JPS63282920A - 磁気ディスク媒体のバニッシュ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、磁気ディスク媒体表面の突起を除去して平滑
な表面を形成するた必の磁気ディスク媒体のバニッシュ
装置に関するものである。

従来の技術 アルミニウム合金などの剛性が高いディスク基板上に磁
性層を形成した磁気ディスク媒体を用いる磁気ディクス
装置においては、動圧気体軸受である浮動へラドスライ
ダを用いて高速回転する磁気ディスク媒体上に微小なす
きまを保ちながら磁気ヘッドを浮上させた状態で記録再
生を行っている。このような磁気ディスク装置において
は、磁気ディスク媒体の表面に高い突起が存在すると、
磁気ディスクに対して相対的に大きな浮上隙間で磁気ヘ
ッドを浮上させなければならず、その結果、記録密度を
高くすることができない。

また、最近では磁気ヘッドを磁気ディスク媒体上に接触
させた状態で、ディスク媒体の回転を開始し、駆動モー
タにより回転・停止を行うコンタクトスタートストップ
（Ｃ３Ｓ）の方式の磁気ディスク装置が主流になってき
ている。このＣ８Ｓ方式を採用した磁気ディスク装置で
は、磁気ディスク媒体表面に高い突起が存在すると、モ
ータの回転・停止時での磁気ヘッドの走行状態が不安定
となるだけでなく、磁気ヘッドのスライダ面が磁気ディ
スク媒体に衝突する等によって磁気ヘッドあるいは磁気
ディスク媒体の摩耗が起こり、所謂ヘッドクラッシュが
生じる。

このような問題を避けるため、一般には、磁気ディスク
媒体表面上の一定高さ以上の突起はバニッシュによって
予め除去されている。

特に、スパッタ法あるいはメッキ法で磁性膜を形成した
連続薄膜媒体においては、０．２μｍ以下の極めて微少
な浮上隙間でヘッドを安定に浮上させる必要があるため
、少なくとも０．１　μｍ以下の高さに突起をバニッシ
ュすることが必要であり、しかもこのバニッシュは磁性
膜を損傷させずに行う必要がある。

＝３− 発明が解決しようとする問題点 従来、上記のスパッタ法あるいはメッキ法で磁性膜を形
成した連続薄膜媒体をバニッシュする場合には、磁気ヘ
ッドと同様な形状のスライダ面を有するサファイア等で
作られたバニッシュへ、ンドをジンバルに取付けて磁気
ディスク媒体表面をバニッシュしていた。

この従来のバニンンユ装置では、連続薄膜媒体の一部に
存在する結晶の異常成長やゴミの付着などによって生じ
た直径１μｍ、高さ０．２　μｍ以上の突起をバニッシ
ュすることが困難であった。また、突起を除去すること
によって生じる磁性膜材料がハニッシュヘンドのスライ
ダに付着堆積し、それがバニッシュ中に脱落して、スラ
イダと媒体との隙間に入り込んで媒体表面を痕つけるな
どの問題があった。

そこで、本発明の目的は、前記のような突起を短時間で
０．１　μｍ以下の高さにバニッシュして、磁気ヘッド
が磁気ディスク媒体上で安定に浮上できるようにする磁
気ディスク媒体のバニッシュ装置を提供することにある
。

問題点を解決するための手段 本発明者は、磁気ディスク媒体のバニッシュ装置におけ
る上記の欠点を解決すべく種々検討し、研究を重ねた結
果、本発明を完成した。

を装着し、付勢手段により上記アームを磁気ディスク媒
体表面に向かって押圧することにより、上記球状スライ
ダで磁気ディスク媒体表面上の突起をバニッシュするよ
うにしたことを特徴としている。

上記球状スライダは０．１〜１０ｍｍの曲率を有するの
が好ましい。この曲率が０．．１　ｍｍ未満では均一に
バニッシュするすることができず、また、１０ｍｍを超
えると本発明の効果が期待できない。

上記球状スライダは硬度１０　（ＧＮ／ｍ２）以上の高
硬度材で作られているのが好ましい。この倍未満の硬度
では短時間にバニッシュができず、また、バニッシュヘ
ッドの摩耗が大きくなるため経済的ではない。

上記付勢手段は圧縮コイルバネによって構成することが
できるが、板バネ等の他の弾性体にすることもできる。

場合によってはこの付勢手段として引っ張りバネを用い
ることもできる。

上記アームを磁気ディスク媒体表面に向かって押圧する
押圧機構は磁気ディスク媒体の各面に向かって一対設け
るのが好ましい。そうすることによって磁気ディスク媒
体の両面を同時且つ均一にバニッシュすることができる
。

本発明の好ましい一実施例のバニッシュ装置では、上記
球状スライダを清掃するためのクリーニングスペーサと
バニッシュによって生じた摩耗微小粒子を吸引除去する
機構とがさらに設けられている。上記クリーニングスペ
ーサは、磁気ディスク媒体上の突起をバニッシュヘッド
によって除去した際に、そのスライダに付着堆積した突
起すなわち屑を清掃するのに用いられ、上記吸引除去機
構はバニッシュされて飛散する突起すなわち摩耗微小粒
子を吸引除去する役目をする。

本発明において使用する球状スライダは磁性膜よりも硬
い材料、例えば、サファイア、炭素珪素、窒化珪素、ア
ルミナ等で作ることができる。

また、このような材料で製造した球状スライダでバニッ
シュされる磁気ディスク媒体は磁性膜表面上に例えばＳ
ｉＯ□または炭素のような保護膜を設けであるもの、あ
るいは磁性膜や保護膜表面に潤滑剤を塗布したものであ
っても良い。

実施例 以下、本発明の磁気ディスク媒体のバニッシュ装置を具
体例によって詳細に説明するが、本発明は下記の実施例
にのみ限定されるものではなく、種々変更が可能である
。

第１図は本発明によるバニッシュ装置の一実施例の概念
的説明図である。このバニッシュ装置は放射方向に往復
移動可能な支持台１３に片持ち枢着されたアーム２０（
図示した実施例では磁気ディスク媒体３の各面に各々一
つのアーム２０．２０’　が設けられている）を有し、
このアーム２０の先端部には本発明による球状スライダ
６が取り付けられている。アーム２０は上記支持台１３
とアーム２０との間に設けられたコイルバネ７によって
磁気ディスク媒体３に向かつて付勢されている。コイル
バネ７は支持台１３に取り付けた荷重調整ネジ８によっ
て磁気ディスク媒体３の表面に数〜数十ｇｆの範囲の任
意の加重が加わるように調節される。

本発明の好ましい実施例では、磁気ディスク媒体３をク
リーニングスペーサ２を介して保持するようになされて
おり、また、バニッシュ中に発生して飛散する除去され
た突起微粒子を吸引除去する吸気口９とがさらに設けら
れている。

クリーニングスペーサ２の一実施例は第２図に示しであ
る。第２図は第１図に示したクリーニングスペーサ２の
Ａの部分の拡大図で、このクリーニングスペーサ２は厚
さ数十μｍ以上の金属板１４の表面に、吸塵効果が高い
布あるいは紙の吸塵用薄片１５を貼付したものである。

このクリーニングスペーサ２はバニッシュに先立ってス
ピンドル１に装着される。すなわち、スピンドル１に先
ず下側のクリーニングスペーサ２を装着した後、この上
に磁気ディスク媒体３を装着する。磁気ディスク媒体３
を装着した後に、再び上側のクリーニングスペーサ２を
装着し、ディスク押さえ４とディスク固定ネジ５でクリ
ーニングスペーサ２と磁気ディスク媒体３をスピンドル
１に固定する。

本発明の好ましい実施例ではさらにバニッシュによって
生じた摩耗微小粒子を吸引する機構を有している。この
機構は球状スライダ６に近接して配置された吸気口９を
含み、この吸気口９は吸気管ホルダ１０によって支持さ
れた吸気管１１を介して装置から十分能れた位置に置か
れた吸引用ポンプ１２と連通している。

使用時には、アーム２０に取付けた球状スライダ６を、
コイルバネ７を介した荷重調整ネジ８により数〜数十ｇ
ｆの範囲の任意荷重に選定して、磁気ディスク媒体の両
面に押付ける。磁気ディスク媒体の両面に所定の押付力
が加えられた時点で、スピンドルを回転させてハニンシ
ユングを行う。

バニッシュ中に発生して飛散する突起微粒子は、球状ス
ライダ６に近接して取付けた吸気口９から上記吸気管１
１を通って上記吸引用ポンプ１２の外部に排出される。

また、球状スライダ６への突起微粒子の付着が多くなっ
た場合には、支持台１３を磁気ディスク媒体３の半径方
向内側に移動して、球状スライダ６をクリーニングスペ
ーサ２　（吸塵用薄片１５）の上で走行させ、球状スラ
イダの清掃を行う。清掃を行った後は、再び磁気ディス
ク媒体上の任意の位置にスライダを移動してバニッシュ
を継続する。

以上の操作により、スパッタ法でアルミ合金基板上に形
成したＣ○とＣｒを主成分とする磁性膜をバニッシュし
た後に測定した突起高さと接触個数の関係を第３図に示
す。

第３図中の・印は本発明の装置によって１７秒間バニッ
シュした磁気ディスク媒体の突起個数を、またム印は従
来の装置によってバニッシュした磁気ディスク媒体の突
起個数を示す。また、○印は比較のためバニッシュ前の
突起個数を示したものである。

第３図から明らかなように本発明の装置によるものは従
来の装置で除去することが不可能であった０、２　μｍ
を超えるような大きい突起が１７秒の短時間の間に、１
／２以下の０．０８μｍ以下の突起にまで除去できるこ
とが判明した。また、バニッシュ後のスライダを、清掃
用スペーサに移動し、暫く回転させた後にスライダ面を
観察したところ、バニッシュされた突起微粒子の付着は
認められず、清浄な表面状態を呈していた。

さらに、本発明の装置によれば、バニッシュ中あるいは
クリーニングゾーンから発生した突起の摩耗微粒子が吸
気孔から排出されるため、ディスク媒体表面に再び付着
することが少なく、スライダと媒体の接触面に入り込ん
で、媒体に痕を発生させることがなく、突起のみを効果
的に除去できることも判明した。

発明の効果 本発明のバニッシュ装置によれば、磁気ディスク媒体表
面の突起が０．０８μｍ以下にしかも短時間で除去され
、良好なバニッシュ効果を得ることができる。従って、
磁気ヘッドの低浮上化による高記録密度化及び磁気ヘッ
ドの動作安定化に顕著な効果が発揮され、Ｃ８Ｓ方式を
採用した磁気ディスク装置等に適用して極めて有効であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明における磁気ディスク媒体のバニッシ
ュ装置の概略図であり、 第２図は、第１図のＡ部分を拡大して示したクリーニン
グスペーサの概略図であり、 第３図は、本発明と従来のバニッシュ装置によってバニ
ッシュを行った磁気ディスク媒体の突起高さと突起接触
個数との関係を示す特性図である。 〔主な参照番号〕 １・・・スピンドル ２・・・クリーニングスペーサ ３・・・磁気ディスク媒体 ４・・・ディスク押さえ ５・・・ディスク固定ネジ ６・・・球状スライダ ７００．コイルバネ ８・・・荷重調整ネジ ９・・・吸気口 １０・・・吸気管ホルダ １１・・・吸気管 １２・・・吸引用ポンプ １３・・・支持台 １４・・・金属板 １５・・・吸塵用薄片 ２０・・・アーム

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気ディスク媒体表面の突起をバニッシュする磁
   気ディスク媒体のバニッシュ装置において、アーム先端
   に球状スライダを装着し、付勢手段により上記アームを
   磁気ディスク媒体表面に向かって押圧することにより、
   上記球状スライダで磁気ディスク媒体表面上の突起をバ
   ニッシュするようにしたことを特徴とする磁気ディスク
   媒体のバニッシュ装置。
2. （２）上記球状スライダが０．１〜１０ｍｍの曲率を有
   することを特徴とする特許請求範囲第１項記載の磁気デ
   ィスク媒体のバニッシュ装置。
3. （３）上記球状スライダが硬度１０（ＧＮ／ｍ＾２）以
   上の高硬度材で作られていることを特徴とする特許請求
   範囲第１項または第２項記載の磁気ディスク媒体のバニ
   ッシュ装置。
4. （４）上記付勢手段が圧縮コイルバネによって構成され
   ていることを特徴とする特許請求範囲第１項から第３項
   までのいずれか１項記載の磁気ディスク媒体のバニッシ
   ュ装置。
5. （５）上記アームを磁気ディスク媒体表面に向かって押
   圧する押圧機構が磁気ディスク媒体の両面に対称に設け
   られていることを特徴とする特許請求範囲第１項から第
   ４項までのいずれか１項記載の磁気ディスク媒体のバニ
   ッシュ装置。
6. （６）上記球状スライダを清掃することが可能なクリー
   ニングスペーサとバニッシュによって生じた摩耗微小粒
   子を吸引する機構とをさらに有することを特徴とする特
   許請求範囲第１項から第５項までのいずれか１項記載の
   磁気ディスク媒体のバニッシュ装置。