KR102622865B1 - 밸브 작동 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 밸브 작동 검사 장치에 관한 것으로, 검사밸브가 설치될 수 있는 배치부를 구비한 베이스, 상기 검사밸브와 연결될 수 있고 상기 검사밸브의 작동을 위해 공기를 공급 또는 차단할 수 있는 구동부, 상기 배치부에 배치되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있는 센서부 및 상기 구동부, 센서부와 연결되어 공기의 공급 또는 차단, 검사밸브의 작동 감지신호를 제어부에서 컨트롤하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 그래프화는 모니터링부 포함한다.

Description

밸브 작동 검사 장치{Inspection apparatus with valve operating}

본 발명은 밸브 작동 검사 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 시 수소, 질소, 이산화탄소, 암모니아 등 표준가스와, 실란, 포스핀, 디보란 등의 특수가스, 불화탄소 등의 에칭가스 등 여러 공정가스들이 사용된다. 공정가스들은 공급라인을 통해 공정 챔버로 공급되어 화학기상증착, 에피택셜, 이온주입, 플라즈마 드라이에칭 및 열처리 등의 여러 공정들에 사용된다.

공급라인에는 공정가스의 공급을 제어하기 위한 밸브가 장착되어 있다. 밸브의 작동으로 공정가스가 설정된 정량으로 공정 챔버에 공급된다. 여기서 밸브가 정확히 작동하지 않아 공정가스가 공정 챔버에 설정된 정량으로 공급되지 않으면 공정 불량이 발생하게 되었다.

이에, 주입구와 배출구를 갖는 점검용 공급라인에 밸브를 결합한 후 밸브를 작동시키고 주입구로 공정가스를 주입하여 배출구로 공정가스가 배출되는지를 촉감으로 확인하였다. 이에 공정가스가 밸브를 통과하는지 여부만을 확인하는 수준이었으며, 밸브의 정상 작동 여부를 정확히 판단하기에 어려웠다.

대한민국 등록특허 제10-0814111호 (2008.03.10.) 대한민국 등록특허 제10-0922633호 (2009.10.13.)

본 발명은 밸브의 열리고 닫힘 정도를 센서부로 측정하여 밸브의 작동 상태를 정밀하게 검사할 수 있는 기술을 제공한다.

본 발명의 한 실시예에 따른 밸브 작동 검사 장치는 검사밸브가 설치될 수 있는 배치부를 구비한 베이스, 상기 검사밸브와 연결될 수 있고 상기 검사밸브의 작동을 위해 공기를 공급 또는 차단할 수 있는 구동부, 상기 배치부에 배치되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있는 센서부 및 상기 구동부, 센서부와 연결되어 공기의 공급 또는 차단, 검사밸브의 작동 감지신호를 제어부에서 컨트롤하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 그래프화는 모니터링부 포함한다.

상기 구동부는, 공기 압축기(Air compressor), 상기 공기 압축기와 상기 검사밸브를 연결하고 공기가 유동할 수 있는 공기배관, 상기 공기배관에 배치되어 있고 공기의 유동 압력을 조절하는 압력 조절부 및 상기 압력 조절부와 상기 검사밸브의 사이에 위치하여 상기 공기배관에 배치되어 있고 공급되는 공기의 유동을 제어하는 공기 제어부를 포함할 수 있다.

상기 공기 제어부의 작동으로 상기 공기가 상기 검사밸브에 공급되면 상기 검사밸브는 작동하여 상기 센서부와 접촉하고, 상기 모니터링부는 상기 검사밸브와 상기 센서부의 접촉 시간과 상기 공기가 상기 검사밸브에 공급되도록 상기 공기 제어부가 작동하는 시간을 비교하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 판단할 수 있다.

상기 밸브 작동 검사 장치는 상기 배치부에 결합되어 상기 검사밸브가 결합되고 상기 센서부가 연결되어 있는 장착지그를 더 포함할 수 있다.

상기 배치부를 이루는 상기 베이스의 부분에는 상기 장착지그를 관통한 체결수단이 체결되는 복수의 체결홀과, 상기 장착지그와 연결된 상기 센서부의 일부분이 통과하는 센서관통홀이 형성될 수 있다.

상기 배치부는 상기 검사밸브가 놓일 수 있고 제1 방향으로 직선 이동할 수 있는 안착부, 상기 안착부와 연결되어 직선 이동시킬 수 있는 위치 조절부, 상기 안착부와 마주하며 상기 장착지그가 상하 방향으로 이동 가능하게 배치된 거치대 및 상기 안착부와 이웃하여 상기 검사밸브를 상기 안착부에 고정하는 클램프를 포함할 수 있다.

상기 안착부는, 상기 베이스에 배치된 바닥 플레이트, 상기 바닥 플레이트와 직선 이동 가능하게 결합되어 있고 안착홈이 형성된 안착몸체 및 상기 바닥 플레이트와 상기 안착몸체 사이에 형성된 가이드부를 포함할 수 있다.

상기 위치 조절부는 일단이 상기 바닥 플레이트와 결합되어 있고 타단이 상기 안착몸체와 결합될 수 있다.

상기 안착부는 상기 안착몸체에서 안착홈으로 돌출되어 안착되는 상기 검사밸브의 위치를 설정하는 밸브 스토퍼를 더 포함할 수 있다.

상기 안착부는 상기 바닥 플레이트에 결합되어 상기 안착몸체의 이동 범위를 한정하는 위치 스토퍼를 더 포함할 수 있다.

상기 클램프는 상기 바닥 플레이트에서 돌출되어 있는 서포트, 일단이 상기 서포트와 힌지 연결되어 있고 타단이 상기 안착홈의 검사밸브와 마주할 수 있는 작동바, 상기 작동바의 타단에서 길이 방향을 따라 직선 이동과 상기 길이 방향과 수직한 방향으로 승강 가능하게 배치되어 있고 상기 검사밸브를 누를 수 있는 누름대 및 상기 서포트와 힌지 연결되어 상기 작동와 연결된 레버를 포함할 수 있다.

상기 밸브 작동 검사 장치는 상기 배치부에 결합되어 상기 센서부가 연결되어 있는 장착지그, 그리고 상기 장착지그에 배치되어 상기 검사밸브와 연결될 수 있으며 공정가스가 유동할 수 있는 공급배관을 더 포함할 수 있다.

상기 센서부는 상기 장착지그에서 상기 공급배관을 통해 상기 검사밸브와 연결되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 배치부에 다양한 모델의 검사밸브를 배치할 수 있어 범용성이 향상되며 센서부를 통해 검사밸브의 작동 이상 유무를 체크하므로 검사밸브의 검사가 정밀하게 이루어지는 효과가 있다.

본 발명의 실시예에 따르면 제1 배치부에서는 검사밸브를 세워서 검사할 수 있고 제2 배치부에서는 검사밸브를 눕혀서 검사할 수 있다. 이에 검사밸브의 모델에 따라 설치 고정할 수 있는 다양성의 효과가 있다.

본 발명의 실시예에 따르면 검사밸브의 모델에 따라 거치대에서 장착지그의 상하 위치를 조절할 수 있고, 거치대와 마주하고 검사밸브가 놓이는 안착부를 위치 조절부로 거치대 방향으로 이동시킬 수 있다. 이에 안착부의 검사밸브와 센서부를 정확히 일치시킬 수 시킬 수 있어 검사밸브의 검사 정밀성이 향상되는 효과가 있다.

본 발명의 실시예에 따르면 검사밸브와 장착지그 사이에 공정가스가 유동하는 공급배관이 설치되고, 검사밸브의 작동 검사를 진행하므로 공정가스의 공급과 차단의 이상 유무를 즉시 확인할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 밸브 작동 검사 장치를 나타낸 개략도.
도 2는 도 1의 베이스 일부분 확대도.
도 3은 도 2의 제1 배치부에 배치된 고정지그에 검사밸브와 센서부가 결합된 상태를 나타낸 단면도.
도 4는 도 2의 제2 배치부를 나타낸 확대도.
도 5는 도 4의 거치부를 나타낸 확대도.
도 6은 도 4의 안착부를 나타낸 분해도.
도 7은 도 4의 안착부를 타측에서 도시하여 위치 스토퍼를 나타낸 사시도.
도 8은 도 4의 클램프를 나타낸 확대도.
도 9는 도 3의 고정지그에 공정가스 공급배관이 결합된 상태를 나타낸 개략도.
도 10은 도 1의 밸브 작동 검사 장치를 통해 검사된 검사밸브의 변위 값을 나타낸 그래프.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.

그러면 본 발명의 한 실시예에 따른 밸브 작동 검사 장치에 대하여 도 1 내지 도 8을 참고하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 밸브 작동 검사 장치를 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 베이스 일부분 확대도이며, 도 3은 도 2의 제1 배치부에 배치된 고정지그에 검사밸브와 센서부가 결합된 상태를 나타낸 단면도이고, 도 4는 도 2의 제2 배치부를 나타낸 확대도이며, 도 5는 도 4의 거치부를 나타낸 확대도이고, 도 6은 도 4의 안착부를 나타낸 확대도이며, 도 7은 도 5의 분해 사시도이고, 도 8은 도 4의 클램프를 나타낸 확대도이다.

먼저, 도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 밸브 작동 검사 장치(100)는 검사밸브(1)가 설치되는 배치부(50, 60)를 구비한 베이스(10), 센서부(40), 구동부(70) 및 모니터링부(도시하지 않음)를 포함하며 밸브의 열리고 닫힘 정도를 센서부(40)로 측정하여 밸브의 작동 상태를 정밀하게 검사한다. 밸브 작동 검사 장치(100)는 장착지그(30)를 더 포함할 수 있다. 여기서 센서부(40)는 접촉 센서일 수 있다. 그러나 센서부(40)는 레이저 센서일 수도 있다. 센서부의 종류는 밸브 작동 검사 장치(100)의 설계에 따라 달라질 수 있다.

베이스(10)는 수직 프레임과 수평 프레임이 복합적으로 결합되어 형성된 베이스 골조부(11)와 베이스 골조부(11)의 상면에 배치된 평판부(12)를 포함한다.

평판부(12)는 플레이트로 이루어져 있으며 밸브 작동 검사 장치(100)에서 테이블 역할을 할 수 있다. 이에 평판부(12)에는 검사밸브를 검사하기 위한 구성요소들이 배치될 수 있다. 평판부(12)에는 구성요소들을 고정하기 위한 설치홀(12a)이 형성되어 있다. 설치홀(12a)에는 나사가 형성되어 있다. 그러나 설치홀(12a)은 통공일 수 있다. 설치홀(12a)은 제1 방향(X)과 제2 방향(Y)으로 등간격으로 떨어져 복수 형성되어 있다.

베이스(10)의 후방에는 상부 방향으로 수직하게 설치벽(20)이 배치되어 있다. 골조부와 평판부로 이루어져 있다. 설치벽(20)의 내부에는 설치공간(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 설치공간에는 밸브 작동 검사 장치(100)를 제어하기 위한 프로그램이 설계된 회로부, 전원부 따위가 배치될 수 있다. 베이스(10)와 수직한 설치벽(20)의 벽면에는 설치홀(20a)들이 형성되어 있다. 벽면에는 회로부와 연결된 전원 스위치, 작동 스위치 따위가 배치될 수 있다.

도 2를 참고하면, 베이스(10)에 형성된 제1 배치부(50)에는 검사밸브(1)가 결합되는 장착지그(30)가 배치되어 있다. 제1 배치부(50)는 장착지그(30)를 관통한 체결수단(도시하지 않음)이 체결되는 지그체결홀(51)과 이웃한 지그체결홀(51)의 사이 부분에 형성된 센서관통홀(52)이 형성되어 있다. 제1 배치부(50)는 평판부(12)에서 간격을 두고 복수 형성되어 있다. 이에 베이스(10)에는 검사밸브(1)를 복수 설치하여 점검할 수 있다.

한편, 제1 배치부(50)와 이웃하게 제2 배치부(60)가 배치되어 있다. 여기서 제1 배치부(50)는 검사밸브(1)를 세로 방향으로 배치하여 점검할 수 있고, 제2 배치부(60)는 검사밸브(1)를 가로 방향으로 배치하여 점검할 수 있다. 이에 검사밸브(1)는 모델에 따라 제1 배치부(50) 또는 제2 배치부(60)에 선택적으로 배치될 수 있다.

도 3을 참고하면, 장착지그(30)는 평판부(12)와 접하여 체결수단이 관통하는 지그고정부(31), 그리고 지그고정부(31)에서 돌출되어 있으며 검사밸브(1)와 나사 결합되는 밸브결합부(32)로 이루어져 있다. 장착지그(30)의 중앙에는 상하 관통된 센서홀(30a)이 형성되어 있다. 지그고정부(31)에는 센서홀(30a)로 체결되는 무두볼트 따위의 체결수단이 체결되어 있다.

센서부(40)는 회로부가 내부에 비치된 바디(41), 그리고 바디(41)에서 돌출된 접점부(42)를 포함한다. 센서부(40)는 장착지그(30)의 하부에 위치하며 접점부(42)는 지그고정부(31)에서 센서홀(30a)로 삽입되어 밸브결합부(32)의 외부로 노출되어 있다. 접점부(42)는 무두볼트에 의해 가압되어 장착지그(30)에 고정된다.

이와 같이 센서부(40)가 결합된 장착지그(30)는 검사밸브(1)의 모델에 따라 제1 배치부(50) 또는 제2 배치부(60)에 배치될 수 있다. 여기서 장착지그(30)가 제1 배치부(50)에 배치되면 센서부(40)의 바디(41)는 센서관통홀(52)을 통해 일부분이 평판부(12) 하부로 노출될 수 있다.

도 4 내지 도 8을 참고하여 제2 배치부(60)에 대해 설명한다.

제2 배치부(60)는 거치대(61), 안착부(62), 위치 조절부(66) 및 클램프(68)를 포함한다.

거치대(61)는 평판부(12)의 일측에서 상부로 수직하게 배치되어 체결홀에 체결되는 체결수단을 통해 평판부(12)에 고정되어 있다. 거치대(61)에는 상하 방향으로 센서관통홀(61a)과 장착지그(30)가 결합되는 조절장홀(61b)이 형성되어 있다. 장착지그(30)는 센서부(40)가 결합된 상태에서 조절장홀(61b)의 범위 내에서 상하 방향으로 위치조절될 수 있다. 장착지그(30)의 위치는 안착부(62)에 안착되는 검사밸브(1)의 모델에 따라 달라질 수 있다.

안착부(62)는 바닥 플레이트(621), 안착몸체(622) 및 가이드레일(624a)을 포함하며 검사밸브(1)가 놓일 수 있고, 검사밸브(1)의 모델에 따라 제1 방향으로 직선 이동하여 위치 조절될 수 있다. 안착부(62)는 밸브 스토퍼(623), 그리고 위치 스토퍼(625)를 더 포함할 수 있다.

바닥 플레이트(621)는 거치대(61)와 이웃하여 평판부(12)에 배치되어 있으며 제1 방향(X)(바닥 플레이트의 폭 방향)을 따라 장홀(621a)이 형성되어 있다. 체결수단은 장홀(621a)을 관통하여 평판부(12)의 체결홀에 체결되어 있다. 바닥 플레이트(621)는 검사밸브(1)의 모델에 따라 장홀(621a) 범위 내에서 위치 조절될 수 있다.

바닥 플레이트(621)의 상면 일측에는 가이드레일(624a)이 돌출되어 있다. 가이드레일(624a)은 바닥 플레이트(621)에서 제1 방향(X)을 따라 형성되어 제2 방향(Y)을 따라 간격을 두고 배열되어 있다.

안착몸체(622)는 바닥 플레이트(621)의 상면에 배치되어 있다. 안착몸체(622)의 하면에는 제1 방향(X)을 따라 가이드홈(624b)이 형성되어 제2 방향(Y)을 따라 간격을 두고 배열되어 있다. 안착몸체(622)는 바닥 플레이트(621)에 안착되며 가이드레일(624a)과 가이드홈(624b)은 서로 맞물린다. 안착몸체(622)는 가이드레일(624a)과 가이드홈(624b)의 가이드로 제1 방향(X)을 따라 움직일 수 있다.

도면 도 6에서 도면부호 '624'은 가이드레일(624a)과 가이드홈(624b)을 포함하는 가이드부를 나타낸 것이다.

안착몸체(622)의 상면에는 검사밸브(1)가 눕혀져 배치되는 안착홈(622a)이 형성되어 있다. 안착홈(622a)을 이루는 둘레는 경사면으로 형성되어 있다. 안착홈(622a)의 검사밸브(1) 중심은 거치대(61)에 장착지그(30)를 통해 거치된 센서부(40)의 접점부(42) 중심과 일치한다. 이때 중심이 일치하지 않으면 장착지그(30)는 조절장홀(61b)의 범위 내에서 상하 방향으로 위치 조절하여 일치시킬 수 있다.

안착몸체(622)의 일단에는 안착홈(622a)으로 돌출된 밸브 스토퍼(623)가 형성되어 있다. 안착홈(622a)의 검사밸브(1)는 밸브 스토퍼(623)와 접하여 안착홈(622a)에서 거치대(61)의 방향으로 돌출되지 않는다. 밸브 스토퍼(623)에는 센서부(40)의 접점부(42)가 관통하는 절개홀(623a)이 형성되어 있다.

위치 조절부(66)는 압축공기를 작동유체로 사용하는 액추에이터(actuator)를 포함한다. 위치 조절부(66)는 바닥 플레이트(621)에서 제1 방향(X)을 따라 배치되어 있다. 위치 조절부(66)의 하우징(661)은 바닥 플레이트(621)의 일측에 결합되어 있으며, 하우징(661)에서 인출될 수 있는 로드(662)는 안착몸체(622)와 연결되어 있다. 이에 로드(662)가 하우징(661)에서 인출되면 안착몸체(622)는 제1 방향(X)으로 직선 이동하여 거치대(61)와 가까워지거나 멀어질 수 있고 검사밸브(1)는 접점부(42)와 연결될 수 있다.

위치 스토퍼(625)는 바닥 플레이트(621)의 타측에 배치되어 있는 스토퍼 몸체(625a), 그리고 안착몸체(622)와 결합된 가이드링(625b)을 포함한다.

가이드링(625b)은 안착몸체(622)의 타측과 간격을 두고 떨어져 있으며 제1 방향(X)을 따라 배치되어 안착몸체(622)와 연결되어 있다. 가이드링(625b)에는 길이 방향을 따라 장홀이 형성되어 있다.

스토퍼 몸체(625a)는 바닥 플레이트(621)에 결합되어 일부분이 가이드링(625b)의 장홀을 관통하고 있다. 위치 조절부(66) 작동 시 안착몸체(622)는 가이드링(625b)이 스토퍼 몸체(625a)에 걸리면서 가이드링(625b)의 장홀 범위 내에서 이동 범위가 한정될 수 있다.

클램프(68)는 서포트(681), 작동바(682), 누름대(684) 및 레버(686)를 포함하며 안착부(62)와 이웃하여 안착홈(622a)에 위치한 검사밸브(1)를 눌러 고정한다.

서포트(681)는 바닥 플레이트(621)의 상면 타측에서 상부로 수직하게 돌출되어 있으며 안착몸체(622)와 떨어져 있다.

작동바(682)는 일단이 서포트(681)의 상단과 힌지 연결되어 움직일 수 있다. 작동바(682)의 타단은 안착몸체(622)의 상부로 돌출되어 있다. 작동바(682)에는 슬라이드홀(682a)이 형성되어 있다. 슬라이드홀(682a)은 작동바(682)의 길이 방향(제2 방향(Y)을 따라 기설정된 길이로 형성되어 있다.

작동바(682)에는 이동블록(683)이 결합되어 있다. 이동블록(683)은 작동바(682)의 상면과 접하는 상블록과 작동바(682)의 하면과 접하는 하블록 및 상블록과 하블록을 결합하는 결합수단으로 이루어져 있다. 결합수단이 가 체결될 상태에서 이동블록(683)은 작동바(682)의 길이 방향을 따라 슬라이드 이동할 수 있다. 결합수단의 완전한 체결로 이동블록(683)은 작동바(682)에 결합되어 움직이지 않을 수 있다. 이동블록(683)은 작동바(682)에서 안착몸체(622)와 동일선상에 위치한다.

누름대(684)는 볼트를 포함하며 이동블록(683)의 상블록, 슬라이드홀(682a) 및 상블록을 관통하고 있다. 상블록과 하블록에는 누름대를 고정하기 위치한 너트가 배치되어 있다. 누름대(684)는 상하 방향(Z)으로 이동할 수 있다.

누름대(684)의 하단에는 안착홈(622a)의 검사밸브(1)와 접촉할 수 있는 완충부재(685)가 결합되어 있다. 누름대(684)가 하강할수록 완충부재(685)는 검사밸브(1)를 안착홈(622a)의 둘레로 가압하여 고정한다.

레버(686)는 하단이 서포트(681)와 힌지 연결되어 있고 중앙 부분이 작동바(682)와 힌지 연결되어 있다. 레버(686)의 작동으로 누름대(684)는 힌지를 기준으로 회전할 수 있으며 이때 작동바(682)의 타단은 안착몸체(622)와 가까워지거나 멀어질 수 있다..

다시 도 1을 참고하여 구동부(70)에 대해 설명한다.

구동부(70)는 공기 압축기(71), 공기배관(72), 압력 조절부(73) 및 공기 제어부(74)를 포함하며 검사밸브(1)와 연결되어 검사밸브(1)의 스템을 작동시킬 수 있다.

공기 압축기(71)는 베이스(10)로부터 떨어져 배치되어 있으며 압축공기를 발생시켜 공기배관(72)으로 제1 배치부(50) 또는 제2 배치부(60)에 배치된 검사밸브(1)와 연결될 수 있다. 압력 조절부(73)는 설치벽(20)에 배치되어 공기배관(72)과 결합되어 있다. 압력 조절부(73)는 공기 압축기(71)에서 공급된 공기의 압력을 조절한다. 압력 조절부(73)의 압력 조절은 검사밸브(1)의 모델에 따라 달라질 수 있다.

공기 제어부(74)는 솔레노이드 밸브를 포함한다. 솔레이노드 밸브는 복수 배치되어 있다. 솔레이노이드 밸브는 공기배관(72)들을 통해 복수의 검사밸브(1)와 연결될 수 있다. 이에 복수의 검사밸브(1)를 동시에 검사할 수 있다.

공기 제어부(74)는 압력 조절부(73)와 검사밸브(1) 사이에 위치하여 공기배관(72)과 결합되어 있다. 공기 제어부(74)는 솔레이드 밸브 작동으로 압력 조절부(73)를 통과한 공기를 검사밸브(1)에 공급 또는 차단한다. 공기공급 및 공기차단 시간은 공정가스의 공급 또는 차단 시간에 따라 달리 설정할 수 있다.

한편, 공기 제어부(74)와 검사밸브(1)의 사이에는 압력 게이지(741)가 배치되어 있다. 압력 게이지(741)는 공기 제어부(74)의 작동으로 검사밸브(1)로 공급되는 공기의 압력을 측정할 수 있다.

모니터링부는 센서부(40) 및 압력 게이지(741)와 연결된 제어부와 연결되어 있다. 제어부는 공기의 공급 또는 차단, 검사밸브의 작동 감지신호를 전달받아 컨트롤하여 검사밸브의 작동 이상 유무를 모니터링부에서 그래프 형태로 표시한다.

컴퓨터일 수 있다. 모니터링부는 압력 게이지(741)에서 측정된 압력 변위값으로 공기 제어부(74)의 작동 상태를 판단할 수 있다. 여기서 압력 변위값은 공기의 공급 또는 차단에 따라 달라질 수 있다. 모니터링부는 압력 게이지(741)에서 측정된 압력 변위값과 센서부(40)의 검사밸브(1) 센싱 신호를 받아 그래프로 표시할 수 있다.

다음은 도 1 내지 도 8을 다시 참고하여 위에서 설명한 밸브 검사 장치의 작용에 대하여 설명한다.

검사밸브(1)의 모델에 따라 검사밸브(1)는 제1 배치부(50) 또는 제2 배치부(60)에 배치한다.

검사밸브(1)를 제1 배치부(50)에 배치하는 경우 센서부(40)가 결합된 장착지그(30)를 평판부(12)에 고정하며 검사밸브(1)를 장착지그(30)와 결합한다.

검사밸브(1)를 제2 배치부(60)에 배치하는 경우 작동바(682)의 타측이 들린 상태에서 안착홈(622a)에 검사밸브(1)를 배치한다. 이때 검사밸브(1)의 선단을 밸브 스토퍼(623)에 밀착시킨다.

검사밸브(1)의 중심과 거치대(61)에 배치된 장착지그(30)와 결합된 센서부(40)의 접점부(42) 중심이 일치하도록 장착지그(30)의 위치를 거치대(61)의 상하 방향을 따라 조절한다. 중심이 일치된 상태에서 센서부(40)의 접점부(42)와 검사밸브(1)가 결합되도록 위치 조절부(66)를 작동시켜 안착몸체(622)를 거치대(61)의 방향으로 이동시킨다.

검사밸브(1)와 접점부(42)가 결합된 상태에서 레버(686)를 조작하여 작동바(682)의 들린 타측을 하강시켜 누름대(684)의 완충부재(685)가 안착홈(622a)의 검사밸브(1)와 접하도록 한다. 이때 완충부재(685)와 검사밸브(1)가 일치하지 않으면 이동블록(683)을 이동시켜 위치를 조절한다. 그리고 누름대(684)를 하강시켜 완충부재(685)가 검사밸브(1)에 밀착되도록 하여 검사밸브(1)를 안착몸체(622)에 고정한다.

검사밸브(1)가 배치부(50, 60)에 고정되면 공기배관(72)을 검사밸브(1)와 결합한다. 검사밸브(1)의 모델에 따라 압력 조절부(73)를 조절하여 검사밸브(1)로 공급되는 공기 압력을 설정한다. 공기 압축기(71)의 작동으로 발생한 공기는 압력 조절부(73), 공기 제어부(74) 및 압력 게이지(741)를 경유하여 검사밸브(1)에 공급되며 이때 검사밸브(1)의 스템(1a)은 작동하여 센서부(40)의 접점부(42)에 접촉할 수 있다. 이때 스템(1a)은 공기 제어부(74)의 작동 설정 시간에 따라 접촉 상태를 유지할 수 있다. 그러나 검사밸브(1)의 모델에 따라 스템은 접점부(42)와 접촉한 상태에서 떨어질 수 있다.

이때 제어부는 센서부(40) 및 압력 게이지(741)로부터 신호를 받아 압력 게이지(741)에서 측정된 압력값과 센서부(40)의 변화값을 설정된 시간 단위로 컨트롤하여 모니터링부를 통해 도면 도 10에서 도시한 바와 같이 그래프로 표시한다. 여기서 파란선은 공기 제어부(74)의 작동으로 공기가 공급되는 시간을 나타낸 것이다. 빨강선은 공기 공급으로 스템이 접점부와 접촉한 검사밸브(1)의 변위값을 나타낸 것으로, 빨강선에서 하향선은 공기 제어부(74)의 제어로 공기가 검사밸브(1)로 공급되어 스템이 접점부(42)와 접촉되는 상태를 나타낸 것이며, 상향선은 공기 제어부(74)의 제어로 공기가 차단되어 스템이 접점부(42)로부터 떨어지는 상태를 나타낸 것이다.

이에 공기 제어부(74)가 열려 공기가 공급되는 변위값과 스템(1a)이 접점부(42)와 접촉한 변위값이 일치하면 검사밸브(1)는 정상 상태이며, 공기가 공급되는 변위값과 스템이 접점부와 접촉하는 변위값이 불일치하면 스템이 작동하지 않은 것으로 검사밸브(1)는 불량 상태이다.

본 실시예에 따르면, 배치부에 다양한 모델의 검사밸브를 배치할 수 있어 범용성이 향상되며 센서부를 통해 검사밸브의 작동 이상 유무를 체크하므로 검사밸브의 검사가 정밀하게 이루어지는 효과가 있다.

본 발명의 다른 실시예는, 도 1 내지 도 8을 참고하여 설명한 실시예의 구성 요소를 대부분 가진다. 다만 본 실시예는 공급배관(80)을 더 포함할 수 있다.

공급배관(80)은 반도체 제조 설비 라인으로써 공정가스가 유동하는 유로(80a)가 형성되어 있다. 공급배관(80)에는 검사밸브(1)를 장착하기 위한 밸브결합부(81)가 형성되어 있으며 이와 대향하는 위치에는 센서부(40)가 배치된 장착지그(30)와 결합되는 지그결합부(82)가 형성되어 있다. 밸브결합부(81)에는 센서부(40)의 접점부(42)가 위치하고 유로(80a)와 연결된 스템홀(81a)이 형성되어 있으며 지그결합부(82)에는 센서부(30)의 접점부(1a)가 유로(80a)와 연결된 센서홀(82a)이 형성되어 있다.

공급배관(80)으로 공정가스를 공급하고 검사밸브(1)로 공기배관(72)을 통해 공기를 공급하여 스템(1a)을 작동시킨다. 스템(1a)의 접점부(42)의 단부와 접촉하면서 공정가스의 흐름을 차단할 수 있다. 이때 모니터링부는 공기가 공급되는 변위값과 스템(1a)이 접점부(42)와 접촉한 변위값을 측정하여 그래프로 표시한다. 이에 검사밸브의 작동 검사를 진행하므로 공정가스의 공급과 차단의 이상 유무를 즉시 확인할 수 있다.

도 1 내지 도 8에 도시한 실시예에서 살펴본 많은 특징들이 본 실시예에 적용될 수 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

1: 검사밸브 1a: 스템
100: 밸브 작동 검사 장치
10: 베이스 11: 골조부
12: 평판부 12a, 20a: 설치홀
20: 설치벽 30: 장착지그
30a, 82a: 센서홀 31: 지그고정부
32, 81: 밸브결합부 40: 센서부
41: 바디 42: 접점부
50: 제1 배치부 51: 지그체결홀
52, 61a: 센서관통홀 60: 제2 배치부
61: 거치대 61b: 조절장홀
62: 안착부 621: 바닥 플레이트
621a: 장홀 622: 안착몸체
622a: 안착홈 623: 밸브 스토퍼
623a: 절개홀 624: 가이드부
624a: 가이드레일 624b: 가이드홈
625: 위치 스토퍼 625a: 스토퍼 몸체
625b: 가이드링 66: 위치 조절부
661: 하우징 662: 로드
68: 클램프 681: 서포트
682: 작동바 682a: 슬라이드홀
683: 이동블록 684: 누름대
685: 완충부재 686: 레버
70: 구동부 71: 공기 압축기
72: 공기배관 73: 압력 조절부
74: 공기 제어부 741: 압력 게이지
80: 공급배관 80a: 유로
82: 지그결합부 81a: 스템홀

Claims (11)

1. 검사밸브가 설치될 수 있는 배치부를 구비한 베이스,
   상기 검사밸브와 연결될 수 있고 상기 검사밸브의 작동을 위해 공기를 공급 또는 차단할 수 있는 구동부,
   상기 배치부에 배치되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있는 센서부 및
   상기 구동부, 센서부와 연결되어 공기의 공급 또는 차단, 검사밸브의 작동 감지신호를 제어부에서 컨트롤하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 그래프화는 모니터링부
   를 포함하고,
   상기 구동부는
   공기 압축기(Air compressor),
   상기 공기 압축기와 상기 검사밸브를 연결하고 공기가 유동할 수 있는 공기배관,
   상기 공기배관에 배치되어 있고 공기의 유동 압력을 조절하는 압력 조절부 및
   상기 압력 조절부와 상기 검사밸브의 사이에 위치하여 상기 공기배관에 배치되어 있고 공급되는 공기의 유동을 제어하는 공기 제어부
   를 포함하며,
   상기 공기 제어부의 작동으로 상기 공기가 상기 검사밸브에 공급되면 상기 검사밸브는 작동하여 상기 센서부와 접촉하고,
   상기 모니터링부는 상기 검사밸브와 상기 센서부의 접촉 시간과 상기 공기가 상기 검사밸브에 공급되도록 상기 공기 제어부가 작동하는 시간을 비교하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 판단하는
   밸브 작동 검사 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에서,
   상기 배치부에 결합되어 상기 검사밸브가 결합되고 상기 센서부가 연결되어 있는 장착지그를 더 포함하는 밸브 작동 검사 장치.
5. 검사밸브가 설치될 수 있는 배치부를 구비한 베이스,
   상기 검사밸브와 연결될 수 있고 상기 검사밸브의 작동을 위해 공기를 공급 또는 차단할 수 있는 구동부,
   상기 배치부에 배치되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있는 센서부,
   상기 구동부, 센서부와 연결되어 공기의 공급 또는 차단, 검사밸브의 작동 감지신호를 제어부에서 컨트롤하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 그래프화는 모니터링부 및
   상기 배치부에 결합되어 상기 검사밸브가 결합되고 상기 센서부가 연결되어 있는 장착지그
   를 포함하며,
   상기 배치부를 구비한 상기 베이스의 부분에는 상기 장착지그를 관통한 체결수단이 체결되는 복수의 체결홀과, 상기 장착지그와 연결된 상기 센서부의 일부분이 통과하는 센서관통홀이 형성되어 있는
   밸브 작동 검사 장치.
6. 검사밸브가 설치될 수 있는 배치부를 구비한 베이스,
   상기 검사밸브와 연결될 수 있고 상기 검사밸브의 작동을 위해 공기를 공급 또는 차단할 수 있는 구동부,
   상기 배치부에 배치되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있는 센서부,
   상기 구동부, 센서부와 연결되어 공기의 공급 또는 차단, 검사밸브의 작동 감지신호를 제어부에서 컨트롤하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 그래프화는 모니터링부 및
   상기 배치부에 결합되어 상기 검사밸브가 결합되고 상기 센서부가 연결되어 있는 장착지그
   를 포함하며,
   상기 배치부는
   상기 검사밸브가 놓일 수 있고 제1 방향으로 직선 이동할 수 있는 안착부,
   상기 안착부와 연결되어 직선 이동시킬 수 있는 위치 조절부,
   상기 안착부와 마주하며 상기 장착지그가 상하 방향으로 이동 가능하게 배치된 거치대 및
   상기 안착부와 이웃하여 상기 검사밸브를 상기 안착부에 고정하는 클램프
   를 포함하는
   밸브 작동 검사 장치.
7. 제6항에서,
   상기 안착부는,
   상기 베이스에 배치된 바닥 플레이트,
   상기 바닥 플레이트와 직선 이동 가능하게 결합되어 있고 안착홈이 형성된 안착몸체 및
   상기 바닥 플레이트와 상기 안착몸체 사이에 형성된 가이드부
   를 포함하며,
   상기 위치 조절부는 일단이 상기 바닥 플레이트와 결합되어 있고 타단이 상기 안착몸체와 결합되어 있는
   밸브 작동 검사 장치.
8. 제7항에서,
   상기 안착부는
   상기 안착몸체에서 안착홈으로 돌출되어 안착되는 상기 검사밸브의 위치를 설정하는 밸브 스토퍼를 더 포함하는 밸브 작동 검사 장치.
9. 제7항에서,
   상기 안착부는
   상기 바닥 플레이트에 결합되어 상기 안착몸체의 이동 범위를 한정하는 위치 스토퍼를 더 포함하는 밸브 작동 검사 장치.
10. 제7항에서,
    상기 클램프는
    상기 바닥 플레이트에서 돌출되어 있는 서포트,
    일단이 상기 서포트와 힌지 연결되어 있고 타단이 상기 안착홈의 검사밸브와 마주할 수 있는 작동바,
    상기 작동바의 타단에서 길이 방향을 따라 직선 이동과 상기 길이 방향과 수직한 방향으로 승강 가능하게 배치되어 있고 상기 검사밸브를 누를 수 있는 누름대 및
    상기 서포트와 힌지 연결되어 상기 작동와 연결된 레버
    를 포함하는
    밸브 작동 검사 장치.
11. 검사밸브가 설치될 수 있는 배치부를 구비한 베이스,
    상기 검사밸브와 연결될 수 있고 상기 검사밸브의 작동을 위해 공기를 공급 또는 차단할 수 있는 구동부,
    상기 배치부에 배치되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있는 센서부,
    상기 구동부, 센서부와 연결되어 공기의 공급 또는 차단, 검사밸브의 작동 감지신호를 제어부에서 컨트롤하여 상기 검사밸브의 작동 이상 유무를 그래프화는 모니터링부,
    상기 배치부에 결합되어 상기 센서부가 연결되어 있는 장착지그 및
    상기 장착지그에 배치되어 상기 검사밸브와 연결될 수 있으며 공정가스가 유동할 수 있는 공급배관
    을 포함하며
    상기 센서부는 상기 장착지그에서 상기 공급배관을 통해 상기 검사밸브와 연결되어 상기 검사밸브의 작동을 감지할 수 있는
    밸브 작동 검사 장치.

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