KR100693197B1 - 비전검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 피검사물이 적재되는 스테이지를 포함하는 비전검사장치에 관한 것으로서, 진공에 의한 부압으로 피검사물을 승강시키는 픽업부재와; 상기 픽업부재를 상기 스테이지로 이송하거나 상기 스테이지로부터 소정의 위치로 이송하는 이송부와; 상기 픽업부재에 결합되어, 상기 픽업부재가 피검사물을 들어올리도록 진공을 형성하고, 송풍을 하여 진공을 해제함으로써 피검사물을 내려놓으며 상기 스테이지 위에 놓인 피검사물 상의 파티클을 제거하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 구조가 간단하며 피검사물의 파티클을 효율적으로 제거할 수 있는 비전검사장치를 제공할 수 있다.

Description

비전검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING PICTURE}

도 1은 본 발명에 따른 비전검사장치의 개략적인 구성을 나타내는 사시도,

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 비전검사장치의 작동과정을 나타내는 정면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 비전검사장치 10 : 픽업부재

13 : 노즐 15 : 연결튜브

20 : 이송부 23 : 실린더

25 : 이송틀 27 : 레일

30 : 스테이지 31 : 고정핀

40 : 공급부 50 : 취출부

P : 펌프

본 발명은, 비전검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 제조 공정 과정에서 피검사물 상에 발생하는 파티클을 효율적으로 제거할 수 있도록 구조를 개 선한 비전검사장치에 관한 것이다.

컴퓨터를 기반으로 하는 현대의 정보화 사회에서는 다양한 분야에서 수많은 전자부품을 필요로 한다. 이러한 전자부품을 제조하는 공정에서 중요시되는 비전검사는, 카메라를 이용한 비전 기술을 적용해 피검사물의 표면 또는 내부에 있는 스크래치, 이물 기포 등의 결함 유무를 컴퓨터 등으로 검사하여 불량품을 다음 공정으로 흘려보내지 않도록 한다.

그런데 비전검사 중에 공정 특성 및 환경 등의 영향으로, 피검사물 상에 먼지를 비롯한 여러 파티클이 발생하여 피검사물 위에 쌓이는 경우가 발생한다. 이러한 파티클은 비전검사가 수행될 때에 검사의 정확도와 신뢰성을 떨어뜨리는 원인이 된다.

종래의 비전검사장치는 상술한 파티클을 제거하기 위해 소정의 위치로부터 피검사물이 이송되어 적재되는 스테이지와, 피검사물 상의 파티클을 제거하기 위해 송풍을 하는 송풍기를 스테이지의 일측에 별도로 마련한다.

이러한 구성에 의하여, 스테이지 상에 피검사물이 적재되면 스테이지의 일측에 마련된 송풍기가 강한 바람을 피검사물에 분사하여 피검사물 상의 파티클을 제거한다.

그런데, 이러한 종래의 비전검사장치에 있어서는, 파티클을 제거하는 송풍기가 기존 장비 때문에 설치 위치가 제한을 받게 되고, 송풍기의 위치가 고정되기 때문에 송풍기에서 분사되는 바람이 피검사물의 일부에만 집중되게 되어 전체적으로 파티클 제거 효과가 고르게 나타나지 않는 문제점이 있다. 실제로, 송풍기에서 분 사되는 바람이 피검사물에 직접 접촉하는 부분의 파티클을 날리면서, 바람이 직접 닿지 않는 피검사물의 일측에 파티클이 다시 쌓이는 경우가 발생한다.

또한 이러한 종래의 비전검사장치에 있어서는, 파티클을 제거하는 송풍기를 별도로 설치해야 하기 때문에, 장비의 구성이 복잡하고 비용이 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은, 피검사물 상에 발생하는 파티클을 효율적으로 제거할 수 있으며 간단한 구조를 가지는 비전검사장치를 제공하는 것이다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 피검사물이 적재되는 스테이지를 포함하는 비전검사장치에 있어서, 진공에 의한 부압으로 피검사물을 승강시키는 픽업부재와; 상기 픽업부재를 상기 스테이지로 이송하거나 상기 스테이지로부터 소정의 위치로 이송하는 이송부와; 상기 픽업부재에 결합되어, 상기 픽업부재가 피검사물을 들어올리도록 진공을 형성하고, 송풍을 하여 진공을 해제함으로써 피검사물을 내려놓으며 상기 스테이지 위에 놓인 피검사물 상의 파티클을 제거하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 이송부는 상기 스테이지 상의 피검사물의 판면부를 따라서 이동하면서 피검사물 위의 파티클을 제거하는 것이 바람직하다.

이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 비전검사장치(1)의 개략적인 구성을 나타내는 사시도 이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 비전검사장치(1)는 진공에 의한 부압으로 피검사물(B)을 승강시키는 픽업부재(10)와, 픽업부재(10)와 결합되어 픽업부재(10)를 이송하는 이송부(20)와, 피검사물(B)이 적재되어 파티클의 제거가 이루어지는 스테이지(30)와, 스테이지(30)로 이송되는 피검사물(B)이 공급되는 위치인 공급부(40)와, 스테이지(30) 상에서 파티클의 제거가 이루어진 피검사물(B)이 이송되어 적재되는 위치인 취출부(50)와, 픽업부재(10)에 연결튜브(15)를 통해 결합되어 진공의 형성 및 해제의 조절과 송풍을 하는 펌프(P)를 포함한다.

픽업부재(10)는 픽업부재본체(11)와, 픽업부재본체(11)의 저면에 적어도 하나 이상의 노즐(13)을 포함한다. 픽업부재본체(11)는 후술할 이송부(20)의 이송부본체(21)와 결합된다. 노즐(13)은 피검사물(B)에 직접 접촉하며, 후술할 펌프(P)와 연결튜브(15)를 통해서 연결된다. 이로써 노즐(13)은 진공에 의한 부압을 형성하여 픽업부재(10)가 피검사물(B)을 승강시킬 수 있게 하며, 바람을 분사하는 송풍구의 역할을 한다.

이송부(20)는 적어도 하나 이상의 픽업부재(10)와 결합되는 이송부본체(21)와 픽업부재(10)를 승강시키는 실린더(23)를 포함할 수 있다. 이송부본체(21)는 이송부의 구동을 위하여 별도의 구동부(미도시)를 포함할 수 있다. 이송부(20)가 용이하게 이동할 수 있도록, 이송부본체(21)는 이송부(20)를 안내하는 레일(27)을 포함하는 이송틀(25)에 장착된다.

스테이지(30)는 픽업부재(10)에 의해 피검사물(B)이 적재될 경우, 스테이지 (30) 상에 피검사물(B)의 위치를 고정시키는 고정핀(31)과, 상기 고정핀(31)에 피검사물(B)이 밀착하도록 피검사물(B)의 측면을 상기 고정핀(31)으로 미는 별도의 푸셔(미도시)를 포함할 수 있다. 검사 공정의 효율성에 따라서 비전검사장치(1)는 복수 개의 스테이지(7)를 포함할 수 있음은 물론이다.

펌프(P)는 공기의 흡인과 송풍을 수행한다. 공기의 흡인을 통해 진공을 형성하여 연결튜브(15)로 연결되는 노즐(13)에 부압을 형성하면, 노즐(13)에 피검사물(B)이 흡착되어 픽업부재(10)가 피검사물(B)을 들어올릴 수 있게 된다. 또한 진공상태를 멈추고 송풍을 하여 잔여진공을 제거함으로써 피검사물(B)을 이탈시킬 수 있다. 펌프(P)의 이 송풍기능은 파티클을 제거할 때에도 사용한다. 펌프(P)는 이송부(20)와 픽업부재(10)의 이동에 영향을 받지 않도록 위치하는 것이 바람직하다.

이러한 구성을 가지고, 본 발명에 따른 비전검사장치(1)가 피검사물(B)의 파티클을 제거하는 과정을 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 설명한다.

먼저, 도 2a에 도시된 바와 같이, 이송부(20)는 이송틀(25)의 레일(27)을 따라서 공급부(40) 위치로 이동한다. 공급부(40) 위치에서 이송부(20)는 이동을 멈추고, 실린더(23)가 구동하여 피검사물(B) 위로 픽업부재(10)가 하강한다. 픽업부재(10) 저면에 마련된 노즐(13)이 피검사물(B)과 접촉하면, 실린더(23)는 구동을 멈추고 픽업부재(10)는 하강을 정지한다.

노즐(13)과 피검사물(B)이 접촉하면, 펌프(P)가 구동하여 진공상태를 형성한다. 진공상태를 형성하는 펌프(P)는 노즐(13)에 연결된 연결튜브(15)를 통해 노즐(13)에 부압을 형성한다. 피검사물(B)은 부압에 의해 노즐(13)에 밀착한다. 그 후, 실린더(23)가 구동하면 픽업부재(10)는 상승하고, 노즐(13)에 밀착된 피검사물(B)은 픽업부재(10)에 의해 상승한다. 소정의 높이까지 픽업부재(10)가 상승한 후에 실린더(23)가 구동을 멈추면, 픽업부재(10)는 노즐(13)에 흡착된 피검사물(B)을 들어올린 상태가 된다. 이 경우, 펌프(P)는 노즐(13)에 부압을 형성하여야 하므로, 진공상태를 유지한다.

도 2b에 도시한 바와 같이, 이송부(20)는 이송틀(25)의 레일(27)을 따라서 스테이지(30) 위치로 이동한다. 스테이지(30) 위치에 도달한 이송부(20)는 이동을 멈추고, 실린더(23)가 구동하여 스테이지(30) 상으로 픽업부재(10)가 하강한다. 스테이지(30) 상에 피검사물(B)이 놓이면, 실린더(23)가 정지하여 픽업부재(10)의 하강이 정지한다.

진공상태를 유지하던 펌프(P)는 진공을 해제한 후에 송풍을 하여 잔여 진공을 제거한다. 이때 노즐(13)의 부압은 제거되며, 피검사물(B)은 노즐(13)로부터 이탈하여 스테이지(30) 상에 적재된다. 그리고 펌프(P)는 송풍을 정지한다.

도 2c에 도시한 바와 같이, 실린더(23)가 구동하여 픽업부재(10)는 피검사물(B)로부터 소정의 거리(z)를 이격할 때까지 상승한다. 실린더(23)는 구동을 정지하여 픽업부재(10)는 상승을 멈추고, 이송부(20)는 스테이지(30)의 한 쪽 모서리 부근의 소정의 위치(x)까지 이동한다.

펌프(P)는 송풍을 개시하여 피검사물(B)의 판면상에 있는 파티클을 제거하기 시작한다. 펌프(P)가 송풍을 지속하는 가운데, 피검사물(B)의 판면상 전체에 고르게 파티클이 제거될 수 있도록 이송부(20)는 피검사물(B)의 반대쪽 모서리 부근의 소정의 위치(y)까지 소정의 속도(v)로 이동한다. 스테이지(30) 상의 피검사물(B)의 파티클이 제거되면 펌프(P)는 송풍을 정지한다.

여기에서 픽업부재(10)로부터 스테이지(30) 상에 적재된 피검사물(B)까지의 이격거리(z)와, 파티클 제거시에 이송부(20)가 피검사물(B)의 판면상을 이동하는 시작점(x), 종착점(y) 및 이동속도(v)는 검사 공정의 여러 조건에 의해 달라질 수 있음을 밝힌다.

도 2d에 도시한 바와 같이, 파티클의 제거가 끝난 피검사물(B)을 스테이지(30)에서부터 취출부(50)로 이송하는 과정은, 피검사물(B)을 공급부(40)에서 스테이지(30)로 이송하는 과정과 동일하게 적용할 수 있으므로 설명을 생략한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 비전검사장치는 제조 공정 중에 피검사물 상에 발생하는 파티클을 픽업부재로 직접 송풍하여 제거함으로써, 피검사물의 판면상의 효율적인 위치에서 파티클을 제거하여 비전검사의 신뢰성과 정확도를 높일 수 있도록 한다.

또한 픽업부재를 스테이지에 놓인 피검사물로부터 이격하여 피검사물의 판면상을 따라 이동함으로써, 피검사물 일부에 파티클의 제거 효과가 미치지 못하는 것을 방지할 수 있으며, 비전검사장치에서 파티클의 제거를 위한 별도의 송풍기를 생략하여 구조를 간단히 함으로써 장치 비용을 절감할 수 있도록 한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 피검사물 상에 발생하는 파티클을 픽업부재의 송풍을 이용해서 효율적으로 제거하여 비전검사의 신뢰성과 정확도 를 높이며, 별도의 송풍기를 생략하여 구조를 간단히 할 수 있는 비전검사장치가 제공된다.

Claims (3)

1. 피검사물이 적재되는 스테이지를 포함하는 비전검사장치에 있어서,

   진공에 의한 부압으로 피검사물을 승강시키는 픽업부재와;

   상기 픽업부재를 상기 스테이지로 이송하거나 상기 스테이지로부터 소정의 위치로 이송하는 이송부와;

   상기 픽업부재에 결합되어, 상기 픽업부재가 피검사물을 들어올리도록 진공을 형성하고, 송풍을 하여 진공을 해제함으로써 피검사물을 내려놓으며 상기 스테이지 위에 놓인 피검사물 상의 파티클을 제거하는 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 이송부가 상기 스테이지 상의 피검사물의 판면부를 따라서 이동하면서 피검사물 위의 파티클을 제거하는 것을 특징으로 하는 비전검사장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 픽업부재는,

   픽업부재본체와;

   상기 펌프와 연결되게 상기 픽업부재본체 저면에 마련되고, 피검사물에 접촉하여 부압을 형성 가능하며 상기 펌프에서 형성된 바람이 분사되는 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사장치.

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