KR100893112B1 - 헤드 슬라이더 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 헤드 소자의 손상을 회피할 수 있는 헤드 슬라이더를 제공하는 것을 목적으로 한다.
레일(38)의 정상면에는 제1 막 두께의 제1 보호막(81)이 피복된다. 레일(38)의 공기 유출측에서 비자성막(32)의 표면에는 제1 막 두께의 제2 보호막(82)이 피복된다. 레일(38)의 공기 유출측에서 헤드 소자(33)에는 제1 막 두께보다 작은 제2 막 두께의 제3 보호막(83)이 피복된다. 따라서, 비자성막(32)의 표면으로부터 헤드 소자(33)가 돌출되어도 제3 보호막(83)은 제1 및 제2 보호막(81, 82)보다도 기억 매체(13)에 근접하지 않는다. 헤드 소자(33) 및 기억 매체(13)의 접촉은 회피된다. 헤드 소자(33)의 손상은 회피된다. 또한, 레일(38)의 공기 유출측에 작은 막 두께의 제3 보호막(83)이 형성되기 때문에, 헤드 소자(33)는 기억 매체(13)에 근접할 수 있다. 덧붙여, 제1 및 제2 보호막(81, 82)의 기능으로, 예컨대 기억 매체(13) 상의 진애(塵埃)와 헤드 소자와의 접촉은 회피된다.

Description

헤드 슬라이더 및 그 제조 방법{HEAD SLIDER REDUCING PROBABILITY OF COLLISION AGAINST RECORDING MEDIUM AND METHOD OF MAKING THE SAME}
도 1은 본 발명에 따른 기억 매체 구동 장치의 일 구체예, 즉 하드디스크 구동 장치(HDD)의 내부 구조를 개략적으로 도시한 평면도.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
도 3은 매체 대향면으로부터 관찰되는 부상 헤드 슬라이더의 구조를 개략적으로 도시한 정면도.
도 4는 도 3의 선 4-4를 따라 취한 단면도.
도 5는 매체 대향면으로부터 관찰되는 리어 레일의 구조를 개략적으로 도시한 부분 확대 평면도.
도 6은 도 5의 선 6-6을 따라 취한 단면도.
도 7은 부상 헤드 슬라이더의 부상시의 형상을 개략적으로 도시한 부분 확대 단면도.
도 8은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더에 의해 매체 대향면으로부터 관찰되는 리어 레일의 구조를 개략적으로 도시한 부분 확대 평면도.
도 9는 도 8의 선 9-9를 따라 취한 단면도.
도 10은 부상 헤드 슬라이더의 부상시의 형상을 개략적으로 도시한 부분 확대 단면도.
도 11은 부상 헤드 슬라이더의 제조시의 형상을 개략적으로 도시한 부분 확대 단면도.
도 12는 보호막이 연마되는 형상을 개략적으로 도시한 부분 확대 단면도.
도 13은 도 9에 대응하여, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더에 의해 리어 레일의 구조를 개략적으로 도시한 부분 확대 단면도.
도 14는 본 발명의 제4 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더의 부상시의 형태를 개략적으로 도시한 부분 확대 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
11 : 기억 매체 구동 장치(하드디스크 구동 장치)
13 : 기억 매체(자기 디스크)
21 : 헤드 슬라이더(부상 헤드 슬라이더)
31 : 슬라이더 본체
32 : 비자성막(소자 내장막)
34 : 매체 대향면(부상면)
38 : 레일(리어 레일)
33 : 헤드 소자(전자 변환 소자)
81 : 제1 보호막
82 : 제2 보호막
83 : 제3 보호막
91 : 제1 보호막
92 : 제2 보호막
93 : 오목부
95 : 보호막(DLC 막)
본 발명은 예컨대 하드디스크 구동 장치(HDD)라는 기억 매체 구동 장치에 내장되는 헤드 슬라이더에 관한 것이다.
예컨대, HDD의 부상 헤드 슬라이더는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유출측 단면에 적층되는 절연성 비자성막을 포함한다. 비자성막에는 헤드 소자, 즉 전자 변환 소자가 매립된다. 전자 변환 소자는 보호막으로 피복된다. 전자 변환 소자의 자기 코일에 공급되는 기록 전류에 기초하여 전자 변환 소자로부터 자속이 누출된다. 이렇게 해서 누출되는 자속은 자기 디스크에 작용한다. 자기 디스크에는 자기 정보가 기록된다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2004-335073호 공보
[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 제2005-158238호 공보
[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 평성11-316927호 공보
자기 정보의 기록시, 자기 코일은 발열한다. 비자성막의 열팽창이 촉진된다. 전자 변환 소자는 자기 디스크를 향하여 돌출된다. 그 결과, 부상 헤드 슬라이더에서는 전자 변환 소자가 자기 디스크에 접촉한다. 접촉의 충격에 기초하여 전자 변환 소자의 특성은 악화되어 버린다. 또한, 자기 디스크와의 접촉에 기초하여 보호막은 마모되어 버린다. 전자 변환 소자는 부식되어 버린다.
본 발명은 상기 문제점에 감안하여 이루어진 것이며, 헤드 소자의 손상을 회피할 수 있는 헤드 슬라이더를 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은 그러한 헤드 슬라이더의 실현에 큰 공헌을 할 수 있는 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 제1 발명에 의하면, 매체 대향면에서 기억 매체에 대향하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유출측 단면에 적층되는 절연성의 비자성막과, 슬라이더 본체의 매체 대향면에 형성되고 슬라이더 본체의 공기 유출측단까지 연장되는 레일과, 레일의 공기 유출측에서 비자성막에 매립되며 비자성막의 표면에서 적어도 기록 갭을 노출시키는 헤드 소자와, 레일의 정상면에 피복되는 제1 막 두께의 제1 보호막과, 제1 보호막에 연속하고 레일의 공기 유출측에서 비자성막의 표면에 피복되는 제1 막 두께의 제2 보호막과, 레일의 공기 유출측에서 기록 갭에 피복되는 제1 막 두께보다 작은 제2 막 두께의 제3 보호막을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 레일의 정상면에는 제1 막 두께의 제1 보호막이 피복된다. 마찬가지로, 레일의 공기 유출측에서 비자성막의 표면에는 제1 막 두께의 제2 보호막이 피복된다. 레일의 공기 유출측에서 헤드 소자의 기록 갭에는 제1 막 두께보다 작은 제2 막 두께의 제3 보호막이 피복된다. 따라서, 비자성막의 표면으로부터 헤드 소자가 돌출되어도 제3 보호막은 제1 및 제2 보호막보다도 기억 매체에 근접하지 않는다. 헤드 소자 및 기억 매체의 접촉은 회피된다. 헤드 소자의 손상은 회피된다.
또한, 레일의 공기 유출측에 작은 막 두께의 제3 보호막이 형성되기 때문에, 헤드 소자는 기억 매체에 근접할 수 있다. 헤드 소자는 기억 매체에 정확히 정보를 기록할 수 있다. 마찬가지로, 헤드 소자는 기억 매체로부터 정확히 정보를 판독할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 보호막의 기능으로, 예컨대 기억 매체 상의 진애(塵埃)와 헤드 소자와의 접촉은 회피된다. 이러한 헤드 슬라이더는 기억 매체 구동 장치에 내장되면 좋다.
제2 발명에 의하면, 매체 대향면에서 기억 매체에 대향하는 슬라이더 본체와, 슬라이더 본체의 공기 유출측 단면에 적층되는 절연성의 비자성막과, 슬라이더 본체의 매체 대향면에 형성되고 슬라이더 본체의 공기 유출측단까지 연장되는 레일과, 레일의 정상면에 피복되는 제1 보호막과, 제1 보호막에 연속하며 레일의 공기 유출측에서 비자성막의 표면에 피복되는 제2 보호막과, 적어도 부분적으로 제2 보호막으로 구획되는 오목부와, 레일의 공기 유출측에서 비자성막에 매립되고 오목부 내에 적어도 기록 갭을 배치하는 헤드 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더가 제공된다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 제2 보호막에 오목부가 형성된다. 오목부 내에는 헤드 소자의 기록 갭이 배치된다. 따라서, 비자성막의 표면으로부터 헤드 소자가 돌출되어도 오목부 내에서 제2 보호막은 오목부의 외측 제2 보호막보다도 기억 매체에 근접하지 않는다. 헤드 소자 및 기억 매체의 접촉은 회피된다. 헤드 소자의 손상은 회피된다.
또한, 오목부에 기초하여 기록 갭에 피복되는 제2 보호막의 막 두께는 작게 설정된다. 헤드 소자의 돌출시, 헤드 소자 및 기억 매체의 거리는 축소된다. 헤드 소자는 기억 매체에 정확히 정보를 기록할 수 있다. 마찬가지로, 헤드 소자는 기억 매체로부터 정확히 정보를 판독할 수 있다. 덧붙여, 오목부의 기능으로, 예컨대 기억 매체 상의 진애는 헤드 소자에 접촉되지 않는다.
이러한 헤드 슬라이더에서는 제2 보호막의 막 두께는 제1 보호막의 막 두께보다 작게 설정되어도 좋다. 마찬가지로, 제1 및 제2 보호막의 막 두께는 레일의 공기 유입측으로부터 공기 유출측을 향함에 따라 감소하여도 좋다. 이러한 부상 헤드 슬라이더는 기억 매체 구동 장치에 내장되면 좋다.
제3 발명에 의하면, 슬라이더 본체에 구획되는 레일의 정상면에, 헤드 소자의 전단에 피복되는 보호막을 형성하는 공정과, 레일의 정상면으로부터 헤드 소자를 돌출시켜 보호막의 표면을 연마하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더의 제조 방법이 제공된다.
이와 같은 제조 방법에서는 레일의 정상면으로부터 헤드 소자가 돌출된다. 헤드 소자의 돌출에 기초하여 보호막은 부분적으로 돌출된다. 보호막은 연마된다. 헤드 소자의 돌출이 해소되면, 보호막에는 오목부가 형성된다. 이렇게 해서 전술한 헤드 슬라이더는 제조될 수 있다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시형태를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 기억 매체 구동 장치의 일 구체예, 즉 하드디스크 구동 장치(HDD)(11)의 내부 구조를 개략적으로 도시한다. 이 HDD(11)는, 예컨대 평평한 직방체의 내부 공간을 구획하는 상자형 케이스 본체(12)를 포함한다. 케이스 본체(12)는 예컨대 알루미늄이라는 금속 재료로 주조에 기초하여 성형되면 좋다. 케이스 본체(12)에는 덮개, 즉 커버(도시되지 않음)가 결합된다. 커버와 케이스 본체(12) 사이에서 수용 공간은 밀폐된다. 커버는 예컨대 프레스 가공에 기초하여 1장의 판재로 성형되면 좋다.
수용 공간에는 기억 매체로서 1장 이상의 자기 디스크(13)가 수용된다. 자기 디스크(13)는 스핀들 모터(14)의 회전축에 장착된다. 스핀들 모터(14)는 예컨대 5400 rpm이나 7200 rpm, 10000 rpm, 15000 rpm이라는 높은 속도로 자기 디스크(13)를 회전시킬 수 있다.
수용 공간에는 캐리지(15)가 추가로 수용된다. 캐리지(15)는 캐리지 블록(16)을 포함한다. 캐리지 블록(16)은 수직 방향으로 연장되는 지지축(17)에 회전 가능하게 연결된다. 캐리지 블록(16)에는 지지축(17)으로부터 수평 방향으로 연장되는 복수의 캐리지 아암(18)이 구획된다. 캐리지 블록(16)은, 예컨대 압출 성형에 기초하여 알루미늄으로 성형되면 좋다.
개개의 캐리지 아암(18)의 선단에는 캐리지 아암(18)으로부터 전방으로 연장 되는 헤드 서스펜션(19)이 부착된다. 헤드 서스펜션(19)의 전단에는 자기 디스크(13)의 표면을 향하여 소정의 압박력이 작용한다. 헤드 서스펜션(19)의 전단에는 부상 헤드 슬라이더(21)가 고정된다. 부상 헤드 슬라이더(21)에는 헤드 소자, 즉 전자 변환 소자(도시되지 않음)가 탑재된다.
자기 디스크(13)의 회전에 기초하여 자기 디스크(13)의 표면에서 기류가 생성되면, 기류의 기능으로, 부상 헤드 슬라이더(21)에는 정압 즉, 부력 및 부압이 작용한다. 부력 및 부압과 헤드 서스펜션(19)의 압박력이 균형 잡힘으로써 자기 디스크(13)의 회전 중에 비교적 높은 강성으로 부상 헤드 슬라이더(21)는 부상을 계속할 수 있다.
캐리지 블록(16)에는 보이스 코일 모터(VCM)(22)가 연결된다. VCM(22)의 기능으로, 캐리지 블록(16)은 지지축(17) 둘레에서 회전할 수 있다. 이러한 캐리지 블록(16)의 회전에 기초하여 캐리지 아암(18)의 요동은 실현된다. 부상 헤드 슬라이더(21)의 부상 중에 지지축(17) 둘레에서 캐리지 아암(18)이 요동하면, 부상 헤드 슬라이더(21)는 반경 방향으로 자기 디스크(13)의 표면을 가로지를 수 있다. 이러한 부상 헤드 슬라이더(21)의 이동에 기초하여 전자 변환 소자는 목표 기록 트랙에 대하여 위치 결정될 수 있다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더(21)를 도시한다. 이 부상 헤드 슬라이더(21)는, 예컨대 평평한 직방체로 형성되는 슬라이더 본체(31)를 포함한다. 슬라이더 본체(31)의 공기 유출 단면에는 절연성의 비자성막, 즉 소자 내장막(32)이 적층된다. 이 소자 내장막(32)에 전술한 전자 변환 소자(33) 가 내장된다. 전자 변환 소자(33)의 상세한 내용은 후술된다.
슬라이더 본체(31)는, 예컨대 Al2O3-TiC(알틱)라는 경질의 비자성 재료로 형성되면 좋다. 소자 내장막(32)은, 예컨대 Al2O3(알루미나)이라는 비교적 연질의 절연 비자성 재료로 형성되면 좋다. 슬라이더 본체(31)는 매체 대향면, 즉 부상면(34)에서 자기 디스크(13)에 대향한다. 부상면(34)에는 평탄한 베이스면(35), 즉 기준면이 규정된다. 자기 디스크(13)가 회전하면, 슬라이더 본체(31)의 전단으로부터 후단을 향하여 부상면(34)에는 기류(36)가 작용한다.
부상면(34)에는 전술한 기류(36)의 상류측, 즉 공기 유입측에서 베이스면(35)으로부터 상승하는 1줄의 프론트 레일(37)이 형성된다. 프론트 레일(37)은 베이스면(35)의 공기 유입단을 따라 슬라이더 폭 방향으로 연장된다. 마찬가지로, 부상면(34)에는 기류의 하류측, 즉 공기 유출측에서 베이스면(35)으로부터 상승하는 리어 레일(38)이 형성된다. 리어 레일(38)은 슬라이더 폭 방향의 중앙 위치에 배치된다.
부상면(34)에는 공기 유출측에서 베이스면(35)으로부터 상승하는 좌우 한 쌍의 보조 리어 레일(39, 39)이 추가로 형성된다. 보조 리어 레일(39, 39)은 베이스면(35)의 좌우 가장자리를 따라 각각 배치된다. 그 결과, 보조 리어 레일(39, 39)끼리는 슬라이더 폭 방향으로 간격을 두고 배치된다. 보조 리어 레일(39, 39)끼리의 사이에 리어 레일(38)이 배치된다.
프론트 레일(37), 리어 레일(38) 및 보조 리어 레일(39, 39)의 정상면에는 소위 공기 베어링면(ABS)(41, 42, 43)이 규정된다. 공기 베어링면(41, 42, 43)의 공기 유입단은 단차(44, 45, 46)에서 레일(37, 38, 39)의 정상면에 접속된다. 자기 디스크(13)의 회전에 기초하여 생성되는 기류(36)는 부상면(34)에 지지된다. 이 때, 단차(44, 45, 46)의 기능으로, 공기 베어링면(41, 42, 43)에는 비교적 큰 정압 즉, 부력이 생성된다. 또한, 프론트 레일(37)의 후방, 즉 배후에는 큰 부압이 생성된다. 이들 부력 및 부압의 밸런스에 기초하여 부상 헤드 슬라이더(21)의 부상 자세는 확립된다.
이 부상 헤드 슬라이더(21)에서는 공기 베어링면(42, 43)에 비해서 공기 베어링면(41)에서 큰 정압 즉, 부력이 생성된다. 따라서, 슬라이더 본체(31)가 자기 디스크(13)의 표면으로부터 부상하면, 슬라이더 본체(31)는 피치 각(α)의 경사 자세로 유지된다. 여기서, 피치 각(α)이란, 기류(36)의 유동 방향에 따른 슬라이더 본체 전후 방향의 경사각을 말한다.
한편, 좌우의 공기 베어링 면(43, 43)에서는 각각 균등하게 부력이 생성된다. 따라서, 부상중의 부상 헤드 슬라이더(21)에서는 롤각(β)의 변동은 억제된다. 이렇게 해서 공기 베어링면(43)과 자기 디스크(13)와의 충돌은 방지된다. 여기서, 롤각(β)이란, 기류(36)의 유동 방향에 직교하는 슬라이더 폭 방향의 경사각을 말한다.
공기 베어링면(41, 42, 43)에서는 슬라이더 본체(31)의 표면에 예컨대 보호막(도시되지 않음)이 형성된다. 전술한 전자 변환 소자(33)는 공기 베어링면(42)의 공기 유출측에서 슬라이더 본체(31)의 표면으로부터 판독 갭이나 기록 갭을 노출시 킨다. 보호막은 전자 변환 소자(33)의 판독 갭이나 기록 갭에 피복된다. 보호막에는 예컨대 DLC(다이아몬드형 카본)가 이용되면 좋다. 또한, 부상 헤드 슬라이더(21)의 형태는 이와 같은 형태에 한정되는 것은 아니다.
도 3은 부상면(34)의 형상을 상세하게 도시한다. 전자 변환 소자(33)는 기록헤드(61)와 판독 헤드(62)를 포함한다. 기록 헤드(61)는 주지한 바와 같이, 예컨대 자기 코일로 생기되는 자계를 이용하여 자기 디스크(13)에 바이너리 정보를 기록할 수 있다. 판독 헤드(62)는 자기 디스크(13)로부터 작용하는 자계에 따라 변화하는 저항에 기초하여 바이너리 정보를 검출할 수 있다.
판독 헤드(62)에서는 GMR 소자나 TMR 소자라는 판독 소자, 즉 자기 저항 효과막(63)이 상하 한 쌍의 도전층, 즉 상부 실드층(64) 및 하부 실드층(65) 사이에 배치된다. 상부 실드층(64)은 하부 실드층(65)에 평행한 한 면을 따라 넓어진다. 상부 및 하부 실드층(64, 65)은 예컨대 FeN이나 NiFe라는 자성 재료로 구성되면 좋다.
자기 저항 효과막(63)은 하부 실드층(65)의 표면에 피복되는 예컨대 Al2O3제의 절연층(66) 안에 매립된다. 상부 실드층(64)은 절연층(66)의 표면을 따라 넓어진다. 자기 저항 효과막(63)은 하부 실드층(65) 및 상부 실드층(64)에 개별적으로 전기 접속된다. 상부 실드층(64) 및 하부 실드층(65)끼리의 간격은 자기 디스크(13) 상에서 기록 트랙의 선 방향으로 자기 기록의 분해능을 결정한다.
기록 헤드(61)는 공기 베어링면(42)에 전단을 노출시키는 상부 자극층(67) 및 하부 자극층(68)을 포함한다. 하부 자극층(68)은 상부 실드층(64)에 평행한 한 면을 따라 넓어진다. 하부 자극층(68) 상에는 전단에서 공기 베어링면(42)에 노출되는 자극단층(69)이 형성된다. 상부 자극층(67), 하부 자극층(68) 및 자극단층(69)은, 예컨대 FeN이나 NiFe로 형성되면 좋다. 상부 자극층(67), 하부 자극층(68) 및 자극단층(69)은 협동하여 기록 헤드(61)의 자성 코어를 구성한다.
자극 단층(69)은 상부 자극층(67)에 대향한다. 상부 자극층(67) 및 자극단층(69) 사이에는 예컨대 Al2O3제의 비자성 갭층(71)이 끼워진다. 주지한 바와 같이, 후술한 자기 코일로 자계가 발생되면, 비자성 갭층(71)의 기능으로, 상부 자극층(67)과 하부 자극층(68)을 오가는 자속이 부상면(34)으로부터 누출된다. 이렇게 해서 누출되는 자속이 갭 자계, 즉 기록 자계를 형성한다. 즉, 상부 자극층(67) 및 자극단층(69) 사이에는 기록 갭이 구획된다.
도 4를 함께 참조하면, 하부 자극층(68)은 상부 실드층(64) 상에 균일한 두께로 적층 형성되는 절연층(72) 상에 형성된다. 절연층(72)은 상부 실드층(64)과 하부 자극층(68) 사이에서 자기적인 결합을 단절시킨다. 하부 자극층(68) 상에는 절연층(72)에 매립된 자기 코일 즉, 박막 코일(73)이 형성된다. 박막 코일(73)은 예컨대 Cu로 형성되면 좋다. 비자성 갭층(71)의 표면에는 전술한 상부 자극층(67)이 형성된다. 상부 자극층(67)의 후단은 박막 코일(73)의 중심 위치에서 하부 자극층(68)의 후단에 자기적으로 연결된다. 이렇게 해서 상부 자극층(67)과 하부 자극층(68)은 박막 코일(73)의 중심 위치를 관통하는 자성 코어를 형성한다.
도 5에 도시되는 바와 같이, 슬라이더 본체(31)에서는 리어 레일(38)의 정상면에 제1 보호막(81)이 피복된다. 리어 레일(38)의 공기 유출측에서 소자 내장막(32)의 표면에는 제2 보호막(82)이 피복된다. 제2 보호막(82)은 소자 내장막(32)의 공기 유입단을 따라 소정의 간격으로 배치된다. 제2 보호막(82, 82) 사이에는 전자 변환 소자(33)가 배치된다. 제2 보호막(82)은 제1 보호막(81)에 연속한다. 제2 보호막(82)의 외측에서 소자 내장막(32)의 표면에는 전자 변환 소자(33)에 피복되는 제3 보호막(83)이 형성된다. 제3 보호막(83)은 제1 및 제2 보호막(81, 82)에 연속한다. 전자 변환 소자(33)의 공기 유입측에는 제1 보호막(81)이 형성된다.
도 6을 함께 참조하면, 제1 및 제2 보호막(81, 82)은 제1 막 두께로 형성된다. 제1 막 두께는 예컨대 5 nm 정도로 설정된다. 제3 보호막(83)은 제2 막 두께로 형성된다. 제2 막 두께는 예컨대 3 nm 정도로 설정된다. 1 막 두께와 제2 막 두께의 차이는 전자 변환 소자(33)의 최대 돌출량과 동일하게 설정되면 좋다.
현재, 자기 디스크(13)에 바이너리 정보가 기록되는 상태를 상정한다. 자기 디스크(13)의 회전 중 부상 헤드 슬라이더(21)는 소정의 피치 각(α)으로 부상 자세를 확립한다. 박막 코일(73)에는 기록 전류가 공급된다. 박막 코일(73)은 발열한다. 박막 코일(73)의 발열에 기초하여 박막 코일(73)의 주위에서 소자 내장막(32)의 열팽창은 촉진된다. 이렇게 해서 전자 변환 소자(33)는 자기 디스크(13)를 향하여 돌출된다.
그 결과, 도 7에 도시되는 바와 같이, 전자 변환 소자(33)의 돌출에 따라 제3 보호막(83)은 자기 디스크(13)를 향하여 돌출된다. 제1 막 두께와 제2 막 두께의 차이는 전자 변환 소자(33)의 최대 돌출량과 동일하기 때문에, 전자 변환 소자(33)가 최대한 돌출되면 제3 보호막(83)의 표면은 제1 및 제2 보호막(81, 82)의 표면에 동일면으로 넓어진다. 이 때, 기록 헤드(61)의 기록 갭에서는 자기 디스크(13)에 자계가 작용한다. 이렇게 해서 자기 디스크(13)에 바이너리 정보가 기록된다.
이상과 같은 부상 헤드 슬라이더(21)에서는 전자 변환 소자(33)에 피복되는 제3 보호막(83)은 제1 및 제2 보호막(81, 82)의 제1 막 두께보다 작은 제2 막 두께로 형성된다. 전자 변환 소자(33), 즉 제3 보호막(83)의 돌출에 기초하여 제1∼제3 보호막(81, 82, 83)의 표면은 동일면으로 넓어진다. 공기 베어링면(42)으로부터 전자 변환 소자(33)의 돌출은 회피된다. 전자 변환 소자(33) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 회피된다. 전자 변환 소자(33)의 손상은 회피된다.
또한, 리어 레일(38)의 공기 유출측에 막 두께가 작은 제3 보호막(83)이 형성되기 때문에, 부상 헤드 슬라이더(21)는 자기 디스크(13)에 근접할 수 있다. 기록 헤드(61)는 자기 디스크(13)에 정확히 바이너리 정보를 기록할 수 있다. 동일하게, 판독 헤드(62)는 자기 디스크(13)로부터 정확히 바이너리 정보를 판독할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 보호막(81, 82)의 기능으로, 예컨대 자기 디스크(13) 상의 진애와 전자 변환 소자(33)와의 접촉은 회피된다.
다음에, 부상 헤드 슬라이더(21)의 제조 방법을 간단히 설명한다. 우선, 알틱제의 웨이퍼에 알루미나막이 적층된다. 알루미나막 내에는 전자 변환 소자가 매립된다. 웨이퍼로부터 웨이퍼바가 절출된다. 웨이퍼바의 절단면에는 제1 DLC막이 형성된다. 막 두께는 전술한 제2 막 두께로 설정된다. 제1 DLC막의 표면에는 제3 보호막(83)의 형성 영역에 레지스트막이 형성된다. 레지스트막의 외측에서 제1 DLC 막의 표면에는 제2 DLC 막이 형성된다. 이렇게 해서 제1∼제3 보호막(81, 82, 83)이 형성된다. 그 후, 프론트 레일(37)이나 리어 레일(38)이 형성된다. 이렇게 해서 부상면(34)이 형성된다. 그 후, 웨이퍼바로부터 슬라이더 본체(31)가 절출된다. 이렇게 해서 부상 헤드 슬라이더(21)는 제조된다.
도 8에 도시되는 바와 같이, HDD(11)에는 전술한 부상 헤드 슬라이더(21) 대신에 본 발명의 제2 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더(21a)가 내장되어도 좋다. 부상 헤드 슬라이더(21a)에는 슬라이더 본체(31)에서 리어 레일(38)의 정상면에 제1 보호막(91)이 피복된다. 리어 레일(38)의 공기 유출측에서 소자 내장막(32)의 표면에는 제2 보호막(92)이 피복된다. 제2 보호막(92)은 제1 보호막(91)에 연속한다. 제2보호막(92)에는 부분적으로 오목부(93)가 구획된다. 오목부(93) 내에는 전자 변환 소자(33)가 배치된다. 여기서는, 전자 변환 소자(33)는 오목부(93) 내에 적어도 기록 갭을 배치하면 좋다. 오목부(93)는 예컨대 소자 내장막(32)의 공기 유입단을 따라 슬라이더 폭 방향으로 연장되면 좋다.
도 9를 함께 참조하면, 제1 보호막(91)은 제1 막 두께로 형성된다. 제1 막 두께는 예컨대 5 nm 정도로 설정된다. 제2 보호막(92)은 제2 막 두께로 형성되면 좋다. 제2 막 두께는 예컨대 5 nm 정도로 설정된다. 한편, 오목부(93) 내에서 제2보호막(92)의 막 두께는 제3 막 두께로 형성된다. 제3 막 두께는 예컨대 3 nm 정도로 설정되면 좋다. 제1 및 제2 막 두께와 제3 막 두께와의 차이, 즉 오목부(93)의 깊이는 전자 변환 소자(33)의 최대 돌출량과 동일하게 설정되면 좋다. 기타, 전술 한 부상 헤드 슬라이더(21)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
현재, 자기 디스크(13)에 바이너리 정보가 기록되는 상태를 상정한다. 자기 디스크(13)의 회전 중 부상 헤드 슬라이더(21a)는 소정의 피치 각(α)으로 부상 자세를 확립한다. 박막 코일(73)에는 기록 전류가 공급된다. 박막 코일(73)은 발열된다. 박막 코일(73)의 발열에 기초하여 박막 코일(73)의 주위에서 소자 내장막(32)의 열팽창은 촉진된다. 이렇게 해서 전자 변환 소자(33)는 자기 디스크(13)를 향하여 돌출된다.
그 결과, 도 10에 도시되는 바와 같이, 전자 변환 소자(33)의 돌출에 따라 오목부(93)의 깊이는 감소한다. 오목부(93)의 깊이는 전자 변환 소자(33)의 최대 돌출량과 동일하기 때문에, 전자 변환 소자(33)가 최대한 돌출되면 오목부(93)는 소멸된다. 이 때, 기록 헤드(61)의 기록 갭에서는 자기 디스크(13)에 자계가 작용한다. 이렇게 해서 자기 디스크(13)에 바이너리 정보가 기록된다.
이상과 같은 부상 헤드 슬라이더(21a)에서는 제2 보호막(92)에 오목부(93)가 형성된다. 오목부(93) 내에는 전자 변환 소자(33)가 배치된다. 전자 변환 소자(33), 즉 제2 보호막(92)의 돌출에 기초하여 오목부(93)는 소멸된다. 공기 베어링 면(42)으로부터 전자 변환 소자(33)의 돌출은 회피된다. 전자 변환 소자(33) 및 자기 디스크(13)의 접촉은 회피된다. 전자 변환 소자(33)의 손상은 회피된다.
또한, 오목부(93)에 기초하여 전자 변환 소자(33)의 전단에 피복되는 제2 보호막(92)의 막 두께는 작게 설정된다. 전자 변환 소자(33)의 돌출시, 전자 변환 소 자(33) 및 자기 디스크(13)의 거리는 축소된다. 기록 헤드(61)는 자기 디스크(13)에 정확히 바이너리 정보를 기록할 수 있다. 동일하게, 판독 헤드(62)는 자기 디스크(13)로부터 정확히 바이너리 정보를 판독할 수 있다. 덧붙여, 오목부(93)의 기능으로, 예컨대 자기 디스크(13) 상의 진애는 전자 변환 소자(33)의 전단에 접촉되지 않는다.
다음에, 부상 헤드 슬라이더(21a)의 제조 방법을 간단히 설명한다. 우선, 알틱제의 웨이퍼에 알루미나막이 적층된다. 알루미나막 내에는 전자 변환 소자가 매립된다. 웨이퍼로부터 웨이퍼바가 절출된다. 웨이퍼바의 절단면에는 DLC막이 형성된다. 계속해서, 웨이퍼바의 절단면에는 부상면이 형성된다. 프론트 레일이나 리어 레일이 형성된다. 이렇게 해서, 도 11에 도시되는 바와 같이, 리어 레일(38)의 정상면에는 DLC 막(95)이 형성된다. DLC 막(95)의 막 두께는 전술한 제1 및 제2 막 두께보다 크게 설정되면 좋다.
그 후, 도 12에 도시되는 바와 같이, 부상면(34)은 정반(96)에 대향하게 된다. 이 때, 예컨대 전자 변환 소자(33)의 박막 코일(73)에는 전류가 공급된다. 그 결과, 전자 변환 소자(33)는 최대한 돌출된다. 이렇게 해서 DLC 막(95)에는 전자 변환 소자(33)의 돌출에 대응하는 돌기(97)가 형성된다. DLC 막(95)은 정반(96)에 압박된다. DLC 막(95)의 표면은 연마된다. 이렇게 해서 DLC 막(95)으로부터 돌기(97)는 깎인다.
DLC 막(95)의 막 두께의 설정에 대응하여 전자 변환 소자(33)의 전자 변환 특성이 관찰되면 좋다. 정반(96)의 표면에는 기록 자성층(도시되지 않음)이 형성된 다. 기록 자성층에는 예컨대 바이너리 정보가 기록된다. DLC 막(95)의 연마 중 DLC 막(95)의 막 두께가 감소함에 따라 판독 헤드(62)의 분해능은 높아진다. 분해능과 DLC 막(95)의 막 두께와의 관계는 미리 파악된다. 따라서, DLC 막(95)의 연마 중에 분해능이 관찰되면, DLC 막(95), 즉 제1 및 제2 보호막(91, 92)의 막 두께는 특정될 수 있다.
이렇게 해서 DLC 막(95)이 소정의 막 두께로 설정되면, DLC 막(95)은 정반(96)으로부터 분리된다. 박막 코일(73)을 향하여 전류의 공급은 정지된다. 전자 변환 소자(33)의 돌출은 해소된다. 전자 변환 소자(33) 상에서 돌기(97)의 분만큼 DLC 막(95)은 크게 연마된다. 전자 변환 소자(33)의 돌출이 해소되면, DLC 막(95)에는 전술한 오목부(93)가 형성된다. 그 후, 웨이퍼바로부터 슬라이더 본체(31)가 절출된다. 이렇게 해서 부상 헤드 슬라이더(21a)는 제조된다.
도 13에 도시되는 바와 같이, HDD(11)에는 부상 헤드 슬라이더(21, 21a) 대신에 본 발명의 제3 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더(21b)가 내장되어도 좋다. 부상 헤드 슬라이더(21b)에서는 제2 보호막(92)의 제2 막 두께는 제1 보호막(91)의 제1 막 두께보다 작게 설정된다. 여기서는, 제2 막 두께는 예컨대 5 nm 정도로 설정된다. 제1 막 두께는 예컨대 10 nm 정도로 설정된다. 제3 막 두께는 전술과 동일하게 예컨대 3 nm 정도로 설정된다. 이렇게 해서 전자 변환 소자(33)로부터 공기 유입측에서 제1 보호막(91)이 큰 막 두께로 형성되기 때문에, 전자 변환 소자(33)의 돌출시에 전자 변환 소자(33) 및 자기 디스크(13) 접촉의 확률은 각별히 저감된다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21a)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참 조 부호가 붙여진다.
도 14에 도시되는 바와 같이, HDD(11)에는 부상 헤드 슬라이더(21, 21a, 21b) 대신에 본 발명의 제4 실시형태에 따른 부상 헤드 슬라이더(21c)가 내장되어도 좋다. 부상 헤드 슬라이더(21c)에서는 제1 보호막(91)의 제1 막 두께 및 제2 보호막(92)의 제2 막 두께는 공기 유입측으로부터 공기 유출측을 향함에 따라 감소된다. 그 결과, 부상 헤드 슬라이더(21c)에서 소정의 피치 각(α)으로 부상 자세가 확립되면, 제1 및 제2 보호막(91, 92)의 표면, 즉 공기 베어링면(42)과 자기 디스크(13) 사이의 거리는 균일하게 설정될 수 있다. 이렇게 해서 전자 변환 소자(33)로부터 공기 유입측에서 제1 보호막(91)이 큰 막 두께로 형성되기 때문에, 전자 변환 소자(33)의 돌출시에 전자 변환 소자(33) 및 자기 디스크(13)의 접촉 확률은 각별히 저감된다. 기타, 전술한 부상 헤드 슬라이더(21a)와 균등한 구성이나 구조에는 동일한 참조 부호가 붙여진다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 헤드 소자의 손상을 회피할 수 있는 헤드 슬라이더가 제공된다.

Claims (9)

  1. 매체 대향면에서 기억 매체에 대향하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유출측 단면에 적층되는 절연성의 비자성막과,
    슬라이더 본체의 매체 대향면에 형성되고 슬라이더 본체의 공기 유출측단까지 연장되는 레일과,
    레일의 공기 유출측에서 비자성막에 매립되며 비자성막의 표면에서 적어도 기록 갭을 노출시키는 헤드 소자와,
    레일의 정상면에 피복되는 제1 막 두께의 제1 보호막과,
    제1 보호막에 연속하고 레일의 공기 유출측에서 비자성막의 표면에 피복되는 제1 막 두께의 제2 보호막과,
    레일의 공기 유출측에서 기록 갭에 피복되는 제1 막 두께보다 작은 제2 막 두께의 제3 보호막
    을 포함하며,
    제1 막 두께와 제2 막 두께의 차이가 헤드 소자의 최대 돌출량과 동일하게 설정되는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  2. 매체 대향면에서 기억 매체에 대향하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유출측 단면에 적층되는 절연성의 비자성막과,
    슬라이더 본체의 매체 대향면에 형성되고 슬라이더 본체의 공기 유출측단까지 연장되는 레일과,
    레일의 공기 유출측에서 비자성막에 매립되며 비자성막의 표면에서 적어도 기록 갭을 노출시키는 헤드 소자와,
    레일의 정상면에 피복되는 제1 막 두께의 제1 보호막과,
    제1 보호막에 연속하고 레일의 공기 유출측에서 비자성막의 표면에 피복되는 제1 막 두께의 제2 보호막과,
    레일의 공기 유출측에서 기록 갭에 피복되는 제1 막 두께보다 작은 제2 막 두께의 제3 보호막
    을 포함하며, 제1 막 두께와 제2 막 두께의 차이가 헤드 소자의 최대 돌출량과 동일하게 설정되는 헤드 슬라이더가 내장된 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치.
  3. 매체 대향면에서 기억 매체에 대향하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유출측 단면에 적층되는 절연성의 비자성막과,
    슬라이더 본체의 매체 대향면에 형성되고 슬라이더 본체의 공기 유출측단까지 연장되는 레일과,
    레일의 정상면에 피복되는 제1 보호막과,
    제1 보호막에 연속하며 레일의 공기 유출측에서 비자성막의 표면에 피복되는 제2 보호막과,
    적어도 부분적으로 제2 보호막으로 구획되는 오목부와,
    레일의 공기 유출측에서 비자성막에 매립되고 오목부 내에 적어도 기록 갭을 배치하는 헤드 소자
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제2 보호막의 막 두께는 상기 제1 보호막의 막 두께보다 작게 설정되는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제1 보호막 및 제2 보호막의 막 두께는 상기 레일의 공기 유입측으로부터 공기 유출측을 향함에 따라 감소하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
  6. 매체 대향면에서 기억 매체에 대향하는 슬라이더 본체와,
    슬라이더 본체의 공기 유출측 단면에 적층되는 절연성의 비자성막과,
    슬라이더 본체의 매체 대향면에 형성되고 슬라이더 본체의 공기 유출측단까지 연장되는 레일과,
    레일의 정상면에 피복되는 제1 보호막과,
    제1 보호막에 연속하며 레일의 공기 유출측에서 비자성막의 표면에 피복되는 제2 보호막과,
    적어도 부분적으로 제2 보호막으로 구획되는 오목부와,
    레일의 공기 유출측에서 비자성막에 매립되고 오목부 내에 적어도 기록 갭을 배치하는 헤드 소자
    를 포함하는 헤드 슬라이더가 내장된 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2 보호막의 막 두께는 상기 제1 보호막의 막 두께보다 작게 설정되는 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 제1 보호막 및 제2 보호막의 막 두께는 상기 레일의 공기 유입측으로부터 공기 유출측을 향함에 따라 감소하는 것을 특징으로 하는 기억 매체 구동 장치.
  9. 슬라이더 본체에 구획되는 레일의 정상면 및 슬라이더 본체의 공기 유출 단면에 적층되어 상기 레일의 공기 유출측에서 헤드 소자의 전단을 노출시키는 절연성의 비자성막의 표면에, 헤드 소자의 전단에 피복되는 보호막을 형성하는 공정과,
    비자성막의 표면으로부터 헤드 소자를 돌출시키면서 보호막의 표면을 연마하고, 헤드 소자의 전단에 피복되는 보호막의 두께를 감소시키는 공정
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더의 제조 방법.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050088375A (ko) * 2005-06-08 2005-09-05 후지쯔 가부시끼가이샤 자기 헤드 슬라이더
JP2006260617A (ja) 2005-03-15 2006-09-28 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ディスク装置並びに磁気ヘッドスライダ及びその製造方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004079090A (ja) * 2002-08-20 2004-03-11 Hitachi Ltd 記録再生分離型磁気ヘッド
US6836389B2 (en) * 2002-09-27 2004-12-28 Seagate Technology Llc Slider basecoat for thermal PTR reduction
AU2003211237A1 (en) * 2003-02-19 2004-09-09 Fujitsu Limited Magnetic head slider
US7086931B2 (en) * 2003-04-18 2006-08-08 Tdk Corporation Magnetic head bar holding unit, lapping device, and method of lapping medium-opposing surface of thin-film magnetic head

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006260617A (ja) 2005-03-15 2006-09-28 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv 磁気ディスク装置並びに磁気ヘッドスライダ及びその製造方法
KR20050088375A (ko) * 2005-06-08 2005-09-05 후지쯔 가부시끼가이샤 자기 헤드 슬라이더

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