WO2007132501A1 - ヘッドスライダの製造方法およびヘッドスライダ - Google Patents

ヘッドスライダの製造方法およびヘッドスライダ Download PDF

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WO2007132501A1
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head slider
slider
manufacturing
corner
head
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Hiroki Hashimoto
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Fujitsu Limited
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    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
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    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G11B5/6082—Design of the air bearing surface

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a head slider incorporated in, for example, a node disk drive (HDD).
  • HDD node disk drive
  • the head slider faces the surface of a hard disk (HD) at the medium facing surface.
  • the corner of the medium facing surface is chamfered.
  • An inclined surface is formed based on the chamfering. Even if the head slider comes into contact with the surface of the HD, damage to the HD is suppressed by the action of the inclined surface.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-306226
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 4-134770
  • Patent Document 3 Pamphlet of International Publication No. 2000Z60582
  • Patent Document 4 Japanese Patent Laid-Open No. 8-221729
  • the corners of the head slider are rubbed against a surface plate, for example.
  • a slurry containing abrasive grains is dropped on the surface plate.
  • the slurry covers the inclined surface.
  • the shape of the inclined surface cannot be confirmed.
  • the head slider must be cleaned before checking. It takes time to chamfer.
  • the head slider is characterized by comprising at least a step of irradiating laser light to the corner of the back surface of the head slider that defines the medium facing surface on the front surface.
  • the chamfering of the head slider can be accurately and accurately performed based on such conditions. Can be implemented. In addition, a large number of head sliders can be easily chamfered under the same conditions.
  • the head slider may be made of a material that melts upon irradiation with laser light and generates contraction stress upon solidification.
  • the laser beam may be irradiated in a dot shape or a linear shape.
  • a method of manufacturing a head slider comprising the step of forming a cut in a corner of the medium facing surface of the head slider.
  • the chamfering of the head slider can be accurately performed based on these conditions. At the same time, it is possible to easily chamfer multiple head sliders under the same conditions.
  • the focused surface is irradiated with a focused ion beam when forming the notch.
  • the slider main body and the chamfered portion formed on the air outflow end side corner on the medium facing surface defined by the slider main body based on the irradiation of the laser beam are provided.
  • a head slider can be provided.
  • the chamfered portion should be formed with a curved surface.
  • such a head slider can be incorporated into a node disk drive and a storage device.
  • FIG. 1 is a plan view schematically showing an example of a recording medium driving device, that is, an internal structure of a hard disk driving device.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing the structure of a flying head slider according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a partially enlarged perspective view schematically showing a state in which laser light is radiated to the corners of the slider body in a dot shape.
  • FIG. 4 is a partially enlarged perspective view schematically showing how the corners of the slider body are chamfered based on melting.
  • FIG. 5 is a partially enlarged perspective view schematically showing a state in which laser light is linearly applied to the corner of the slider body.
  • FIG. 6 is a partially enlarged perspective view schematically showing a state in which a cut is formed in a corner of the slider body.
  • FIG. 7 is a partially enlarged perspective view schematically showing that the corners of the slider body are chamfered based on the notches.
  • FIG. 8 is a perspective view schematically showing the structure of a flying head slider according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 schematically shows an internal structure of a specific example of a recording medium driving device, that is, a hard disk driving device (HDD) 11.
  • the HDD 11 includes a box-shaped housing body 12 that partitions, for example, a flat rectangular parallelepiped internal space.
  • the housing body 12 may be formed based on fabrication from a metal material such as aluminum.
  • the housing body 12 has a lid or cover ( (Not shown) are combined.
  • the housing space is sealed between the cover and the housing body 12.
  • the force bar may be formed by pressing one plate material based on press working.
  • one or more magnetic disks 13 as recording media are accommodated.
  • the magnetic disk 13 is mounted on the rotating shaft of the spindle motor 14.
  • the spindle motor 14 can rotate the magnetic disk 13 at a high speed such as 5 400 rpm, 7200 rpm, or lOOOO rpm.
  • a head actuating member that is, a carriage 15, is further accommodated in the accommodating space.
  • the carriage 15 includes a carriage block 16.
  • the carriage block 16 is rotatably connected to a support shaft 17 extending in the vertical direction.
  • a plurality of carriage arms 18 extending in the horizontal direction from the support shaft 17 are defined in the carriage block 16.
  • Such a carriage block 16 may be formed of aluminum force based on, for example, fabrication.
  • a head suspension 19 extending forward from the carriage arm 18 is attached to the tip of each carriage arm 18.
  • a so-called gimbal spring (not shown) is connected to the tip of the head suspension 19.
  • the flying head slider 21 is fixed to the surface of the gimbal spring.
  • Such a gimbal spring allows the flying head slider 21 to change its posture with respect to the head suspension 19.
  • the flying head slider 21 is mounted with any magnetic head, that is, an electromagnetic transducer (not shown).
  • This electromagnetic conversion element is composed of a writing element and a reading element.
  • a writing element for example, a thin film magnetic head for writing information to the magnetic disk 13 using a magnetic field generated by a thin film coil pattern may be used!
  • the read element is a giant magnetoresistive (GMR) element or a tunnel junction magnetoresistive (TMR) element that reads information from the magnetic disk 13 using the resistance change of the spin valve film or tunnel junction film Good.
  • GMR giant magnetoresistive
  • TMR tunnel junction magnetoresistive
  • a power source that is, a voice coil motor (VCM) 22 is connected to the carriage block 16.
  • VCM 22 The carriage block 16 can rotate around the support shaft 17 by the action of the VCM 22.
  • the carriage arm 18 and the head suspension 19 are swung.
  • the flying head slider 21 can cross the surface of the magnetic disk 13 in the radial direction.
  • the electromagnetic transducer is positioned on the target recording track.
  • a load tab 23 extending from the front end of the head suspension 19 to the front is fixed to the front end of the head suspension 19.
  • the load tab 23 can move in the radial direction of the magnetic disk 13 based on the swing of the carriage arm 18.
  • a ramp member 24 is disposed outside the magnetic disk 13.
  • the ramp member 24 and the load tab 23 cooperate to form a so-called load / unload mechanism.
  • the lamp member 24 may be molded from a hard plastic material.
  • the flying head slider 21 includes a slider main body 31 formed in a flat rectangular parallelepiped, for example, as shown in FIG.
  • the slider body 31 faces the magnetic disk 13 at the medium facing surface, that is, the air bearing surface 32.
  • a flat base surface 33 is defined on the air bearing surface 32.
  • the slider body 31 is made of, for example, a base material 35 made of Al 2 O—TiC (altic) and an air outflow side end face of the base material 35.
  • one front rail 37 rises from the base surface 33 on the upstream side of the air flow 34, that is, on the air inflow side.
  • the front rail 37 extends in the left-right direction across the airflow 34 along the air inflow end of the base surface 33.
  • a pair of rear side rails 38 and 38 rise from the base surface 33 on the downstream side of the air flow 34, that is, on the air outflow side.
  • the rear side rail 38 is disposed along the edge of the base surface 33.
  • the rear center rail 39 rises with the base surface 33 force.
  • the rear center rail 39 extends in the front-rear direction from the air outflow end of the base surface 33 toward the air inflow side.
  • the front rail 37 is in contact with two side rails 41 and 41 that rise from the base surface 33. Continued.
  • the side rails 41 and 41 extend in the front-rear direction along the edge of the base surface 33 from the front rail 37 toward the rear side rails 38 and 38, respectively.
  • the side rails 41, 41 are interrupted before the corresponding rear side rails 38, 38. Thus, an airflow escape path is secured between the side rail 41 and the corresponding rear side rail 38.
  • the side rails 41 and 41 may extend in parallel to each other.
  • ABS air bearing surface 43, 44, and 45 forces are defined on the top surfaces of the front rail 37, the rear side rail 38, and the rear center rail 39.
  • ABS43, 44, 45 spreads in one imaginary plane extending parallel to the base surface 33 at a fixed distance from the base surface 33.
  • the air inflow ends of ABS 43, 44 and 45 are connected to the top surfaces of rails 37, 38 and 39 by steps 46, 47 and 48, respectively.
  • the heights of the steps 46, 47, and 48 may be defined to be equal.
  • the slider body 31 is mounted with the above-described electromagnetic conversion element, that is, the read / write head element 49.
  • the read / write head element 49 is embedded in the alumina film 36 of the slider body 31.
  • the read gap and write gap of the read / write head element 49 are exposed at the ABS 45 of the rear center rail 39.
  • a DLC (Diamond-Like Force One Bonn) protective film that covers and covers the front edge of the read / write head element 49 may be formed.
  • Chamfered portions that is, curved surfaces 51, 51 are formed at two corners on the air outflow end side of the air bearing surface 32, that is, the base surface 33.
  • the curvature of the curved surface 51 is set to a predetermined value.
  • the curved surface 51 is connected to the base surface 33, the side surface of the flying head slider 21, and the end surface on the air outflow side.
  • the bay curved surface 51 is formed across the base material 35 and the alumina film 36. Chamfering is performed to form the curved surface 51. Details of the chamfering method will be described later.
  • the air flow 34 is generated along the surface of the magnetic disk 13.
  • the air flow 34 flows along the air bearing surface 32 of the slider body 31.
  • a relatively large positive pressure that is, buoyancy is generated in the ABSs 43, 44, 45 by the steps 46, 47, 48.
  • a large negative pressure is generated behind the front rail 37, that is, behind the front rail 37.
  • the flying attitude that is, the pitch angle of the flying head slider 21 is established.
  • the pitch angle refers to the inclination angle of the slider body 31 in the front-rear direction along the airflow direction.
  • the slider body 31 is closest to the magnetic disk 13 at the air outflow end.
  • the sharp apex at the corner of the base surface 33 is rounded by the action of the curved surface 51.
  • damage to the flying head slider 21 and the magnetic disk 13 can be sufficiently suppressed.
  • the impact resistance of HDD11 can be sufficiently enhanced.
  • the Altic particles fall off at the corner of the head slider 21 due to the impact of the contact. If the curved surface 51 is formed in advance at the sharp apex while applying a force, dropping of the Altic particles can be suppressed.
  • a moment is generated in the flying head slider 21 by the reaction of the contact between the curved surface 51 and the magnetic disk 13. These moments are kept small compared to the sharp apex and when the magnetic disk 13 is in contact. As a result, the change in the flying posture of the flying head slider 21 is suppressed.
  • a method for manufacturing the flying head slider 21 will be briefly described.
  • a wafer bar is cut from the wafer.
  • a plurality of read / write head elements 49 are formed on the wafer bar.
  • An air bearing surface 32 is formed on the cut surface of the wafer bar based on, for example, photolithography.
  • Front rail 37, rear side rail 38, and rear center rail 39 are formed.
  • the individual slider main bodies 31 are also cut into the wafer bar force.
  • a dotted laser beam 61 is applied to the corner of the back surface of the slider body 31 that defines the air bearing surface 32 on the front surface.
  • the laser beam 61 is directed toward the base material 35 at a position close to the boundary between the base material 35 and the alumina film 36.
  • the irradiation time of the laser beam 61 is set to a predetermined time.
  • the laser beam 61 for example, a YAG laser beam is used.
  • the base material 35 that is, Altic is melted in and around the irradiation region of the laser beam 61.
  • the molten Altic is immediately solidified in the slider body 31.
  • a shrinkage stress is generated in the slider body 31 when the Altic is solidified.
  • the corners of the slider body 31 warp.
  • the corner of the air bearing surface 32 is chamfered.
  • Curved surfaces 51 are formed at the corners of the air bearing surface 32 of the slider body 31.
  • the slider main body 31 is not provided with the label for chamfering.
  • the light 61 is irradiated.
  • the corners of the slider body 31 melt.
  • a curved surface 51 is formed based on the melting.
  • the shape of the curved surface 51 can be clearly observed.
  • the process can be repeated any number of times until the desired shape is reached. As a result, the chamfering force S can be easily applied with high accuracy.
  • the curved surface 51 of the slider body 31 can be accurately and accurately based on such conditions. Can be formed. At the same time, a large number of slider bodies 31 can be easily chamfered under the same conditions.
  • the laser beam 61 may be irradiated linearly.
  • the laser light 61 may be irradiated linearly in a direction crossing the edges of the base surfaces 33 intersecting each other, for example.
  • a prism lens may be used for irradiation.
  • the curved surface 51 can be formed at the corner of the slider body 31 as described above.
  • the slider body 31 may be formed with cuts or grooves 62 at the corners of the air bearing surface 32.
  • the slider body 31 may be irradiated with a focused ion beam.
  • the grooves 62 should be formed in a straight line in the direction crossing the edges of the base surfaces 33 that intersect each other.
  • the flying head slider 21 is manufactured.
  • a focused ion beam is irradiated when chamfering is performed.
  • Grooves 62 are formed at the corners of the slider body 31.
  • a curved surface 51 is formed based on the groove 62. The shape of the curved surface 51 can be clearly observed. The process can be repeated any number of times until the desired shape is reached. As a result, easy chamfering with high accuracy Can be applied.
  • the curved surface 51 of the slider body 31 can be determined based on such conditions. It can be formed accurately. At the same time, a number of slider bodies 31 can be easily chamfered under the same conditions.
  • curved surfaces 63 and 63 may be formed at the two corners of the slider body 31 on the air inflow end side. In this way, chamfering may be performed at the four corners of the air bearing surface 32. According to this flying head slider 21a, as described above, even if the flying head slider 21a collides with the magnetic disk 13 on the curved surface 51, damage to the flying head slider 2la and the magnetic disk 13 is sufficiently suppressed. Can be done.

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Abstract

　ヘッドスライダ（２３）の裏面の隅にレーザ光（６１）が照射される。こうしてヘッドスライダ（２３）の隅は部分的に溶融する。溶融部分は固化する。ヘッドスライダ（２３）の隅はヘッドスライダ（２３）の裏面側に反り返る。その結果、媒体対向面（３２）の隅は面取りされる。このとき、面取りの形状は明確に観察されることができる。所望の形状に到達するまで何回でも処理が繰り返されることができる。その結果、高い精度で簡単に面取りが施されることができる。

Description

明 細 書
ヘッドスライダの製造方法およびヘッドスライダ
技術分野
[0001] 本発明は、例えばノヽードディスク駆動装置 (HDD)に組み込まれるヘッドスライダの 製造方法に関する。
背景技術
[0002] 例えば特許文献 1に開示されるように、ヘッドスライダは媒体対向面でハードデイス ク (HD)の表面に向き合わせられる。ヘッドスライダでは媒体対向面の隅は面取りさ れる。面取りに基づき傾斜面が形成される。たとえヘッドスライダが HDの表面に接触 しても、傾斜面の働きで HDの損傷は抑制される。
特許文献 1 :日本国特開 2000— 306226号公報
特許文献 2 :日本国特開平 4— 134770号公報
特許文献 3：国際公開第 2000Z60582号パンフレット
特許文献 4:日本国特開平 8— 221729号公報
発明の開示
[0003] 面取りにあたってヘッドスライダの隅は例えば定盤に擦り当てられる。定盤上には砥 粒を含むスラリーが滴下される。スラリーは傾斜面を覆う。傾斜面の形状は確認される ことができない。確認にあたってヘッドスライダは洗浄されなければならない。面取り にあたって手間が力かる。
[0004] 本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、高い精度で簡単に媒体対向面の隅 を面取りすることができるヘッドスライダの製造方法を提供することを目的とする。本 発明は、そういった製造方法に基づき面取りされるヘッドスライダを提供することを目 的とする。
[0005] 上記目的を達成するために、第 1発明によれば、表面で媒体対向面を規定するへ ッドスライダの裏面の隅にレーザ光を照射する工程を少なくとも備えることを特徴とす るヘッドスライダの製造方法が提供される。
[0006] こうした製造方法によれば、ヘッドスライダの裏面の隅にレーザ光が照射される。こ うしてヘッドスライダの隅は部分的に溶融する。溶融部分は固化する。ヘッドスライダ の隅はヘッドスライダの裏面側に反り返る。その結果、媒体対向面の隅は面取りされ る。このとき、面取りの形状は明確に観察されることができる。所望の形状に到達する まで何回でも処理が繰り返されることができる。その結果、高い精度で簡単に面取り 力 S施されることができる。
[0007] し力も、所望の形状に応じて例えばレーザ光の照射時間や照射エネルギ、照射回 数といった条件が予め把握されれば、そういった条件に基づきヘッドスライダの面取 りは高い精度で正確に実施されることができる。加えて、多数のヘッドスライダに同一 の条件で簡単に面取りが施されることができる。
[0008] カロえて、ヘッドスライダの溶融に際して塵埃の発生は回避される。ヘッドスライダの 媒体対向面に塵埃の付着は防止される。その一方で、例えばラッピング処理にあた つてヘッドスライダは砲粒に擦り付けられる。塵埃が生成される。塵埃は媒体対向面 に付着してしまう。媒体対向面は汚染されてしまう。
[0009] こういった製造方法では、ヘッドスライダには、レーザ光の照射に基づき溶融し、固 化に際して収縮応力を発生させる材料が用いられればよい。レーザ光は点状に照射 されてもよく、線状に照射されてもよい。
[0010] 第 2発明によれば、ヘッドスライダの媒体対向面の隅に切れ込みを形成する工程を 備えることを特徴とするヘッドスライダの製造方法が提供される。
[0011] 媒体対向面の隅に切れ込みが形成されると、切れ込みに基づきヘッドスライダの表 面では残留応力が開放される。その結果、媒体対向面の隅は面取りされる。このとき 、面取りの形状は明確に観察されることができる。所望の形状に到達するまで何回で も処理は繰り返されることができる。その結果、高い精度で簡単に面取りが施されるこ とがでさる。
[0012] し力も、所望の形状に応じて例えば切れ込みの長さや幅、形成場所といった条件 が予め把握されれば、そういった条件に基づきヘッドスライダの面取りは正確に実施 されることができる。同時に、多数のヘッドスライダに同一の条件で簡単に面取りが施 されることができる。こうした製造方法では、切れ込みの形成にあたって、媒体対向面 には集束イオンビームが照射されればょ 、。 [0013] 以上のような製造方法によれば、スライダ本体と、スライダ本体に規定される媒体対 向面で空気流出端側の隅にレーザ光の照射に基づき形成される面取り部とを備える ことを特徴とするヘッドスライダが提供されることができる。こうしたヘッドスライダでは、 面取り部は湾曲面で形成されればょ ヽ。こうしたヘッドスライダは例えばノヽードデイス ク駆動装置と 、つた記憶装置に組み込まれればよ 、。
図面の簡単な説明
[0014] [図 1]記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置の内部構造を 概略的に示す平面図である。
[図 2]本発明の一実施形態に係る浮上ヘッドスライダの構造を概略的に示す斜視図 である。
[図 3]スライダ本体の隅に点状にレーザ光を照射する様子を概略的に示す部分拡大 斜視図である。
[図 4]溶融に基づきスライダ本体の隅に面取りが施される様子を概略的に示す部分 拡大斜視図である。
[図 5]スライダ本体の隅に線状にレーザ光を照射する様子を概略的に示す部分拡大 斜視図である。
[図 6]スライダ本体の隅に切れ込みを形成する様子を概略的に示す部分拡大斜視図 である。
[図 7]切れ込みに基づきスライダ本体の隅に面取りが施される様子を概略的に示す 部分拡大斜視図である。
[図 8]本発明の他の実施形態に係る浮上ヘッドスライダの構造を概略的に示す斜視 図である。
発明を実施するための最良の形態
[0015] 以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明する。
[0016] 図 1は記録媒体駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置 (HDD) 11 の内部構造を概略的に示す。この HDD11は、例えば平たい直方体の内部空間を 区画する箱形の筐体本体 12を備える。筐体本体 12は例えばアルミニウムといった金 属材料から铸造に基づき成形されればよい。筐体本体 12には蓋体すなわちカバー（ 図示されず）が結合される。カバーと筐体本体 12との間で収容空間は密閉される。力 バーは例えばプレス加工に基づき 1枚の板材力 成形されればよい。
[0017] 収容空間には記録媒体としての 1枚以上の磁気ディスク 13が収容される。磁気ディ スク 13はスピンドルモータ 14の回転軸に装着される。スピンドルモータ 14は例えば 5 400rpmや 7200rpm、 lOOOOrpmといった高速度で磁気ディスク 13を回転させるこ とがでさる。
[0018] 収容空間にはヘッドァクチユエ一タ部材すなわちキャリッジ 15がさらに収容される。
このキャリッジ 15はキャリッジブロック 16を備える。キャリッジブロック 16は、垂直方向 に延びる支軸 17に回転自在に連結される。キャリッジブロック 16には、支軸 17から 水平方向に延びる複数のキャリッジアーム 18が区画される。こういったキャリッジブロ ック 16は例えば铸造に基づきアルミニウム力も成型されればよい。
[0019] 個々のキャリッジアーム 18の先端には、キャリッジアーム 18から前方に延びるヘッド サスペンション 19が取り付けられる。ヘッドサスペンション 19の先端にはいわゆるジン バルばね（図示されず）が接続される。ジンバルばねの表面に浮上ヘッドスライダ 21 は固定される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ 21はヘッドサスペン シヨン 19に対してその姿勢を変化させることができる。
[0020] 浮上ヘッドスライダ 21には ヽゎゆる磁気ヘッドすなわち電磁変換素子（図示されず )が搭載される。この電磁変換素子は書き込み素子および読み出し素子で構成され る。書き込み素子には、例えば、薄膜コイルパターンで生成される磁界を利用して磁 気ディスク 13に情報を書き込む薄膜磁気ヘッドが利用されればよ!、。読み出し素子 には、スピンバルブ膜やトンネル接合膜の抵抗変化を利用して磁気ディスク 13から 情報を読み出す巨大磁気抵抗効果 (GMR)素子やトンネル接合磁気抵抗効果 (TM R)素子が利用されればよい。
[0021] 磁気ディスク 13の回転に基づき磁気ディスク 13の表面で気流が生成されると、気 流の働きで浮上ヘッドスライダ 21には正圧すなわち浮力および負圧が作用する。浮 力および負圧とヘッドサスペンション 19の押し付け力とが釣り合うことで磁気ディスク 13の回転中に比較的に高 、剛性で浮上ヘッドスライダ 21は浮上し続けることができ る。 [0022] キャリッジブロック 16には動力源すなわちボイスコイルモータ（VCM) 22が接続さ れる。この VCM22の働きでキャリッジブロック 16は支軸 17回りで回転することができ る。こうしたキャリッジブロック 16の回転に基づきキャリッジアーム 18およびヘッドサス ペンション 19の揺動は実現される。支軸 17回りでキャリッジアーム 18が揺動すると、 浮上ヘッドスライダ 21は半径方向に磁気ディスク 13の表面を横切ることができる。こう した浮上ヘッドスライダ 21の半径方向移動に基づき電磁変換素子は目標の記録トラ ックに位置決めされる。
[0023] ヘッドサスペンション 19の先端には、ヘッドサスペンション 19の先端から前方に延 びるロードタブ 23が固定される。ロードタブ 23はキャリッジアーム 18の揺動に基づき 磁気ディスク 13の半径方向に移動することができる。ロードタブ 23の移動経路上に は磁気ディスク 13の外側でランプ部材 24が配置される。ランプ部材 24およびロード タブ 23は協働で 、わゆるロードアンロード機構を構成する。ランプ部材 24は例えば 硬質プラスチック材料から成型されればょ ヽ。
[0024] 次に浮上ヘッドスライダ 21の構造を詳述する。この浮上ヘッドスライダ 21は、例え ば図 2に示されるように、平たい直方体に形成されるスライダ本体 31を備える。スライ ダ本体 31は媒体対向面すなわち浮上面 32で磁気ディスク 13に向き合う。浮上面 32 には平坦なベース面 33が規定される。磁気ディスク 13が回転すると、スライダ本体 3 1の前端力も後端に向力つて浮上面 32には気流 34が作用する。スライダ本体 31は、 例えば Al O—TiC (アルチック)製の母材 35と、この母材 35の空気流出側端面に
2 3
積層される Al O (アルミナ)膜 36とで構成されればよい。
2 3
[0025] スライダ本体 31の浮上面 32では気流 34の上流側すなわち空気流入側でベース 面 33から 1筋のフロントレール 37が立ち上がる。フロントレール 37はベース面 33の 空気流入端に沿って気流 34を横切る左右方向に延びる。同様に、気流 34の下流側 すなわち空気流出側ではベース面 33から 1対のリアサイドレール 38、 38が立ち上が る。リアサイドレール 38はベース面 33の縁に沿って配置される。リアサイドレール 38 同士の間ではベース面 33力もリアセンターレール 39が立ち上がる。リアセンターレー ル 39はベース面 33の空気流出端から空気流入側に向かって前後方向に延びる。
[0026] フロントレール 37には、ベース面 33から立ち上がる 2筋のサイドレール 41、 41が接 続される。サイドレール 41、 41はベース面 33の縁に沿ってフロントレール 37からリア サイドレール 38、 38に向力つてそれぞれ前後方向に延びる。サイドレール 41、 41は 対応するリアサイドレール 38、 38の手前で途切れる。こうしてサイドレール 41と対応 のリアサイドレール 38との間には気流の逃げ道が確保される。サイドレール 41、 41は 相互に平行に延びればよい。
[0027] フロントレール 37、リアサイドレール 38およびリアセンターレール 39の頂上面には いわゆる ABS (空気軸受け面） 43、 44、 45力規定される。 ABS43、 44、 45はべ一 ス面 33から一定の距離でベース面 33に平行に広がる 1仮想平面内で広がる。 ABS 43、 44、 45の空気流入端は段差 46、 47、 48でレール 37、 38、 39の頂上面に接続 される。ここでは、段差 46、 47、 48の高さは等しく規定されればよい。
[0028] スライダ本体 31には前述の電磁変換素子すなわち読み出し書き込みヘッド素子 4 9が搭載される。この読み出し書き込みヘッド素子 49はスライダ本体 31のアルミナ膜 36内に埋め込まれる。読み出し書き込みヘッド素子 49の読み出しギャップや書き込 みギャップはリアセンターレール 39の ABS45で露出する。ただし、 ABS45の表面に は、読み出し書き込みヘッド素子 49の前端に覆 、被さる DLC (ダイヤモンドライク力 一ボン)保護膜が形成されてもょ ヽ。
[0029] 浮上面 32すなわちベース面 33の空気流出端側の 2隅には面取り部すなわち湾曲 面 51、 51が形成される。湾曲面 51の曲率は所定値に設定される。湾曲面 51は、ベ ース面 33、浮上ヘッドスライダ 21の側面および空気流出側の端面に接続される。湾 曲面 51は母材 35およびアルミナ膜 36に跨って形成される。湾曲面 51の形成にあた つて面取りが施される。面取り方法の詳細は後述される。
[0030] 磁気ディスク 13が回転すると、磁気ディスク 13の表面に沿って気流 34が生成され る。気流 34はスライダ本体 31の浮上面 32に沿って流れる。このとき、段差 46、 47、 4 8の働きで ABS43、 44、 45には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。し 力も、フロントレール 37の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮 力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ 21の浮上姿勢すなわちピッチ 角は確立される。ピッチ角は気流の流れ方向に沿ったスライダ本体 31の前後方向の 傾斜角をいう。スライダ本体 31は空気流出端で最も磁気ディスク 13に接近する。 [0031] 以上のような浮上ヘッドスライダ 21では、湾曲面 51の働きでベース面 33の隅の鋭 利な頂点が丸められる。その結果、たとえ浮上ヘッドスライダ 21が湾曲面 51で磁気 ディスク 13に衝突しても、浮上ヘッドスライダ 21や磁気ディスク 13の損傷は十分に抑 制されることができる。 HDD11の耐衝撃性は十分に高められることができる。
[0032] しカゝも、鋭利な頂点が磁気ディスク 13に接触すると、接触の衝撃で浮上へッドスライ ダ 21の隅でアルチック粒子が脱落してしまう。し力しながら、鋭利な頂点に予め湾曲 面 51が形成されれば、アルチック粒子の脱落は抑制されることができる。
[0033] 例えば湾曲面 51および磁気ディスク 13の接触の反動で浮上ヘッドスライダ 21には モーメントが生成される。こうしたモーメントは鋭利な頂点および磁気ディスク 13の接 触時に比べて小さく抑えられる。その結果、浮上ヘッドスライダ 21の浮上姿勢の変化 は抑制される。
[0034] 次に浮上ヘッドスライダ 21の製造方法を簡単に説明する。まず、ウェハからウェハ バーが切り出される。ウェハバーには複数の読み出し書き込みヘッド素子 49が形成 される。ウェハバーの切断面には例えばフォトリソグラフィ法に基づき浮上面 32が形 作られる。フロントレール 37やリアサイドレール 38、リアセンターレール 39が形作られ る。その後、ウェハバー力も個々のスライダ本体 31が切り分けられる。
[0035] 図 3に示されるように、表面で浮上面 32を規定するスライダ本体 31の裏面の隅に 点状のレーザ光 61が照射される。レーザ光 61は、例えば母材 35およびアルミナ膜 3 6の境界に近い位置で母材 35に向力つて照射される。レーザ光 61の照射時間は所 定の時間に設定される。レーザ光 61には例えば YAGレーザ光が用いられる。その 結果、レーザ光 61の照射領域およびその周囲で母材 35すなわちアルチックは溶融 する。
[0036] レーザ光 61の照射が終了すると、スライダ本体 31では溶融したアルチックはすぐさ ま固化する。このとき、アルチックの固化に際してスライダ本体 31では収縮応力が発 生する。その結果、図 4に示されるように、スライダ本体 31の隅は反り返る。浮上面 32 の隅には面取りが施される。スライダ本体 31の浮上面 32の隅には湾曲面 51が形成 される。こうして浮上ヘッドスライダ 21が製造される。
[0037] 以上のような製造方法によれば、面取りの実施にあたってスライダ本体 31にはレー ザ光 61が照射される。スライダ本体 31の隅は溶融する。溶融に基づき湾曲面 51が 形成される。湾曲面 51の形状は明確に観察されることができる。所望の形状に到達 するまで何回でも処理は繰り返されることができる。その結果、高い精度で簡単に面 取り力 S施されることができる。
[0038] し力も、所望の形状に応じて例えばレーザ光 61の照射時間や照射エネルギ、照射 回数といった条件が予め把握されれば、そういった条件に基づきスライダ本体 31の 湾曲面 51は高い精度で正確に形成されることができる。同時に、多数のスライダ本 体 31に同一の条件で簡単に面取りが施されることができる。
[0039] カロえて、スライダ本体 31の溶融に際して塵埃の発生は回避される。例えばスライダ 本体 31の浮上面 32に塵埃の付着は防止される。その一方で、例えばラッピング処理 にあたってスライダ本体は砥粒に擦り付けられる。塵埃が生成される。塵埃は浮上面 32に付着してしまう。浮上面 32は汚染されてしまう。
[0040] その他、図 5に示されるように、レーザ光 61は線状に照射されてもよい。レーザ光 6 1は、例えば相互に交差するベース面 33の縁を横切る方向に直線状に照射されれ ばよい。照射にあたって例えばプリズムレンズが利用されればよい。こうして、前述と 同様に、スライダ本体 31の隅には湾曲面 51が形成されることができる。
[0041] その他、図 6に示されるように、湾曲面 51の形成にあたって、スライダ本体 31には 浮上面 32の隅に切れ込みすなわち溝 62が形成されてもよい。溝 62の形成にあたつ てスライダ本体 31には集束イオンビームが照射されればよい。溝 62は、相互に交差 するベース面 33の縁を横切る方向に直線状に形成されればょ 、。
[0042] こうした溝 62の働きで、スライダ本体 31の浮上面 32では母材 35やアルミナ膜 36の 表面でスライダ本体 31内の残留応力が解放される。その結果、図 7に示されるよう〖こ 、浮上面 32の隅は湾曲する。浮上面 32の隅は面取りされる。スライダ本体 31には湾 曲面 51が形成される。こうして浮上ヘッドスライダ 21は製造される。
[0043] 以上のような製造方法によれば、面取りの実施にあたって集束イオンビームが照射 される。スライダ本体 31の隅に溝 62が形成される。溝 62に基づき湾曲面 51が形成さ れる。湾曲面 51の形状は明確に観察されることができる。所望の形状に到達するま で何回でも処理は繰り返されることができる。その結果、高い精度で簡単に面取りが 施されることができる。
[0044] しカゝも、所望の形状に応じて例えば溝 62の長さや幅、形成場所と!/ヽつた条件が予 め把握されれば、そういった条件に基づきスライダ本体 31の湾曲面 51は正確に形成 されることができる。同時に、多数のスライダ本体 31に同一の条件で簡単に面取りが 施されることができる。
[0045] その他、図 8に示されるように、スライダ本体 31の空気流入端側の 2隅にも湾曲面 6 3、 63が形成されてもよい。こうして浮上面 32の 4隅で面取りが施されてもよい。こうい つた浮上ヘッドスライダ 21aによれば、前述と同様に、たとえ浮上ヘッドスライダ 21aが 湾曲面 51で磁気ディスク 13に衝突しても、浮上ヘッドスライダ 2 laや磁気ディスク 13 の損傷は十分に抑制されることができる。

Claims

請求の範囲
[1] 表面で媒体対向面を規定するヘッドスライダの裏面の隅にレーザ光を照射するェ 程を少なくとも備えることを特徴とするヘッドスライダの製造方法。
[2] 請求の範囲第 1項に記載のヘッドスライダの製造方法において、前記へッドスライ ダには、前記レーザ光の照射に基づき溶融し、固化に際して収縮応力を発生させる 材料が用いられることを特徴とするヘッドスライダの製造方法。
[3] 請求の範囲第 1項に記載のヘッドスライダの製造方法において、前記レーザ光は 点状に照射されることを特徴とするヘッドスライダの製造方法。
[4] 請求の範囲第 1項に記載のヘッドスライダの製造方法において、前記レーザ光は 線状に照射されることを特徴とするヘッドスライダの製造方法。
[5] ヘッドスライダの媒体対向面の隅に切れ込みを形成する工程を備えることを特徴と するヘッドスライダの製造方法。
[6] 請求の範囲第 5項に記載の製造方法において、前記切れ込みの形成にあたって、 前記媒体対向面には集束イオンビームが照射されることを特徴とするヘッドスライダ の製造方法。
[7] スライダ本体と、前記スライダ本体に規定される媒体対向面で空気流出端側の隅に レーザ光の照射に基づき形成される面取り部とを備えることを特徴とするヘッドスライ ダ。
[8] 請求項 7に記載のヘッドスライダにおいて、前記面取り部は湾曲面で形成されること を特徴とするヘッドスライダ。
[9] スライダ本体と、前記スライダ本体に規定される媒体対向面で空気流出端側の隅に レーザ光の照射に基づき形成される面取り部とを備えるヘッドスライダが少なくとも組 み込まれたことを特徴とする記憶装置。
[10] 請求項 9に記載の記憶装置において、前記面取り部は湾曲面で形成されることを 特徴とする記憶装置。
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