KR20040051671A - 반도체 제조설비의 솔레노이드 오동작 감지장치 및 그 방법 - Google Patents

반도체 제조설비의 솔레노이드 오동작 감지장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 솔레노이드 밸브를 구동하는 전압의 체크에 의해 솔레노이드 밸브의 오동작을 감지하여 설비에 인터록을 발생하는 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치 및 그 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치는, 솔레노이드 밸브를 온/오프 구동하기 위한 전압을 공급하는 솔레노이드 밸브 구동부와, 상기 솔레노이드 밸브 구동부로부터 출력되는 전압을 검출하는 전압검출부와, 상기 전압검출부로부터 검출된 전압을 입력받아 미리 설정된 전압과 비교하여 미리 설정된 전압보다 드롭되어 헌팅이 발생할 시 인터록신호를 발생하는 제어부를 포함한다.

Description

반도체 제조설비의 솔레노이드 오동작 감지장치 및 그 방법{METHOD AND APPARATUS FOR SENSING ERROR OPERATION OF SOLANOID VALVE IN SEMICONDUCTOR PRODUCT DEVICE THEREOF}
본 발명은 반도체 제조설비의 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치에 관한 것으로, 특히 솔레노이드 밸브를 구동하는 전압의 체크에 의해 솔레노이드 밸브의 오동작을 감지하여 설비에 인터록을 발생하는 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조설비의 솔레노이드 밸브는 전기적 신호를 받아 유량이나 공기의 흐름을 제어하는 장치로써, 전자석코일에 펄스신호가 가해지면 플런저가 전자석코일에 흡인되면서 이에 일체로 형성된 밸브가 개방되면서 작동유체의 흐름경로를 개방시키게 된다. 따라서 솔레노이드 밸브의 흐름경로를 통과하게 되는 유량이나 공기의 흐름량은 전자석 코일에 흐르는 전류시간에 의해 조절되는 것이다.
이렇게 유량이나 공기의 흐름을 제어하는 솔레노이드 밸브가 도 1에 도시되어 있다. 작동방향에 따라 미끄럼 이동하는 플런저(130)와, 상기 플런저(130)의 외측면에 전기적신호에 따라 온오프되는 전자석코일(12)과, 상기 플런저(130)의 일측면에 개재된 리턴스프링(110)과, 작동유체를 내부방향으로 공급하기 위한 공급관(140)과, 외부방향으로 배출하기 위해 관통형으로 이루어진 배출관(150)으로 구성되어 있다.
솔레노이드 밸브에 전원이 공급되면, 내부에 구비된 플런저(130)가 리턴스프링(110)의 탄성력을 이기고 전자석코일(120)에 흡인되게 되면서 이 플런저(130)에 형성된 개폐밸브(131)가 배출관(140)의 경로를 개방 하게된다.
상기와 같은 종래의 전자식 밸브인 솔레노이드 밸브는 구동용 전압이 정상적으로 인가되지 않게 되면 솔레노이드 밸브가 정확하게 오픈/크로즈(OPEN/CLOSE)되지 않아 반도체 공정에 치명적인 영향을 주고 있으며, 품질불량의 원인을 제공하는 문제가 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 솔레노이드 밸브의 오동작 시 인터록을 발생하여 반도체 공정에 영향을 주지 않고, 품질불량 발생을 방지할 수 있는 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
도 1은 일반적인 솔레노이드 밸브의 구조도
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치의 구성도
도 3은 본 발명이 실시 예에 따른 솔레노이드 밸브 오동작 시 인터록신호를 발생하기 위한 제어부의 제어 흐름도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10: 솔레노이드 밸브 구동부 12: 전압검출부
14: 제어부 16: 설비 콘트롤러
18: 리턴스프링 20: 전자석코일
22: 플런저 24: 공급관
26: 배출관
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치는, 솔레노이드 밸브를 온/오프 구동하기 위한 전압을 공급하는 솔레노이드 밸브 구동부와, 상기 솔레노이드 밸브 구동부로부터 출력되는 전압을 검출하는 전압검출부와, 상기 전압검출부로부터 검출된 전압을 입력받아 미리 설정된 전압과 비교하여 미리 설정된 전압보다 드롭되어 헌팅이 발생할 시 인터록신호를 발생하는 제어부를 포함함을 특징으로 한다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치의 구성도이다.
솔레노이드 밸브를 온/오프 구동하기 위한 전압을 공급하는 솔레노이드 밸브 구동부(10)와, 상기 솔레노이드 밸브 구동부(10)로부터 출력되는 전압을 검출하는 전압검출부(12)와, 상기 전압검출부(12)로부터 검출된 전압을 입력받아 미리 설정된 전압과 비교하여 미리 설정된 전압보다 드롭되어 헌팅(Hunting)이 발생할 시 인터록신호를 발생하는 제어부(14)와, 상기 제어부(14)로부터 인터록신호를 받아 설비의 공정진행동작을 정지시키는 설비 콘트롤러(16)와, 작동방향에 따라 미끄럼 이동하는 플런저(22)와, 상기 플런저(22)의 외측면에 전기적신호에 따라 온/오프되는 전자석코일(20)과, 상기 플런저(22)의 일측면에 개재된 리턴스프링(18)과, 작동유체를 내부방향으로 공급하기 위한 공급관(24)과, 외부방향으로 배출하기 위해 관통형으로 이루어진 배출관(26)으로 구성되어 있다.
도 3은 본 발명이 실시 예에 따른 솔레노이드 밸브 오동작 시 인터록신호를 발생하기 위한 제어부의 제어 흐름도이다.
상술한 도 2 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 동작을 상세히 설명한다.
솔레노이드 밸브 구동부(10)는 반도체 제조 공정 시 솔레노이드 밸브를 구동하기 위한 전압을 전자석코일(20)로 공급한다. 전자석코일(20)에 전압이 공급되면,내부에 구비된 플런저(130)가 리턴스프링(110)의 탄성력을 이기고 전자석코일(120)에 흡인되게 되면서 이 플런저(130)에 형성된 개폐밸브(131)가 배출관(140)의 경로를 개방 하게된다. 이렇게 솔레노이드 밸브 구동부(10)에서 솔레노이드 밸브 구동전압이 공급될 때 전압검출부(12)는 상기 솔레노이드 밸브 구동부(10)로부터 출력되는 전압을 검출하여 제어부(14)로 인가한다. 제어부(14)는 상기 전압검출부(12)로부터 검출된 전압을 입력받아 미리 설정된 전압과 비교하여 미리 설정된 전압보다 드롭되어 헌팅(Hunting)이 발생할 시 인터록신호를 발생한다. 상기 제어부(14)의 인터록신호를 발생하는 동작을 도 3의 흐름도를 참조하여 상세히 설명하면, 101단계에서 제어부(14)는 솔레노이드 밸브 구동용 파라미터인 밸브구동전압을 전압검출부(12)로부터 입력받은 후 102단계에서 제어부(14)는 미리 설정되어 있는 전압과 비교한다. 즉, 스펙아웃(Spec out)인지 검사하여 스펙아웃이면 103단계로 진행한다. 상기 103단계에서 제어부(14)는 인터록신호를 발생하여 설비콘트롤러(16)로 인가한다. 이때 설비 콘트롤러(16)는 상기 제어부(14)로부터 인터록신호를 받아 설비의 공정진행동작을 정지시킨다. 그러나 상기 102단계에서 스펙아웃이 아니면 104단계에서 제어부(104)는 계속해서 솔레노이드 밸브를 구동하는 전압을 감시한다.
상술한 바와 같이 본 발명은 반도체 제조설비에서 유량이나 공기의 흐름을 제어하는 솔레노이드 밸브의 구동전압을 감시하여 스펙아웃 시 인터록신호를 발생하여 설비의 공정진행을 중지하도록 하므로, 공정불량을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

  1. 반도체 제조설비의 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치에 있어서,
    솔레노이드 밸브를 온/오프 구동하기 위한 전압을 공급하는 솔레노이드 밸브 구동부와,
    상기 솔레노이드 밸브 구동부로부터 출력되는 전압을 검출하는 전압검출부와,
    상기 전압검출부로부터 검출된 전압을 입력받아 미리 설정된 전압과 비교하여 미리 설정된 전압보다 드롭되어 헌팅이 발생할 시 인터록신호를 발생하는 제어부를 포함함을 특징으로 하는 솔레노이드 밸브 오동작 감지장치.
  2. 반도체 제조설비의 솔레노이드 밸브 오동작 감지방법에 있어서,
    솔레노이드 구동전압을 검출하는 과정과,
    상기 검출된 솔레노이드 구동전압을 미리 설정된 전압과 비교하여 미리 설정된 전압보다 드롭되어 헌팅이 발생할 시 인터록신호를 발생하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 하는 솔레노이드 밸브 오동작 감지방법.
KR1020020078620A 2002-12-11 2002-12-11 반도체 제조설비의 솔레노이드 오동작 감지장치 및 그 방법 KR20040051671A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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