KR100681500B1 - 기판의 자동 언로딩 장치 - Google Patents

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KR100681500B1 KR1020050113431A KR20050113431A KR100681500B1 KR 100681500 B1 KR100681500 B1 KR 100681500B1 KR 1020050113431 A KR1020050113431 A KR 1020050113431A KR 20050113431 A KR20050113431 A KR 20050113431A KR 100681500 B1 KR100681500 B1 KR 100681500B1
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김유광
김철호
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주식회사 이큐스팜
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Abstract

본 발명은 기판의 자동 언로딩 장치를 개시한다. 본 발명에 따르면, 베이스 프레임; 베이스 프레임의 일 측에 마련되며, 기판을 얹어 기판 로딩 위치로 공급하는 기판 공급 유닛; 베이스 프레임의 타 측에 마련되며, 랙(rack)을 얹어 기판 언로딩 위치로 투입하는 랙 투입 유닛; 기판 공급 유닛의 측방 상측에 배치되며, 랙 투입 유닛의 측방으로 회전할 수 있게 베이스 프레임의 지지 부재에 힌지 결합한 암(arm) 부재; 기판 로딩 위치로 공급된 기판을 흡착하여 기판 언로딩 위치로 이송된 랙 상에 운반하는 것으로, 암 부재에 승강 가능하게 결합한 기판 흡착 유닛; 및 기판 흡착 유닛과 일 측에서 힌지 결합하며 그 이동에 따라 기판 흡착 유닛이 승강하게 함과 동시에 암 부재가 기판 로딩 위치와 기판 언로딩 위치 사이를 왕복 이동하게 하는 어태치먼트(attachment) 체인과, 어태치먼트 체인과 결합하여 어태치먼트 체인의 이동 경로를 한정하는 복수의 스프로킷들, 및 스프로킷들 중 어느 하나를 정역회전시키는 서보 모터를 구비한 구동 유닛;을 포함한다.

Description

기판의 자동 언로딩 장치{Apparatus for unloading substrate automatically}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 자동 언로딩 장치에 대한 정면도.
도 2는 도 1에 도시된 기판의 자동 언로딩 장치에 대한 측면도.
도 3은 도 1에 도시된 암 부재, 기판 흡착 유닛, 및 구동 유닛을 발췌하여 도시한 사시도.
도 4 내지 도 6은 도 3에 있어서, 구동 유닛에 의한 암 부재 및 기판 흡착 유닛의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.
〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉
110..베이스 프레임 120.기판 공급 유닛
130..랙 투입 유닛 140..암 부재
150..기판 흡착 유닛 160..구동 유닛
161..어태치먼트 체인 163..서보 모터
본 발명은 기판의 자동 언로딩 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소정 공정을 마친 기판을 랙 상에 신속하게 순차적으로 언로딩할 수 있도록 구조가 개선된 기판의 자동 언로딩 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 패턴형성 작업이나 세정 작업 등의 공정을 거쳐 배출되는 기판은 별도의 랙(rack)에 차례로 언로딩된 후 다음 공정을 위해 운반된다. 이러한 기판의 언로딩은 작업자에 의한 수작업으로 행해질 수 있는데, 이 경우 단순 작업의 반복으로 인해 작업자의 피로가 증가하여 생산성 저하가 초래될 수 있으며, 기판의 적재시 작업자의 부주의로 인해 기판이 손상될 우려가 있다.
이 같은 문제를 해결하고자 기판을 자동으로 언로딩할 수 있는 장치가 제안되고 있다. 한편, 이러한 장치는 기판을 이동시키는 과정에서 기판을 수평으로 집어 수직으로 세워 놓거나 수직으로 집어 수평으로 뉘어 놓을 수 있는 기능을 갖도록 구성될 수 있는데, 이를 위해 종래에 따르면 서보 모터로 작동하는 다수의 로봇을 이용하는 것이 일반적이었다. 그런데, 이 경우 제조 비용이 높아지게 되며, 고속 이송 중 타이밍 벨트와 기어 등의 마모로 인해 철분과 같은 파티클이 기판에 떨어짐에 따라 기판의 손상을 유발하는 문제가 있었다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 비교적 간단한 구성을 갖고도 더욱 신속하고 정확하게 기판을 랙 상에 차례차례 자동으로 언로딩할 수 있으며, 제조 비용을 절감할 수 있는 한편, 철분 낙하와 같은 문제를 방지할 수 있는 기판의 언로딩 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판의 자동 언로딩 장치는, 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 일 측에 마련되며, 기판을 얹어 기판 로딩 위치로 공급하는 기판 공급 유닛; 상기 베이스 프레임의 타 측에 마련되며, 랙(rack)을 얹어 기판 언로딩 위치로 투입하는 랙 투입 유닛; 상기 기판 공급 유닛의 측방 상측에 배치되며, 상기 랙 투입 유닛의 측방으로 회전할 수 있게 상기 베이스 프레임의 지지 부재에 힌지 결합한 암(arm) 부재; 상기 기판 로딩 위치로 공급된 기판을 흡착하여 상기 기판 언로딩 위치로 이송된 랙 상에 운반하는 것으로, 상기 암 부재에 승강 가능하게 결합한 기판 흡착 유닛; 및 상기 기판 흡착 유닛과 일 측에서 힌지 결합하며 그 이동에 따라 상기 기판 흡착 유닛이 승강하게 함과 동시에 상기 암 부재가 상기 기판 로딩 위치와 기판 언로딩 위치 사이를 왕복 이동하게 하는 어태치먼트(attachment) 체인과, 상기 어태치먼트 체인과 결합하여 상기 어태치먼트 체인의 이동 경로를 한정하는 복수의 스프로킷들, 및 상기 스프로킷들 중 어느 하나를 정역회전시키는 서보 모터를 구비한 구동 유닛;을 포함한다.
여기서, 상기 스프로킷들은 상기 어태치먼트 체인의 이동에 따라 상기 기판 흡착 유닛이 상기 기판 로딩 위치로부터 상승하다가 상기 암 부재와 함께 상기 기판 언로딩 위치로 회전한 후 상기 기판 언로딩 위치로 투입된 랙의 경사면을 향해 하강하며, 상기 기판 흡착 유닛이 상기 랙의 경사면으로부터 상승하다가 상기 암 부재와 함께 상기 기판 로딩 위치로 회전한 후 하강할 수 있게 배치된 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 자동 언로딩 장치에 대한 정면도를 나타낸 것이며, 도 2는 도 1에 도시된 기판의 자동 언로딩 장치에 대한 측면도를 나타낸 것이다. 그리고, 도 3은 도 1에 도시된 암 부재, 기판 흡착 유닛, 및 구동 유닛을 발췌한 사시도를 나타낸 것이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 자동 언로딩 장치(100)는, 베이스 프레임(110), 기판 공급 유닛(120), 랙 투입 유닛(130), 암(arm) 부재(140), 기판 흡착 유닛(150), 및 구동 유닛(160)을 포함하여 구성된다.
베이스 프레임(110)의 하단에는 코너마다 적어도 하나씩 이동용 바퀴(111)가 부착된다. 이러한 이동용 바퀴(111)는 장치(100) 전체를 원하는 곳으로 이동시키는 것을 용이하게 한다. 그리고, 베이스 프레임(110)의 하단에는 이동용 바퀴(111)에 의해 장치(100)가 최종적으로 이동한 상태에서 움직이지 않도록 적어도 4 개 이상의 받침대(112)들이 마련된다. 이러한 각 받침대(112)는 이동용 바퀴(111)보다 하방으로 더 인출될 수 있는 구조를 갖는다.
베이스 프레임(110)의 우측에는 기판 공급 유닛(120)이 마련된다. 기판 공급 유닛(120)은 패턴형성 작업이나 세정 작업 등의 공정을 거쳐 배출되는 기판(P)을 하나씩 기판 로딩 위치(A)로 공급하기 위한 것이다. 이를 위한 기판 공급 유닛(120)은 기판(P)이 진입하는 방향과 수직인 방향으로 배열된 다수의 롤러(121)들 과, 롤러(121)들 중에서 기판(P)이 진입하는 측에 위치한 적어도 하나를 회전시키는 구동 수단을 구비한다. 여기서, 구동 수단은 모터(122)와, 모터(122)의 회전 축에 설치된 구동 풀리(123)와, 롤러(121)들 중에서 기판(P)이 진입하는 측에 위치한 2 개의 각 회전 축에 설치된 종동 풀리(124)들, 및 구동 풀리(123)와 종동 풀리(124)들에 걸쳐지게 설치되어 동력을 전달하는 벨트(125)를 포함하여 구성될 수 있다. 그리고, 기판 공급 유닛(120)에는 기판(P)이 기판 로딩 위치(A)로 공급된 상태에서 멈추어 대기할 수 있게 통상적인 스토퍼가 구비된다. 이러한 스토퍼는 기판(P)이 기판 로딩 위치(A)를 지나쳐 진행하지 않게 하는 것이면 어떠한 구성이든 가능하다.
베이스 프레임(110)의 좌측에는 랙(135)을 얹어 기판 언로딩 위치(B)로 투입하기 위한 랙 투입 유닛(130)이 마련된다. 여기서, 랙(135)은 경사면에 기판 로딩 위치(A)로부터 기판 언로딩 위치(B)로 운반된 기판(P)이 순차적으로 소정 량 적재되게 한 후, 다음 공정을 위해 이동되게 하기 위한 것이다. 랙 투입 유닛(130)은 랙(135)을 기판 언로딩 위치(B)로 용이하게 이동시킬 수 있도록, 랙(135)이 진행하는 방향과 수직인 방향으로 배열된 다수의 롤러(131)들을 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 롤러(131)들은 작업자가 랙(135)을 수작업으로 기판 언로딩 위치(B)로 투입하는 것을 단지 안내할 수 있게 동작하거나, 랙(135)을 자동으로 기판 언로딩 위치(B)로 투입할 수 있게 적어도 하나가 구동수단에 의해 동작할 수 있다. 그리고, 랙 투입 유닛(130)에는 랙(135)이 기판 언로딩 위치(B)로 투입된 상태에서 고정될 수 있게 통상적인 클램프 수단이 구비된다.
기판 공급 유닛(120)의 측방 상측에는 랙 투입 유닛(130)의 측방으로 회전할 수 있게 암 부재(140)가 배치된다. 이를 위해, 베이스 프레임(110) 상에는 지지 부재(115)가 설치되며, 이러한 지지 부재(115)의 상측에 암 부재(140)가 힌지 결합이 된다. 상술하면, 지지 부재(115)는 상호 간에 이격이 되며 수직으로 각각 배치된 지지판들(116,117)로 이루어진다. 그리고, 이러한 지지판들(116,117)에 암 부재(140)가 힌지 결합이 될 수 있도록, 지지판들(116,117) 사이에는 힌지 축(118)이 회전 지지가 되게 설치되며, 힌지 축(118)에는 암 부재(140)의 상단부가 끼워진 후 고정 부재(141)에 의해 고정되게 설치된다.
암 부재(140)에는 기판 흡착 유닛(150)이 승강 가능하게 설치된다. 이러한 기판 흡착 유닛(150)이 암 부재(140)에 승강 가능할 수 있도록, 암 부재(140)에는 상하로 각각 연장되며 상호 간에 이격이 된 한 쌍의 가이드 봉(145)들이 마련되며, 기판 흡착 유닛(150)에는 가이드 봉(145)들에 각각 끼워져 승강 안내되게 결합한 승강 부재(151)가 마련된다. 그리고, 기판 흡착 유닛(150)은 기판 로딩 위치(A)로 공급된 기판(P)을 흡착하여 기판 언로딩 위치(B)로 이송된 랙(135) 상에 내려놓을 수 있도록, 홀더(153)와, 홀더(153)에 하방으로 배열되게 결합한 진공 발생기(154)들, 및 진공 발생기(154)들에 설치된 압축공기 공급기(155)를 구비한다.
홀더(153)는 기판(P)에 상응하는 크기를 가지며, 수평으로 위치한 연결 부재(152)를 매개로 승강 부재(151)와 연결된다. 진공 발생기(154)들은 기판(P)을 흡착할 때 기판(P)에 충격이 가해지지 않도록 홀더(153)에 탄성 지지가 되게 설치되는 것이 바람직하다. 압축공기 공급기(155)는 기판 로딩 위치(A)에서 진공 발생기 (154)들에 기판(P)이 흡착될 때 진공 발생기(154)들에 압축공기를 공급하며, 기판 언로딩 위치(B)에서 진공 발생기(154)들로부터 기판(P)이 분리될 때 진공 발생기(154)들로 압축공기의 공급을 중단하도록 제어된다. 압축공기 공급기(155)의 제어는 시스템 전반을 제어하는 컨트롤러에서 이루어질 수 있다.
이러한 기판 흡착 유닛(150)은 기판 로딩 위치(A)로부터 흡착한 기판(P)을 기판 언로딩 위치(B)로 언로딩할 수 있게 암 부재(140)와 함께 이동하여야 하는데, 이는 구동 유닛(160)에 의해 구현될 수 있다.
구동 유닛(160)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 어태치먼트(attachment) 체인(161)과, 어태치먼트 체인(161)의 이동 경로를 한정하도록 배치된 복수의 스프로킷들(162a,162b,162c,162d), 및 스프로킷들(162a,162b,162c,162d) 중 어느 하나를 정역회전시키는 서보 모터(163)를 구비한다.
어태치먼트 체인(161)은 이동함에 따라 기판 흡착 유닛(150)이 승강하게 함과 동시에 암 부재(140)가 기판 로딩 위치(A)와 기판 언로딩 위치(B) 사이를 왕복 이동하게 한다. 상술하면, 어태치먼트 체인(161)은 기판 흡착 유닛(150)과 일 측에서 힌지 결합한다. 이를 위해, 도 2에 도시된 바와 같이, 어태치먼트 체인(161)에 마련된 어태치먼트(161a)에 회전 부재(171)가 고정 결합하며, 회전 부재(171)의 일단부가 기판 흡착 유닛(150)의 승강 부재(151)에 회전 지지가 되게 결합한다. 또한, 회전 부재(171)의 타단부는 기판 흡착 유닛(150)이 기판 로딩 위치(A)와 기판 언로딩 위치(B) 사이를 원활하게 이동할 수 있게 가이드 수단에 의해 안내된다. 여기서, 가이드 수단은 도 2에 도시된 바와 같은 회전 부재(171)의 단부에 설치된 가 이드 롤러(172)와, 가이드 롤러(172)가 삽입되게 형성되되 도 3에 도시된 바와 같이 지지판들(116,117) 중 후방에 위치한 지지판(117)에 기판 흡착 유닛(150)의 이동 궤적과 상응하게 형성된 가이드 홀(117a)을 포함하여 구성될 수 있다. 이렇게 어태치먼트 체인(161)과 기판 흡착 유닛(150) 사이가 힌지 결합함에 따라, 어태치먼트(161a)가 제1 스프로킷(162a)을 반 시계 방향으로 지나는 동안에 기판 흡착 유닛(150)이 기판 언로딩 위치(B)로 회전할 수 있게 되며, 어태치먼트(161a)가 제1 스프로킷(162a)을 시계 방향으로 지나는 동안에 기판 흡착 유닛(150)이 기판 언로딩 위치(A)로 회전할 수 있게 된다.
스프로킷들(162a,162b,162c,162d)은 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 어태치먼트 체인(161)이 반 시계 방향으로 이동함에 따라 기판 흡착 유닛(150)이 기판 로딩 위치(A)로부터 상승하다가 암 부재(140)와 함께 기판 언로딩 위치(B)를 향해 시계 방향으로 회전한 후 기판 언로딩 위치(A)로 투입된 랙(135)의 경사면을 향해 하강하며, 어태치먼트 체인(161)이 시계 방향으로 이동함에 따라 기판 흡착 유닛(150)이 기판 언로딩 위치(B)에 투입된 랙(135)의 경사면으로부터 상승하다가 암 부재(140)와 함께 기판 로딩 위치(A)를 향해 반 시계 방향으로 회전한 후 하강할 수 있게 하는 어태치먼트 체인(161)의 이동 경로를 한정하도록 배치된다.
상술하면, 우측 상방에 위치한 제1 스프로킷(162a)과 우측 하방에 위치한 제2 스프로킷(162b)은 어태치먼트 체인(161)의 우측부가 수직으로 위치되게 배치된다. 여기서, 제1 스프로킷(162a)은 암 부재(140)의 힌지 결합한 부위보다 하측에 배치되며, 제2 스프로킷(162b)은 기판 로딩 위치(A)보다 하측에 배치된다. 그리고, 제1 스프로킷(162a)과 좌측 하방에 위치한 제3 스프로킷(162c)은 어태치먼트 체인(161)의 상측부가 경사지되 랙(135)의 경사면에 수직으로 위치되게 배치된다. 여기서, 제3 스프로킷(162c)은 기판 언로딩 위치(B)보다 좌측으로 치우치게 배치된다. 제2 스프로킷(162b)과 제3 스프로킷(162c) 사이에는 상하로 위치 조정될 수 있는 제4 스프로킷(162d)이 더 배치될 수 있다. 이러한 제4 스프로킷(162d)은 어태치먼트 체인(161)의 장력을 일정 수준으로 유지하게 한다.
서보 모터(163)는 제3 스프로킷(162c) 측에 설치되어 동력전달수단에 의해 제3 스프로킷(162c)을 정역회전시킨다. 여기서, 동력전달수단은 서보 모터(163)의 회전 축에 결합한 구동 스프로킷(164)과, 제3 스프로킷(162d)과 축으로 결합한 피동 스프로킷(165), 및 구동 스프로킷(164)과 피동 스프로킷(165) 사이에 설치되어 구동 스프로킷(164)의 회전력을 피동 스프로킷(165)으로 전달하는 체인(166)을 포함하여 구성될 수 있다.
이러한 서보 모터(163)는 랙(135) 상에 기판(P)이 적재된 상태를 감지하기 위해 기판 흡착 유닛(150)에 마련된 감지센서(156)와 연계하여 어태치먼트 체인(161)의 이동을 제어할 수 있다. 즉, 감지센서(156)는 기판 흡착 유닛(150)에 흡착된 기판(P)이 랙(135)의 최외측에 위치한 기판(P)과 접촉하게 되면 이를 감지하여 서보 모터(163)에 제공하며, 이렇게 제공받은 서보 모터(163)는 회전을 멈추어 어태치먼트 체인(161)이 더 이상 이동하지 않게 한다. 이를 반복 수행하게 되면 랙(135) 상에 기판(P)이 순차적으로 적재될 수 있다.
감지센서(156)로는 기판 흡착 유닛(150)에 흡착된 기판(P)과 랙(135)의 최외 측에 위치한 기판(P) 사이의 접촉 압력이 소정 값 이상임을 감지할 수 있는 압력센서가 이용되는 것이 바람직하나, 이에 반드시 한정되지는 않는다. 이러한 감지센서(156)는 감지한 정보를 시스템 전반을 제어하는 컨트롤러에 제공함으로써, 컨트롤러가 압축공기 공급기(155)를 제어하도록 하는데 이용될 수도 있다.
상기와 같이 구성된 기판의 자동 언로딩 장치(100)에 의해 기판(P)을 언로딩하는 과정을 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 기판(P)이 기판 공급 유닛(120)에 의해 기판 로딩 위치(A)로 공급되어 대기하게 되면, 압축공기 공급기(155)가 작동하여 진공발생기(154)들에 진공압이 발생함으로써 기판 흡착 유닛(150)에 기판(P)이 흡착된다. 이러한 상태에서 서보 모터(163)가 어태치먼트 체인(161)이 반 시계 방향으로 이동하도록 작동하게 되면, 기판 흡착 유닛(150)은 기판(P)을 흡착한 상태로 어태치먼트 체인(161)의 이동에 따라 점차 상승하게 된다. 상승하던 기판 흡착 유닛(150)은 어태치먼트(161a)와 결합한 부위가 제1 스프로킷(162a)에 도달한 시점부터 시계 방향으로 점차 회전을 하게 되고 이에 따라 암 부재(140)도 시계 방향으로 점차 회전하게 된다. 회전하던 기판 흡착 유닛(150)은 어태치먼트(161a)와 결합한 부위가 제1 스프로킷(162a)으로부터 벗어나는 시점부터 랙(135)의 경사면을 향해 점차 하강하게 된다. 하강하던 기판 흡착 유닛(150)은 흡착한 기판(P)이 랙(135)의 경사면 또는 최외측에 위치한 기판(P)에 도달하여 접촉하게 되면 감지센서(156)에 의해 서보 모터(163)의 작동이 멈추게 됨으로써 더 이상 하강하지 않고 정지하게 된다. 이와 동시에 압축공기 공급기(155)의 작동 또한 멈추게 되어 진공발생기(154)들에 진공압이 해제됨으로써 기판 흡착 유닛(150)으로부터 기판(P)이 분리되어 기판 언로딩 위치(B)의 랙(135) 상에 언로딩된다.
이렇게 랙(135) 상에 기판(P)이 언로딩된 후, 서보 모터(163)가 어태치먼트 체인(161)을 시계 방향으로 이동하도록 작동하게 되면, 기판 흡착 유닛(150)은 어태치먼트 체인(161)의 이동에 따라 점차 상승을 하게 된다. 상승하던 기판 흡착 유닛(150)은 어태치먼트(161a)와 결합한 부위가 제1 스프로킷(162a)에 도달한 시점부터 반 시계 방향으로 점차 회전을 하게 되고 이에 따라 암 부재(140)도 시계 방향으로 점차 회전을 하게 된다. 회전하던 기판 흡착 유닛(150)은 어태치먼트(161a)의 결합한 부위가 제1 스프로킷(162a)으로부터 벗어나는 시점부터 점차 하강하여 기판 로딩 위치(A)로 복귀하게 된다. 이러한 과정을 반복 수행하게 되면 랙(135) 상에 기판(P)이 순차적으로 적재될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따르면, 비교적 간단한 구성을 갖고도 패턴형성 작업이나 세정 작업 등의 공정을 거쳐 배출되는 기판을 더욱 신속하고 정확하게 랙 상에 순차적으로 언로딩할 수 있다. 그리고, 이러한 언로딩 과정이 자동으로 구현됨에 따라 수작업에 비해 생산성 향상이 도모될 수 있으며, 기판의 적재시 작업자의 부주의로 인한 기판 손상이 방지될 수 있다. 또한, 기존의 고가의 로봇을 사용하는 대신 체인과 스프로킷을 이용하여 수직 및 수평 이송을 가능하도록 함으로써 기존에 비해 제조 비용을 30% 이상 절감할 수 있으며, 파티클 발생에 따른 기판 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

  1. 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임의 일 측에 마련되며, 기판을 얹어 기판 로딩 위치로 공급하는 기판 공급 유닛;
    상기 베이스 프레임의 타 측에 마련되며, 랙(rack)을 얹어 기판 언로딩 위치로 투입하는 랙 투입 유닛;
    상기 기판 공급 유닛의 측방 상측에 배치되며, 상기 랙 투입 유닛의 측방으로 회전할 수 있게 상기 베이스 프레임의 지지 부재에 힌지 결합한 암(arm) 부재;
    상기 기판 로딩 위치로 공급된 기판을 흡착하여 상기 기판 언로딩 위치로 이송된 랙 상에 운반하는 것으로, 상기 암 부재에 승강 가능하게 결합한 기판 흡착 유닛; 및
    상기 기판 흡착 유닛과 일 측에서 힌지 결합하며 그 이동에 따라 상기 기판 흡착 유닛이 승강하게 함과 동시에 상기 암 부재가 상기 기판 로딩 위치와 기판 언로딩 위치 사이를 왕복 이동하게 하는 어태치먼트(attachment) 체인과, 상기 어태치먼트 체인과 결합하여 상기 어태치먼트 체인의 이동 경로를 한정하는 복수의 스프로킷들, 및 상기 스프로킷들 중 어느 하나를 정역회전시키는 서보 모터를 구비한 구동 유닛;
    을 포함하는 기판의 자동 언로딩 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 스프로킷들은 상기 어태치먼트 체인의 이동에 따라 상기 기판 흡착 유닛이 상기 기판 로딩 위치로부터 상승하다가 상기 암 부재와 함께 상기 기판 언로딩 위치로 회전한 후 상기 기판 언로딩 위치로 투입된 랙의 경사면을 향해 하강하며, 상기 기판 흡착 유닛이 상기 랙의 경사면으로부터 상승하다가 상기 암 부재와 함께 상기 기판 로딩 위치로 회전한 후 하강할 수 있게 배치된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 기판 흡착 유닛은 상기 기판 언로딩 위치로 투입된 랙 상에 기판이 적재된 상태를 감지하기 위한 감지센서를 구비하며, 상기 서보 모터는 상기 감지센서와 연계하여 상기 어태치먼트 체인의 이동을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 지지 부재에는 상기 기판 흡착 유닛의 이동을 안내하기 위한 가이드 수단이 구비된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 기판 흡착 유닛은, 상기 암 부재에 승강 가능하게 결합한 승강 부재와, 상기 승강 부재와 고정 결합한 홀더와, 상기 홀더에 하방으로 배열되게 결합한 진공 발생기들, 및 상기 진공 발생기들에 압축공기를 공급하거나 공급을 중단하도록 제어되는 압축공기 공급기를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩 장치.
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