KR100870890B1 - 헤드 슬라이더 - Google Patents

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KR100870890B1
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slider body
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마사키 가메야마
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후지쯔 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 부상량을 저감시킬 수 있는 헤드 슬라이더를 제공하는 것을 목적으로 한다.
헤드 슬라이더(21)에서는 후방 공기 베어링면(45)은 기준면(33)으로부터 제2 높이(H2)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)에는 헤드 소자(49)가 매립된다. 한편, 전방 공기 베어링면(43)은 기준면(33)으로부터 제2 높이(H2)보다 높은 제1 높이(H1)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)과 전방 공기 베어링면(43) 사이에는 기준면(33)으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 후방 공기 베어링면(45)으로부터 헤드 소자(49)가 돌출되어도 헤드 소자(49) 및 기록 매체의 접촉이 가능한 한 회피된다. 또한, 헤드 소자(49) 및 기록 매체 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면(43)은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 충분히 기록 매체에 접근할 수 있다. 그 결과, 헤드 슬라이더(21)의 부상량은 저감될 수 있다. 헤드 슬라이더(21)의 부상 자세는 안정된다.

Description

헤드 슬라이더{HEAD SLIDER}
도 1은 기록 매체 구동 장치의 일 구체예, 즉 하드디스크 구동 장치(HDD)의 내부 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 부상에 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
도 3은 제1 실시 형태에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 4는 도 3의 선 4-4를 따라 절단한 단면도.
도 5는 도 3의 선 5-5를 따라 절단한 단면도.
도 6은 웨이퍼바 및 알루미나막 상에 DLC막이 형성되는 형상을 개략적으로 도시한 단면도.
도 7은 DLC막 상에 포토레지스트막이 형성되는 형상을 개략적으로 도시한 단면도.
도 8은 부상면이 형성되는 형상을 개략적으로 도시한 단면도.
도 9는 일 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 10은 도 9의 선 10-10을 따라 절단한 단면도.
도 11은 다른 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 단면도.
도 12는 자기 디스크 상에서 부상 헤드 슬라이더가 부상하는 형상을 개략적으로 도시한 단면도.
도 13은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 14는 도 13의 선 14-14를 따라 절단한 단면도.
도 15는 도 13의 선 15-15를 따라 절단한 단면도.
도 16은 일 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 17은 도 5에 대응하여, 다른 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 단면도.
도 18은 다른 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 19는 도 18의 선 19-19를 따라 절단한 단면도.
도 20은 도 18의 선 20-20을 따라 절단한 단면도.
도 21은 자기 디스크 상에서 부상 헤드 슬라이더가 부상하는 형상을 개략적으로 도시한 단면도.
도 22는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 23은 도 22의 선 23-23을 따라 절단한 단면도.
도 24는 도 22의 선 24-24를 따라 절단한 단면도.
도 25는 일 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 단면도.
도 26은 일 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 단면도.
도 27은 일 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 단면도.
도 28은 다른 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 단면도.
도 29는 다른 변형예에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
21 : 헤드 슬라이더(부상 헤드 슬라이더)
31 : 슬라이더 본체
33 : 기준면(베이스면)
37 : 프론트 레일
38 : 리어사이드 레일
39 : 리어 레일
43 : 전방 공기 베어링면
44 : 보조 후방 공기 베어링면
45 : 후방 공기 베어링면
49 : 헤드 소자(전자 변환 소자)
52 : 제1 보호막
54 : 제2 보호막
52, 54, 56, 71, 72 : 보호막
63 : 가상 평면
CL : 중심선
본 발명은 예컨대 하드디스크 구동 장치(HDD)와 같은 기록 매체 구동 장치에 내장되는 헤드 슬라이더에 관한 것이다.
예컨대 HDD의 부상 헤드 슬라이더에는 프론트 레일이나 리어 레일이 형성된다. 리어 레일의 공기 베어링면에는 헤드 소자, 즉 전자 변환 소자가 내장된다. 전자 변환 소자의 자기 코일에 공급되는 기록 전류에 기초하여 전자 변환 소자로부터 자속이 누출된다. 이렇게 해서 누출되는 자속은 자기 디스크에 작용한다. 그 결과, 자기 디스크에는 자기 정보가 기록된다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 제2786119호 공보
[특허 문헌 2] 일본 특허 제2951164호 공보
[특허 문헌 3] 일본 특허 제2790114호 공보
[특허 문헌 4] 국제 공개 팜플렛 WO 2002/82442
[특허 문헌 5] 일본 특허 제3585563호 공보
전자 변환 소자는 부상 헤드 슬라이더의 알루미나막 안에 매립된다. 자기 코일에 전류가 공급되면, 자기 코일의 발열에 기초하여 알루미나막은 팽창된다. 전자 변환 소자는 공기 베어링면으로부터 자기 디스크를 향하여 돌출된다. 전자 변환 소자 및 자기 디스크 접촉의 회피에 대응하여, 큰 부상량이 필요하게 된다. 이 경우, 전자 변환 소자는 높은 밀도로 자기 정보를 기록할 수 없다.
본 발명은, 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 부상량을 저감시킬 수 있는 헤드 슬라이더를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해 제1 발명에 의하면, 기준면을 규정하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과, 슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과, 후방 공기 베어링면에 매립되는 헤드 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 후방 공기 베어링면은 기준면으로부터 제2 높이로 규정된다. 후방 공기 베어링면에는 헤드 소자가 매립된다. 한편, 전방 공기베어 링면은 기준면으로부터 제2 높이보다 높은 제1 높이로 규정된다. 후방 공기 베어링면과 전방 공기 베어링면 사이에는 기준면으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 후방 공기 베어링면으로부터 헤드 소자가 돌출되어도 헤드 소자 및 기록 매체의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전술한 바와 같이, 전방 공기 베어링면은 후방 공기 베어링면보다도 높게 규정된다. 따라서, 헤드 소자 및 기록 매체 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 충분히 기록 매체에 접근할 수 있다. 그 결과, 헤드 슬라이더의 부상량은 저감될 수 있다. 헤드 슬라이더의 부상 자세는 안정된다.
헤드 슬라이더는 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 리어 레일의 양측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하여도 좋다. 한편, 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 리어 레일의 양측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮고, 제2 높이보다도 높은 제3 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하여도 좋다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 보조 후방 공기 베어링면은 후방 공기 베어링면보다도 높게 규정된다. 후방 공기 베어링면으로부터는 헤드 소자가 돌출되어도 헤드 소자 및 기록 매체의 접촉은 가능한 한 회피된다. 또한, 보조 후방 공기 베어링면은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 기록 매체에 접근할 수 있다.
전방 공기 베어링면 및 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공 기 유출단을 향함에 따라 기준면에 근접하는 가상 평면 내에서 넓어지면 좋다. 이러한 헤드 슬라이더에 의하면, 헤드 슬라이더에 피치각이 규정되어도 전방 공기 베어링면 및 기록 매체 사이의 거리와, 보조 후방 공기 베어링면 및 기록 매체 사이의 거리는 동일하게 설정될 수 있다. 전방 공기 베어링면 및 보조 후방 공기 베어링면은 기록 매체에 한층 더 충분히 접근할 수 있다.
이상과 같은 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체 상에 형성되어 후방 공기 베어링면을 규정하고 헤드 소자에 피복되는 보호막을 포함하면 좋다. 한편, 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체 상에 제1 막 두께로 형성되어 전방 공기 베어링면을 규정하는 제1 보호막과, 제1 막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 슬라이더 본체 상에 형성되어 후방 공기 베어링면을 규정하고 헤드 소자에 피복되는 제2 보호막을 포함하여도 좋다. 이러한 제1 및 제2 보호막의 막 두께가 제어되면, 제1 높이나 제2 높이는 간단히 제어될 수 있다.
제2 발명에 의하면, 기준면을 규정하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과, 슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과, 후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 리어 레일에 매립되는 헤드 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 전방 공기 베어링면 및 후방 공기 베어링면은 기준면으로부터 제1 높이로 규정된다. 리어 레일에는 후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서, 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 헤드 소자가 매립된다. 헤드 소자와 후방 공기 베어링면 사이에는 기준면으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 리어 레일로부터 헤드 소자가 돌출되어도 헤드 소자 및 기록 매체의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전술된 바와 같이, 전방 공기 베어링면 및 후방 공기 베어링면은 헤드 소자보다도 높게 규정된다. 따라서, 헤드 소자 및 기록 매체 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면 및 후방 공기 베어링면은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 충분히 기록 매체에 접근할 수 있다. 그 결과, 헤드 슬라이더의 부상량은 저감될 수 있다. 헤드 슬라이더의 부상 자세는 안정된다.
헤드 슬라이더는 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 리어 레일의 양측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하여도 좋다. 한편, 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 리어 레일의 양측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제3 높이로 보조 후방 공기 베어링을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하여도 좋다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 보조 후방 공기 베어링면은 헤드 소자보다도 높게 규정된다. 리어 레일로부터 헤드 소자가 돌출되어도 헤드 소자 및 기록 매체의 접촉은 가능한 한 회피된다. 또한, 보조 후방 공기 베어링면은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 기록 매체에 접근할 수 있다.
후방 공기 베어링면 및 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향하여 전후 방향으로 규정되는 슬라이더 본체의 중심선으로부터 슬라이더 본체의 측단을 향함에 따라 기준면에 근접하여도 좋다. 이러한 헤드 슬라이더에 의하면, 헤드 슬라이더에 롤각이 규정되어도 후방 공기 베어링면이나 보조 후방 공기 베어링면은 기록 매체에 접근할 수 있다.
이러한 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체 상에 형성되어 헤드 소자에 피복되는 보호막을 포함하면 좋다. 한편, 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체 상에 제1막 두께로 형성되어 후방 공기 베어링면을 규정하는 제1 보호막과, 제1 막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 슬라이더 본체 상에 형성되고 헤드 소자에 피복되는 제2 보호막을 포함하여도 좋다.
제3 발명에 의하면, 기준면을 규정하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과, 슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과, 후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서, 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제2 높이보다도 낮은 제3 높이로 리어 레일에 매립되는 헤드 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 전방 공기 베어링면은 기준면으로부터 제1 높이로 규정된다. 후방 공기 베어링면은 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 규정된다. 리어 레일에는 후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서 제2높이 보다도 낮은 제3 높이로 헤드 소자가 매립된다. 헤드 소자와 전방 공기 베어링면이나 후방 공기 베어링면 사이에는 기준면으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 리어 레일로부터 헤드 소자가 돌출되어도 헤드 소자 및 기록 매체의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전술되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면 및 후방 공기 베어링면은 헤드 소자보다도 높게 규정된다. 따라서, 헤드 소자 및 기록 매체 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면 및 후방 공기 베어링면은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 충분히 기록 매체에 접근할 수 있다. 그 결과, 헤드 슬라이더의 부상량은 저감된다. 헤드 슬라이더의 부상 자세는 안정된다.
헤드 슬라이더는 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 리어 레일의 양측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제2 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하여도 좋다. 리어사이드 레일의 보조 후방 공기 베어링면은 헤드 소자보다도 높게 규정된다. 리어 레일로부터 헤드 소자가 돌출되어도 헤드 소자 및 기록 매체의 접촉은 가능한 한 회피된다. 또한, 보조 후방 공기 베어링면은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 기록 매체에 접근할 수 있다.
전방 공기 베어링면, 후방 공기 베어링면 및 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 기준면에 근접하는 가상 평면 내에서 넓어져도 좋다. 이러한 헤드 슬라이더에 의하면, 헤드 슬라이더로 피치각이 규정되어도 전방 공기 베어링면 및 기록 매체 사이의 거리와, 후방 공기 베어링면 및 기록 매체 사이의 거리와, 후방 공기 베어링면 및 기록 매체 사이의 거리는 동일하 게 설정될 수 있다. 전방 공기 베어링면이나 후방 공기 베어링면은 기록 매체에 한층 더 충분하게 접근할 수 있다.
한편, 후방 공기 베어링면 및 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향하여 전후 방향으로 규정되는 슬라이더 본체의 중심선으로부터 슬라이더 본체의 측단을 향함에 따라 기준면에 근접하여도 좋다. 동시에, 전방 공기 베어링면, 후방 공기 베어링면 및 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 기준면에 근접하여도 좋다.
이상과 같은 헤드 슬라이더는 상술한 바와 마찬가지로, 슬라이더 본체 상에 형성되어 헤드 소자에 피복되는 보호막을 포함하여도 좋다. 한편, 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체 상에 제1 막 두께로 형성되어 표면에서 후방 공기 베어링면을 규정하는 제1 보호막과, 제1 막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 슬라이더 본체 상에 형성되고 헤드 소자에 피복되는 제2 보호막을 포함하여도 좋다.
[실시 형태]
이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시 형태를 설명한다.
도 1은 기록 매체 구동 장치의 일 구체예, 즉 하드디스크 구동 장치(HDD)(11)의 내부 구조를 개략적으로 도시한다. 이 HDD(11)는, 예컨대 평편한 직육면체의 내부 공간을 구획하는 상자 형태의 케이스 본체(12)를 포함한다. 케이스 본체(12)는 예컨대 알루미늄과 같은 금속 재료로 주조에 기초하여 성형되면 좋다. 케이스 본체(12)에는 덮개, 즉 커버(도시되지 않음)가 결합된다. 커버와 케이스 본체(12) 사이에서 수용 공간은 밀폐된다. 커버는 예컨대 프레스 가공에 기초하여 1 장의 판재로 형성되면 좋다.
수용 공간에는 기록 디스크로서의 1장 이상의 자기 디스크(13)가 수용된다. 자기 디스크(13)는 스핀들 모터(14)의 회전축에 장착된다. 스핀들 모터(14)는 예컨대 5400 rpm이나 7200 rpm, 10000 rpm, 15000 rpm과 같은 고속도로 자기 디스크(13)를 회전시킬 수 있다.
수용 공간에는 캐리지(15)가 추가로 수용된다. 캐리지(15)는 캐리지 블록(16)을 포함한다. 캐리지 블록(16)은 수직 방향으로 연장되는 지지축(17)에 회전 가능하게 연결된다. 캐리지 블록(16)에는 지지축(17)으로부터 수평 방향으로 연장되는 복수의 캐리지 아암(18)이 구획된다. 캐리지 블록(16)은 예컨대 압출 성형에 기초하여 알루미늄으로 성형되면 좋다.
개개의 캐리지 아암(18)의 선단에는 캐리지 아암(18)으로부터 전방으로 연장되는 헤드 서스펜션(19)이 부착된다. 헤드 서스펜션(19)의 전단에는 자기 디스크(13)의 표면을 향하여 소정의 압박력이 작용한다. 헤드 서스펜션(19)의 전단에는 부상 헤드 슬라이더(21)가 고정된다.
부상 헤드 슬라이더(21)에는 헤드 소자, 즉 전자 변환 소자(도시되지 않음)가 탑재된다. 이 전자 변환 소자는, 예컨대 박막 코일 패턴으로 생성되는 자계를 이용하여 자기 디스크(13)에 정보를 기록하는 박막 자기 헤드와 같은 기록 소자와, 스핀 밸브막이나 터널 접합막의 저항 변화를 이용하여 자기 디스크(13)로부터 정보를 판독하는 거대 자기 저항 효과(GMR) 소자나 터널 접합 자기 저항 효과(TMR) 소자와 같은 판독 소자로 구성되면 좋다.
자기 디스크(13)의 회전에 기초하여 자기 디스크(13)의 표면에서 기류가 생성되면, 기류의 영향으로 부상 헤드 슬라이더(21)에는 정압 즉, 부력, 및 부압이 작용한다. 부력 및 부압과 헤드 서스펜션(19)의 압박력이 균형을 이룸으로써, 자기 디스크(13)의 회전 중에 비교적 높은 강성으로 부상 헤드 슬라이더(21)는 계속해서 부상할 수 있다.
캐리지 블록(16)에는 보이스 코일 모터(VCM)(22)가 연결된다. VCM(22)의 움직임으로 캐리지 블록(16)은 지지축(17) 주위에서 회전할 수 있다. 이러한 캐리지 블록(16)의 회전에 기초하여 캐리지 아암(18)의 요동은 실현된다. 부상 헤드 슬라이더(21)의 부상 중에 지지축(17) 주위에서 캐리지 아암(18)이 요동하면, 부상 헤드 슬라이더(21)는 반경 방향으로 자기 디스크(13)의 표면을 가로지를 수 있다. 이러한 부상 헤드 슬라이더(21)의 이동에 기초하여 전자 변환 소자는 목표 기록 트랙에 대하여 위치 결정될 수 있다.
헤드 서스펜션(19)의 선단에는 헤드 서스펜션(19)의 선단으로부터 전방으로 연장되는 로드 탭(23; tab)이 고정된다. 로드 탭(23)은 캐리지 아암(18)의 요동에 기초하여 자기 디스크(13)의 반경 방향으로 이동할 수 있다. 로드 탭(23)의 이동경로 상에는 자기 디스크(13)의 외측에서 램프(ramp) 부재(24)가 배치된다. 램프 부재(24)의 선단은 최외주 기록 트랙의 외측에서 비데이터존에 마주 보게 된다. 램프 부재(24) 및 로드 탭(23)은 협동으로 소위 로드 언로드 기구를 구성한다. 램프 부재(24)는 예컨대 경질 플라스틱 재료로 성형되면 좋다.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 부상 헤드 슬라이더(21)의 구조를 개략적으로 도시한다. 이 부상 헤드 슬라이더(21)는 평편한 직육면체에 형성되는 슬라이더 본체(31)를 포함한다. 슬라이더 본체(31)는 매체 대향면, 즉 부상면(32)에서 자기 디스크(13)에 마주 보게 된다. 부상면(32)에는 평탄한 기준면, 즉 베이스면면(33)이 규정된다. 자기 디스크(13)가 회전하면, 슬라이더 본체(31)의 전단으로부터 후단을 향하여 부상면(32)에는 기류(34)가 작용한다. 슬라이더 본체(31)는, 예컨대 Al2O3-TiC(알틱)제의 모재(35)와, 이 모재(35)의 공기 유출측 단면에 적층되는 Al2O3(알루미나)막(36)으로 구성되면 좋다.
슬라이더 본체(31)의 부상면(32)에서는 기류(34)의 상류단측, 즉 공기 유입단측에서 베이스면(33)으로부터 1 줄의 프론트 레일(37)이 기립한다. 프론트 레일(37)은 베이스면(33)의 공기 유입단을 따라 기류(34)를 가로지르는 좌우 방향으로 연장된다. 마찬가지로, 기류(34)의 하류단측, 즉 공기 유출단측에서는 베이스면(33)으로부터 한 쌍의 리어사이드 레일(38, 38)이 기립한다. 리어사이드 레일(38)은 베이스면(33)의 가장자리를 따라 배치된다. 리어사이드 레일(38)끼리의 사이에서 베이스면(33)으로부터 리어센터 레일(39)이 기립한다. 리어센터 레일(39)은 베이스면(33)의 공기 유출단으로부터 공기 유입측을 향하여 전후 방향으로 연장된다.
프론트 레일(37)에는 베이스면(33)으로부터 기립하는 2 줄의 사이드 레일(41, 41)이 접속된다. 사이드 레일(41, 41)은 베이스면(33)의 가장자리를 따라 프론트 레일(37)로부터 리어사이드 레일(38, 38)을 향하여 각각 전후 방향으로 연 장된다. 사이드 레일(41, 41)은 대응하는 리어사이드 레일(38, 38) 바로 앞에서 끊어진다. 이렇게 해서 사이드 레일(41)과 대응한 리어사이드 레일(38) 사이에는 기류가 새어나가는 통로가 확보된다.
마찬가지로, 프론트 레일(37)에는 베이스면(33)으로부터 기립하는 1 줄의 센터 레일(42)이 접속된다. 센터 레일(42)은 사이드 레일(41, 41)끼리의 사이에서 프론트 레일(37)로부터 리어 센터 레일(39)을 향하여 전후 방향으로 연장된다. 센터 레일(42)은 리어 센터 레일(39)의 바로 앞에서 끊어진다. 사이드 레일(41, 41) 및 센서 레일(42)은 상호 평행하게 연장되면 좋다.
프론트 레일(37)의 정상면에는 전방 공기 베어링면(43)이 규정된다. 마찬가지로, 리어사이드 레일(38)의 정상면에는 보조 후방 공기 베어링면(44)이 규정된다. 리어센터 레일(39)의 정상면에는 후방 공기 베어링면(45)이 규정된다. 공기 베어링면(43, 44, 45)의 공기 유입단은 단차(46, 47, 48)로 레일(37, 38, 39)의 정상면에 접속된다. 슬라이더 본체(31)에는 전술한 전자 변환 소자(49)가 탑재된다. 이 전자 변환 소자(49)는 슬라이더 본체(31)의 알루미나막(36) 안에 매립된다. 전자 변환 소자(49)의 판독갭이나 기록갭은 리어센터 레일(39)의 후방 공기 베어링면(45)에서 노출된다.
리어센터 레일(39)에는 전자 변환 소자(49)에 인접하여 히터(도시되지 않음)가 내장된다. 이러한 히터의 열은 알루미나막(36)의 팽창을 촉진시킨다. 알루미나막(36)의 팽창에 따라 전자 변환 소자(49)는 리어센터 레일(39) 상에서 돌출된다. 이렇게 해서 판독갭이나 기록갭의 부상 높이는 조정될 수 있다.
자기 디스크(13)가 회전하면, 자기 디스크(13)의 표면을 따라 기류(34)가 생성된다. 이 때, 보조 후방 공기 베어링면(44) 및 후방 공기 베어링면(45)에 비해서 전방 공기 베어링면(43)에서 큰 정압즉 부력이 생성된다. 이렇게 해서, 부상 헤드 슬라이더(21)가 자기 디스크(13)의 표면으로부터 부상하면, 부상 헤드 슬라이더(21)는 피치각(α)의 경사진 자세로 유지된다. 여기서, 피치각(α)이란, 기류(34)의 흐름 방향에 따른 슬라이더 본체(31)의 전후 방향의 경사각을 말한다.
한편, 자기 디스크(13)의 회전 중, 캐리지 아암(18)의 요동에 기초하여 부상 헤드 슬라이더(21)는 예컨대 자기 디스크(13)의 반경 방향으로 이동한다. 이 때, 슬라이더 본체(31)의 측면에는 기류가 작용한다. 그 결과, 부상 헤드 슬라이더(21)에서는 롤각(β)의 경사진 자세가 확립된다. 여기서, 롤각(β)이란, 기류(34)의 흐름 방향에 직교하는 슬라이더 본체(31)의 폭 방향의 경사각을 말한다.
도 3에 시사되는 바와 같이, 부상 헤드 슬라이더(21)에서는 전방 공기 베어링면(43) 및 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)이 베이스면(33)으로부터 가장 높게 설정된다. 도 4에 도시되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면(43)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)로 규정된다. 프론트 레일(37)은 슬라이더 본체(31) 상에 구획되는 전방 받침대(51)와, 제1 막 두께로 전방 받침대(51)에 형성되는 제1 보호막(52)으로 구성된다. 제1 보호막(52)의 표면에서 전술한 전방 공기 베어링면(43)이 규정된다. 제1 보호막(52)에는 예컨대 DLC(다이아몬드형 카본)이 이용되면 좋다.
한편, 후방 공기 베어링면(45)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)보다도 낮은 제2 높이(H2)로 규정된다. 리어센터 레일(39)은 슬라이더 본체(31)에 구획되는 후방 받침대(53)와, 제1 막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 후방 받침대(53) 상에 형성되는 제2 보호막(54)으로 구성된다. 제2 보호막(54)의 표면에서 전술한 후방 공기 베어링면(45)이 규정된다. 제2 보호막(54)에는 제1 보호막(52)과 마찬가지로, 예컨대 DLC가 이용되면 좋다. 리어센터 레일(39) 상에서 제2 보호막(54)은 전자 변환 소자(49)의 전단에 피복된다.
도 5에 도시되는 바와 같이, 보조 후방 공기 베어링면(44)은 전방 공기 베어링면(43)과 마찬가지로, 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)로 규정된다. 따라서, 전방 공기 베어링면(43) 및 보조 후방 공기 베어링면(44)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)에서 베이스면(33)으로 평행하게 넓어지는 가상 평면(도시되지 않음) 내에서 넓어진다. 리어사이드 레일(38)은 슬라이더 본체(31) 상에 구획되는 측방 받침대(55)와, 제1 막 두께로 측방 받침대(55) 상에 형성되는 제3 보호막(56)으로 구성된다. 제3 보호막(56)의 표면에서 보조 후방 공기 베어링면(44)이 규정된다. 제1 보호막(56)에는 예컨대, DLC가 이용되면 좋다.
베이스면(33)으로부터 전방 받침대(51), 후방 받침대(53) 및 측방 받침대(55)의 높이는 동일하게 설정된다. 따라서, 제1 높이(H1)와 제2 높이(H2)의 차는 제1 및 제3 보호막(52, 56)의 막 두께와 제2 보호막(54)의 막 두께의 차에 일치한다. 여기서, 예컨대 전자 변환 소자(49)의 자기 코일에 공급되는 전류에 기초하여 자기 코일은 발열한다. 자기 코일의 열은 알루미나막(36)의 팽창을 촉진시킨다. 그 결과, 전자 변환 소자(49)는 리어센터 레일(39) 상에서 돌출된다. 제1 및 제3 보호 막(52, 56)의 막 두께와 제2 보호막(54)의 막 두께의 차는, 예컨대 전자 변환 소자(49)의 최대 돌출량과 동일하게 설정되면 좋다.
이상과 같은 부상 헤드 슬라이더(21)에서는 후방 공기 베어링면(45)은 베이스면(33)으로부터 제2 높이(H2)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)에는 전자 변환 소자(49)가 매립된다. 한편, 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 베이스면(33)으로부터 제2 높이(H2)보다 높은 제1 높이(H1)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)과 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 사이에는 베이스면(33)으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 알루미나막(36)의 팽창에 기초하여 전자 변환 소자(49)가 돌출되어도 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전술되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 후방 공기 베어링면(45)의 제2 높이(H2)보다도 높은 제1 높이(H1)로 규정된다. 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13) 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 그 결과, 부상 헤드 슬라이더(21)의 부상량은 저감될 수 있다. 부상 헤드 슬라이더(21)의 부상 자세는 안정된다. 추가로, 전자 변환 소자(49)에는 제2 보호막(54)이 피복된다. 제2 보호막(54)의 영향으로 전자 변환 소자(49)의 부식은 회피된다.
다음에, 이상과 같은 부상 헤드 슬라이더(21)의 제조 방법을 간단히 설명한 다. 우선, Al2O3-TiC제의 웨이퍼에 알루미나막이 적층된다. 알루미나막 내에는 전자 변환 소자가 형성된다. 그 후, 웨이퍼로부터 웨이퍼바가 잘라내어진다. 잘라내어진 후, 웨이퍼바의 절단면에는 부상면이 형성된다. 부상면의 형성에 대응하여, 도 6에 도시되는 바와 같이, 웨이퍼바(57) 및 알루미나막(58)의 평탄면에는 DLC막(59)이 전술한 제2 막 두께로 형성된다. DLC막(59)의 표면에는 전술한 전방 공기 베어링면(43) 및 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)의 형성 영역에서 DLC막(61)이 형성된다.
도 7에 도시되는 바와 같이, 소정의 영역에 포토레지스트막(62)이 형성된다. 포토레지스트막(62) 윤곽의 외측에서 웨이퍼바(57) 및 알루미나막(58)은 깎아내어진다. 깎아내는 것에 대응하여 예컨대 밀링이 이용된다. 프론트 레일(37)이나 리어센터 레일(39), 그 외의 레일(38, 41, 42)이 깎아내어진다. 이렇게 해서, 도 8에 도시되는 바와 같이, 웨이퍼바(57)의 절단면에는 부상면(32)이 형성된다. DLC막(59, 61)에서 제1 및 제3 보호막(52, 56)이 형성된다. DLC막(59)에서 제2 보호막(54)이 형성된다. 그 후, 웨이퍼바(57)로부터 슬라이더 본체(31)는 잘라내어진다. 이렇게 해서 부상 헤드 슬라이더(21)는 제조된다.
이러한 제조 방법에 의하면, DLC막(59, 61)은 웨이퍼바(57) 및 알루미나막(58)의 평탄면 상에 형성된다. DLC막(59, 61)의 총 막 두께는 제1 및 제3 보호막(52, 56)의 막 두께에 일치한다. DLC막(59)의 막 두께는 제2 보호막의 막 두께에 일치한다. 그 결과, DLC막(59, 61)의 막 두께의 조정에 기초하여 제1 높이(H1)나 제2 높이(H2)는 간단히 제어될 수 있다. 즉, 베이스면(33)으로부터 전방 공기 베어링면(43)이나 후방 공기 베어링면(45), 보조 후방 공기 베어링면(44)의 높이는 간단히 조정될 수 있다. 이러한 제조 방법은 예컨대 부상 헤드 슬라이더(21)의 설계 변경에 간단히 대응할 수 있다.
도 9에 도시되는 바와 같이, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21) 대신에, HDD(11)에는 부상 헤드 슬라이더(21a)가 내장되어도 좋다. 이 부상 헤드 슬라이더(21a)에서는 베이스면(33)으로부터 전방 공기 베어링면(43)이 가장 높게 설정된다. 도 10에 도시되는 바와 같이, 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)보다 낮은 제3 높이(H3)로 설정된다. 도 10에 도시되는 바와 같이, 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)보다 낮은 제3 높이(H3)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)은 전술한 제2 높이(H2)로 규정되면 좋다. 제3 높이(H3)는 제2 높이(H2)보다도 높게 규정된다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
이러한 부상 헤드 슬라이더(21a)에 의하면, 상술한 바와 마찬가지로, 후방 공기 베어링면(45)과 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 사이에는 베이스면(33)으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 따라서, 알루미나막(36)의 팽창에 기초하여 전자 변환 소자(49)가 돌출되어도 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44)은 후방 공 기 베어링면(45)보다도 높게 규정된다. 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13) 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 추가로, 전방 공기 베어링면(43)은 보조 후방 공기 베어링면(44) 및 후방 공기 베어링면(45)보다도 높게 규정된다. 피치각(α)이 확립되어도 전방 공기 베어링면(43)은 자기 디스크(13)의 표면에 충분히 접근할 수 있다. 부상 헤드 슬라이더(21a)의 부상량은 저감된다. 부상 헤드 슬라이더(21a)의 부상 자세는 안정된다.
이러한 부상 헤드 슬라이더(21a)의 제조에 대응하여, 예컨대 전술한 포토레지스트막(62)의 두께가 조정되면 좋다. 예컨대 전방 공기 베어링면(43) 상에는 제1두께의 포토레지스트막(62)이 형성되면 좋다. 동시에, 예컨대 보조 후방 공기 베어링면(44) 상에는 제1 두께보다 작은 제2 두께의 포토레지스트막(62)이 형성되면 좋다. 이렇게 해서 제1∼제3 보호막(52, 54, 56)의 막 두께의 차가 실현된다. 제1∼제3 보호막(52, 54, 56)의 막 두께의 차에 기초하여 제1∼제3 높이(H1, H2, H3)의 차가 실현된다. 포토레지스트막(62) 두께의 조정에 대응하여, 예컨대 포토레지스트 재료에 실시되는 노광의 정도가 조정되면 좋다. 소위 하프톤 마스크가 이용되면 좋다.
도 11에 도시되는 바와 같이, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21a)에서는 전방 공기 베어링면(43) 및 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 슬라이더 본체(31)의 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 베이스면(33)에 근접하는 가상 평 면(63) 내에서 넓어져도 좋다. 가상 평면(63)과 베이스면(33)에 평행한 가상 평면(64)과의 교차각(θ)은 전술한 피치각(α)에 맞추어 넣어지면 좋다. 제1 높이(H1)나 제3 높이(H3)는 베이스면(33)으로부터 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44)의 최대 높이로 규정되면 좋다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
이러한 부상 헤드 슬라이더(21a)에서는 상술한 바와 마찬가지로, 후방 공기 베어링면(45)과 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 사이에는 베이스면(33)으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 알루미나막(36)의 팽창에 기초하여 전자 변환 소자(49)가 돌출되어도 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44)은 후방 공기 베어링면(45)보다도 높게 규정된다. 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13) 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면(43)이나 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 추가로, 부상 헤드 슬라이더(21a)가 자기 디스크(13) 상에서 피치각(α)의 부상 자세를 확립하면, 도 12에 도시되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면(43)과 자기 디스크(13)와의 거리 및 보조 후방 공기 베어링면(44)과 자기 디스크(13)와의 거리는 동일하게 설정될 수 있다. 피치각(α)이 확립되어도 전방 공기 베어링면(43)은 자기 디스크(13)에 충분하게 접근할 수 있다. 부상 헤드 슬라이더(21a)의 부상 자세는 안정된다.
이러한 부상 헤드 슬라이더(21a)의 제조에 대응하여, 예컨대 전술한 포토레지스트막(62)의 두께가 조정되면 좋다. 미리 큰 막 두께로 제1 및 제3 보호막(52, 56)이 형성된다. 제1 및 제3 보호막(52, 56) 상에는 포토레지스트막(62)이 형성된다. 포토레지스트막(62)의 막 두께는, 예컨대 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 감소하면 좋다. 이러한 포토레지스트막(62)에 기초하여 제1 및 제3 보호막(52, 56)은 형성될 수 있다. 이렇게 해서 부상 헤드 슬라이더(21a)는 제조된다.
도 13은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 부상 헤드 슬라이더(21b)의 구조를 개략적으로 도시한다. 이 부상 헤드 슬라이더(21b)에서는 전방 공기 베어링면(43),보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)이 베이스면(33)으로부터 가장 높게 설정된다. 도 14에 도시되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면(43) 및 후방 공기 베어링면(45)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)로 규정된다. 전자 변환 소자(49)는 후방 공기 베어링면(45)으로부터 벗어난 위치에서 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)보다도 낮은 제2 높이(H2)로 리어센터 레일(39)에 매립된다.
리어센터 레일(39)은 전술한 후방 받침대(53)와, 제1 막 두께로 후방 받침대(53) 상에 형성되는 제1 보호막(71)과, 제1 막 두께보다 작은 제2 막 두께로 후방 받침대(53) 상에 형성되는 제2 보호막(72)으로 구성된다. 제1 보호막(71)의 표면에서 후방 공기 베어링면(45)이 규정된다. 리어센터 레일(39) 상에서 제2 보호막(72)은 전자 변환 소자(49)의 전단에 피복된다. 제1 및 제2 보호막(71, 72)에는 예컨대 DLC가 이용되면 좋다.
도 15에 도시되는 바와 같이, 후방 공기 베어링면(45) 및 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)로 규정된다. 따라서, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)로 베이스면(33)에 평행하게 넓어지는 가상 평면(도시되지 않음) 내에서 넓어진다. 상술한 바와 마찬가지로, 제1 높이(H1) 및 제2 높이(H2)의 차는 전자 변환 소자(49)의 최대 돌출량과 동일하게 설정되면 좋다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21, 21a)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
이러한 부상 헤드 슬라이더(21b)에 의하면, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)으로부터 벗어난 위치에서 리어센터 레일(39)에는 제1 높이(H1)보다 낮은 제2 높이(H2)로 전자 변환 소자(49)가 매립된다. 전자 변환 소자(49)의 전단과 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45) 사이에는 베이스면(33)으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 알루미나막(36)의 팽창에 기초하여 전자 변환 소자(49)가 돌출되어도 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 전자 변환 소자(49)의 제2 높이(H2)보다도 높은 제1 높이(H1) 로 규정된다. 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13) 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 그 결과, 부상 헤드 슬라이더(21b)의 부상량은 저감된다. 부상 헤드 슬라이더(21b)의 부상 자세는 안정된다. 추가로, 전자 변환 소자(49)에는 제2 보호막(72)이 피복된다. 제2 보호막(72)의 작용으로 전자 변환 소자의 부식은 회피된다.
도 16에 도시되는 바와 같이, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21b)에서는 제1 보호막(71)의 공기 유출단은 공기 유입단을 향하여 움푹하게 들어가도 좋다. 이렇게 해서 전자 변환 소자(49)로부터 제1 보호막(71)까지 소정의 거리가 확보된다. 본 발명자의 검증에 의하면, 전자 변환 소자(49)의 돌출 영역은 전자 변환 소자(49)로부터 공기 유입단을 향하여 소정의 거리에 걸쳐 넓어진다. 따라서, 전자 변환 소자(49)로부터 제1 보호막(71)까지 소정의 거리가 확보되면, 제1 보호막(71)의 돌출은 회피될 수 있다. 제1 보호막(71), 즉 후방 공기 베어링면(45)의 외측에서 확실하게 전자 변환 소자(49)는 돌출될 수 있다.
한편, 도 17에 도시되는 바와 같이, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21b)에서는 보조 후방 공기 베어링면(44)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)보다도 낮은 제3 높이(H3)로 규정되어도 좋다. 제3 높이(H3)는 전술한 제2 높이(H2)보다도 높게 설정되면 좋다. 이렇게 해서 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)의 높이는 후방 공기 베어링면(45)보다도 낮게 규정된다. 그 결과, 롤각(β)에 기초하여 보조 후방 공기 베어링면(44)에서 부상 헤드 슬라이더(21b)가 자기 디스크(13)에 최근접하여도 후방 공기 베어링면(45)은 충분히 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 부상 헤드 슬라이더(21b)의 부상량은 저감된다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21, 21a)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
한편, 도 18에 시사되는 바와 같이, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21b)에서는 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향하여 전후 방향으로 규정되는 슬라이더 본체(31)의 중심선(CL)으로부터 슬라이더 본체(31)의 측단을 향함에 따라 베이스면(33)에 근접하여도 좋다. 중심선(CL)은 베이스면(33)에서 공기 유입단의 슬라이더 폭 방향 중앙 위치와 공기 유출단의 슬라이더 폭 방향 중앙 위치를 연결한다. 도 19에 도시되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면(43)은 베이스면(33)에 평행한 가상 평면(73)에 소정의 교차각(θ)으로 교차하는 가상 평면(74, 74)에 따라 규정된다. 교차각(θ)은 롤각(β)에 맞추어 넣으면 좋다.
마찬가지로, 도 20에 도시되는 바와 같이, 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 가상 평면(74, 74)에 따라 규정된다. 이 부상 헤드 슬라이더(21b)가 자기 디스크(13) 상에서 롤각(β)의 부상 자세를 확립하면, 도 21에 도시되는 바와 같이, 보조 후방 공기 베어링면(44)과 자기 디스크(13)와의 거리 및 후방 공기 베어링면(45)의 일부와 자기 디스크(13)와의 거리는 동일하게 설정될 수 있다. 이렇게 해서 후방 공기 베어링면(45)은 충분히 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 전자 변환 소자(49)는 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21, 21a)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
도 22는 본 발명의 제3 실시 형태에 따른 부상 헤드 슬라이더(21c)의 구조를 개략적으로 도시한다. 이 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 전방 공기 베어링면(43)이 베이스면(33)으로부터 가장 높게 설정된다. 도 23에 도시되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면(43)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)은 베이스면(33)으로부터 제1 높이(H1)보다도 낮은 제2 높이(H2)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)으로부터 벗어난 위치에서 리어센터 레일(39)에는 제2 높이(H2)보다 낮은 제3 높이(H3)로 전자 변환 소자(49)가 매립된다. 도 24에 도시되는 바와 같이, 보조 후방 공기 베어링면(44, 44)은 후방 공기 베어링면(45)과 마찬가지로 제2 높이(H2)로 규정된다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21, 21a, 21b)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
이러한 부상 헤드 슬라이더(21c)에 의하면, 후방 공기 베어링면(45)은 베이스면(33)으로부터 제2 높이(H2)로 규정된다. 후방 공기 베어링면(45)으로부터 벗어난 위치에서 리어센터 레일(39)에는 제2 높이(H2)보다 낮은 제3 높이(H3)로 전자 변환 소자(49)가 매립된다. 전자 변환 소자(49)의 전단과 후방 공기 베어링면(45) 사이에는 베이스면(33)으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 알루미나막(36)의 팽창에 기초하여 전자 변환 소자(49)가 돌출되어도 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 전자 변환 소자(49)보다도 높게 규정된다. 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13) 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 추가로, 전방 공기 베어링면(43)은 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)보다도 높게 규정된다. 피치각(α)이 확립되어도 전방 공기 베어링면(43)은 자기 디스크(13)에 충분히 접근할 수 있다. 부상 헤드 슬라이더(21c)의 부상량은 저감될 수 있다. 부상 헤드 슬라이더(21c)의 부상 자세는 안정된다. 기타, 이 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 상술한 바와 마찬가지로, 제1 보호막(71)의 공기 유출단이 공기 유입단을 향하여 움푹하게 들어가도 좋다.
도 25에 도시되는 바와 같이, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 슬라이더 본체(31)의 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 베이스면(33)에 근접하는 가상 평면(63) 내에서 넓어져도 좋다. 가상 평면(63)과 베이스면(33)에 평행한 가상 평면(64)과의 교차각(θ)은 전술한 피치각(α)에 맞추어 넣으면 좋다. 제1 높이(H1)나 제2 높이(H2)는 베이스면(33)으로부터 전방 공기 베어링면(43)이나 후방 공기 베어링면(45), 보조 후방 공기 베어링면(44)의 최대 높이로 규정되면 좋다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21, 21a, 21b)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
이러한 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 전자 변환 소자(49)의 전단과 후방 공기 베어링면(45) 사이에는 베이스면(33)으로부터 높이 방향으로 소정의 거리가 확보된다. 알루미나막(36)의 팽창에 기초하여 전자 변환 소자(49)가 돌출되어도 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 가능한 한 회피된다.
또한, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 전자 변환 소자(49)보다도 높게 규정된다. 전자 변환 소자(49) 및 자기 디스크(13) 사이에서 기존 상태 그대로의 거리가 유지되면, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44, 44) 및 후방 공기 베어링면(45)은 기존 상태 그대로의 거리 이상으로 자기 디스크(13)에 접근할 수 있다. 추가로, 부상 헤드 슬라이더(21c)가 자기 디스크(13) 상에서 피치각(α)의 부상 자세를 확립하면, 전방 공기 베어링면(43)과 자기 디스크(13)의 거리, 후방 공기 베어링면(45)과 자기 디스크(13)의 거리 및 보조 후방 공기 베어링면(44)과 자기 디스크(13)의 거리는 동일하게 설정될 수 있다. 그 결과, 전방 공기 베어링면(43)은 자기 디스크(13)에 충분히 접근할 수 있다. 부상 헤드 슬라이더(21c)의 부상량은 저감된다. 부상 헤드 슬라이더(21c)의 부상 자세는 안정된다. 이러한 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 상술한 바와 마찬가지로, 제1 보호막(71)의 공기 유출단은 공기 유입단을 향하여 움푹하게 들어가도 좋다.
한편, 도 26에 도시되는 바와 같이, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 전방 공기 베어링면(43)은 슬라이더 본체(31)의 중심선(CL)으로부터 슬라이더 본체(31)의 측단을 향함에 따라 베이스면(33)에 근접하여도 좋다. 마찬가지로, 도 27에 도시되는 바와 같이, 보조 후방 공기 베어링면(44) 및 후방 공기 베어링면(45) 은 슬라이더 본체(31)의 중심선(CL)으로부터 슬라이더 본체(31)의 측단을 향함에 따라 베이스면(33)에 근접하여도 좋다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21, 21a, 21b)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호를 붙인다.
기타, 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 도 28 및 도 29에 도시되는 바와 같이, 전방 공기 베어링면(43), 보조 후방 공기 베어링면(44) 및 후방 공기 베어링면(45)이 슬라이더 본체(31)의 중심선(CL)으로부터 슬라이더 본체(31)의 측단을 향함에 따라 베이스면(33)에 근접하는 동시에, 슬라이더 본체(31)의 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 베이스면(33)에 근접하여도 좋다. 전방 공기 베어링면(43) 및 후방 공기 베어링면(45) 상에서 규정되는 능선은 전술한 가상 평면(63) 내에서 연장되면 좋다. 이러한 부상 헤드 슬라이더(21c)에 의하면, 전술과 동일한 작용 효과가 실현될 수 있다.
(부기 1)
기준면을 규정하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과, 슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과, 후방 공기 베어링면에 매립되는 헤드 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 2)
부기 1에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출 단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 3)
부기 1에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮고 제2 높이보다도 높은 제3 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 4)
부기 3에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 전방 공기 베어링면 및 상기보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 상기 기준면에 근접하는 가상 평면 내에서 넓어지는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 5)
부기 1에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체 상에 형성되어 상기 후방 공기 베어링면을 규정하고 상기 헤드 소자에 피복되는 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 6)
부기 1에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체 상에 제1 막 두께로 형성되어 상기 전방 공기 베어링면을 규정하는 제1 보호막과, 제1 막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 상기 슬라이더 본체 상에 형성되어 상기 후방 공기 베 어링면을 규정하고 상기 헤드 소자에 피복되는 제2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 7)
기준면을 규정하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과, 슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되며, 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과, 후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 리어 레일에 매립되는 헤드 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 8)
부기 7에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 9)
부기 7에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제3 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 10)
부기 9에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 후방 공기 베어링면 및 상기보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향하여 전후 방향으로 규정되는 상기 슬라이더 본체의 중심선으로부터 상기 슬라이더 본체의 측단을 향함에 따라 상기 기준면에 근접하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 11)
부기 7에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체 상에 형성되어 상기 헤드 소자에 피복되는 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 12)
부기 7에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체 상에 제1 막 두께로 형성되어 상기 후방 공기 베어링면을 규정하는 제1 보호막과, 제1 막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 상기 슬라이더 본체 상에 형성되고 상기 헤드 소자에 피복되는 제2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 13)
기준면을 규정하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과, 슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되며, 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과, 후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서 슬라이더 본체의 기준면으로 부터 제2 높이보다도 낮은 제3 높이로 리어 레일에 매립되는 헤드 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 14)
부기 13에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제2 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 15)
부기 14에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 전방 공기 베어링면, 상기후방 공기 베어링면 및 상기 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 상기 기준면에 근접하는 가상 평면 내에서 넓어지는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 16)
부기 14에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 후방 공기 베어링면 및 상기 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향하여 전후 방향으로 규정되는 상기 슬라이더 본체의 중심선으로부터 상기 슬라이더 본체의 측단을 향함에 따라 상기 기준면에 근접하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 17)
부기 16에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 전방 공기 베어링면, 상기후방 공기 베어링면 및 상기 보조 후방 공기 베어링면은 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 상기 기준면에 근접하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 18)
부기 13에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체 상에 형성되어 상기 헤드 소자에 피복되는 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
(부기 19)
부기 13에 기재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 슬라이더 본체 상에 제1 막 두께로 형성되어 표면에서 상기 후방 공기 베어링면을 규정하는 제1 보호막과, 제1막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 상기 슬라이더 본체 상에 형성되고 상기 헤드 소자에 피복되는 제2 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 부상량을 저감시킬 수 있는 헤드 슬라이더가 제공될 수 있다.

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 기준면을 규정하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과,
    슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과,
    후방 공기 베어링면에 매립되는 헤드 소자와,
    상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  3. 기준면을 규정하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과,
    슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과,
    후방 공기 베어링면에 매립되는 헤드 소자와,
    상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮고 제2 높이보다도 높은 제3 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 전방 공기 베어링면 및 상기 보조 후방 공기 베어링면은, 공기 유입단으로부터 공기 유출단을 향함에 따라 상기 기준면에 근접하는 가상 평면 내에서 넓어지는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 슬라이더 본체 상에 제1 막 두께로 형성되어 상기 전방 공기 베어링면을 규정하는 제1 보호막과,
    제1 막 두께보다도 작은 제2 막 두께로 상기 슬라이더 본체 상에 형성되어 상기 후방 공기 베어링면을 규정하고 상기 헤드 소자에 피복되는 제2 보호막
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  6. 기준면을 규정하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과,
    슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과,
    후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 리어 레일에 매립되는 헤드 소자
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  7. 제6항에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  8. 제6항에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제3 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  9. 기준면을 규정하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유입단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이로 전방 공기 베어링면을 규정하는 프론트 레일과,
    슬라이더 본체의 공기 유출단측에 배치되고 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제1 높이보다도 낮은 제2 높이로 후방 공기 베어링면을 규정하는 리어 레일과,
    후방 공기 베어링면으로부터 벗어난 위치에서 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제2 높이보다도 낮은 제3 높이로 리어 레일에 매립되는 헤드 소자
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  10. 제9항에 있어서, 상기 슬라이더 본체의 공기 유출단측에서 상기 리어 레일의 양측에 배치되고 상기 슬라이더 본체의 기준면으로부터 제2 높이로 보조 후방 공기 베어링면을 규정하는 한 쌍의 리어사이드 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
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