KR100717866B1 - 평판 디스플레이용 기판 전달장치 - Google Patents

평판 디스플레이용 기판 전달장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 기판을 제작하는 공정 중의 하나인 현상 공정에 적용될 수 있으며, 기판의 현상에 필요한 장치의 설치 공간을 최소화시켜 공간의 효율성을 극대화시킬 수 있음은 물론 현상 공정에서 베스 내부에 존재하는 가스의 배기를 효율적으로 할 수 있는 평판 디스플레이용 기판 전달 장치를 개시한다. 본 발명의 평판 디스플레이용 기판 전달 장치는, 베스에는 그 내부에 배치되며 골격을 이루며 내부에 공간이 연결되어 결합되는 다수의 프레임을 구비하고, 상기 프레임에 다수의 홀이 제공되며, 상기 프레임에는 베스 내부에 존재하는 가스를 배기할 수 있도록 배출기가 결합되는 평판 디스플레이용 기판 전달 장치를 제공한다.
현상, 공정, 베스, 프레임, 배기, 가스, 배출기

Description

평판 디스플레이용 기판 전달장치{Device for transfer of flat display panel}
도 1은 본 발명의 실시 예의 구성이 적용되는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예의 작용 설명을 위한 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 도 1의 주요 부분을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예의 구성 및 작용을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 공급부 3, 5 : 베스 7 : 배출부
31 :프레임 31a : 홀 33 : 배출기
본 발명은 평판 디스플레이용 기판 전달 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 기판을 제작하는 공정 중의 하나인 현상 공정에 적용될 수 있으며, 기판의 현상에 필요한 장치의 설치 공간을 최소화시켜 공간의 효율성을 극대화시킬 수 있음은 물론 현상 공정에서 베스 내부에 존재하는 가스의 배기를 효율적으로 할 수 있는 평판 디스플레이용 기판 전달 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 장치의 제조 공정 중에서 글라스 기판에 회로 패턴 등을 형성하는 과정은, 기판을 세정하고 세정된 기판의 표면에 감광성 수지를 도포하여 감광막을 형성하고, 일정한 패턴을 통하여 상기 감광막을 노광하고 이를 현상(developing)하는 공정을 포함할 수 있다.
이러한 디스플레이 장치의 제조 공정에서, 현상 공정은 통상의 현상액 공급 장치를 통하여 기판에 현상액을 도포하는 것이다. 이러한 현상 공정은 현상액이 담겨져 있는 쳄버에 기판을 통과시키거나 또는 분사장치를 이용하여 현상액을 기판에 분사하여 이루어질 수 있다. 상기에서 현상 공정에서는 기판의 현상(developing)을 위하여 일정한 시간이 경과한 후 즉 기판의 현상이 이루어진 후에 기판이 롤러 등의 이동 수단에 의하여 세정 장치 등으로 이동된다.
이러한 종래의 현상 장치는 기판의 현상을 위하여 일정한 시간 동안 기다려야 하므로 현상 작업 시간이 길어지는 문제점이 있다. 또한, 종래의 현상 장치는 배기 장치를 구비하여 기판이 현상되는 동안에 베스 내부에 있는 현상액에 의한 가스 분위기가 형성되는데 이러한 가스가 배기 과정에서 특정한 공간으로 몰리면서 배기가 이루어져 기판의 불량과 함께 PVC 등으로 이루어지는 베스가 손상될 수 있는 문제점이 있다.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 현상 처리 과정에서 처리 시간이 늘어나는 것을 방지할 수 있으며 현상의 설치 공간을 최소화시켜 기판의 제조 비용을 줄일 수 있음은 물론, 현상 과정에서 베스 내에 가스 분위기를 균일한 상태를 유지하면서 신속하게 배출하여 베스의 보호와 함께 기판의 불량을 줄여 수율을 향상시킬 수 있는 평판 디스플레이용 기판 전달 장치를 제공하는데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 처리를 위한 공간이 제공되며 상, 하 방향으로 배치되는 복수의 베스, 상기 복수의 베스의 내부에 배치되어 기판을 이송시키는 다수의 이송 수단, 그리고 상기 베스들을 상, 하 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하며, 상기 베스에는 그 내부에 배치되며 골격을 이루며 내부에 공간이 연결되어 결합되는 다수의 프레임을 구비하고, 상기 프레임에 다수의 홀이 제공되며, 상기 프레임에는 베스 내부에 존재하는 가스를 배기할 수 있도록 배출기가 결합되는 평판 디스플레이용 기판 전달 장치를 제공한다.
상기 베스는 현상 공정을 수행하는 것이 바람직하다.
상기 프레임에 제공되는 홀은 일정한 간격으로 배치되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 전체적인 구성도로서, 평판 디스플레이용 기판 전달 장치를 도시하고 있다. 평판 디스플레이용 기판 전달 장치는 기판(G)을 공급하기 위한 공급부(1), 공급부(1)에서 공급된 기판(G)을 받아 현상(developing) 과정을 수행하는 복수의 베스(3, 5), 그리고 상기 베스(3, 5)의 기판(G)을 배출하는 기판(G) 배출부(7)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에서 공급부(1)와 베스(3, 5)들 사이에는 기판(G)을 현상(developing)하기 위한 현상액 분사 장치 등이 제공된 또 다른 베스 등이 배치될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시 예는 기판의 현상 과정에서 기판(G)을 일시적으로 보관하는 베스(3, 5) 구조를 중심으로 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 베스(3, 5)에 현상 장치가 모두 구성되어 현상 공정이 일어나는 구성으로 이루어질 수 도 있으며, 기판의 현상을 위한 전처리가 이루어진 기판(G)이 상기 베스(3, 5) 내부로 유입되는 구조로 이루어지는 것도 가능하다.
베스(3, 5)는 상, 하 방향으로 배치되며 각각 기판(G)이 유입되고 배출될 수 있는 인입구(3a, 5a) 및 배출구(3b, 5b)를 구비하고 있다. 이러한 인입구(3a, 5a) 및 배출구(3b, 5b)는 서로 마주하는 방향으로 배치되는 것이 바람직하다.
상기 베스(3, 5)의 내부에는 기판(G)을 이송시키기 위한 이송 수단(9)이 제공된다. 이송수단(9)은 통상의 이송 롤러들이 연속적으로 배치되는 구성으로 이루 어질 수 있으며, 단지 기판(G)이 연속적으로 이동되면서 베스(3, 5)에 공급될 수 있는 구조로 이루어지는 것이면 어느 것이나 가능하다.
상기 공급부(1) 및 배출부(7)에서 기판을 이송하는 구조 역시 상술한 베스(3, 5) 내부에 제공되는 이송 수단과 동일한 구조로 이루어질 수 있다. 그러나 공급부(1) 및 배출부(7)는 로봇 아암 등 다른 구조로 기판(G)을 이동시키는 구조도 가능한 것이다.
상기 베스(3, 5)들은 상, 하 방향으로 배치되어 승, 하강 수단(11)에 의하여 상승 및 하강이 가능한 구조로 배치되어 있다. 즉, 베스(3, 5)들은 별도의 베이스(13)에 상승 및 하강 이동 될 수 있도록 미끄럼 결합 등으로 결합되고 승, 하강 수단(11)에 의하여 상승 및 하강이 이루어질 수 있는 구조로 이루어진다. 승, 하강 수단(13)은 모터(M) 및 동력전달부재(15, 17, 19) 등으로 이루어질 수 있으며 베스(3, 5)를 지지하는 브라켓(21)과 나사 결합되어 베스(3, 5)를 승, 하강시킬 수 있는 구조로 이루어질 수 있다. 본 발명의 실시 예의 설명에서는 설명한 승, 하강 구조는 그에 한정되는 것은 아니며 단지 일 예를 설명하는 것으로 베스(3, 5)를 승강 및 하강시킬 수 있는 구조로 이루어지는 것으로 어느 것이나 가능하다.
베스(3, 5)는 그 내부에 골격을 이루는 프레임(31)들이 격자 형태로 배치된다. 본 발명에서 베스(3, 5)의 구조는 동일하므로 편의상 하나의 베스(3) 만을 예로 설명하고 또 다른 베스(5)의 구조는 상술한 설명으로 대치한다. 베스(3) 내부에 배치되는 프레임(31)의 내부에 관로로 연결되는 형태를 가진다. 즉, 내부에 서로 연결되는 공간이 존재하는 사각 파이프 또는 원형의 중공 파이프 등으로 이루어질 수 있다. 즉, 프레임(31)은 내부가 관로 형태의 공간을 가지면서 모두 연결되어 있으며, 베스(3)의 형태를 유지하기 위한 프레임(31) 인 것이 바람직하다. 그리고 프레임(31)은 일정한 간격 또는 적정한 간격으로 다수의 홀(31a, 도 4에 도시하고 있음)이 제공된다. 또한, 프레임(31)은 일측이 배출기(33)와 연결되어 베스(3) 내부의 가스를 외부로 배출할 수 있다. 배출기(33)는 베스(3) 내부의 가스를 외부로 배출하는 통상의 것이 사용될 수 있다. 한편, 프레임(31) 외주 부분에는 베스(3)를 이루는 케이스가 결합되며 이러한 케이스는 내화학성이 우수한 PVC 재질로 이루어질 수 있다.
이와 같이 이루어지는 본 발명의 실시 예의 평판 디스플레이용 기판 전달 장치의 작동 과정을 도 1 및 도 2 그리고 도 4를 통하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 위쪽에 배치되는 베스(3)에 현상액이 처리된 기판(G)이 공급되는 예를 도시한 도면이고, 도 2는 아래쪽에 배치되는 베스(5)에 현상액이 처리된 기판(G)이 공급되는 예를 도시한 구성도이다. 우선, 현상액이 도포된 기판(G)이 공급부(1)를 통하여 위쪽에 배치되는 베스(3)에 공급되면 일정한 시간 동안 현상(developing) 과정을 거치게 된다. 즉, 공급부(1)의 이송수단에 의하여 기판(G)이 이동되어 상측에 위치한 베스(3)의 인입구(3a)로 공급되어 베스(3)에 일시적으로 보관된다. 그리고 승, 하강 수단(11)의 작동에 의하여 상술한 베스(3, 5)들이 상승한다. 그러면 하측에 위치한 베스(5)가 공급부(1)의 기판(G)을 받을 수 있는 위치로 이동된다. 그리고 계속해서 공급부(1)를 통하여 또 다른 기판(G)이 하측에 위치 한 베스(5)로 공급된다. 물론 이 기판(G) 역시 현상을 위한 현상액에 도포된 상태로 인입될 수 있는 것이다(도 2에 도시하고 있음). 이러한 상태에서 승, 하강 수단(11)에 의하여 상기 베스(3)가 하강하고 하측에 위치한 베스(5)에 다른 기판(G)을 인입시키는 시간 동안 상측에 위치한 베스(3)의 기판(G)은 현상(developing)이 완료되어 배출부(7)를 통하여 배출이 이루어진다. 배출 과정은 상기 베스(3)에 제공된 이송수단(9)에 의하여 기판(G)이 이송되고 배출부(7)의 이송 수단(9)에 의하여 세정 장치(도시생략) 등 다음 공정으로 이동되는 것이다. 상기에서 현상액 등에 의하여 베스(3)의 내부에는 화학물질에 의한 가스 분위기가 형성되어 있는데 이를 균일하고도 신속하게 배출할 필요가 발생하게 된다. 이때 배출기(33)가 작동하면 프레임(31)의 내부 공간에 부압이 발생하게 된다. 그러면 프레임(31)에 제공된 다수의 홀(31a)들을 통하여 베스(3) 내부의 가스가 균일하면서도 신속하게 배출이 이루어진다. 따라서 PVC 등으로 이루어지는 베스(3)의 케이스를 화학적인 가스로부터 보호할 수 있으며, 프레임(31)에 제공된 다수의 홀(31a)들을 통하여 균일하게 베스(3) 내부의 가스가 배기되므로 기판(G)에 작용하는 가스도 균일하게 되어 기판의 불량을 줄일 수 있는 것이다. 즉, 베스(3) 내부의 가스가 특정한 부분에서 집중적으로 모여 배기되는 일이 없이 골고루 퍼진 상태에서 배기가 이루어지므로 기판의 불량을 방지할 수 있으며 이에 따라 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
계속해서 상측에 배치되는 베스(3)는 상술한 바와 같이 다시 공급부(1)를 통하여 현상을 위한 또 다른 기판(G)이 인입되는 것이다. 이와 같은 과정을 반복하면서 기판의 현상이 이루어지는 것이다. 따라서 본 발명은 기판의 현상 과정에서 필 요한 시간을 충분하게 확보하면서도 현상을 위한 장치가 설치되는 면적을 최소로 할 수 있으며 베스(3, 5)의 내부에 존재하는 가스를 배기하는데 있어, 균일하고도 신속하게 할 수 있어 기판의 특정 부분에 화학적 가스에 의하여 집중적으로 반응하는 것을 방지할 수 있어 기판의 불량 방지 및 수율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
이와 같이 본 발명은 상, 하로 이동하는 복수의 쳄버 구조를 통하여 기판의 현상 공정에 소요되는 시간을 최소화할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있음과 동시에 베스 내부에 존재하는 가스를 균일한 상태로 유지하면서 배출할 수 있어 PVC 재질로 이루어지는 베스의 변형을 막을 수 있으며, 기판의 불량을 줄여 수율을 증대시키는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 기판 처리를 위한 공간이 제공되며 상, 하 방향으로 배치되는 복수의 베스, 상기 복수의 베스의 내부에 배치되어 기판을 이송시키는 다수의 이송 수단, 그리고 상기 베스들을 상, 하 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하며,
    상기 베스에는 그 내부에 배치되며 골격을 이루며 내부에 공간이 연결되어 결합되는 다수의 프레임을 구비하고,
    상기 프레임에 다수의 홀이 제공되며,
    상기 프레임에는 베스 내부에 존재하는 가스를 배기할 수 있도록 배출기가 결합되는 평판 디스플레이용 기판 전달 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 베스는 마주하는 양측에 기판이 그 내부로 들어가고 또 배출될 수 있는 인입구 및 배출구를 구비한 평판 디스플레이용 기판 전달 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 프레임에 제공되는 홀은 일정한 간격으로 배치되는 평판 디스플레이용 기판 전달 장치.
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