KR100205218B1 - 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치 - Google Patents

반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 제조 공정 중 설비 장치에 사스 공급라인의 가스 공급을 개폐하는 밸브수단을 포함하는 반도체 장비에 있어서, 상기 밸브수단의 개폐 상태를 감지하여 그에 상응하는 신호를 발생하는 센서수단과, 상기 센서수단에서 출력된 피드백 신호 및 상기 밸브수단으로 출력되는 동일한 신호를 입력받아 그 두 신호를 비교한 후 그에 상응하는 보상신호를 출력하는 검출 및 비교수단, 및 상기 검출 및 비교수단에서 출력된 신호에 의해 상기 밸브수단의 개폐 상태를 판단하여 에러 유무를 결정하고 상기 밸브수단을 반복 구동하는 제어수단을 구비하여, 제어부에서 전자밸브가 개폐되도록 구동신호를 출력하기 전에 전자밸브의 상태를 사전 검색하여 구동신호를 출력함으로써, 전자밸브가 효율적으로 작동되도록 하여 반도체 제품의 품질 향상과 기계설비의 이상 동작에 의한 산업 재해를 방지하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치에 관한 것이다.

Description

반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치
본 발명은 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치에 관한 것으로서, 특히 제어하고자 하는 전자밸브의 개폐 상태와 에어 공급라인 및 가스 공급라인의 공급상태를 각각 검색하여 효율적으로 전자밸브의 개폐를 제어하기 위한 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치에 관한 것이다.
반도체 공정에 있어서, 진공 사용 설비에 의해 진공 상태를 만들어 주거나 가스가 필요한 공정에 있어서 반도체 제조 설비 장치에 필요한 가스를 공급하여 주는 데 있어서, 진공 제조 설비 장치로 공급되는 가스 순도 요구 수준이 낮거나 가스가 인체에 무해하여 전자밸브가 외부와 완전히 격리되어 있지 않아도 되는 경우에는 전자밸브만을 이용하여 제조 설비 장치를 진공 상태로 만들거나 제조 설비에 필요한 양만큼 가스를 공급하여 준다.
반면에 설비에 팔요한 가스가 높은 순도를 요구하거나 가스가 인체에 치명적으로 유해할 경우 외부와 차단이 필요하므로 전자밸브를 통해 공급되는 에어에 의해 에어밸브의 개폐를 구동하여 에어밸브에 의해 최종적으로 가스가 필요한 제조 설비 장치에 가스를 공급한다.
제1도는 종래의 반도체 제조 장비의 밸브의 개폐를 제어하는 장치를 나타낸 블록도로서, 제어부(30)와 상기 제어부(30)에서 출력되는 구동신호에 의해 밸브의 개폐를 제어하여 제조설비장치(50)가 진공 상태 및 제조 설비 장치에 가스가 유입되도록 하느 밸브부(10)로 구성된다.
상기 밸브부(10)는 도 2a에서 보는 바와 같이, 제저설비장치(50)로 유입되는 가스에 따라 제어부(30)에서 입력되는 전압에 의해서 구동되는 전자밸브(12)로 구성된다.
또한 상기 밸브부(10)는 도 2b에서 보는 바와 같이 제어부(30)에서 입력되는 전압에 의해서 구동되는 전자밸브(12)와, 상기 전자밸브(12)에 의해 유입되는 에어에 의해 개폐되는 에어밸브(14)로 구성된다.
종래에는 제조설비장치(50)로 유입되는 가스에 의해 밸브부(10)가 전자밸브(12)만으로 이루어진 경우에는 주제어부(32)에서 출력되는 제어신호에 따라 밸브 구동부(34)는 그에 해당되는 구동신호를 출력하여 전자밸브(12)를 구동시키면 진공라인이(開路)되어 제조설비장치(50)에 필요한 가스를 공급한다.
또한, 밸브부(10)가 상기 전자밸브(12)에 의해 유입되는 에어에 의해 개폐되는 에어밸브(12)로 이루어진 경우에는 제어부(30)에서 출력되는 구동신호에 의해 전자밸브(12)가 구동되면 에어 라인에 에어를 공급하고, 공급된 에어에 의해 에어밸브(14)가 구동된다.
그러면, 가스라인을 개로하여 에어밸브(14)는 제조설비장치(50)에 가스를 공급하게 된다.
상기 제어부(30)에서 밸브부(10)가 구동되지 않도록 구동신호를 출력하면 전자밸브(12)는 구동되지 않고 진공 라인은 폐로(閉路)가 된다.
또한, 전자밸브(12)에서 공급하는 에어에 의해 개폐되는 에어밸브(14)가 전자밸브(12)에 연결되어 구동되지 않으면 에어밸브(14)로 공급되던 에어가 차단되어 에어밸브(14)가 구동되지 않으므로 제조설비장치(50)에 유입되던 가스도 차단된다.
따라서, 종래에는 제어부(30)에서 출력된 신호가 전자밸브(12)를 구동시킬 때 전자밸브(12)의 상태를 모니터링하여 제어부(30) 또는 기타 부대설비로 신호를 전달해주는 체계의 미설정으로 인해 반도체 제조 공정에서 이상 동작이 발생하면 순간 과량의 가스 유입으로 제품의 불량 발생 및 가스 구동 불량으로 인한 인명 재해를 입을 수 있다는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 제어부에서 출력된 신호가 밸브를 구동시킬 때 밸브의 작동 상태를 모니터링하여 제어기 또는 기타 부대설비로 신호를 전달해 주는 체계의 설정으로 설비 유지 관리에 있어 사전 검색이 가능하도록 한 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는, 반도체 제조 공정 중 제조 설비 장치에 가스 공급라인의 가스 공급을 개폐하는 밸브수단을 포함하는 반도체 제조 장비에 있어서, 상기 밸브수단의 개폐 상태를 감지하여 그에 상응하는 신호를 발생하는 센서수단과, 상기 센서수단에서 출력된 피드백 신호 및 상기 밸브수단으로 출력되는 동일한 신호를 입력받아 그 두 신호를 비교한 후 그에 상응하는 보상 신호를 출력하는 검출 및 비교수단, 및 상기 검출 및 비교수단에서 출력된 신호에 의해 상기 밸브수단의 개폐 상태를 판단하여 에러 유무를 결정하고 상기 밸브수단을 반복 구동하는 제어수단을 구비한다.
제1도는 종래의 반도체 제조 장비의 밸브 구동 장치를 나태낸 블록도이고,
제2a도는 종래 밸브부가 전자 밸브만으로 이루어진 것을 나타낸 상세도이고, 제2b도는 종래 밸브부가 전자 밸브 및 전자 밸브에 의해 구동되는 에어 밸브로 이루어진 것을 나타낸 상세도이고,
제3도는 본 발명에 따른 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치를 나타낸 블록도이고,
제4a도는 본 발명의 밸브부가 전자 밸브로만 이루어진 경우를 나타낸 상세도이고, 제4b도는 본 발명의 밸브부가 전자 밸브 및 에어 밸브로 이루어진 경우를 나타낸 상세도이고,
제5도는 제4도의 밸브 구동부와 검출 및 비교부를 나타낸 실시 예시도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
100 : 밸브부 110 : 전자밸브
115 : 에어밸브 120 : 센서부
121 : 제1센서 125 : 제2센서
130 : 제3센서 140 : 검출 및 비교부
160 : 제어부 161 : 주제어부
165 : 밸브 구동부 R1, R2 : 밸브 구동부의 제1릴레이 및 제2릴레이
R1c, R1o : R1에 의해 온/오프되는 검출 및 비교부의 제1릴레이 스위치
R2c, R2o : R2에 의해 온/오프되는 검출 및 비교부의 제2릴레이 스위치
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 살펴보고자 한다.
제3도는 본 발명에 따른 반도체 제조 장치의 밸브 사전 검색 장치를 나타낸 블록도로서, 밸브부(100), 센서부(120), 검출 및 비교부(140), 제어부(160) 및 제조설비장치(180)를 구비한다.
도면부호 100은 반도체 제조 공정 중 개폐 제어신호에 따라 제조설비장치(180)에 가스를 공급하는 밸브부이고, 부호 120은 밸브부(100)의 개폐 상태를 감지하여 그에 상응하는 신호를 발생하는 센서부이고, 부호 140은 제어부(160)에서 출력되는 릴레이 개폐 제어신호에 따라 작동되어 센서부(120)에서 검출한 신호를 제어부(160)로 출력하는 검출 및 비교부이고, 부호 160은 밸브부(100)의 개폐를 제어하고 상기 검출 및 비교부(140)에서 피드백된 밸브작동 검출신호에 의해 밸브(100)의 작동상의 에러 여부를 판단하고 밸브부(100)의 개폐를 제어하는 제어부이다.
그리고, 부호 180은 제조설비장치이다.
상기 제어부(160)는 제4a도에서 보는 바와 같이, 검출 및 비교부(140)로부터 피드백된 밸브작동 검출 신호에 의해 보상된 제어 신호를 출력하는 주제어부(161)와, 상기 주제어부(161)에서 출력된 제어 신호에 따라 전자밸브(110)의 구동 전압을 출력하는 밸브 구동부(165)로 구성된다.
상기 밸브부(110)는 제4b도에서 보는 바와 같이, 밸브 구동부(165)에 의해 개폐되어 에어를 공급하는 전자밸브(110)와, 상기 전자밸브(110)에 의해 구동되어 제조설비장치(180)에 가스를 공급하는 에어밸브(115)로 구성된다.
상기 밸브부(100)가 전자밸브(110), 에어밸브(115)로 이루어진 경우 상기 센서부(100)의 각 센서는 제4a도 및 제4b도에서 보는 바와 같이 제1센서(121)는 제어부(160)와 전자밸브(110)를 연결하는 라인에 구비되어 전자밸브(110)에 인가되는 전압을 체크하여 이에 상응하는 신호를 발생하도록 구성된다.
그리고, 제2센서(125)는 전자밸브(110)와 에어밸브(115)를 연결하는 에어라인에 구비되어 에어라인의 에어 압력을 체크하여 이에 상응하는 신호를 발생하는 압력센서로 구성된다.
또한, 제4b도에서 보는 바와 같이, 제3센서(130)는 에어밸브(115)와 제조설비장치(180)를 연결하는 가스라인에 구비되어 제조설비장치(180)로 공급되는 가스 라인의 가스 압력을 체크하여 이에 상응하는 신호를 출력하는 압력센서로 구성된다.
제5도는 제4도의 밸브 구동부와 검출 및 비교부의 상세 예시도를 나타낸 도면으로서, 밸브 구동부(165)의 밸브개폐 구동 신호에 따라 각각 개폐되는 제1 및 제2릴레이 스위치(R1c,R1o)(R2c,R2o)를 구비하고 특정 센서(121 or 125 or 130)에서 출력된 신호를 개방 또는 폐쇄하여 주제어부(161)로 피드백시키는 검출 및 비교부(140)와, 주제어부(161)에서 출력된 밸브개폐 제어신호에 따라 전자밸브(110)와 상기 검출 및 비교부(140)의 릴레이 스위치(R1c,R1o)(R2c,R2o)를 각각 개폐시키는 제1 및 제2릴레이(R1)(R2)로 구성된 밸브 구동부(165)로 구성되어 있다.
즉, 반도체 제조 공정 중 가스가 필요한 설비(180)에 가스를 공급하는 밸브부(100)와, 상기 밸브부(100)의 개폐를 구동하는 신호를 출력하는 제어부(160)와, 상기 제어부(160)의 제어신호에 따라 작동(미도시)되어 상기 밸브부(100)에 작동상태를 감지하는 센서부(120)와, 상기 센서부(120)에서 출력된 이상 신호와 상기 제어부(160)에서 출력된 신호를 비교하여 보상된 신호를 검출하여 제어부(160)로 출력하는 검출 및 비교부(140)로 구성된다.
상기 검출 및 비교부(140)는 제1노드(Nd1)와 제2노드(Nd2) 사이에 제1릴레이 스위치(R1o)와 제2릴레이 스위치(R2c)를 병렬로 연결하고, 이어서 제2노드(Nd2)와 제3노드(Nd3) 사이에 제1릴레이 스위치(R1c)와 제2릴레이 스위치(R2o)를 병렬로 연결하며, 주제어부(161)는 상기 제3노드(Nd3)를 통해 출력되는 신호르 제공받아 밸브부(100)의 작동 에러 여부를 판단하게 된다.
또한, 상기 검출 및 비교부(140)는 각 센서(121, 125, 130)에 각기 하나씩 설치하는 것이 바람직하다.
상기 제1릴레이 스위치(R1o, R1c)는 전자밸브(110)의 밸브를 폐쇄시키는데 사용되는 구동릴레이(R1) 전압에 의해 온, 오프되고, 제2릴레이 스위치(R2c, R2o)는 전자밸브(110)의 밸브를 개방시키는 데 사용되는 구동릴레이(R2) 전압에 의해 온, 오프되도록 구성한다.
이후, 본 발명의 도면을 참조하여 본 발명의 동작을 보다 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
반도체 제조 설비에 필요한 가스를 가스라인을 통해 공급하기 위해 제어부(160)에서 밸브부(100)가 구동될 수 있도록 구동신호를 출력하면 밸브부(100)는 구동되어 제조설비장치(180)로 가스를 공급하기 시작한다.
이때, 센서부(120)는 밸브부(100)의 개폐 상태를 체크하여 그에 상응하는 신호를 발생시켜 검출 및 비교부(140)로 출력한다.
검출 및 비교부(140)에서는 밸브 구동부(165)에서 출력되는 밸브 기준 구동신호(R1)와 밸브 개폐시 구동신호(R2)를 상호 비교하여 작동하고 그 작동에 따라 상기 센서부(120)에서 출력된 밸브 작동상태 감지신호를 검출한 후 주제어부(161)로 피드백시키면, 피드백된 신호에 의해 주제어부(161)는 밸브부(100)를 개폐 상태를 판단한 후 밸브(100)의 에러 또는 재작동 신호를 출력하게 된다.
이때, 상기 밸브부(100)는 제4a도에서 보는 바와 같이 제조설비장치(180)에 공급되는 가스의 종류에 따라 전자밸브(110)만으로도 이루어질 수 있고, 제4b도에서 보는 바와 같이 에어가 필요한 설비(180)에 에어를 공급하는 에어밸브(115)와, 상기 에어밸브(115)의 개폐를 구동하여 에어를 공급하는 전자밸브(110)로 이루어질 수도 있다.
상기 센서부(120)는 제1센서(121)가 전자밸브(110)로 인가되는 전압을 감지하여 그에 상응하는 신호를 검출 및 비교부(140)로 출력한다.
제2센서(125)는 에어라인과 검출 및 비교부(140)사이에 구비되어, 에어밸브(115)로 인가되는 에어라인의 압력을 감지하여 그에 상응하는 신호를 검출 및 비교부(140)로 출력한다.
제3센서(130)는 가스라인과 검출 및 비교부(140) 사이에 구비되어 제조설비장치(180)로 인가되는 가스라인의 압력을 감지하여 그에 상응하는 신호를 검출 및 비교부(140)로 출력한다.
상기 센서들(121, 125, 130) 중 한 개의 센서만으로 센서부(120)를 만들 수 있고, 상기 센서들 중 두 개의 센서를 가지고 센서부(120)를 만들 수도 있으며, 세 개의 센서를 모두 가지고 센서부(120)를 만들 수도 있다.
그리고, 검출 및 비교부(140)는 각 센서에 대응하여 각기 하나씩 구성하는 것이 바람직하다.
검출 및 비교부(140)에서는 밸브 구동부(165)의 밸브구동 기준 신호(R1)와 밸브 개폐 구동신호(R2)에 작동되어 상호 비교한 후 제1 및 제2릴레이 스위치(R1o, R1c)(R2o, R2c)를 작동시키고, 상기 센서(121, 125, 130)에서 출력된 신호를 각각 검출하여 주제어부(161)로 피드백시킨다.
이 피드백된 신호에 의해 주제어부(161)는 전자밸브(110)의 개폐 상태를 판단한 후 에러 경보 또는 밸브(110)의 재작동을 명령한다.
상기 구동된 전자밸브(110)에 의해 제조설비장치(180)에 공급되는 가스의 양을 결정하거나 진공 상태를 만들게 된다.
또한, 전자밸브(110)에 에어밸브(115)가 연결 구비되어 있는 경우는 상기 구동된 전자밸브(110)에 의해 에어밸브(115)가 구동되어 에어밸브(115)로 하여금 제조설비장치(180)로 공급되는 가스의 양을 조절하게 한다.
제5도의 밸브 구동부(165)는 전자밸브(110)를 개폐시킬 때 발생되는 기준 신호에 따라 검출 및 비교부(140)의 제1릴레이 스위치(R1o, R1c)를 온, 오프시키는 제1릴레이(R1)와, 전자밸브(110) 개폐 구동전압에 의해 검출 및 비교부(140)의 제2릴레이 스위치(R2c, R2o)를 온, 오프시키는 제 2 릴레이(R2)가 서로 병렬로 연결되어 작동되고, 주제어부(161)는 검출 및 비교부(140)에서 출력되는 신호를 제공받아 전자밸브(110)의 기준 전압(R1)과 전자밸브 개폐 구동전압(R2)이 상호 다르거나 센서부(120)에서 검출한 신호가 밸브 작동 명령신호와 다를 경우에는 에러 신호를 발생하거나 밸브 재작동 신호를 출력하여 밸브 구동부(165)를 제어하게 된다.
좀 더 상세히 설명하면, 주제어부(161)에서 출력된 전자밸브 폐쇄 제어신호에 의해 밸브 구동부(165)는 전자밸브 폐쇄 기준전압 및 전자밸브 폐쇄 구동전압이 제1릴레이(R1)와 제2릴레이(R2)를 통해 출력되면 노말 클로즈(Normal Close)의 상태인 제2, 제1릴레이 스위치(R2c, R1c)의 폐쇄 통로인 ⓛ번 라인을 따라 전기적으로 폐루프가 형성되어 주제어부(161)로 피드백되며, 주제어부(161)는 상기 검출 및 비교부(140)로부터 출력되는 신호를 제공받아 밸브부(100)의 정상 작동 여부를 판단하게 된다.
또한, 주제어부(161)에서 출력된 전자밸브 개방 제어신호에 의해 밸브 구동부(165)의 전자밸브 개방 기준전압 및 전자밸브 개방 구동전압이 제1릴레이(R1)와 제2릴레이(R2)를 통해 출력되면 노말 오픈(Normal Open) 상태인 제1, 제2릴레이 스위치(R1o, R2o) 의 폐쇄 통로인 ④번 라인을 따라 전기적으로 폐루프가 형성되고, 센서부(120)에서 감지한 밸브 작동상태 검출신호는 검출 및 비교부(140)의 폐루프를 통해 주제어부(161)로 피드백되며, 주제어부(161)는 피드백된 신호와 밸브 작동 기준신호와 비교하여 밸브부(100)의 작동 상태를 판단하게 된다.
그러므로, 주제어부(161)에서는 피드백된 신호에 따라 밸브부(100)를 정상적으로 동작시키거나 에러 상태를 경보할 수 있다.
다음으로, 밸브 구동부(165)에서 전자밸브 개폐 구동전압만 출력되도록 구동 신호를 출력하여 제2릴레이(R2)만 온되게 하면, 노말 오픈 상태인 제2릴레이 스위치(R2o)가 온되어 ②번 라인을 따라 폐루프가 형성된다.
또한, 밸브 구동부(165)에서 전자밸브 기준전압만 출력되도록 구동신호를 출력하여 제1릴레이(R1)만 온되게 하면, 노말 오픈 상태인 제1릴레이 스위치(R1b)가 온되어 ③번 라인을 따라 폐루프가 형성된다.
그러므로, 주제어부(161)는 검출 및 비교부(140)를 통해 출력되는 신호를 제공받아 밸브부(100)의 개폐 상태와 검출 및 비교부(140)의 작동 상태를 판단하고, 현재 밸브 구동 상태와 다른 신호와 검출 및 비교부(140)로부터 출력되면 이상 신호를 발생하고, 밸브 구동부(165)를 재차 제어하여 밸브부(100)를 재작동시킬 수 있다.
상기에서 설명한 것을 표로 도시하면 다음과 같다.
상기 표1에서 알 수 있듯이 전자밸브 기준전압(R1)과 전자밸브 개폐 구동전압(R2)의 신호 상태가 동일해야 정상임을 알 수 있고, 전류 루프 ②의 경우에는 사용자에 따라 정사으로 보거나 비정상적으로도 볼 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에서는, 제어부에서 전자밸브가 재폐되도록 구동신호를 출력하기 전에 전자밸브의 상태를 사전 검색하여 구동신호를 출력함으로써, 전자밸브가 효율적으로 작동되도록 하여 반도체 제품의 품질 향상과 기계설비의 이상 동작에 의한 산업 재해를 방지하는 효과가 있다.

Claims (10)

  1. 반도체 제조 공정 중 제조 설비 장치에 가스 공급라인의 가스 공급을 개폐하는 밸브수단을 포함하는 반도체 제조 장비에 있어서, 상기 밸브수단의 개폐 상태를 감지하여 그에 상응하는 신호를 발생하는 센서수단; 상기 센서수단에서 출력된 피드백 신호 및 상기 밸브수단으로 출력되는 동일한 신호를 입력받아 그 두 신호를 비교한 후 그에 상응하는 보상신호를 출력하는 검출 및 비교수단; 및 상기 검출 및 비교수단에서 출력된 신호에 의해 상기 밸브수단의 개폐 상태를 판단하여 에러 유무를 결정하고 상기 밸브수단을 반복 구동하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  2. 제1항에 있어서, 센서수단은, 상기 제어수단과 전자밸브를 연결하는 라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 제1센서를 구비하여 전자밸브에 인가되는 전압을 감지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  3. 제1항에 있어서, 센서수단은, 상기 전자밸브의 작동으로 인해 에어가 공급되는 에어라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 제2센서수단을 구비하여 에어라인의 에어 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  4. 제1항에 있어서, 센서수단은, 상기 가스 공급라인과 상기 검출 및 비교수단 사이에 제3센서수단을 구비하여 라인의 가스 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  5. 제1항에 있어서, 센서수단은, 상기 제어수단과 전자밸브를 연결하는 라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 전자밸브의 작동 여부를 감지하는 제1센서수단; 및 상기 에어라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 에어의 압력을 감지하는 제2센서수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  6. 제1항에 있어서, 센서수단은, 상기 에어라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 에어의 압력을 감지하는 제2센서수단; 및 상기 가스 공급라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 가스의 공급여부를 감지하는 제3센서수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  7. 제1항에 있어서, 센서수단은, 상기 제어수단과 전자밸브를 연결하는 라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 전자밸브의 작동 여부를 감지하는 제1센서수단; 및 상기 가스 공급라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 가스의 공급 여부를 감지하는 제3센서수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  8. 제1항에 있어서, 센서수단은, 상기 제어수단과 전자밸브를 연결하는 라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 전자밸브의 작동 여부를 감지하는 제1센서수단; 상기 에어라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 에어의 압력을 감지하는 제2센서수단; 및 상기 가스 공급라인 및 상기 검출 및 비교수단 사이에 설치되어 가스의 공급 여부를 감지하는 제3센서수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 제어수단은, 상기 검출 및 비교수단으로부터 피드백된 밸브작동 검출 신호에 의해 보상된 제어 신호를 출력하는 주제어부; 및 상기 주제어부에서 출력된 제어 신호에 따라 전자밸브의 구동 전압을 출력하는 밸브 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
  10. 제1항 또는 제9항에 있어서, 상기 검출 및 비교수단은, 제1노드와 제2노드 사이에 각각 병렬로 설치되고, 상기 밸브 구동수단의 전자밸브 개폐 전압에 따라 상기 센서수단에서 감지한 신호를 스위칭하는 제1 및 제2릴레이 스위치; 및 상기 제2노드와 제3노드 사이에 각각 병렬로 설치되고, 상기 밸브 구동 수단의 전자밸브 개폐 전압에 따라 스위칭되어 상기 센서수단에서 감지한 신호를 주제어부로 전달하는 제1 및 제2릴레이 스위치로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장비의 밸브 사전 검색 장치.
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