JP6434899B2 - 電空レギュレータ - Google Patents
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Description
(1)気体を入力する入力流路と、気体を出力する出力流路と、前記入力流路と前記出力流路との間に配設される給気用電磁弁と、前記出力流路に配設されて圧力を検出する圧力検出手段と、前記給気用電磁弁と前記圧力検出手段との間で前記出力流路から分岐する第1排気流路と、前記第1排気流路に配設される第1排気用電磁弁と、前記給気用電磁弁と前記第1排気用電磁弁の開閉を制御する制御手段とを備える電空レギュレータにおいて、前記制御手段が、設定圧力値と前記圧力検出手段が検出する圧力検出値との差に基づいて、前記給気用電磁弁と前記第1排気用電磁弁の開閉をDuty制御する通常動作モードと、前記給気用電磁弁を弁閉状態にする一方、前記第1排気用電磁弁の開状態を維持する強制排気モードとを切り換える切換手段を有すること、前記給気用電磁弁と前記圧力検出手段との間で前記出力流路から分岐し、前記第1排気用電磁弁の二次側で前記第1排気流路に接続する第2排気流路と、前記第2排気流路に配設される第2排気用電磁弁とを有すること、前記制御手段は、前記切換手段が前記強制排気モードに切り換えられた場合に、前記第2排気用電磁弁を開状態にすること、を特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係る電空レギュレータ1の回路図である。図1に示す電空レギュレータ1は、例えば、半導体製造装置のウエハに薬液を吐出するディスペンサ装置に使用される。電空レギュレータ1は、ディスペンサの可動部に設置される。電空レギュレータ1は、出力ポート17が可動部に内設されたシリンジに接続され、シリンジに供給するエア(気体の一例)を制御する。ディスペンサ装置は、電空レギュレータ1が出力ポート17からエアを設定圧力値で出力すると、シリンジが加圧されて薬液を吐出する。その後、ディスペンサ装置は、電空レギュレータ1の出力ポート17の圧力を大気に戻すことにより、シリンジが加圧されなくなって薬液を吐出しなくなる。尚、この場合、薬液の吐出量は、電空レギュレータ1がシリンジに出力するエアの出力圧力と、薬液を吐出する時間により、決定される。かかるディスペンサ装置は、電空レギュレータ1を可動部に一体的に設けてシリンジの近くに配置するので、電空レギュレータ1を可動部と別の場所に設置する場合と比べ、電空レギュレータ1からシリンジにエアを供給する配管の容積が小さくなり、コンパクト化できると共に、応答性良く薬液を制御できる。
続いて、本発明の第2実施形態について説明する。図3は、本発明の第2実施形態に係る電空レギュレータ1Aの回路図である。第2実施形態の電空レギュレータ1Aは、第1排気弁13の他に第2排気用電磁弁(以下「第2排気弁」ともいう。)25を備える点を除き、第1実施形態の電空レギュレータ1と同様に構成されている。ここでは、第1実施形態と共通する構成には第1実施形態と共通する符号を図面と説明に使用し、説明を適宜割愛し、第1実施形態と相違する点を中心に説明する。
12 給気用電磁弁
13 第1排気用電磁弁
16 圧力センサ(圧力検出手段の一例)
18 制御回路(制御手段の一例)
21 入力流路
22 出力流路
23 第1排気流路
24 第2排気流路
25 第2排気用電磁弁
Claims (2)
- 気体を入力する入力流路と、気体を出力する出力流路と、前記入力流路と前記出力流路との間に配設される給気用電磁弁と、前記出力流路に配設されて圧力を検出する圧力検出手段と、前記給気用電磁弁と前記圧力検出手段との間で前記出力流路から分岐する第1排気流路と、前記第1排気流路に配設される第1排気用電磁弁と、前記給気用電磁弁と前記第1排気用電磁弁の開閉を制御する制御手段とを備える電空レギュレータにおいて、
前記制御手段が、設定圧力値と前記圧力検出手段が検出する圧力検出値との差に基づいて、前記給気用電磁弁と前記第1排気用電磁弁の開閉をDuty制御する通常動作モードと、前記給気用電磁弁を弁閉状態にする一方、前記第1排気用電磁弁の開状態を維持する強制排気モードとを切り換える切換手段を有すること、
前記給気用電磁弁と前記圧力検出手段との間で前記出力流路から分岐し、前記第1排気用電磁弁の二次側で前記第1排気流路に接続する第2排気流路と、
前記第2排気流路に配設される第2排気用電磁弁とを有すること、
前記制御手段は、前記切換手段が前記強制排気モードに切り換えられた場合に、前記第2排気用電磁弁を開状態にすること、
を特徴とする電空レギュレータ。 - 請求項1に記載する電空レギュレータにおいて、
前記切換手段は、前記制御手段が上位装置から入力する信号に基づいて前記通常動作モードと前記強制排気モードとを切り換えること
を特徴とする電空レギュレータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015246114A JP6434899B2 (ja) | 2015-12-17 | 2015-12-17 | 電空レギュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015246114A JP6434899B2 (ja) | 2015-12-17 | 2015-12-17 | 電空レギュレータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017111653A JP2017111653A (ja) | 2017-06-22 |
JP6434899B2 true JP6434899B2 (ja) | 2018-12-05 |
Family
ID=59081589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015246114A Active JP6434899B2 (ja) | 2015-12-17 | 2015-12-17 | 電空レギュレータ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6434899B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56105512A (en) * | 1980-01-28 | 1981-08-22 | Toshiba Corp | Automatic gaseous pressure control device |
JPH0736551A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Smc Corp | 電空レギュレータ用圧力制御装置 |
JP4615753B2 (ja) * | 2001-03-29 | 2011-01-19 | シーケーディ株式会社 | 電空レギュレータ |
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2015
- 2015-12-17 JP JP2015246114A patent/JP6434899B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017111653A (ja) | 2017-06-22 |
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