KR100703977B1 - 밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및벤추리 밸브 테스트 방법 - Google Patents

밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및벤추리 밸브 테스트 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100703977B1
KR100703977B1 KR1020050070691A KR20050070691A KR100703977B1 KR 100703977 B1 KR100703977 B1 KR 100703977B1 KR 1020050070691 A KR1020050070691 A KR 1020050070691A KR 20050070691 A KR20050070691 A KR 20050070691A KR 100703977 B1 KR100703977 B1 KR 100703977B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
solenoid valve
valve
test
measuring
gas
Prior art date
Application number
KR1020050070691A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20070015979A (ko
Inventor
김수민
엄호성
조장원
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020050070691A priority Critical patent/KR100703977B1/ko
Priority to US11/490,128 priority patent/US7401494B2/en
Publication of KR20070015979A publication Critical patent/KR20070015979A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100703977B1 publication Critical patent/KR100703977B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
    • F16K37/0075—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment
    • F16K37/0091—For recording or indicating the functioning of a valve in combination with test equipment by measuring fluid parameters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

Abstract

밸브 테스트 장치가 제공된다. 밸브 테스트 장치는 가스 공급부와, 가스 공급부의 일단과 연결되며 솔레노이드 밸브가 장착되는 솔레노이드 밸브 장착부와, 솔레노이드 밸브 장착부와 연결되는 제 1 측정부와, 제 1 측정부와 선택적으로 솔레노이드 밸브 장착부에 연결되며 벤추리 밸브가 장착되는 벤추리 밸브 장착부와, 벤추리 밸브와 연결되는 제 2 측정부와, 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 장착된 상기 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터 제 1 또는 제 2 측정부의 측정 값이 미리 입력된 기대 값이 될 때까지의 시간을 측정하는 시간 측정부를 포함한다.
밸브 테스트 장치, 솔레노이드 밸브, 벤추리 밸브

Description

밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및 벤추리 밸브 테스트 방법{Apparatus for test of valve and test method of solenoid valve and test method of venture valve}
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 솔레노이드 밸브가 OFF된 상태를 나타낸 개념도이다.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 솔레노이드 밸브가 ON된 상태를 나타낸 개념도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 벤추리 밸브의 정면도이다.
도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 벤추리 밸브의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에서 제 1 측정부를 통해 밸브를 테스트하는 개념도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에서 제 2 측정부를 통해 밸브를 테스트하는 개념도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치를 사용하여 솔레노이 드 밸브를 테스트하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치를 사용하여 벤추리 밸브를 테스트하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
100: 솔레노이드 밸브 110: 전자석 코일
120: 플런저 130: 밸브 구멍
140: 포핏 150: 스프링
160: 가스 유입구 170: 제 1 가스 배출구
180: 제 2 가스 배출구 200: 벤추리 밸브
210: 제 1관 220: 제 2관
310: 가스 공급부 314: 레귤레이터
320: 솔레노이드 밸브 장착부 330: 벤추리 밸브 장착부
340: 측정부 342: 제 1 측정부
344: 제 2 측정부 350: 시간 측정부
352: 타이머 354: 제어부
360: 전원 공급부 362: 전원 공급 스위치
본 발명은 밸브 테스트 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 솔레노이드 밸 브가 정상적으로 동작하는지 여부를 테스트할 수 있는 밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및 벤추리 밸브 테스트 방법에 관한 것이다.
솔레노이드 밸브 및 벤추리 밸브는 반도체 제조 설비에서 널리 사용되고 있으며, 다양한 가스의 흐름을 제어한다. 따라서, 장기간 사용하게 되면 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브를 통과하는 가스 중에서 반응성 가스들이 밸브 내부에 증착되는 등의 문제가 발생될 수 있다. 이러한 경우, 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브의 동작이 둔해지거나 오동작이 발생할 수 있다.
한편, 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브를 장착한 반도체 제조 설비에 문제가 발생한 경우, 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브가 불량이거나, 오동작하고 있는지 여부를 명확히 판단할 수 없었다. 따라서, 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브를 다른 제품으로 교체하여 반도체 제조 설비가 정상적으로 동작하는지 여부를 살펴보는 것에 의해 간접적으로 밸브의 불량 또는 오동작 여부를 판단하였다.
이러한 경우, 정상적인 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브임에도 교체될 수 있어, 비용이 많이 들고, 효율이 떨어져 생산성이 저하될 수 있다.
또한, 정밀한 부위에 사용되는 솔레노이드 밸브의 경우, 솔레노이드 밸브를 제어하여 가스를 공급하는 시간이 매우 짧다. 따라서, 솔레노이드 밸브에 전원이 인가된 후, 솔레노이드 밸브가 동작하기까지의 동작 시간이 매우 중요하다. 그러나, 솔레노이드 밸브의 동작 시간을 정확히 측정할 수가 없어, 공정이 정확히 진행되고 있는지 파악하기가 어려운 문제가 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브가 정상적으로 동작하는지 여부를 테스트할 수 있는 밸브 테스트 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는, 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브가 정상적으로 동작하는지 여부를 테스트하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치는 가스 공급부와, 상기 가스 공급부의 일단과 연결되며 솔레노이드 밸브가 장착되는 솔레노이드 밸브 장착부와, 상기 솔레노이드 밸브 장착부와 연결되는 제 1 측정부와, 상기 제 1 측정부와 선택적으로 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 연결되며 벤추리 밸브가 장착되는 벤추리 밸브 장착부와, 상기 벤추리 밸브와 연결되는 제 2 측정부와, 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 장착된 상기 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터 상기 제 1 또는 제 2 측정부의 측정 값이 미리 입력된 기대 값이 될 때까지의 시간을 측정하는 시간 측정부를 포함한다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 솔레노이드 밸브 테스트 방법은 솔레노이드 밸브 장착부에 피테스트용 솔레노이드 밸브를 장착하는 단계와, 가스 공급부에서 상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에 가스를 공급하는 단계와, 상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 유량을 측정하는 단계 및 상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터 상기 측정 값이 미리 입력된 기대 값이 될 때까지의 시간을 측정하는 단계를 포함한다.
삭제
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 벤추리 밸브 테스트 방법은 솔레노이드 밸브 장착부에 정상 솔레노이드 밸브를 장착하는 단계와, 벤추리 밸브 장착부에 피테스트용 벤추리 밸브를 장착하는 단계와, 가스 공급부에서 상기 정상 솔레노이드 밸브에 가스를 공급하는 단계 및 상기 정상 솔레노이드 밸브에서 배출된 가스가 상기 피테스트용 벤추리 밸브를 통과할 때의 진공도를 측정하는 단계를 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 도 1a 및 도 1b를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 솔레노이드 밸브에 대하여 설명한다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 솔레노이드 밸브가 OFF된 상태를 나타낸 개념도이고, 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 솔레노이드 밸브가 ON된 상태를 나타낸 개념도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 솔레노이드 밸브(100)는 전자석 코일(110), 플런저(plunger; 120), 밸브 구멍(130), 포핏(poppet; 140) 및 스프링(150)을 포함한다.
전자석 코일(110)은 전원 공급부(미도시)와 연결되어 있으며, 전기적 신호를 받아 전자석 코일(110) 내에 전류가 흐르게 되면, 자기력을 발생시켜 플런저(120)를 움직이게 한다.
플런저(120)는 밸브 구멍(130)을 막고 있는 핀으로써, 철핀일 수 있다. 플런저(120)는 전원이 인가되지 않은 때에는 밸브 구멍(130)을 막고 있다가, 전자석 코일(110)에 전류가 흘러서 자기력이 발생하면 전자석 코일(110) 방향으로 움직여, 밸브 구멍(130)을 열게 된다.
밸브 구멍(130)은 플런저(120)에 의해 막혀 있다가, 플런저(120)가 자기력에 의해 움직이게 되면 열리게 된다. 밸브 구멍(130)은 도시되어 있지는 않지만 가스 주입구(160)와 연결되어 있어서, 밸브 구멍(130)이 열리게 되면 가스 주입구(160)에서부터 가스가 유입될 수 있다.
포핏(140)은 가스 주입구(160)에서 주입된 가스의 경로를 조정한다. 포핏(140)의 일단은 밸브 구멍(130)과 연결되어 있으며 포핏(140)의 타단은 스프링(150)과 연결되어 있다. 포핏(140)은 밸브 구멍(130)을 통해 주입되는 가스에 의해 움직여, 가스 주입구(160)에서 주입된 가스의 경로를 조정할 수 있다. 즉, 포핏(140)이 좌우로 움직임에 따라, 제 1 가스 배출구(170) 또는 제 2 가스 배출구 (180)가 열리게 된다.
스프링(150)은 포핏(140)의 일단에 연결되어 있으며, 스프링(150)의 탄성력으로 포핏(140)을 밀고 있다. 포핏(140)의 타단에 연결된 밸브 구멍(130)에서 가스가 유입되어, 유입된 가스의 압력이 스프링(150)의 탄성력보다 크면 포핏(140)이 스프링(150) 방향으로 밀리게 된다. 한편, 가스가 유입되지 않으면 스프링(150)은 다시 포핏(140)을 밸브 구멍(130) 방향으로 밀어, 가스의 이동 경로를 제어한다.
이하, 도 1a 및 도 1b를 참조하여, 솔레노이드 밸브의 동작을 설명한다.
도 1a를 참조하면, 솔레노이드 밸브(100)에 전원이 인가되지 않았을 때, 솔레노이드 밸브(100)의 플런저(120)는 밸브 구멍(130)을 막고 있다. 또한, 포핏(140)은 스프링(150)의 탄성력에 의해 밸브 구멍(130) 방향으로 밀려져 있다. 이 때, 솔레노이드 밸브(100)로 가스가 가스 유입구(160)로 유입되면, 가스는 제 1 배출구(170)로 배출되게 된다.
도 1b를 참조하면, 솔레노이드 밸브(100)에 전원이 공급되면, 전자석 코일(110)에 전류가 흐르게 된다. 전자석 코일(110)에 전류가 흐르게 되면, 전자석 코일(110)에 자기력이 생긴다. 이 때, 전자석 코일(110)에 발생한 자기력은 밸브 구멍(130)을 막고 있는 플런저(120)를 끌어당긴다. 자기력에 의해 플런저(120)가 움직이면 밸브 구멍(130)이 열리게 된다. 한편, 밸브 구멍(130)은 가스 주입구(160)와 연결되어 있어서, 밸브 구멍(130)이 열리게 되면 밸브 구멍(130)으로 가스가 유입된다. 밸브 구멍(130)으로 가스가 주입되면, 가스의 압력에 의해 포핏(140)이 힘을 받게 된다. 이 때, 가스의 압력이 포핏(140)의 타단에 연결된 스프링(150)의 탄 성력보다 커지게 되면 포핏(140)이 스프링(150) 방향으로 움직이게 된다. 따라서, 포핏(140)에 의해 제 1 배출구(170)가 막히게 되고, 제 2 배출구(180)가 열리게 된다. 이 때, 솔레노이드 밸브(100)로 가스가 가스 유입구(160)로 유입되면, 가스는 제 2 배출구(180)로 배출되게 된다.
이하, 도 2a 및 도 2b를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 벤추리 밸브를 설명한다. 도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 벤추리 밸브의 정면도이고, 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 사용되는 벤추리 밸브의 단면도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 벤추리 밸브(200)는 내부에 잘록한 부분이 있는 짧은 밸브로써, 가스의 흐름을 측정할 때 사용되는 밸브이다. 벤추리 밸브(200)은 중심 부분의 단면적이 좁은 아령 모양의 제 1관(210)과, 제 1관(210)과 비교하여 단면적이 상대적으로 작으며 제 1관(210)의 측면에 연결된 제 2관(220)을 포함한다.
가스가 제 1관(210)의 중심 부분인 단면적이 좁은 부분을 통과하면 가스의 유속이 빨라지면서 가스의 압력이 낮아지게 된다. 제 1관(210)의 기압이 낮아지면, 제 2관(220)을 채우고 있는 기체가 제 1관(210)으로 빨려들어 가게 된다. 따라서, 제 2관(220)은 압력이 급속히 줄어들어 진공 상태가 되며, 이러한 제 2관(220)의 진공도를 측정하여 가스의 흐름을 측정할 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에 대하여 설명한다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치의 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에서 제 1 측정부를 통해 밸브를 테스트하는 개념도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치에서 제 2 측정부를 통해 밸브를 테스트하는 개념도이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 밸브 테스트 장치는 가스 공급부(310), 솔레노이드 밸브 장착부(320), 벤추리 밸브 장착부(230), 측정부(340), 시간 측정부(350) 및 전원 공급부(360)를 포함한다.
가스 공급부(310)는 밸브 테스트 장치에 가스를 공급하며, 솔레노이드 밸브 장착부(320)에 연결되어 있다. 가스 공급부(310)는 가스를 공급하는 가스 공급관(312)과 가스의 압력을 일정하게 유지하는 레귤레이터(314)를 포함한다. 가스 공급부(310)에서는 레귤레이터(314)를 통해 가스의 압력을 일정하게 유지하여 공급할 수 있다.
솔레노이드 밸브 장착부(320)에는 솔레노이드 밸브(100)가 장착된다. 솔레노이드 밸브 장착부(320)의 일단은 가스 공급부(310)의 일단과 연결될 수 있고, 타단은 벤추리 밸브(200) 또는 제 1 측정부(342)와 연결될 수 있다. 솔레노이드 밸브 장착부(320)에는 솔레노이드 밸브(100)로 가스를 주입하고 솔레노이드 밸브(100)로부터 가스가 배출될 수 있는 다수개의 홀(미도시)이 구비되어 있다.
벤추리 밸브 장착부(230)에는 벤추리 밸브(200)가 장착될 수 있다. 벤추리 밸브 장착부(230)에 장착된 벤추리 밸브(200)는 솔레노이드 밸브 장착부(320) 및 제 2 측정부(344)와 연결될 수 있다.
측정부(340)에서는 솔레노이드 밸브(100)에서 배출되는 가스의 압력을 측정 하거나 벤추리 밸브(200)의 진공도를 측정할 수 있다. 측정부(340)는 제 1 측정부(342)와 제 2 측정부(344)를 포함한다. 여기서, 제 1 측정부(342)는 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 압력을 측정하는 압력 측정부일 수 있고, 제 2 측정부는 솔레노이드 밸브에서 배출된 가스가 벤추리 밸브를 통과할 때의 진공도를 측정하는 진공도 측정부 일 수 있다.
솔레노이드 밸브(100)를 테스트할 때에는 제 1 측정부(342)에서 가스의 압력을 이용하여 솔레노이드 밸브(100)에서 배출되는 가스의 유량을 측정할 수 있다. 또는, 벤추리 밸브(200)를 솔레노이드 밸브 장착부(320)에 연결하여 제 2 측정부(344)가 벤추리 밸브(200)의 진공도를 측정할 수도 있다.
벤추리 밸브(200)를 테스트할 때에는 벤추리 밸브(200)를 제 2 측정부(344)와 연결하여 벤추리 밸브(200)의 진공도를 측정한다.
시간 측정부(350)에서는 솔레노이드 밸브(100)의 내부 동작이 얼마나 빨리 일어나는지를 테스트한다. 따라서, 시간 측정부(350)에서는 솔레노이드 밸브(100)에 전원을 인가한 때부터 측정부(340)의 측정 값이 미리 입력된 기대 값이 될 때까지의 시간을 측정한다.
이 때, 기대 값이란 솔레노이드 밸브(100)가 정상적으로 동작할 때에 측정될 것으로 기대되는 값으로써, 타이머(352)에 미리 입력하여 놓는다. 즉, 기대 값은 솔레노이드 밸브(100)가 정상적으로 동작한다고 판단할 수 있는 값 중에서 최소의 값이다. 이 때, 측정하고자 하는 종류의 솔레노이드 밸브(100)의 기대 값은 미리 측정하여 측정 대조표를 작성하여 놓는다. 즉, 솔레노이드 밸브(100) 테스트 시에 측정 대조표의 기대 값을 타이머(352)에 입력하여 테스트를 진행할 수 있다.
시간 측정부(350)는 타이머(352)와 제어부(354)를 포함한다.
타이머(352)는 솔레노이드 밸브(100)에 연결된 전원 공급 스위치(362), 측정부(340) 및 제어부(354)와 연결되어 있다. 타이머(352)는 솔레노이드 밸브(100)에 전원을 인가한 때부터 시간을 카운트한다.
제어부(354)는 타이머(352) 및 측정부(340)와 연결되어 있다. 제어부(354)는 측정부(340)의 측정 값과 미리 입력된 기대 값을 비교하여 측정부(340)의 측정 값이 기대 값과 같아지면 타이머(352)의 동작이 멈추도록 제어한다.
전원 공급부(360)는 밸브 테스트 장치에 전원을 인가한다. 전원 공급부(360)는 솔레노이드 밸브(100) 및 타이머(352)와 연결된 전원 공급 스위치(362)를 포함한다.
밸브 테스트 장치는 솔레노이드 밸브(100) 또는 벤추리 밸브(200)가 정상적으로 동작하는지 여부를 테스트할 수 있다.
밸브 테스트 장치를 사용하여 솔레노이드 밸브(100) 또는 벤추리 밸브(200)를 테스트하면, 솔레노이드 밸브(100) 또는 벤추리 밸브(200)가 정상적으로 동작하는지 여부를 명확히 판단할 수 있다. 따라서, 반도체 제조 설비에 문제가 발생한 경우, 솔레노이드 밸브(100) 또는 벤추리 밸브(200)를 따로 제거하여 솔레노이드 밸브(100) 또는 벤추리 밸브(200)가 불량이거나, 오동작하고 있는지 여부를 명확히 판단할 수 있다. 따라서, 불필요하게 솔레노이드 밸브(100) 또는 벤추리 밸브(200)를 교체하지 않아도 되기 때문에, 비용이 감소될 수 있다. 또한, 빠른 시간 안에 솔레노이드 밸브(100) 또는 벤추리 밸브(200)의 오동작 여부를 판단할 수 있어 작업이 지연되지 않아, 생산성이 좋아질 수 있다.
또한, 솔레노이드 밸브(100)에 전원이 인가된 후, 솔레노이드 밸브(100)가 동작하기까지의 반응 시간을 정확히 측정할 수 있다. 따라서, 정상적으로 동작하더라도 반응 시간이 느린 솔레노이드 밸브(100)를 제거할 수 있어, 공정이 더 정확하게 진행될 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 솔레노이드 밸브의 테스트 방법에 대하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치를 사용하여 솔레노이드 밸브를 테스트하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
우선, 밸브 테스트 장치의 솔레노이드 밸브 장착부(320)에 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)를 장착한다(S110). 이어서, 가스 공급부(310)에서 가스를 공급한다(S120). 즉, 가스 공급관(312)에 가스를 공급하고, 레귤레이터(314)에서 가스의 압력을 조절한다. 이어서, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에 전원을 공급한다(S130). 이 때, 전원 공급부(360)에 연결된 전원 공급 스위치(362)를 ON한다. 여기서, 전원 공급 스위치(362)를 ON하면 전원 공급 스위치(362)와 연결된 타이머(352)가 작동한다.
이어서, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에 가스가 공급되고 다시 가스가 배출되면, 측정부(340)에서 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에서 배출되는 가스의 유량을 측정한다(S140).
이 때, 제 1 측정부(342)에서는 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에서 배출되는 가스의 기압을 측정함으로써, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에서 배출되는 가스의 유량을 측정할 수 있다. 즉, 솔레노이드 밸브 장착부(320)에 제 1 측정부(342)를 연결하여 테스트를 진행한다.
또는, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에서 배출되는 가스가 벤추리 밸브(200)를 통과하게 하여 벤추리 밸브(200)의 진공도를 제 2 측정부(344)에서 측정하여 가스의 유량을 측정할 수 있다. 이 때에는, 밸브 테스트 장치의 벤추리 밸브 장착부(330)에 정상 벤추리 밸브(200)를 장착한 후 정상 벤추리 밸브(200)와 제 2 측정부(344)를 연결하여 테스트를 진행한다.
가스가 정상 벤추리 밸브(200)의 제 1관(210)의 중심 부분인 단면적이 좁은 부분을 통과하면 가스의 유속이 빨라지면서 가스의 압력이 낮아지게 된다. 제 1관(210)의 기압이 낮아지면, 제 2관(220)을 채우고 있는 기체가 제 1관(210)으로 빨려들어 가게 된다. 따라서, 제 2관(220)은 압력이 급속히 줄어들어 진공 상태가 되며, 이러한 제 2관(220)의 진공도를 측정하여 가스의 흐름을 측정할 수 있다.
한편, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에서 배출되는 가스에 기대되는 압력인 기대값을 미리 제어부(354)에 입력하여 놓는다. 그러면, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에 연결된 전원 공급 스위치(362)를 ON한 때부터 타이머(352)가 작동된다. 측정부(340)에서 측정되는 측정 값이 기대값과 같아지게 되면 제어부(354)가 이를 인식하고 타이머(352)가 멈추게 된다(S150). 즉, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에 전원이 공급된 때부터 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)에서 가스가 정상 적으로 배출될 때까지의 시간을 측정할 수 있다. 타이머(352)에서 측정된 시간을 통해서, 피테스트용 솔레노이드 밸브(100)의 반응 시간을 알 수 있다. 이어서, 미리 작성된 측정 대조표의 값과 측정값을 비교한다(S60). 측정 대조표의 값과 측정값을 비교함에 의해서 솔레노이드 밸브(100)의 정상 여부를 판단할 수 있다.
밸브 테스트 장치를 사용하여 솔레노이드 밸브(100)를 테스트하면, 솔레노이드 밸브(100)가 정상적으로 동작하는지 여부를 명확히 판단할 수 있다. 즉, 솔레노이드 밸브(100)에 유입된 가스가 정상적으로 배출되는지 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 반도체 제조 설비에 문제가 발생한 경우, 솔레노이드 밸브(100)를 따로 제거하여 솔레노이드 밸브(100)가 불량이거나, 오동작하고 있는지 여부를 명확히 판단할 수 있다. 따라서, 불필요하게 솔레노이드 밸브(100)를 교체하지 않아도 되기 때문에, 비용이 감소될 수 있다. 또한, 빠른 시간안에 솔레노이드 밸브(100)의 오동작 여부를 판단할 수 있어 작업이 지연되지 않아, 생산성이 좋아질 수 있다.
또한, 솔레노이드 밸브(100)에 전원이 인가된 후, 솔레노이드 밸브(100)가 동작하기까지의 반응 시간을 정확히 측정할 수 있다. 따라서, 정상적으로 동작하더라도 반응 시간이 느린 솔레노이드 밸브(100)를 제거할 수 있어, 공정이 더 정확하게 진행될 수 있다.
이하, 도 3, 도 5 및 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 벤추리 밸브 테스트 방법에 대하여 설명한다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브 테스트 장치를 사용하여 벤추리 밸브를 테스트하는 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
우선, 솔레노이드 밸브 테스트 장치의 솔레노이드 밸브 장착부(320)에 정상 솔레노이드 밸브(100)를 장착한다(S210). 또한, 벤추리 밸브 장착부(330)에 피테스트용 벤추리 밸브(200)를 장착한다(S220). 이 때, 벤추리 밸브(200)는 솔레노이드 밸브 장착부(320) 및 제 2 측정부(344)와 연결된다.
이어서, 가스 공급부(310)에서 가스를 공급한다(S230). 즉, 가스 공급관(312)에 가스를 공급하고, 레귤레이터(314)에서 가스의 압력을 조절하여 일정한 압력의 가스를 공급한다. 이어서, 정상 솔레노이드 밸브(100)에 전원을 공급한다(S240). 이 때, 전원 공급부(360)에 연결된 전원 공급 스위치(362)를 ON한다. 여기서, 정상 솔레노이드 밸브(100)에 가스가 공급되고 다시 가스가 배출된다.
이어서, 정상 솔레노이드 밸브(100)에서 배출된 가스가 피테스트용 벤추리 밸브(200)를 통과하면, 제 2 측정부(344)에서 피테스트용 벤추리 밸브(200)의 진공도를 측정한다(S250). 즉, 피테스트용 벤추리 밸브(200)의 제 1관(210)을 통과하는 가스의 압력이 낮아짐에 의해 제 2관(220)의 기체가 빨려들어 가게 되고, 제 2관(220)은 진공 상테가 될 수 있다. 따라서, 제 2 측정부(344)에서는 제 2관(220)의 진공도가 측정될 수 있다.
밸브 테스트 장치를 사용하여 벤추리 밸브(200)를 테스트하면, 벤추리 밸브(200)가 정상적으로 동작하는지 여부를 명확히 판단할 수 있다. 즉, 벤추리 밸브(200)에 유입된 가스가 정상적으로 배출되는지 여부를 판단할 수 있다. 따라서, 반도체 제조 설비에 문제가 발생한 경우, 벤추리 밸브(100)를 따로 제거하여 벤추리 밸브(100)가 불량이거나, 오동작하고 있는지 여부를 명확히 판단할 수 있다. 따라 서, 불필요하게 벤추리 밸브(100)를 교체하지 않아도 되기 때문에, 비용이 감소될 수 있다. 또한, 빠른 시간안에 벤추리 밸브(100)의 오동작 여부를 판단할 수 있어 작업이 지연되지 않아, 생산성이 좋아질 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같은 로봇암 보호 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 밸브 테스트 장치로 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브를 테스트하면, 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 벨브의 오동작 여부를 간단하게 파악할 수 있어 작업의 효율이 증가하고 생산성이 좋아질 수 있다.
둘째, 밸브 테스트 장치로 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브를 테스트하면, 불필요하게 솔레노이드 밸브 또는 벤추리 밸브를 교체하는 것을 방지할 수 있어, 비용이 감소할 수 있다.
셋째, 밸브 테스트 장치로 솔레노이드 밸브를 테스트하면, 솔레노이드 밸브의 반응 시간을 알 수 있어, 공정이 더 정확하게 진행될 수 있다.

Claims (14)

  1. 가스 공급부;
    상기 가스 공급부의 일단과 연결되며 솔레노이드 밸브가 장착되는 솔레노이드 밸브 장착부;
    상기 솔레노이드 밸브 장착부와 연결되는 제 1 측정부;
    상기 제 1 측정부와 선택적으로 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 연결되며 벤추리 밸브가 장착되는 벤추리 밸브 장착부;
    상기 벤추리 밸브와 연결되는 제 2 측정부;
    상기 솔레노이드 밸브 장착부에 장착된 상기 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터 상기 제 1 또는 제 2 측정부의 측정 값이 미리 입력된 기대 값이 될 때까지의 시간을 측정하는 시간 측정부를 포함하는 밸브 테스트 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 시간 측정부는 상기 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터 시간을 카운트하는 타이머와 미리 입력된 기대 값과 비교하여 상기 제 1 또는 제 2 측정부의 측정 값이 기대 값과 같아지면 상기 타이머의 동작이 멈추도록 하는 제어부를 포함하는 밸브 테스트 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 타이머는 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 연결된 전원 공급 스위치 및 상기 제 1 및 제 2 측정부와 연결된 밸브 테스트 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 장착된 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 압력을 측정하는 압력 측정부인 밸브 테스트 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제 2 측정부는 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 장착된 정상 솔레노이드 밸브를 통과하여 상기 벤추리 밸브 장착부에 장착된 피테스트용 벤추리 밸브를 통과할 때의 진공도를 측정하는 진공도 측정부인 밸브 테스트 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 가스 공급부는 일정한 압력을 유지하여 가스를 공급하는 밸브 테스트 장치.
  7. 솔레노이드 밸브 장착부에 피테스트용 솔레노이드 밸브를 장착하는 단계;
    가스 공급부에서 상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에 가스를 공급하는 단계;
    상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 유량을 측정하는 단계; 및
    상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터 상기 측정 값이 미리 입력된 기대 값이 될 때까지의 시간을 측정하는 단계를 포함하는 솔레노이드 밸브 테스트 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터 상기 측정 값이 미리 입력된 기대 값이 될 때까지의 시간을 측정하는 단계는
    상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에 전원을 인가한 때부터의 시간을 타이머로 카운트하는 단계; 및
    상기 타이머에 카운트된 시간과 미리 입력된 기대 값이 같아지면 상기 타이머의 동작이 멈추도록 제어하는 단계를 포함하는 솔레노이드 밸드 테스트 방법.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 유량을 측정하는 단계에서는
    상기 솔레노이드 밸브 장착부에 장착된 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 압력을 측정하여 상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 유량을 측정하는 솔레노이드 밸드 테스트 방법.
  10. 제 7항에 있어서,
    가스 공급부에서 상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에 가스를 공급하는 단계에서는 일정한 압력을 유지하여 가스를 공급하는 솔레노이드 밸브 테스트 방법.
  11. 솔레노이드 밸브 장착부에 정상 솔레노이드 밸브를 장착하는 단계;
    벤추리 밸브 장착부에 피테스트용 벤추리 밸브를 장착하는 단계;
    가스 공급부에서 상기 정상 솔레노이드 밸브에 가스를 공급하는 단계; 및
    상기 정상 솔레노이드 밸브에서 배출된 가스가 상기 피테스트용 벤추리 밸브를 통과할 때의 진공도를 측정하는 단계를 포함하는 벤추리 밸브 테스트 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 가스 공급부에서 상기 솔레노이드 밸브에 가스를 공급하는 단계에서는 일정한 압력을 유지하여 가스를 공급하는 벤추리 밸브 테스트 방법.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 제2 측정부는 상기 솔레노이드 밸브 장착부에 장착된 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출된 가스가 상기 벤추리 밸브 장착부에 장착된 정상 벤추리 밸브를 통과할 때의 진공도를 측정하는 진공도 측정부인 밸브 테스트 장치.
  14. 제 7항에 있어서,
    상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 유량을 측정하는 단계에서는
    상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출된 가스가 벤추리 밸브 장착부에 장착된 정상 벤추리 밸브를 통과할 때의 진공도를 측정하여 상기 피테스트용 솔레노이드 밸브에서 배출되는 가스의 유량을 측정하는 솔레노이드 밸브 테스트 방법.
KR1020050070691A 2005-08-02 2005-08-02 밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및벤추리 밸브 테스트 방법 KR100703977B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050070691A KR100703977B1 (ko) 2005-08-02 2005-08-02 밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및벤추리 밸브 테스트 방법
US11/490,128 US7401494B2 (en) 2005-08-02 2006-07-21 Valve test apparatus and methods for testing a solenoid valve or a venturi valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050070691A KR100703977B1 (ko) 2005-08-02 2005-08-02 밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및벤추리 밸브 테스트 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070015979A KR20070015979A (ko) 2007-02-07
KR100703977B1 true KR100703977B1 (ko) 2007-04-06

Family

ID=37716407

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050070691A KR100703977B1 (ko) 2005-08-02 2005-08-02 밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및벤추리 밸브 테스트 방법

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7401494B2 (ko)
KR (1) KR100703977B1 (ko)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7509831B2 (en) * 2007-05-25 2009-03-31 Alcon, Inc. Method for determining a pressure that corresponds to a flow rate through a check valve
KR101034572B1 (ko) * 2010-10-19 2011-05-12 고동원 자동변속기용 솔레노이드 밸브 테스트/세척 장치 및 방법
KR101308483B1 (ko) * 2012-05-03 2013-09-25 한국기계연구원 3 ｗａｙ 솔레노이드밸브 성능 시험장치
KR101381461B1 (ko) * 2013-02-19 2014-04-17 공주대학교 산학협력단 압축기용 전자제어밸브 기동압력 측정장치
KR101389601B1 (ko) * 2013-02-20 2014-04-29 공주대학교 산학협력단 압축기용 전자제어밸브 성능시험장치
US10508964B2 (en) 2013-03-14 2019-12-17 Eaton Intelligent Power Limited Solenoid valve assembly with pilot pressure control
CN104236870A (zh) * 2013-06-06 2014-12-24 纬创资通股份有限公司 真空电磁阀检测装置及检测真空电磁阀的方法
CN106482890B (zh) * 2015-08-27 2018-12-14 北京环鼎科技有限责任公司 一种间接测量仪器在流体中所受推力的试验方法
US10663371B2 (en) * 2017-01-13 2020-05-26 Climax Portable Machine Tools, Inc. Pressure testing systems with safety interlock
CN110632424B (zh) * 2019-09-27 2022-01-25 天长市曙光电子有限公司 一种电磁阀及电磁阀线圈用便携式检测设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05118959A (ja) * 1991-03-11 1993-05-14 Siemens Ag 弁の試験方法と装置
KR970048034A (ko) * 1995-12-30 1997-07-29 전성원 밸브 성능 테스트 장치
JP2003076427A (ja) 2001-08-31 2003-03-14 Aisin Aw Co Ltd 比例電磁制御弁の圧力調整方法及びその装置
JP2003270076A (ja) 2002-03-15 2003-09-25 Kitz Corp バルブの試験・検査方法とその装置
JP2004125809A (ja) 2004-01-08 2004-04-22 Nabco Ltd 電磁弁試験装置

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3131558A (en) * 1960-08-22 1964-05-05 Ohio Brass Co Valve testing and fixture therefor
US4432227A (en) * 1980-05-02 1984-02-21 Dunn Emmett L Valve testing apparatus
GB2117095B (en) * 1982-03-25 1985-07-10 Crosby Valve & Eng Co Test stand for a valve
US4587836A (en) * 1984-10-02 1986-05-13 Crosby Valve & Engineering Company Limited Test stand for a valve
US4766765A (en) * 1986-11-13 1988-08-30 Westinghouse Electric Corp. Multiphase valve testing
US4893494A (en) * 1988-03-31 1990-01-16 Management Services International, Inc. Method and system for testing safety relief valves
US5020564A (en) * 1989-06-29 1991-06-04 Allied-Signal Inc. Doser system for regulating pressure in a control chamber of a test stand
SU1742665A1 (ru) * 1990-03-29 1992-06-23 Челябинский Политехнический Институт Им.Ленинского Комсомола Установка дл испытаний промышленного трактора
US5048329A (en) * 1990-08-27 1991-09-17 Commonwealth Edison Company Hydraulic valve test device
US5113705A (en) * 1990-12-21 1992-05-19 Siemens Automotive L.P. Functional testing of solenoid valves in air
DE4337521A1 (de) * 1993-11-03 1995-05-04 Teves Gmbh Alfred Verfahren zur Funktionsprüfung eines hydraulischen Aggregats
US5454273A (en) * 1994-02-09 1995-10-03 Westinghouse Electric Corporation Motor operated valve actuator diagnostic system and test stand
KR19980017531A (ko) 1996-08-30 1998-06-05 김광호 솔레노이드 밸브 자기 진단 장치
FR2755226B1 (fr) * 1996-10-30 1999-03-26 Technicatome Procede et dispositif de mesure du deplacement rectiligne d'une piece et application aux soupapes de moteur a explosion
JPH11111684A (ja) 1997-10-01 1999-04-23 Hitachi Ltd ガス流量低下警報装置
US6038918A (en) * 1997-12-22 2000-03-21 William T. Newton Instrument for testing automatic transmission fluid control devices
GB2360078A (en) * 2000-01-21 2001-09-12 Wren Engineering Ltd Apparatus for testing solenoid valves
KR100481182B1 (ko) 2002-11-14 2005-04-07 삼성전자주식회사 인터록 장치를 구비한 반도체 제조설비용 가스공급장치 및그 인터록 방법
KR20040051671A (ko) 2002-12-11 2004-06-19 삼성전자주식회사 반도체 제조설비의 솔레노이드 오동작 감지장치 및 그 방법
DE10312087A1 (de) * 2003-03-19 2004-10-07 Daimlerchrysler Ag Verfahren zur Funktionsprüfung eines Hydraulikventils und Prüfstand zur Durchführung des Verfahrens
DE10336970B3 (de) * 2003-08-12 2004-12-09 Dr.Ing.H.C. F. Porsche Ag Prüfstand zur Simulation der Auslassströmung eines Verbrennungsmotors
US7076997B2 (en) * 2004-05-12 2006-07-18 Honda Motor Co., Ltd. Apparatus for testing automatic transmission solenoid valves
US7210338B2 (en) * 2005-07-29 2007-05-01 Honda Motor Co., Ltd. Valve testing device having integrated purge circuit and method of valve testing

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05118959A (ja) * 1991-03-11 1993-05-14 Siemens Ag 弁の試験方法と装置
KR970048034A (ko) * 1995-12-30 1997-07-29 전성원 밸브 성능 테스트 장치
JP2003076427A (ja) 2001-08-31 2003-03-14 Aisin Aw Co Ltd 比例電磁制御弁の圧力調整方法及びその装置
JP2003270076A (ja) 2002-03-15 2003-09-25 Kitz Corp バルブの試験・検査方法とその装置
JP2004125809A (ja) 2004-01-08 2004-04-22 Nabco Ltd 電磁弁試験装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070015979A (ko) 2007-02-07
US20070028665A1 (en) 2007-02-08
US7401494B2 (en) 2008-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100703977B1 (ko) 밸브 테스트 장치와 솔레노이드 밸브 테스트 방법 및벤추리 밸브 테스트 방법
KR101887364B1 (ko) 압력식 유량 제어 장치 및 그 유량 제어 개시 시의 오버슈트 방지 방법
TWI534577B (zh) 壓力式流量控制裝置
US20060124173A1 (en) Mass flow controller
KR101048332B1 (ko) 천연가스 정압설비 및 그 운영방법
KR20140136024A (ko) 자가 확증형 질량 유량 제어기 및 질량 유량계를 제공하는 시스템 및 방법
US20220208562A1 (en) Pressure adjustment apparatus for controlling pressure in chamber and substrate processing apparatus including the same
CN107965496A (zh) 当测试电磁阀时稳定阀定位器的方法和装置
TWI559011B (zh) 用於測試電子器件的設備和方法
US10388553B2 (en) Substrate processing system
JP3866025B2 (ja) 吸着搬送装置およびそれに用いる流路切換ユニット
CN206638408U (zh) 一种无阀杆弹簧式安全阀在线校验装置
KR20200020572A (ko) 퍼지 처리 장치 및 퍼지 처리 방법
KR102179857B1 (ko) 질량유량계
CN210423900U (zh) 真空大容量电控比例阀
JP2015063781A (ja) エアジェット織機におけるエア漏れ検知方法
US3439697A (en) Vent value
JP3924609B2 (ja) 真空切換弁装置
KR102622865B1 (ko) 밸브 작동 검사 장치
US20040025790A1 (en) Apparatus for supplying cooling gas in semiconductor device manufacturing equipment
KR100969606B1 (ko) 케미컬 공급 장치 및 방법
JP2000074254A (ja) 純水・薬液供給用空気圧シリンダ操作弁の制御装置及び制御方法
CN220821484U (zh) 一种真空系统及机台
TWI701436B (zh) 具防結露偵控單元之測試裝置及其應用之測試分類設備
KR20040051671A (ko) 반도체 제조설비의 솔레노이드 오동작 감지장치 및 그 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130228

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140228

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150302

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170228

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180228

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190228

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200228

Year of fee payment: 14