KR100704353B1 - 내열성 코팅 다이 장치의 설계 방법 및 코팅 다이 장치 - Google Patents
내열성 코팅 다이 장치의 설계 방법 및 코팅 다이 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (56)
- X-축의 다이 길이에 대한 Z-축의 다이 너비 길이의 비율, 및/또는 Y-축의 다이 길이에 대한 Z-축의 다이 너비 길이의 비율이 2.5보다 큰 값을 갖고, 또 정상 상태(steady state)의 작동 온도를 가지는 내열성 코팅 다이 장치의 설계 방법으로서,상기 다이 장치는 Y-Z 평면 내의 다이 립 페이스(lip faces) 및 상기 립 페이스에 수직인 X-Z 평면 내의 슬롯 개구부(slot opening)를 포함하는 다이 구조(die geometry)를 가지는 다이, 능동 열 전달 수단, 온도 및/또는 열 플럭스 센서(heat flux sensor)를 포함하고,평평한 다이 립 페이스를 제공하기 위한 상기 내열성 코팅 다이 장치의 설계 방법은,상기 다이 구조, 상기 능동 열 전달 수단의 배치, 상기 온도 또는 열 플럭스 센서의 배치, 및 작동 환경으로부터의 차폐를 동시에 최적화하는 단계; 및다이 기능 특성, 수용 가능한 평면으로부터의 최소 이탈값에 관련된 온도 측정의 최소 증가분 및 제어 정확성, 열-구조적인(thermo-structural) 재료 특성에 관한 코팅 다이의 제조 재료, 및 바람직한 코팅 다이 재료 특성을 고려하면서, 열 전달(heat transfer) 및 구조 수치(structural numerical) 모델링, 및/또는 통계적 분석, 및/또는 온도 및/또는 열 플럭스, 및/또는 치수 및/또는 스트레인 및/또는 스트레스 측정 기술을 이용하는 단계;를 포함하고,상기 최적화 단계는,코팅이 시작될 때에, 상기 X-Z 평면 또는 Y-Z 평면 내의 다이 립의 편평도 이탈값이, 한정된 편평도 이탈값을 넘지 않게 하면서, 상기 X-Z 평면 내의 상기 다이 립 페이스의 휨 편평도(bending flatmess)의 공칭(nominal) 상태를 한정된 편평도 이탈값보다 작게 유지하는 단계, 및상기 각각의 평면 내에서 예측 가능한 휨 방향 및 휨 정도를 얻기 위해, 상기 X-Z 평면 및/또는 Y-Z 평면 내의 온도 구배를 최소화하기 위한 가열 시스템의 균형을 유지하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 내열성 코팅 다이 장치의 설계 방법.
- 청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제1항에 있어서,상기 X-축 다이 길이에 대한 Z-축 다이 너비 길이의 비율은 최대 11이고, 상기 Y-축 다이 길이에 대한 Z-축 다이 너비 길의 비율은 최대 14이고, 상기 작동 온도는 최대 200°C이고, 그리고 상기 제조 재료는 철이며, 그리고상기 최적화 단계는.의도적으로 상기 X-Z 평면 내의 상기 다이를 1℃ 당 0.007 mm 내지 0.042 mm의 비율로 휘게하고, 상기 X-Z 평면 내에서 의도적으로 유발된 온도 구배 비율을 갖도록 할 수 있게 하면서, 또, 코팅이 시작될 때에, 상기 X-Z 평면 또는 Y-Z 평면 내의 립의 편평도 이탈값의 상기 크기가 0.025 mm를 넘지 않게 하면서, 상기 X-Z 평면 내의 상기 다이 립 페이스의 휨 편평도의 이탈값이 0.025 mm 보다 작도록 유지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 Y-Z 평면 내의 다이 휨 편평도 이탈값이 0.102 mm 보다 작도록 유지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 4은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계는, 점착 온도가 상기 다이의 상기 공칭 온도와 같거나, 또는 상기 공칭 온도로부터 5.556℃의 이탈값 이내에 있으면서, 상기 슬롯 개구부 내의 종단 온도 편차(cross-width temperature deviation)가 8.333℃ 보다 작도록 유지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,코팅이 시작될 때에, 상기 X-Z 평면 또는 Y-Z 평면 내의 립 편평도 이탈값의 상기 크기가 0.010 mm을 넘지 않도록 하면서, 상기 X-Z 평면 내의 상기 다이 립 페이스의 휨 편평도의 이탈값이 0.013 mm 보다 작도록 유지하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제3항에 있어서,상기 Y-Z 평면 내의 휨 편평도의 이탈값이 0.051 mm 보다 작도록 유지하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제4항에 있어서,점착 온도가 상기 다이의 공칭 온도와 같거나 또는 상기 공칭 온도로부터 1.111℃의 이탈값 이내에 있으면서, 상기 슬롯 개구부 내의 종단 온도 편차가 4.444℃ 보다 작도록 유지되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서,상기 작동 환경은, 다이 단열(die insulation) 및 기류(air flow)를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 구배를 조절(managing)하고 소멸시킬 목적으로 제어가능한 가열을 제공하기 위해, 상기 립 페이스에 길이 방향으로 히터를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제9항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 구배를 총괄하여 제어하고 최소화할 목적으로 종단으로(cross-width) 배치된 히터들과 상호작용하기 위해 상기 립 페이스에 길이 방향으로 히터를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 국부(local) 온도 구배를 최소화하거나 소멸시키기 위해 요구되는 히터를 가열 구역(heating zones) 내에 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 구배를 감소시키거나 소멸시키기 위해, 상기 다이 장치를 단열시키는(insulating) 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 기판으로부터 공기 경계층(air boundary layer)이 분리됨으로 인하여 상기 다이의 프런트 하부(front lower portion)가 국부적으로 냉각되는 것을 방지하기 위해 기류 가드(air flow guard)를 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 측정의 불확실성을 최소화하기 위해 고정밀도의 온도 센서를 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 휨 상태를 조절하기 위해서, 제어 가능하게 상기 온도 밸런스를 어긋나도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 전기 히터 또는 오일, 물, 스팀과 같은 유체 또는 다른 가열 수단 또는 냉각 수단을 이용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제1항에 있어서,상기 최적화 단계가, 다이가 가열될 수 있고 열 손실이 방지될 수 있고 온도가 모니터링 될 수 있도록, 열점(hot spot) 및/또는 냉점(cold spot)을 유발하는 불필요한 재료를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제17항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 다이 전체를 균일하게 제어하여 가열하기 위해, 상기 다이 내에 히터들을 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제18항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 다이 립 페이스에 길이 방향으로 히터들을 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 제19항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 온도 센서가 모니터링하는 히터 구역의 상기 온도 상태를 정확하게 가리키는 다이 위치 내에, 온도 센서를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 21은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제20항에 있어서,상기 온도 센서가 저항 온도 검출기(resistance temperature detectors)인 것을 특징으로 하는 방법.
- 제17항에 있어서,상기 최적화 단계는, 수치 열 전달 모델의 계산에 의해, 구조 단순화(geometry simplication), 및 히터 및 온도 센서의 위치를 최적화하는 단계를 더 포함하고, 열 변형(thermal deformation)은 상기 온도 결과를 수치 구조 모델에 대응시킴으로써(mapping) 추정되고, 상기 열 및 구조 모델은 프로세스 변동(process variation)을 고려하여 실행되는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제22항에 있어서,
- 청구항 24은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 작동 환경은, 다이 단열 및 기류를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 25은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 구배를 조절(managing)하고 소멸시킬 목적으로 제어가능한 가열을 제공하기 위해, 상기 립 페이스에 길이 방향으로 히터를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 26은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제25항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 구배를 총괄하여 제어하고 최소화할 목적으로 종단으로 배치된 히터들과 상호작용하기 위해 상기 립 페이스에 길이 방향으로 히터를 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 27은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 국부 온도 구배를 최소화하거나 소멸시키기 위해 요구 되는 히터를 가열 구역 내에 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 28은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 구배를 감소시키거나 소멸시키기 위해 상기 다이 장치를 단열시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 29은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 기판으로부터 공기 경계층이 분리됨으로 인하여 상기 다이의 프런트 하부가 국부적으로 냉각되는 것을 방지하기 위해 기류 가드를 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
- 청구항 30은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 온도 측정의 불확실성을 최소화하기 위해 고정밀도의 온도 센서를 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
- 청구항 31은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 휨 상태를 조종하기 위해서 제어 가능하게 다이 온도의 균형을 잡는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 32은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 전기 히터 또는 오일, 물, 스팀과 같은 유체 또는 다른 가열 수단 또는 냉각 수단을 이용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 33은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 최적화 단계가, 다이가 가열될 수 있고 열 손실이 방지될 수 있고 온도가 모니터링 될 수 있도록, 열점 및/또는 냉점을 유발하는 불필요한 재료를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 34은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제33항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 다이 전체를 균일하게 제어하여 가열하기 위해, 상기 다이 내에 히터들을 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
- 청구항 35은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제34항에 있어서,상기 최적화 단계가, 상기 다이 립 페이스에 길이 방향으로 히터들을 배치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
- 청구항 36은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제35항에 있어서,
- 청구항 37은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제36항에 있어서,상기 온도 센서가 저항 온도 검출기인 것을 특징으로 하는 방법
- 청구항 38은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제33항에 있어서,상기 최적화 단계는, 수치 열 전달 모델의 계산에 의해, 구조 단순화, 및 히터 및 온도 센서의 배치를 최적화하는 단계를 더 포함하고, 열 변형은 상기 온도 결과를 수치 구조 모델에 대응시킴으로써 추정되고, 상기 열 및 구조 모델은 프로세스 변동을 고려하여 실행되는 것을 특징으로 하는 방법
- 청구항 39은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 38항에 있어서,상기 프로세스 변동이, 상기 다이의 유체 흐름 및 또는 상기 다이 주위의 기류를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
- 다이; 및통합된 가열 시스템을 포함하고,상기 다이의, X-축의 다이 길이에 대한 Z-축의 다이 너비 길이의 비율, 및/또는 Y-축의 다이 길이에 대한 Z-축의 다이 너비 길이의 비율은, 2.5 이상의 값을 갖고,상기 다이는, 기계적으로 적합한 작동 온도, Y-Z 평면 내의 다이 립 페이스 및 X-Z 평면 내의 상기 립 페이스에 수직인 슬롯 개구부, 상기 다이 립 페이스와 기판 사이에 형성되는 코팅 갭을 구비하고,상기 다이 립 페이스는 상기 리어 부분으로부터 프런트 부위의 말단부까지 상기 슬롯 개구부를 형성하고,상기 기판 위에서는, 상기 Z-축의 다이 너비 길이를 따라, 상기 슬롯 개구부로부터 상기 기판위로 유체 층이 제공되고,상기 통합된 가열 시스템은, 1개 이상의 프런트 횡단 히터, 1개 이상의 리어 횡단 히터를 구비하여,상기 1개 이상의 프런트 횡단 히터는, 길이 방향으로, 상기 너비와 근위 단부를 가로질러 상기 프런트 부분으로 간격을 두고 상기 다이 내에 배치되고,상기 각각의 프런트 횡단 히터(cross-section heater)는, 선택적으로 상부 프런트 횡단 히터 또는 하부 프런트 횡단 히터이며,상기 각각의 프런트 횡단 히터는, 각각의 프런트 횡단 온도 센서를 구비하고,상기 각각의 프런트 횡단 온도 센서는, 상기 각각의 프런트 횡단 히터에 의해 제공되는 열량을 조절하기 위해 프런트 횡단면 온도 제어 시스템에 연결되고,상기 1개 이상의 리어 횡단 히터는, 길이 방향으로, 상기 너비와 말단부를 가로질러 상기 프런트 부분으로 간격을 두고 상기 다이 내에 배치되며,상기 각각의 리어 횡단 히터는, 선택적으로 상부 리어 횡단 히터 또는 하부 리어 횡단 히터이고,상기 각각의 리어 횡단 히터는, 각각의 리어 횡단 온도 센서를 구비하고,상기 각각의 리어 횡단 온도 센서는, 상기 각각의 리어 횡단 히터에 의해 제공되는 열을 조절하기 위해 리어 횡단면 온도 제어 시스템에 연결되고,정상 상태의 작동 온도에서 작동하는 상기 통합된 가열된 시스템은, 최대 횡단면 온도 설정값과 최소 횡단면 온도 설정 사이값의 차이가, 다이의 설계 최적화 과정에서의 불확실성에 의해 결과적으로 발생한 온도 차이값과 동일하거나 또는 그보다 작게 되도록 하고, 상기 프런트 횡단 히터는 상기 정상 상태 작동 온도를 유지하기 위해 요구되는 총 파워의 특정 부분을 제공하고, 상기 리어 횡단 히터 및/또는 다른 히터들은 총 파워의 나머지 부분을 제공하고,상기 통합된 가열 시스템은, 코팅이 시작될 때에, X-Z 평면 또는 Y-Z 평면 내의 다이 립 편평도 이탈값의 크기가, 정의된 편평도 이탈값을 넘지 않게 하면서, 상기 X-Z 평면 내의 상기 코팅 립 페이스의 휨 편평도를 정의된 편평도 이탈값보다 작은 값으로 유지하기 위해, 상기 X-Y 평면 내의 상기 너비를 따라 온도 구배를 최소화하기 위해 균형 잡힌(balanced) 상태를 갖고,상기 통합된 가열 시스템은, 선택적으로 불균형(unbalanced) 상태를 갖는데,이 불균형 상태는,상기 X-Z 평면 내의 상기 다이의 휨을 제어하기 위해, 리어 횡단 히터에 공급되는 가열 파워에 대한 프런트 횡단 히터에 공급되는 가열 파워의 비율을 조절하는 것에 의해 프런트 횡단 히터 및 리어 횡단 히터 사이의 온도 차이를 변화시킴으로써; 및/또는상기 Y-Z 평면 내의 상기 다이의 휨을 제어하기 위해, 하부 횡단 히터에 제공되는 가열 파워에 대한 상부 횡단 히터에 제공되는 가열 파워의 피율을 조절하는 것에 의해 상부 횡단 히터와 하부 횡단 히터 사이의 온도 차이를 변화시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 제40항에 있어서,상기 X-축의 다이 길이에 대한 Z-축의 다이 너비 길이의 비율은 최대 11이고, 상기 Y-축의 다이 길이에 대한 Z-축의 다이 너비 길이는 최대 14이고, 상기 작동 온도는 최대 200°C이며, 상기 제조 재료는 철이고, 상기 최대 횡단면 온도 설정값과 최소 횡단면 온도 설정값 사이의 차이가 10°C이거나 10°C보다 작고, 상기 프런트 횡단 히터는 상기 정상 상태 작동 온도를 유지하기 위해 요구되는 상기 총 파워 중 특정의 20%-60%를 제공하고, 코팅이 시작될 때에 상기 X-Z 평면 또는 Y-Z 평면 내의 립 편평도 이탈값의 크기가 0.025 mm 를 넘지 않도록 하면서 상기 X-Z 평면 내의 상기 다이 립 페이스의 휨 편평도의 이탈값이 0.025 mm 보다 작도록 하고, 그리고 상기 X-Z 평면 내의 상기 다이를 1℃ 당 0.007 mm 내지 0.042 mm 의 비율로 의도적으로 휘게 하고, 상기 X-Z 평면 내에서 의도적으로 유발된 온도 구배 비율을 갖도록 할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 42은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제41항에 있어서,상기 통합된 가열 시스템의 균형은, 코팅이 시작될 때에, 상기 X-Z 평면 또는 Y-Z 평면 내의 립 편평도 이탈값의 크기가 0.010 mm 를 넘지 않으면서, 상기 X-Z 평면 내의 상기 다이 립 페이스의 휨 편평도의 이탈값이 0.013 mm 보다 작게 유지하기 위해, 최적화되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 43은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제41항에 있어서,상기 통합된 가열 시스템의 상기 균형은, 상기 Y-Z 평면 내의 다이 휨 편평도의 이탈값이 0.102 mm 보다 작게 유지하기 위해, 최적화되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 제41항에 있어서,상기 통합된 가열 시스템이, 구역들 내의 다이 너비를 따라, 뒤쪽 부분에서 프런트 방향으로 및/또는 프런트 부분에서 뒤쪽 부분 방향으로 상기 다이 내에 간격을 두고 배치된 종단 히터(cross-width heater)의 그룹을 더 포함하고, 상기 구역은 각각의 종단 온도 센서를 구비하고, 상기 각각의 종단 온도 센서는, 상기 각각의 구역 내에서 상기 각각의 종단 히터에 의해 제공되는 열을 조절하기 위해 각각의 종단면 온도 제어 시스템에 연결되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 45은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제44항에 있어서,종단 히터 구역들은, 상기 점착 온도를 상기 다이의 상기 공칭 온도와 같거나 또는 상기 공칭 온도로부터 5.556℃의 이탈값 이내로 유지하면서, 상기 슬롯 개구부 내의 종단 온도 편차를 8.333℃ 보다 작게 유지하기 위해, 횡단 히터 구역들과 함께 동시에 열적으로 균형을 이루는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 46은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제43항에 있어서,종단 히터 구역들은, 상기 Y-Z 평면 내의 휨 편평도의 이탈값을 0.051 mm 보다 작게 유지하기 위해 횡단 히터 구역들과 함께 동시에 열적으로 균형을 이루는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 47은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제45항에 있어서,종단 히터 구역들은, 상기 점착 온도를 상기 다이의 상기 공칭 온도와 같거나 또는 상기 공칭 온도로부터 1.111℃의 이탈값 이내로 유지하면서, 상기 슬롯 개구부 내의 종단 온도 편차를 4.444℃ 보다 작게 유지하기 위해, 횡단 히터 구역들과 함께 동시에 열적으로 균형을 이루는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 제41항에 있어서,상기 다이 장치가, 온도 구배를 감소시키거나 소멸시키기 위해 외부로부터 단열되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 제41항에 있어서,상기 기판으로부터 공기 경계층이 분리됨으로 인하여 상기 다이가 국부적으로 냉각되는 것을 방지하기 위해, 기류 가드가 상기 프런트 부분 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 50은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제41항에 있어서,상기 프런트 횡단 온도 센서 및 상기 리어 횡단 온도 센서는, +/-0.556℃ 보다 양호한 정밀도를 갖는, 와이어가 감긴 백금 저항 온도 검출기인 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 51은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제41항에 있어서,상기 종단 온도 센서는, +/-0.556℃ 보다 양호한 정밀도를 갖는, 와이어가 감긴 백금 저항 온도 검출기인 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 제40항에 있어서,상기 통합된 가열 시스템은, 구역들 내의 상기 너비를 따라, 뒤쪽 부분에서 프런트 방향으로 및/또는 프런트 부분에서 뒤쪽 부분 방향으로 상기 다이 내에 간격을 두고 배치된 종단 히터 그룹을 더 포함하고, 상기 구역은 각각의 종단 온도 센서를 구비하고, 상기 각각의 종단 온도 센서는, 상기 각각의 구역 내에서 상기 각각의 종단 히터에 의해 제공되는 열을 조절하기 위해 각각의 종단면 온도 제어 시스템에 결합되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 제40항에 있어서,상기 다이 장치는, 온도 구배를 감소시키거나 소멸시키기 위해 외부로부터 단열되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 제40항에 있어서,상기 기판으로부터 공기 경계층이 분리됨으로 인하여 상기 다이가 국부적으로 냉각되는 것을 방지하기 위해, 기류 가드가 상기 프런트 부분 위에 배치되는 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 55은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제40항에 있어서,상기 프런트 횡단 온도 센서 및 상기 리어 횡단 온도 센서는, +/-0.556℃ 보다 양호한 정밀도를 갖는, 와이어가 감긴 백금 저항 온도 검출기인 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
- 청구항 56은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제40항에 있어서,상기 종단 온도 센서는, +/-0.556℃ 보다 양호한 정밀도를 갖는, 와이어가 감긴 백금 저항 온도 검출기인 것을 특징으로 하는 코팅 다이 장치.
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