JP4979737B2

JP4979737B2 - ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置

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Publication number: JP4979737B2
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Description

本発明は、ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置に関し、特には、ヘッド位置決め機構を内蔵するヘッドスライダに関する。

磁気ディスク装置では、記録再生ヘッドを有するヘッドスライダが用いられる。このヘッドスライダは、媒体対向面にＡＢＳ（Air Bearing Surface）を有し、回転するディスク媒体上に近接浮上する。このヘッドスライダは、ボイスコイルモータにより、ディスク媒体上を径方向に動かされる。

特開２００８−１００２６号公報

ところで、本発明者らは、ディスク媒体の周方向および径方向の少なくとも一方に記録再生ヘッドを微小に変位させるための発熱素子を、ヘッドスライダ内に設けることを検討している。

しかし、その場合、発熱素子が引き起こす熱膨張によって媒体対向面が変形し、記録再生ヘッドの浮上量が変動してしまうおそれがある。特に、近年、記録再生ヘッドの浮上量が非常に低減されているため、こうした媒体対向面の変形が、ディスク媒体とヘッドスライダとの衝突を招くおそれがある。

本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであり、媒体対向面の変形を抑制することが可能なヘッドスライダ及び磁気ディスク装置を提供することを主な目的とする。

上記課題を解決するため、本発明のヘッドスライダは、回転するディスク媒体上に浮上するヘッドスライダであって、データの書き込み及び読み出しを行う記録再生ヘッドと、前記記録再生ヘッドから、前記ディスク媒体の周方向に対応する第１の方向および径方向に対応する第２の方向の少なくとも一方に離れて配置される発熱素子と、少なくとも前記記録再生ヘッドと前記発熱素子との間に介在し、前記発熱素子の発熱に応じて膨張する膨張部材と、を含み、前記発熱素子の、当該ヘッドスライダの浮上方向に対応する第３の方向の幅が、前記第１の方向の幅および前記第２の方向の幅よりも小さい、ことを特徴とする。

本発明の一態様では、前記発熱素子は、前記第１の方向および前記第２の方向を含む面内を蛇行する形状の導体からなる。

本発明の一態様では、前記発熱素子には、前記第３の方向に延びる配線が接続される。

本発明の一態様では、前記記録再生ヘッドは、前記第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、前記発熱素子は、前記記録素子の前記第２の方向に配置される。

本発明の一態様では、前記記録再生ヘッドは、前記第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、前記発熱素子は、前記再生素子の前記第２の方向に配置される。

本発明の一態様では、前記記録再生ヘッドは、前記第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、前記発熱素子は、前記記録素子の前記第２の方向と、前記再生素子の前記第２の方向と、にそれぞれ配置される。

この態様では、前記記録素子側の発熱素子の前記第３の方向の位置と、前記再生素子側の発熱素子の前記第３の方向の位置と、が異なってもよい。

この態様では、前記記録素子側の発熱素子と前記記録素子の距離と、前記再生素子側の発熱素子と前記再生素子の距離と、が異なってもよい。

本発明の一態様では、前記記録再生ヘッドは、前記第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、前記発熱素子は、前記記録素子の前記第２の方向と、前記再生素子の前記第２の方向と、を含むように前記第１の方向に広がる。

この態様では、前記発熱素子の前記記録素子側の部分の前記記録素子との距離と、前記発熱素子の前記再生素子側の部分の前記再生素子との距離と、が異なってもよい。

この態様では、前記発熱素子の前記第１の方向の両端部および中央部に、配線が接続されてもよい。

本発明の一態様では、前記ディスク媒体と対向する媒体対向面が、ステップ軸受面と、前記ステップ軸受面より前記ディスク媒体に近い浮上パット面と、前記ステップ軸受面より前記ディスク媒体から遠い深溝面と、を少なくとも含む、互いに深さが異なる複数の面で構成され、前記発熱素子を前記媒体対向面に投影したときの位置が、前記ステップ軸受面より前記ディスク媒体から遠い面内に包含される。

本発明の一態様では、前記ディスク媒体と対向する媒体対向面が、互いに深さの異なる複数の面で構成され、前記発熱素子を前記媒体対向面に投影したときの位置が、前記ディスク媒体に最も近接する面から１５０ｎｍ以上深い面内に含まれる。

本発明の一態様では、スライダ基板と、前記スライダ基板の端面上に積層された複数の薄膜で構成される薄膜積層部と、を含み、前記記録再生ヘッド及び前記発熱素子が前記薄膜積層部内に形成される。

この一態様では、前記発熱素子は、前記各薄膜内に形成された導体が接続されることで構成されてもよい。

本発明の磁気ディスク装置は、上記本発明のヘッドスライダを備えることを特徴とする。

本発明の磁気ディスク装置は、回転するディスク媒体上に浮上するヘッドスライダであって、データの書き込み及び読み出しを行う記録再生ヘッドと、前記記録再生ヘッドから、前記ディスク媒体の径方向に対応する方向に離れて配置される発熱素子と、少なくとも前記記録再生ヘッドと前記発熱素子との間に介在し、前記発熱素子の発熱に応じて膨張する膨張部材と、を含み、前記発熱素子の、当該ヘッドスライダの浮上方向に対応する方向の幅が、前記ディスク媒体の周方向に対応する方向の幅および径方向に対応する方向の幅よりも小さい、ヘッドスライダと、前記ディスク媒体に形成されたトラックに対する前記記録再生ヘッドの位置誤差に応じて前記発熱素子に通電する制御回路と、を備えることを特徴とする。

上記本発明によると、発熱素子の周囲に引き起こされる膨張のうち、第１の方向および第２の方向の膨張が比較的大きく、第３の方向の膨張が比較的小さくなるので、ヘッドスライダの媒体対向面の変形を抑制することができる。

本発明の一実施形態に係る磁気ディスク装置の平面図である。本発明の一実施形態に係るヘッドスライダの下面図である。同ヘッドスライダの要部拡大図である。同ヘッドスライダの要部拡大図である。同ヘッドスライダに含まれる発熱素子の説明図である。同ヘッドスライダに含まれる発熱素子の説明図である。同ヘッドスライダに含まれる発熱素子の説明図である。同ヘッドスライダに含まれる発熱素子の説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。変形例に係るヘッドスライダの説明図である。

本発明のヘッドスライダ及び磁気ディスク装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。

図１は、磁気ディスク装置１の平面図である。同図では、トップカバーの図示が省略されている。磁気ディスク装置１の筐体には、磁気ディスク媒体２及びヘッドアッセンブリ４が収納されている。磁気ディスク媒体２は、筐体の底部に設けられたスピンドルモータ３に取り付けられている。ヘッドアッセンブリ４は、磁気ディスク媒体２の隣で旋回可能に支承されている。このヘッドアッセンブリ４の先端側には、サスペンションアーム５が設けられ、その先端部にヘッドスライダ１０が支持されている。他方、ヘッドアッセンブリ４の後端部には、ボイスコイルモータ７が設けられている。また、磁気ディスク装置１の筐体外には、不図示の制御回路を備える基板が設けられている。

図２は、ヘッドスライダ１０の下面図である。Ｘ方向（第１の方向）は、ヘッドスライダ１０の長さ方向であり、磁気ディスク媒体２の周方向に対向する。Ｙ方向（第２の方向）は、ヘッドスライダ１０の幅方向であり、磁気ディスク媒体２の径方向に対応する。Ｚ方向（第３の方向）は、ヘッドスライダ１０の厚さ方向であり、ヘッドスライダ１０の浮上方向に対応する。また、図２中の矢印ＬＤ及び矢印ＴＲは、ヘッドスライダ１０のリーディング方向及びトレーリング方向をそれぞれ表す。

ヘッドスライダ１０は、例えば長さ１．２５ｍｍ，幅１．０ｍｍ，厚さ０．３ｍｍ程度の略直方体状（ピコスライダと呼ばれる大きさ）に形成される。また、ヘッドスライダ１０は、例えば長さ０．８５ｍｍ，幅０．７ｍｍ，厚さ０．２３ｍｍ程度の略直方体状（フェムトスライダと呼ばれる大きさ）であってもよいし、他の大きさであってもよい。

ヘッドスライダ１０の、磁気ディスク媒体２と対向する媒体対向面１０ａには、ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されており、ヘッドスライダ１０は、磁気ディスク媒体２の回転により生じる気体流を受けて、磁気ディスク媒体２上に近接浮上する。この媒体対向面１０ａは、実質的に平行で深さの異なる複数種類の面で構成される。こうした媒体対向面１０ａの形状は、例えばイオンミリング又はエッチング等により形成される。

具体的には、媒体対向面１０ａは、主に、磁気ディスク媒体２に最も近づく浮上パッド面１１ａ，１１ｂと、それよりも深いステップ軸受面１２ａ〜１２ｃと、それよりも更に深い深溝面１３と、を含んでいる。例えば、浮上パッド面１１ａ，１１ｂを基準とするステップ軸受面１２ａ〜１２ｃの深さは約１００ｎｍ以上３００ｎｍ以下程度であり、深溝面１３の深さは約１μｍ以上程度である。媒体対向面１０ａの形状は、図示の態様に限定されず、任意のＡＢＳを適用できる。

磁気ディスク媒体２の回転によって生じる空気流は、ステップ軸受面１２ａ〜１２ｃや深溝面１３から浮上パッド面１１ａ，１１ｂに進入する際に、先窄まりの流路により圧縮されて、正圧（磁気ディスク媒体２から離れる方向の気体圧力）を発生させる。他方、磁気ディスク媒体２の回転によって生じる空気流は、浮上パッド面１１ａ，１１ｂやステップ軸受面１２ａ〜１２ｃから深溝面１３に進入する際に、流路の拡大によって、負圧（磁気ディスク媒体２に近づく方向の気体圧力）を発生させる。

浮上パッド面１１ｂのトレーリング側の端部には、後述する記録再生ヘッド２１の端面が現れている。この端面は、浮上パッド面１１ｂから張り出していてもよいし、同じ高さでもよいし、凹んでいてもよい。また、深溝面１３のトレーリング側の端部には、ステップ軸受面１２ａ〜１２ｃと深溝面１３の間の深さの中間面を設けてもよい。この中間面の深さは、例えば約１５０ｎｍ以上とされる。

ヘッドスライダ１０は、アルミナとチタンカーバイトの焼結体（いわゆるアルチック）からなるスライダ基板１５と、このスライダ基板１５のトレーリング側の端面に形成された薄膜積層部１７とを有している。この薄膜積層部１７は、アルミナからなる薄膜が積層されることで形成される。このアルミナからなる薄膜は、与えられた熱に応じて膨張する膨張部材である。

薄膜積層部１７内には、記録再生ヘッド２１が形成されている。図３Ａに示されるように、記録再生ヘッド２１は、トレーリング側に配置された記録素子２１ａと、リーディング側に形成された再生素子２１ｂとを含んでいる。記録素子２１ａは、インダクティブ素子からなり、磁気ディスク媒体２にデータを書き込む。再生素子２１ｂは、磁気抵抗効果素子からなり、磁気ディスク媒体２からデータを読み出す。

さらに、薄膜積層部１７内には、図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、発熱素子３０が形成されている。発熱素子３０は、記録素子２１ａ及び再生素子２１ｂからＹ方向の両側に離れて配置されている。発熱素子３０は、ＸＹ平面内に広がる平型に構成され、媒体対向面１０ａから所定距離だけ離れて配置されている。また、発熱素子３０は、記録素子２１ａのＹ方向及び再生素子２１ｂのＹ方向の両方を覆うようにＸ方向に延びている。また、発熱素子３０は、Ｚ方向に延びる配線２９と接続されており、不図示の制御回路からの通電によって発熱する。発熱素子３０と配線２９は、形状や材料等の違いによって発熱量が異なる。尚、図示はしていないが、発熱素子３０と配線２９の形状や材料、或いはヘッドスライダ実装方法などに応じて、配線２９をＸ方向やＹ方向に実装してもよいことは言うまでも無い。

具体的には、図４Ａ及び図４Ｂに示されるように、発熱素子３０は、ＸＹ平面内を蛇行する形状の導体からなる。発熱素子３０を構成する導体としては、ニッケルクロム（ＮｉＣｒ）、銅（Ｃｕ）、タングステン（Ｗ）などがある。ここで、発熱素子３０のＺ方向の幅Ｗ_Ｚは、Ｘ方向の幅Ｗ_Ｘ及びＹ方向の幅Ｗ_Ｙよりも小さくなっている。各方向の幅は、各方向の一方の最外端から他方の最外端までの、各方向に沿った長さで定義される。また、図５Ａ及び図５Ｂに示されるように、発熱素子３０は、薄膜積層部１７を構成する各薄膜１７ａ内に形成された導体３０ｄが接続されることで構成されている。

発熱素子３０を構成する導体は、ここに例示したものに限定されるものではなく、温度１００℃のときの体積低効率が１００×１０^−８（Ω・ｍ）以下である材料であれば好適である。

また、図３Ａに示されるように、発熱素子３０は、媒体対向面１０ａに対してＺ方向に投影したときの投影位置が、ステップ軸受面１２ａ〜１２ｃよりも深い深溝面１３内に包含されるように、配置されている。これに限られず、投影位置は、浮上パッド面１１ｂから約１５０ｎｍ以上程度深い面であれば、他の面内に包含されてもよい。

発熱素子３０が発熱するとき、発熱素子３０の周囲が膨張する。このうち、発熱素子３０と記録再生ヘッド２１の間に介在する介在部分は、膨張することによって、記録再生ヘッド２１をＹ方向に変位させる。すなわち、記録再生ヘッド２１のＹ方向の両側に配置された発熱素子３０の、一方の発熱素子３０が発熱するとき、この発熱素子３０と記録再生ヘッド２１の間の介在部分が膨張し、これにより、記録再生ヘッド２１が他方の発熱素子３０の側へ変位する。

このように、発熱素子３０は、記録再生ヘッド２１をＹ方向に変位させる熱アクチュエータとして機能する。このＹ方向は、磁気ディスク媒体２の径方向、すなわちトラックの幅方向に対応することから、こうした記録再生ヘッド２１のＹ方向の変位は、記録再生ヘッド２１をトラックに位置決めする位置決め制御に適用可能である。具体的には、磁気ディスク装置１に設けられる不図示の制御回路は、記録再生ヘッド２１が磁気ディスク媒体２から読み出したサーボデータを基に、目標トラックに対する記録再生ヘッド２１の位置誤差を算出し、その位置誤差を抑制するように発熱素子３０に選択的に通電する。

なお、図６に示されるように、発熱素子３０は、記録再生ヘッド２１のＹ方向の片側に設けられてもよい。この場合、発熱素子３０の発熱量が所定量から増大するときに、発熱素子３０と記録再生ヘッド２１の間の介在部分が膨張し、記録再生ヘッド２１は発熱素子３０から遠ざかる側に変位する。

また、発熱素子３０の発熱量が所定量であるときに、記録再生ヘッド２１が薄膜積層部１７のＹ方向の中央付近に位置するように、発熱素子３０と記録再生ヘッド２１とを設けてもよい。この場合、発熱素子３０の発熱量が所定量から減少するときには、発熱素子３０と記録再生ヘッド２１の間の介在部分が収縮し、記録再生ヘッド２１は発熱素子３０に近づく側に変位する。

以上に説明した本実施形態によれば、図３Ａないし図４Ｂに示されるように、発熱素子３０は、ＸＹ平面内に広がる平型に構成されており、Ｚ方向の幅Ｗ_ＺがＸ方向の幅Ｗ_Ｘ及びＹ方向の幅Ｗ_Ｙよりも小さい。このため、発熱素子３０の周囲に引き起こされる膨張のうち、Ｘ方向およびＹ方向の膨張は比較的高くなって、記録再生ヘッド２１の変位量が高められる一方で、Ｚ方向の膨張は比較的低くなって、媒体対向面１０ａの変形が抑制される。

また、図３Ａに示されるように、発熱素子３０は、記録素子２１ａのＹ方向と再生素子２１ｂのＹ方向とを含むようにＸ方向に広がっている。このため、記録素子２１ａの変位方向と再生素子２１ｂの変位方向とが共に、Ｙ方向に揃えられる。

また、図３Ｂに示されるように、発熱素子３０は、媒体対向面１０ａからＺ方向に離れており、外部に露出していない。このため、媒体対向面１０ａから外部に逃げる熱が抑制され、Ｘ方向およびＹ方向の膨張が高められる。

また、図３Ａに示されるように、発熱素子３０を媒体対向面１０ａに投影したときの位置は、深溝面１３内に包含される。この深溝面１３は、変形したとしても、ヘッドスライダ１０の浮上に対する影響が低いため、好適である。

また、図５Ａ及び図５Ｂに示されるように、発熱素子３０は、Ｙ方向に往復するように形成されてもよいし、Ｘ方向に往復するように形成されてもよい。後者の場合、各線状導体の幅が自在に設定可能である。

以下、上記実施形態の変形例について説明する。上記実施形態と重複する構成については、図中に同番号を付すことで詳細な説明を省略する。

図７に示されるように、発熱素子３０は、記録素子２１ａのＹ方向に配置され、再生素子２１ｂのＹ方向には配置されないようにしてもよい。これにより、記録素子２１ａのＹ方向の変位量が、再生素子２１ｂのＹ方向の変位量と比して高められる。また、再生素子２１ｂに伝わる熱量が、記録素子２１ａに伝わる熱量と比して低くなる。特に、磁気抵抗効果素子からなる再生素子２１ｂは、熱によって性能が劣化しやすいため、本例は好適である。

また、図８に示されるように、発熱素子３０は、再生素子２１ｂのＹ方向に配置され、記録素子２１ａのＹ方向には配置されないようにしてもよい。これにより、再生素子２１ｂのＹ方向の変位量が、記録素子２１ａのＹ方向の変位量と比して高められる。また、記録素子２１ａに伝わる熱量が、再生素子２１ｂに伝わる熱量と比して低くなる。

また、図９Ａに示されるように、記録素子２１ａのＹ方向と再生素子２１ｂのＹ方向とに、記録素子側発熱素子３０ａと再生素子側発熱素子３０ｂとがそれぞれ配置されてもよい。これによれば、記録素子２１ａと再生素子２１ｂとを個別にＹ方向に変位させることができる。

また、図９Ｂに示されるように、記録素子側発熱素子３０ａのＺ方向の位置と、再生素子側発熱素子３０ｂのＺ方向の位置と、が異なってもよい。これによれば、記録素子側発熱素子３０ａと再生素子側発熱素子３０ｂとをそれぞれ適切な高さに配置可能である。例えば、一般に、再生素子２１ｂは記録素子２１ａと比してＺ方向に短いことから、図９Ｂに示されるように、再生素子側発熱素子３０ｂは記録素子側発熱素子３０ａより媒体対向面１０ａに近づいて配置されることが好ましい。

また、図１０に示されるように、記録素子側発熱素子３０ａと記録素子２１ａの距離と、再生素子側発熱素子３０ｂと再生素子２１ｂの距離と、が異なってもよい。これによれば、記録素子側発熱素子３０ａと再生素子側発熱素子３０ｂとをそれぞれ適切な距離に配置可能である。例えば、熱に比較的強い記録素子２１ａに、記録素子側発熱素子３０ａを近づけて、Ｙ方向の変位量を高めるようにしてもよい。

また、図１１に示されるように、発熱素子３０が変形されて、記録素子側発熱部３１ａの記録素子２１ａとの距離と、再生素子側発熱部３１ｂの再生素子２１ｂとの距離と、が異なってもよい。これによれば、記録素子側発熱部３１ａと再生素子側発熱部３１ｂとをそれぞれ適切な距離に配置可能である。例えば、熱に比較的強い記録素子２１ａに、記録素子側発熱素子３０ａを近づけて、Ｙ方向の変位量を高めるようにしてもよい。

また、図１２に示されるように、発熱素子３０のＸ方向の両端部および中央部に、配線２９がそれぞれ接続されてもよい。これによれば、１つの発熱素子３０の中で、記録素子側発熱部３２ａと再生素子側発熱部３２ｂとを個別に発熱させることができるため、これにより、記録素子２１ａと再生素子２１ｂとを個別にＹ方向に変位させることが可能となる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。

上記実施形態では、発熱素子３０が記録再生ヘッド２１からＹ方向に離れて配置されていたが、これに限られず、発熱素子３０は、記録再生ヘッド２１からＸ方向に離れて配置されてもよい。これによれば、記録再生ヘッド２１を、磁気ディスク媒体２の周方向に対応するＸ方向に変位させることができる。この技術は、磁気的に分離された磁性ビットの配列によりトラックが構成されるビットパターンドメディアに有用である。

上記実施形態では、記録再生ヘッド２１は、トレーリング側に配置された記録素子２１ａと、リーディング側に形成された再生素子２１ｂとを含む構造であるが、トレーリング側に配置された再生素子２１ｂと、リーディング側に形成された記録素子２１ａとを含む構造であってもよい。また、記録再生ヘッド２１は記録素子２１ａあるいは再生素子２１ｂが欠けていてもよい。

１磁気ディスク装置、２磁気ディスク媒体、３スピンドルモータ、４ヘッドアッセンブリ、５サスペンションアーム、７ボイスコイルモータ、１０ヘッドスライダ、１０ａ媒体対向面、１１ａ，１１ｂ浮上パッド面、１２ａ〜１２ｃステップ軸受面、１３深溝面、１５スライダ基板、１７薄膜積層部、１７ａ薄膜、２１記録再生ヘッド、２１ａ記録素子、２１ｂ再生素子、２９配線、３０発熱素子、３０ａ記録素子側発熱素子、３０ｂ再生素子側発熱素子、３０ｄ導体、３１ａ記録素子側発熱部、３１ｂ再生素子側発熱部、３２ａ記録素子側発熱部、３２ｂ再生素子側発熱部。

Claims

回転するディスク媒体上に浮上するヘッドスライダであって、
データの書き込み及び読み出しを行う記録再生ヘッドと、
前記記録再生ヘッドから、前記ディスク媒体の径方向に対応する第２の方向に離れて配置される発熱素子と、
少なくとも前記記録再生ヘッドと前記発熱素子との間に介在し、前記発熱素子の発熱に応じて膨張する膨張部材と、
を含み、
前記発熱素子の、当該ヘッドスライダの浮上方向に対応する第３の方向の幅が、前記ディスク媒体の周方向に対応する第１の方向の幅および前記第２の方向の幅よりも小さい、
ことを特徴とするヘッドスライダ。
前記発熱素子は、前記ディスク媒体の周方向に対応する第１の方向および前記第２の方向を含む面内を蛇行する形状の導体からなる、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記発熱素子には、前記第３の方向に延びる配線が接続される、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記記録再生ヘッドは、前記ディスク媒体の周方向に対応する第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、
前記発熱素子は、前記記録素子の前記第２の方向に配置される、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記記録再生ヘッドは、前記ディスク媒体の周方向に対応する第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、
前記発熱素子は、前記再生素子の前記第２の方向に配置される、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記記録再生ヘッドは、前記ディスク媒体の周方向に対応する第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、
前記発熱素子は、前記記録素子の前記第２の方向と、前記再生素子の前記第２の方向と、にそれぞれ配置される、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記記録素子側の発熱素子の前記第３の方向の位置と、前記再生素子側の発熱素子の前記第３の方向の位置と、が異なる、
請求項６に記載のヘッドスライダ。
前記記録素子側の発熱素子と前記記録素子の距離と、前記再生素子側の発熱素子と前記再生素子の距離と、が異なる、
請求項６に記載のヘッドスライダ。
前記記録再生ヘッドは、前記ディスク媒体の周方向に対応する第１の方向に配列する、データの書き込みを行う記録素子と、データの読み出しを行う再生素子と、を含み、
前記発熱素子は、前記記録素子の前記第２の方向と、前記再生素子の前記第２の方向と、を含むように前記第１の方向に広がる、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記発熱素子の前記記録素子側の部分の前記記録素子との距離と、前記発熱素子の前記再生素子側の部分の前記再生素子との距離と、が異なる、
請求項９に記載のヘッドスライダ。
前記発熱素子の前記第１の方向の両端部および中央部に、配線が接続される、
請求項９に記載のヘッドスライダ。
前記ディスク媒体と対向する媒体対向面が、
ステップ軸受面と、
前記ステップ軸受面より前記ディスク媒体に近い浮上パット面と、
前記ステップ軸受面より前記ディスク媒体から遠い深溝面と、
を少なくとも含む、互いに深さが異なる複数の面で構成され、
前記発熱素子を前記媒体対向面に投影したときの位置が、前記ステップ軸受面より前記ディスク媒体から遠い面内に包含される、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記ディスク媒体と対向する媒体対向面が、互いに深さの異なる複数の面で構成され、
前記発熱素子を前記媒体対向面に投影したときの位置が、前記ディスク媒体に最も近接する面から１５０ｎｍ以上深い面内に含まれる、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
スライダ基板と、前記スライダ基板の端面上に積層された複数の薄膜で構成される薄膜積層部と、を含み、
前記記録再生ヘッド及び前記発熱素子が前記薄膜積層部内に形成される、
請求項１に記載のヘッドスライダ。
前記発熱素子は、前記各薄膜内に形成された導体が接続されることで構成される、
請求項１４に記載のヘッドスライダ。
請求項１に記載のヘッドスライダを備えることを特徴とする磁気ディスク装置。
回転するディスク媒体上に浮上するヘッドスライダであって、データの書き込み及び読み出しを行う記録再生ヘッドと、前記記録再生ヘッドから、前記ディスク媒体の径方向に対応する方向に離れて配置される発熱素子と、少なくとも前記記録再生ヘッドと前記発熱素子との間に介在し、前記発熱素子の発熱に応じて膨張する膨張部材と、を含み、前記発熱素子の、当該ヘッドスライダの浮上方向に対応する方向の幅が、前記ディスク媒体の周方向に対応する方向の幅および径方向に対応する方向の幅よりも小さい、ヘッドスライダと、
前記ディスク媒体に形成されたトラックに対する前記記録再生ヘッドの位置誤差に応じて前記発熱素子に通電する制御回路と、
を備えることを特徴とする磁気ディスク装置。