JPH07220449A - 磁気ディスク板クリーニング方法および装置 - Google Patents

磁気ディスク板クリーニング方法および装置

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JPH07220449A
JPH07220449A JP805994A JP805994A JPH07220449A JP H07220449 A JPH07220449 A JP H07220449A JP 805994 A JP805994 A JP 805994A JP 805994 A JP805994 A JP 805994A JP H07220449 A JPH07220449 A JP H07220449A
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magnetic disk
wiping
disk plate
head
wiping cloth
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Toshiaki Saito
利明 齋藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】テープ上のワイピングクロスを使用し、その張
力コントロール機構と磁気ディスク板への定圧拭き取り
機構とを有し、磁気ディスク装置内のディスク板表面に
付着した塵埃を除去する。 【構成】磁気ディスク装置32を本体25に位置決め固
定し、スピンドル28を回転させ、前後移動部24、上
下移動部23にてワイピングヘッド2を位置決めし、下
面用重り6または上面用重り7のどちらか一方を移動さ
せ、拭き取り点3に荷重を与え、その状態でモータ22
により旋回動作を行う。また、ワイピングクロス1はロ
ーラE17とばね19により張力を一定に保たれる。こ
れにより、磁気ディスク板26表面に損傷を与えること
なく表面に付着した塵埃を完全に除去することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク板クリー
ニング方法および装置に関し、特に磁気ディスク装置内
に搭載された磁気ディスク板の表面に付着した塵埃を除
去する磁気ディスク板クリーニング方法および装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク装置内の磁気ディスク板
は、磁気ヘッドを微小間隔で空気力学的に浮上させた状
態でデータの記録再生が行われるため、磁気ディスク板
表面に塵埃が付着しているとヘッドクラッシュや出力低
下等の磁気ディスク装置にとって致命的な障害になる。
従って、製造工程内にて、磁気ディスク装置を密閉する
前に、磁気ディスク板表面に付着した塵埃を除去するこ
とが必要である。従来技術では高硬度のヘッドを記録再
生ヘッドの浮上量より低浮上させ塵埃を剥離する方法が
ある。また、この従来技術として関連するものに、例え
ば、特公平02−006156号公告等が挙げられる。
【0003】次に、この従来の特公平02−00615
6号公告のものについて図面を参照して説明する。
【0004】図5は従来例の磁気ディスク板クリーニン
グ方法および装置を説明するための要部の断面図であ
る。
【0005】高硬度の浮動ヘッド62はキャリッジ64
に取り付けられ、シーク機構65により磁気ディスク円
板61を半径方向にシークさせる。シュラウド69には
吸気部67とフアン68が設けられる。この構成で、磁
気ディスク円板61が回転すると浮動ヘッド62により
ゴミは磁気ディスク円板61の表面から離脱し、磁気デ
ィスク円板61の回転により発生する空気流により飛散
される。このゴミをシュラウド69に設けた吸引機構に
より吸引する。
【0006】これにより、紙や布を使わなくとも浮動式
のクリーニングヘッドの移動のみで磁気ディスク円板6
1のクリーニングを行うことができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の磁気デ
ィスク板クリーニング方法および装置では、塵埃を除去
する力に遠心力、磁気ディスク板と空気層の境界に発生
する引き剥がし力、ヘッドの衝撃力を使用している。そ
れに対し塵埃はファンデンワールス力(分子間力)、静
電気力、表面張力により磁気ディスク板に付着してい
る。従来例の塵埃を除去する力は塵埃の粒径が小さい場
合、塵埃の磁気ディスク板に付着する力を上回ることが
できないため、塵埃を完全に除去することができないと
いう欠点がある。粒径別には、塵埃の粒径がヘッドのテ
ーパ部とリーディングエッジの間の大きさの場合、塵埃
が磁気ヘッドや磁気ディスク板に食い込んで傷をつく
り、塵埃の粒径がリーディングエッジより小さくトレー
リングエッジより大きい場合、塵埃がリーディングエッ
ジからトレーディングエッジへ行く途中で磁気ディスク
板や磁気ヘッドに引っかき傷をつくり、塵埃の粒径が浮
上量より小さい場合は塵埃を除去することができない。
【0008】また、粒径がφ5μm以下の微小塵埃は磁
気ディスク板が回転中でも付着するため、ヘッドにより
剥離した塵埃が磁気ディスク板に再付着してしまうとい
う欠点があり、さらに、塵埃除去範囲が磁気ディスク板
のヘッドの浮上保証範囲だけであり最外周付近は塵埃除
去が行えないという欠点がある。
【0009】そのうえ、塵埃だけでなく、磁気ディスク
板の微小突起をも剥離してしまうため、その部分の保護
膜、潤滑膜が欠損してしまいヘッドクラッシュの原因に
なる場合があり、磁気ディスク装置の信頼性が悪化する
という欠点がある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、従来技
術の問題点を解決し、表面を傷付けること無く、また、
潤滑膜や保護膜に影響を与えること無く磁気ディスク板
全体にわたり塵埃を除去することを特徴とする磁気ディ
スク板クリーニング方法および装置を提供することにあ
る。
【0011】そのため、本発明の磁気ディスク板クリー
ニング方法および装置は、磁気ディスク装置の製造工程
において、磁気ディスク板をスピンドルに搭載後、磁気
ヘッドの取付前および磁気ヘッドの取付後または少なく
ともどちらか一方の後に、長繊維のワイピングクロスを
使用し、且つ、その張力コントロール機構と磁気ディス
ク板の定圧拭き取り機構、または磁気ディスク板の定圧
拭き取り機構だけを有し、ワイピングクロスに一定圧力
の物理的接触圧を与えながら、且つ、ワイピングクロス
に塵埃の付着するファンデンワールス力、静電気力、表
面張力の力のバランスをとり、そのバランス力により磁
気ディスク装置内のディスク板表面に付着した塵埃を除
去することを特徴としている。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
【0013】図1は本発明による磁気ディスク板クリー
ニング方法および装置の第一の実施例を説明するための
要部の側面図、図2は本発明による磁気ディスク板クリ
ーニング方法および装置の第一の実施例を説明するため
の要部の上面図である。
【0014】この実施例の磁気ディスク板クリーニング
装置は、拭き取りを行うテープ状の長繊維のワイピング
クロス1を備えそのワイピングクロス1により磁気ディ
スク板26の拭き取りを行うワイピングヘッド2と、ワ
イピングヘッド2に磁気ディスク板26への接触圧を加
える加圧部と、テープ状のワイピングクロス1の張力コ
ントロールする機構を備えたテープ送り部と、それらを
支持し前後上下旋回を行う移動部と、その移動部を支持
し磁気ディスク装置32の位置決めを行う本体25とか
ら構成される。
【0015】加圧部は、スペーサ27の厚み以下で製作
され磁気ディスク板26にワイピングクロス1を介し接
触するワイピングヘッド2と、プレート20に支持され
ワイピングヘッド2を自由度を持ち支持する支点部4
と、磁気ディスク板26の下面に拭き取り荷重を与える
下面用重り6と、それを移動させる下面用エアーシリン
ダー8と、磁気ディスク板26上面に拭き取り荷重を与
えるてこで構成される上面用重り7と、それを移動させ
る上面用エアーシリンダー9と、ワイピングヘッド2を
位置決め固定するチャック10とから構成される。
【0016】テープ送り部は、テープ状のワイピングク
ロス1を供給する供給リール12と、拭き取り後のワイ
ピングクロス1を巻き取り回収する回収リール11と、
下方のワイピングクロス1の張力をコントロールするロ
ーラE17と、上方の張力コントロールを行うためプレ
ート20とばね19により横方向に自由度を持った状態
で支持されるローラB14と、ワイピングクロス1の経
路を決めるローラA13、ローラC15、ローラD1
6、ローラF18とから構成される。
【0017】ワイピングクロス1は、自己発塵が少な
く、塵埃を付着させる力つまりファンデンワールス力
(分子間力)、静電気力、表面張力のバランスによる力
が磁気ディスク板26の塵埃付着力を上回り、潤滑膜等
に影響を与えないものを使用する。一例としては化学繊
維の超極細長繊維(0.1デニール程度)を編成後高収
縮高密度加工を施し、クリーン洗濯を行ったものがあ
る。また、効果を高めるためワイピングクロス1の湿度
をコントロールすることも好ましい。
【0018】尚、本実施例では、テープ状の長繊維のワ
イピングクロスを使用し連続稼動が可能な量産用を例に
しているが、キャップ状等の長繊維のワイピングクロス
をワイピングヘッドに取り付けても良い。
【0019】移動部は、加圧部およびテープ送り部を支
持するプレート20を旋回方向に自由度を持ち支持する
旋回支持部21と、旋回を駆動するモータ22と、旋回
支持部21を上下方向に移動する上下移動部23と、上
下移動部23を前後方向に移動する前後移動部24とか
ら構成される。
【0020】本体25は、移動部を支持し、磁気ヘッド
挿入前で密閉前の、ベース29とベース29に支持され
るスピンドル28とクランプ30によりスピンドル28
に固定される磁気ディスク板26とスペーサ27とから
構成される磁気ディスク装置32を位置決めする。
【0021】尚、本実施例では二枚の磁気ディスク板2
6を持つ磁気ディスク装置32を示したが、磁気ディス
ク板26は一枚、または三枚以上の複数枚であっても良
い。また、本実施例では磁気ヘッドを挿入前の磁気ディ
スク装置32を示したが、磁気ヘッド挿入後であっても
良い。さらに、本実施例ではカバー取付前の磁気ディス
ク装置32を示したが、ワイピングヘッド2の入る穴が
開いていればカバー取付後でも良い。
【0022】次に、このように構成される磁気ディスク
板クリーニング装置の動作について説明する。
【0023】水平バランスのとれているワイピングヘッ
ド2は上面用重り7と下面用重り6のバランスにより水
平状態が保たれている。まず、磁気ディスク装置32を
本体25に位置決め固定する。スピンドル28を外部、
または内部モータにより回転させる。この場合の回転数
は低速であることが望ましい。スピンドル28が規定回
転数まで上昇後、前後移動部24、上下移動部23によ
りワイピングヘッド2が拭き取り位置に位置決めされ
る。この時移動による振動のためワイピングヘッド2が
揺れることを防ぐためチャック10にてワイピングヘッ
ド2を固定する。2枚以上の磁気ディスク板26が積層
されている場合の1枚目下面以降は磁気ディスク板間の
中間に位置決めする。位置決め後、磁気ディスク板26
上面を拭き取る場合は下面用重り6を下面用エアーシリ
ンダー8にて移動させワイピングヘッド2の力点5への
荷重を抜く。これにより上面用重り7の重力がワイピン
グヘッド2の力点5にかかるためワイピングヘッド2の
拭き取り点(作用点)3に上面用重り7のワイピングヘ
ッド2のてこ比倍の力がかかり、拭き取り荷重となる。
同様に下面の場合は上面用エアーシリンダー9にて上面
用重り7を移動することによりワイピングヘッド2の拭
き取り点3に荷重を与える。その状態でモータ22によ
り旋回動作を行い、磁気ディスク板26のラジアル方向
への拭き取りを行う。旋回動作は磁気ディスク板26の
全面を少なくとも一回以上行い、図2のように最外周は
ワイピングヘッド2が多少はみ出す位置まで拭き取りを
行う。拭き取り時、ワイピングヘッドに張り付けた歪ゲ
ージ31にてワイピングヘッド2の歪を測定し、拭き取
り点3にかかる磁気ディスク板26への拭き取り荷重を
常時測定し、異常処置や補正を行う。以上の動作を磁気
ディスク板26の枚数分行う。
【0024】本実施例は、一定の拭き取り荷重を得るた
め、磁気ディスク板26の高さ、うねり、そり等の変位
変動の影響をうけないよう加圧力に重りを使用してい
る。また、重りだけでは磁気ディスク板26の加速度に
よりワイピングヘッド2が跳ねてしまうため、ワイピン
グヘッド2自身のばね性とワイピングクロス1の減衰性
能を利用している。つまり、ワイピングヘッド2を設計
する場合は、重り、ワイピングヘッド2のばね特性、固
有振動数、ワイピングクロス1の減衰能力、回転中の磁
気ディスク板の変動を把握し、設計しなければならな
い。
【0025】拭き取り荷重つまり磁気ディスク板26へ
の接触荷重は、磁気ディスク板26の種類、大きさ等に
より異なるため、磁気ディスク板26の表面観察、潤滑
膜厚測定、HHT(ヒットヘッドテスト)等を行いなが
ら設定することが好ましい。
【0026】テープ状のワイピングクロス1は供給リー
ル12から供給され、ローラF18、ローラE17、ロ
ーラD16、ワイピングヘッド2、ローラC15、ロー
ラB14、ローラA13と経て回収リール11に巻き取
られる。磁気ディスク板26一面または上下面の二面の
拭き取り動作後ごとに巻き取り動作は少なくとも一回行
い、常に新しいワイピングクロス1を供給する。
【0027】拭き取り荷重の安定には、供給リール12
から回収リール11まで間のワイピングクロス1の張力
は一定且つ低く押さえる必要があり、そのためワイピン
グクロス1の張力コントロールを行う必要がある。本実
施例では供給リール12から拭き取り点3までの張力
を、上下方向に自由度を持つローラE17の重力で与
え、拭き取り点3から回収リール11までの張力を、ロ
ーラB14をばね19で引くことにより与えている。こ
れは、拭き取り点3の曲げ抵抗等の抵抗が大きい場合で
ある。本実施例では、張力コントロールに二つの手段を
使用したが、張力の手段は一つでも、二つ以上でも良
い。また、本実施例では、張力の手段に上方にばね1
9、下方に重り(ローラE17)を使用したが、重り、
ばね、ゼンマイばね等の組み合わせにより、同様の効果
が得られる。また、ワイピングクロス1の張力はワイピ
ングクロス1の経路抵抗よりも僅かに高い程度が望まし
い。
【0028】図3は図1の支点部4の詳細な断面図であ
る。
【0029】支点部4は、プレート20に支持されるベ
アリングホルダー36と、ベアリングホルダー36に外
輪を支持され軸33を内輪で支持するベアリング37、
ベアリング38と、軸33とピン35とにより結合され
る副軸34と、内輪により副軸34を外輪によりワイピ
ングヘッド2を支持するベアリング39、ベアリング4
0とから構成される。上記構造をとることにより、ワイ
ピングヘッド2は軸33を中心に磁気ディスク板26へ
の荷重方向の自由度を持つほかに副軸34を中心に磁気
ディスク板のそり方向に自由度を持つことになり、磁気
ディスク板26のそり方向の変動にもワイピングヘッド
2が追従することができる。そのため、ワイピングヘッ
ド2の拭き取り点3の磁気ディスク板26への片当たり
による点荷重を防止し、拭き取り点3の拭き取り荷重を
常に線荷重にし、拭き取り荷重の安定と拭き取り領域の
確保を行う。
【0030】図4は本発明による磁気ディスク板クリー
ニング方法および装置の第二の実施例を説明するための
要部の側面図である。
【0031】この第二の実施例では、上記の第一の実施
例では拭き取りを行うことのできないバスタブ型のベー
スを使用する磁気ディスク装置のクリーニング装置につ
いて説明する。
【0032】この実施例の磁気ディスク板クリーニング
装置は、磁気ディスク板26の拭き取りを行うプレート
20の支点部4に自由度を持ち支持されるL字型のワイ
ピングヘッド2と、支点部4を中心に回転方向に自由度
を持ちワイピングヘッド2の力点部5に荷重をかける重
り41と、重り41を移動させるレバー42を先端に固
定するシリンダー43とから成る加圧部と、テープ状の
ワイピングクロス1と、そのワイピングクロス1を供給
する供給リール12と、拭き取り後のワイピングクロス
1を回収する回収リール11と、ワイピングクロス1の
張力をコントロールするプレート20に上下方向に自由
度を持つローラG44と、ワイピングクロス1の経路を
決めるローラH45、ローラI46、ローラJ47、ロ
ーラK48、ローラL49、ローラM50とから成るテ
ープ送り部と、プレート20を旋回方向に自由度を持ち
支持する旋回支持部21と、旋回を駆動するモータ22
と、旋回支持部21を上下方向に移動する上下移動部2
3と、上下移動部23を左右方向に移動する前後移動部
24とから成る移動部と、前後移動部24を支柱51に
より支持しバスタブ型のベース29とベース29に支持
されるスピンドル28とクランプ30によりスピンドル
28に固定される磁気ディスク板26とスペーサ27と
から成る磁気ディスク装置32を位置決めする本体25
とから構成される。また、このクリーニング装置は、本
体25に支持されるチャンバー移動部55と、チャンバ
ー移動部55により上下に移動する吸気口52と排気口
53とを備えるチャンバー54とから構成されるエアー
ブロー部を備える。
【0033】次に、このように構成される磁気ディスク
板クリーニング装置の動作について説明する。
【0034】水平バランスのとれているワイピングヘッ
ド2は、重り41の重心を支点部4の真上に位置決めす
ることにより水平状態が保たれている。まず、磁気ディ
スク装置32を本体25に位置決め固定する。スピンド
ル28を外部、または内部モータにより回転させる。ス
ピンドル28が規定回転数まで上昇後、前後移動部2
4、上下移動部23によりワイピングヘッド2が拭き取
り位置に位置決めされる。位置決め後、磁気ディスク板
26の下面をふき取る場合は図4のように重り41をシ
リンダー43の動作により左側に倒すことにより力点5
に荷重を与える。この荷重が支点部4を介し、ワイピン
グヘッド2先端の拭き取り荷重となる。同様に上面側に
拭き取り荷重を与えるには、シリンダー43の動作によ
り重り41を右方向に倒すことにより荷重を与える。こ
の状態でモータ22により旋回動作を行い、磁気ディス
ク板26のラジアル方向への拭き取りを行う。この動作
をディスク板の枚数分行う。
【0035】この拭き取り動作を行う前に、チャンバー
54を磁気ディスク装置32の上に下降させ、磁気ディ
スク装置32を密閉する。この状態でスピンドル28を
外部または内部モータで回転させ、遠心力により磁気デ
ィスク板26表面の塵埃(粒径φ50μm以上)を離脱
させ、さらに離脱した塵埃を排気口53より例えばブロ
ア、ファンを使用し吸引し、吸気口52より清浄な空
気、例えばフィルタを介した空気を送気することにより
除去する。粒径の大きな塵埃の除去を本エアーブロー動
作で行い、前述した拭き取り動作で微小塵埃を除去す
る。なお、このエアーブロー機構は第一の実施例に用い
ても良い。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気ディ
スク板クリーニング方法および装置は、磁気ディスク装
置の製造工程において、磁気ディスク板をスピンドルに
搭載後、磁気ヘッドの取付前および磁気ヘッドの取付後
または少なくともどちらか一方の後に、長繊維のワイピ
ングクロスを使用し、且つ、その張力コントロール機構
と磁気ディスク板の定圧拭き取り機構、または磁気ディ
スク板の定圧拭き取り機構だけを有する磁気ディスク板
クリーニング装置を使用することにより、磁気ディスク
装置内のディスク板表面に付着した塵埃を、磁気ディス
ク板表面全体にわたり且つ表面を傷付けること無く、さ
らに潤滑膜に影響を与えること無く塵埃を除去すること
ができ、磁気ディスク装置の信頼性を向上することがで
きるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による磁気ディスク板クリーニング方法
および装置の第一の実施例を説明するための要部の側面
図である。
【図2】本発明による磁気ディスク板クリーニング方法
および装置の第一の実施例を説明するための要部の上面
図である。
【図3】図1の支点部4の詳細な断面図である。
【図4】本発明による磁気ディスク板クリーニング方法
および装置の第二の実施例を説明するための要部の側面
図である。
【図5】従来例の磁気ディスク板クリーニング方法およ
び装置を説明するための要部の断面図である。
【符号の説明】
1 ワイピングクロス 2 ワイピングヘッド 3 拭き取り点(作用点) 4 支点部 5 力点部 6 下面用重り 7 上面用重り 8 下面用エアーシリンダー 9 上面用エアーシリンダー 10 チャック 11 回収リール 12 供給リール 13 ローラA 14 ローラB 15 ローラC 16 ローラD 17 ローラE 18 ローラF 19 ばね 20 プレート 21 旋回支持部 22 モータ 23 上下移動部 24 前後移動部 25 本体 26 磁気ディスク板 27 スペーサ 28 スピンドル 29 ベース 30 クランプ 31 歪ゲージ 32 磁気ディスク装置 33 軸 34 副軸 35 ピン 36 ベアリングホルダー 37 ベアリング 38 ベアリング 39 ベアリング 40 ベアリング 41 重り 42 レバー 43 シリンダー 44 ローラG 45 ローラH 46 ローラI 47 ローラJ 48 ローラK 49 ローラL 50 ローラM 51 支柱 52 吸気口 53 排気口 54 チャンバー 55 チャンバー移動部 61 磁気ディスク円板 62 浮動ヘッド 63 スピンドル 64 キャリッジ 65 シーク機構 66 クランプ 67 吸気部 68 ファン 69 シュラウド

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気ディスク板を磁気ディスク装置内の
    スピンドルに搭載後、磁気ヘッドの取付前および磁気ヘ
    ッドの取付後または少なくともどちらか一方の後に、長
    繊維のワイピングクロスを使用し、前記磁気ディスク板
    の定圧拭き取り機構により前記ワイピングクロスに一定
    圧力の物理的接触圧を与えながら前記ワイピングクロス
    により前記磁気ディスク板表面に付着した塵埃を除去す
    ることを特徴とする磁気ディスク板クリーニング方法。
  2. 【請求項2】 磁気ディスク板を磁気ディスク装置内の
    スピンドルに搭載後、磁気ヘッドの取付前および磁気ヘ
    ッドの取付後または少なくともどちらか一方の後に、テ
    ープ状の長繊維のワイピングクロスを使用し、その張力
    コントロール機構と前記磁気ディスク板の定圧拭き取り
    機構とにより前記ワイピングクロスに一定圧力の物理的
    接触圧を与えながら前記ワイピングクロスにより前記磁
    気ディスク板表面に付着した塵埃を除去することを特徴
    とする磁気ディスク板クリーニング方法。
  3. 【請求項3】 前記長繊維のワイピングクロスのファン
    デンワールス力(分子間力)と、静電気力と、表面張力
    との力のバランスがとられていることを特徴とする請求
    項1または請求項2記載の磁気ディスク板クリーニング
    方法。
  4. 【請求項4】 磁気ディスク板を磁気ディスク装置内の
    スピンドルに搭載後磁気ヘッドの取付前および磁気ヘッ
    ドの取付後または少なくともどちらか一方の後に前記磁
    気ディスク板を拭き取る長繊維のワイピングクロスと、
    前記ワイピングクロスに一定荷重を与え前記ワイピング
    クロスに一定圧力の物理的接触圧を与えながら前記ワイ
    ピングクロスにより前記磁気ディスク板に付着した塵埃
    を除去する定圧拭き取り機構とを有することを特徴とす
    る磁気ディスク板クリーニング装置。
  5. 【請求項5】 磁気ディスク板を磁気ディスク装置内の
    スピンドルに搭載後磁気ヘッドの取付前および磁気ヘッ
    ドの取付後または少なくともどちらか一方の後に前記磁
    気ディスク板を拭き取るテープ状の長繊維のワイピング
    クロスと、前記ワイピングクロスの張力をコントロール
    する張力コントロール機構と、前記ワイピングクロスに
    一定荷重を与え前記張力コントロール機構とにより前記
    ワイピングクロスに一定圧力の物理的接触圧を与えなが
    ら前記ワイピングクロスにより前記磁気ディスク板に付
    着した塵埃を除去する定圧拭き取り機構とを有すること
    を特徴とする磁気ディスク板クリーニング装置。
  6. 【請求項6】 前記長繊維のワイピングクロスが、ファ
    ンデンワールス力(分子間力)と、静電気力と、表面張
    力との力のバランスがとれているものであることを特徴
    とする請求項4または請求項5記載の磁気ディスク板ク
    リーニング装置。
  7. 【請求項7】 拭き取りを行うテープ状の長繊維のワイ
    ピングクロスを備えたワイピングヘッドを加圧し前記ワ
    イピングヘッドにより磁気ディスク板の定圧拭き取りを
    行わせる加圧部と、前記テープ状の長繊維のワイピング
    クロスの張力コントロールを行う機構を備えたテープ送
    り部と、前記加圧部と前記テープ送り部とを支持し前後
    上下旋回を行う移動部と、前記移動部を支持し磁気ディ
    スク装置の位置決めを行う本体とを有することを特徴と
    する磁気ディスク板クリーニング装置。
  8. 【請求項8】 前記加圧部が、前記磁気ディスク板間に
    設けられたスペーサの厚み以下で製作され前記磁気ディ
    スク板に前記ワイピングクロスを介し接触し前記磁気デ
    ィスク板の拭き取りを行うワイピングヘッドと、プレー
    トに支持され前記ワイピングヘッドを自由度を持ち支持
    する支点部と、前記磁気ディスク板の下面に拭き取り荷
    重を与える下面用重りと、それを移動させる下面用エア
    ーシリンダーと、前記磁気ディスク板上面に拭き取り荷
    重を与えるてこで構成される上面用重りと、それを移動
    させる上面用エアーシリンダーと、前記ワイピングヘッ
    ドを位置決め固定するチャックとから構成されることを
    特徴とする請求項7記載の磁気ディスク板クリーニング
    装置。
  9. 【請求項9】 前記加圧部が、前記磁気ディスク板の拭
    き取りを行うL字型のワイピングヘッドと、プレートに
    支持され前記ワイピングヘッドを自由度を持ち支持する
    支点部と、前記支点部を中心に回転方向に自由度を持ち
    前記ワイピングヘッドの力点部に荷重をかける重りと、
    前記重りを移動させるレバーを先端に固定するシリンダ
    ーとから構成されることを特徴とする請求項7記載の磁
    気ディスク板クリーニング装置。
  10. 【請求項10】 前記支点部4が、プレートに支持され
    るベアリングホルダーと、前記ベアリングホルダーに外
    輪を支持され軸を内輪で支持するベアリングA、ベアリ
    ングBと、前記軸とピンとにより結合される副軸と、内
    輪により前記副軸を外輪により前記ワイピングヘッドを
    支持するベアリングC、ベアリングDとから構成される
    ことを特徴とする請求項8または請求項9記載の磁気デ
    ィスク板クリーニング装置。
  11. 【請求項11】 前記テープ送り部が、前記テープ状の
    長繊維のワイピングクロスを供給する供給リールと、拭
    き取り後の前記ワイピングクロスを巻き取り回収する回
    収リールと、下方の前記ワイピングクロスの張力をコン
    トロールするローラEと、上方の前記ワイピングクロス
    の張力コントロールを行うためプレートとばねとにより
    横方向に自由度を持った状態で支持されるローラBと、
    前記ワイピングクロスの経路を決めるローラA、ローラ
    C、ローラD、ローラFとから構成されることを特徴と
    する請求項7記載の磁気ディスク板クリーニング装置。
  12. 【請求項12】 前記移動部が、前記加圧部と前記テー
    プ送り部とを支持するプレートを旋回方向に自由度を持
    ち支持する旋回支持部と、前記旋回を駆動するモータ
    と、前記旋回支持部を上下方向に移動する上下移動部
    と、前記上下移動部を前後方向に移動する前後移動部と
    から構成されることを特徴とする請求項7記載の磁気デ
    ィスク板クリーニング装置。
  13. 【請求項13】 前記本体が、前記移動部を支持し、ベ
    ースとそのベースに支持されるスピンドルとクランプに
    より前記スピンドルに固定される磁気ディスク板とスペ
    ーサとから構成される磁気ディスク装置を位置決めする
    ことを特徴とする請求項7記載の磁気ディスク板クリー
    ニング装置。
  14. 【請求項14】 前記本体に支持されるチャンバー移動
    部と、前記チャンバー移動部により上下に移動する吸気
    口と排気口とを備えるチャンバーとから構成されるエア
    ーブロー部を備えることを特徴とする請求項7記載の磁
    気ディスク板クリーニング装置。
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KR100765940B1 (ko) * 2006-05-26 2007-10-11 주식회사 에이브이엠에스 롤 증착 챔버 장치

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