KR100765940B1 - 롤 증착 챔버 장치 - Google Patents

롤 증착 챔버 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100765940B1
KR100765940B1 KR1020060047311A KR20060047311A KR100765940B1 KR 100765940 B1 KR100765940 B1 KR 100765940B1 KR 1020060047311 A KR1020060047311 A KR 1020060047311A KR 20060047311 A KR20060047311 A KR 20060047311A KR 100765940 B1 KR100765940 B1 KR 100765940B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
control spring
chamber
roller
flexible substrate
disposed
Prior art date
Application number
KR1020060047311A
Other languages
English (en)
Inventor
허윤성
고성용
황윤석
이영철
Original Assignee
주식회사 에이브이엠에스
주식회사 디엠에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에이브이엠에스, 주식회사 디엠에스 filed Critical 주식회사 에이브이엠에스
Priority to KR1020060047311A priority Critical patent/KR100765940B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100765940B1 publication Critical patent/KR100765940B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/548—Controlling the composition

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

본 발명은, 베이스; 상기 베이스 상에 배치되고 내부에 스퍼터부를 구비하는 챔버; 상기 챔버 내에 배치되고 유연 기판을 진행시키는 제 1 구동 롤러 및 제 2 구동 롤러, 상기 제 1 및 제 2 구동 롤러 사이에서 진행하는 상기 유연 기판을 외주면 상에 진행시키는 주축 롤러를 포함하는 롤러부; 상기 제 1 구동 롤러와 상기 주축 롤러 사이에 배치되는 제어 스프링부 하우징과, 상기 제어 스프링부 하우징에 장착되되, 상기 주축 롤러와 멀리하는 측에 배치되어 상기 유연 기판에 주 탄성력을 인가하는 주 제어 스프링부와, 상기 주축 롤러와 가까운 측에 배치되어 상기 주 탄성력보다 작은 보조 탄성력을 상기 주 탄성력과 반대 방향으로 상기 유연 기판에 인가하는 보조 제어 스프링부를 포함하는 제어 스프링부; 상기 제 1 구동 롤러와 상기 주 제어 스프링부 사이의 상기 유연 기판에 중력을 인가하는 자유단 바아를 포함하는 자유단 바아부;를 구비하는 롤 증착 챔버 장치를 제공한다.

Description

롤 증착 챔버 장치{A ROLL-TYPE DEPOSITION APPARATUS}
도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 롤 증착 챔버 장치의 개략적인 사시도이다.
도 1b는 본 발명의 일실시예에 따른 롤 증착 챔버 장치의 증착 준비 상태 챔버에 대한 개략적인 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일실시예에 따른 롤 증착 챔버 장치의 제어 스프링부에 대한 개략적인 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 일실시예에 따른 자유단 바아부에 대한 개략적인 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 2a의 제어 스프링부에 대한 작동 상태를 도시하는 개략적인 개념도이다.
도 3c는 도 2b의 제어 스프링부에 대한 변형예에 대한 개략적인 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 주축 롤러의 개략적인 단면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100...베이스 200...챔버
210...챔버 도어 220...챔버 본체
230...챔버 배면부 300...롤러부
310...제 1 구동 롤러 320...제 2 구동 롤러
330...주축 롤러 400...제어 스프링부
410...주 제어 스프링부 420...보조 제어 스프링부
500...자유단 바아부 510...자유단 바아
본 발명은 증착 챔버 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤 타입의 유연 기판의 증착 성능을 개선하는 구조의 롤 증착 챔버 장치에 관한 것이다.
근래, 이동통신 단말기, PDA, PMP 등의 각종 휴대 전자 장치의 보급도가 증대되는 등, 전자 장치에 대한 작동 및 기능성과 더불어 휴대성이 전자 장치를 선택하는데 있어서의 중요 변수가 되고 있다. 또한, 전자 장치의 경박 단소 경향에 의하여 장치 설계에 있어서의 공간 활용도 측면에서의 높은 집적도를 요구하고 있다.
이에 전자 장치에서 유연 기판(FPCB,flexible printed circuit board)이 설계 공간의 집적도를 향상시키는 필수 구성 요소로서 자리잡고 있다. 이와 같은 유연 기판은 생산 과정에서 롤 타입으로 형성되며, 이를 제조하기 위해서는 롤러 타입의 증착 챔버 장치가 요구되는데, 이에 대한 많은 연구 및 개발이 진행되고 있다.
하지만, 가요성이라는 유연 기판의 장점은 이를 생산하는 과정에서 많은 어려움을 발생시킨다. 즉, 종래 기술에 따르면 각각의 구동 롤러 상에 장착되어 진 행되고, 유연 기판의 진행 과정 상에 유연 기판 상에 증착이 이루어지는 구조를 취하는데, 이 생산 과정 중 유연 기판에 대한 인장력의 불균형이 발생하는 경우 유연 기판의 가요성에 의하여 유연 기판의 비틀림이 발생하고, 이는 유연 기판의 주름을 야기하는 문제점이 수반된다. 또한 이와 같은 유연 기판에 대한 물리적 변형뿐만 아니라 스퍼터링 과정에서의 스퍼터 장치에 의한 유연 기판의 열변형에 의한 불량률이 증가하는 문제점이 수반된다.
본 발명은 전술한 문제점들을 해결하기 위한 것으로, 유연 기판에 대한 기판 증착 공정을 용이하게 하고 우수한 증착이 이루어질 수 있게 하기 위한 롤 증착 챔버 장치를 제공함을 목적으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 베이스; 상기 베이스 상에 배치되고 내부에 스퍼터부를 구비하는 챔버; 상기 챔버 내에 배치되고 유연 기판을 진행시키는 제 1 구동 롤러 및 제 2 구동 롤러, 상기 제 1 및 제 2 구동 롤러 사이에서 진행하는 상기 유연 기판을 외주면 상에 진행시키는 주축 롤러를 포함하는 롤러부; 상기 제 1 구동 롤러와 상기 주축 롤러 사이에 배치되는 제어 스프링부 하우징과, 상기 제어 스프링부 하우징에 장착되되, 상기 주축 롤러와 멀리하는 측에 배치되어 상기 유연 기판에 주 탄성력을 인가하는 주 제어 스프링부와, 상기 주축 롤러와 가까운 측에 배치되어 상기 주 탄성력보다 작은 보조 탄성력을 상기 주 탄성력과 반대 방향으로 상기 유연 기판에 인가하는 보조 제어 스프링부를 포함하는 제어 스프 링부; 상기 제 1 구동 롤러와 상기 주 제어 스프링부 사이의 상기 유연 기판에 중력을 인가하는 자유단 바아를 포함하는 자유단 바아부;를 구비하는 롤 증착 챔버 장치를 제공한다.
상기 롤 증착 챔버 장치에 있어서, 상기 제 1 구동 롤러는 상기 유연 기판을 푸는 풀림 롤러이고, 상기 제 2 구동 롤러는 상기 유연 기판을 감는 감김 롤러일 수도 있다.
상기 롤 증착 챔버 장치에 있어서, 상기 제 1 구동 롤러는 상기 유연 기판을 감는 감김 롤러이고, 상기 제 2 구동 롤러는 상기 유연 기판을 푸는 풀림 롤러일 수도 있다.
상기 롤 증착 챔버 장치에 있어서, 상기 주 제어 스프링부와 상기 보조 제어 스프링부는 각각 주 제어 스프링과 보조 제어 스프링을 구비하고, 상기 유연 기판에 대하여 상기 주 제어 스프링에 의해 가해지는 탄성력이 상기 보조 제어 스프링에 의해 가해지는 탄성력보다 클 수도 있다. 또한, 상기 주 제어 스프링의 스프링 상수는 상기 보조 제어 스프링의 스프링 상수 이상일 수도 있고, 상기 주 제어 스프링과 접하는 상기 유연 기판이 이루는 제 1 접선 사이각은, 상기 보조 제어 스프링과 접하는 상기 유연 기판이 이루는 제 2 접선 사이각 이하일 수도 있다.
상기 롤 증착 챔버 장치에 있어서, 상기 자유단 바아부의 양단에는 상기 자유단 바아의 회전을 감지하는 회전각 감지 센서가 구비될 수도 있다.
상기 롤 증착 챔버 장치에 있어서, 상기 제 1 구동 롤러와 상기 주축 롤러 사이에 배치되는 상기 제어 스프링부 및 자유단 바아는 제 1 제어 스프링부 및 제 1 자유단 바아이고, 상기 제 2 구동 롤러와 상기 주축 롤러 사이에 상기 제 1 제어 스프링부 및 제 1 자유단 바아와 대칭적으로 제 2 제어 스프링부 및 제 2 자유단 바아가 구비될 수도 있다.
상기 롤 증착 챔버 장치에 있어서, 상기 주축 롤러에는 중앙에 냉각수를 수용하는 주축 공동부와, 상기 주축 공동부로의 상기 냉각수의 유출입을 허용하고 상기 주축 롤러의 회전 중심에 배치되는 주축 연결구와, 상기 주축 연결구를 통하여 연결되고 동심 상에 배치되는 유입 라인과 유출 라인이 더 구비될 수도 있다. 또한, 상기 유입 라인은 외주 상에 배치되고 상기 유출 라인은 상기 유입 라인의 중앙부에 배치되되, 상기 유출 라인의 일단은 상기 주축 공동부의 내부로 연장되어 상기 베이스로부터 상기 주축 롤러의 회전 중심보다 높은 위치에 배치될 수도 있다.
상기 롤 증착 챔버 장치에 있어서, 상기 챔버는 개폐 가능한 챔버 도어와, 상기 챔버 도어와 접하며 상기 스퍼터가 배치되는 챔버 본체와, 상기 롤러부, 상기 제어 스프링부 및 상기 자유단 바아가 배치되는 챔버 배면부를 구비하고, 상기 챔버 배면부에는 상기 챔버 배면부를 이동 가능하게 하는 챔버 배면부 이동대가 구비될 수도 있다. 또한, 상기 챔버 배면부 이동대는 상기 챔버 배면부 하부로 상기 베이스 상에 배치되는 챔버 배면부 레일과, 일단은 상기 챔버 배면부 하부에 연결되고 타단은 상기 챔버 배면부 레일 상에서 안내되는 챔버 배면부 이동 블록일 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치에 대하여 도면을 참조하여 설 명하기로 한다.
도 1a에는 본 발명의 일실시예에 따른 롤 증착 챔버 장치의 개략적인 사시도가 도시되고, 도 1b에는 도 1a의 롤 증착 챔버 장치에 유연 기판이 장착 완료된 상태의 개략적인 단면도를 도시한다.
롤 증착 챔버 장치(10)는 베이스(100), 챔버(200), 롤러부(300), 제어 스프링부(400) 및 자유단 바아부(500)를 구비한다. 베이스(100)의 상부에는 챔버(200)가 배치되는데, 베이스(100)는 챔버(200) 등의 구성 요소의 중량을 지지할 수 있을 정도의 질량체로 구성되는 것이 바람직하다. 도 1a에서 베이스(100)는 별도의 프레임 타입 구성체로 이루어졌으나, 플레이트 타입으로 구성될 수도 있고, 별도의 구성 요소가 아닌 지면으로 이루어질 수도 있는 등, 다양한 구성이 가능하다.
베이스(100) 상에는 챔버(200)가 배치되는데, 챔버(200) 내부에는 하나 이상의 스퍼터부(240, 도 1b)가 배치된다. 챔버(200)는 내부에 진공 상태를 유지하도록 하기 위한 강성을 갖도록 SUS304 등과 같은 재료를 포함하는 것이 바람직하나, 이에 한정되지는 않는다. 챔버(200)는 챔버 도어(210), 챔버 본체(220), 챔버 배면부(230)를 구비할 수 있다. 여기서, 챔버(200)는 원통형 형상으로 도시되었으나, 직육면체 타입으로 구성될 수도 있는 등 변형이 가능하다. 챔버 도어(210)는 챔버(200)의 전면에 개폐 가능하도록 배치된다. 챔버 도어(210)의 개폐를 통하여 챔버(200) 내부에 배치되는 스퍼터부(240, 도 1b 참조)의 조작이 보다 용이하게 실시될 수 있다. 챔버 도어(210)의 일면 상에는 챔버(200) 내부의 작동 상태를 관찰할 수 있는 챔버 도어 윈도우(211)가 배치된다. 챔버 도어(210)는 일측에 회전 힌 지부(212)가 배치되어 회전 힌지부(212)를 중심으로 챔버 도어(210)가 회전하는 구성을 취한다. 도 1a에서 챔버 도어(210)는 일측이 힌지 회전 가능하도록 구성된 힌지 타입의 챔버 도어(210)로 구성되었으나, 챔버 도어(210)는 이에 국한되지 않고 챔버의 중심축에 수직한 방향으로 슬라이딩 운동하는 슬라이딩 타입으로 구성될 수도 있는 등, 다양한 변형이 가능하다.
챔버 본체(220)는 챔버 도어(210)와 접하도록 배치되고 일측에는 진공 라인(223)이 배치되는데, 챔버(200) 내부는 진공 라인(223)을 통하여 챔버(200) 내부의 진공 상태를 유지하기 위한 진공 펌프(미도시)와 소통된다. 챔버 본체(220)에는 스퍼터부(240)가 배치되는데, 스퍼터부(240)는 하기되는 주축 롤러를 중심으로 일정 거리만큼 이격된 원주 상에 배치되는 구조를 취한다. 도 1b에서는 발명의 설명을 용이하게 하기 위하여 스퍼터부 차폐막 등을 생략하는 등 스퍼터부(240)에 대하여 개략적으로 도시하였다.
스퍼터부(240)는 복수 개가 구비되되, 복수 개의 스퍼터부(240) 각각은 동일한 재료를 유연 기판(1) 상에 스퍼터링하는 구성을 취할 수도 있고, 경우에 따라서는 서로 상이한 재료를 유연 기판(1) 상에 스퍼터링하는 구성을 취할 수도 있다. 예를 들어, 복수 개의 스퍼터부(240) 중 어느 하나는 NiCr을 증착하는 스퍼터부일 수도 있고, 다른 하나는 Cu를 증착하는 스퍼터부일 수도 있다. 또한, 경우에 따라서는 상기 스퍼터부는 RF 스퍼터건일 수도 있고, 스퍼터부 중의 어느 하나가 이온 빔 증착기 및/또는 전자 빔 증착기 중의 어느 하나를 포함하는 구성을 취할 수도 있는 등, 본 발명에 따른 스퍼터부는 하기되는 주축 롤러의 외주 상에 인접하게 배 치되는 구조를 취하는 범위에서 다양한 구성이 가능하다.
챔버 본체(220)는 챔버 배면부(230)와 접한다. 여기서 챔버 배면부(230)는 롤 시트의 장착 용이성을 위해 챔버 본체(220)와 분리 가능하게 구성되어 있다. 챔버 배면부(230)에는 롤러부(300), 제어 스프링부(400) 및 자유단 바아부(500)가 배치되는데, 각각의 롤러부(300), 제어 스프링부(400) 및 자유단 바아부(500)가 배치되는 챔버 배면부(230)의 전면에는 롤 들 간의 기계적인 변형을 최소화하기 위한 지지 플레이트(239, 도 1a의 점선 표시)가 배치되고, 지지 플레이트(239)와 챔버 배면부(230)는 챔버 배면 지지대(232)에 의하여 별도로 지지되어, 롤러부, 제어 스프링부 및 자유단 바아부를 안정적으로 지지하는 구조를 취한다.
챔버 배면부가 챔버 본체와 분리되는 구조를 취하는 경우, 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치는 챔버 배면부를 지지하며 챔버 배면부를 이동 가능하게 하는 챔버 배면부 이동대를 더 구비할 수도 있다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 챔버 배면부 이동대(233)는 챔버 배면부 이동 블록(235)와 챔버 배면부 이동 레일(237)을 구비한다. 챔버 배면부 이동 블록(235) 상에는 챔버 배면 지지 프레임(231)이 배치되는데, 챔버 배면 지지 프레임(231)의 일측에는 챔버 배면부(230)가 배치되고, 챔버 배면 지지 프레임(231)의 하단은 챔버 배면부 이동 블록(235) 상에 장착되어 지지된다. 베이스(100) 상으로 챔버(200)의 중심축 길이 방향에 평행하게 챔버 배면부 이동 레일(237)이 배치되고 챔버 배면부 이동 레일(237) 상에 챔버 배면부 이동 블록(235)이 배치되는데, 챔버 배면부 이동 블록(235)이 챔버 배면부 이동 레일(237) 상에서 활주 가능한 구조를 취함으로써 챔버 배면부를 안정적으로 이동시 킬 수도 있다. 여기서, 챔버 배면부 이동대(233)는 레일/슬라이더 구조를 취하는 것으로 도시되었으나, 본 발명에 따른 챔버 배면부 이동대는 휠 타입으로 구성될 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
롤러부(300)는 제 1 구동 롤러(310), 제 2 구동 롤러(320), 주축 롤러(330)를 포함한다. 롤 형태의 유연 기판(1)은 제 1 구동 롤러(310) 및 제 2 구동 롤러(320)에 장착되는데, 제 1 구동 롤러(310)와 제 2 구동 롤러(320) 사이에서 진행하는 유연 기판(1)은 주축 롤러(330)의 외주면 상에서 진행된다. 각각의 롤러는 챔버 배면부(230)의 배면 측, 즉 진공 용기의 외부압인 대기압 측에 배치되는 각각의 구동 모터에 의하여 구동된다. 즉, 제 1 구동 롤러(310)는 제 1 구동 모터(310a, 도 1b 점선 표시)에 의하여, 제 2 구동 롤러(320)는 제 2 구동 모터(320a)에 의하여, 그리고 주축 롤러(330)는 주축 모터(미도시)에 의하여 구동된다. 이들 모터들은 제어부(미도시)로부터의 피드백 신호에 따라 구동되어 롤 타입 유연 기판을 풀거나 감거나 또는 외주면 상에 접하는 유연 기판의 진행 속도를 제어하여 유연 기판에 가해지는 인장력을 조정하는 서보 제어 모터일 수도 있고, 단순한 구동 모터일 수도 있는 등 다양한 구성이 가능하다. 또한, 각각의 모터들은 각각의 롤러들과 동축 상으로 직결될 수도 있고, 가변 속도 제어를 가능하게 하는 클러치 장치를 사이에 두고 연결될 수도 있으며, 각각의 롤러와 모터가 서로 평행축 상을 이루어 타이밍 밸트에 의하여 연결될 수도 있는 등, 다양한 변형이 가능하다. 그리고, 챔버 배면부(230) 측에는 챔버 내부에 아르곤(Ar) 등과 같은 분위기 기체를 제공하기 위한 기체 공급 장치(미도시)가 더 장착되는 구조를 취한다.
제 1 구동 롤러(310)는 롤 타입으로 장착된 유연 기판(1)을 푸는 풀림 롤러로서 작동하고, 제 2 구동 롤러(320)가 유연 기판(1)을 감는 감김 롤러로서 작동하는 것으로 도시되었으나, 반대로 제 1 구동 롤러가 감김 롤러로서 그리고 제 2 구동 롤러가 풀림 롤러로서 작동할 수 있으며, 이 경우 유연 기판(1)은 전자의 경우와 반대 방향으로 진행한다. 제 1 구동 롤러(310)로부터 주축 롤러(330)를 거쳐 제 2 구동 롤러(320)로 연결되는 유연 기판(1)은 이들 롤러(310,320,330) 사이에 배치되는 가이드 롤러(340)를 통하여 안정적으로 안내될 수 있다.
제 1 구동 롤러(310)와 주축 롤러(330) 사이에는 제어 스프링부(400)가 배치되어, 챔버 배면부 및 지지 플레이트 사이에 장착될 수 있다. 제어 스프링부(400)는 제어 스프링부 하우징(401) 내부에 장착되는 주 제어 스프링부(410)와 보조 제어 스프링부(420)를 포함한다. 도 2a에는 본 발명의 일실시예에 따른 제어 스프링부(400)가 도시되는데, 주 제어 스프링부(410)는 제 1 구동 롤러(310)와 주축 롤러(330) 사이로 주축 롤러(330)를 멀리하는 측에 배치되고, 보조 제어 스프링부(420)는 주축 롤러(330)와 가까운 측, 즉 주 제어 스프링부(410)와 주축 롤러(330) 사이에 배치된다.
주 제어 스프링부(410)는 한 쌍의 주 제어 스프링 롤러(411), 주 제어 스프링(413), 주 제어 스프링 바아(415)를 포함한다. 주 제어 스프링 바아(415)의 일단에는 주 제어 스프링 롤러(411)가 배치되고 주 제어 스프링(413)의 타단에는 주 제어 스프링(413)이 장착되는데, 주 제어 스프링(413)의 일단은 제어 스프링부 하우징(401)의 내측에 의하여 지지되고, 주 제어 스프링(413)의 타단은 주 제어 스프 링 바아(415)의 외주에 형성된 주 제어 스프링 바아 단차(416)에 의하여 지지됨으로써, 주 제어 스프링(413)의 변형이 안정적으로 이루어 질 수 있다. 한 쌍의 주 제어 스프링 롤러(411)의 내측으로는 주 제어 바아(417)가 장착되는데, 주 제어 바아(417)는 제어 스프링부 하우징(401)의 내측에 형성된 하우징 개구(402)를 관통하여 배치된다. 주 제어 바아(417)의 외주면은 유연 기판(1)과 접함으로써 주 제어 스프링(413)에 의한 압축력을 유연 기판(1)에 제공할 수 있다.
또한, 보조 제어 스프링부(420)도 한 쌍의 보조 제어 스프링 롤러(421), 보조 제어 스프링(423), 보조 제어 스프링 바아(425)를 포함한다. 보조 제어 스프링 바아(425)의 일단에는 보조 제어 스프링 롤러(421)가 장착되고 타단에는 보조 제어 스프링(423)이 장착되되 보조 제어 스프링 롤러(421)의 외주에는 보조 제어 스프링 바아 단차(426)가 형성되어 타단에 장착된 보조 제어 스프링(423)의 변형이 안정적으로 이루어질 수 있게 된다. 또한, 주 제어 스프링부와 마찬가지로 보조 제어 바아(427)가 제어 스프링부 하우징(401)의 내측에 형성된 하우징 개구(402)를 관통하며 한 쌍의 보조 제어 스프링 롤러(421)의 내측에 장착된다.
유연 기판(1)에 대하여 가해지는 주 제어 스프링부(410)에 의한 탄성력은 보조 제어 스프링부(420)에 의한 탄성력보다 큰 것이 바람직하다. 즉, 하기되는 자유단 바아부에 의한 자중이 유연 기판(1)에 가해져 유연 기판(1)에 큰 인장력이 발생함으로써, 자유단 바아부와 인접한 주 제어 스프링부(410)의 주 제어 스프링(413)이 충분한 탄성력(압축력)을 제공하지 못하면 유연 기판(1)이 자유단 바아부 측으로 치우쳐 증착 공정이 실시되는 주축 롤러 측으로 유연 기판의 원활한 공 급이 저해될 수도 있기 때문에, 이를 방지하기 위하여 주 제어 스프링부의 주 제어 스프링에 의한 탄성력이 보조 제어 스프링부의 보조 제어 스프링에 의한 탄성력보다 큰 것이 바람직하다.
이와 같이 주 제어 스프링에 의한 탄성력을 보조 제어 스프링에 의한 탄성력보다 크게 하기 위해서, 각각의 제어 스프링 자체의 특성, 즉 스프링 상수를 조절할 수도 있고, 경우에 따라서 각각의 제어 스프링과 유연 기판의 힘의 합력 관계를 이용할 수도 있다. 도 3a 및 도 3b에는 주 제어 스프링부 및 보조 제어 스프링부의 작동 상태에 대한 개략적인 개념이 도시되어 있는데, 유연 기판은 주 제어 스프링부와 접하는 유연 기판(1)이 이루는 주 접선 사이각, 즉 주 제어 바아(417)와 접하는 유연 기판(1)의 양측이 형성하는 각도(α1)를 유지하며 유연 기판(1)의 양측으로 인장력(T)을 제공받는다. 따라서, 유연 기판(1)에 의하여 주 제어 바아(417)에 가해지는 합력(F1)과 이에 대응하는 주 제어 스프링에 의한 탄성력은 다음과 같은 관계를 가진다.
Figure 112006036974830-pat00001
그리고, 유연 기판은 보조 제어 스프링부와 접하는 유연 기판(1)이 이루는 보조 접선 사이각, 즉 보조 제어 스프링부(420)와 접하는 유연 기판(1)의 양측이 형성하는 각도(α2)를 유지하며 유연 기판(1)의 양측으로 인장력(T)을 제공받는데, 유연 기판(1)에 의하여 보조 제어 바아(427)에 가해지는 합력과 이에 대응하는 주 제어 스프링에 의한 탄성력은 다음과 같은 관계를 가진다.
Figure 112006036974830-pat00002
Figure 112006036974830-pat00003
여기서, 주 접선 사이각(α1)은 보조 접선 사이각(α2) 이하로 설정하고, 주 제어 스프링의 스프링 상수(k1)가 보조 제어 스프링의 스프링 상수(k2)이상이 되도록 설정함으로써, F1=F2>F'2의 관계가 형성하게 될 수 있다. 따라서, 보조 제어 스프링부는 주 제어 스프링부에 비하여 작은 압축력을 유연 기판에 제공하는 구조를 취하여 보다 미세한 압축력을 유연 기판(1)에 제공함으로써, 유연 기판(1)의 국소적 인장력 차이로 인한 비틀림에 의해 발생하는 미세한 주름 등을 제거할 수 있다.
한편, 보조 제어 스프링부(420)는 미세하게 반응하는 보조 제어 스프링의 사전 설정된 초기 압축력, 즉, 스프링 상수가 상이한 보조 제어 스프링(423)이 적용되었을 경우 이를 조절할 수 있는 수단을 더 구비할 수도 있다. 즉, 도 2a에 도시된 바와 같이 제어 스프링부 하우징(401)에 보조 스프링 조정 나사(428)가 배치되고, 일단이 보조 제어 스프링 바아(425)의 보조 제어 스프링 바아 단차(426)에 의하여 지지되는 보조 제어 스프링(423)의 타단이 보조 스프링 조정 나사(428)에 의하여 지지될 수도 있다. 이 경우, 보조 제어 스프링 조정 나사(428)를 회전시켜 제어 스프링부 하우징(401) 내부로 인입시키거나 또는 외부로 인출시킴으로써 보조 제어 스프링 조정 나사(428)에 의하여 지지되는 보조 제어 스프링(423)의 초기 변위를 변동시켜 초기 압축력을 변동시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치에 장착되는 유연 기판의 종류 및/또는 작동 환경에 따른 변화에 적절하게 대응할 수 있어, 미세 조정이 요구되는 보조 제어 스프링의, 유연 기판의 폭에 대해 상이한 초기 압축력으로 인한 주름 발생 가능성을 제거할 수도 있다. 여기서, 보조 제어 스프링 조정 나사는 나사 타입으로 구성되었으나, 나사 타입에 한정되지 않고 제어 스프링부 하우징(401) 내부로 인입 및/또는 인출시킴에 따른 구조를 취하는 범위에서 다양한 구성을 취할 수 있음은 명백하다.
자유단 바아부(500)는, 도 2b에 도시된 바와 같이, 제 1 구동 롤러(310)와 제어 스프링부(400), 보다 구체적으로 주 제어 스프링부(410) 사이에 배치된다. 자유단 바아부(500)는 자유단 바아(510)와, 자유단 링크(520)를 구비하는데, 자유단 바아(510)는 자중에 의한 중력을 유연 기판(1)에 인가하기 위하여 소정의 질량체로 구성되는 것이 바람직하다. 자유단 바아(510)의 양단은 자유단 링크(520)의 일단에 자유 회전 가능하게 장착되고 자유단 링크(520)의 타단은 챔버 배면부(230) 및 챔버 배면부 커버 플레이트(239, 도 1a 참조)에 자유 회전 가능하게 힌지 결합된다.
한편, 자유단 바아부(500)에는 자유단 바아(510)의 회전을 감지하는 회전각 감지 센서가 더 구비될 수도 있다. 즉, 자유단 링크(520)가 장착된 회전 중심축에 회전각 감지 센서(530)가 배치되고, 유연 기판(1)에 인장력 가해지거나 또는 감해지는 경우 자유단 바아(510)의 위치 변형에 따라 자유단 링크(520)의 회전 각도가 변화함으로써 자유단 링크(520)의 단부에 장착된 회전각 감지 센서(530)가 이를 감지할 수 있다.
한편, 도 2a에서 제어 스프링부와 자유단 바아부의 구조는 제 1 구동 롤러와 주축 롤러 사이에만 배치되는 것으로 기술되었다. 물론 이 경우에도 제 1 구동 롤러는 감김 롤러로 구성될 수도 있고 풀림 롤러로 구성될 수도 있음은 상기한 바와 같다. 또한, 이와 같은 구성에 국한되지 않고, 상기한 제어 스프링부 및 자유단 바아부가 각각 제 1 제어 스프링부(400-1) 및 제 1 자유단 바아부로 형성되고, 도 3c에 도시된 바와 같이 제 2 구동 롤러와 주축 롤러 사이에 동일한 구성의 제 2 제어 스프링부(400-2)가 대칭적으로 구비될 수 있고, 그리고 제 2 자유단 바아부도 제 1 자유단 바아부와 대칭적으로 구비될 수도 있다.
또 한편, 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치의 주축 롤러는 주축 롤러 외측에 배치되는 스퍼터부에 의하여 발생하는 열로 인한 유연 기판을 열 손상을 방지하기 위하여, 냉각 효율을 극대화시키는 구조의 냉각 수단이 더 구비될 수도 있다. 도 4에는 본 발명의 일예에 따른 주축 롤러에 대한 개략적인 구조가 도시되어 있다.
주축 롤러(330)는 챔버 배면부(230)의 전면에 장착된 지지 플레이트(239)와 챔버 배면부(230)에 형성된 주축 롤러 지지부(332)에 의하여 회전 가능하게 지지된다. 주축 롤러(330)는 내부 공간인 주축 공동부(331)가 형성되는 드럼 형태로 구성되는데, 주축 롤러(330)의 회전 중심에 배치되는 주축 연결구(333)를 통하여 주축 공동부(331)로의 냉각수 유출입이 가능하다. 주축 공동부(331)를 통하여 냉각수 유출입을 위한 유입 라인(335)과 유출 라인(337)이 배치된다. 유입 라인(335)과 유출 라인(337)은 동심 상에 배치된다.
유입 라인(335)이 외주 상에 배치되고 유출 라인(337)이 유입 라인(335)의 중앙부, 즉 내부에 배치되는 구조를 취할 수도 있다. 즉, 유입 라인(335)과 유출 라인(337)이 동축 파이프로 구성되되 내부에 유출 라인(337)이 배치되고 바깥쪽에 유입 라인(335)이 배치되는 구조를 취하여, 유입 라인(335)의 내측과 유입 라인(335)의 외측 벽을 거쳐 주축 연결구(333)를 통하여 냉각수가 주축 공동부(331)로 유입되고, 주축 공동부(331)로부터 주축 연결구(333)를 관통하여 유출 라인(337)의 내측을 거쳐 냉각수가 외부로 배출될 수 있다.
이 때, 주축 롤러로 유입되는 냉각수에 의한 냉각 효과는 냉각수의 온도 및 냉각수의 유량에 의하여 결정되는데, 본 발명에 따른 주축 롤러는 냉각수 유량에 의한 냉각 효율을 최대화시킬 수 있는 유출 라인(337)을 구비할 수도 있다. 즉, 유출 라인(337)의 일단부는 주축 공동부(331) 내부로 연장 형성되되, 베이스(1)로부터 주축 롤러(330)의 회전 중심보다 높은 위치에 배치되는 구조를 취할 수도 있다. 냉각수는 냉각수 펌프(미도시)를 통하여 유입 라인(335)을 거쳐 주축 연결구(333)를 통하여 주축 공동부(331) 내로 냉각수 수위선(B-B)까지 유입된다. 유입된 냉각수가 냉각수 수위선(B-B)를 넘는 경우, 주축 롤러 내부로 유입되는 냉각수는 유출 라인(337)의 단부를 통하여 유출 라인(337)을 따라 외부로 배출된다. 따라서, 주축 롤러(330) 내부의 냉각수는, 냉각수 수위선(B-B)의 높이(h)가 주축 롤러(330)의 반경(r)보다 높은 위치를 점하게 하는 구조를 택함으로써, 주축 롤러(330) 내의 냉각수 유량을 최대화시켜 주축 롤러의 냉각 효율을 증대시킬 수도 있다. 이 경우, 냉각수가 주축 롤러(330) 내부에 과도하게 유입되는 경우, 주축 롤러의 관성이 증대되어 주축 롤러의 회전시 회전 부하가 과도하게 커질 수도 있으므로, 주축 롤러(330) 내부의 냉각수의 냉각수 수위선(B-B)의 높이(h)는 주축 롤러(330) 반경(r)의 90%로 유지되는 것이 바람직하다.
상기한 본 발명의 일실시예에 따른 롤 증착 챔버 장치에 대한 작동 과정을 도 1a 및 도 1b를 참조하여 설명한다. 챔버 배면부(230)는 챔버 배면 이동대(233)의 작동에 의하여 배면측으로 이동된다. 챔버 배면부(230)에 장착된 지지 플레이트(239)가 챔버 배면부(230)로부터 분리되고, 챔버 배면부(230)에 배치된 제 1 구동 롤러(310), 주축 롤러(330), 및 제 2 구동 롤러(320)를 따라 롤러 타입의 유연 기판(1)이 진행될 수도 있도록 유연 기판(1)을 장착하는데, 자유단 바아부(500)에 의하여 자유단 바아의 자중이 유연 기판(1)에 영향을 미치고 제어 스프링부(400)의 주 제어 스프링 및 보조 제어 스프링이 압축력을 유연 기판(1) 상에 제공할 수 있도록 주 제어 스프링 및 보조 제어 스프링이 배치된다. 유연 기판(1)의 장착이 완료되면, 챔버 배면부 이동대(233)이 챔버 본체(220)를 향하여 이동하여 결합되고, 챔버(200) 내부와 진공 라인(223)을 통하여 연결되는 진공 펌프(미도시)의 작동에 의해 챔버(200) 내부는 진공 상태를 형성 및 유지한다.
제 1 구동 롤러(310)의 회전에 의하여 풀린 유연 기판(1)은 자유단 바아(510)의 자중이 작용하는데, 이를 위하여 자유단 바아(510)의 전후로는 가이드 바아(340)가 더 장착되어 유연 기판(1)에 자유단 바아(510)의 자중이 작용하는 경우 이를 지지할 수 있다. 자유단 바아(510)를 거친 유연 기판은 제어 스프링부(400)의 주 제어 스프링부(410) 및 보조 제어 스프링부(420)에 의하여 서로 반대 방향으로 압축력을 받는다. 주 제어 스프링부(410)와 보조 제어 스프링부(420)는 서로 반대 방향으로 장착되는 범위에서 다양한 구성이 가능하나, 유연 기판(1)의 보다 안정적인 안내를 위하여 서로 평행하게 배치되는 구조를 취하는 것이 바람직하다.
보조 제어 스프링부(420)를 거친 유연 기판은 주축 롤러(330)의 외주면 상에 밀착되어 이동하고, 이 때 주축 롤러(330) 외주 상에 밀접하게 배치된 하나 이상의 스퍼터부(240)에 의하여 단층/다층으로 동질/이질 재료층이 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치는 주축 롤러를 기준으로 대칭적으로 배치되는 구조를 취하여, 롤 타입의 유연 기판을 푸는 측에서 뿐만 아니라 감는 측에서도 자유단 바아부 및 제어 스프링부에 의한 유연 기판의 비틀림 방지 및 주름 형성에 의한 불량을 제거할 수도 있다.
상기 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 일예들로, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니다. 즉, 상기 실시예들에서 제어부는 별도로 도시되지 않았으나, 제 1 구동 롤러, 제 2 구동 롤러 및 주축 롤러의 회전을 제어할 뿐만 아니라, 각종 챔버 내의 각종 계측 장비, 기체 공급부 및 스퍼터부의 작동을 제어할 수도 있는 등, 자유단 바아부 및 제어 스프링부에 의하여 유연 기판에 일정한 하중과 압력을 가하여 유연 기판의 비틀림 등에 의한 주름 형성을 방지하는 구성을 취하는 범위에서 다양한 변형이 가능하다.
상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다.
첫째, 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치는, 단순한 구조의 기계적 자유단 바아 및 제어 스프링 장치를 통하여 유연 기판의 폭에 대하여 국소적으로 발생하는 인장력 차이로 인한 주름 발생 방지 기능을 보다 효과적으로 수행할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치는, 유연 기판의 주름을 방지하는 단순한 구조의 구성 요소들을 취함으로써, 장치의 제조 원가를 현저히 저감시킬 수있고, 유지, 보수, 관리비를 대폭 저감시켜 유연 기판 증착의 공정 원가를 절감시킬 수도 있다.
셋째, 본 발명에 따른 롤 증착 챔버 장치는, 주축 롤러의 냉각수 용량을 대폭 개선하여 냉각 효과를 증대시킴으로써, 주축 롤러 상에서 증착을 이루는 유연 기판에 대한 열적 변형을 보다 효과적으로 방지할 수도 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (10)

  1. 베이스;
    상기 베이스 상에 배치되고 내부에 스퍼터부를 구비하는 챔버;
    상기 챔버 내에 배치되고 유연 기판을 진행시키는 풀림 또는 감김 롤러인 제 1 구동 롤러 및 제 2 구동 롤러, 상기 제 1 구동 롤러 및 제 2 구동 롤러 사이에서 진행하는 상기 유연 기판을 외주면 상에 진행시키는 주축 롤러를 포함하는 롤러부; 및
    상기 롤러부의 각각의 롤러들 사이에서 유연 기판의 장력을 유지시키는 제어 스프링부;를 구비하는 롤 증착 챔버 장치에 있어서,
    상기 제어 스프링부는 상기 제 1 구동 롤러와 상기 주축 롤러 사이에 배치되는 제어 스프링부 하우징과, 상기 제어 스프링부 하우징에 장착되되, 상기 주축 롤러와 멀리하는 측에 배치되어 상기 유연 기판에 주 탄성력을 인가하는 주 제어 스프링부와, 상기 주축 롤러와 가까운 측에 배치되어 상기 주 탄성력보다 작은 보조 탄성력을 상기 주 탄성력과 반대 방향으로 상기 유연 기판에 인가하는 보조 제어 스프링부를 포함하고,
    상기 제 1 구동 롤러와 상기 주 제어 스프링부 사이의 상기 유연 기판에 중력을 인가하는 자유단 바아를 포함하는 자유단 바아부;가 더 구비된 롤 증착 챔버 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 주 제어 스프링부와 상기 보조 제어 스프링부는 각각 주 제어 스프링과 보조 제어 스프링을 구비하고, 상기 유연 기판에 대하여 상기 주 제어 스프링에 의해 가해지는 탄성력이 상기 보조 제어 스프링에 의해 가해지는 탄성력보다 큰 것을 특징으로 하는 롤 증착 챔버 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 자유단 바아부의 양단에는 상기 자유단 바아의 회전을 감지하는 회전각 감지 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 롤 증착 챔버 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 구동 롤러와 상기 주축 롤러 사이에 배치되는 상기 제어 스프링부 및 자유단 바아는 제 1 제어 스프링부 및 제 1 자유단 바아이고, 상기 제 2 구동 롤러와 상기 주축 롤러 사이에 상기 제 1 제어 스프링부 및 제 1 자유단 바아와 대칭적으로 제 2 제어 스프링부 및 제 2 자유단 바아가 구비되는 것을 특징으로 하는 롤 증착 챔버 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 주축 롤러에는 중앙에 냉각수를 수용하는 주축 공동부와, 상기 주축 공동부로의 상기 냉각수의 유출입을 허용하고 상기 주축 롤러의 회전 중심에 배치되는 주축 연결구와, 상기 주축 연결구를 통하여 연결되고 동심 상에 배치되는 유입 라인과 유출 라인이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 롤 증착 챔버 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 유입 라인은 외주 상에 배치되고 상기 유출 라인은 상기 유입 라인의 중앙부에 배치되되, 상기 유출 라인의 일단은 상기 주축 공동부의 내부로 연장되어 상기 베이스로부터 상기 주축 롤러의 회전 중심보다 높은 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 롤 증착 챔버 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 챔버는 개폐 가능한 챔버 도어와, 상기 챔버 도어와 접하며 상기 스퍼터가 배치되는 챔버 본체와, 상기 롤러부, 상기 제어 스프링부 및 상기 자유단 바아가 배치되는 챔버 배면부를 구비하고,
    상기 챔버 배면부에는 상기 챔버 배면부를 이동 가능하게 하는 챔버 배면부 이동대가 구비되는 것을 특징으로 하는 롤 증착 챔버 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 챔버 배면부 이동대는 상기 챔버 배면부 하부로 상기 베이스 상에 배치되는 챔버 배면부 레일과, 일단은 상기 챔버 배면부 하부에 연결되고 타단은 상기 챔버 배면부 레일 상에서 안내되는 챔버 배면부 이동 블록인 것을 특징으로 하는 롤 증착 챔버 장치.
KR1020060047311A 2006-05-26 2006-05-26 롤 증착 챔버 장치 KR100765940B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060047311A KR100765940B1 (ko) 2006-05-26 2006-05-26 롤 증착 챔버 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060047311A KR100765940B1 (ko) 2006-05-26 2006-05-26 롤 증착 챔버 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100765940B1 true KR100765940B1 (ko) 2007-10-11

Family

ID=39419966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060047311A KR100765940B1 (ko) 2006-05-26 2006-05-26 롤 증착 챔버 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100765940B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111850504A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 领凡新能源科技(北京)有限公司 一种工艺腔室
KR20220161867A (ko) * 2021-05-31 2022-12-07 에코피아 주식회사 진공 챔버를 적용한 제백 계수 및 홀 효과 측정 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0574236A (ja) * 1991-09-09 1993-03-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 線条体の張力制御方法
JPH07220449A (ja) * 1994-01-28 1995-08-18 Nec Ibaraki Ltd 磁気ディスク板クリーニング方法および装置
JPH07244847A (ja) * 1994-02-28 1995-09-19 Kao Corp 薄膜形成装置
JPH11184347A (ja) 1997-12-25 1999-07-09 Hitachi Ltd 静電記録装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0574236A (ja) * 1991-09-09 1993-03-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 線条体の張力制御方法
JPH07220449A (ja) * 1994-01-28 1995-08-18 Nec Ibaraki Ltd 磁気ディスク板クリーニング方法および装置
JPH07244847A (ja) * 1994-02-28 1995-09-19 Kao Corp 薄膜形成装置
JPH11184347A (ja) 1997-12-25 1999-07-09 Hitachi Ltd 静電記録装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111850504A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 领凡新能源科技(北京)有限公司 一种工艺腔室
KR20220161867A (ko) * 2021-05-31 2022-12-07 에코피아 주식회사 진공 챔버를 적용한 제백 계수 및 홀 효과 측정 장치
KR102481575B1 (ko) * 2021-05-31 2022-12-28 에코피아 주식회사 진공 챔버를 적용한 제백 계수 및 홀 효과 측정 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI430970B (zh) 非接觸式往復晃動機構以及卷條隔離設備
JP5008561B2 (ja) 電極合剤ペーストの塗布方法および塗布装置
CN108603291B (zh) 真空处理系统和其方法
KR100765940B1 (ko) 롤 증착 챔버 장치
CN103180484B (zh) 真空处理装置
US20120097784A1 (en) Apparatus for transporting flexible printed circuit board strip
JP2009038276A (ja) 薄膜積層体の製造装置
JP2017057485A (ja) 真空処理装置
TWI818269B (zh) 鍍膜支架、鍍膜設備及其鍍膜方法
KR101790565B1 (ko) 그래핀 필름 제조장치
KR101226287B1 (ko) 박막 형성 장치 및 박막의 형성 방법
CN211056332U (zh) 一种料带防褶装置
WO2023029663A1 (zh) 涂布装置
KR100844276B1 (ko) 롤 증착 장치
CN208361495U (zh) 一种退卷机
CN114905683B (zh) Mlcc高速精密全自动薄膜流延机
CN113233237A (zh) 张力调节装置
EP2134481B1 (en) Dual pivot ironing roll
JP6172063B2 (ja) 長尺樹脂フィルムの表面処理装置
CN218619372U (zh) 用于真空镀膜机的收卷机构
CN219507219U (zh) 一种退卷机
CN205038003U (zh) 一种硬化膜基材进料张紧感应机构
CN220367935U (zh) 一种新型锂电池干法极片复合装置
CN217920539U (zh) 一种送膜驱动装置
CN219793100U (zh) 一种防静电的薄膜生产装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121004

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131001

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141001

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150728

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170825

Year of fee payment: 11

LAPS Lapse due to unpaid annual fee