KR100758426B1 - 코리올리 자이로를 위한 작동방법 및 측정/제어 전자시스템및 펄스 변조기 - Google Patents
코리올리 자이로를 위한 작동방법 및 측정/제어 전자시스템및 펄스 변조기 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100758426B1 KR100758426B1 KR1020057020683A KR20057020683A KR100758426B1 KR 100758426 B1 KR100758426 B1 KR 100758426B1 KR 1020057020683 A KR1020057020683 A KR 1020057020683A KR 20057020683 A KR20057020683 A KR 20057020683A KR 100758426 B1 KR100758426 B1 KR 100758426B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- signal
- signals
- digital
- frequency
- pulse
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Compression, Expansion, Code Conversion, And Decoders (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Transmitters (AREA)
Abstract
Description
S1 | 404 | 402 |
-1 | 0 | U0 |
0 | 0 | 0 |
1 | U0 | 0 |
Claims (8)
- 코리올리 자이로(1)의 공진기(2)의 유도 진동/판독 진동의 순시 진폭들/주파수들의 측정값을 나타내는 디지털 판독 신호들(S9,S10)이 생성되는 단계와,상기 공진기(2)는 상기 공진기(2)에 적용되되, 상기 유도 진동/판독 진동이 특정한 진폭들/주파수들을 지니도록 상기 디지털 판독 신호들(S9,S10)의 함수로서 제어되는 힘 신호들(S3 내지 S6)을 인가받는 단계를 포함하는 코리올리 자이로(1)의 작동방법에 있어서,상기 힘 신호들(S3 내지 S6)이 상기 디지털 판독 신호들(S9,S10)에서 얻어지는 디지털 유도/보상 신호들(S15 내지 S18)을 공급받는 펄스 변조기(37)로부터의 양자화 출력 신호들(S1 내지 S2)로부터 생성되는 것을 특징으로 하는 코리올리 자이로의 작동 방법.
- 제1항에 있어서,상기 펄스 변조기(37)로부터의 상기 출력 신호들(S1 내지 S2)이 3원-양자화되는 것을 특징으로 하는 코리올리 자이로의 작동 방법.
- 제2항에 있어서,상기 펄스 변조기(37)는 각각 3원-양자화되는 제1 및 제2출력 신호(S1 내지 S2)를 생성하되, 상기 제1출력 신호(S1)는 3원-양자화 힘 펄스들(S3,S4)의 제1시퀀스로 변형되고, 상기 제2출력 신호(S2)는 3원-양자화 힘 펄스들(S5,S6)의 제2시퀀스로 변형되고, 상기 힘 펄스들의 제1시퀀스는 상기 유도 진동을 소정의 진폭들/주파수들로 설정하기 위하여 사용되는 상기 힘 신호들의 부분이고, 상기 힘 펄스들의 제2시퀀스는 상기 판독 진동을 소정의 진폭들/주파수들로 설정하기 위하여 사용되는 상기 힘 신호들의 부분인 것을 특징으로 하는 코리올리 자이로의 작동 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 디지털 판독 신호들(S9,S10)의 생성단계는-상기 힘 신호들에 의해 생성되는 전기장을 기준으로 하여 이동 중심 전극으로 흐르는 전기적 전하량이 전하 증폭기(31)에 의해 측정되는 단계와,-상기 전하 증폭기(31)로부터 대응하는 아날로그 출력 신호(S7)가 디지털 출력신호(S8)로 변환되는 단계와,-상기 디지털 판독 신호들(S9,S10)이 상기 펄스 변조기(37)로부터의 순시 또는 이전(older) 출력 신호 값들(S1,S2)의 함수로서, 신호 분리기(33)를 통해 상기 전하 증폭기(31)의 상기 출력 신호로부터 결정되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 코리올리 자이로의 작동 방법.
- 제1항에 있어서,상기 디지털 판독 신호들(S9,S10)은 각각의 경우에 있어서 복조 단계를 통해 정규(normal) 및 직교위상 요소(S11 내지 S14)로 나누어지는 것을 특징으로 하는 코리올리 자이로의 작동 방법.
- 제5항에 있어서,상기 디지털 유도/보상 신호들(S15 내지 S18)의 정규(normal) 및 직교위상 요소들은 제어 시스템(36)을 통해 상기 디지털 판독 신호들의 상기 정규(normal) 및 직교위상 요소들(S11 내지 S14)로부터 생성되고 상기 펄스 변조기(37)로 전송되는 것을 특징으로 하는 코리올리 자이로의 작동 방법.
- 코리올리 자이로(1)의 공진기(2)의 유도진동/판독진동의 순시 진폭들/주파수들의 측정값을 나타내는 디지털 판독 신호들(S9,S10)을 생성하는 유닛(31,32,33)과,상기 유도진동/판독진동이 특정한 진폭들/주파수들을 지니도록 제어되는 힘 신호들(S3 내지 S6)이, 상기 디지털 판독 신호의 함수로서 생성되어 상기 공진기(2)에 전송되도록 하는 적어도 하나의 제어 루프(31 내지 37)로 이루어진 코리올리 자이로의 사용을 위한 측정/제어(조절) 전자기기에 있어서,상기 제어루프의 일부분을 이루고, 상기 디지털 판독 신호들(S9,S10)로부터 얻어진 디지털 유도/보상 신호들(S15 내지 S16)을 공급받는 펄스 변조기(37)를 구비하여, 상기 힘 신호들이 상기 펄스 변조기(37)의 양자화된 출력신호들(S1,S2)로부터 생성되도록 하는 것을 특징으로 하는 코리올리 자이로의 사용을 위한 측정/제어 전자기기.
- 복소 입력 신호(x(t))와 피드백 신호(y(t))(52)간의 차이로부터 제어 오차 신호를 생성하는 덧셈노드(51)와,상기 제어 오차 신호를 제어 신호(57)로 변환하는 신호변환유닛과,상기 제어 신호(57)에 주파수(ω0)에서 진동하는 복소 믹싱 신호를 곱하여, ω0에 의한 업믹스 제어 신호의 실수부(61) 및 허수부 중에서 적어도 하나를 생성하는 제1곱셈 유닛(58)와,ω0에 의한 상기 업믹스 제어 신호의 실수부 및 허수부 중에서 적어도 하나를 양자화하여 펄스 신호(y(t))를 생성하는 양자기(62)와,상기 펄스 신호(y(t))를 사용하여 상기 덧셈노드를 위한 상기 피드백 신호(52)를 생성하는 피드백유닛을 포함하는 것을 특징으로 하여 복소 입력 신호 x(t)를 펄스 신호 y(t)로의 변환을 위한 펄스 변조기.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10320675A DE10320675B4 (de) | 2003-05-08 | 2003-05-08 | Betriebsverfahren für einen Corioliskreisel und dafür geeignete Auswerte-/Regelelektronik |
DE10320675.2 | 2003-05-08 | ||
PCT/EP2004/004844 WO2004099716A1 (de) | 2003-05-08 | 2004-05-06 | Betriebsverfahren für einen corioliskreisel und dafür geeignete auswerte-/regelelektronik und pulsmodulator |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060017597A KR20060017597A (ko) | 2006-02-24 |
KR100758426B1 true KR100758426B1 (ko) | 2007-09-14 |
Family
ID=33394339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020057020683A KR100758426B1 (ko) | 2003-05-08 | 2004-05-06 | 코리올리 자이로를 위한 작동방법 및 측정/제어 전자시스템및 펄스 변조기 |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7805993B2 (ko) |
EP (1) | EP1620698B1 (ko) |
JP (1) | JP4166256B2 (ko) |
KR (1) | KR100758426B1 (ko) |
CN (1) | CN100567894C (ko) |
AT (1) | ATE366911T1 (ko) |
AU (1) | AU2004236400B2 (ko) |
CA (1) | CA2524046C (ko) |
DE (3) | DE10320675B4 (ko) |
NO (2) | NO20055235D0 (ko) |
PL (1) | PL1620698T3 (ko) |
RU (1) | RU2328701C2 (ko) |
WO (1) | WO2004099716A1 (ko) |
ZA (1) | ZA200508808B (ko) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4449074B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2010-04-14 | 株式会社デンソー | センサシステム |
DE102004056699A1 (de) | 2004-11-24 | 2006-06-01 | Litef Gmbh | Verfahren zur Steuerung/Regelung einer physikalischen Größe eines dynamischen Systems, insbesondere eines mikromechanischen Sensors |
DE102004061804B4 (de) * | 2004-12-22 | 2015-05-21 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Drehratensensor mit Fehlerunterdrückung |
DE102006043412A1 (de) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Litef Gmbh | Mikroelektromechanischer Sensor sowie Betriebsverfahren für einen mikroelektromechanischen Sensor |
DE102006055589B4 (de) * | 2006-11-24 | 2012-07-19 | Infineon Technologies Ag | Messvorrichtung und Messgrößensensor mit gekoppelter Verarbeitungs- und Anregungsfrequenz |
WO2009037499A1 (en) * | 2007-09-18 | 2009-03-26 | Atlantic Inertial Systems Limited | Improvements in or relating to angular velocity sensors |
JP4576441B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2010-11-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
IT1392553B1 (it) * | 2008-12-11 | 2012-03-09 | St Microelectronics Rousset | Dispositivo elettronico a capacita' variabile e dispositivo microelettromeccanico incorporante tale dispositivo elettronico |
DE102009000743B4 (de) * | 2009-02-10 | 2024-01-18 | Robert Bosch Gmbh | Vibrationskompensation für Drehratensensoren |
US8714012B2 (en) * | 2010-02-16 | 2014-05-06 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with inversion of actuation forces, and method for actuating a microelectromechanical gyroscope |
DE102011005744A1 (de) | 2010-03-17 | 2011-09-22 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Verfahren zur entkoppelten Regelung der Quadratur und der Resonanzfrequenz eines mikromechanischen Gyroskops |
EP2547985B1 (de) | 2010-03-17 | 2016-03-16 | Continental Teves AG & Co. oHG | Verfahren zur entkoppelten regelung der quadratur und der resonanzfrequenz eines mikromechanischen drehratensensors mittels sigma-delta-modulation |
DE102010053022B4 (de) * | 2010-12-02 | 2014-01-09 | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. | Vorrichtung zur Messung einer Drehrate |
DE102010055631B4 (de) * | 2010-12-22 | 2017-12-14 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Reglereinheit und Vorrichtung zur Rückstellung eines mit einer harmonischen Schwingung angeregten Schwingers, sowie Drehratensensor |
KR20120096329A (ko) | 2011-02-22 | 2012-08-30 | 삼성전자주식회사 | 신호 분석 회로를 포함하는 집적 시스템 |
KR101298289B1 (ko) * | 2011-08-26 | 2013-08-26 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서 구동회로, 자이로센서 시스템 및 자이로센서 구동방법 |
US8912856B2 (en) * | 2013-01-08 | 2014-12-16 | Maxim Integrated Products, Inc. | Electro-mechanical resonance loop |
US9410806B2 (en) * | 2013-08-26 | 2016-08-09 | Robert Bosch Gmbh | System and method for gyroscope zero-rate-offset drift reduction through demodulation phase error correction |
KR101548863B1 (ko) * | 2014-03-11 | 2015-08-31 | 삼성전기주식회사 | 자이로 센서의 구동장치 및 그 제어방법 |
DE102014003640A1 (de) | 2014-03-14 | 2015-09-17 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Verfahren zum optimieren der einschaltzeit eines corioliskreisels sowie dafür geeigneter corioliskreisel |
DE102015003196B4 (de) * | 2015-03-12 | 2022-12-01 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Restwertverarbeitung bei der Ansteuerung eines Sensors |
WO2019221774A2 (en) | 2017-10-16 | 2019-11-21 | The Regents Of The University Of California | Bandwidth extension for continuous mode reversal gyroscope |
RU2708907C1 (ru) * | 2019-05-21 | 2019-12-12 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Твердотельный волновой гироскоп |
EP3882571B1 (en) | 2020-03-16 | 2022-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Gyroscope with locked secondary oscillation frequency |
DE102020213286A1 (de) | 2020-10-21 | 2022-04-21 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Verfahren zur Bestimmung einer Phasenlage eines Drehratensignals oder eines Quadratursignals, Verfahren zur Anpassung einer Demodulationsphase und Drehratensensor |
CN112857353B (zh) * | 2021-01-08 | 2022-07-26 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 一种金属谐振陀螺快速起振系统及方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001021935A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-26 | Canon Inc | 振動検出装置 |
JP2001027529A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
KR20020097211A (ko) * | 2000-04-06 | 2002-12-31 | 배 시스템즈 피엘시 | 진동 구조 자이로스코프용 제어 시스템 |
JP2003043133A (ja) * | 2001-06-30 | 2003-02-13 | Robert Bosch Gmbh | センサのテスト方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3642334A (en) * | 1970-06-29 | 1972-02-15 | North American Rockwell | Electrostatic support system |
US3917928A (en) * | 1974-06-04 | 1975-11-04 | Sperry Rand Corp | Comparator for step data gyro compasses |
US4222270A (en) * | 1978-09-05 | 1980-09-16 | Sperry Corporation | Gyroscope rate range switching and control system |
US5992233A (en) * | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
DE19635923C1 (de) * | 1996-09-04 | 1998-02-26 | Litef Gmbh | Verfahren zur Antriebsanregung von Schwingern zur kapazitiven Messung von Kraft, Beschleunigung und/oder Drehraten |
US5983719A (en) * | 1997-07-31 | 1999-11-16 | Litton Systems, Inc. | Low quantization method and apparatus for vibratory rotation sensors |
DE19739903A1 (de) * | 1997-09-11 | 1999-04-01 | Bosch Gmbh Robert | Sensorvorrichtung |
US6121910A (en) * | 1998-07-17 | 2000-09-19 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Frequency translating sigma-delta modulator |
EP1055910B1 (en) * | 1999-05-28 | 2009-01-28 | Alps Electric Co., Ltd. | Driving apparatus of piezoelectric vibrator |
US6360602B1 (en) * | 1999-07-29 | 2002-03-26 | Litton Systems, Inc. | Method and apparatus reducing output noise in a digitally rebalanced accelerometer |
US6768435B2 (en) * | 2001-11-13 | 2004-07-27 | National University Of Singapore | Bandpass sigma-delta modulator |
KR100978815B1 (ko) | 2002-04-19 | 2010-08-30 | 톰슨 라이센싱 | 우선순위 데이터로 시스템에서 에러 제어 코딩하기 위한다이버시티 방식 |
US6718823B2 (en) * | 2002-04-30 | 2004-04-13 | Honeywell International Inc. | Pulse width modulation drive signal for a MEMS gyroscope |
DE10320674B4 (de) * | 2003-05-08 | 2009-01-15 | Litef Gmbh | Pulsmodulator und Verfahren zur Pulsmodulation |
-
2003
- 2003-05-08 DE DE10320675A patent/DE10320675B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-08 DE DE10362031A patent/DE10362031B4/de not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-05-06 CN CNB200480012455XA patent/CN100567894C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-05-06 PL PL04739146T patent/PL1620698T3/pl unknown
- 2004-05-06 AT AT04739146T patent/ATE366911T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-05-06 AU AU2004236400A patent/AU2004236400B2/en not_active Ceased
- 2004-05-06 KR KR1020057020683A patent/KR100758426B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-05-06 JP JP2006500103A patent/JP4166256B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-05-06 EP EP04739146A patent/EP1620698B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-06 DE DE502004004299T patent/DE502004004299D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-06 WO PCT/EP2004/004844 patent/WO2004099716A1/de active IP Right Grant
- 2004-05-06 CA CA002524046A patent/CA2524046C/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-05-06 RU RU2005129346/28A patent/RU2328701C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2004-05-06 US US10/555,737 patent/US7805993B2/en active Active
-
2005
- 2005-10-31 ZA ZA200508808A patent/ZA200508808B/en unknown
- 2005-11-08 NO NO20055235A patent/NO20055235D0/no unknown
- 2005-12-07 NO NO20055808A patent/NO336817B1/no not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001021935A (ja) * | 1999-07-02 | 2001-01-26 | Canon Inc | 振動検出装置 |
JP2001027529A (ja) * | 1999-07-13 | 2001-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
KR20020097211A (ko) * | 2000-04-06 | 2002-12-31 | 배 시스템즈 피엘시 | 진동 구조 자이로스코프용 제어 시스템 |
JP2003043133A (ja) * | 2001-06-30 | 2003-02-13 | Robert Bosch Gmbh | センサのテスト方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100567894C (zh) | 2009-12-09 |
RU2328701C2 (ru) | 2008-07-10 |
DE10362031A1 (de) | 2005-04-14 |
CA2524046A1 (en) | 2004-11-18 |
RU2005129346A (ru) | 2006-09-10 |
KR20060017597A (ko) | 2006-02-24 |
AU2004236400B2 (en) | 2007-01-18 |
DE10362031B4 (de) | 2008-05-29 |
US7805993B2 (en) | 2010-10-05 |
PL1620698T3 (pl) | 2007-12-31 |
JP2006525490A (ja) | 2006-11-09 |
ATE366911T1 (de) | 2007-08-15 |
NO20055235D0 (no) | 2005-11-08 |
WO2004099716A1 (de) | 2004-11-18 |
NO336817B1 (no) | 2015-11-02 |
NO20055808D0 (no) | 2005-12-07 |
DE10320675A1 (de) | 2004-12-02 |
ZA200508808B (en) | 2006-07-26 |
US20060250194A1 (en) | 2006-11-09 |
EP1620698A1 (de) | 2006-02-01 |
JP4166256B2 (ja) | 2008-10-15 |
EP1620698B1 (de) | 2007-07-11 |
NO20055808L (no) | 2006-02-07 |
DE10320675B4 (de) | 2006-03-16 |
CN1784591A (zh) | 2006-06-07 |
AU2004236400A1 (en) | 2004-11-18 |
DE502004004299D1 (de) | 2007-08-23 |
CA2524046C (en) | 2009-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100758426B1 (ko) | 코리올리 자이로를 위한 작동방법 및 측정/제어 전자시스템및 펄스 변조기 | |
EP2096759B1 (en) | Sigma-delta type analog-to-digital (ad) converter and angular velocity sensor using same | |
JP5487546B2 (ja) | 角速度センサ | |
AU729551B2 (en) | A digital control system for a vibrating structure gyroscope | |
JPH02223823A (ja) | 質量流量変換器のための駆動出力回路 | |
KR102002126B1 (ko) | 진동 센서에 대한 드라이브 신호를 생성하는 방법 | |
KR100744885B1 (ko) | 펄스 변조기 및 펄스 변조 방법 | |
CN112595302A (zh) | 一种基于Costas环的全数字半球谐振陀螺频率跟踪回路 | |
US5361036A (en) | Complex digital demodulator employing Chebychev-approximation derived synthetic sinusoid generation | |
Xia et al. | Design of a digitalized microgyroscope system using $\Sigma\Delta $ modulation technology | |
Zhang et al. | Design of the digital interface circuit system for MEMS gyroscope | |
RU2308682C1 (ru) | Способ подстройки резонансной частоты подвеса подвижной массы микромеханического гироскопа по оси вторичных колебаний и микромеханический гироскоп | |
RU2274833C1 (ru) | Устройство преобразования сигналов микромеханического гироскопа вибрационного типа | |
RU2282152C1 (ru) | Устройство преобразования сигналов микромеханического гироскопа вибрационного типа | |
JP5316435B2 (ja) | 角速度センサ | |
WO1989003974A1 (en) | System for measuring the position of a vibrating object | |
JP2014021092A (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120821 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130830 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140822 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150903 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160817 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170828 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |