁気ディスク装置では、この
吸着の問題を回避するために、磁気ディスクのＣＳＳゾ
ーンにレーザによりテクスチャ加工を施す技術やスライ
ダ浮上面に複数個のパッド（突起）を設ける技術が提案
されている。
【０００７】一方、ノートブックパソコン等の携帯用パ
ソコンは、しばしば持ち運びされるため高い耐衝撃性が
必要とされる。そのため、電源オフ時又はスリープモー
ド時にヘッドスライダを磁気ディスク表面からアンロー
ドし、使用時にヘッドスライダを磁気ディスク表面にロ
ードするロード・アンロード方式の磁気ディスク装置が
一般的に採用されている。
【０００８】ロード・アンロード方式の磁気ディスク装
置は、コンピュータの電源オフ時又はスリープモード時
にディスク媒体の外周部に設けられたランプ部材のラン
プ（傾斜部）にサスペンションの先端部に設けられた角
部を乗り上げさせ、磁気ディスク上を微小間隙で浮上す
る磁気ヘッドスライダを磁気ディスク上から離脱させる
ものである。
【０００９】これにより、コンピュータに衝撃が加わっ
たときに磁気ヘッドスライダが磁気ディスクを叩き、磁
気ディスクを傷付けることを回避することができる。
【００１０】ロード・アンロード機構を有する磁気ディ
スク装置に用いられる磁気ヘッドスライダには、磁気デ
ィスク上を磁気ヘッドスライダが浮上しているときだけ
でなく、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上にロード
するときにも磁気ヘッドスライダが磁気ディスクに接触
又は衝突しない高信頼性の磁気ヘッドスライダが要求さ
れている。
【００１１】磁気ディスクに対する磁気ヘッドスライダ
の浮上間隙を小さくするために、最近の磁気ディスク装
置には負圧磁気ヘッドスライダが多く用いられている。
例えば、特開２０００−１７３２１７号には、低浮上
で、浮上変動が少なく剛性が高い負圧ヘッドスライダが
開示されている。
【００１２】磁気ヘッドスライダの浮上量を小さくし、
磁気スペーシングを低下させる従来技術として、特開２
０００−３４８３２１号には、従来技術として図１に示
すような磁気ヘッドスライダの背面に圧電素子を埋め込
んだ技術が開示されている。図２は図１に示した従来例
の動作説明図である。
【００１３】図１に示すように、磁気ヘッドスライダ２
は空気流入端２ａと空気流出端２ｂを有しており、この
空気流出端２ｂ近傍に電磁トランスデューサ４が形成さ
れている。
【００１４】磁気ヘッドスライダ２の背面２ｃの空気流
出端側に積層型圧電アクチュエータ６が埋め込まれてい
る。８は圧電アクチュエータ６の電極であり、隣接する
電極８間に電圧Ｖが印加される。
【００１５】図２に示すように、隣接する電極８間に電
圧Ｖを印加すると、圧電アクチュエータ６は矢印１０方
向に変位する。１１は磁気スペーシング方向、１２はト
ランスデューサ変位方向である。１４は空気流出端側空
気ベアリング表面（ＡＢＳ）、１６は記録媒体をそれぞ
れ示している。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】この磁気ヘッドスライ
ダ２では、図２に示すように、圧電アクチュエータ６の
変位方向１０は記録媒体１６の回転方向であり、圧電ア
クチュエータ６の変位によりスライダ２を撓まして浮上
量を調整するため、電磁トランスデューサ４の変位方向
１２は圧電アクチュエータ６の変位量により変化する。
【００１７】圧電アクチュエータ６を駆動すると、電磁
トランスデューサ４が傾くことにより、電磁トランスデ
ューサ４がスライダ２の最下点にならず浮上量を逆に大
きくしてしまう問題や記録再生の時間変動（ジッター）
が大きくなるという問題もある。
【００１８】また、圧電アクチュエータ６が伸びること
で空気流出端側ＡＢＳ１４が撓み、記録媒体１６に電磁
トランスデューサ４が近づくが、空気流出端側ＡＢＳ１
４が発生する正圧が大きくなり、浮上量はかえって大き
くなってしまうという問題もある。
【００１９】これらの問題を解決するため、特開２００
０−３４８３２１号では、磁気ヘッドスライダをスライ
ダ本体と、スライダ本体に固定された圧電素子と、圧電
素子に固定された電磁トランスデューサを有するブロッ
クとから構成した磁気ヘッドスライダを提案している。
しかし、この磁気ヘッドスライダは構造が複雑なため、
製造が困難であるという問題がある。
【００２０】よって、本発明の目的は、浮上量をある範
囲内で任意に制御でき、記録再生特性を向上可能なヘッ
ドスライダを提供することである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】本発明の一側面による
と、ディスク対向面と空気流入端と空気流出端とを有す
るヘッドスライダであって、前記空気流入端近傍のディ
スク対向面に形成された、第１空気ベアリング表面を有
するフロントレールと；前記空気流出端近傍に形成され
たトランスデューサと；前記空気流出端近傍を除く前記
ディスク対向面と反対側のヘッドスライダ背面に搭載さ
れた圧電アクチュエータと；を具備したことを特徴とす
るヘッドスライダが提供される。
【００２２】好ましくは、ヘッドスライダは、空気流出
端近傍のディスク対向面に形成された、第２空気ベアリ
ング表面を有するリアレールをさらに含んでいる。トラ
ンスデューサはリアレールの空気流出端部に形成されて
いる。
【００２３】好ましくは、ヘッドスライダは、圧電アク
チュエータを搭載した部分のヘッドスライダ背面に形成
されたヘッドスライダ幅方向に伸長する切り欠きを有し
ている。
【００２４】ヘッドスライダの重量を低減するために、
圧電アクチュエータの表面がヘッドスライダ背面と同一
平面となるように、圧電アクチュエータがヘッドスライ
ダに埋め込まれていても良い。
【００２５】好ましくは、第１空気ベアリング表面は互
いに離間した左側空気ベアリング表面と右側空気ベアリ
ング表面を含んでいる。そして、圧電アクチュエータは
左側空気ベアリング表面に背向して設けられた左側圧電
アクチュエータと、右側空気ベアリング表面に背向して
設けられた右側圧電アクチュエータとを含んでいる。
【００２６】本発明の他の側面によると、ディスク対向
面と空気流入端と空気流出端とを有するヘッドスライダ
であって、前記空気流入端近傍のディスク対向面に形成
された、第１空気ベアリング表面を有するフロントレー
ルと；前記空気流出端近傍に形成されたトランスデュー
サと；前記ディスク対向面と反対側のヘッドスライダ背
面の全面に渡り搭載された圧電アクチュエータとを具備
し；前記圧電アクチュエータは前記空気流出端近傍に不
活性部を有していることを特徴とするヘッドスライダが
提供される。
【００２７】本発明の更に他の側面によると、ベースを
有するハウジングと；複数のトラックを有するディスク
に対してデータをリード／ライトするトランスデューサ
と、空気流入端と、空気流出端と、ディスク対向面を有
する負圧ヘッドスライダと；前記負圧ヘッドスライダを
ディスクのトラックを横切って移動させるアクチュエー
タとを具備し；前記アクチュエータは、前記ベースに回
転可能に取りつけられたアクチュエータアームと；前記
アクチュエータアームの先端部にその基端部が固定され
たサスペンションと；前記サスペンションの先端部に搭
載された前記負圧ヘッドスライダとを含み；前記負圧ヘ
ッドスライダは、前記空気流入端近傍の前記ディスク対
向面に形成された、空気ベアリング表面を有するフロン
トレールと；前記空気流出端近傍に形成された前記トラ
ンスデューサと；前記フロントレールで一旦圧縮された
空気を膨張させて負圧を発生させる溝と；前記空気流出
端近傍を除く前記ディスク対向面と反対側のヘッドスラ
イダ背面に搭載された圧電アクチュエータとを具備し；
前記圧電アクチュエータにより、前記フロントレール及
びその周辺部を記録媒体に近づく方向又は記録媒体から
遠ざかる方向に変形し、前記空気ベアリング表面で発生
する正圧を調整することで、ヘッドスライダの浮上量を
調整可能にしたことを特徴とするディスク装置が提供さ
れる。
【００２８】
【発明の実施の形態】図３を参照すると、カバーを外し
た状態の磁気ディスク装置の平面図が示されている。ハ
ウジング２２はベース２４とこのベース２４に固定され
た図示しないカバーとから構成される。ベース２４には
シャフト２６が固定されており、このシャフト２６回り
にＤＣモータにより回転駆動される図示しないスピンド
ルハブが設けられている。
【００２９】スピンドルハブには磁気ディスク２８とス
ペーサ（図示せず）が交互に挿入され、ディスククラン
プ３０を複数のネジ３２によりスピンドルハブに締結す
ることにより、複数枚の磁気ディスク２８が所定間隔離
間してスピンドルハブに取りつけられる。
【００３０】符号３４はアクチュエータアームアセンブ
リ３６と磁気回路３８とから構成されるロータリアクチ
ュエータを示している。アクチュエータアームアセンブ
リ３６は、ベース２４に固定されたシャフト４０回りに
回転可能に取りつけられている。
【００３１】アクチュエータアームアセンブリ３６は一
対の軸受を介してシャフト４０回りに回転可能に取りつ
けられたアクチュエータブロック４２と、アクチュエー
タブロック４２から一方向に伸長した複数のアクチュエ
ータアーム４４と、各アクチュエータアーム４４の先端
部に固定されたヘッドアセンブリ４６とを含んでいる。
【００３２】各ヘッドアセンブリ４６は磁気ディスク２
８にデータのライト／リードをする磁気ヘッド素子（ト
ランスデューサ）を有するヘッドスライダ４８と、先端
部にヘッドスライダ４８を支持しその基端部がアクチュ
エータアーム４４に固定されたサスペンション（ロード
ビーム）５０を含んでいる。
【００３３】シャフト４０に対してアクチュエータアー
ム４４と反対側にはコイル５１が支持されており、コイ
ル５１が磁気回路３８のギャップ中に挿入されて、ボイ
スコイルモータ（ＶＣＭ）５２が構成される。
【００３４】符号５４はトランスデューサに書き込み信
号を供給したり、トランスデューサからの読み取り信号
を取り出すフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を示
しており、その一端がアクチュエータブロック４２の側
面に固定されている。
【００３５】磁気ディスク２８の外周に隣接してランプ
部材５６がベース２４に固定されている。ランプ部材５
６は図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、スライダ
の数に対応した複数のランプ（傾斜部）６０とヘッドア
センブリ４６の先端に形成された角部６６が安定してパ
ークする複数のパーキング部６２を有している。
【００３６】ランプ部材５６の側面にはアンロードされ
たヘッドスライダが互いに干渉するのを防止するための
突起６４が形成されている。符号５８はアンロード状態
のアクチュエータ３４の突起部５９をラッチするラッチ
機構である。
【００３７】図示された状態はヘッドスライダ４８が磁
気ディスク２８上からアンロードされたアンロード状態
であり、ヘッドアセンブリ４６の角部６６がランプ部材
５６のパーキング部６２にパークし、アクチュエータ３
４の突起部５９がラッチ機構５８によりラッチされてい
る。
【００３８】この状態でコンピュータの電源が投入され
るか又はスリープモードが解除されると、まずラッチ機
構５８が解除され、アクチュエータ３４が反時計回り方
向に回転されて、角部６６がランプ６０を滑り下りてヘ
ッドスライダ４８が磁気ディスク２８上にロードされ
る。
【００３９】コンピュータの電源がオフにされるか又は
スリープモードになると、図示しない磁気ディスク装置
のメインプリント配線板上に搭載されたＭＰＵ等の制御
手段が各ヘッドスライダ４８が磁気ディスク２８の外周
を越えて回転するようにアクチュエータ３４を制御す
る。
【００４０】これにより、ヘッドアセンブリ４６の角部
６６がランプ部材５６のランプ６０を駆け登り、パーキ
ング位置６２にパークする。この状態でアクチュエータ
３４の突起部５９がラッチ機構５８によりラッチされ
る。
【００４１】図５を参照すると、本発明第１実施形態の
負圧磁気ヘッドスライダ４８の斜視図が示されている。
図６は図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。磁気ヘッドス
ライダ４８は直方体形状をしており、空気流入端４８ａ
及び空気流出端４８ｂを有している。磁気ヘッドスライ
ダ４８のサイズは、例えば１．２５ｍｍ×１ｍｍ、厚さ
０．３ｍｍである。
【００４２】磁気ヘッドスライダ４８の材料はＡｌ2Ｏ3
−ＴｉＣであり、ウエハーに多数の電磁変換素子（電磁
トランスデューサ）を形成した後、ウエハーをバー形状
に切断し、側面を加工してレール面を形成する。このレ
ール面の形成にはフォトリソグラフィ技術を用いる。
【００４３】磁気ヘッドスライダ４８は負圧磁気ヘッド
スライダであり、空気流入端４８ａ側に形成されたフロ
ントレール７０と、空気流出端４８ｂ側に形成されたリ
アセンターレール７２を有している。
【００４４】フロントレール７０の上面には空気ベアリ
ング表面（ＡＢＳ）７４と、空気ベアリング表面７４に
対して所定の段差だけ低いステップ面７６が形成されて
いる。同様に、リアセンターレール７２には空気ベアリ
ング表面７８と、空気ベアリング表面７８に対して所定
の段差だけ低いステップ面８０が形成されている。リア
センターレール７２の空気流出端部には電磁変換素子８
２が形成されている。
【００４５】フロントレール７０のスライダ幅方向両側
には、下流側に伸びる一対のサイドレール８４，８６が
形成されている。サイドレール８４，８６の頂上面８
８，９０はフロントレール７０のステップ面７６と同じ
高さである。
【００４６】フロントレール７０の下流側には溝９２が
形成されている。空気ベアリング表面７４からの溝９２
の深さは約１．４μｍであり、空気ベアリング表面７４
とステップ面７６の段差は約０．２μｍである。同様
に、リアセンターレール７２の空気ベアリング表面７８
とステップ面８０の段差は約０．２μｍである。
【００４７】空気流出端４８ｂ近傍を除くヘッドスライ
ダの背面には圧電アクチュエータ９４が搭載されてい
る。圧電アクチュエータ９４は、例えばチタン酸ジルコ
ン酸鉛（ＰＺＴ）から形成されている。
【００４８】ＰＺＴのグリーンシートを複数層積層し複
数の電極９６をグリーンシートの間に埋め込んで、加熱
しながら加圧することによりグリーンシートを一体的に
接着する。次いで、一体化された積層グリーンシートを
焼成することにより、圧電アクチュエータ９４が製造さ
れる。
【００４９】隣接する電極９６の間に電圧Ｖを印加する
と、圧電アクチュエータ９４は駆動電界と直交した矢印
９５で示す方向に縮小する。隣接する電極９６間に電圧
−Ｖを印加すると、圧電アクチュエータ９４は矢印９５
と反対方向に伸長する。
【００５０】圧電アクチュエータ９４はバイモルフ型の
圧電アクチュエータである。ＰＺＴに代えて、圧電アク
チュエータ９４をチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3）、
チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ3）等から形成することもでき
る。
【００５１】磁気ヘッドスライダ４８は、その背面でサ
スペンション３０に取りつけられている。磁気ディスク
が回転し、ディスク面に沿って気流が発生すると、その
気流が空気ベアリング表面７４とステップ面７６の間の
段差及び空気ベアリング表面７８とステップ面８０の間
の段差に衝突した後、空気ベアリング表面７４，７８に
作用する。
【００５２】その結果、空気ベアリング表面７４，７８
では、磁気ヘッドスライダ４８をディスク面から浮上さ
せる浮力が発生される。ステップ面７６，８０でも浮力
が発生するがこれは大きいものではない。
【００５３】この磁気ヘッドスライダ４８では、空気ベ
アリング表面７４に大きな浮力が生成される結果、浮上
時には磁気ヘッドスライダ４８がピッチ角αの傾斜姿勢
で維持される。ここで、ピッチ角αとは、気流の流れに
沿った磁気ヘッドスライダ４８の傾斜角を言う。
【００５４】フロントレール７０の下流側に溝９２が形
成されているため、空気ベアリング表面７４に沿って流
れる気流はフロントレール７０を通過すると同時に溝９
２部分でディスク面鉛直方向に広がり、その結果溝９２
部分で負圧が生成される。この負圧が前述した浮力（正
圧）にバランスすることによって、磁気ヘッドスライダ
４８の浮上量が規定される。
【００５５】さらに、本実施形態の磁気ヘッドスライダ
４８では、磁気ヘッドスライダ４８の背面に圧電アクチ
ュエータ９４が搭載されているため、圧電アクチュエー
タ９４の隣接する電極９６間に電圧Ｖを印加すると、圧
電アクチュエータ９４は図５で矢印９５で示す方向に縮
み、その結果磁気ヘッドスライダ４８は図７で破線で示
すように変形する。
【００５６】磁気ヘッドスライダ４８がこのように変形
すると、フロント側の空気ベアリング表面（フロントＡ
ＢＳ）７４で発生する正圧が小さくなり、磁気ヘッドス
ライダ４８の浮上量は小さくなる。よって、電磁変換素
子８２と記録媒体２８との間の磁気スペーシングが小さ
くなるため、電磁変換素子８２の再生出力を向上でき
る。
【００５７】圧電アクチュエータ９４の隣接する電極９
６間に−Ｖの電圧を印加すると、圧電アクチュエータ９
４は矢印９５と反対方向に伸び、その結果磁気ヘッドス
ライダ４８は破線で示した撓み方向と反対方向、即ち記
録媒体２８側に撓むことになる。その結果、フロントＡ
ＢＳ７４で発生する正圧が大きくなり、磁気ヘッドスラ
イダ４８の浮上量は大きくなる。
【００５８】このように、本実施形態の磁気ヘッドスラ
イダ４８では、主にフロントＡＢＳ７４で発生する正圧
（スライダ４８を記録媒体２８から浮上させようとする
圧力）を増減させることで磁気ヘッドスライダ４８の浮
上量をコントロールする。
【００５９】記録媒体（磁気ディスク）２８の内周と外
周とでは、外周の方が周速が早いため、磁気ヘッドスラ
イダ４８の浮上量は大きくなる。そこで、外周にいくに
従って圧電アクチュエータ９４によりフロントＡＢＳ７
４を記録媒体２８から離れる方向に変位させていけば、
正圧の発生が小さくなり浮上量を下げることが可能であ
り、内周と外周での浮上量を一定に保つことができる。
【００６０】磁気ヘッドスライダ４８の浮上量が一定の
場合、記録密度を均一化できるため、ゾーンビットレコ
ーディングが容易になり、記録密度を向上できる。
【００６１】また、電磁変換素子８２の再生出力が低
く、読み取りエラーを生じ易いときも、圧電アクチュエ
ータ９４を駆動することにより、磁気ヘッドスライダ４
８の浮上量を下げることで再生出力が高くなり、読み取
りエラーを防止できる。
【００６２】図８は本発明第２実施形態の磁気ヘッドス
ライダ４８Ａの斜視図であり、図９は図８のＩＸ−ＩＸ
線断面図である。本実施形態の磁気ヘッドスライダ４８
Ａは、圧電アクチュエータ９４を搭載した部分のヘッド
スライダ背面にスライダ幅方向に伸長する切り欠き９８
を有している。
【００６３】本実施形態の他の構成は図５及び図６に示
した第１実施形態と同様である。このように、スライダ
背面に切り欠き９８を形成することで、主に撓みを起こ
したい部分の限定が可能となり、且つ撓み量を大きくす
ることができる。或いは、より小さな印加電圧で所望の
撓み量を得ることができる。
【００６４】図１０は本発明第３実施形態の磁気ヘッド
スライダ４８Ｂの斜視図であり、図１１は図１０のＸＩ
−ＸＩ線断面図である。本実施形態の磁気ヘッドスライ
ダ４８Ｂでは、圧電アクチュエータ９４の表面がヘッド
スライダ背面と同一平面となるように、圧電アクチュエ
ータ９４がヘッドスライダ４８Ｂに埋め込まれている。
これにより、圧電アクチュエータ９４を搭載することに
よる磁気ヘッドスライダ４８Ｂの質量増加を抑えること
ができる。
【００６５】図１２を参照すると、本発明第４実施形態
の磁気ヘッドスライダ４８Ｃの斜視図が示されている。
図１３は図１２のＸIII−ＸIII線断面図である。本実施
形態の磁気ヘッドスライダ４８Ｃでは、スライダ背面に
２個の圧電アクチュエータ９４ａ，９４ｂが搭載されて
いる。
【００６６】左側圧電アクチュエータ９４ａは左側空気
ベアリング表面７４に対向して設けられており、右側圧
電アクチュエータ９４ｂは右側空気ベアリング表面７４
に対向して設けられている。
【００６７】上述した第１乃至第３実施形態と同様に、
各圧電アクチュエータ９４ａ，９４ｂは複数の電極９６
を有しており、隣接する電極間に所定の電圧を印加する
ことにより、圧電アクチュエータ９４ａ，９４ｂは駆動
電界と直交した方向に伸縮する。
【００６８】個々のフロントＡＢＳ７４の背面に独立し
た圧電アクチュエータ９４ａ，９４ｂが配置されている
ため、個々のフロントＡＢＳ７４周辺部の撓み量に差を
持たせることで、磁気ヘッドスライダ４８Ｃのロール方
向の制御も可能となり、浮上姿勢のより細かな制御が可
能となる。
【００６９】図１４は本発明第５実施形態の磁気ヘッド
スライダ４８Ｄの斜視図であり、図１５は図１４のＸＶ
−ＸＶ線断面図である。本実施形態の磁気ヘッドスライ
ダ４８Ｄは、スライダ背面に形成されたスライダ幅方向
に伸長する切り欠き９８と、各空気ベアリング表面７４
のスライダ幅方向内側に形成された１対のスリット１０
０を有している。
【００７０】各スリット１００は空気流入端４８ａから
所定の距離で、且つディスク対向面からその背面に渡り
伸長している。本実施形態の他の構成は、図１２及び図
１３に示した第４実施形態と同様である。
【００７１】本実施形態の磁気ヘッドスライダ４８Ｄ
は、切り欠き９８及び一対のスリット１００を有してい
るため、主に撓みを起こしたい部分の限定が可能であ
り、且つ撓み量を大きくすることができる。或いは、よ
り小さい駆動電圧で所望とする撓みを得ることができ
る。
【００７２】図１６は本発明第６実施形態の磁気ヘッド
スライダ４８Ｅの斜視図であり、図１７は図１６のＸＶ
II−ＸＶII線断面図である。本実施形態の磁気ヘッドス
ライダ４８Ｅでは、図１０及び図１１に示した第３実施
形態の磁気ヘッドスライダ４８Ｂと同様に、各圧電アク
チュエータ９４ａ，９４ｂの表面がヘッドスライダ背面
と同一平面となるように、各圧電アクチュエータ９４
ａ，９４ｂがヘッドスライダに埋め込まれている。
【００７３】このように各圧電アクチュエータ９４ａ，
９４ｂをスライダに埋め込むことで、圧電アクチュエー
タ９４ａ，９４ｂを搭載することによる磁気ヘッドスラ
イダ４８Ｅの質量増加を抑えることができる。
【００７４】図１８を参照すると、本発明第７実施形態
の磁気ヘッドスライダ４８Ｆの斜視図が示されている。
図１９は図１８のＸＩＸ−ＸＩＸ線断面図である。上述
した第１乃至第６実施形態では、圧電アクチュエータ９
４が空気流出端４８ｂ近傍を除いたヘッドスライダの背
面に搭載されている。
【００７５】本実施形態の磁気ヘッドスライダ４８Ｆで
は、圧電アクチュエータ１０２がスライダの背面全面に
渡り搭載されている。圧電アクチュエータ１０２は複数
の電極９６が埋め込まれた活性部（変位部）１０２ａ
と、電極なしの不活性部１０２ｂを有している。不活性
部１０２ｂは空気流出端４８ｂの近傍に配置されてい
る。
【００７６】このように圧電アクチュエータ１０２をス
ライダの背面全面に搭載することにより、磁気ヘッドス
ライダ４８Ｆとサスペンション５０との接続が容易とな
る。本実施形態の作用は、上述した第１実施形態の磁気
ヘッドスライダ４８と同様である。
【００７７】上述した各実施形態では、圧電アクチュエ
ータとしてバイモルフ型圧電アクチュエータを搭載した
例について説明したが、モノモルフ型、又はユニモルフ
型の圧電アクチュエータを搭載するようにしても良い。
【００７８】さらに、アクチュエータは圧電アクチュエ
ータに限定されるものではなく、電歪アクチュエータ、
磁歪アクチュエータ、水晶振動子等も用いることができ
る。
【００７９】本発明は以下の付記を含むものである。
【００８０】（付記１） ディスク対向面と空気流入端
と空気流出端とを有するヘッドスライダであって、前記
空気流入端近傍のディスク対向面に形成された、第１空
気ベアリング表面を有するフロントレールと；前記空気
流出端近傍に形成されたトランスデューサと；前記空気
流出端近傍を除く前記ディスク対向面と反対側のヘッド
スライダ背面に搭載された圧電アクチュエータと；を具
備したことを特徴とするヘッドスライダ。
【００８１】（付記２） 前記空気流出端近傍の前記デ
ィスク対向面に形成された、第２空気ベアリング表面を
有するリアレールを更に具備し、前記トランスデューサ
は前記リアレールの空気流出端部に形成されている付記
１記載のヘッドスライダ。
【００８２】（付記３） 前記圧電アクチュエータを搭
載した部分の前記ヘッドスライダ背面に形成されたヘッ
ドスライダ幅方向に伸長する切り欠きをさらに具備した
付記１記載のヘッドスライダ。
【００８３】（付記４） 前記圧電アクチュエータの表
面が前記ヘッドスライダ背面と同一平面となるように、
前記圧電アクチュエータが前記ヘッドスライダに埋め込
まれている付記１記載のヘッドスライダ。
【００８４】（付記５） 前記第１空気ベアリング表面
は互いに離間した左側空気ベアリング表面と右側空気ベ
アリング表面を含んでおり、前記圧電アクチュエータは
前記左側空気ベアリング表面に背向して設けられた左側
圧電アクチュエータと、前記右側空気ベアリング表面に
背向して設けられた右側圧電アクチュエータとを含んで
いる付記１記載のヘッドスライダ。
【００８５】（付記６） 前記圧電アクチュエータを搭
載した部分の前記ヘッドスライダ背面に形成されたヘッ
ドスライダ幅方向に伸長する切り欠きをさらに具備した
付記５記載のヘッドスライダ。
【００８６】（付記７） 前記左側空気ベアリング表面
の幅方向内側の前記空気流入端から所定の長さで前記デ
ィスク対向面から前記スライダ背面に渡り形成された第
１スリットと、前記右側空気ベアリング表面の幅方向内
側の前記空気流入端から所定の長さで前記ディスク対向
面から前記スライダ背面に渡り形成された第２スリット
とを更に具備した付記６記載のヘッドスライダ。
【００８７】（付記８） 前記左側圧電アクチュエータ
の表面及び前記右側圧電アクチュエータの表面が前記ス
ライダ背面と同一平面となるように、前記左右の圧電ア
クチュエータは前記ヘッドスライダに埋め込まれている
付記５記載のヘッドスライダ。
【００８８】（付記９） 前記左側空気ベアリング表面
の幅方向内側の前記空気流入端から所定の長さで前記デ
ィスク対向面から前記スライダ背面に渡り形成された第
１スリットと、前記右側空気ベアリング表面の幅方向内
側の前記空気流入端から所定の長さで前記ディスク対向
面から前記スライダ背面に渡り形成された第２スリット
とを更に具備した付記８記載のヘッドスライダ。
【００８９】（付記１０） ディスク対向面と空気流入
端と空気流出端とを有するヘッドスライダであって、前
記空気流入端近傍のディスク対向面に形成された、第１
空気ベアリング表面を有するフロントレールと；前記空
気流出端近傍に形成されたトランスデューサと；前記デ
ィスク対向面と反対側のヘッドスライダ背面の全面に渡
り搭載された圧電アクチュエータとを具備し；前記圧電
アクチュエータは前記空気流出端近傍に不活性部を有し
ていることを特徴とするヘッドスライダ。
【００９０】（付記１１） 前記空気流出端近傍の前記
ディスク対向面に形成された、第２空気ベアリング表面
を有するリアレールを更に具備し、前記トランスデュー
サは前記リアレールの空気流出端部に形成されている付
記１０記載のヘッドスライダ。
【００９１】（付記１２） ディスク対向面と空気流入
端と空気流出端とを有するヘッドスライダであって、前
記空気流入端近傍のディスク対向面に形成された、第１
空気ベアリング表面を有するフロントレールと；前記空
気流出端近傍に形成されたトランスデューサと；前記デ
ィスク対向面と反対側のヘッドスライダ背面に搭載され
た圧電アクチュエータとを具備し；前記圧電アクチュエ
ータの長手方向中心は、前記ヘッドスライダの長手方向
中心よりも前記空気流入端側に位置することを特徴とす
るヘッドスライダ。
【００９２】（付記１３） 前記ヘッドスライダの長手
方向中心から前記圧電アクチュエータの空気流入端部ま
での長さをＬ１、空気流出端部までの長さをＬ２とする
と、Ｌ１＞Ｌ２である付記１２記載のヘッドスライダ。
【００９３】（付記１４） ベースを有するハウジング
と；複数のトラックを有するディスクに対してデータを
リード／ライトするトランスデューサと、空気流入端
と、空気流出端と、ディスク対向面を有する負圧ヘッド
スライダと；前記負圧ヘッドスライダをディスクのトラ
ックを横切って移動させるアクチュエータとを具備し；
前記アクチュエータは、前記ベースに回転可能に取りつ
けられたアクチュエータアームと；前記アクチュエータ
アームの先端部にその基端部が固定されたサスペンショ
ンと；前記サスペンションの先端部に搭載された前記負
圧ヘッドスライダとを含み；前記負圧ヘッドスライダ
は、前記空気流入端近傍の前記ディスク対向面に形成さ
れた、空気ベアリング表面を有するフロントレールと；
前記空気流出端近傍に形成された前記トランスデューサ
と；前記フロントレールで一旦圧縮された空気を膨張さ
せて負圧を発生させる溝と；前記空気流出端近傍を除く
前記ディスク対向面と反対側のヘッドスライダ背面に搭
載された圧電アクチュエータとを具備し；前記圧電アク
チュエータにより、前記フロントレール及びその周辺部
を記録媒体に近づく方向又は記録媒体から遠ざかる方向
に変形し、前記空気ベアリング表面で発生する正圧を調
整することで、ヘッドスライダの浮上量を調整可能にし
たことを特徴とするディスク装置。
【００９４】
【発明の効果】本発明は以上詳述したように、圧電アク
チュエータにより空気流入端側の空気ベアリング表面周
辺部を変形することで、ヘッドスライダに働く正圧及び
負圧のバランスを変更し、ヘッドスライダの浮上量を制
御することができる。
【００９５】浮上量が小さくなるように制御することに
より、電磁トランスデューサと記録媒体との間の電磁変
換効率を向上することができる。これに伴い、電磁トラ
ンスデューサの再生出力が低く、読み取りエラーが生じ
易いときにも、圧電アクチュエータを駆動することによ
り、ヘッドスライダの浮上量を低下させて、再生出力を
向上し読み取りエラーを防止できる。
【００９６】また、記録媒体の内周と外周とでは、外周
の方が周速が早いため、ヘッドスライダの浮上量は大き
くなる。そこで、外周にいくに従って、圧電アクチュエ
ータによりフロント側の空気ベアリング表面を記録媒体
から離れる方向に変位させれば、正圧の発生が小さくな
りヘッドスライダの浮上量を下げることが可能となり、
記録媒体の内周と外周での浮上量を一定に保つことがで
きる。
【００９７】ヘッドスライダの浮上量が一定の場合、記
録密度を均一化できるため、ゾーンビットレコーディン
グが容易になり、記録密度を向上できる。
【００９８】空気ベアリング表面の加工ばらつきによる
ヘッドスライダの浮上量のばらつきを補正することがで
きる。さらに、使用場所（高度差）によるヘッドスライ
ダの浮上量変化を補正することができる。
【００９９】フロントレールの右側空気ベアリング表面
と左側空気ベアリング表面を独立して変化させること
で、ヘッドスライダのロール方向の補正も可能である。
さらに、ヘッドスライダが磁気ディスクに吸着時に、圧
電アクチュエータにより空気ベアリング表面を変化させ
ることで吸着状態を解除できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来例斜視図である。
【図２】従来例の動作説明図である。
【図３】カバーを取り外した状態の磁気ディスク装置の
平面図である。
【図４】図４（Ａ）はランプ部材の側面図、図４（Ｂ）
はランプ部材の平面図である。
【図５】本発明第１実施形態の斜視図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】第１実施形態の磁気ヘッドスライダの動作説明
図である。
【図８】本発明第２実施形態の斜視図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線断面図である。
【図１０】本発明第３実施形態の斜視図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線断面図である。
【図１２】本発明第４実施形態の斜視図である。
【図１３】図１２のＸIII−ＸIII線断面図である。
【図１４】本発明第５実施形態の斜視図である。
【図１５】図１４のＸＶ−ＸＶ線断面図である。
【図１６】本発明第６実施形態の斜視図である。
【図１７】図１６のＸＶII−ＸＶII線断面図である。
【図１８】本発明第７実施形態の斜視図である。
【図１９】図１８のＸＩＸ−ＸＩＸ線断面図である。
【符号の説明】
４８〜４８Ｆ 磁気ヘッドスライダ ７０ フロントレール ７２ リアセンターレール ７４ 空気ベアリング表面（ＡＢＳ） ７６ ステップ面 ８２ 電磁トランスデューサ ８４，８６ サイドレール ９２ 溝 ９４ 圧電アクチュエータ ９６ 電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 今村 孝浩 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 FA05 GA03 KA01 NA02 PA01 PA05 QA02 QA03 TA02

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ディスク対向面と空気流入端と空気流出
    端とを有するヘッドスライダであって、 前記空気流入端近傍のディスク対向面に形成された、第
    １空気ベアリング表面を有するフロントレールと；前記
    空気流出端近傍に形成されたトランスデューサと；前記
    空気流出端近傍を除く前記ディスク対向面と反対側のヘ
    ッドスライダ背面に搭載された圧電アクチュエータと；
    を具備したことを特徴とするヘッドスライダ。
  2. 【請求項２】 前記空気流出端近傍の前記ディスク対向
    面に形成された、第２空気ベアリング表面を有するリア
    レールを更に具備し、 前記トランスデューサは前記リアレールの空気流出端部
    に形成されている請求項１記載のヘッドスライダ。
  3. 【請求項３】 前記第１空気ベアリング表面は互いに離
    間した左側空気ベアリング表面と右側空気ベアリング表
    面を含んでおり、 前記圧電アクチュエータは前記左側空気ベアリング表面
    に背向して設けられた左側圧電アクチュエータと、前記
    右側空気ベアリング表面に背向して設けられた右側圧電
    アクチュエータとを含んでいる請求項１記載のヘッドス
    ライダ。
  4. 【請求項４】 ディスク対向面と空気流入端と空気流出
    端とを有するヘッドスライダであって、 前記空気流入端近傍のディスク対向面に形成された、第
    １空気ベアリング表面を有するフロントレールと；前記
    空気流出端近傍に形成されたトランスデューサと；前記
    ディスク対向面と反対側のヘッドスライダ背面に搭載さ
    れた圧電アクチュエータとを具備し；前記圧電アクチュ
    エータの長手方向中心は、前記ヘッドスライダの長手方
    向中心よりも前記空気流入端側に位置することを特徴と
    するヘッドスライダ。
  5. 【請求項５】 ベースを有するハウジングと；複数のト
    ラックを有するディスクに対してデータをリード／ライ
    トするトランスデューサと、空気流入端と、空気流出端
    と、ディスク対向面を有する負圧ヘッドスライダと；前
    記負圧ヘッドスライダをディスクのトラックを横切って
    移動させるアクチュエータとを具備し；前記アクチュエ
    ータは、前記ベースに回転可能に取りつけられたアクチ
    ュエータアームと；前記アクチュエータアームの先端部
    にその基端部が固定されたサスペンションと；前記サス
    ペンションの先端部に搭載された前記負圧ヘッドスライ
    ダとを含み；前記負圧ヘッドスライダは、前記空気流入
    端近傍の前記ディスク対向面に形成された、空気ベアリ
    ング表面を有するフロントレールと；前記空気流出端近
    傍に形成された前記トランスデューサと；前記フロント
    レールで一旦圧縮された空気を膨張させて負圧を発生さ
    せる溝と；前記空気流出端近傍を除く前記ディスク対向
    面と反対側のヘッドスライダ背面に搭載された圧電アク
    チュエータとを具備し；前記圧電アクチュエータによ
    り、前記フロントレール及びその周辺部を記録媒体に近
    づく方向又は記録媒体から遠ざかる方向に変形し、前記
    空気ベアリング表面で発生する正圧を調整することで、
    ヘッドスライダの浮上量を調整可能にしたことを特徴と
    するディスク装置。
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