JPH11111684A - ガス流量低下警報装置 - Google Patents
ガス流量低下警報装置Info
- Publication number
- JPH11111684A JPH11111684A JP26836297A JP26836297A JPH11111684A JP H11111684 A JPH11111684 A JP H11111684A JP 26836297 A JP26836297 A JP 26836297A JP 26836297 A JP26836297 A JP 26836297A JP H11111684 A JPH11111684 A JP H11111684A
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- Japan
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- gas
- flow
- signal
- processing chamber
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- Pending
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アッシング処理装置のガス流路に関し、切換
機構（３方向電磁弁）１の劣化によるガス流量低下を検
知出来るガス流量警報装置を提供する。 【解決手段】 処理室とガス処理部へのガスの流れを切
り替える切換機構１と、第１の流量センサ付き流量計２
と、第２の流量センサ付き流量計５と、前記の流量セン
サの信号で制御される信号処理回路９で構成し、前記信
号処理回路の出力状態は、第１の流量センサ信号の状態
変化に応じて「ＨＩＧＨ」レベルと「ＬＯＷ」レベルに
変化し、第２の流量センサ信号でリセットされる信号処
理回路とする。 【効果】 切換機構（３方向電磁弁）１の劣化によるガ
ス流量低下を検知出来るガス流量警報装置を得ることが
できる。
機構（３方向電磁弁）１の劣化によるガス流量低下を検
知出来るガス流量警報装置を提供する。 【解決手段】 処理室とガス処理部へのガスの流れを切
り替える切換機構１と、第１の流量センサ付き流量計２
と、第２の流量センサ付き流量計５と、前記の流量セン
サの信号で制御される信号処理回路９で構成し、前記信
号処理回路の出力状態は、第１の流量センサ信号の状態
変化に応じて「ＨＩＧＨ」レベルと「ＬＯＷ」レベルに
変化し、第２の流量センサ信号でリセットされる信号処
理回路とする。 【効果】 切換機構（３方向電磁弁）１の劣化によるガ
ス流量低下を検知出来るガス流量警報装置を得ることが
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
関し、特に半導体製造過程でレジスト除去等に用いるア
ッシング処理の装置に関する。
関し、特に半導体製造過程でレジスト除去等に用いるア
ッシング処理の装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】アッシング処理を行う半導体製造装置の
一例は、加熱ステージと、ガスを供給をするノズルと、
これらを取り囲むウェーハの出入口を備えたハウジング
からなる処理室と、前記処理室にウェーハの搬入・搬出
を行う搬送ロボットと、ウェーハを収納するカセット
と、ガス処理部及び統括制御部とで構成される。
一例は、加熱ステージと、ガスを供給をするノズルと、
これらを取り囲むウェーハの出入口を備えたハウジング
からなる処理室と、前記処理室にウェーハの搬入・搬出
を行う搬送ロボットと、ウェーハを収納するカセット
と、ガス処理部及び統括制御部とで構成される。
【０００３】前記構成において、処理室へのウェーハ搬
入及び搬出時は処理室とガス処理部へのガスの流れを切
替える必要がある。その切換機構の一例とし、通常３方
向電磁弁を用いてウェーハの処理中は前記処理室にガス
を供給し、処理室へのウェーハ搬入及び搬出時はガスの
分解部であるガス処理部へガスを供給している。
入及び搬出時は処理室とガス処理部へのガスの流れを切
替える必要がある。その切換機構の一例とし、通常３方
向電磁弁を用いてウェーハの処理中は前記処理室にガス
を供給し、処理室へのウェーハ搬入及び搬出時はガスの
分解部であるガス処理部へガスを供給している。
【０００４】図３は処理室にガスが流れているか否かを
検知するガス流量検知器の従来例の一例を示している。
図示した従来例では、ガスの流れを処理室とガス処理部
に切り替える切換機構１（３方向電磁弁）から処理室８
に至るガス経路内のみに、センサ付きの流量計２（例え
ば流量計のフロートの移動でガス流量を検知する）設
け、この流量計の出力信号を信号処理回路９で処理した
信号をインタロック信号とし、処理室８にガスを流して
いる時（信号処理回路９を制御する同期信号で判定）
は、信号処理回路９の出力がＨＩＧＨレベルの時、ガス
が正常に流れていると判定し、信号処理回路９の出力が
ＬＯＷレベルの時は異常であると判定している。
検知するガス流量検知器の従来例の一例を示している。
図示した従来例では、ガスの流れを処理室とガス処理部
に切り替える切換機構１（３方向電磁弁）から処理室８
に至るガス経路内のみに、センサ付きの流量計２（例え
ば流量計のフロートの移動でガス流量を検知する）設
け、この流量計の出力信号を信号処理回路９で処理した
信号をインタロック信号とし、処理室８にガスを流して
いる時（信号処理回路９を制御する同期信号で判定）
は、信号処理回路９の出力がＨＩＧＨレベルの時、ガス
が正常に流れていると判定し、信号処理回路９の出力が
ＬＯＷレベルの時は異常であると判定している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来のガ
ス流量低下検知手段では、ガスの流れを切り替える切換
機構１（３方向電磁弁）から処理室８に至るガス経路内
のみに、流量センサを設けているだけであるため、処理
室とガス処理部へのガスの流れを切り替える切換機構
（３方向電磁弁）の劣化等で、例えばウェーハ処理中に
処理室以外即ちガス分解器側にガスが流れ、処理室に流
れるガス流量が微少に低下した場合等には流量低下の検
出できないおそれがあった。
ス流量低下検知手段では、ガスの流れを切り替える切換
機構１（３方向電磁弁）から処理室８に至るガス経路内
のみに、流量センサを設けているだけであるため、処理
室とガス処理部へのガスの流れを切り替える切換機構
（３方向電磁弁）の劣化等で、例えばウェーハ処理中に
処理室以外即ちガス分解器側にガスが流れ、処理室に流
れるガス流量が微少に低下した場合等には流量低下の検
出できないおそれがあった。
【０００６】本発明の目的は、前記の３方向電磁弁のよ
うな切換機構の劣化による、処理室に流れるガス流量低
下を検知出来るガス流量警報装置を提供することにあ
る。
うな切換機構の劣化による、処理室に流れるガス流量低
下を検知出来るガス流量警報装置を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題は、前記の切換
機構と処理室との間に流量センサ付き流量計を設ける他
に、さらに前記の切換機構とガス処理部との間に流量セ
ンサ付き流量計を設けることによって達成される。ま
た、前記の装置は、流量センサ付き流量計に接続された
信号処理回路を備えており、前記信号処理回路は、流量
センサの信号で制御され、前記信号処理回路の出力状態
は、前記の切換機構と処理室との間に設けられた流量セ
ンサ付き流量計（第１の流量センサ付き流量計）の流量
センサ信号の状態変化に応じて「ＨＩＧＨ」レベルと
「ＬＯＷ」レベル（ＨＩＧＨ：正常、ＬＯＷ：異常）に
変化し、前記の切換機構とガス処理部との間に設けられ
た流量センサ付き流量計（第２の流量センサ付き流量
計）の流量センサ信号でリセットされる。
機構と処理室との間に流量センサ付き流量計を設ける他
に、さらに前記の切換機構とガス処理部との間に流量セ
ンサ付き流量計を設けることによって達成される。ま
た、前記の装置は、流量センサ付き流量計に接続された
信号処理回路を備えており、前記信号処理回路は、流量
センサの信号で制御され、前記信号処理回路の出力状態
は、前記の切換機構と処理室との間に設けられた流量セ
ンサ付き流量計（第１の流量センサ付き流量計）の流量
センサ信号の状態変化に応じて「ＨＩＧＨ」レベルと
「ＬＯＷ」レベル（ＨＩＧＨ：正常、ＬＯＷ：異常）に
変化し、前記の切換機構とガス処理部との間に設けられ
た流量センサ付き流量計（第２の流量センサ付き流量
計）の流量センサ信号でリセットされる。
【０００８】
【発明の実施の形態】上記構成において、前述した第１
の流量センサ付き流量計の流量センサ信号の状態変化に
応じて「ＨＩＧＨ」レベルと「ＬＯＷ」レベルに変化す
る信号で処理室にガスが正常に流れているか否かを判定
し、第２の流量センサ信号で信号処理回路の出力がリセ
ットされることで切換機構（３方向電磁弁）の劣化によ
るガス流量低下を検知出来る。この実施例を以下に示
す。
の流量センサ付き流量計の流量センサ信号の状態変化に
応じて「ＨＩＧＨ」レベルと「ＬＯＷ」レベルに変化す
る信号で処理室にガスが正常に流れているか否かを判定
し、第２の流量センサ信号で信号処理回路の出力がリセ
ットされることで切換機構（３方向電磁弁）の劣化によ
るガス流量低下を検知出来る。この実施例を以下に示
す。
【０００９】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。図１において、１は処理室とガス処理部へのガ
スの流れを切り替える切換機構を示し、処理室でウェー
ハを処理中のときは、ガスを処理室に流すように切り替
え、ウェーハを処理に搬入又は搬出時はガス分解器にガ
スを流すように切り替える。
である。図１において、１は処理室とガス処理部へのガ
スの流れを切り替える切換機構を示し、処理室でウェー
ハを処理中のときは、ガスを処理室に流すように切り替
え、ウェーハを処理に搬入又は搬出時はガス分解器にガ
スを流すように切り替える。
【００１０】２は第１の流量計、３は第１の流量計のフ
ロート、４はフロートの移動を検知する光電センサで処
理室８にガスを供給する経路内に設置され、処理室に流
れるガス流量低下を検知するためにある。
ロート、４はフロートの移動を検知する光電センサで処
理室８にガスを供給する経路内に設置され、処理室に流
れるガス流量低下を検知するためにある。
【００１１】５は第２の流量計、６は第２の流量計のフ
ロート、７はフロートの移動を検知する光電センサでガ
ス分解器にガスを供給する経路内に設置されており、ガ
ス分解器１０側にガスが流れると信号処理回路９の出力
信号をリセットするためにある。８は処理室、９は信号
処理回路で、第１及び第２の流量計に取り付けた光電セ
ンサ出力で制御される。１０はガス分解器で切換機構１
から処理室を経由したガス、又は直接ガス分解器に流入
したガスを無害に分解する。
ロート、７はフロートの移動を検知する光電センサでガ
ス分解器にガスを供給する経路内に設置されており、ガ
ス分解器１０側にガスが流れると信号処理回路９の出力
信号をリセットするためにある。８は処理室、９は信号
処理回路で、第１及び第２の流量計に取り付けた光電セ
ンサ出力で制御される。１０はガス分解器で切換機構１
から処理室を経由したガス、又は直接ガス分解器に流入
したガスを無害に分解する。
【００１２】図２において、２０は第１の流量計に取り
付けた光電センサ出力を信号処理回路９で成形したワン
ショット波形を示し、２１は第２の流量計に取り付けた
光電センサ出力波形を、２２は信号処理回路９の出力波
形を示す。前述のワンショット波形２０は、第１の流量
計のフロート３が光電センサ４の光軸を通過する度に発
生する信号を示す。
付けた光電センサ出力を信号処理回路９で成形したワン
ショット波形を示し、２１は第２の流量計に取り付けた
光電センサ出力波形を、２２は信号処理回路９の出力波
形を示す。前述のワンショット波形２０は、第１の流量
計のフロート３が光電センサ４の光軸を通過する度に発
生する信号を示す。
【００１３】ガス流量低下警報のインタロック取込部１
１に接続された信号処理回路９の出力は、第２の流量計
に取り付けた光電センサの出力波形２１がＬＯＷレベル
の時に、前述のワンショット波形２０が信号処理回路９
に入力される度に出力状態が変化する。
１に接続された信号処理回路９の出力は、第２の流量計
に取り付けた光電センサの出力波形２１がＬＯＷレベル
の時に、前述のワンショット波形２０が信号処理回路９
に入力される度に出力状態が変化する。
【００１４】しかし、信号処理回路９はその出力が、第
２の流量計に取り付けた光電センサの出力波形２１がＨ
ＩＧＨレベルの時は、常にＬＯＷレベルの状態を保たれ
るような回路構成となっている。
２の流量計に取り付けた光電センサの出力波形２１がＨ
ＩＧＨレベルの時は、常にＬＯＷレベルの状態を保たれ
るような回路構成となっている。
【００１５】以下、図１及び図２に示すタイムチャート
に従って、ガス流量低下警報装置の動作説明を行なう。
に従って、ガス流量低下警報装置の動作説明を行なう。
【００１６】先ず、図１を参考にウェーハのレジスト除
去処理を行う手順の概要を説明する。
去処理を行う手順の概要を説明する。
【００１７】ウェーハは処理室８（加熱されたステージ
上）に搬送されたあとで、ガス切替機構１で処理室８に
ガスを供給されウェーハ上のレジストを除去される。レ
ジストが除去されたウェーハは、ガス切替機構１でガス
分解器１０側にガスが流れるように切り替えられた後、
処理室８から搬出される。更に未処理のウェーハは処理
室８に搬送され、前述の動作を繰り返す事で次々とウェ
ーハが処理される。
上）に搬送されたあとで、ガス切替機構１で処理室８に
ガスを供給されウェーハ上のレジストを除去される。レ
ジストが除去されたウェーハは、ガス切替機構１でガス
分解器１０側にガスが流れるように切り替えられた後、
処理室８から搬出される。更に未処理のウェーハは処理
室８に搬送され、前述の動作を繰り返す事で次々とウェ
ーハが処理される。
【００１８】以上説明した内容をガスの流れに注目して
以下の説明を行う。
以下の説明を行う。
【００１９】図１に示した第１の流量計のフロート３
は、ガスが処理室８側に流されると光電センサ４の光軸
より上部の位置に移動し、ガスがガス分解器１０側に流
されると光電センサ４の光軸より下部の位置に移動す
る。また、第２の流量計のフロート６は第１の流量計の
フロート３と逆の動作をし、処理室８にガスを供給され
されているときは、流量計の最下点にあり、その光電セ
ンサ出力はＬＯＷレベルである。
は、ガスが処理室８側に流されると光電センサ４の光軸
より上部の位置に移動し、ガスがガス分解器１０側に流
されると光電センサ４の光軸より下部の位置に移動す
る。また、第２の流量計のフロート６は第１の流量計の
フロート３と逆の動作をし、処理室８にガスを供給され
されているときは、流量計の最下点にあり、その光電セ
ンサ出力はＬＯＷレベルである。
【００２０】図２の動作説明用波形図において、（ａ）
及び（ｃ）は処理室８にガスを流している期間を、
（ｂ）及び（ｄ）はガス分解器１０側にガスを流してい
る期間をの状態をそれぞれ示している。（ｅ）の２３で
示した破線の部分は、処理室８にガスを流している期間
（ウェーハの処理中）にガス切り替え機構１（例えば３
方向電磁弁）の劣化等が生じた一例を示したものであ
る。
及び（ｃ）は処理室８にガスを流している期間を、
（ｂ）及び（ｄ）はガス分解器１０側にガスを流してい
る期間をの状態をそれぞれ示している。（ｅ）の２３で
示した破線の部分は、処理室８にガスを流している期間
（ウェーハの処理中）にガス切り替え機構１（例えば３
方向電磁弁）の劣化等が生じた一例を示したものであ
る。
【００２１】ガス分解器１０側にガスが少量でも流れる
と、図１に示した第２の流量計にガスが流れ光電センサ
６の出力が信号処理回路９の出力をリセット（ＬＯＷレ
ベル）するためにインタロック取込部の信号レベルがＬ
ＯＷレベル（図２の波形２２に破線で示したＢの状態）
となり流量低下を検出出来ることを示している。
と、図１に示した第２の流量計にガスが流れ光電センサ
６の出力が信号処理回路９の出力をリセット（ＬＯＷレ
ベル）するためにインタロック取込部の信号レベルがＬ
ＯＷレベル（図２の波形２２に破線で示したＢの状態）
となり流量低下を検出出来ることを示している。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、処理室とガス処理部へ
のガスの流れを切り替える切換機構から処理室に至るガ
ス経路に取り付けた流量センサ付きの流量計の他に、前
記切換機構からガス処理部に至るガス経路にも、流量セ
ンサ付きの流量計を取り付けることで切換機構（３方向
電磁弁）の劣化によるガス流量低下を検知出来るガス流
量警報装置を得ることができる。
のガスの流れを切り替える切換機構から処理室に至るガ
ス経路に取り付けた流量センサ付きの流量計の他に、前
記切換機構からガス処理部に至るガス経路にも、流量セ
ンサ付きの流量計を取り付けることで切換機構（３方向
電磁弁）の劣化によるガス流量低下を検知出来るガス流
量警報装置を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示すガス流量低下警報装置
のブロック図を示す。
のブロック図を示す。
【図２】本発明の一実施例の動作説明用波形図を示す。
【図３】ガス流量低下警報装置の従来例図を示す。
１−−ガス切り替え機構、２−−第１の流量計、３−−
第１の流量計のフロート、４−−光電センサ、５−−第
２の流量計、６−−第２の流量計のフロート、７−−光
電センサ、８−−処理室、９−−信号処理回路、１０−
−ガス分解器。
第１の流量計のフロート、４−−光電センサ、５−−第
２の流量計、６−−第２の流量計のフロート、７−−光
電センサ、８−−処理室、９−−信号処理回路、１０−
−ガス分解器。
Claims (2)
- 【請求項１】ウエハを処理する処理室と、ウエハを処理
するためのガスを処理するガス処理室と、前記処理室と
前記ガス処理室へのガスの流れを切り替える切替手段
と、前記切替手段と前記処理室との間に設けられた第１
の流量センサ付き流量計と、前記切替手段と前記ガス処
理室との間に設けられた第２の流量センサ付き流量計
と、前記第１の流量センサ付き流量計の第１の流量セン
サ信号及び前記第２の流量センサ付き流量計の第２の流
量センサ信号を処理する信号処理回路とにより構成さ
れ、前記信号処理回路の出力は、前記第２の流量センサ
信号に応じて流量低下インタロックを取り込むことを特
徴とするガス流量低下警報装置。 - 【請求項２】前記信号処理回路の出力は、第１の流量セ
ンサ信号のに応じてＨＩＧＨレベルとＬＯＷレベルに変
化することを特徴とする請求項１記載のガス流量低下警
報装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26836297A JPH11111684A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | ガス流量低下警報装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26836297A JPH11111684A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | ガス流量低下警報装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111684A true JPH11111684A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17457474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26836297A Pending JPH11111684A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | ガス流量低下警報装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11111684A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7401494B2 (en) | 2005-08-02 | 2008-07-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Valve test apparatus and methods for testing a solenoid valve or a venturi valve |
-
1997
- 1997-10-01 JP JP26836297A patent/JPH11111684A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7401494B2 (en) | 2005-08-02 | 2008-07-22 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Valve test apparatus and methods for testing a solenoid valve or a venturi valve |
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