KR100742424B1 - 세슘 디스펜서 및 세슘 디스펜서의 사용 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에는 환원제와 몰리브데이트, 텅스테이트, 니오베이트, 탄탈레이트, 실리케이트 및 지르코네이트 중에서 선택된 세슘 화합물의 혼합물의 이용에 기초한 세슘 디스펜서가 설명된다. 또한 상기 디스펜서를 사용하는 소정의 방법이 설명된다.

Description

세슘 디스펜서 및 세슘 디스펜서의 사용 방법 {CESIUM DISPENSERS AND PROCESS FOR THE USE THEREOF}
본 발명은 세슘 디스펜서 및 이를 사용하는 방법에 관한 것이다.
세슘은 전자 산업에서 오래 동안 사용되어 왔다. 특히 상기 금속은 과거에 감광 표면(photosensible surfaces), 예를 들어 영상중배관(image intensifiers) 또는 광전 증배관(photomultiplier tube)의 생산에 사용되었다.
세슘의 새로운 응용 분야는 OLED(Organic Light Emitting Display) 스크린이다.
요약하면, OLED는 제 1 투명 평면 지지부(유리 또는 플라스틱), 밀폐 공간을 형성하기 위해 제 1 지지부에 평행하고 기본적으로 평면이며 제 1 지지부 주변에 고정되며 유리, 금속 또는 플라스틱으로 구현될 수도 있는 제 2 투명(반드시 투명일 필요는 없음) 지지부, 및 이미지를 형성할 때 활성 상태인 상기 공간 내의 구조물로 형성된다. 상기 활성 상태의 구조물은 차례로 제 1 지지부 상에 증착된 제 1 세트의 선형이고 상호 평행한 투명 전극들; 적어도 하나의 전자 전도 재료층과 제 1 세트의 전극 상에 증착된 하나의 전자 공극(본 기술 분야에서 "홀"로 정의됨) 전도 재료 층을 포함하는 상이한 전계발광 유기 재료 다층; 제 1 세트의 전극에 대해 직각 방향으로 향하고 두 세트의 전극 사이에 구성되는 유기 재료 다층의 대향측면에 접촉하는 제 2 세트의 선형이고 상호 평행한 전극들로 형성된다. 상기 구조물과 OLED 스크린의 작동의 보다 상세한 설명은 EP-A-845924호, EP-A-949696호, JP-A-9-078058호 및 US 6,013,384호를 참조한다. 최근 하나 이상의 유기 다층을 소량의 전자 도우너 금속, 특히 세슘으로 도핑하는 것이 스크린의 작동을 위해 전극 세트에 인가되는 포텐셜 차이, 및 그에 따른 전극 세트의 에너지 소모를 감소시킨다는 것이 확인되었다.
대기 가스 및 수분에 대한 높은 반응성으로 인해, 세슘은 일반적으로 본 발명의 기술 분야에서 순금속 상태로 사용되지 않고, 오히려 상온에서 공기에 안정한 화합물(compound) 형태로 사용된다.
소정의 세슘 화합물은 단순 가열에 의해 상기 금속을 배출시킨다. 이러한 화합물 중에서, 실리콘 또는 게르마늄과의 합금이 예를 들어 EP-A-360317호 및 US 5,066,888호에서 인용되고 화학식 CsC8을 갖는 그래파이트와 세슘과의 삽입 화합물은 EP-A-130803호에 인용된다. 그러나 이러한 화합물은 실제로 산업적 수준으로 응용되진 않는다.
세슘 디크로메이트(Cs2Cr2O7), 또는 보다 일반적인 세슘 크로메이트(Cs 2CrO4)는 일반적으로 본 발명의 기술 분야에서 환원제와의 혼합물 형태로 이용된다. 상기 혼합물을 500℃ 이상, 일반적으로 550℃ 내지 650℃ 범위에서 가열함으로써, 세슘이 증기 상태로 배출되는 결과 세슘이 보다 낮은 원자가로 감소되는 반응이 일어 난다. 환원제로서, 알루미늄, 실리콘 또는 게터 합금, 즉 알루미늄 또는 하나 이상의 전이원소과 함께 티탄 또는 지르코늄 기저 합금이 일반적으로 이용된다. 이러한 혼합물의 용도는 미국 특허 2,117,735호에 설명되어 있다.
이러한 화합물은 일반적으로 고체 입자의 화합물을 보유할 수 있지만, 세슘 증기를 투과시킬 수 있는 적어도 일부분의 표면을 갖는 적절한 디스펜서 내로 유입된다. 다양한 형태의 디스펜서는 예를 들어 US 3,578,834호, US 3,579,459호, US 3,598,384호, US 3,636,302호, US 3,663,121호, 및 US 4,233,936호의 목적이다. 세슘 디스펜서에 요구되는 또다른 특성은 제조 중에 세슘을 사용하는 장치의 작동에 유해한 가스를 배출시키지 않는 것이다.
그러나 세슘 크로메이트와 디크로메이트는 접촉, 흡입 또는 흡기에 의해 염증(irritation)을 야기할 수도 있고 일정기간 이상의 노출시 발암 물질인 6가의 크롬을 함유하는 단점을 갖는다.
세슘이 사용되는 범용 장치(영상중배관 또는 광전 증배관)의 제조 프로세스 중에, 높은 온도가 달성되고, 단지 크로메이트와 디크로메이트를 사용함으로써 프로세스의 초기 단계에서 세슘의 배출을 방지할 수 있다. 게다가, 이러한 경우에 생산은 제한되고 결국 사용되는 크로메이트의 양 역시 제한된다.
OLED 생산 프로세스의 온도는 반대로 보다 낮으며, 이러한 스크린에 대해 연간 천만개 정도의 대규모 생산이 예상된다. 이러한 대규모 생산 용적에 대해, 크로메이트의 이송 및 사용과 관련된 안전성 문제가 대두된다. 그러므로 OLED의 생 산 시에 세슘을 증발시키는 Cs2CrO4 또는 Cs2Cr2O7을 사용하지 않는 것이 가능하고 매우 바람직하다.
본 발명의 목적은 OLED 스크린의 제조용으로 특히 적합한 세슘 디스펜서를 제공하고자 하는 것이며, 여기서 세슘은 크롬 솔트(chromium salt) 형태로 존재하지 않는다.
본 발명의 또다른 목적은 OLED 스크린의 생산 시에 세슘 디스펜서를 사용하는 방법을 제공하고자 하는 것이다.
이러한 목적은 일측면에서 고체 입자를 보유할 수 있고, 적어도 일부분의 표면이 세슘 증기를 투과시킬 수 있으며, 적어도 세슘 화합물과 적어도 환원제의 혼합물을 함유하는 콘테이너에 의해 형성된 세슘 디스펜서와 관련되며, 세슘 화합물이 몰리브데이트, 텅스테이트, 니오베이트, 탄탈레이트, 실리케이트 및 키르코네이트 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 본 발명에 의해 달성된다.
본 발명은 첨부 도면을 참조하여 후술될 것이다.
도 1은 본 발명에 따라 가능한 제 1 세슘 디스펜서의 사시도이며,
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 취한 동일한 디스펜서의 단면도이며,
도 3은 본 발명에 따라 가능한 또다른 디스펜서의 부분절단면도이며,
도 4는 본 발명에 따라 가능한 또다른 디스펜서의 평면도이며,
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ'를 따라 취한 단면도이다.
발명자는 하나 이상의 환원제와 세슘 몰리브데이트(Cs2MoO4), 세슘 텅스테이트(Cs2WO4), 세슘 니오베이트(CsNbO3), 세슘 탄탈레이트(CsTaO3), 세슘 실리케이트(Cs2SiO3), 및 세슘 지르코네이트(Cs2ZrO3) 중에서 선택된 하나 이상의 화합물과의 혼합물이 OLED에 유해한 주로 수증기를 포함하는 실제적인 배출 가스 없이 대응 크로메이트 보다 낮은 온도에서 세슘을 증발시킬 수 있다는 점에서 OLED의 생산 프로세스에 적합하다는 것을 알았다. 특히 이러한 혼합물로부터 세슘의 증발 온도는 일반적으로 450℃ 이하이며, 이러한 온도는 OLED의 정화 챔버 내의 세슘 디스펜서에서 국부적으로 용이하게 도달될 수 있다.
본 발명에 따른 디스펜서에 사용되는 혼합물은 하나 이상의 세슘 화합물과 하나 이상의 환원 원소 또는 화합물을 포함할 수도 있지만, 일반적으로 각 종류에 대해 단일 성분이 사용된다.
환원제로서 알루미늄, 실리콘, 지르코늄 또는 티탄과 같은 크로메이트에 기초한 디스펜서에 사용된 이미 공지된 성분, 또는 예를 들어 상표명 St 101(등록 상표) 하에 출원인에 의해 제조되고 판매되는 Zr 84중량%-Al 16중량%의 조성%를 갖는 합금 또는 상표명 St 198(등록 상표) 하에 출원인에 의해 제조되고 판매되는 Zr 76.5 중량%-Fe 23.5중량%의 조성%를 갖는 합금과 같은 지르코늄 또는 티탄을 함유하는 합금 중 하나를 사용할 수 있다.
세슘 화합물과 환원제와의 접촉을 촉진시키기 위해, 이들은 바람직하게 분말 형태로 사용된다. 상기 혼합물의 두 성분은 일반적으로 1mm 이하, 바람직하게 500㎛ 이하, 보다 바람직하게 약 10 내지 125㎛ 범위의 입자 크기를 갖는다. 10㎛ 이하의 입자를 갖는 분말은 일반적으로 생산 시에 처리하기 곤란하고 디스펜서 내에 보유하기 곤란하며, 더욱이 환원제의 경우 너무 미세한 분말은 발화성이 있어, 생산 플랜트에서 안전성 문제를 야기한다. 반대로, 그 이상의 크기를 갖는 분말에 있어서는 혼합물 성분 사이의 접촉이 열악하게 되고, 세슘 배출을 야기하는 반응이 느려진다.
세슘 화합물과 환원제 사이의 중량비는 광범위하게 변할 수 있다. 상기 중량비는 바람직하게 10 :1 내지 1 : 10 범위이다. 환원제에 비해 과도한 양의 세슘 화합물의 사용은 실질적인 장점을 제공하지 않지만, 반대로 주로 환원제가 합금명 St 101(등록 상표)과 같은 게터 합금일 때, 혼합물 중 환원제의 과도한 양은 세슘 화합물과의 반응에 관련되지 않은 부분이 반응 중에 자유롭게 될 수도 있는 가스에 대해 흡수 작용을 수행할 수 있기 때문에 유용할 수도 있다.
상기 혼합물은 자유 분말 형태로 사용될 수 있고, 또는 펠릿 형태로 사용할 수 있으며, 펠릿을 사용함으로써 혼합물의 성분 사이의 접촉을 개선시키고, 콘테이너의 장입 작용을 용이하게 할 수 있다.
콘테이너는 특정 응용에 적합한 모든 재료와 형태로 구현될 수 있다.
특히, 상기 재료와 관련하여, 이는 일반적으로 상온 내지 약 450℃ 범위의 사용 예상 온도 범위에서 작업 분위기 및 세슘 배출 혼합물에 대해 비활성이어야 하며, 동일 온도 범위에서, 콘테이너를 이루는 재료는 기계적 저항 또는 형태의 수정과 같은 현저한 물리적 변형을 일으켜서는 안 되고, 가능한 최소 가스 방출 값을 가져야 한다. 이러한 특성을 갖는 재료로는 예를 들어 금속 또는 금속 합금, 세라믹, 그래파이트 및 보론 나이트라이드(BN) 등이 있다. 가공성 및 성형성의 용이함으로 인해 금속을 사용하는 것이 바람직하다. 금속, 그래파이트 및 BN을 사용하는 또다른 장점은 디스펜서가 콘테이너 벽을 통해 전류를 단지 흐르게 함으로써 세슘의 증발 온도까지 가열될 수 있다는 점이다. 콘테이너의 제조에 바람직한 금속 및 합금은 몰리브덴, 탄탈, 텅스텐, 니켈, 강 및 니켈-크롬 합금이다.
콘테이너의 형태는 특허 US 3,578,834호, US 3,579,459호, US 3,598,384호, US 3,636,302호, US 3,663,121호 및 US 4,233,936호에서 이미 공지된 소정의 형태일 수도 있다. 예를 들어 오스트리안 컴퍼니 플란시(Austrian company Plansee) 또는 미국 미드웨스트 텅스텐 서비스(Midwest Tungsten Service)사로부터 판매되는 다양한 형태와 재료의 콘테이너가 또한 이용가능하다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따라 가능한 혼합물을 사용하는 디스펜서의 사시도 및 단면도를 각각 도시하며, 특히 도 2는 도 1의 선 Ⅱ-Ⅱ'를 따라 취한 디스펜서의 단면도이다. 디스펜서(10)는 두 금속 호일(11, 12)로 형성된다. 예를 들어 상기 호일을 냉간 가공함으로써 얻어진 함몰부(13)는 호일(12)의 중앙부에 배열된다. 호일(11)은 그 중앙 영역(14, 도 1에서 점선으로 도시됨)에 일련의 작은 관통홀(15)을 구비한다. 조립된 디스펜서에서, 영역(14)은 함몰부(13)에 대응하고, 함몰부(13)는 본 발명에 따라 적어도 하나의 세슘 화합물과 적어도 하나의 환원제를 함유한다. 호일(11, 12)은 분말의 기밀성(tightness)을 보장하는 소정의 방법으로 함몰부(13) 외측에서 서로 고정될 수 있으며, 예를 들어 다른 호일에 대해 접힌 호일의 "통(tongues)" 형태로 기계적 고정이 달성되거나, 연속 또는 점 용접, 또는 이들의 조합에 의해 고정될 수 있다. 마지막으로, 디스펜서(10)는 생산 라인에서 기계적 수단에 의한 처리 및 디스펜서를 가열하기 위한 전기 단자에의 연결을 위해 유용한 두 측면 돌출부(17, 17')를 구비한다.
도 3은 본 발명에 따라 가능한 또다른 디스펜서(30)의 부분절단면도이다. 이 경우 혼합물(16)의 콘테이너는 도 1 및 도 2의 호일(12)과 유사한 호일(31, 예를 들어 금속)로 형성되지만, 세슘 증기를 투과시킬 수 있는 콘테이너의 표면부는 게터 재료를 포함하거나 게터 재료로 형성된 다공성 몸체(32)로 형성된다. 몸체(32)는 소정의 방법에 의해 바람직한 위치에 유지될 수 있고, 예를 들어 도 3에서 점 용접부(34)에 의해 호일(31)에 고정된 유지 소자(33)가 도시되고, 몸체(32)는 소정의 적절한 방식으로 호일(31)에 고정된 소정의 다른 유지 소자에 의해 소정의 위치에 유지될 수 있다. 몸체(32)는 단지 소결된 게터 재료로 형성될 수도 있으며, 이러한 게터 몸체는 예를 들어 출원인 명의의 EP-B-719609호에 개시된 방법에 따라 얻어질 수 있다. 선택적으로, 몸체(32)는 예를 들어 적절한 치수의 메쉬를 갖는 와이어 네트와 같은 개방 지지 구조물 상에 다양한 방법에 따라 증착된 게터 재료로 형성될 수도 있으며, 유사한 개방 구조물이 예를 들어 출원인 명의의 US 4,146,497호에 개시되고, 또는 예를 들어 US 4,628,198호에 개시된 것처럼 전기이동 기술을 통해 와이어 네트 상에 게터 입자를 증착시킴으로써 생산될 수도 있다. 이러한 구조에 의해, 게터 몸체(32)는 혼합물(16) 입자를 아직 유지하는 세슘 증기의 관통을 허용하고, 상기 혼합물의 성분에 의해 배출될 수 있는 수증기, 산화탄소 등과 같은 가스에 의해 디스펜서가 사용되는 프로세스 챔버 내의 분위기 오염을 방지하는 이중 작용을 수행한다.
마지막으로, 도 4 및 도 5는 본 발명의 혼합물을 사용하여 가능한 또다른 형태의 디스펜서를 도시하며, 상기 디스펜서는 소량의 세슘을 증발시킬 필요가 있을 때 유용하고, 상기 디스펜서는 US 3,598,384호에 개시된 구조를 갖는다. 도 4는 디스펜서의 평면도이고, 도 5는 도 4의 선 Ⅴ-Ⅴ'를 따라 취한 단면도이다. 디스펜서(40)는 사다리꼴 단면의 연장 구조를 갖는 콘테이너(41)와 세슘의 증발을 허용하지만 분말 혼합물(44)이 배출되는 것을 방지하는 와이어(43)에 의해 막힌 종방향 슬릿(42)으로 형성되며, 콘테이너(41)는 그 단부에서 상기 단부를 밀폐시키고 조립체를 가열하기 위한 전기 단자로서의 이중 작용을 수행하는 두 단자(45, 45') 주위에서 테이퍼진다.
본 발명의 또다른 측면에서, 본 발명은 OLED 스크린의 제조에 전술한 디스펜서를 사용하는 방법에 관한 것이다.
OLED(간략히 전술됨)의 구조물은 마이크로 전자 산업에서 일반적인 기술에 의해 제 1 투명 지지부를 정렬하고 연속해서 제 1 투명 지지부 상에 다양한 형성층을 증착시킴으로써 생성된다. 전극은 일반적으로 스크린 프린팅과 같은 기술에 따라 증착되고, 유기 재료층은 일반적으로 지지부 상에 액상 재료의 드롭 증착 및 상기 지지부의 고속 회전으로 구성된 "스핀 코팅"으로 공지된 기술 또는 증발에 의해 얻어진다.
사용되는 유기 재료와 특히 제 2 세트의 전극(일반적으로 바륨과 같은 금속으로 제조됨)은 대기 물질과 특히 수증기에 매우 민감하기 때문에, 적어도 이들 층 및 연속 층의 정렬 단계는 진공 또는 불활성 분위기 하에서 적절한 챔버내에서 일어나야 한다. 본 발명에 따른 세슘 디스펜서는 챔버 내에서의 이러한 처리 중에 활성 구조물 내에 원소를 유입시키는데 특히 적합하다.
특히 본 발명에 따른 방법은,
- 제어된 분위기를 갖고 상기 세슘 디스펜서를 가열하기 위한 수단을 구비한 챔버 내에 세슘 디스펜서를 유입시키는 단계,
- 유기 다층을 형성한 후 얻어진 OLED 스크린의 중간 제품을 상기 챔버 내에 정렬하는 단계,
- 상기 디스펜서를 가열함으로써 상기 디스펜서로부터 세슘을 증발시키는 단계, 및
- 제 2 지지부와 밀봉될 때까지 OLED 스크린의 연속적인 생산 단계를 수행하는 단계를 포함한다.
본 발명의 목적을 위해, 이러한 단계는 전술한 순서로 수행될 필요는 없으며, 또한 세슘 증발 작용은 OLED의 상이한 생산 시기에 수행될 수도 있다. 본 발명에 따른 방법의 가능한 변화는 보다 자세히 후술된다.
제어된 분위기를 갖는 챔버는 OLED의 다른 제조 방법의 단계를 수행하는데 이미 제공된 챔버 중 하나일 수 있고, 또는 세슘 증발 작용의 특별한 목적을 갖는 챔버일 수 있다. 상기 챔버에는 복사 방식(자외선 램프) 또는 금속 또는 그래파이트 콘테이너를 갖는 디스펜서의 경우 유도 방식일 수 있는 디스펜서를 가열하는 수단이 제공되어야 하며, 그 대신에 상기 가열은 디스펜서용 가열 지지부를 미리 배치하고 전류를 직접 통과시킴으로써, 또는 그래파이트, 보론 나이트라이드 및 금속의 콘테이너의 경우에(예를 들어 도 1 및 도 2를 참조하여 전술된 형태) 콘테이너 벽 내로 전류를 직접 통과시켜 가열함으로써 수행될 수 있으며, 벽으로의 직접 전류 통과의 경우 챔버 내의 가열 수단은 콘테이너로의 연결을 위한 적합한 단자를 갖는 단지 전류 관통 수단일 것이다.
세슘 증발 챔버가 다른 프로세스 작동에 영향을 주는 챔버인 경우에, 디스펜서는 증발 단계 전에 유입되고 임의 시간에서 열적 활성화된다. 반대로 챔버가 세슘을 증발시키기 위해서만 사용된다면, 디스펜서가 이미 존재하는 챔버 내에 OLED의 중간 제품이 유입된다. 그후 세슘은 사용된 특정 세슘 화합물에 따라 약 250℃ 내지 450℃ 범위의 온도에서 전술된 수단으로 디스펜서를 가열함으로써 디스펜서로부터 증발된다.
세슘의 증발은 OLED의 다양한 중간 생성 단계에서 영향을 받을 수 있다. 예를 들어, OLED의 생산은 다음의 주요 작업, 즉
- 제 1 투명 지지부 상에 제 1 세트의 전극을 제조하는 공정,
- 상기 제 1 세트의 전극 상에 유기 다층을 제조하는 공정,
- 유기 다층에서 세슘을 증발시키는 공정,
- 상기 유기 다층 상에 제 2 세트의 전극을 제조하는 공정,
- 상기 제 1 및 제 2 지지부의 주변부를 따라 실링하는 공정을 포함할 수도 있다.
선택적으로, 세슘 증발 작업은 제 2 세트의 전극의 제조 다음에 일어날 수 있다.
본 발명은 본 발명의 소정 세슘 화합물, 특히 몰리브데이트 및 텅스테이트와 관련된 다음 실시예와, 또한 선행 기술의 크로메이트와의 비교 실시예에서 보다 자세히 설명될 것이다.
실시예 1
세슘 디스펜서가 제조되고, 여기서 상기 원소의 화합물로서 몰리브데이트(Cs2MoO4)가 사용된다.
디스펜서는 도 4 및 도 5를 참조하여 본원에서 설명된 종류의 디스펜서이다. 콘테이너, 와이어 및 단자는 니켈-크롬 합금으로 제조된다. 상기 혼합물로 충진된 부분은 약 1mm ×1.5mm의 단면과 25mm의 길이를 갖는다. 상기 콘테이너는 1/6 중량의 분말 형태 세슘 몰리브데이트와 5/6 중량의 명칭 St 101(등록 상표) 합금의 혼합물로 충진된다. 콘테이너의 선형 장입량은 센티미터당 약 40mg의 혼합물이다.
상기와 같이 제조된 디스펜서는 표본 1이다.
실시예 2
실시예 1에서 설명된 세슘 디스펜서는 세슘 화합물로서 텅스테이트(Cs2WO4)를 사용함으로써 제조된다. 상기 디스펜서는 표본 2이다.
(비교)실시예 3
실시예 1에서 설명된 세슘 디스펜서는 비교를 위해 세슘 화합물로서 크로메이트(Cs2CrO4)를 사용함으로써 제조된다. 상기 디스펜서는 표본 3이다.
실시예 4
본 실시예는 상기 실시예에서 제조된 디스펜서로부터의 세슘 증발 시험에 관한 것이다.
표본 1 내지 3은 배기 상태인 챔버 내에 모이고, 전기 루프에 연결되어 전류 발생기에 의해 전류가 공급된다. 상기 전류는 0.1A/분의 기울기로 점차적으로 증가된다. 표본의 온도는 콘테이너의 외측벽에 용접된 열전쌍에 의해 측정되고, 세슘 증발이 개시되는 전류값이 기록되고, 증발 슬릿 주변에 장착된 3극관 센서에 의해 취해진다. 이렇게 취해진 증발 개시 온도값은 표 1에 주어진다.
Figure 112003001173065-pct00001
상기 시험 결과에 기초하여, 본 발명의 화합물을 사용한 혼합물이 세슘 크로메이트에 비해 낮은 전류, 및 온도, 조건에서 세슘 증기를 배출시킬 수 있음을 알 수 있다.

Claims (18)

  1. 고상 입자를 보유할 수 있고, 표면 중 일부 또는 전부(14; 32; 42)가 세슘 증기를 투과시킬 수 있으며, 하나 이상의 세슘 화합물과 하나 이상의 환원제의 혼합물(16; 44)을 함유할 수 있는 콘테이너로 형성된 세슘 디스펜서(10; 30; 40)에 있어서,
    상기 세슘 화합물은 몰리브데이트(molibdate), 텅스테이트(tungstate), 니오베이트(niobate), 탄탈레이트(tantalate), 실리케이트(silicate) 및 지르코네이트(zirconate) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 세슘 디스펜서.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 환원제가 알루미늄, 실리콘, 지르코늄(zirconium), 티탄(titanium), 또는 지르코늄 또는 티탄을 함유하는 합금 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 세슘 디스펜서.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 혼합물을 구성하는 재료가 분말 형태인 것을 특징으로 하는 세슘 디스펜서.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 혼합물을 구성하는 재료의 중량비가 10 : 1 내지 1 : 10 범위인 것을 특징으로 하는 세슘 디스펜서.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제 1 투명 지지부, 제 1 세트의 전극, 유기 다층, 제 2 세트의 전극 및 제 2 지지부로 형성된 OLED형 스크린의 제조에서 제 1 항, 제 3 항, 제 6 항, 또는 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 세슘 디스펜서를 사용하는 방법으로서,
    - 제어된 분위기를 갖고 세슘 디스펜서를 가열하기 위한 수단을 구비한 챔버 내에 상기 세슘 디스펜서를 유입시키는 단계;
    - 상기 유기 다층을 형성한 후 얻어진 OLED 스크린의 중간 제품을 상기 챔버 내에 정렬하는 단계;
    - 상기 디스펜서를 가열함으로써 상기 디스펜서로부터 세슘을 증발시키는 단계; 및
    - 상기 제 2 지지부와 밀봉될 때까지 OLED 스크린의 연속적인 생산 단계를 수행하는 단계를 포함하는 세슘 디스펜서를 사용하는 방법.
  17. 삭제
  18. 삭제
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